KR101027804B1 - Air dryer - Google Patents

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KR101027804B1
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박흥석
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    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/26—Drying gases or vapours
    • B01D53/261—Drying gases or vapours by adsorption
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/14—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification
    • F24F3/1411—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification by absorbing or adsorbing water, e.g. using an hygroscopic desiccant

Abstract

컴프레서(compressor)에 의하여 발생되는 압축 에어에 포함된 수분을 제거하여 건조한 에어를 생산하는데 이용되며, 건조 성능을 향상시키는 에어 건조 장치를 제공한다.The present invention is used to produce dry air by removing moisture contained in compressed air generated by a compressor, and provides an air drying apparatus that improves drying performance.

본 발명의 에어 건조 장치는, 병렬로 배치되며 제습제가 수용되고 압축 에어의 제습과 제습제의 재생이 교대로 이루어지는 제1 제습 탱크와 제2 제습 탱크, 제1 제습 탱크와 제2 제습 탱크에서 제습된 압축 에어를 배출시키거나 또는 차단시키는 밸브들, 제1 제습 탱크와 제2 제습 탱크로 제습제를 재생하는 재생용 에어를 공급시키거나 차단시키는 또 다른 밸브들, 이 밸브들을 온 또는 오프로 제어하는 컨트롤러를 포함하며, 이 밸브들은 각각 쌍을 이루는 듀얼 밸브들로 이루어진다.The air drying apparatus of the present invention is dehumidified in a first dehumidification tank and a second dehumidification tank, a first dehumidification tank, and a second dehumidification tank, which are arranged in parallel and contain a dehumidifying agent and alternately dehumidify the compressed air and regenerate the dehumidifying agent. Valves for discharging or isolating compressed air, further valves for supplying or blocking regeneration air for regenerating the dehumidifier to the first and second dehumidification tanks, and controllers for controlling these valves on or off Included, these valves each consists of a pair of dual valves.

압축, 에어, 건조, 재생, 히터, 제습, 듀얼밸브 Compression, Air, Dry, Regeneration, Heater, Dehumidification, Dual Valve

Description

에어 건조 장치{Air dryer} Air dryer

본 발명은 에어 건조 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 컴프레서(compressor)에 의하여 발생되는 압축 에어에 포함된 수분을 제거하여 건조한 에어를 생산하는데 이용되며, 건조 성능을 향상시키는 에어 건조 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an air drying apparatus, and more particularly, to an air drying apparatus used for producing dry air by removing moisture contained in compressed air generated by a compressor, and improving drying performance. .

일반적으로 흡착식 에어 건조 장치는 수분을 흡착하는 흡착제가 수납되어 있는 제1 제습 탱크와 제2 제습 탱크를 포함한다. 제1 제습 탱크와 제2 제습 탱크에는 에어를 공급하거나 배출하기 위한 에어 관로들이 배치된다. 그리고 에어 관로들에는 제1 제습 탱크와 제2 제습 탱크에 교대로 압축된 에어를 공급할 수 있는 밸브들이 마련된다. 이러한 흡착식 에어 건조 장치는 제1 제습 탱크와 제2 제습 탱크에 교대로 압축 에어를 공급하면서 압축 에어 중에 포함되어 있는 수분을 제거하게 된다. 그리고 상술한 제1 제습 탱크와 제2 제습 탱크 중에서 하나의 제습 탱크가 압축 에어의 수분을 제거하는 과정을 수행할 때 다른 하나의 제습 탱크는 재생 과정을 수행한다. In general, the adsorption type air drying apparatus includes a first dehumidification tank and a second dehumidification tank in which an adsorbent for adsorbing moisture is stored. The first dehumidification tank and the second dehumidification tank are provided with air conduits for supplying or discharging air. The air conduits are provided with valves for supplying compressed air alternately to the first dehumidification tank and the second dehumidification tank. The adsorption type air drying apparatus alternately supplies compressed air to the first dehumidification tank and the second dehumidification tank to remove moisture contained in the compressed air. And when one dehumidification tank of the above-described first dehumidification tank and the second dehumidification tank performs the process of removing the moisture of the compressed air, the other dehumidification tank performs a regeneration process.

제1 제습 탱크와 제2 제습 탱크 중에서 하나의 제습 탱크가 재생 과정을 수 행할 때 그 제습 탱크는 일정한 시간 동안 약 150℃~ 200℃ 정도가 되도록 가열(heating)되고 동시에 약 6 ~ 30 ㎏/㎠ 정도로 압력이 증가되며, 이어서 일정한 시간 동안 약 10℃ ~ 50℃ 정도로 냉각(cooling)되는 과정을 거치게 된다. When one dehumidification tank of the first dehumidification tank and the second dehumidification tank performs the regeneration process, the dehumidification tank is heated to about 150 ° C. to 200 ° C. for a predetermined time and simultaneously about 6 to 30 kg / cm 2. The pressure is increased to a degree, followed by a process of cooling to about 10 ° C. to 50 ° C. for a predetermined time.

흡착식 에어 건조 장치는 제1 제습 탱크 또는 제2 제습 탱크에서 건조된 에어를 외부로 보내거나 차단하는 작동 밸브들 그리고 제1 제습 탱크와 제2 제습 탱크들의 내부에 수용된 제습제를 재생할 때 그 내부로 유입되는 에어가 통과하는 재생 유입 밸브들을 포함한다. Adsorption air drying apparatus flows into the operation valves for sending or blocking the air dried in the first dehumidification tank or the second dehumidification tank and regenerating the dehumidifier contained in the first dehumidification tank and the second dehumidification tanks. And regeneration inlet valves through which air passes.

이러한 작동 밸브들과 재생 유입 밸브들은 제조상 오차 범위 내에서 일정한 양의 누설 에어가 존재하게 된다. 즉, 상술한 밸브들은 에어가 누설됨으로써 누설된 습한 재생용 에어와 제습 타워를 통과한 초저노점의 에어가 혼합되어 노점이 상승하여 건조 성능이 떨어지는 문제점이 있다.These actuating valves and regenerative inlet valves will have a certain amount of leaking air within the manufacturing tolerances. That is, the above-described valves have a problem in that the wet regeneration air leaked by the air leakage and the air of the ultra low dew point passing through the dehumidification tower are mixed and the dew point rises, thereby reducing the drying performance.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로써, 본 발명의 목적은 제1 제습 탱크 또는 제2 제습 탱크에서 건조된 에어를 외부로 보내거나 차단하는 작동 밸브들과 제1 제습 탱크와 제2 제습 탱크들의 내부에 수용된 제습제를 재생할 때 그 내부로 유입되는 에어가 통과하는 재생 유입 밸브들에서 에어가 누설되는 것을 방지하여 필요한 초저노점 온도까지 이르게 하여 에어의 건조 성능을 극대화시키는 에어 건조 장치를 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been proposed to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an operation valve and a first dehumidification tank for sending or blocking the air dried in the first or second dehumidification tank. Air regeneration that maximizes air drying performance by preventing air from leaking from regeneration inlet valves through which air flowing into the regenerating dehumidifying agent contained in the second and second dehumidification tanks passes to the required ultra low dew point temperature. To provide a device.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 병렬로 배치되며 제습제가 수용되고 압축 에어의 제습과 상기 제습제의 재생이 교대로 이루어지는 제1 제습 탱크와 제2 제습 탱크, 상기 제1 제습 탱크와 상기 제2 제습 탱크에서 제습된 압축 에어를 배출시키거나 또는 차단시키는 밸브들, 상기 제1 제습 탱크와 상기 제2 제습 탱크로 상기 제습제를 재생하는 재생용 에어를 공급시키거나 차단시키는 또 다른 밸브들, 상기 밸브들을 온 또는 오프로 제어하는 컨트롤러를 포함하며, 상기 밸브들은 각각 쌍을 이루는 듀얼 밸브들로 이루어지는 에어 건조 장치를 제공한다.In order to achieve the object as described above, the present invention is arranged in parallel, the first dehumidification tank and the second dehumidification tank, the first dehumidification tank and the dehumidification agent is accommodated and the dehumidification of the compressed air and the regeneration of the dehumidifier is alternately Valves for discharging or blocking dehumidified compressed air from the second dehumidification tank, and other valves for supplying or blocking regeneration air for regenerating the dehumidifying agent to the first dehumidification tank and the second dehumidification tank. And a controller for controlling the valves on or off, the valves each providing an air drying device consisting of a pair of dual valves.

상기 듀얼 밸브들은 각각 에어 관로를 통하여 직렬로 연결되는 것이 바람직하다.Each of the dual valves is preferably connected in series through an air line.

상기 듀얼 밸브들은 동시에 개폐가 이루어지도록 상기 컨트롤러에 전기적으로 연결되는 것이 바람직하다.The dual valves are preferably electrically connected to the controller to open and close at the same time.

상기 제1 제습 탱크와 상기 제2 제습 탱크로 제습용 에어를 공급하는 관로에는, 상기 제1 제습 탱크 또는 상기 제2 제습 탱크로 공급되는 제습용 에어의 일부를 재생용 에어로 나누어 공급하는 프로포션 밸브가 설치되는 것이 바람직하다.In the pipeline for supplying dehumidification air to the first dehumidification tank and the second dehumidification tank, a proportional valve for supplying a part of the dehumidification air supplied to the first dehumidification tank or the second dehumidification tank by regeneration air is provided. It is preferable to install.

상기 제1 제습 탱크와 상기 제2 제습 탱크로 재생용 에어를 공급하는 관로에 연결되어 가열된 에어를 공급할 수 있는 히터를 구비하는 것이 바람직하다.It is preferable to have a heater which is connected to a pipe for supplying regeneration air to the first dehumidification tank and the second dehumidification tank and which can supply heated air.

상기 제1 제습 탱크와 상기 제2 제습 탱크에 제습용 에어가 공급되는 관로에 연결되어 냉각된 에어를 공급하는 쿨러가 설치되는 것이 바람직하다.It is preferable that a cooler connected to a pipe line through which dehumidified air is supplied to the first dehumidification tank and the second dehumidification tank to supply cooled air is installed.

또한, 본 발명은, 병렬로 배치되며 제습제가 수용되고 압축 에어의 제습과 상기 제습제의 재생이 교대로 이루어지는 제1 제습 탱크와 제2 제습 탱크, 상기 제 1 제습 탱크로 제습용 에어가 공급되는 관로에 설치되는 제1 건조 밸브, 상기 관로에서 분지되어 상기 제2 제습 탱크로 제습용 에어가 공급되는 또 다른 관로에 설치되는 제2 건조 밸브, 상기 제1 제습 탱크에서 제습된 에어를 배출하는 관로에 설치되는 제1 듀얼 작동 밸브, 상기 제2 제습 탱크에서 제습된 에어를 배출하는 관로에 설치되는 제2 듀얼 작동 밸브, 상기 제1 제습 탱크에 재생용 에어를 공급하는 관로에 설치되는 제1 듀얼 재생 유입 밸브, 상기 제2 제습 탱크에 재생용 에어를 공급하는 관로에 설치되는 제2 듀얼 재생 유입 밸브, 상기 제1 제습 탱크 또는 상기 제2 제습 탱크에 재생용 에어를 공급하는 관로에 제공된 히터, 상기 제1 제습 탱크 또는 상기 제2 제습 탱크 중의 하나에서 제습용으로 사용된 에어를 냉각하여 상기 제1 제습 탱크 또는 상기 제2 제습 탱크 중 다른 제습 탱크에 공급하는 쿨러를 포함하는 에어 건조 장치를 제공한다.In addition, the present invention, the first dehumidification tank, the second dehumidification tank, the dehumidification of the compressed air, the dehumidification of the compressed air and the regeneration of the dehumidifying agent is arranged in parallel, the pipeline for supplying dehumidifying air to the first dehumidification tank. A first drying valve installed at the second drying valve installed at another pipe line which is branched from the pipeline and supplied with dehumidifying air to the second dehumidification tank, and at a pipeline for discharging air dehumidified from the first dehumidification tank. A first dual actuating valve installed in the air, a second dual actuating valve installed in the conduit for discharging air dehumidified from the second dehumidification tank, and a first dual regenerative gas installed in the conduit for supplying regeneration air to the first dehumidification tank. Regeneration air to the inlet valve, a second dual regeneration inlet valve installed in the pipeline for supplying regeneration air to the second dehumidification tank, the first dehumidification tank or the second dehumidification tank. A cooler that cools the air used for dehumidification in one of the heater, the first dehumidification tank, or the second dehumidification tank provided in the supplying pipe to the other dehumidification tank of the first dehumidification tank or the second dehumidification tank. It provides an air drying apparatus comprising.

상기 제1 듀얼 작동 밸브, 상기 제2 듀얼 작동 밸브, 상기 제1 듀얼 재생 유입 밸브, 그리고 상기 제2 듀얼 재생 유입 밸브는, 각각 쌍을 이루어 직렬로 연결되는 것이 바람직하다.Preferably, the first dual actuation valve, the second dual actuation valve, the first dual regenerative inlet valve, and the second dual regenerative inlet valve are each connected in series in pairs.

상기 제1 듀얼 작동 밸브, 상기 제2 듀얼 작동 밸브, 상기 제1 듀얼 재생 유입 밸브, 그리고 상기 제2 듀얼 재생 유입 밸브는, 각각 쌍을 이루는 밸브들이 동시에 온, 오프로 제어되도록 연결되는 컨트롤러를 포함하는 것이 바람직하다.The first dual actuating valve, the second dual actuating valve, the first dual regenerative inlet valve, and the second dual regenerative inlet valve each include a controller connected such that paired valves are simultaneously controlled on and off. It is desirable to.

이와 같은 본 발명은 제1 제습 탱크 또는 제2 제습 탱크에서 건조된 에어를 외부로 보내거나 차단하는 작동 밸브들과 제1 제습 탱크와 제2 제습 탱크들의 내부 에 수용된 제습제를 재생할 때 그 내부로 유입되는 에어가 통과하는 재생 유입 밸브들을 각각 듀얼 밸브로 구성하여 에어가 누설되는 것을 차단함으로써 양호한 압축 건조 에어를 생산 공급하여 반도체 칩 등의 제조 불량을 방지하는 효과가 있다.The present invention is introduced into the operation valves for sending or blocking the air dried in the first dehumidification tank or the second dehumidification tank and the dehumidifier contained in the first dehumidification tank and the second dehumidification tanks when regenerating. The regenerative inlet valves through which air is passed are respectively configured as dual valves, thereby preventing air from leaking, thereby producing and supplying good compressed dry air, thereby preventing manufacturing defects such as semiconductor chips.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 구성을 도시한 도면으로, 에어 건조 장치의 주요부를 도시하고 있다. 에어 건조 장치는 제습제가 수용된 제1 제습탱크(100), 이 제1 제습 탱크(100)와 나란하게 배치되면서 동일한 구조로 이루어진 제2 제습 탱크(300)를 포함한다.1 is a view showing a configuration for explaining an embodiment of the present invention, showing the main part of the air drying apparatus. The air drying apparatus includes a first dehumidification tank 100 in which a dehumidifying agent is accommodated, and a second dehumidification tank 300 having the same structure while being disposed in parallel with the first dehumidification tank 100.

제1 제습 탱크(100)는 압축 에어 저장 장치(도시생략)와 관로(p1, p3, p5)로 연결된다. 따라서 압축 에어 저장 장치에 수용된 압축 에어가 제1 제습 탱크(100)로 전달될 수 있다. 상술한 관로(p3)에는 컨트롤러(C, 도 7에 표시하고 있음)에 의하여 제어되는 프로포션 밸브(V3, proportion valve)가 배치된다. 프로포션 밸브(V3)는 압축 에어 저장 장치에서 공급되는 압축 에어를 일부만 통과시키고 이 프로포션 밸브(V3)를 통과하지 못한 압축 에어를 쿨러(500) 측으로 보낼 수 있는 역할을 한다. The first dehumidification tank 100 is connected to the compressed air storage device (not shown) by pipelines p1, p3, and p5. Therefore, the compressed air contained in the compressed air storage device may be delivered to the first dehumidification tank 100. A proportional valve V3 controlled by the controller C (shown in FIG. 7) is disposed in the above-described pipeline p3. The proportional valve (V3) serves to pass only a portion of the compressed air supplied from the compressed air storage device and to send the compressed air that has not passed through the proportional valve (V3) to the cooler 500 side.

그리고 관로(p5)에는 컨트롤러(C)에 의하여 제어되는 제1 건조 밸브(V5)가 배치된다. 제1 건조 밸브(V5)는 압축 에어 저장 장치에서 공급되는 압축 에어를 제1 제습 탱크(100) 측으로 전달하거나 차단하는 역할을 한다.And the 1st drying valve V5 controlled by the controller C is arrange | positioned in the pipeline p5. The first drying valve V5 serves to transfer or block the compressed air supplied from the compressed air storage device to the first dehumidification tank 100.

제1 제습탱크(100)에는 제1 제습 탱크(100)를 통과하면서 건조된 압축 에어를 외부(압축 에어를 사용하는 곳)로 보낼 수 있는 관로(p7)가 연결된다. 그리고 이 관로(p7)에는 컨트롤러(C)에 의하여 제어되는 제1 듀얼 작동 밸브(V7-1, V7-2)가 배치된다. 제1 듀얼 작동 밸브(V7-1, V7-2)는 제1 제습 탱크(100)에서 건조된 에어를 외부로 보내거나 차단하는 역할을 한다.The first dehumidification tank 100 is connected to a pipe line p7 through which the compressed air that is dried while passing through the first dehumidification tank 100 can be sent to the outside (where compressed air is used). In this pipe line p7, the first dual actuation valves V7-1 and V7-2 controlled by the controller C are arranged. The first dual operation valves V7-1 and V7-2 serve to block or dry the air dried in the first dehumidification tank 100.

제1 듀얼 작동 밸브(V7-1, V-2)는 서로 직렬로 연결되며 동일한 구조로 이루어지는 것이 바람직하다. 그리고 제1 듀얼 작동 밸브(V7-1, V7-2)는 상술한 컨트롤로(C)에 의하여 동시에 온, 오프 제어가 될 수 있다. 즉, 이러한 제1 듀얼 작동 밸브(V7-1, V7-2)는 하나의 밸브(V7-1)에서 일부 에어의 누설이 발생하여도 다른 밸브(V7-2)에서 계속 누설되는 것을 차단할 수 있으므로 에어가 누설되는 것을 완벽하게 차단할 수 있다. The first dual actuation valves V7-1 and V-2 are connected in series with each other and preferably have the same structure. In addition, the first dual operation valves V7-1 and V7-2 may be simultaneously turned on and off by the above-described control path C. FIG. That is, the first dual actuation valves V7-1 and V7-2 may block leakage of the other valve V7-2 even if some air leaks from one valve V7-1. It can completely block air leakage.

그리고 제2 제습 탱크(300)는 관로(p5)와 연결되는 관로(p9)와 연결된다. 관로(p9)에는 컨트롤러(C)에 의하여 제어되는 제2 건조 밸브(V9)가 배치된다. 제2 건조 밸브(V9)는 압축 에어 저장 장치에서 공급되는 압축 에어를 제2 제습 탱크(300)로 공급하거나 차단하는 역할을 한다. 또한, 제2 제습 탱크(300)는 관로(p11)과 연결되고, 이 관로(p11)는 관로(p7)와 연결된다. In addition, the second dehumidification tank 300 is connected to a pipeline p9 connected to the pipeline p5. In the pipeline p9, a second drying valve V9 controlled by the controller C is disposed. The second drying valve V9 serves to supply or block the compressed air supplied from the compressed air storage device to the second dehumidification tank 300. In addition, the second dehumidification tank 300 is connected to the pipeline p11, and the pipeline p11 is connected to the pipeline p7.

관로(p11)에는 컨트롤러(C)에 의하여 제어되는 제2 듀얼 작동 밸브(V11-1, V11-2)가 배치된다. 제2 듀얼 작동 밸브(V11-1, V11-2)는 제2 제습 탱크(300)에서 건조되어 배출되는 압축 에어를 외부(압축 에어를 사용하는 곳)로 보내거나 차단하는 역할을 한다.The second dual actuation valves V11-1 and V11-2 controlled by the controller C are arranged in the pipeline p11. The second dual actuation valves V11-1 and V11-2 serve to block or block the compressed air discharged from the second dehumidification tank 300 to the outside (where compressed air is used).

제2 듀얼 작동 밸브(V11-1, V11-2)는 서로 직렬로 연결되며 동일한 구조로 이루어지는 것이 바람직하다. 그리고 제2 듀얼 작동 밸브(V11-1, V11-2)는 컨트롤로(C)에 의하여 동시에 온, 오프 제어가 될 수 있다. 즉, 이러한 제2 듀얼 작동 밸브(V11-1, V11-2)는 하나의 밸브(V11-1)에서 일부 에어의 누설이 발생하여도 다른 밸브(V11-2)에서 계속 누설되는 것을 차단할 수 있으므로 에어가 누설되는 것을 완벽하게 차단할 수 있다. The second dual actuation valves V11-1 and V11-2 are connected in series with each other and preferably have the same structure. In addition, the second dual actuation valves V11-1 and V11-2 may be simultaneously turned on and off by the control path C. FIG. That is, the second dual actuation valves V11-1 and V11-2 may block leakage of the other valve V11-2 even if some air leaks from one valve V11-1. It can completely block air leakage.

또한 관로(p5, p9)들에서 일부가 각각 분지되어 서로 연결되어 또 다른 관로(p13, p15)들을 이룬다. 이 관로(p13, p15)에는 컨트롤러(C)에 의하여 제어되는 제1 재생 유출 밸브(V13)와 제2 재생 유출 밸브(V15)가 각각 배치된다. 제1 재생 유출 밸브(V13)와 제2 재생 유출 밸브(V15)들은 제1 제습 탱크(100)와 제2 제습 탱크(300)들을 재생할 때 배출되는 에어가 통과할 수 있다. In addition, some of the pipelines p5 and p9 are branched and connected to each other to form other pipelines p13 and p15. The first regeneration outflow valve V13 and the second regeneration outflow valve V15 controlled by the controller C are disposed in these conduits p13 and p15, respectively. The first discharge outlet valve V13 and the second recovery outlet valve V15 may pass through the air discharged when the first dehumidification tank 100 and the second dehumidification tank 300 are regenerated.

그리고 관로(p7, p11)들에서 일부가 각각 분지되어 서로 연결되어 또 다른 관로(p17, p19)들을 이룬다. 이 관로(p17, p19)에는 컨트롤러(C)에 의하여 제어되는 제1 듀얼 재생 유입 밸브(V17-1, V17-2)와 제2 듀얼 재생 유입 밸브(V19-1, V19-2)가 각각 배치된다. 제1 듀얼 재생 유입 밸브(V17-1, V17-2)와 제2 듀얼 재생 유입 밸브(V19-1, V19-2)들은 제1 제습 탱크(100)와 제2 제습 탱크(300)들의 내부에 수용된 제습제를 재생할 때 그 내부로 유입되는 에어가 통과할 수 있다.In the pipelines p7 and p11, some branches are branched and connected to each other to form other pipelines p17 and p19. The first dual regenerative inlet valves V17-1 and V17-2 and the second dual regenerative inlet valves V19-1 and V19-2 controlled by the controller C are disposed in the conduits p17 and p19, respectively. do. The first dual regenerative inlet valves V17-1 and V17-2 and the second dual regenerative inlet valves V19-1 and V19-2 are disposed in the first dehumidification tank 100 and the second dehumidification tank 300. When regenerating the received dehumidifying agent, the air flowing into it may pass.

제1 듀얼 재생 유입 밸브(V17-1, V17-2)는 서로 직렬로 연결되며 동일한 구조로 이루어지는 것이 바람직하다. 그리고 제1 듀얼 재생 유입 밸브(V17-1, V17-2)는 상술한 컨트롤로(C)에 의하여 동시에 온, 오프 제어가 될 수 있다. 즉, 이러한 제1 듀얼 재생 유입 밸브(V17-1, V17-2)는 하나의 밸브(V17-1)에서 일부 에어의 누설이 발생하여도 다른 밸브(V17-2)에서 계속 누설되는 것을 차단할 수 있으므로 에어가 누설되는 것을 완벽하게 차단할 수 있다. The first dual regenerative inlet valves V17-1 and V17-2 are preferably connected in series with each other and have the same structure. The first dual regeneration inlet valves V17-1 and V17-2 may be simultaneously turned on and off by the above-described control path C. FIG. That is, the first dual regenerative inlet valves V17-1 and V17-2 may block leakage of the other valve V17-2 even if some air leaks from one valve V17-1. Therefore, air leakage can be completely blocked.

제2 듀얼 재생 유입 밸브(V19-1, V19-2)도 상술한 제1 듀얼 재생 유입 밸브(V17-1, V17-2)와 동일하게 설치되는 것이 바람직하다. It is preferable that 2nd dual regeneration inflow valves V19-1 and V19-2 are also provided similarly to 1st dual regeneration inflow valves V17-1 and V17-2 mentioned above.

즉, 제2 듀얼 재생 유입 밸브(V19-1, V19-2)는 서로 직렬로 연결되며 동일한 구조로 이루어지는 것이 바람직하다. 그리고 제2 듀얼 재생 유입 밸브(V19-1, V19-2)는 상술한 컨트롤로(C)에 의하여 동시에 온, 오프 제어가 될 수 있다. That is, it is preferable that the second dual regeneration inlet valves V19-1 and V19-2 are connected in series to each other and have the same structure. In addition, the second dual regeneration inlet valves V19-1 and V19-2 may be simultaneously turned on and off by the aforementioned control path C. FIG.

다시 말하면, 이러한 제2 듀얼 재생 유입 밸브(V19-1, V19-2)는 하나의 밸브(V19-1)에서 일부 에어의 누설이 발생하여도 다른 밸브(V19-2)에서 계속 누설되는 것을 차단할 수 있으므로 에어가 누설되는 것을 완벽하게 방지할 수 있다. In other words, the second dual regenerative inlet valves V19-1 and V19-2 prevent the leakage of the other valve V19-2 even if some air leaks from one valve V19-1. This can completely prevent air leakage.

그리고 콤프레서의 압축열에 의하여 데워진 압축 에어가 공급되는 관로(p21)는 전기 히터(700, 이하 '히터'라고도 함)에 연결된다. 그리고 이 관로(p21)에는 핫 에어(hot air)가 공급되거나 공급되는 것을 차단하는 핫 에어 공급 밸브(V21)가 배치된다. 이러한 핫 에어 공급 밸브(V21) 역시 컨트롤러(C)에 의하여 개폐가 제어된다. 그리고 히터(700)는 제1 제습 탱크(100) 또는 제2 제습 탱크(300)로 핫 에어를 공급할 수 있도록 관로(p23)가 연결되고, 이 관로(p23)는 다른 관로(p17, p19)들 사이에 연결된다.In addition, a pipeline p21 to which compressed air warmed by the heat of compression of the compressor is supplied is connected to an electric heater 700 (hereinafter also referred to as a “heater”). In this conduit p21, a hot air supply valve V21 is arranged to block the supply or supply of hot air. This hot air supply valve (V21) is also controlled to open and close by the controller (C). In addition, the heater 700 is connected to a pipe line p23 to supply hot air to the first dehumidification tank 100 or the second dehumidification tank 300, and this pipe line p23 is connected to the other pipe lines p17 and p19. Is connected between.

상술한 관로(p21)는 또 다른 관로(p25, p27, p29)를 통하여 관로(p1)에 연결된다. 그리고 관로(p25)에는 컨트롤러(C)에 의하여 제어되는 히터 바이패스 밸 브(V25, Heater bypass valve)가 배치된다. 또한, 관로(p27)에는 쿨링 바이패스 밸브(V27, Cooling bypass valve)가 배치되고, 관로(p29)에는 쿨링 사이클 밸브(V29, Cooling cycle valve)가 배치된다.The above-described pipeline p21 is connected to the pipeline p1 via another pipeline p25, p27, p29. And a heater bypass valve (V25, Heater bypass valve) controlled by the controller (C) is disposed in the pipeline (p25). In addition, a cooling bypass valve V27 is disposed in the conduit p27, and a cooling cycle valve V29 is disposed in the conduit p29.

히터 바이패스 밸브(V25)는 압축 에어 저장 장치로부터 일부의 압축 에어가 공급되어 히터(700)를 거치지 않고 쿨러(500)로 전달할 수 있도록 컨트롤러(C)에 의하여 제어되는 밸브이다. The heater bypass valve V25 is a valve controlled by the controller C so that some compressed air is supplied from the compressed air storage device and transferred to the cooler 500 without passing through the heater 700.

쿨링 바이패스 밸브(V27)와 쿨링 사이클 밸브(V29)는 압축 에어 저장 장치에서 공급되는 일부의 압축 에어를 통하여 제1 제습 탱크(100) 또는 제2 제습 탱크(300)에 공급하여 그 내부를 냉각시키는 역할을 한다. The cooling bypass valve V27 and the cooling cycle valve V29 are supplied to the first dehumidification tank 100 or the second dehumidification tank 300 through a part of the compressed air supplied from the compressed air storage device to cool the inside thereof. It plays a role.

그리고 관로(p27, p29)들이 연결되는 부분과 관로(p13, p15)들이 연결되는 부분 사이에는 또 다른 관로(p31)가 연결된다. 또한, 관로(p3, p25)들 사이에는 또 다른 관로(p33, p35)가 연결된다. 상술한 관로(p33, p35)들 사이에는 쿨러(500)가 설치된다. 그리고 쿨러(500)와 연결되는 관로(p35)에는 세퍼레이터(550, separator)가 배치된다. 세퍼레이터(550)는 쿨러(500)를 통과한 에어에서 수분을 분리할 수 있는 것이다. In addition, another conduit p31 is connected between a part to which the conduits p27 and p29 are connected and a part to which the conduits p13 and p15 are connected. In addition, another conduit p33, p35 is connected between the conduits p3, p25. The cooler 500 is installed between the aforementioned pipe lines p33 and p35. In addition, a separator 550 (separator) is disposed in a conduit p35 connected to the cooler 500. The separator 550 may separate moisture from the air passing through the cooler 500.

한편, 도 7에 도시하고 있는 바와 같이, 컨트롤러(C)는 타이머(T) 또는 온도 센서(S)와 전기적으로 연결되어 이들 신호 값에 의하여 상술한 밸브들과 쿨러 그리고 히터를 제어할 수 있다. As illustrated in FIG. 7, the controller C may be electrically connected to the timer T or the temperature sensor S to control the above-described valves, coolers, and heaters based on these signal values.

이와 같이 이루어지는 본 발명의 에어 건조 장치의 제어 방법에 대하여 도 1 내지 도 9를 통하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.The control method of the air drying apparatus of the present invention thus made will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 9 as follows.

스위치(SW)를 작동(S1)시킨 후, 임의의 제1 설정시간, 제2 설정시간, 그리고 제3 설정시간을 세팅한다(S3). After operating the switch SW (S1), an arbitrary first set time, second set time, and third set time are set (S3).

그러면 컨트롤러(C)는 제1 건조 밸브(V5)와 제1 듀얼 작동 밸브(V7-1, V7-2)를 개방상태가 유지되도록 제어한다(S5). 이때 다른 모든 밸브들이 폐쇄(오프)된 상태를 초기 상태로 가정한다. 그러면 압축 에어 저장 장치(도시생략)의 압축 에어가 제1 제습 탱크(100)를 통과하면서 건조(제습)가 이루어지고 건조된 압축 에어가 배출되는 것이다. 이와 같은 컨트롤러(C)의 제어에 의하여 제1 제습 단계가 수행되는 것이다(도 1 기준). Then, the controller C controls the first drying valve V5 and the first dual actuation valves V7-1 and V7-2 to maintain the open state (S5). In this case, it is assumed that all other valves are closed (off) as the initial state. Then, as the compressed air of the compressed air storage device (not shown) passes through the first dehumidification tank 100, drying (dehumidification) is performed, and the dried compressed air is discharged. The first dehumidification step is performed by the control of the controller C (see FIG. 1).

이때 압축 에어 저장 장치의 압축 에어는 포지션 밸브(V3)의 작용에 의하여 약 70%만이 제1 제습 탱크(100)를 지나게 되고, 나머지 약 30%는 제2 제습 탱크(300)의 재생을 위하여 콤프레서의 압축열을 받는 별도의 관로(도시생략)를 통하여 핫 에어 공급 밸브(V21)로 전달된다.At this time, only about 70% of the compressed air of the compressed air storage device passes the first dehumidification tank 100 by the action of the position valve V3, and the remaining about 30% of the compressed air is compressed by the compressor for regeneration of the second dehumidification tank 300. It is transmitted to the hot air supply valve (V21) through a separate conduit (not shown) that receives the heat of compression.

즉, 상술한 제1 제습 단계를 진행하는 동안 제2 제습 탱크(300)는 컨트롤러(C)의 제어에 의하여 재생하는 단계를 수행하게 된다. That is, during the above-described first dehumidification step, the second dehumidification tank 300 performs the regeneration under the control of the controller C.

이러한 제2 제습 탱크(300)를 재생시키는 단계는 컴프레서의 압축열에 의하여 데워진 압축 에어가 제2 제습 탱크(300)를 통과하여 제2 제습 탱크(300)를 일정한 시간 동안 가열한 후 제1 제습 탱크(100)로 유입되는 제1 가열 단계를 수행한다. 즉, 제1 가열 단계에서 컨트롤러(C)는 데워진 압축 에어를 상기 제2 제습 탱크(300)로 공급하는 관로(p21)에 설치되는 핫 에어 공급 밸브(V21)와 제2 재생 유입 밸브(V19)를 개방 상태로 제어함과 동시에 제2 재생 유출 밸브(V15)와 쿨링 바 이패스 밸브(V27)를 개방 상태로 제어한다(S7). 이때 히터(700)는 작동되지 않는 상태로 컨트롤러(C)에 의하여 제어된다. 그러면, 핫 에어 공급 밸브(V21)를 통과한 압축 에어는 히터(700)를 통과하지만 히터(700)가 비작동 상태로 제어되고 있으므로 관로(p23)를 통하여 제2 듀얼 재생 유입 밸브(V19-1, V19-2)를 거쳐 제2 제습 탱크(300)로 유입되면서 제2 제습 탱크(300) 내부의 제습제가 가열되는 것이다. In the regenerating of the second dehumidification tank 300, the first dehumidification tank after the compressed air warmed by the heat of compression of the compressor passes through the second dehumidification tank 300 to heat the second dehumidification tank 300 for a predetermined time. A first heating step flowing into 100 is performed. That is, in the first heating step, the controller C is provided with a hot air supply valve V21 and a second regeneration inlet valve V19 installed in a conduit p21 for supplying warmed compressed air to the second dehumidification tank 300. Control to the open state and at the same time to control the second regeneration outflow valve (V15) and the cooling bypass valve (V27) in the open state (S7). In this case, the heater 700 is controlled by the controller C in a non-operating state. Then, the compressed air passing through the hot air supply valve (V21) passes through the heater 700, but since the heater 700 is controlled in an inoperative state, the second dual regeneration inflow valve V19-1 through the conduit p23. , The dehumidifier inside the second dehumidification tank 300 is heated while flowing into the second dehumidification tank 300 through V19-2.

그리고 제2 제습 탱크(300)를 통과하여 나오는 핫 에어는 제2 재생 유출 밸브(V15)와 쿨링 바이패스 밸브(V27)를 순차적으로 통과하고 쿨러(500)를 통과하면서 쿨러(500)에 의하여 냉각되고 세퍼레이터(550)에 의하여 수분이 분리되면서 관로(p3)로 전달된다. 따라서 핫 에어 공급 밸브(V21)를 통과한 약 30%의 핫 에어는 냉각되어 다시 제1 제습 탱크(100)를 통과하게 되는 것이다. Then, the hot air passing through the second dehumidification tank 300 passes through the second regeneration outlet valve V15 and the cooling bypass valve V27 in sequence and is cooled by the cooler 500 while passing through the cooler 500. And the water is separated by the separator 550 is delivered to the pipeline (p3). Therefore, about 30% of the hot air passing through the hot air supply valve V21 is cooled to pass through the first dehumidification tank 100 again.

이러한 제1 가열 단계는 타이머(T)에 의한 제1 설정시간(약 1시간 정도)을 만족 할 때까지 계속된다. 본 발명의 실시 예에서는 타이머(T)에 의하여 제1 가열 단계를 수행하는 시간을 정하고 있으나, 다른 실시 예로 온도 센서(도 7에서 S로 표시함)의 측정값에 따라 제1 가열 단계를 수행하는 시간을 정할 수 있다. 이때의 제2 제습 탱크(300)의 온도는 콤프레서의 압축열에 준하는 약 80℃~ 150℃까지 상승시킬 수 있다.This first heating step is continued until the first set time (about 1 hour) by the timer T is satisfied. In an embodiment of the present invention, the time for performing the first heating step is determined by the timer T. In another embodiment, the first heating step is performed according to the measured value of the temperature sensor (indicated by S in FIG. 7). You can set the time. At this time, the temperature of the second dehumidification tank 300 can be increased to about 80 ° C to 150 ° C corresponding to the heat of compression of the compressor.

계속해서 제1 설정시간을 만족하면(S9) 컨트롤러(C)는 히터(700)를 작동시킨다(S11). 그러면 제2 가열 단계가 진행된다(도 2에 도시하고 있음). 이러한 제2 가열 단계는 제2 설정시간(예를 들면 시간 기준으로 1시간 30분 정도, 온도 기준으로 150℃~200℃ 범위)을 만족할 때까지 진행하고, 제2 설정 시간을 만족하면(S13) 제2 제습 탱크(300)를 냉각시키게 된다. Subsequently, if the first set time is satisfied (S9), the controller C operates the heater 700 (S11). The second heating step then proceeds (shown in FIG. 2). This second heating step proceeds until the second set time (for example, about 1 hour and 30 minutes on the basis of time, 150 ° C to 200 ° C on the basis of temperature) is satisfied, and when the second set time is satisfied (S13). The second dehumidification tank 300 is cooled.

제2 제습 탱크(300)를 냉각시키는 제1 쿨링 단계는, 도 3에 도시하고 있는 바와 같이, 쿨링 사이클 밸브(V29)와 히터 바이패스 밸브(V25)를 개방 상태로 제어하고, 쿨링 바이패스 밸브(V27), 핫 에어 공급 밸브(V21)를 폐쇄되는 상태로 제어한다(S15). 이때에는 히터(700)는 작동하지 않도록 제어된다. In the first cooling step of cooling the second dehumidification tank 300, as shown in FIG. 3, the cooling cycle valve V29 and the heater bypass valve V25 are controlled to be in an open state, and the cooling bypass valve is controlled. (V27), the hot air supply valve (V21) is controlled to the closed state (S15). At this time, the heater 700 is controlled not to operate.

그러면 압축 에어 저장 장치에서 공급되는 일부의 압축 에어가 쿨링 사이클 밸브(V29), 제2 재생 유출 밸브(V15)를 거쳐 제2 제습 탱크(300)로 유입되어 제습제의 냉각이 이루어지고, 계속해서 제2 제습 탱크(300)를 통과한 에어는 제2 듀얼 재생 유입 밸브(V19-1, V19-2), 히터(700, 작동하지 않는 상태임), 히터 바이패스 밸브(V25)를 순차적으로 거치면서 쿨러(500, 작동 상태로 제어되며 도 8에서 S17 단계임)로 전달되어 냉각되어 관로(p3)를 통하여 다시 제1 제습 탱크(100)로 전달된다. 이러한 제1 쿨링 단계는 제3 설정시간을 만족하면(S19) 제2 제습 단계를 수행한다. 이러한 제1 쿨링 단계는 약 1시간 30분 정도 수행되도록 하는 것이 바람직하다.Then, a part of the compressed air supplied from the compressed air storage device flows into the second dehumidification tank 300 through the cooling cycle valve V29 and the second regenerative outflow valve V15 to cool the dehumidifying agent. 2 After passing through the dehumidification tank 300, the air passes through the second dual regenerative inlet valves V19-1 and V19-2, the heater 700 (not in operation), and the heater bypass valve V25. The cooler 500 is controlled in an operating state and is transferred to the first dehumidification tank 100 through the conduit p3 to be cooled by being transferred to the cooler 500. The first cooling step performs the second dehumidification step when the third set time is satisfied (S19). This first cooling step is preferably to be performed for about 1 hour 30 minutes.

이때 제2 듀얼 작동 밸브(V11-1, V11-2)와 제1 듀얼 재생 유입 밸브(V17-1, V17-2)들은 닫혀진 상태이며, 서로 직렬로 연결되어 있으므로 하나의 밸브에서 허용 오차 범위 내의 누설이 발생하여도 다른 하나의 밸브에 의하여 에어가 누설되는 것을 차단할 수 있다.At this time, the second dual actuating valves V11-1 and V11-2 and the first dual regenerative inlet valves V17-1 and V17-2 are in a closed state and are connected in series to each other so that one valve may be within the tolerance range. Even if leakage occurs, it is possible to block the leakage of air by the other valve.

따라서 제습된 에어와 재생용 에어가 서로 섞이지 않게 되어 양호하게 제습된 에어가 배출되어 사용될 수 있다. 이러한 결과는 건트롤러(C)에 설치된 노점계 (도시생략)에 디스플레이되는 초저노점(-70℃ ~ -100℃) 온도를 용이하게 확인할 수 있다. 그러므로 압축 에어에 기포 또는 수분이 포함되는 것을 차단하여 반도체 칩 제조 공정에서 압축 에어로 인한 불량을 방지할 수 있다.Therefore, the dehumidified air and the regeneration air do not mix with each other, so that the well dehumidified air can be discharged and used. These results can easily confirm the ultra-low dew point (-70 ℃ ~ -100 ℃) temperature displayed on the dew point (not shown) installed in the gun controller (C). Therefore, it is possible to prevent bubbles or moisture from being contained in the compressed air, thereby preventing defects caused by the compressed air in the semiconductor chip manufacturing process.

제2 제습 단계는 압축 에어 저장 장치의 압축 에어가 제2 제습 탱크(300)를 통과하면서 제습(건조)이 이루어지고 제1 제습 탱크(100)는 재생되는 것이다.In the second dehumidification step, dehumidification (drying) is performed while the compressed air of the compressed air storage device passes through the second dehumidification tank 300, and the first dehumidification tank 100 is regenerated.

컨트롤러(C)는 제1 건조 밸브(V5)와 제1 듀얼 작동 밸브(V7-1, V7-2)를 폐쇄(오프)상태가 유지되도록 제어하고, 제2 건조 밸브(V9)와 제2 듀얼 작동 밸브(V11-1, V11-2)를 개방 상태가 유지되도록 제어한다(S21). The controller C controls the first drying valve V5 and the first dual actuation valves V7-1 and V7-2 so that the closed state (off) is maintained, and the second drying valve V9 and the second dual valve are maintained. The operation valves V11-1 and V11-2 are controlled to maintain the open state (S21).

그러면 압축 에어 저장 장치(도시생략)의 압축 에어가 제2 제습 탱크(300)를 통과하면서 건조(제습)가 이루어지고 건조된 압축 에어가 배출되는 것이다. 이와 같은 컨트롤러(C)의 제어에 의하여 제2 제습 단계가 수행되는 것이다(도 4 기준). Then, as the compressed air of the compressed air storage device (not shown) passes through the second dehumidification tank 300, drying (dehumidification) is performed, and the dried compressed air is discharged. The second dehumidification step is performed by the control of the controller C (see FIG. 4).

이때 압축 에어 저장 장치의 압축 에어는 프로포션 밸브(V3)의 작용에 의하여 약 70%만이 제2 제습 탱크(300)를 지나게 되고, 나머지 약 30%는 제1 제습 탱크(100)의 재생을 위하여 콤프레서의 압축열을 전달받는 별도의 관로(도시생략)를 통하여 핫 에어 공급 밸브(V21)로 전달된다.At this time, only about 70% of the compressed air of the compressed air storage device passes through the second dehumidification tank 300 by the action of the proportional valve V3, and the remaining about 30% of the compressed air is compressed by the compressor for regeneration of the first dehumidification tank 100. It is transmitted to the hot air supply valve (V21) through a separate conduit (not shown) that receives the heat of compression.

제1 제습 탱크(100)를 재생시키는 단계는 컴프레서의 압축열에 의하여 데워진 압축 에어가 제1 제습 탱크(100)를 통과하여 제1 제습 탱크(100)를 일정한 시간 동안 가열한 후 제2 제습 탱크(300)로 유입되는 제3 가열 단계를 수행한다. 즉, 제3 가열 단계에서 컨트롤러(C)는 데워진 압축 에어를 상기 제1 제습 탱크(100)로 공급하는 관로(p21)에 설치되는 핫 에어 공급 밸브(V21)와 제1 듀얼 재생 유입 밸 브(V17-1, V17-2)를 개방 상태로 제어하고, 제1 재생 유출 밸브(V13)와 쿨링 바이패스 밸브(V27)를 개방 상태로 제어한다(S23). 그리고 쿨링 사이클 밸브(V29)와 히터 바이패스 밸브(V25)는 폐쇄 상태(오프)로 제어된다. 이때 히터(700)는 작동되지 않는 상태로 컨트롤러(C)에 의하여 제어된다. In the regenerating of the first dehumidification tank 100, the compressed air warmed by the heat of compression of the compressor passes through the first dehumidification tank 100 to heat the first dehumidification tank 100 for a predetermined time, and then the second dehumidification tank ( A third heating step flowing into 300 is performed. That is, in the third heating step, the controller C may include the hot air supply valve V21 and the first dual regenerative inflow valve installed in the conduit p21 for supplying the heated compressed air to the first dehumidification tank 100. V17-1 and V17-2 are controlled to the open state, and the 1st regeneration outflow valve V13 and the cooling bypass valve V27 are controlled to the open state (S23). The cooling cycle valve V29 and the heater bypass valve V25 are controlled to a closed state (off). In this case, the heater 700 is controlled by the controller C in a non-operating state.

그러면, 핫 에어 공급 밸브(V21)를 통과한 압축 에어는 히터(700)를 통과하지만 히터(700)가 비작동 상태로 제어되고 있으므로 관로(p23)를 통하여 제1 듀얼 재생 유입 밸브(V17-1, V17-2)를 거쳐 제1 제습 탱크(100)로 유입되면서 제1 제습 탱크(100) 내부의 제습제가 가열되는 것이다. Then, the compressed air passing through the hot air supply valve (V21) passes through the heater 700, but since the heater 700 is controlled in an inoperative state, the first dual regeneration inlet valve V17-1 through the pipeline p23. , The dehumidifier inside the first dehumidification tank 100 is heated while flowing into the first dehumidification tank 100 through V17-2.

그리고 제1 제습 탱크(100)를 통과하여 나오는 핫 에어는 제1 재생 유출 밸브(V13)와 쿨링 바이패스 밸브(V27)를 순차적으로 통과하고 쿨러(500)를 통과하면서 냉각되고 관로(p3)로 전달된다. 따라서 핫 에어 공급 밸브(V21)를 통과한 약 30%의 핫 에어는 냉각되어 다시 제2 제습 탱크(300)를 통과하게 되는 것이다. 물론 쿨러(500)를 통과하면서 냉각된 에어는 세퍼레이터(550)를 통과하면서 수분의 분리가 일어나게 된다.And the hot air coming out through the first dehumidification tank 100 passes through the first regeneration outflow valve (V13) and the cooling bypass valve (V27) in sequence and is cooled while passing through the cooler (500) to the conduit (p3). Delivered. Therefore, about 30% of the hot air passing through the hot air supply valve V21 is cooled to pass through the second dehumidification tank 300 again. Of course, the air cooled while passing through the cooler 500 passes through the separator 550 and separation of moisture occurs.

이러한 제3 가열 단계는 타이머(T)에 의한 제1 설정시간(약 1시간 정도)을 만족 할 때까지 계속된다. 이때의 제1 제습 탱크(100)의 온도는 약 80℃~ 150℃까지 상승시킬 수 있다.This third heating step is continued until the first set time (about 1 hour) by the timer T is satisfied. At this time, the temperature of the first dehumidification tank 100 can be raised to about 80 ℃ ~ 150 ℃.

계속해서 제1 설정시간을 만족하면(S25) 컨트롤러(C)는 히터(700)를 작동시킨다(S27). 그러면 제4 가열 단계가 진행된다(도 5에 도시하고 있음). 이러한 제4 가열 단계는 제2 설정시간(예를 들면 1시간 30분 정도)을 만족할 때까지 진행하고, 제2 설정 시간을 만족(S29)하면 제1 제습 탱크(100)를 냉각시키게 된다. Subsequently, when the first set time is satisfied (S25), the controller C operates the heater 700 (S27). The fourth heating step then proceeds (shown in FIG. 5). The fourth heating step proceeds until the second set time (eg, about 1 hour and 30 minutes) is satisfied, and when the second set time is satisfied (S29), the first dehumidification tank 100 is cooled.

제1 제습 탱크(100)를 냉각시키는 제2 쿨링 단계는, 도 6에 도시하고 있는 바와 같이, 쿨링 사이클 밸브(V29)와 히터 바이패스 밸브(V25)를 개방 상태로 제어하고, 쿨링 바이패스 밸브(V27), 핫 에어 공급 밸브(V21)를 폐쇄(오프)되는 상태로 제어한다(S31). 이때에는 히터(700)는 작동하지 않도록 제어된다. In the second cooling step of cooling the first dehumidification tank 100, as illustrated in FIG. 6, the cooling cycle valve V29 and the heater bypass valve V25 are controlled to be in an open state, and the cooling bypass valve is controlled. (V27), the hot air supply valve (V21) is controlled to the closed (off) state (S31). At this time, the heater 700 is controlled not to operate.

그러면 압축 에어 저장 장치에서 공급되는 일부의 압축 에어가 쿨링 사이클 밸브(V29), 제1 재생 유출 밸브(V13)를 거쳐 제1 제습 탱크(100)로 유입되어 제습제의 냉각이 이루어지고, 계속해서 제1 제습 탱크(100)를 통과한 에어는 제1 듀얼 재생 유입 밸브(V17-1, V17-2), 히터(700, 작동하지 않는 상태임), 히터 바이패스 밸브(V25)를 순차적으로 거치면서 쿨러(500, 작동 상태로 제어되며 도 9의 S33 단계)로 전달되어 냉각되어 관로(p3)를 통하여 다시 제2 제습 탱크(300)로 전달된다. 이러한 제2 쿨링 단계는 제3 설정시간을 만족할 때까지 수행한다(S35).Then, a part of the compressed air supplied from the compressed air storage device flows into the first dehumidification tank 100 through the cooling cycle valve V29 and the first regenerative outflow valve V13, thereby cooling the dehumidifying agent and continuing 1 After passing through the dehumidification tank 100, the air passes through the first dual regeneration inlet valves V17-1 and V17-2, the heater 700, which is not in operation, and the heater bypass valve V25. The cooler 500 is controlled in an operating state and is transferred to the cooler 500 and cooled to the second dehumidification tank 300 through the conduit p3. This second cooling step is performed until the third set time is satisfied (S35).

이때에 제1 듀얼 작동 밸브(V7-1, V7-2)와 제2 듀얼 재생 유입 밸브(V19-1, 19-2)들은 폐쇄된 상태로 각각 하나의 밸브에서 일부의 에어가 누설되어도 직렬로 연결된 다른 밸브에 의하여 에어가 누설되는 것이 차단되므로 세팅된 온도인 -90℃까지 조절할 수 있다. 따라서 압축 에어에 기포 또는 수분이 포함되는 것을 차단하여 반도체 칩 제조 공정에서 압축 에어로 인한 불량을 방지할 수 있다.At this time, the first dual actuating valves V7-1 and V7-2 and the second dual regenerative inlet valves V19-1 and 19-2 are closed in series even when some air leaks from one valve. Air leakage is blocked by other connected valves, so the set temperature can be controlled to -90 ° C. Therefore, it is possible to prevent bubbles or moisture from being contained in the compressed air, thereby preventing defects caused by the compressed air in the semiconductor chip manufacturing process.

도 1은 본 발명의 실시 예의 구성 및 작동 과정(제1 가열 단계)을 설명하기 위한 도면이다. 1 is a view for explaining the configuration and operation process (first heating step) of an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시 예의 제2 가열 단계를 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for explaining a second heating step of the embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 실시 예의 제1 쿨링 단계를 설명하기 위한 도면이다.3 is a view for explaining a first cooling step of the embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 실시 예의 제3 가열 단계를 설명하기 위한 도면이다.4 is a view for explaining a third heating step of the embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 실시 예의 제4 가열 단계를 설명하기 위한 도면이다.5 is a view for explaining a fourth heating step of the embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 실시 예의 제2 쿨링 단계를 설명하기 위한 도면이다.6 is a view for explaining a second cooling step of the embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 구성도이다.7 is a configuration diagram for explaining an embodiment of the present invention.

도 8과 도 9는 본 발명의 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.8 and 9 are flowcharts for explaining the control method of the present invention.

Claims (9)

병렬로 배치되며 제습제가 수용되고 압축 에어의 제습과 상기 제습제의 재생이 교대로 이루어지는 제1 제습 탱크와 제2 제습 탱크;A first dehumidification tank and a second dehumidification tank disposed in parallel and configured to alternately dehumidify the compressed air and regenerate the dehumidifier; 상기 제1 제습 탱크와 상기 제2 제습 탱크에서 제습된 압축 에어를 배출시키거나 또는 차단시키는 밸브들;Valves for discharging or blocking the compressed air dehumidified in the first dehumidification tank and the second dehumidification tank; 상기 제1 제습 탱크와 상기 제2 제습 탱크로 상기 제습제를 재생하는 재생용 에어를 공급시키거나 차단시키는 또 다른 밸브들;Further valves for supplying or blocking regeneration air for regenerating the dehumidifying agent to the first dehumidifying tank and the second dehumidifying tank; 상기 제습된 압축 에어를 배출시키거나 차단시키는 밸브들, 및 상기 재생용 에어를 공급시키거나 차단시키는 또 다른 밸브들을 온 또는 오프로 제어하는 컨트롤러;A controller for turning on or off the valves for discharging or blocking the dehumidified compressed air, and the other valves for supplying or blocking the regenerative air; 를 포함하며,Including; 상기 제습된 압축 에어를 배출시키거나 차단시키는 밸브들, 및 상기 재생용 에어를 공급시키거나 차단시키는 또 다른 밸브들은Valves for discharging or isolating the dehumidified compressed air, and further valves for supplying or isolating the regeneration air 각각 쌍을 이루는 듀얼 밸브들로 이루어지고,Consists of dual valves, 상기 제1 제습 탱크와 상기 제2 제습 탱크로 제습용 에어를 공급하는 관로에는 In the pipeline for supplying air for dehumidification to the first dehumidification tank and the second dehumidification tank. 상기 제1 제습 탱크 또는 상기 제2 제습 탱크로 공급되는 제습용 에어의 일부를 재생용 에어로 나누어 공급하는 프로포션 밸브가 설치되는 에어 건조 장치.And a proportional valve for dividing and supplying a part of the dehumidifying air supplied to the first dehumidification tank or the second dehumidification tank into regeneration air. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 듀얼 밸브들은 각각 에어 관로를 통하여 직렬로 연결되는 에어 건조 장치.And the dual valves are each connected in series through an air duct. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 듀얼 밸브들은The dual valves 동시에 개폐가 이루어지도록 상기 컨트롤러에 전기적으로 연결되는 에어 건 조 장치.And an air dryer electrically connected to the controller to open and close at the same time. 삭제delete 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 제습 탱크와 상기 제2 제습 탱크로 재생용 에어를 공급하는 관로에 연결되어 가열된 에어를 공급할 수 있는 히터를 구비한 에어 건조 장치.And a heater connected to a conduit for supplying regeneration air to the first dehumidification tank and the second dehumidification tank to supply heated air. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 제습 탱크와 상기 제2 제습 탱크에 제습용 에어가 공급되는 관로에 연결되어 냉각된 에어를 공급하는 쿨러가 설치되는 에어 건조 장치.And a cooler connected to a conduit line through which dehumidification air is supplied to the first dehumidification tank and the second dehumidification tank to supply cooled air. 병렬로 배치되며 제습제가 수용되고 압축 에어의 제습과 상기 제습제의 재생이 교대로 이루어지는 제1 제습 탱크(100)와 제2 제습 탱크(300);A first dehumidification tank (100) and a second dehumidification tank (300) arranged in parallel to receive a dehumidifying agent and alternately dehumidify the compressed air and regenerate the dehumidifying agent; 상기 제1 제습 탱크(100)로 제습용 에어가 공급되는 관로(p1, p3, p5)에 설치되는 제1 건조 밸브(V5);A first drying valve (V5) installed in a pipe line (p1, p3, p5) to which dehumidifying air is supplied to the first dehumidification tank (100); 상기 관로(p5)에서 분지되어 상기 제2 제습 탱크(300)로 제습용 에어가 공급되는 또 다른 관로(p9)에 설치되는 제2 건조 밸브(V9);A second drying valve (V9) which is branched from the conduit (p5) and installed in another conduit (p9) to which dehumidifying air is supplied to the second dehumidification tank (300); 상기 제1 제습 탱크(100)에서 제습된 에어를 배출하는 관로(p7)에 설치되는 제1 듀얼 작동 밸브(V7-1, V7-2);First dual operation valves V7-1 and V7-2 installed in a pipe line p7 for discharging air dehumidified from the first dehumidification tank 100; 상기 제2 제습 탱크(300)에서 제습된 에어를 배출하는 관로(p11)에 설치되는 제2 듀얼 작동 밸브(V11-1, V11-2);Second dual operation valves V11-1 and V11-2 installed in a pipe line p11 for discharging air dehumidified from the second dehumidification tank 300; 상기 제1 제습 탱크(100)에 재생용 에어를 공급하는 관로(p17)에 설치되는 제1 듀얼 재생 유입 밸브(V17-1, V17-2);First dual regeneration inlet valves V17-1 and V17-2 installed in a pipe line p17 for supplying regeneration air to the first dehumidification tank 100; 상기 제2 제습 탱크(300)에 재생용 에어를 공급하는 관로(p19)에 설치되는 제2 듀얼 재생 유입 밸브(V19-1, V19-2);Second dual regeneration inlet valves V19-1 and V19-2 installed in a pipe line p19 for supplying regeneration air to the second dehumidification tank 300; 상기 제1 제습 탱크(100) 또는 상기 제2 제습 탱크(300)에 재생용 에어를 공급하는 관로에 제공된 히터;A heater provided in a conduit for supplying regeneration air to the first dehumidification tank 100 or the second dehumidification tank 300; 상기 제1 제습 탱크(100) 또는 상기 제2 제습 탱크(300) 중의 하나에서 제습용으로 사용된 에어를 냉각하여 상기 제1 제습 탱크(100) 또는 상기 제2 제습 탱크(300) 중 다른 제습 탱크에 공급하는 쿨러;One of the first dehumidification tank 100 or the second dehumidification tank 300 cools the air used for dehumidification and the other dehumidification tank of the first dehumidification tank 100 or the second dehumidification tank 300. To supply cooler; 를 포함하는 에어 건조 장치.Air drying device comprising a. 청구항 7에 있어서,The method of claim 7, 상기 제1 듀얼 작동 밸브, 상기 제2 듀얼 작동 밸브, 상기 제1 듀얼 재생 유입 밸브, 그리고 상기 제2 듀얼 재생 유입 밸브는The first dual actuation valve, the second dual actuation valve, the first dual regenerative inlet valve, and the second dual regenerative inlet valve are 각각 쌍을 이루어 직렬로 연결되는 에어 건조 장치.Air drying units each connected in series in pairs. 청구항 7에 있어서,The method of claim 7, 상기 제1 듀얼 작동 밸브, 상기 제2 듀얼 작동 밸브, 상기 제1 듀얼 재생 유입 밸브, 그리고 상기 제2 듀얼 재생 유입 밸브는The first dual actuation valve, the second dual actuation valve, the first dual regenerative inlet valve, and the second dual regenerative inlet valve are 각각 쌍을 이루는 밸브들이 동시에 온, 오프로 제어되도록 연결되는 컨트롤러를 포함하는 에어 건조 장치.And a controller coupled to each pair of valves to be controlled on and off simultaneously.
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