KR101012689B1 - 정전척의 전극부 체결장치 - Google Patents

정전척의 전극부 체결장치 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 정전척의 전극부 체결장치는 정전척; 상기 정전척과 결합되는 정전척베이스; 상기 정전척 베이스에 설치되며, 정전척과 맞닿는 전극부; 상기 전극부에 설치되는 높이조절부를 포함하되, 상기 높이조절부에 의해 상기 전극부는 상기 정전척과 정전척 베이스 사이에서 높이조절이 되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 정전척의 전극부 체결장치에 의하면 전극부에 설치된 스프링력에 의해서 정전척과 전극부는 계속 밀착상태로 있으며 오링 또한 눌러진 상태이므로 실링이 되면서 전극부의 전극을 통하여 정전척으로 전압을 공급할 수 있다.
정전척, 스프링

Description

정전척의 전극부 체결장치 {Electrode fixing device for Electro Static Chuck}
본 발명은 본 발명은 정전척의 전극부 체결장치에 관한 것으로, 전극부가 정전척 베이스 내부에서 동일 높이로 체결되는 정전척의 전극부 체결장치에 관한 것이다.
본 발명은 정전척의 전극부 체결장치에 관한 것으로, 보다 상세히는 leak(누출)이 없고 많은 전극부가 동일 높이로 체결되는 전극부를 가지는 정전척의 전극부 체결장치에 관한 것이다.
도2는 종래의 두장의 glass를 합착하는 합착장치의 단면도 이다.
도 2에서 도시된 바와 같이 합착 장치에서 정전척(40)에 전압을 공급하는 전극은 정전척(40)의 밑면과 전극부(50)의 접촉을 통하여 전압을 공급하게 된다..
이때, 전극부(50)는 정전척 베이스(30)에 설치되어 있으며, 전극부(50)는 진공내에 설치되므로 정전척(40)과 접촉하는 전극부(50)의 접촉부는 sealing(실링)이 되어야 한다.
이때, 전극부(50)의 체결높이가 정전척 베이스(30)보다 낮게 되면 O-ring(오링)이 눌려지지 않아서 sealing이 되지 않는다.
sealing이 되지 않을 경우에는 leak(43)이 발생하여 정전척(40)과 접촉하는 전극부(50)의 접촉부에서 아킹이 발생하게 된다.
이와 같은 현상은 glass의 합착공정에서 대단히 위험하며 또한 전극부(50)가 손상되어 전극부(50) 자체를 교체해 주어야 하므로 비용손실이 큰 문제점이 있었다.
전극부(50)를 정전척 베이스(30)에 체결시 전극부(50)의 높이가 정전척 베이스(30)의 높이보다 높게 되면 sealing은 되지만 정전척(40)이 높게되어 평면도가 높아지는 현상(41)이 발생한다.
이 경우, glass가 정전척 면에 흡착되어 굴곡이 생기기 때문에 정렬시 불량이 발생하게 되는 문제점이 있다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위해, 현재 전극부(50)를 정전척 베이스(30)에 체결할 때 가공공차를 주어서 체결높이를 맞추고 있다.
하지만 정전척(40) 1개당 2개의 전극부(50)가 필요하므로 합착장치가 대형화 되어질수록 정전척(40)의 수량이 늘어나는 만큼 전극부(50)도 늘어나게 되어서 많은 수량의 전극부의 가공공차를 맞추어야 한다.
이와 같이 합착장치가 대형화 되어질수록 가공공차를 맞추는 것은 점점 더 어려운 작업이며 작업시간과 가공비용 등의 면에서 효율적이지 못할 뿐만 아니라 전극부(50)의 높이가 일정하지 않은 경우에는 전극부(50) 또는 정전척 베이스(30) 를 재가공 해야하는 문제점이 있다.
정전척의 전압을 공급하는 전극부의 체결장치에 있어서, 전극부의 가공공차를 맞추는 작업이 필요없이, 전극부가 정전척 베이스 내부에서 동일 높이로 체결되도록 하는데 그 목적이 있다.
본 발명에 따른 정전척의 전극부 체결장치는 정전척; 상기 정전척과 결합되는 정전척베이스; 상기 정전척 베이스에 설치되며, 정전척과 맞닿는 전극부; 상기 전극부에 설치되는 높이조절부를 포함하되, 상기 높이조절부에 의해 상기 전극부는 상기 정전척과 정전척 베이스 사이에서 높이조절이 되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 정전척의 전극부 체결장치는 정전척 베이스에 형성되는 걸림부와 관통부; 상기 전극부에 형성되는 이동부와 스프링이 삽입되는 삽입부; 상기 정전척과 상기 정전척 베이스에 각각 형성되는 나사삽입부를 포함하되, 상기 정전척과 상기 정전척 베이스는 볼트에 의해 체결되며, 상기 정전척과 상기 정전척 베이스의 체결시 상기 스프링의 하부는 상기 걸림부에 걸리고, 상기 이동부는 상기 관통부 내부를 이동하게 되는 것을 특징으로 한다.
정전척이 정전척 베이스에 조립되면서 정전척은 전극부의 O-ring을 먼저 눌러주고 그 다음 전극부의 스프링이 눌러짐으로서 정전척이 정전척 베이스에 완전히 밀착되게 된다.
또한 스프링력에 의해서 정전척과 전극부는 계속 밀착상태로 있으며 O-ring 또한 눌러진 상태이므로 sealing이 되면서 전극부의 전극을 통하여 정전척으로 전압을 공급할 수 있다.
본 발명에 따른 정전척의 전극부 체결장치에 의하면 다음과 같은 이점이 있다.
전극부에 설치된 스프링력에 의해서 정전척과 전극부는 계속 밀착상태로 있으며 O-ring 또한 눌러진 상태이므로 sealing이 되면서 전극부의 전극을 통하여 정전척으로 전압을 공급할 수 있다.
이때, 상기 스프링에 의해 정전척과 전극부가 sealing이 되기 때문에 leak이 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 전극부가 전정척 베이스 내부에서 동일한 높이로 체결될 수 있는 이점이 있다.
이에 따라 정전척과 접촉하는 전극부의 접촉부에서 아킹이 발생하게 되는 것을 방지할 수 있으며 전극부의 높이가 정전척 베이스의 높이보다 높게 되어 평면도가 높아지는 현상을 방지할 수 있다.
또한, 전극부가 손상되어 전극부 자체를 교체해 주어야 하는 작업 전극부 베이스를 재가공해야 하는 작업의 가공비를 절감할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 일실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
참고적으로, 이하에서 설명될 본 발명의 구성들 중 종래기술과 동일한 구성에 대해서는 전술한 종래기술을 참조하기로 하고 별도의 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 합착장치의 단면도
도 2는 종래의 정전척의 전극부 체결장치의 단면도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전극부와 정전척 베이스의 단면도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정전척의 전극부 체결장치의 단면도
본 발명에 따른 정전척의 전극부 체결장치는 정전척(40); 상기 정전척(40)과 결합되는 정전척 베이스(30); 상기 정전척 베이스(30)에 설치되며, 정전척(40)과 맞닿는 전극부; 상기 전극부에 설치되는 높이조절부를 포함하되, 상기 높이조절부에 의해 상기 전극부는 상기 정전척(40)과 정전척 베이스(30) 사이에서 높이조절이 되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 정전척의 전극부 체결장치는 정전척 베이스(30)에 형성되는 걸림부(33)와 관통부(35); 상기 전극부에 형성되는 이동부(67)와 스프링(70)이 삽입되는 삽입부(65); 상기 정전척(40)과 상기 정전척 베이스(30)에 각각 형성되는 나사삽입부(47,49)를 포함하되, 상기 정전척(40)과 상기 정전척 베이스(30)는 볼트(45)에 의해 체결되며, 상기 정전척(40)과 상기 정전척 베이스(30)의 체결시 상기 스프링(70)의 하부는 상기 걸림부(33)에 걸리고, 상기 이동부(67)는 상기 관통부(35) 내부를 이동하게 되는 것을 특징으로 한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 하부커버(2)와; 상기 하부커버(2)의 상부에 마련되는 상부 챔버(3) 및 하부 챔버(4)와; 상기 상부 챔버(3)의 상부에 마련되어 내부 구성물의 유지 보수시 개방되도록 하는 상부커버(1); 상기 상부 챔버(3) 및 하부 챔버(4)와 수평하게 각각 마련되는 상정반(11) 및 하정반(13)과; 상기 상정반(11)의 하단에 마련되는 정전척 베이스(30) 및 정전척(40)과; 상기 하정반(13)의 상단에 마련되는 정전척 베이스(30) 및 정전척(40)으로 이루어진다.
그리고 상기 상부 챔버(3)와 상기 하부 챔버(4)의 내부에 glass를 반입 또는 반출시 상기 상정반(11)을 승강시키는 승강수단인 상정반상승수단(5)이 상부 챔버(3)의 저면 모서리 영역에 마련된다.
그리고 상기 상정반(11)의 하부에 마련된 정전척 베이스(30) 및 정전척(40)와 상기 하정반(13)의 상부에 마련된 정전척 베이스(30) 및 정전척(40)에는 로딩 된 glass가 각각 위치된다.
여기서, 상기 glass의 합착 수행 전에 정전척 베이스(30) 및 정전척(40)에 배치된 glass를 정확한 위치로 정렬하는 스테이지 얼라인(Align) 과정이 포함되며, 이러한 glass의 정렬은 하부 챔버(13)의 이웃된 측벽 세 지점에 접한 상태로 마련되는 정렬수단에 의해 실시된다.
이러한 정렬수단은 적층된 상, 하부 챔버(3,4) 중 하부 챔버(4)에 접한 상태로 하부커버(2)의 상면에 고정되며, 편심되게 마련되는 캠(Cam)(7)과, 상기 캠(7)에 회전력을 부여하는 구동부(6)로 이루어진다.
한편 하부 챔버(4)에는 선형 액츄에이터(Linear Actuator)(9)가 마련되어 상 부 챔버(3)와의 갭 조정을 수행하게 된다.
또한, 체결수단(15)은 하부커버(2)와 하정반(13) 사이, 상부커버(1)와 상정반(11) 사이에 마련된다.
상기 체결수단(15)은 스프링과 볼트(도면 상에 미도시)에 의해 상정반과 하정반 사이의 갭(Gap) 평면 조정을 수행하게 된다.
평면조절장치(17)은 하정반(13)과 정전척 베이스(30) 사이, 상정반(11)과 정전척 베이스(30) 사이에 마련된다.
상기 정전척(40)과 상기 정전척 베이스(30)에는 각각 제1 나사삽입부(47), 제2 나사삽입부(49)가 형성되며, 볼트(45)에 의해 서로 체결된다.
상기 정전척 베이스(30)에는 안착부(31)가 형성되며, 상기 안착부(31)는 상기 정전척 베이스(30)를 관통하는 관통공의 형상으로 이루어진다.
상기 안착부(31)의 내부형상은 후술할 전극부 몸체(60)의 형상에 대응되도록 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 안착부(31)의 하부, 즉 상기 정전척 베이스(30)의 하부에는 상기 안착부(31)의 내부로 돌출된 돌기 형상의 걸림부(33)가 형성된다.
상기 걸림부(33)에 의해 상기 안착부(31)의 하부에는 상기 안착부(31)의 단면보다 작은 관통부(35)가 형성된다.
상기 정전척(40)과 상기 정전척 베이스(30)가 체결되는 경우, 상기 걸림부(33)에는 상기 스프링(70)이 걸리게 되고, 상기 관통부(35)에는 상기 이동부(67) 가 삽입되게 된다.
정전척(40)에 전압을 공급하는 전극부는 전극부 몸체(60), 전극(71), 스프링(70), 그리고 Leak 방지용 O-ring(73) 등으로 이루어진다.
상기 전극부 몸체(60)는 판부재와 상기 판부재의 테두리부에 형성된 측벽부 그리고 상기 판부재의 중앙부에 형성되는 원기둥 형상의 이동부(67)로 이루어진다.
상기 판부재, 테두리부, 그리고 이동부(67)의 단면형상은 다양하게 이루어질 수 있지만, 단면이 원형상으로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 판부재는 상면(61)과 하면(62)으로 이루어지며, 상기 하면(62)에는 측벽부가 형성된다.
상기 측벽부는 외측면(63)과 내측면(64)으로 이루어지며, 상기 하면(62)의 테두리부를 따라 상기 전극부 몸체(60)의 하부방향으로 형성된다.
상기 내측면(64), 하면(62), 그리고 이동부(67)의 측면에 의해 홈 형상의 삽입부(65)가 형성된다.
상기 삽입부(65)에는 스프링(70)이 삽입 설치되고, 상기 스프링(70)에 형성된 중공부는 상기 이동부(67)에 삽입설치 됨으로서, 상기 스프링(70)은 상기 전극부 몸체(60)에 설치되게 된다.
이때, 상기 스프링(70)은 극하중에도 견디는 스프링(70)을 사용한다.
상기 전극부 몸체(60)의 상면(61)에는 안착홈(66)이 형성되며, 상기 안착홈(66)에는 Leak 방지용 O-ring(73)이 설치된다.
상기 전극(71)은 상기 전극부 몸체(60)에 삽입 설치되며, 상기 정전척(40)과 정전척 베이스(30)의 체결시 정전척(40)과 접촉하게 된다.
상기 이동부(67)의 하부에는 홈 형상의 체결홈(69)가 형성된다.
정전척 베이스(30)에 정전척 몸체(60)를 삽입한 다음 상기 체결홈에 스냅링과 같은 재료를 설치하게 된다.
이 경우, 스냅링에 의해 정전척 몸체(60)가 정전척 베이스(30)에 고정될 수 있으며, 이에 따라 정전척(40)이 정전척 베이스(30)에 조립시 정전척(40)으로 전극부 몸체(60)를 누르는 힘을 감소시킬 수 있다.
또한, 정전척(40)이 정전척 베이스(30)에 조립과정에서 정전척(40)이 정전척 베이스(30) 사이의 간격을 줄일 수 있기 때문에 체결되는 볼트의 길이를 감소시킬 수 있는 이점이 있다.
본 발명에 따른 정전척의 전극부 체결장치의 체결과정을 설명하면 다음과 같다.
도4 에서 도시된 바와 같이 상기 정전척 몸체(60)은 스프링(70)이 체결된 상태에서 상기 안착부(31)내부로 삽입 설치된다.
상기 정전척(40)이 정전척 베이스(30)에 조립되면서 정전척(40)은 전극부의 O-ring(73)을 먼저 눌러주고 그 다음 전극부의 스프링(70)이 눌러짐으로서 정전척(40)이 정전척 베이스(30)에 완전히 밀착되게 된다.
이때, 스프링(70)의 하부는 걸림부(33)에 걸리게 되고, 상기 이동부(67)는 상기 관통부(35) 내부를 이동하므로써, 전극부 몸체가 정전척 베이스 내부에서 일 정한 높이를 유지할 수 있도록 한다.
또한 스프링(70)력에 의해서 정전척(40)과 전극부는 계속 밀착상태로 있으며 O-ring(73) 또한 눌러진 상태이므로 sealing이 되면서 전극부의 전극(71)을 통하여 정전척(40)으로 전압을 공급할 수 있다.
이에 따라, 전극부로 인한 평면도 불량이 없으며, 전극부가 조립되는 부분에 가공공차가 필요 없고 가공모양 또한 간단하여 가공비를 절감할 수 있다.
따라서, 모든 정전척 베이스(30)면에 체결되는 전극부는 정전척(40)이 체결될 경우 평면도가 일정하며 leak가 없으며 가공비 또한 절감할 수 있다.
본 발명에 따른 정전척의 전극부의 체결장치는 전극부의 가공공차를 맞추는 작업이 필요없이, 전극부가 정전척 베이스 내부에서 동일 높이로 체결되도록 하는데 적합하다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 합착장치의 단면도
도 2는 종래의 정전척의 전극부 체결장치의 단면도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전극부와 정전척 베이스의 단면도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정전척의 전극부 체결장치의 단면도
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
30: 정전척 베이스 40: 정전척
50: 전극부 60: 전극부 몸체
65: 삽입부 67: 이동부
70: 스프링

Claims (2)

  1. 삭제
  2. 정전척;
    상기 정전척과 결합되는 정전척 베이스;
    상기 정전척 베이스에 설치되며, 정전척과 맞닿는 전극부;
    상기 전극부에 설치되는 스프링;
    상기 정전척 베이스에 형성되는 걸림부와 관통부;
    상기 전극부에 형성되는 이동부와 스프링이 삽입되는 삽입부;
    상기 정전척과 상기 정전척 베이스에 각각 형성되는 나사삽입부를 포함하되,
    상기 스프링에 의해 상기 전극부는 상기 정전척과 정전척 베이스 사이에서 높이조절되며,
    상기 정전척과 상기 정전척 베이스는 볼트에 의해 체결되며,
    상기 정전척과 상기 정전척 베이스의 체결시 상기 스프링의 하부는 상기 걸림부에 걸리고, 상기 이동부는 상기 관통부 내부를 이동하게 되는 것을 특징으로 하는 정전척의 전극부 체결장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20070069463A (ko) * 2005-12-28 2007-07-03 주식회사 코미코 정전척 및 히터
KR20080022760A (ko) * 2006-09-07 2008-03-12 주식회사 에이디피엔지니어링 기판 합착 장치 및 그 방법

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