KR101008955B1 - High-frequency/high-performance phase shifters using pin diodes - Google Patents

High-frequency/high-performance phase shifters using pin diodes Download PDF

Info

Publication number
KR101008955B1
KR101008955B1 KR1020090061497A KR20090061497A KR101008955B1 KR 101008955 B1 KR101008955 B1 KR 101008955B1 KR 1020090061497 A KR1020090061497 A KR 1020090061497A KR 20090061497 A KR20090061497 A KR 20090061497A KR 101008955 B1 KR101008955 B1 KR 101008955B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
signal
pin
inductor
pin diode
voltage
Prior art date
Application number
KR1020090061497A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20110003960A (en
Inventor
양경훈
양정길
김문호
Original Assignee
한국과학기술원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국과학기술원 filed Critical 한국과학기술원
Priority to KR1020090061497A priority Critical patent/KR101008955B1/en
Publication of KR20110003960A publication Critical patent/KR20110003960A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101008955B1 publication Critical patent/KR101008955B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00Auxiliary devices
    • H01P1/18Phase-shifters
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof  ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/86Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable only by variation of the electric current supplied, or only the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched
    • H01L29/861Diodes
    • H01L29/868PIN diodes
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H7/00Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
    • H03H7/01Frequency selective two-port networks
    • H03H7/0115Frequency selective two-port networks comprising only inductors and capacitors

Abstract

본 발명은 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로에 관한 것으로서, 입력포트(201) 및 출력포트(215)와 접속되어 직류 전압 및 전류를 분리하는 금속-절연체-금속 커패시터(202, 214)와, 금속-절연체-금속 커패시터(202, 214)와 접속되어 PIN 다이오드(208, 209, 210, 211)의 상태 제어를 위해 그라운드와 접지된 바이어스(204, 212)와 접속되어 직류 전압을 회로로 인가시키고, 교류 신호를 차단하여 신호의 누출을 방지하는 제1 인덕터(203, 231)와, 바이어스(204, 212)의 전압에 따라 교번되어 신호의 흐름을 조절하는 PIN 다이오드(208, 209, 210, 211)와, π 형태의 고주파 통과필터(high-pass filter)의 기능을 수행하여 PIN 다이오드(208, 210)로부터 인가받은 신호의 위상을 90˚ 앞서도록 하는(phase leading) 제2 인덕터(205, 206) 및 제1 커패시터(207)와, π 형태의 저주파 통과필터(low-pass filter)의 기능을 수행하여 PIN 다이오드(209, 211)로부터 인가받은 신호의 위상을 90˚ 뒤서도록 하는(phase lagging) 제3 인덕터(216, 217) 및 제2 커패시터(218, 219), 및 제3 인덕터(216, 217)와 제2 커패시터(218, 219)로부터 인가되는 교류 신호의 누출을 차단하는 제4 인덕터(220)를 포함한다.The present invention relates to an ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode, wherein the metal-insulator-metal capacitors 202 and 214 are connected to an input port 201 and an output port 215 to separate DC voltage and current. And, connected to the metal-insulator-metal capacitors 202 and 214, to ground and grounded biases 204 and 212 for state control of the PIN diodes 208, 209, 210, and 211 to direct current voltage into the circuit. The first inductors 203 and 231 for applying an AC signal and blocking the AC signal to prevent leakage of the signal, and the PIN diodes 208, 209 and 210 that are alternately controlled according to the voltages of the biases 204 and 212. 211 and a second inductor 205 which performs a function of a high-pass filter having a π shape to lead the phase of the signal received from the PIN diodes 208 and 210 by 90 °. 206 and the first capacitor 207, a low frequency barrel of the form A third inductor 216, 217 and a second capacitor 218 that perform a function of a low-pass filter to phase lagging a signal applied from the PIN diodes 209 and 211 by 90 °. 219, and a fourth inductor 220 that blocks leakage of an AC signal applied from the third inductors 216 and 217 and the second capacitors 218 and 219.

핀 다이오드, 위상 변위기 Pin diode, phase shifter

Description

PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로{HIGH-FREQUENCY/HIGH-PERFORMANCE PHASE SHIFTERS USING PIN DIODES}High frequency band high performance phase shifter circuit using PIN diode {HIGH-FREQUENCY / HIGH-PERFORMANCE PHASE SHIFTERS USING PIN DIODES}

본 발명은 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 고주파 무선 통신 및 레이더 시스템에 필수적인 위상 변위기 회로운용에 있어 초고주파 대역에서 고성능의 위상 변위기 특성을 확보하는 기술에 관한 것이다.The present invention relates to a high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode, and more particularly, a technique for securing high performance phase shifter characteristics in a high frequency band in a phase shifter circuit operation essential for high frequency wireless communication and radar systems. It is about.

최근에 다양한 상업 위성 시스템 들이 고속의 데이터 전송을 위해 제안되고 있다. 이러한 초고속 시스템에서는 위상배열안테나(phased-array antenna)를 사용하는데 그 안에는 수천 개의 위상 변위기가 마이크로웨이브 모놀리식 단일 집적 회로 (monolithic microwave integrated circuits, MMIC) 형태로 이용된다. 그러므로 저면적의 고성능 위상 변위기는 이러한 시스템의 핵심 부품이라고 할 수 있다.Recently, various commercial satellite systems have been proposed for high speed data transmission. These high-speed systems use phased-array antennas, in which thousands of phase shifters are used in the form of microwave monolithic microwave integrated circuits (MMICs). Therefore, a low-performance, high-performance phase shifter is a key component of such a system.

과거 군용 무선통신에 이용된 위상 변위기는 GaAs pHEMT 기술을 바탕으로 발전해 왔다. 현재 능동 위상변위 시스템이 기존의 GaAs pHEMT 기술을 통하여 무선 통신용 상용 제품에 이용되기 시작하였다. In the past, phase shifters used in military wireless communications have been developed based on GaAs pHEMT technology. Active phase shift systems are now being used in commercial products for wireless communications through existing GaAs pHEMT technology.

그러나, GaAs pHEMT를 스위칭 소자로 이용할 경우 고주파 특성을 나타내는 차단 주파수 (cut-off frequency)가 2 THz 이내로 제한되어 전체적인 위상 변위기의 삽입손실, 반사손실 등의 성능이 저하되었다 [Ref: (1)Z. Yonghong, F. Zhenghe, F. Yong, "Ka-band 4-bit phase shifter with low phase deviation," International Conference on Microwave and Millimeter Wave Technology Preceedings, 2004. (2) E. Taniguchi, M. Hieda, H. Kurusu, M. Funada, Y. Iyama, and T. Takagi, "A Ku-band matched embedded-FET phase shifter", European Microwave Conference, 1999]However, when the GaAs pHEMT is used as a switching element, the cut-off frequency, which exhibits high frequency characteristics, is limited to within 2 THz, resulting in degradation of performance such as insertion loss and reflection loss of the overall phase shifter [Ref: (1) Z. Yonghong, F. Zhenghe, F. Yong, "Ka-band 4-bit phase shifter with low phase deviation," International Conference on Microwave and Millimeter Wave Technology Preceedings, 2004. (2) E. Taniguchi, M. Hieda, H. Kurusu, M. Funada, Y. Iyama, and T. Takagi, "A Ku-band matched embedded-FET phase shifter", European Microwave Conference, 1999]

또한, 현재 0.25 μm 이하의 CMOS 기술을 마이크로파 위상 변위기에 적용하기 위해 연구가 활발하게 진행되고 있다. 그러나 이 기술 또한 차단 주파수가 1 THz 이하로 제한되는 등의 고주파 소자 특성의 한계로 인해 20 GHz 이상의 대역에서는 그 성능이 크게 제한된다. [D. Kang, H. Lee, and S. Hong, "Ku-band MMIC phase shifter using a parallel resonator with 0.18-μm CMOS technology," IEEE Trans. Microwave Theory Tech., vol. 54, no. 1, pp. 294-301, Jan. 2006. D. Kang, and S. Hong, "A 4-bit CMOS phase shifter using distributed active swiches," IEEE Trans. Microwave Theory Tech., vol. 55, no. 7, pp. 1476-1483, July 2007.]In addition, research is being actively conducted to apply a CMOS technology of 0.25 μm or less to a microwave phase shifter. However, this technique also greatly limits its performance in the band above 20 GHz due to limitations in high-frequency device characteristics such as cutoff frequency of less than 1 THz. [D. Kang, H. Lee, and S. Hong, "Ku-band MMIC phase shifter using a parallel resonator with 0.18-μm CMOS technology," IEEE Trans. Microwave Theory Tech. , vol. 54, no. 1, pp. 294-301, Jan. 2006. D. Kang, and S. Hong, "A 4-bit CMOS phase shifter using distributed active swiches," IEEE Trans. Microwave Theory Tech. , vol. 55, no. 7, pp. 1476-1483, July 2007.]

또 다른 위상 변위기 제작 방법으로 MEMS 소자를 스위칭 소자로 이용하여 신호의 위상을 변위시키는 방법이 있다. 이 기술은 삽입손실이 작은 장점이 있지만 MEMS 소자 제작이 매우 어렵기 때문에 다른 무선 통신용 회로와의 결합이 어렵고 가격이 증가하는 단점이 존재한다. [B. Pillans, S. Eshelman, A, Malczewski, J. Ehmke, and C. Goldsmith, "Ka-band RF MEMS phase shifters," IEEE Microwave and Guided Wave Letters, vol. 9, no. 12, pp. 520-522, Dec. 1999. J. Hayden, and G. Rebeiz, "Very low-loss distributed X-band and Ka-band MEMS phase shifters using metal-air-metal capacitors,"IEEE Trans. Microwave Theory Tech., vol. 51, no. 1, pp. 309-314, Jan. 2003.]Another method of fabricating a phase shifter is to shift the phase of a signal using a MEMS device as a switching device. This technology has the advantage of small insertion loss, but it is very difficult to manufacture MEMS devices, which makes it difficult to combine with other wireless communication circuits and increases the cost. [B. Pillans, S. Eshelman, A, Malczewski, J. Ehmke, and C. Goldsmith, "Ka-band RF MEMS phase shifters," IEEE Microwave and Guided Wave Letters , vol. 9, no. 12, pp. 520-522, Dec. 1999. J. Hayden, and G. Rebeiz, "Very low-loss distributed X-band and Ka-band MEMS phase shifters using metal-air-metal capacitors," IEEE Trans. Microwave Theory Tech. , Vol. 51, no. 1, pp. 309-314, Jan. 2003.]

결론적으로, 위상 변위기 구현에 있어서 스위칭 소자의 선택이 전체 회로의 특성 및 가격 등을 결정하는 중요 요소라고 할 수 있다.In conclusion, the selection of switching elements in the phase shifter implementation is an important factor in determining the characteristics and price of the entire circuit.

무선통신 시장이 활성화되면서 무선통신시스템이 대중화되었고 사용자가 늘어나게 되었다. 따라서 대량의 통신용량을 수용하기 위해 사용주파수가 점점 높아지고 있다. 따라서 정보화 사회의 통신수단인 무선통신기술에서 신호를 주고받는 기능을 하는 송수신부품은 가장 중요한 부품의 하나로 시스템의 성능을 좌우하므로 시스템의 경쟁력을 확보하기 위해서는 부품의 집적에 의한 소형화, 저가격화 및 고기능화가 요구되고 있다.As the wireless communication market became active, wireless communication systems became popular and the number of users increased. Therefore, the frequency of use is gradually increasing to accommodate a large amount of communication capacity. Therefore, the transmission / reception component that transmits and receives signals in the wireless communication technology, which is the communication means of the information society, is one of the most important parts and influences the performance of the system. Is required.

고주파 반도체 소자는 이렇게 위상배열 레이더 시스템(phased-array radar system)에 주로 응용되는데, 특히 위상 변위기는 신호의 위상을 변화시켜 방사되는 빔의 방향을 조절하는 필수적인 회로이다. 이렇게 위상배열 레이더 시스템에서 핵심 회로인 위상 변위기는 기존의 HEMT(high electron mobility transistor) 또는 MESFET(metal semiconductor field effect transistor)과 같은 FET(field effect transistor)소자를 기반으로 제작이 이루어졌다.This high frequency semiconductor device is mainly applied to a phased-array radar system. In particular, the phase shifter is an essential circuit for controlling the direction of the emitted beam by changing the phase of the signal. The phase shifter, which is a key circuit in a phased array radar system, is manufactured based on a field effect transistor (FET) device such as a high electron mobility transistor (HEMT) or a metal semiconductor field effect transistor (MESFET).

그러나, 이러한 FET 기반의 위상 변위기의 경우, 소자의 성능에 따라 고주 파 대역에서의 위상 변위기 특성 변수인 삽입손실(insertion loss), 반사손실(retrun loss), 및 평균 제곱근 위상 에러(Root mean square phase error)가 여전히 큰 문제점이 있다.However, in the case of such FET-based phase shifters, insertion loss, retrun loss, and root mean square phase error, which are the characteristics of the phase shifter in the high frequency band, are determined according to the performance of the device. Square phase error is still a big problem.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은, 고주파 특성이 우수한 PIN 다이오드를 이용하여 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 특성을 확보하고자 한다. 즉, PIN 다이오드를 사용하여 고주파 대역에서 위상 변위기 특성 변수인 삽입손실 (insertion loss), 반사손실 (return loss), 및 평균 제곱근 위상 에러(Root mean square phase error)를 기존의 스위치 회로에 대비하여 향상시킴에 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention, to secure the characteristics of ultra-high frequency band high performance phase shifter using a PIN diode excellent in high frequency characteristics. In other words, by using the PIN diode, insertion loss, return loss, and root mean square phase error, which are the characteristics of the phase shifter in the high frequency band, are compared with the conventional switch circuit. The purpose is to improve.

이러한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 제1 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로는, 입력포트(201) 및 출력포트(215)와 접속되어 직류 전압 및 전류를 분리하는 금속-절연체-금속 커패시터(202, 214)와, 금속-절연체-금속 커패시터(202, 214)와 접속되어 PIN 다이오드(208, 209, 210, 211)의 상태 제어를 위해 그라운드와 접지된 바이어스(204, 212)와 접속되어 직류 전압을 회로로 인가시키고, 교류 신호를 차단하여 신호의 누출을 방지하는 제1 인덕터(203, 231)와, 바이어스(204, 212)의 전압에 따라 교번되어 신호의 흐름을 조절하는 PIN 다이오드(208, 209, 210, 211)와, π 형태의 고주파 통과필터(high-pass filter)의 기능을 수행하여 PIN 다이오드(208, 210)로부터 인가받은 신호의 위상을 90˚ 앞서도록 하는(phase leading) 제2 인덕터(205, 206) 및 제1 커패시터(207)와, π 형태의 저주파 통과필터(low-pass filter)의 기능을 수행하여 PIN 다이오드(209, 211)로부터 인가받은 신호의 위상을 90˚ 뒤서도록 하는(phase lagging) 제3 인덕터(216, 217) 및 제2 커패시터(218, 219), 및 제3 인덕터(216, 217)와 제2 커패시터(218, 219)로부터 인가되는 교류 신호의 누출을 차단하는 제4 인덕터(220)를 포함한다.The high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode according to the first embodiment of the present invention for achieving the technical problem is connected to the input port 201 and the output port 215 to separate the DC voltage and current Metal-insulator-metal capacitors 202, 214 and metal-insulator-metal capacitors 202, 214 are connected to ground and grounded biases 204 for state control of PIN diodes 208, 209, 210, and 211. , The first inductors 203 and 231 connected to the circuit 212 and applying a DC voltage to the circuit and blocking the AC signal to prevent leakage of the signal, and the flow of the signal alternately according to the voltages of the biases 204 and 212. The PIN diodes 208, 209, 210, and 211, which control the voltage, and the high-pass filter of π type, perform a function of 90 [deg.] Ahead of the phase of the signal received from the PIN diodes 208,210. Second inductors 205 and 206 that are phase leading and The third capacitor performs a function of the first capacitor 207 and a low-pass filter having a π shape to phase-lag the phase of the signal received from the PIN diodes 209 and 211 by 90 °. Fourth inductor 220 to block leakage of AC signals applied from inductors 216 and 217 and second capacitors 218 and 219 and third inductors 216 and 217 and second capacitors 218 and 219. It includes.

또한, 본 발명의 제2 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로는, 입력포트(301) 및 출력포트(308)와 접속되어 직류 전압 및 전류를 분리하는 금속-절연체-금속 커패시터(302, 307)와, 바이어스(310)와 접속되어 직류 전압을 회로에 인가시키고 교류 신호를 차단하여 신호의 누출을 방지하는 제1 인덕터(311)와, 그라운드와 접속되어 교류 신호의 누출을 방지하는 제2 인덕터(305)와, 바이어스(310)의 전압에 따라 교번되어 신호의 흐름을 조절하는 PIN 다이오드(304, 306, 314), 및 π 형태의 고주파 통과필터(high-pass filter)의 기능을 수행하여 PIN 다이오드(304, 306)로부터 인가받은 신호의 위상을 90˚, 45˚ 또는 22.5˚ 앞서도록 하는(phase leading) 제3 인덕터(303, 309) 및 PIN 다이오드(304, 306)를 포함한다.In addition, the ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using the PIN diode according to the second embodiment of the present invention is connected to the input port 301 and the output port 308 is a metal-insulator-metal to separate the DC voltage and current A first inductor 311 connected to the capacitors 302 and 307 and a bias 310 to apply a DC voltage to the circuit and to block the AC signal to prevent leakage of the signal; and a ground to prevent leakage of the AC signal. The second inductor 305, the PIN diodes 304, 306, and 314, which are alternately adjusted according to the voltage of the bias 310, and the high-pass filter of π type. The third inductors 303 and 309 and the PIN diodes 304 and 306 which perform phase functions to lead the phases of the signals received from the PIN diodes 304 and 306 by 90, 45, or 22.5 degrees. Include.

또한, 본 발명의 제3 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로는, 바이어스(408)와 접속되어 직류 전압을 회로에 인가시키고 교류 신호를 차단하여 신호의 누출을 방지하는 제1 인덕터(409)와, 그라운드와 접속되어 교류 신호의 누출을 방지하는 제2 인덕터(402, 405)와, 바이어스(408) 의 전압에 따라 교번되어 신호의 흐름을 조절하는 PIN 다이오드(403, 404, 412), 및 T 형태의 고주파 통과필터(high-pass filter)의 기능을 수행하여 PIN 다이오드(403, 404)로 신호를 통과시킴과 아울러 위상을 90˚, 45˚ 또는 22.5˚ 앞서도록 하는 PIN 다이오드(403, 404) 및 제3 인덕터(407)를 포함한다.In addition, the ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using the PIN diode according to the third embodiment of the present invention is connected to the bias 408 to apply a DC voltage to the circuit and to block the AC signal to prevent leakage of the signal. 1 inductor 409, second inductors 402 and 405 connected to ground to prevent leakage of AC signals, and PIN diodes 403 and 404 that are alternating according to the voltage of bias 408 to regulate the flow of the signal. , 412), and a T-shaped high-pass filter to pass the signal through the PIN diodes 403 and 404, and to advance the phase by 90, 45, or 22.5 degrees. Diodes 403 and 404 and a third inductor 407.

또한, 본 발명의 제4 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로는, 바이어스(511)와 접속되어 직류 전압을 회로에 인가시키고 교류 신호를 차단하여 신호의 누출을 방지하는 제1 인덕터(507)와, 그라운드와 접속되어 교류 신호의 누출을 방지하는 제2 인덕터(503, 509)와, 입력포트(501) 및 출력포트(510)와 각각 접속되어 양단의 직류 전압 및 전류를 분리하는 금속-절연체-금속 커패시터(505)와, 바이어스(511)의 전압에 따라 교번되어 신호의 흐름을 조절하는 PIN 다이오드(502, 508, 506)와, 신호를 통과시킴과 아울러 위상을 5.625˚ 또는 2.8125˚ 뒤서도록(phase lagging) 하는 제3 인덕터(504), 및 바이어스(511)의 전압에 따라 역방향으로의 신호 전환 시 신호를 통과시킴과 아울러 위상을 5.625˚ 또는 2.8125˚ 앞서도록(phase leading) 하는 PIN 다이오드(506)를 포함한다.In addition, the ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using the PIN diode according to the fourth embodiment of the present invention is connected to a bias 511 to apply a DC voltage to the circuit and block the AC signal to prevent leakage of the signal. The first inductor 507, the second inductors 503 and 509 connected to the ground to prevent leakage of AC signals, and the input port 501 and the output port 510, respectively, are connected to the DC voltage and current at both ends. Separate metal-insulator-metal capacitor 505, PIN diodes 502, 508, and 506, alternating according to the voltage of bias 511, to regulate the flow of the signal; Alternatively, the third inductor 504 phase lagging 2.8125 degrees and the phase leading the signal while passing the signal in the reverse direction according to the voltage of the bias 511 and the phase leading to 5.625 degrees or 2.8125 degrees ) PIN DIO De 506.

그리고, 본 발명의 제5 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로는, 바이어스(911)와 접속되어 직류 전압을 회로에 인가시키고 교류 신호를 차단하여 신호의 누출을 방지하는 제1 인덕터(902)와, 그라운드 와 접속되어 교류 신호의 누출을 방지하는 제2 인덕터(909), 및 바이어스(911)의 전압에 따라 교번되어 신호의 흐름을 조절하는 PIN 다이오드(903, 905, 906, 907)를 포함한다.In addition, the ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using the PIN diode according to the fifth embodiment of the present invention is connected to a bias 911 to apply a DC voltage to the circuit and cut off an AC signal to prevent signal leakage. A first inductor 902, a second inductor 909 connected to ground to prevent leakage of AC signals, and a PIN diode 903, 905, 906 alternated according to the voltage of the bias 911 to regulate the flow of the signal. , 907).

상기와 같은 본 발명에 따르면, 고주파 특성이 우수한 PIN 다이오드를 이용하여 180˚, 90˚의 단일 비트 위상 변위기, 90˚, 45˚, 22.5˚의 단일 비트 위상 변위기, 11.25˚, 5.625˚의 단일비트 위상 변위기, 및 기준 전송선과 위상변위 전송선을 통해 원하는 주파수에서 원하는 위상변화를 도출하는 위상변위기를 제안함으로써, 우수한 반사손실과 삽입손실을 획득하고, 작은 평균 제급근 위상 에러를 갖는 다수 비트 위상 변위기를 구현토록 하며, 종래의 회로와 대비하여 작은 면적으로 위상 변위기를 구현, 즉 고성능 저면적 위상변위기를 구현하는 효과가 있다.According to the present invention as described above, the 180-degree, 90-degree single bit phase shifter, 90-degree, 45-degree, 22.5-degree single bit phase shifter, 11.25degree, 5.625degree using a PIN diode having excellent high frequency characteristics. By suggesting a single-bit phase shifter and a phase shifter that derives the desired phase change at the desired frequency through the reference transmission line and the phase shift transmission line, it obtains excellent return loss and insertion loss, and has multiple bits with small average square phase error. It is possible to implement a phase shifter, and compared with a conventional circuit, the phase shifter can be implemented with a small area, that is, a high performance low area phase shifter can be realized.

본 발명의 구체적인 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 할 것이다. 또한, 본 발명에 관련된 공지 기능 및 그 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는, 그 구체적인 설명을 생략하였음에 유의해야 할 것이다.Specific features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description based on the accompanying drawings. Prior to this, terms and words used in the present specification and claims are to be interpreted in accordance with the technical idea of the present invention based on the principle that the inventor can properly define the concept of the term in order to explain his invention in the best way. It should be interpreted in terms of meaning and concept. It is to be noted that the detailed description of known functions and constructions related to the present invention is omitted when it is determined that the gist of the present invention may be unnecessarily blurred.

먼저, 도 1 은 본 발명에 따른 위상 변위기 회로에 삽입되는 InGaAs PIN 다 이오드(이하, 'PIN 다이오드')의 전류-전압 곡선을 나타낸 도면으로 도시된 바와 같이, 순방향(forward biased)으로 시작전압(turn-on voltage)을 지나면 전압에 따라 전류가 기하급수적으로(exponentially) 증가하고 역방향(reverse biased)으로는 전압의 증가에 따라 전류가 흐르지 않는다.First, FIG. 1 is a diagram illustrating a current-voltage curve of an InGaAs PIN diode (hereinafter, referred to as a 'PIN diode') inserted into a phase shifter circuit according to the present invention. After the turn-on voltage, the current increases exponentially with the voltage and reverse current does not flow with the increase of the voltage.

여기서, PIN 다이오드는 스위칭 소자로 사용되며, 일반적으로 PIN 다이오드 사이에 I층(intrinsic layer)을 삽입하여 오프 상태에서의 커패시턴스 성분을 감소시켜 고주파 특성을 향상시키고 역방향 항복전압(reverse biased breakdown voltage)을 향상시킨 소자이다.In this case, the PIN diode is used as a switching element. In general, an I layer (intrinsic layer) is inserted between the PIN diodes to reduce capacitance in an off state, thereby improving high frequency characteristics and reducing reverse biased breakdown voltage. It is an improved device.

이하에서는 그 언급을 생략하겠으나, 본 발명에 따른 PIN 다이오드는 InGaAs PIN 다이오드를 이용하는바, 상기 PIN 다이오드는 높은 전자 이동도(electron mobility)를 갖고 밴드갭(bandgap)이 작기 때문에 높은 차단 주파수를 갖으며, 작은 시작 전압(turn on voltage) 등의 고주파 대역에서의 마이크로웨이브 모놀리식 단일집적회로(monolithic microwave integrated circuit, MMIC)에 응용되기 위한 다양한 장점을 갖는다.In the following, the description will be omitted, but the PIN diode according to the present invention uses an InGaAs PIN diode, and the PIN diode has a high cutoff frequency because of high electron mobility and small bandgap. It has various advantages for applications in microwave monolithic microwave integrated circuits (MMICs) in high frequency bands such as small turn on voltages.

아울러, 본 발명의 PIN 다이오드를 스위칭 소자로 이용하여 그 특성을 검증하였으나, 본 발명이 이에 국한되는 것은 아니며, GaAs 또는 GaN와 같은 다양한 물질의 PIN 다이오드 소자로 변형하여 적용이 가능한 것을 밝혀둔다.In addition, the characteristics of the PIN diode of the present invention is verified using a switching device, but the present invention is not limited thereto, and it is found that the present invention can be applied to a PIN diode device made of various materials such as GaAs or GaN.

또한, 상기 PIN 다이오드는 10 x 10 ㎛ㅂ의 p metal 크기를 갖으며, 전류-전압 측정 분석 결과 시작 전압이 10mA의 전류에 대해 0.5V로 측정되었고, RF측정결과 얻어진 on-state resistance와 off-state capacitance값이 각각 1.6Ω과 fF으로 분석되었다. 이는 [수학식1]에 의하여 스위치 소자의 특성을 나타내는 차단 주파수(cut-off frequency)가 5.23 THz로 도출되었으며, 이러한 결과는 상기 PIN 다이오드가 GaAs 기반의 FET에 비해 스위치 소자로서 DC와 RF특성이 매우 우수하다는 것을 반증한다.In addition, the PIN diode has a p metal size of 10 × 10 μm ㅂ, and the start-voltage measurement analysis showed that the starting voltage was measured at 0.5 V for a current of 10 mA, and the on-state resistance and off- State capacitance values were analyzed as 1.6Ω and fF, respectively. The cut-off frequency, which represents the characteristics of the switch element, is 5.23 THz, which is represented by Equation 1, and the result shows that the PIN diode has a DC and RF characteristic as a switch element compared to GaAs-based FETs. It proves very good.

[수학식1][Equation 1]

Figure 112009041238955-pat00001
Figure 112009041238955-pat00001

한편, 위상 변위기는 180˚, 90˚, 45˚, 22.5˚, 11.25˚ 및 5.625˚의 위상을 변위하는 단일 비트 위상 변위기(single-bit phase shifter)의 직렬연결로 다수 비트 위상 변위기(multi-bit phase shifter)로 구현된다. 예컨대, 4비트 위상 변위기는 180˚-90˚-45˚-22.5˚가 연결되어 22.5˚의 최소 위상 변위 단위를 기준으로 0˚ 부터 360˚사이의 16가지 상태에 대한 위상 변위 특성을 얻을 수 있고, 6비트 위상 변위기는 180˚-90˚-45˚-22.5˚-11.25˚-5.625˚가 연결되어 5.625˚의 최소 위상 변위 단위를 기준으로 0˚부터 360˚사이의 64가지 상태에 대한 위상 변위 특성을 얻을 수 있다.On the other hand, the phase shifter is a multi-bit phase shifter (single-bit phase shifter) in series with a phase shift of 180, 90, 45, 22.5, 11.25, and 5.625 degrees. -bit phase shifter). For example, the 4-bit phase shifter is connected to 180˚-90˚-45˚-22.5˚ to obtain phase shift characteristics for 16 states between 0˚ and 360˚ based on the minimum phase displacement unit of 22.5˚. The 6-bit phase shifter is connected to 180˚-90˚-45˚-22.5˚-11.25˚-5.625˚ and has a phase shift for 64 states between 0˚ and 360˚ based on the minimum phase displacement unit of 5.625˚. Characteristics can be obtained.

본 발명의 제1 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로는, 도 2 에 도시된바와 같이 PIN 다이오드를 통해 180˚ 단일 비트 위상 변위기에 대한 회로이다.The ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using the PIN diode according to the first embodiment of the present invention is a circuit for a 180 ° single bit phase shifter through the PIN diode as shown in FIG.

먼저, 금속-절연체-금속 커패시터(202, 214)는 입력포트(201) 및 출력포 트(215)와 각각 접속되어 양단의 직류 전압 및 전류를 분리한다.First, the metal-insulator-metal capacitors 202 and 214 are connected to the input port 201 and the output port 215, respectively, to separate DC voltage and current at both ends.

또한, 제1 인덕터(203, 213)는 금속-절연체-금속 커패시터(202, 214)와 접속되어 PIN 다이오드(208, 209, 210, 211)의 상태 제어를 위한 바이어스(204, 212)와 접속되어 직류 전압을 회로로 인가시키고 교류 신호를 차단하여 신호의 누출을 방지하며, PIN 다이오드(208, 209, 210, 211)는 바이어스(204, 212)의 전압에 따라 교번되어 신호의 흐름을 조절한다.In addition, the first inductor 203, 213 is connected to the metal-insulator-metal capacitors 202, 214 and the bias 204, 212 for controlling the state of the PIN diodes 208, 209, 210, 211. The DC voltage is applied to the circuit and the AC signal is blocked to prevent leakage of the signal, and the PIN diodes 208, 209, 210, and 211 are alternately adjusted according to the voltages of the biases 204 and 212 to control the flow of the signal.

또한, 제2 인덕터(205, 206)와 제1 커패시터(207)는 π 형태의 고주파 통과필터(high-pass filter)의 기능을 수행하여 PIN 다이오드(208, 210)로부터 인가받은 신호의 위상을 90˚ 앞서도록 하고(phase leading), 제3 인덕터(216, 217)와 제2 커패시터(218, 219)는 π 형태의 저주파 통과필터(low-pass filter)의 기능을 수행하여 PIN 다이오드(209, 211)로부터 인가받은 신호의 위상을 90˚ 뒤서도록 하며(phase lagging), 제4 인덕터(220)는 그라운드와 접속되어 제3 인덕터(216, 217)와 제2 커패시터(218, 219)로부터 인가되는 교류 신호의 누출을 차단한다.In addition, the second inductor 205, 206 and the first capacitor 207 perform a function of a high-pass filter having a π shape to phase 90 the signal applied from the PIN diodes 208, 210. Phase leading, and the third inductors 216 and 217 and the second capacitors 218 and 219 function as a low-pass filter having a π shape, and thus the PIN diodes 209 and 211. Phase lagging of the signal received from the second phase (phase lagging), the fourth inductor 220 is connected to the ground AC applied from the third inductor (216, 217) and the second capacitor (218, 219) Shut off signal leakage.

전술한 바와 같은 회로는 바이어스(204, 212) 전압(Vbias)의 조절을 통해 PIN 다이오드(208, 209, 210, 211)의 상태를 변경시켜 신호의 흐름을 조절할 수 있는바, 그 작동양태를 살피면 다음과 같다.The circuit as described above can control the flow of signals by changing the state of the PIN diodes 208, 209, 210, 211 through the adjustment of the bias 204, 212 voltage Vbias. As follows.

먼저, 바이어스(204, 212)의 전압을 양(+)으로 설정하면 PIN 다이오드(208, 209)가 점등됨과 아울러 PIN 다이오드(210, 211)가 소등되며, 회로의 신호가 제2 인덕터(205, 206) 및 제1 커패시터(207) 즉, π 형태의 고주파 통과 필터(high-pass filter)를 통과하여 PIN 다이오드(208, 209)를 통과한 신호의 위상이 90˚ 앞 서게 된다.First, when the voltages of the biases 204 and 212 are set to positive, the PIN diodes 208 and 209 are turned on, and the PIN diodes 210 and 211 are turned off. The phase of the signal passing through the 206 and the first capacitor 207, that is, the high-pass filter of π type and passing through the PIN diodes 208 and 209, is 90 ° ahead.

반면에, 바이어스(204, 212)의 전압을 음(-)으로 설정하면 PIN 다이오드(208, 209)가 소등됨과 아울러 PIN 다이오드(210, 211)가 점등되며, 회로의 신호가 제3 인덕터(216, 217) 및 제2 커패시터(218, 219) 즉, π 형태의 저주파 통과 필터(low-pass filter)를 통과하여 PIN 다이오드(210, 211)를 통과한 신호의 위상이 90˚ 뒤서게 된다.On the other hand, if the voltages of the biases 204 and 212 are set to negative, the PIN diodes 208 and 209 are turned off, the PIN diodes 210 and 211 are turned on, and the signal of the circuit is the third inductor 216. , 217, and the second capacitors 218 and 219, that is, a low-pass filter having a π shape, pass through the PIN diodes 210 and 211 and are 90 ° behind.

이처럼 신호의 흐름을 변화시켜 출력에서 전체 180˚의 위상을 변화시킬 수 있다. 이때, 고주파 통과 필터 및 저주파 통과 필터에 사용된 인덕터의 인덕턴스 값과 커패시터의 커패시턴스 값은, 중심 주파수에서 변화시키기 원하는 위상 값과 주파수에 대한 위상의 순간 변화량이 '0'이 되도록 하는 조건, 그리고 필터 통과 시 손실이 없는 조건에 의해 결정되며, 상기 조건들에 따라 도출된 인덕턴스와 커패시턴스 값은 아래의 [수학식2]와 같다.In this way, the signal flow can be changed to change the phase of the entire 180 ° at the output. At this time, the inductance value of the inductor used in the high pass filter and the low pass filter and the capacitance value of the capacitor are such that the phase value desired to change at the center frequency and the instantaneous change of phase with respect to the frequency are '0', and the filter It is determined by the condition that there is no loss in passing, and the inductance and capacitance values derived according to the above conditions are as shown in Equation 2 below.

[수학식2]&Quot; (2) "

Figure 112009041238955-pat00002
Figure 112009041238955-pat00002

상기 [수학식2]를 이용하여 고주파 통과 필터(high-pass filter)에서는 신호가 45˚ 앞서게 하고, 저주파 통과 필터(low-pass filter)에서는 신호가 45˚뒤서게 하여 전체 90˚의 단위 비트 위상 변위기를 구현할 수 도 있다.Using the above Equation 2, the signal is advanced 45 ° in the high-pass filter, and the signal is 45 ° in the low-pass filter. Displacers can also be implemented.

한편, 본 발명의 제2 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로는, 도 3 에 도시된바와 같이 PIN 다이오드를 통해 90˚, 45˚ 및 22.5˚ 단일 비트 위상 변위기에 대한 회로이다.On the other hand, the ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode according to the second embodiment of the present invention, as shown in Figure 3 through the PIN diode for 90 °, 45 ° and 22.5 ° single bit phase shifter Circuit.

먼저, 금속-절연체-금속 커패시터(302, 307)는 입력포트(301) 및 출력포트(308)와 각각 접속되어 양단의 직류 전압 및 전류를 분리한다.First, the metal-insulator-metal capacitors 302 and 307 are connected to the input port 301 and the output port 308, respectively, to separate DC voltage and current at both ends.

또한, 제1 인덕터(311)는 바이어스(310)와 접속되어 직류 전압을 회로에 인가시키고 교류 신호를 차단하여 신호의 누출을 방지하며, 제2 인덕터(305)는 그라운드와 접속되어 교류 신호의 누출을 방지하고, PIN 다이오드(304, 306, 314))는 바이어스(310)의 전압에 따라 교번되어 신호의 흐름을 조절한다.In addition, the first inductor 311 is connected to the bias 310 to apply a DC voltage to the circuit and block the AC signal to prevent leakage of the signal, the second inductor 305 is connected to the ground to leak the AC signal And the PIN diodes 304, 306, 314 are alternating according to the voltage of the bias 310 to regulate the flow of the signal.

또한, 제3 인덕터(303, 309)와 PIN 다이오드(304, 306)는 π 형태의 고주파 통과필터(high-pass filter)의 기능을 수행하여 인가받은 PIN 다이오드(304, 306)로부터 인가받은 신호의 위상을 90˚, 45˚ 또는 22.5˚ 앞서도록 한다(phase leading).In addition, the third inductors 303 and 309 and the PIN diodes 304 and 306 perform a function of a high-pass filter having a π shape, so that the third inductors 303 and 309 may receive a signal from the applied PIN diodes 304 and 306. Phase leading 90 °, 45 ° or 22.5 °.

전술한 바와 같은 회로는 바이어스(310) 전압(Vbias)의 조절을 통해 PIN 다이오드(304, 306, 314)의 상태를 변경시켜 신호의 흐름을 조절할 수 있는바, 그 작동양태를 살피면 다음과 같다.The circuit as described above can control the flow of the signal by changing the state of the PIN diodes 304, 306, 314 through the adjustment of the bias (310) voltage (Vbias), the operation mode is as follows.

먼저, 바이어스(310)의 전압을 양(+)으로 설정하면 PIN 다이오드(304, 306)가 점등됨과 아울러 PIN 다이오드(314)가 소등되는데 이때, 회로의 신호가 PIN 다이오드(304, 306)를 통과함에 따라 위상변화가 발생하지 않으며, 제4 인덕터(312) 및 역방향으로 구비된 PIN 다이오드(314)가 병렬공진회로(parallel resonance circuit)를 이루게 되어 그라운드로의 신호 누설을 방지한다.First, when the voltage of the bias 310 is set to positive, the PIN diodes 304 and 306 are turned on and the PIN diode 314 is turned off. At this time, the signal of the circuit passes through the PIN diodes 304 and 306. As a result, the phase change does not occur, and the fourth inductor 312 and the PIN diode 314 provided in the reverse direction form a parallel resonance circuit to prevent signal leakage to ground.

반면에, 바이어스(310)의 전압을 음(-)으로 설정하면 PIN 다이오드(304, 306)가 소등됨과 아울러 PIN 다이오드(314)가 점등되며, 회로의 신호가 제3 인덕터(303, 309) 즉, π 형태의 고주파 통과 필터(high-pass filter)를 통과하여 90˚, 45˚ 또는 22.5˚ 앞서게 된다(phase leading).On the other hand, if the voltage of the bias 310 is set to negative (-), the PIN diodes 304 and 306 are turned off, and the PIN diode 314 is turned on, and the signal of the circuit is generated by the third inductor 303 and 309. They pass 90 °, 45 ° or 22.5 ° phase leading through a high-pass filter in the form of π.

이처럼 신호의 흐름을 변화시켜 출력에서 전체 90˚, 45˚ 또는 22.5˚의 위상을 변화시킬 수 있다. 이때, 고주파 통과 필터에 사용된 인덕터의 인덕턴스 값과 PIN 다이오드 또는 커패시터의 커패시턴스 값은, 중심 주파수에서 변화시키기 원하는 위상 값과 주파수에 대한 위상의 순간 변화량이 '0'이 되도록 하는 조건, 그리고 필터 통과 시 손실이 없는 조건에 의해 결정되며, 상기 조건들에 따라 도출된 인덕턴스와 커패시턴스 값은 아래의 [수학식3]과 같다.In this way, the signal flow can be varied to change the overall 90 °, 45 °, or 22.5 ° phase at the output. At this time, the inductance value of the inductor used in the high pass filter and the capacitance value of the PIN diode or capacitor are such that the phase value desired to be changed at the center frequency and the instantaneous change of phase with respect to the frequency are '0', and the filter passing through It is determined by the condition that there is no time loss, and the inductance and capacitance values derived according to the above conditions are as shown in Equation 3 below.

[수학식3]&Quot; (3) "

Figure 112009041238955-pat00003
Figure 112009041238955-pat00003

한편, 본 발명의 제3 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로는, 도 4 에 도시된바와 같이 상기 제3 실시예와는 또 다른 형태의 PIN 다이오드를 통해 90˚, 45˚ 및 22.5˚ 단일 비트 위상 변위기에 대한 회로이다.On the other hand, the ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using the PIN diode according to the third embodiment of the present invention, as shown in FIG. Circuit for ° and 22.5˚ single-bit phase shifters.

먼저, 제1 인덕터(409)는 바이어스(408)와 접속되어 직류 전압을 회로에 인가시키고 교류 신호를 차단하여 신호의 누출을 방지하며, 제2 인덕터(402, 405)는 그라운드와 접속되어 교류 신호의 누출을 방지하며, PIN 다이오드(403, 404, 412)는 바이어스(408)의 전압에 따라 교번되어 신호의 흐름을 조절한다.First, the first inductor 409 is connected to the bias 408 to apply a DC voltage to the circuit and cut off the AC signal to prevent leakage of the signal, and the second inductors 402 and 405 are connected to the ground to connect the AC signal. To prevent leakage, the PIN diodes 403, 404, 412 are alternating according to the voltage of the bias 408 to regulate the flow of the signal.

또한, PIN 다이오드(403, 404) 및 제3 인덕터(407)는 T 형태의 고주파 통과 필터(high-pass filter)의 기능을 수행하여 신호를 통과시킴과 아울러 위상을 90˚, 45˚ 또는 22.5˚ 앞서게 한다(phase leading).In addition, the PIN diodes 403 and 404 and the third inductor 407 perform a function of a T-type high-pass filter to pass a signal and phase 90 °, 45 °, or 22.5 °. Phase leading.

전술한 바와 같은 회로는 바이어스(408) 전압(Vbias)의 조절을 통해 PIN 다이오드(403, 404, 412)의 상태를 변경시켜 신호의 흐름을 조절할 수 있는바, 그 작동양태를 살피면 다음과 같다.The circuit as described above can control the flow of signals by changing the state of the PIN diodes 403, 404, 412 by adjusting the bias 408 voltage Vbias.

먼저, 바이어스(408)의 전압을 양(+)으로 설정하면 PIN 다이오드(403, 404)가 점등됨과 아울러 PIN 다이오드(412)가 소등되는데 이때, 회로의 신호가 PIN 다이오드(403, 404)를 통과함에 따라 위상변화가 발생하지 않으며, 제1 인덕터(409) 및 역방향으로 구비된 PIN 다이오드(412)가 병렬공진회로(parallel resonance circuit)를 이루게 되어 그라운드로의 신호 누설을 방지한다.First, when the voltage of the bias 408 is set to positive (+), the PIN diodes 403 and 404 are turned on and the PIN diode 412 is turned off. At this time, the signal of the circuit passes through the PIN diodes 403 and 404. As a result, no phase change occurs, and the first inductor 409 and the PIN diode 412 provided in the reverse direction form a parallel resonance circuit, thereby preventing signal leakage to ground.

반면에, 바이어스(408)의 전압을 음(-)으로 설정하면 PIN 다이오드(403, 404)가 소등됨과 아울러 PIN 다이오드(412)가 점등되며, 회로의 신호가 제3 인덕터(407) 즉, T 형태의 고주파 통과 필터(high-pass filter)를 통과하여 90˚, 45˚ 또는 22.5˚ 앞서게 된다(phase leading).On the other hand, if the voltage of the bias 408 is set to negative (-), the PIN diodes 403 and 404 turn off and the PIN diode 412 is turned on, and the signal of the circuit is generated by the third inductor 407, that is, T. It passes through a high-pass filter of the type 90 °, 45 ° or 22.5 ° phase leading.

이처럼 신호의 흐름을 변화시켜 출력에서 전체 90˚, 45˚ 또는 22.5˚의 위상을 변화시킬 수 있다. 이때, 고주파 통과 필터에 사용된 인덕터의 인덕턴스 값과 PIN 다이오드 또는 커패시터의 커패시턴스 값은, 중심 주파수에서 변화시키기 원하 는 위상 값과 주파수에 대한 위상의 순간 변화량이 '0'이 되도록 하는 조건, 그리고 필터 통과 시 손실이 없는 조건에 의해 결정되며, 상기 조건들에 따라 도출된 인덕턴스와 커패시턴스 값은 아래의 [수학식4]와 같다.In this way, the signal flow can be varied to change the overall 90 °, 45 °, or 22.5 ° phase at the output. At this time, the inductance value of the inductor used in the high pass filter and the capacitance value of the PIN diode or the capacitor are such that the phase value to be changed at the center frequency and the instantaneous change of phase with respect to the frequency are '0', and the filter It is determined by the condition that there is no loss in passing, and the inductance and capacitance values derived according to the above conditions are shown in Equation 4 below.

[수학식4]&Quot; (4) "

Figure 112009041238955-pat00004
Figure 112009041238955-pat00004

한편, 본 발명의 제4 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로는, 도 5 에 도시된바와 같이 PIN 다이오드를 통해 11.25˚, 및 5.625˚ 단일 비트 위상 변위기에 대한 회로이다.Meanwhile, the ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using the PIN diode according to the fourth embodiment of the present invention is a circuit for 11.25 ° and 5.625 ° single bit phase shifters through the PIN diode as shown in FIG. 5. .

먼저, 제1 인덕터(507)는 바이어스(511)와 접속되어 직류 전압을 회로에 인가시키고 교류 신호를 차단하여 신호의 누출을 방지하며, 제2 인덕터(503, 509)는 그라운드와 접속되어 교류 신호의 누출을 방지한다.First, the first inductor 507 is connected to the bias 511 to apply a DC voltage to the circuit and block the AC signal to prevent leakage of the signal, the second inductors 503 and 509 are connected to the ground to the AC signal To prevent leakage.

또한, 금속-절연체-금속 커패시터(505)는 입력포트(501) 및 출력포트(510)와 각각 접속되어 양단의 직류 전압 및 전류를 분리하고, PIN 다이오드(502, 508, 506)는 바이어스(511)의 전압에 따라 교번되어 신호의 흐름을 조절한다.In addition, the metal-insulator-metal capacitor 505 is connected to the input port 501 and the output port 510, respectively, to separate DC voltage and current at both ends, and the PIN diodes 502, 508, 506 are biased 511. Alternating according to the voltage of) regulates the flow of the signal.

또한, 제3 인덕터(504)는 신호를 통과시킴과 아울러 위상을 5.625˚ 또는 2.8125˚ 뒤서게 하며(phase lagging), PIN 다이오드(506)는 역방향으로의 신호 전환 시 신호를 통과시킴과 아울러 위상을 5.625˚ 또는 2.8125˚ 앞서게 한다(phase leading).In addition, the third inductor 504 passes the signal and phases the phase at 5.625 ° or 2.8125 °, and the PIN diode 506 passes the signal and changes the phase when the signal is switched in the reverse direction. 5.625 ° or 2.8125 ° phase leading.

전술한 바와 같은 회로는 바이어스(511) 전압(Vbias)의 조절을 통해 PIN 다이오드(502, 506, 508)의 상태를 변경시켜 신호의 흐름을 조절할 수 있는바, 그 작동양태를 살피면 다음과 같다.The circuit as described above may control the flow of the signal by changing the state of the PIN diodes 502, 506, and 508 through the adjustment of the bias 511 voltage Vbias.

먼저, 바이어스(511)의 전압을 양(+)으로 설정하면 PIN 다이오드(506, 508)가 점등됨과 아울러 PIN 다이오드(502)가 소등되는데 이때, 신호가 제3 인덕터(504) 및 PIN 다이오드(508)를 통과하여 위상이 5.625˚ 또는 2.8125˚ 뒤서게 한다.First, when the voltage of the bias 511 is set to positive, the PIN diodes 506 and 508 are turned on and the PIN diode 502 is turned off. At this time, the signal is the third inductor 504 and the PIN diode 508. ), So that the phase is behind 5.625 ° or 2.8125 °.

반면에, 바이어스(511)의 전압을 음(-)으로 설정하면 PIN 다이오드(506, 508)가 소등됨과 아울러 PIN 다이오드(502)가 점등되며, 신호가 순방향 PIN 다이오드(502)와 역방향 PIN 다이오드(506)를 통과하여 위상이 5.625˚ 또는 2.8125˚ 앞서게 한다.On the other hand, if the voltage of the bias 511 is set to negative (-), the PIN diodes 506 and 508 are turned off and the PIN diode 502 is turned on, and the signals are forward PIN diode 502 and reverse PIN diode ( 506) to advance the phase by 5.625 ° or 2.8125 °.

이처럼, 신호의 흐름을 변화시켜 출력에서 전체 11.25˚ 또는 5.625˚의 위상을 변화시킬 수 있다. 이때, 고주파 통과 필터에 사용된 인덕터의 인덕턴스 값과 PIN 다이오드 또는 커패시터의 커패시턴스 값은, 중심 주파수에서 변화시키기 원하는 위상 값과 주파수에 대한 위상의 순간 변화량이 '0'이 되도록 하는 조건, 그리고 필터 통과 시 손실이 없는 조건에 의해 결정되며, 상기 조건들에 따라 도출된 인덕턴스와 커패시턴스 값은 아래의 [수학식5]와 같다.In this way, the signal flow can be varied to change the overall 11.25 ° or 5.625 ° phase at the output. At this time, the inductance value of the inductor used in the high pass filter and the capacitance value of the PIN diode or capacitor are such that the phase value desired to be changed at the center frequency and the instantaneous change of phase with respect to the frequency are '0', and the filter passing through It is determined by the condition that there is no time loss, and the inductance and capacitance values derived according to the above conditions are as shown in Equation 5 below.

[수학식5][Equation 5]

Figure 112009041238955-pat00005
Figure 112009041238955-pat00005

상기 제1 실시예 내지 제4 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로들은, 도 2 의 제1 실시예에 따라 180˚ 및 90˚의 위상을 변위시키는 단일 비트 위상 변위기 회로, 도 3 및 도 4의 제2 실시예 및 제3 실시예에 따라 90˚, 45˚ 및 22.5˚의 위상을 변위시키는 단일 비트 위상 변위기 회로, 도 5 의 제4 실시예에 따라 11.25˚ 및 5.625˚의 위상을 변위시키는 단일 비트 위상 변위기 회로이다.The high frequency band high performance phase shifter circuits using the PIN diodes according to the first to fourth embodiments are a single bit phase shifter circuit for shifting phases of 180 degrees and 90 degrees according to the first embodiment of FIG. 2. A single bit phase shifter circuit for shifting phases of 90 °, 45 ° and 22.5 ° according to the second and third embodiments of FIGS. 3 and 4, 11.25 ° and according to the fourth embodiment of FIG. A single bit phase shifter circuit that shifts the phase of 5.625 degrees.

전술한 바와 같은 제1 실시예 내지 제4 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로는, 단일 비트 위상 변위기의 조합으로 다수 비트 위상 변위기(multi-bit phase shifter)의 구현이 가능하다.The ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using the PIN diode according to the first to fourth embodiments as described above implements a multi-bit phase shifter in combination of a single bit phase shifter. This is possible.

도 6 은 제1 실시예에 따른 180˚ 위상 변위기, 제4 실시예에 따른 11.25˚ 위상 변위기, 및 제2 실시예에 따른 22.5˚, 45˚ 및 90˚ 위상 변위기를 직렬로 연결한 5비트 위상 변위기를 도시한 도면이고, 도 7 은 도 6 에 도시된 5비트 위상 변위기의 레이아웃을 도시한 도면이며, 도 8 은 도 6 및 도 7과 같이 설계된 회로를 바탕으로 ADS 시뮬레이션을 통해 도출한 5비트 위상 변위기의 삽입손실 및 위상변위 특성 곡선을 나타낸 도면이다.6 shows a series of 180 ° phase shifters according to the first embodiment, 11.25 ° phase shifters according to the fourth embodiment, and 22.5 °, 45 ° and 90 ° phase shifters according to the second embodiment in series. FIG. 7 is a diagram illustrating a bit phase shifter, and FIG. 7 is a diagram illustrating a layout of the 5-bit phase shifter shown in FIG. 6, and FIG. 8 is derived through ADS simulation based on a circuit designed as shown in FIGS. 6 and 7. A graph showing the insertion loss and phase shift characteristic curves of a 5-bit phase shifter.

전술한 5비트 위상 변위기 외에도 제1 실시예 내지 제4 실시예에 따른 회로들의 조합을 통해 2비트 내지 6비트를 갖는 다수 비트 위상 변위기의 구현이 가능하다.In addition to the 5-bit phase shifter described above, the combination of the circuits according to the first to fourth embodiments may implement a multi-bit phase shifter having 2 to 6 bits.

한편, 본 발명의 제5 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로는, 도 9 에 도시된바와 같이 양자의 전송선(transmission line)의 길이차이에 의한 위상 차이를 얻는 회로인바, 중심 주파수 대역에서 PIN 다이오드를 통해 180˚, 90˚, 45˚, 22.5˚, 11.25˚, 및 5.625˚의 모든 위상을 구현할 수 있는 단일 비트 위상 변위기에 대한 회로이다.On the other hand, the ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode according to the fifth embodiment of the present invention, as shown in Figure 9 is a circuit that obtains the phase difference by the length difference between the transmission line (transmission line) of the two, It is a circuit for a single-bit phase shifter that can realize all phases of 180 °, 90 °, 45 °, 22.5 °, 11.25 °, and 5.625 ° through a PIN diode in the center frequency band.

먼저, 제1 인덕터(902)가 바이어스(911)와 접속되어 직류 전압을 회로에 인가시키고 교류 신호를 차단하여 신호의 누출을 방지하며, 제2 인덕터(909)는 그라운드와 접속되어 교류 신호의 누출을 방지한다.First, the first inductor 902 is connected to the bias 911 to apply a DC voltage to the circuit and to block the AC signal to prevent the leakage of the signal, the second inductor 909 is connected to the ground to leak the AC signal To prevent.

또한, PIN 다이오드(903, 905, 906, 907)는 바이어스(911)의 전압에 따라 교번되어 신호의 흐름을 조절하되, 바이어스(911)의 전압을 양(+)으로 설정하면, PIN 다이오드(903, 905)가 점등됨과 아울러 PIN 다이오드(906, 907)가 소등되는데 이때, 신호가 짧은 길이의 기준 전송선(904)을 지남에 따라 작은 위상변화가 발생하여 위상이 180˚, 90˚, 45˚, 22.5˚, 11.25˚, 또는 5.625˚ 앞서게 된다.In addition, the PIN diodes 903, 905, 906, and 907 are alternately adjusted according to the voltage of the bias 911 to adjust the flow of the signal, but when the voltage of the bias 911 is set to positive (+), the PIN diode 903 is used. , 905 is turned on and the PIN diodes 906 and 907 are turned off. At this time, a small phase change occurs as a signal passes the reference transmission line 904 having a short length so that the phase is 180 °, 90 °, 45 °, 22.5 °, 11.25 °, or 5.625 ° ahead.

반면에, 바이어스(911)의 전압을 음(-)으로 설정하면, PIN 다이오드(903, 905)가 소등됨과 아울러 PIN 다이오드(906, 907)가 점등되는데 이때, 신호가 긴 길이의 위상변위 전송선(908)을 지나기 때문에 큰 위상변화가 나타나게 되어 위상이 180˚, 90˚, 45˚, 22.5˚, 11.25˚, 또는 5.625˚ 뒤지게 된다.On the other hand, if the voltage of the bias 911 is set to negative (-), the PIN diodes 903 and 905 are turned off and the PIN diodes 906 and 907 are turned on. 908, a large phase change appears, causing the phase to lag 180 degrees, 90 degrees, 45 degrees, 22.5 degrees, 11.25 degrees, or 5.625 degrees.

전술한 바와 같이 양자의 전송선 길이차이에 따라 출력신호의 위상을 상대적으로 변화시킬 수 있으며, 전송선의 길이와 위상 변화에 대한 관계는 아래의 [수학식6]을 통해 도출된다.As described above, the phase of the output signal may be relatively changed according to the difference between the transmission line lengths of the two, and the relationship between the length of the transmission line and the phase change is derived through Equation 6 below.

[수학식6][Equation 6]

Figure 112009041238955-pat00006
Figure 112009041238955-pat00006

이처럼 전송선의 길이 차이를 이용한 경우, 주파수가 증가할수록 위상 차이가 계속 커지기 때문에 앞서 전술한 제1 실시예 내지 제4 실시예 형태의 회로에 비하여 광대역 특성은 낮지만 비교적 간단한 회로구성으로 위상 변위기를 구현하게 되어 작은 삽입손실을 도모할 수 있다.In this case, when the difference in the length of the transmission line is used, the phase difference continues to increase as the frequency increases, so that the phase shifter is implemented with a relatively simple circuit configuration with lower broadband characteristics than the circuits of the first to fourth embodiments described above. As a result, a small insertion loss can be achieved.

또한, 전술한 제5 실시예의 구성은, 모든 중심 주파수에 대해 원하는 위상 변위를 모두 도출할 수 있기 때문에 각 180˚, 90˚, 45˚, 22.5˚, 11.25˚ 및 5.625˚의 단위 비트 위상 변위기를 연속적으로 배치시켜 도 10 에 도시된 바와 같은 다수 비트 위상 변위기를 구현할 수 있다.In addition, since the configuration of the fifth embodiment described above can derive all the desired phase shifts for all the center frequencies, the unit bit phase shifters of 180 °, 90 °, 45 °, 22.5 °, 11.25 °, and 5.625 ° respectively. It can be arranged continuously to implement a multiple bit phase shifter as shown in FIG.

세부적으로 도 10 은 도 9에서 나타낸 180˚, 90˚, 45˚ 및 22.5˚ 위상 변위기를 직렬로 연결하여 구현한 4비트 위상 변위기를 도시한 도면이고, 도 11 은 도 10 에 나타낸 4비트 위상 변위기의 레이아웃을 도시한 도면이며, 도 12 는 도 10 및 도 11 과 같이 설계된 회로를 바탕으로 ADS 시뮬레이션을 통해 도출한 4비트 위상 변위기의 삽입손실 및 위상변위 특성 곡선을 나타낸 도면이다.In detail, FIG. 10 is a diagram showing a 4-bit phase shifter implemented by connecting the 180, 90, 45, and 22.5 ° phase shifters shown in FIG. 9 in series, and FIG. 11 is a 4-bit phase shift shown in FIG. FIG. 12 is a diagram illustrating a critical layout, and FIG. 12 is a diagram illustrating insertion loss and phase shift characteristic curves of a 4-bit phase shifter derived through ADS simulation based on a circuit designed as shown in FIGS. 10 and 11.

전술한 4비트 위상 변위기 외에도 제1 실시예 내지 제4 실시예에 따른 회로들의 조합을 통해 2비트 내지 6비트를 갖는 다수 비트 위상 변위기의 구현이 가능하다.In addition to the four-bit phase shifter described above, a combination of circuits according to the first to fourth embodiments may implement a multi-bit phase shifter having 2 to 6 bits.

이상으로 본 발명의 기술적 사상을 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하 여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 이와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용에만 국한되는 것이 아니며, 기술적 사상의 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대해 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.As described above and described with reference to a preferred embodiment for illustrating the technical idea of the present invention, the present invention is not limited to the configuration and operation as shown and described as such, it departs from the scope of the technical idea It will be apparent to those skilled in the art that many modifications and variations can be made to the present invention without this. Accordingly, all such suitable changes and modifications and equivalents should be considered to be within the scope of the present invention.

도 1 은 본 발명에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로의 PIN 다이오드의 전압-전류 특성 곡선을 나타낸 도면.1 is a diagram showing a voltage-current characteristic curve of a PIN diode of a high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode according to the present invention.

도 2 는 본 발명의 제1 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로를 나타낸 도면.2 is a diagram illustrating a high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode according to a first embodiment of the present invention;

도 3 은 본 발명의 제2 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로를 나타낸 도면.3 is a diagram illustrating a high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode according to a second embodiment of the present invention;

도 4 는 본 발명의 제3 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로를 나타낸 도면.4 is a diagram illustrating a high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode according to a third embodiment of the present invention;

도 5 는 본 발명의 제4 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로를 나타낸 도면.5 is a diagram illustrating a high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode according to a fourth embodiment of the present invention;

도 6 은 본 발명의 제1 실시예에 따른 180˚ 위상 변위기, 제4 실시예에 따른 11.25˚ 위상 변위기, 및 제2 실시예에 따른 22.5˚, 45˚ 및 90˚ 위상 변위기를 직렬로 연결한 5비트 위상 변위기를 도시한 도면.6 shows a 180 ° phase shifter according to the first embodiment of the present invention, an 11.25 ° phase shifter according to the fourth embodiment, and a 22.5 °, 45 ° and 90 ° phase shifters according to the second embodiment in series. 5 bit phase shifter connected.

도 7 은 도 6 에 도시된 5비트 위상 변위기의 레이아웃을 도시한 도면.FIG. 7 shows a layout of the 5-bit phase shifter shown in FIG. 6; FIG.

도 8 은 도 6 및 도 7과 같이 설계된 회로를 바탕으로 ADS 시뮬레이션을 통해 도출한 5비트 위상 변위기의 삽입손실 및 위상변위 특성 곡선을 나타낸 도면.FIG. 8 is a diagram illustrating insertion loss and phase shift characteristic curves of a 5-bit phase shifter derived through ADS simulation based on a circuit designed as shown in FIGS. 6 and 7.

도 9 는 본 발명의 제5 실시예에 따른 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로를 나타낸 도면.9 is a diagram showing a high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode according to a fifth embodiment of the present invention;

도 10 은 도 9에서 나타낸 180˚, 90˚, 45˚ 및 22.5˚ 위상 변위기를 직렬 로 연결하여 구현한 4비트 위상 변위기를 도시한 도면.FIG. 10 is a diagram illustrating a 4-bit phase shifter implemented by connecting the 180 °, 90 °, 45 °, and 22.5 ° phase shifters shown in FIG. 9 in series.

도 11 은 도 10 에 나타낸 4비트 위상 변위기의 레이아웃을 도시한 도면.FIG. 11 shows a layout of the 4-bit phase shifter shown in FIG. 10; FIG.

도 12 는 도 10 및 도 11 과 같이 설계된 회로를 바탕으로 ADS 시뮬레이션을 통해 도출한 4비트 위상 변위기의 삽입손실 및 위상변위 특성 곡선을 나타낸 도면.12 is a diagram illustrating insertion loss and phase shift characteristic curves of a 4-bit phase shifter derived through ADS simulation based on a circuit designed as shown in FIGS. 10 and 11.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **** Description of symbols for the main parts of the drawing **

201: 입력포트 202: 금속-절연체-금속 커패시터201: input port 202: metal-insulator-metal capacitor

203, 213: 제1 인덕터 204, 212: 바이어스203 and 213: first inductor 204 and 212: bias

205, 206: 제2 인덕터 207: 제1 커패시터205 and 206: second inductor 207: first capacitor

208, 209, 210, 211: PIN 다이오드 214: 금속-절연체-금속 커패시터208, 209, 210, 211: PIN diode 214: metal-insulator-metal capacitor

215: 출력포트 216, 217: 제3 인덕터215: output port 216, 217: third inductor

218, 219: 제2 커패시터 220: 제4 인덕터218 and 219: second capacitor 220: fourth inductor

301: 입력포트 302: 금속-절연체-금속 커패시터301: input port 302: metal-insulator-metal capacitor

303, 309: 제3 인덕터 304, 306: PIN 다이오드303 and 309: third inductor 304 and 306: PIN diode

305: 제2 인덕터 307: 금속-절연체-금속 커패시터305: second inductor 307: metal-insulator-metal capacitor

308: 출력포트 310: 바이어스308: output port 310: bias

311: 제1 인덕터 312: 제4 인덕터311: first inductor 312: fourth inductor

313: 금속-절연체-금속 커패시터 314: PIN 다이오드313: metal-insulator-metal capacitor 314: PIN diode

401: 입력포트 402, 405: 제2 인덕터401: input port 402, 405: second inductor

403, 404: PIN 다이오드 407: 제3 인덕터403 and 404: PIN diode 407: third inductor

408: 바이어스 409: 제1 인덕터408: bias 409: first inductor

410: 제4 인덕터 411: 금속-절연체-금속 커패시터410: fourth inductor 411: metal-insulator-metal capacitor

412: PIN 다이오드412: PIN diode

501: 입력포트 502, 508: PIN 다이오드501: input port 502, 508: PIN diode

503, 509: 제2 인덕터 504: 제3 인덕터503 and 509 second inductor 504 third inductor

505: 금속-절연체-금속 커패시터 506: PIN 다이오드505: metal-insulator-metal capacitor 506: PIN diode

507: 제1 인덕터 510: 출력포트507: first inductor 510: output port

511: 바이어스511: bias

601: 입력포트 602: 금속-절연체-금속 커패시터601: input port 602: metal-insulator-metal capacitor

603, 613: 제1 인덕터 604, 612: 제1 바이어스603 and 613: first inductor 604 and 612: first bias

605, 606: 제2 인덕터 607: 제1 커패시터605 and 606: second inductor 607: first capacitor

608, 609, 610, 611: PIN 다이오드 614: 금속-절연체-금속 커패시터608, 609, 610, 611: PIN diode 614: metal-insulator-metal capacitor

616, 617: 제3 인덕터 618, 619: 제2 커패시터616, 617: third inductor 618, 619: second capacitor

620: 제4 인덕터 621, 628: PIN 다이오드620: fourth inductor 621, 628: PIN diode

622, 629: 제5 인덕터 623: 제6 인덕터622, 629: fifth inductor 623: sixth inductor

624: 금속-절연체-금속 커패시터 625: 제7 인덕터624: metal-insulator-metal capacitor 625: seventh inductor

626: 제2 바이어스 627: PIN 다이오드626: second bias 627: PIN diode

630: 금속-절연체-금속 커패시터 631, 635: 제8 인덕터630: metal-insulator-metal capacitor 631, 635: eighth inductor

632, 634: PIN 다이오드 633: 제9 인덕터632, 634: PIN diode 633: ninth inductor

636: 제3 바이어스 637: 제10 인덕터636: third bias 637: tenth inductor

638: 제11 인덕터 639: 금속-절연체-금속 커패시터638: eleventh inductor 639: metal-insulator-metal capacitor

640: PIN 다이오드 641: 금속-절연체-금속 커패시터640: PIN diode 641: metal-insulator-metal capacitor

642, 646: 제12 인덕터 643, 645: PIN 다이오드642, 646: 12th inductor 643, 645: PIN diode

644: 제13 인덕터 647: 제4 바이어스644: thirteenth inductor 647: fourth bias

648: 제14 인덕터 649: 제15 인덕터648: 14th inductor 649: 15th inductor

650: 금속-절연체-금속 커패시터 651: PIN 다이오드650: metal-insulator-metal capacitor 651: PIN diode

652: 금속-절연체-금속 커패시터 654, 656: 제16 인덕터652: metal-insulator-metal capacitor 654, 656: sixteenth inductor

655: 제17 인덕터 658: 제5 바이어스655: seventeenth inductor 658: fifth bias

659: 제18 인덕터 660: 제19 인덕터659: 18th inductor 660: 19th inductor

661: 금속-절연체-금속 커패시터 662: PIN 다이오드661: metal-insulator-metal capacitor 662: PIN diode

663: 금속-절연체-금속 커패시터 664: 출력포트663: metal-insulator-metal capacitor 664: output port

901: 입력포트 902: 제1 인덕터901: input port 902: first inductor

903, 905, 906, 907: PIN 다이오드 904: 기준 전송선903, 905, 906, 907: PIN diode 904: reference transmission line

908: 위상변위 전송선 909: 제2 인덕터908: phase shift transmission line 909: second inductor

910: 출력포트 911: 바이어스910: output port 911: bias

1001: 입력포트 1002: 제1 인덕터1001: input port 1002: first inductor

1003: 제1 바이어스 1004 ~ 1008: PIN 다이오드1003: first bias 1004 to 1008: PIN diode

1005: 제1 기준 전송선 1009: 제1 위상변위 전송선1005: first reference transmission line 1009: first phase shift transmission line

1010: 제2 인덕터 1011 ~ 1015: PIN 다이오드1010: second inductor 1011 to 1015: PIN diode

1012: 제2 기준 전송선 1016: 제2 위상변위 전송선1012: second reference transmission line 1016: second phase shift transmission line

1017: 제3 인덕터 1018: 제2 바이어스1017: third inductor 1018: second bias

1019: 금속-절연체-금속 커패시터 1020: 제4 인덕터1019: metal-insulator-metal capacitor 1020: fourth inductor

1021: 제3 바이어스 1022, 1024 ~ 1026: PIN 다이오드1021: third bias 1022, 1024 to 1026: PIN diode

1023: 제3 기준 전송선 1027: 제3 위상변위 전송선1023: third reference transmission line 1027: third phase shift transmission line

1028: 제5 인덕터 1029, 1031 ~ 1033: PIN 다이오드1028: fifth inductor 1029, 1031-1033: PIN diode

1030: 제4 기준 전송선 1034: 위상변위 전송선1030: fourth reference transmission line 1034: phase shift transmission line

1035: 제6 인덕터 1036: 제4 바이어스1035: sixth inductor 1036: fourth bias

1037: 출력포트1037: output port

Claims (15)

PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로에 있어서,In the ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode, 입력포트(201) 및 출력포트(215)와 접속되어 직류 전압 및 전류를 분리하는 금속-절연체-금속 커패시터(202, 214);Metal-insulator-metal capacitors 202 and 214 connected to the input port 201 and the output port 215 to separate direct current voltage and current; 상기 금속-절연체-금속 커패시터(202, 214)와 접속되어 PIN 다이오드(208, 209, 210, 211)의 상태 제어를 위해 그라운드와 접지된 바이어스(204, 212)와 접속되어 직류 전압을 회로로 인가시키고, 교류 신호를 차단하여 신호의 누출을 방지하는 제1 인덕터(203, 231);Connected to the metal-insulator-metal capacitors 202 and 214 and connected to ground and grounded biases 204 and 212 for state control of the PIN diodes 208, 209, 210 and 211 to apply a DC voltage to the circuit. First inductors 203 and 231 for blocking the AC signal to prevent leakage of the signal; 상기 바이어스(204, 212)의 전압에 따라 교번되어 신호의 흐름을 조절하는 PIN 다이오드(208, 209, 210, 211);PIN diodes (208, 209, 210, 211) alternating according to the voltages of the bias (204, 212) to regulate the flow of signals; π 형태의 고주파 통과필터(high-pass filter)의 기능을 수행하여 PIN 다이오드(208, 210)로부터 인가받은 신호의 위상을 90˚ 앞서도록 하는(phase leading) 제2 인덕터(205, 206) 및 제1 커패시터(207);second inductors 205 and 206 for performing a function of a π-type high-pass filter to lead the phase of the signal received from the PIN diodes 208 and 210 by 90 °. One capacitor 207; π 형태의 저주파 통과필터(low-pass filter)의 기능을 수행하여 PIN 다이오드(209, 211)로부터 인가받은 신호의 위상을 90˚ 뒤서도록 하는(phase lagging) 제3 인덕터(216, 217) 및 제2 커패시터(218, 219); 및Third inductors 216 and 217 which perform a function of a π-type low-pass filter to phase-lag the phase of the signal applied from the PIN diodes 209 and 211, and Two capacitors 218 and 219; And 상기 그라운드와 접속되어 상기 제3 인덕터(216, 217)와 제2 커패시터(218, 219)로부터 인가되는 교류 신호의 누출을 차단하는 제4 인덕터(220); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회 로.A fourth inductor 220 connected to the ground to block leakage of an AC signal applied from the third inductor 216 and 217 and the second capacitor 218 and 219; Ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 바이어스(204, 212)는,The biases 204 and 212 are 전압을 양(+)으로 설정하여 PIN 다이오드(208, 209)를 점등시킴과 아울러 PIN 다이오드(210, 211)를 소등시키며, 회로의 신호가 상기 제2 인덕터(205, 206) 및 제1 커패시터(207) 즉, π 형태의 고주파 통과 필터(high-pass filter)를 통과하여 상기 PIN 다이오드(208, 209)를 통과한 신호의 위상을 90˚ 앞서도록 하는 것을 특징으로 하는 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로.The voltage is set to positive to turn on the PIN diodes 208 and 209, and to turn off the PIN diodes 210 and 211, and the signal of the circuit is controlled by the second inductor 205 and 206 and the first capacitor ( 207) That is, a high frequency band high performance using a PIN diode, which passes through a high-pass filter of π to advance the phase of the signal passing through the PIN diodes 208 and 209 by 90 °. Phase shifter circuit. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 바이어스(204, 212)는,The biases 204 and 212 are 전압을 음(-)으로 설정하여 상기 PIN 다이오드(208, 209)를 소등시킴과 아울러 상기 PIN 다이오드(210, 211)가 점등시키며, 상기 회로의 신호가 상기 제3 인덕터(216, 217) 및 제2 커패시터(218, 219) 즉, π 형태의 저주파 통과 필터(low-pass filter)를 통과하여 상기 PIN 다이오드(210, 211)를 통과한 신호의 위상을 90˚ 뒤서도록 하는 것을 특징으로 하는 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로.The voltage is set to negative to turn off the PIN diodes 208 and 209, and the PIN diodes 210 and 211 are turned on, and the signal of the circuit is controlled by the third inductors 216 and 217. PIN diode, characterized in that the phase of the signal passing through the two capacitors (218, 219), i.e., a low-pass filter of the π passed through the PIN diodes (210, 211) 90 ° High Frequency Band High Performance Phase Shifter Circuit Using PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로에 있어서,In the ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode, 입력포트(301) 및 출력포트(308)와 접속되어 직류 전압 및 전류를 분리하는 금속-절연체-금속 커패시터(302, 307);Metal-insulator-metal capacitors 302 and 307 connected to the input port 301 and the output port 308 to separate direct current voltage and current; 바이어스(310)와 접속되어 직류 전압을 회로에 인가시키고 교류 신호를 차단하여 신호의 누출을 방지하는 제1 인덕터(311);A first inductor 311 connected to the bias 310 to apply a DC voltage to the circuit and block an AC signal to prevent leakage of the signal; 그라운드와 접속되어 교류 신호의 누출을 방지하는 제2 인덕터(305);A second inductor 305 connected to the ground to prevent leakage of an AC signal; 상기 바이어스(310)의 전압에 따라 교번되어 신호의 흐름을 조절하는 PIN 다이오드(304, 306, 314); 및PIN diodes (304, 306, 314) alternating according to the voltage of the bias (310) to regulate the flow of the signal; And π 형태의 고주파 통과필터(high-pass filter)의 기능을 수행하여 PIN 다이오드(304, 306)로부터 인가받은 신호의 위상을 90˚, 45˚ 또는 22.5˚ 앞서도록 하는(phase leading) 제3 인덕터(303, 309) 및 PIN 다이오드(304, 306); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로.a third inductor performing a function of a high-pass filter of the π type to lead the phase of the signal received from the PIN diodes 304 and 306 by 90 °, 45 °, or 22.5 °; 303, 309 and PIN diodes 304, 306; Ultra-high frequency band high-performance phase shifter circuit using a PIN diode comprising a. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 바이어스(310)는,The bias 310 is, 전압을 양(+)으로 설정하여 PIN 다이오드(304, 306)를 점등시킴과 아울러 PIN 다이오드(314)가 소등시키되, 신호가 상기 PIN 다이오드(304, 306)를 통과함에 따라 위상변화가 발생하지 않으며, 제4 인덕터(312) 및 역방향으로 구비된 PIN 다이오드(314)가 병렬공진회로(parallel resonance circuit)를 이루게 되어 접속된 그라운드로의 신호 누설을 방지하는 것을 특징으로 하는 PIN 다이오드를 이용한 초 고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로.By setting the voltage positive, the PIN diodes 304 and 306 are turned on and the PIN diode 314 is turned off, but no phase change occurs as the signal passes through the PIN diodes 304 and 306. , The fourth inductor 312 and the PIN diode 314 provided in the reverse direction to form a parallel resonance circuit (parallel resonance circuit) to prevent signal leakage to the ground connected to the ultra-high frequency band using the PIN diode High performance phase shifter circuit. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 바이어스(310)는,The bias 310 is, 전압을 음(-)으로 설정하여 상기 PIN 다이오드(304, 306)를 소등시킴과 아울러 상기 PIN 다이오드(314)가 점등시키되, 상기 신호가 상기 제3 인덕터(303, 309) 즉, π 형태의 고주파 통과 필터(high-pass filter)를 통과하여 90˚, 45˚ 또는 22.5˚ 앞서도록(phase leading) 하는 것을 특징으로 하는 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로.The voltage is set to negative to turn off the PIN diodes 304 and 306, and the PIN diode 314 is turned on, but the signal is generated by the third inductor 303 and 309, i.e. A high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode characterized by passing 90-, 45- or 22.5-degree phase leading through a high-pass filter. PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로에 있어서,In the ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode, 바이어스(408)와 접속되어 직류 전압을 회로에 인가시키고 교류 신호를 차단하여 신호의 누출을 방지하는 제1 인덕터(409);A first inductor 409 connected to the bias 408 to apply a DC voltage to the circuit and block an AC signal to prevent leakage of the signal; 그라운드와 접속되어 교류 신호의 누출을 방지하는 제2 인덕터(402, 405);Second inductors 402 and 405 connected to ground to prevent leakage of AC signals; 상기 바이어스(408)의 전압에 따라 교번되어 신호의 흐름을 조절하는 PIN 다이오드(403, 404, 412); 및PIN diodes (403, 404, 412) alternating according to the voltage of the bias (408) to regulate the flow of the signal; And T 형태의 고주파 통과필터(high-pass filter)의 기능을 수행하여 PIN 다이오드(403, 404)로 신호를 통과시킴과 아울러 위상을 90˚, 45˚ 또는 22.5˚ 앞서도록 하는 PIN 다이오드(403, 404) 및 제3 인덕터(407); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로.PIN diodes (403, 404) that pass the signal through the PIN diodes (403, 404) by performing the function of a T-type high-pass filter and advance the phase by 90, 45, or 22.5 degrees. ) And third inductor 407; Ultra-high frequency band high-performance phase shifter circuit using a PIN diode comprising a. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 바이어스(408)는,The bias 408 is, 전압을 양(+)으로 설정하여 PIN 다이오드(403, 404)를 점등시킴과 아울러 PIN 다이오드(412)를 소등시키되, 회로의 신호가 상기 PIN 다이오드(403, 404)를 통과함에 따라 위상변화가 발생하지 않도록 하며, 상기 제1 인덕터(409) 및 역방향으로 구비된 PIN 다이오드(412)가 병렬공진회로(parallel resonance circuit)를 이루게 되어 상기 그라운드로의 신호 누설을 방지하는 것을 특징으로 하는 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로.By setting the voltage to be positive, the PIN diodes 403 and 404 are turned on and the PIN diode 412 is turned off, but a phase change occurs as a signal of a circuit passes through the PIN diodes 403 and 404. By using the PIN inductor, the first inductor 409 and the PIN diode 412 provided in the reverse direction form a parallel resonance circuit, thereby preventing signal leakage to the ground. High frequency band high performance phase shifter circuit. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 바이어스(408)는,The bias 408 is, 전압을 음(-)으로 설정하여 PIN 다이오드(403, 404)를 소등시킴과 아울러 PIN 다이오드(412)가 점등시키며, 회로의 신호가 상기 제3 인덕터(407) 즉, T 형태의 고주파 통과 필터(high-pass filter)를 통과하여 90˚, 45˚ 또는 22.5˚ 앞서게 도록(phase leading)하는 것을 특징으로 하는 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로.The voltage is set to negative (-) to turn off the PIN diodes 403 and 404, and the PIN diode 412 is turned on, and the signal of the circuit is the third inductor 407, that is, a T-type high pass filter A high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode characterized in that it passes 90 °, 45 ° or 22.5 ° phase leading through a high-pass filter. PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로에 있어서,In the ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode, 바이어스(511)와 접속되어 직류 전압을 회로에 인가시키고 교류 신호를 차단 하여 신호의 누출을 방지하는 제1 인덕터(507);A first inductor 507 connected to the bias 511 to apply a DC voltage to the circuit and block an AC signal to prevent leakage of the signal; 그라운드와 접속되어 교류 신호의 누출을 방지하는 제2 인덕터(503, 509);Second inductors 503 and 509 connected to ground to prevent leakage of AC signals; 입력포트(501) 및 출력포트(510)와 각각 접속되어 양단의 직류 전압 및 전류를 분리하는 금속-절연체-금속 커패시터(505);A metal-insulator-metal capacitor 505 connected to the input port 501 and the output port 510 to separate DC voltage and current at both ends thereof; 상기 바이어스(511)의 전압에 따라 교번되어 신호의 흐름을 조절하는 PIN 다이오드(502, 508, 506);PIN diodes (502, 508, 506) which are alternating according to the voltage of the bias (511) to regulate the flow of signals; 신호를 통과시킴과 아울러 위상을 5.625˚ 또는 2.8125˚ 뒤서도록(phase lagging) 하는 제3 인덕터(504); 및A third inductor 504 for passing the signal and phase lagging the phase at 5.625 degrees or 2.8125 degrees; And 상기 바이어스(511)의 전압에 따라 역방향으로의 신호 전환 시 신호를 통과시킴과 아울러 위상을 5.625˚ 또는 2.8125˚ 앞서도록(phase leading) 하는 PIN 다이오드(506); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로.A PIN diode 506 which passes a signal when the signal is switched in the reverse direction according to the voltage of the bias 511 and phases the phase by 5.625 ° or 2.8125 °; Ultra-high frequency band high-performance phase shifter circuit using a PIN diode comprising a. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 바이어스(511)는,The bias 511 is, 전압을 양(+)으로 설정하여 PIN 다이오드(506, 508)를 점등시킴과 아울러 PIN 다이오드(502)를 소등시키되, 신호가 상기 제3 인덕터(504) 및 PIN 다이오드(508)를 통과하여 위상이 5.625˚ 또는 2.8125˚ 뒤서도록 하는 것을 특징으로 하는 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로.The voltage is set to positive to turn on the PIN diodes 506 and 508 and to turn off the PIN diode 502, but the signal passes through the third inductor 504 and the PIN diode 508 to be out of phase. A high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode characterized in that it is 5.625 degrees or 2.8125 degrees behind. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 바이어스(511)는,The bias 511 is, 전압을 음(-)으로 설정하여 PIN 다이오드(506, 508)를 소등시킴과 아울러 PIN 다이오드(502)를 점등시키며, 신호가 순방향 PIN 다이오드(502)와 역방향 PIN 다이오드(506)를 통과하여 위상이 5.625˚ 또는 2.8125˚ 앞서도록 하는 것을 특징으로 하는 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로.The voltage is set to negative to turn off the PIN diodes 506 and 508, and to turn on the PIN diode 502, and the signal passes through the forward PIN diode 502 and the reverse PIN diode 506 to phase out. A high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode characterized in that 5.625 degrees or 2.8125 degrees ahead. PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로에 있어서,In the ultra-high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode, 바이어스(911)와 접속되어 직류 전압을 회로에 인가시키고 교류 신호를 차단하여 신호의 누출을 방지하는 제1 인덕터(902);A first inductor 902 connected to the bias 911 to apply a DC voltage to the circuit and block an AC signal to prevent leakage of the signal; 그라운드와 접속되어 교류 신호의 누출을 방지하는 제2 인덕터(909); 및A second inductor 909 connected to the ground to prevent leakage of an AC signal; And 상기 바이어스(911)의 전압에 따라 교번되어 신호의 흐름을 조절하는 PIN 다이오드(903, 905, 906, 907); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로.PIN diodes 903, 905, 906, and 907 that are alternately adjusted according to the voltage of the bias 911 to control the flow of signals; Ultra-high frequency band high-performance phase shifter circuit using a PIN diode comprising a. 제 13 항에 있어서,The method of claim 13, 상기 바이어스(911)는,The bias 911 is, 전압을 양(+)으로 설정하여 PIN 다이오드(903, 905)가 점등됨과 아울러 PIN 다이오드(906, 907)가 소등되도록 하며, 신호가 짧은 길이의 기준 전송선을 지남에 따라 작은 위상변화가 발생하여 위상이 180˚, 90˚, 45˚, 22.5˚, 11.25˚, 또는 5.625˚ 앞서도록 하는 것을 특징으로 하는 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로.By setting the voltage positive, the PIN diodes 903 and 905 are turned on, and the PIN diodes 906 and 907 are turned off, and a small phase change occurs as the signal passes a short reference transmission line. A high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode characterized in that the 180 °, 90 °, 45 °, 22.5 °, 11.25 °, or 5.625 ° ahead. 제 13 항에 있어서,The method of claim 13, 상기 바이어스(911)는,The bias 911 is, 전압을 음(-)으로 설정하여 PIN 다이오드(903, 905)가 소등됨과 아울러 PIN 다이오드(906, 907)가 점등되도록 하며, 신호가 긴 길이의 위상변위 전송선(908)을 지남에 따라 때문에 큰 위상변화가 나타나게 되어 위상이 180˚, 90˚, 45˚, 22.5˚, 11.25˚, 또는 5.625˚ 뒤지도록 하는 것을 특징으로 하는 PIN 다이오드를 이용한 초고주파 대역 고성능 위상 변위기 회로.Setting the voltage to negative causes the PIN diodes 903 and 905 to turn off and the PIN diodes 906 and 907 to light up, and because of the large phase as the signal crosses the long length phase shift transmission line 908 A high frequency band high performance phase shifter circuit using a PIN diode, characterized in that the change occurs so that the phase lags 180 °, 90 °, 45 °, 22.5 °, 11.25 °, or 5.625 °.
KR1020090061497A 2009-07-07 2009-07-07 High-frequency/high-performance phase shifters using pin diodes KR101008955B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090061497A KR101008955B1 (en) 2009-07-07 2009-07-07 High-frequency/high-performance phase shifters using pin diodes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090061497A KR101008955B1 (en) 2009-07-07 2009-07-07 High-frequency/high-performance phase shifters using pin diodes

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110003960A KR20110003960A (en) 2011-01-13
KR101008955B1 true KR101008955B1 (en) 2011-01-17

Family

ID=43611653

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090061497A KR101008955B1 (en) 2009-07-07 2009-07-07 High-frequency/high-performance phase shifters using pin diodes

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101008955B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101624287B1 (en) 2015-01-14 2016-05-25 (주)엑스엠더블유 Efficient digital phase shifter

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101721866B1 (en) * 2016-01-06 2017-04-03 한국과학기술원 Phase shift circuit and controlling method thereof
US20220359984A1 (en) * 2021-05-05 2022-11-10 Ossia Inc. Non-Volative, Low Power Phase Shifter For Tapped Transmission Lines
CN117579002A (en) * 2022-08-08 2024-02-20 中兴通讯股份有限公司 Power amplifier, control method thereof and communication equipment

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000151204A (en) 1998-11-09 2000-05-30 Alcatel High frequency circuit having variable phase shifter
KR100325369B1 (en) 1999-05-04 2002-03-04 박태진 Shunt-diode type switched line phase shifter
KR100515028B1 (en) 2002-07-30 2005-09-15 국방과학연구소 Mmic phase shifter using multi-folded lange couplers

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000151204A (en) 1998-11-09 2000-05-30 Alcatel High frequency circuit having variable phase shifter
KR100325369B1 (en) 1999-05-04 2002-03-04 박태진 Shunt-diode type switched line phase shifter
KR100515028B1 (en) 2002-07-30 2005-09-15 국방과학연구소 Mmic phase shifter using multi-folded lange couplers

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101624287B1 (en) 2015-01-14 2016-05-25 (주)엑스엠더블유 Efficient digital phase shifter

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110003960A (en) 2011-01-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Lucyszyn et al. Analog reflection topology building blocks for adaptive microwave signal processing applications
US3982214A (en) 180° phase shifting apparatus
US5039873A (en) Microwave elements with impedance control circuits
Yang et al. Ka-band 5-bit MMIC phase shifter using InGaAs PIN switching diodes
JP2008187661A (en) Phase shifter, and bit phase shifter
US4961062A (en) Continually variable analog phase shifter
KR101008955B1 (en) High-frequency/high-performance phase shifters using pin diodes
Maloratsky Electrically tunable switched-line diode phase shifters Part 1: Design procedure
US7123116B2 (en) Phase shifter and multibit phase shifter
US10734966B2 (en) Phase shifter for Giga Hertz integrated circuits
KR100976799B1 (en) Phase shifter and control method thereof
US20040155729A1 (en) Multi-bit phase shifter and manufacturing method thereof
US4605912A (en) Continuously variable phase shifting element comprised of interdigitated electrode MESFET
KR101263927B1 (en) Phase shifter using switch-line type reflective load
Sun et al. X-band 5-bit MMIC phase shifter with GaN HEMT technology
CN108631766B (en) Reflective phase shifter with active device tuning
US20100171541A1 (en) Constant phase digital attenuator with on-chip matching circuitry
US6522221B1 (en) Phase shifter, attenuator, and nonlinear signal generator
RU2379798C1 (en) Microwave phase shifter based on semiconductor circuit
Williamson et al. Towards a 5G n260 Band Phased Array Based on Vanadium Dioxide Switches
Kim et al. Switched transmission-line type Q-band 4-bit MMIC phase shifter using InGaAs pin diodes
Bae et al. A 10–67-GHz CMOS step attenuator with improved flatness and large attenuation range
WO2005060043A2 (en) Phase shifters, such as for a multiple antenna wireless communication system
Bhonkar et al. 3 bit balanced digital phase shifter using switch mode topology
Kao et al. A 25-to-45-GHz 45° power divider

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131231

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee