KR101004413B1 - Apparatus and method thereof for panel reverse turning - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시장치 제조용 로봇의 개선을 통해 제조공정의 간소화 및 설비비의 감소를 통해 생산성을 더욱 향상시킨 기판 반전이송 로봇과 그 반전이송 방법에 관한 것으로서, 다수개의 진공흡착판이 형성된 흡착암이 하나 이상 구성된 로봇 핸드와, 상기 로봇 핸드의 회전을 수행하는 회전관절을 포함하여 다수개의 로봇 관절을 이용해 기동되는 제1이송로봇과; 다수개의 진공흡착판이 형성된 흡착암이 하나 이상 구성된 로봇 핸드를 구비하고, 다수개의 로봇 관절을 이용해 기동되는 제2이송로봇을 포함하는 기판 반전이송 장치를 제안하고 있다.The present invention relates to a substrate inversion transfer robot and an inversion transfer method thereof, which further improve productivity by simplifying a manufacturing process and reducing equipment costs by improving a robot for manufacturing a liquid crystal display device. A first transfer robot that is started using a plurality of robot joints, including a robot hand configured as described above, and a rotation joint for rotating the robot hand; It is proposed a substrate reversal transfer device including a robot hand having at least one suction arm having a plurality of vacuum suction plates formed thereon and including a second transfer robot which is activated by using a plurality of robot joints.

상기한 구성의 본 발명에 따른 기판 반전이송 장치는, 종래에 액정표시장치 제조공정에서 기판의 합착공정 또는 별도의 목적으로 기판을 반전시키기 위한 수단으로 기판 반전 장치를 구비하여 기판의 반전을 수행하던 방법을 개선하고 있으며, 별도의 반전 장치가 필요 없기 때문에 설비비의 감소와 아울러 작업 속도의 개선 효과에 따른 생산성 향상의 장점이 있다.
The substrate inversion transfer apparatus according to the present invention having the above-described configuration includes a substrate inversion apparatus as a means for inverting a substrate for a bonding process or a separate purpose in a liquid crystal display manufacturing process. The method has been improved, and since there is no need for a separate reversing device, there is an advantage of productivity improvement due to the reduction of equipment cost and the improvement of the working speed.

Description

기판 반전이송 장치 및 이를 이용한 기판 반전이송 방법{Apparatus and method thereof for panel reverse turning} Substrate reversal transfer device and substrate reversal transfer method using same {Apparatus and method according for panel reverse turning}             

도 1은 종래의 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 도시한 도면1 is a view showing a conventional active matrix liquid crystal display device

도 2는 종래의 액정표시장치 패널의 구성을 분해 도시한 사시도2 is an exploded perspective view showing the configuration of a conventional liquid crystal display panel;

도 3은 종래의 기판 반전이송을 수행하는 장치의 구성을 도시한 도면3 is a diagram showing the configuration of an apparatus for performing a conventional substrate reverse transfer;

도 4는 본 발명에 따른 기판 반전이송 장치의 구성을 평면도시한 도면4 is a plan view showing the configuration of a substrate reversal transfer apparatus according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 기판 반전이송 장치를 이용한 기판 반전이송방법을 설명하는 작업 흐름도5 is a flowchart illustrating a substrate inversion transfer method using the substrate inversion transfer apparatus according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 기판 반전이송 장치를 이용한 기판 반전이송에 있어서, 기판의 전달 방법을 보여주는 도면
6 is a view showing a transfer method of the substrate in the substrate reverse transfer using the substrate reversal transfer apparatus according to the present invention

<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명><Brief description of the main parts of the drawing>

100 : 기판 반전이송 장치 110,120 : 제1,제2이송로봇100: substrate inversion transfer device 110,120: first, second transfer robot

111,121 : 로봇관절 112,122 : 제1,제2로봇핸드111,121: Robot joints 112,122: First and second robot hands

114,124 : 흡착암 115,125 : 진공흡착판114,124 adsorption arm 115,125 vacuum adsorption plate

116 : 회전관절116: rotating joint

본 발명은 제조 장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액정표시장치의 제조용 로봇의 개선을 통해 제조공정의 간소화 및 설비비의 감소를 통해 생산성을 더욱 향상시킨 기판 반전이송 로봇과 그 반전이송 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to manufacturing equipment, and more particularly, to a substrate inversion transfer robot and an inversion transfer method which further improves productivity by simplifying a manufacturing process and reducing equipment costs by improving a manufacturing robot for a liquid crystal display device. .

최근 들어 급속한 발전을 거듭하고 있는 반도체 산업의 기술 개발에 의하여 소형, 경량화 되면서 성능은 더욱 강력해진 제품들이 생산되고 있다. 지금까지 정보 디스플레이 장치에 널리 사용되고 있는 CRT(cathode ray tube)가 성능이나 가격적인 측면에서 많은 장점을 갖고 있지만, 소형화 또는 휴대성의 측면에서는 단점을 갖고 있다. 이에 반하여, 액정표시장치는 소형, 경량, 저전력소비 등의 장점을 갖고 있어 CRT의 단점을 극복할 수 있는 대체 수단으로 점차 주목받아 왔고, 현재는 디스플레이 장치를 필요로 하는 거의 모든 정보 처리 기기에 장착되고 있는 실정이다.Recently, due to the technological development of the semiconductor industry, which is rapidly developing, products are being produced that are more compact and lighter in performance. Cathode ray tubes (CRTs), which are widely used in information display devices, have many advantages in terms of performance and price, but have disadvantages in terms of miniaturization or portability. In contrast, liquid crystal display devices have been attracting attention as an alternative means of overcoming the shortcomings of CRTs due to their advantages such as small size, light weight, and low power consumption, and are now installed in almost all information processing devices requiring display devices. It's happening.

액정표시장치는 두 기판 사이에 주입되어 있는 이방성 유전율을 갖는 액정 물질에 전계를 인가하고, 이 전계의 세기를 조절하여 기판에 투과되는 빛의 양을 조절함으로써, 원하는 화상 신호를 얻는 표시장치이다. A liquid crystal display device is a display device that obtains a desired image signal by applying an electric field to a liquid crystal material having an anisotropic dielectric constant injected between two substrates, and controlling the amount of light transmitted through the substrate by controlling the intensity of the electric field.

이러한 TFT-LCD의 기판 위에는 서로 평행한 복수의 게이트라인과 이 게이트라인에 절연되어 교차하는 복수의 데이터라인이 형성되며, 이들 게이트라인과 데이터라인에 의해 둘러싸인 영역이 하나의 화소를 규정한다. 각 화소의 게이트선과 데이 터선이 교차하는 부분에는 TFT가 형성된다. On the substrate of such a TFT-LCD, a plurality of gate lines parallel to each other and a plurality of data lines insulated from and intersecting the gate lines are formed, and an area surrounded by the gate lines and the data lines defines one pixel. TFTs are formed at portions where the gate lines and the data lines of each pixel cross each other.

이러한 TFT-LCD를 구동시키기 위해서는 게이트라인을 순차적으로 구동시킴과 동시에 구동하는 게이트라인에 연결된 TFT의 소스 단에 인가될 데이터 전압을 데이터라인을 통해 인가한다. In order to drive such a TFT-LCD, the gate line is sequentially driven and at the same time, a data voltage to be applied to the source terminal of the TFT connected to the driving gate line is applied through the data line.

도 1은 통상의 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 예시한 도면으로서, 액정 셀들이 두장의 투명기판들 사이에 매트릭스 형태로 배열되어진 액정패널(2)과, 액정패널(2)의 게이트라인들(GL1 내지 GLm)에 접속되어진 게이트 드라이버(6)와, 액정패널(2)의 데이터라인들(DL1 내지 DLn)에 접속되어진 데이터 드라이버(4) 및 데이터 드라이버(4)에 접속되어진 감마전압발생부(8)를 구비한다. 상기 감마전압발생부(8)는 통상 상기 데이터드라이버(4)에 포함되어 구성되기도 한다. FIG. 1 is a view illustrating a conventional active matrix liquid crystal display device, in which a liquid crystal cell is arranged in a matrix form between two transparent substrates, and gate lines GL1 of the liquid crystal panel 2. Gamma voltage generator 8 connected to gate driver 6 connected to GLm), data driver 4 connected to data lines DL1 to DLn of liquid crystal panel 2, and data driver 4; ). The gamma voltage generator 8 is usually included in the data driver 4.

이러한 액정표시장치에서 액정패널은 제1기판에 박막 트랜지스터(TFT) 어레이와 화소전극을 형성하고, 또한 별도의 제2기판에 컬러필터와 공통전극을 형성한 다음 두 개의 기판을 합착하여 구성되는데, 도 2는 이러한 액정표시장치 패널의 일반적인 구성을 분해 도시한 사시도이다. In such a liquid crystal display, a liquid crystal panel is formed by forming a thin film transistor (TFT) array and a pixel electrode on a first substrate, a color filter and a common electrode on a separate second substrate, and then joining two substrates together. 2 is an exploded perspective view illustrating a general configuration of such a liquid crystal display panel.

도시한 바와 같이, 액정표시장치 패널(2)은 액정(13)을 사이에 둔 두개의 투명기판(15)(17)으로 구성되며, 이러한 액정패널(2)의 제1기판(15)에는 컬러필터(21)와 공통전극(19)이 적층되고, 상기 제1기판(15)과 소정의 간격을 두고 합착되는 제2기판(17)에는 복수개의 화소(P)와 각 화소에 대응하여 구성되는 스위칭 소자인 박막트랜지스터(T)가 형성된다. 또한, 상기 박막트랜지스터를 구성하는 게이트전극(미도시)과 소스전극(미도시)에 각각 연결되는 게이트라인(29)과 데이터 라인(31)이 서로 교차하여 형성된다.As shown, the liquid crystal display panel 2 is composed of two transparent substrates 15 and 17 with the liquid crystal 13 interposed therebetween, and the first substrate 15 of the liquid crystal panel 2 has a color. The filter 21 and the common electrode 19 are stacked, and the second substrate 17 bonded to the first substrate 15 at a predetermined interval is configured to correspond to the plurality of pixels P and each pixel. The thin film transistor T, which is a switching element, is formed. In addition, the gate line 29 and the data line 31 connected to the gate electrode (not shown) and the source electrode (not shown) constituting the thin film transistor are formed to cross each other.

상기 제1기판(15)과 제2기판(17)의 각 외면에는 상부 편광판(polarizer)(23)과 하부편광판(25)이 구성된다. An upper polarizer 23 and a lower polarizer 25 are formed on each outer surface of the first substrate 15 and the second substrate 17.

이러한 구성을 가지는 액정표시장치 중 액티브 매트릭스 구동방식의 액정표시장치는 기판 세정과, 기판 패터닝, 배향막형성, 기판합착/액정주입, 실장 공정 등을 통해 액정패널이 제조된다. Among liquid crystal display devices having such a structure, an active matrix drive type liquid crystal display device is a liquid crystal panel manufactured through substrate cleaning, substrate patterning, alignment film formation, substrate bonding / liquid crystal injection, and mounting process.

상기 각 공정을 간략히 살펴보면, 먼저 기판세정 공정에서는 상/하부기판의 패터닝 전후에 기판들의 이물질을 세정제를 이용하여 제거하게 된다. Looking briefly at each of the above processes, first, in the substrate cleaning process, foreign substances on the substrates before and after patterning of the upper and lower substrates are removed using a cleaning agent.

기판 패터닝 공정에서는 상부기판의 패터닝과 하부기판의 패터닝으로 나누어진다. 상부기판에는 칼라필터, 공통전극, 블랙 매트릭스 등이 형성된다. 하부기판에는 데이터라인과 게이트라인 등의 신호배선이 형성되고, 데이터라인과 게이트라인의 교차부에 TFT가 형성되며, TFT의 소스전극에 접속되도록 데이터라인과 게이트라인 사이의 화소영역에 화소전극이 형성된다.In the substrate patterning process, the upper substrate is patterned and the lower substrate is patterned. A color filter, a common electrode, a black matrix, and the like are formed on the upper substrate. Signal lines such as data lines and gate lines are formed on the lower substrate, and TFTs are formed at intersections of the data lines and gate lines. Is formed.

기판합착/액정주입 공정에서는 하부기판 상에 배향막을 도포하고 러빙하는 공정에 이어서, 실(Seal)재를 이용한 상/하부기판 합착공정, 액정주입, 주입구 봉지, 세정, 연마(grinding) 공정이 순차적으로 이루어져 액정패널이 완성된다.In the substrate bonding / liquid crystal injection process, the alignment film is applied and rubbed on the lower substrate, followed by the upper / lower substrate bonding process using a seal material, liquid crystal injection, injection hole encapsulation, cleaning, and grinding process. The liquid crystal panel is completed.

상기와 같은 구성과 공정을 통해 제조되는 액정표시장치는 상기 상,하부 기판(15)(17)의 합착공정을 위해 합착 챔버로 이송되는데, 이때 상기 두 기판(15)(17) 중 일 기판의 상하면 반전을 수행하게 된다. The liquid crystal display device manufactured through the above-described configuration and process is transferred to the bonding chamber for the bonding process of the upper and lower substrates 15 and 17, wherein one of the two substrates 15 and 17 Upside down will be reversed.

도 3은 상기와 같이 기판의 반전이 필요할 경우 기판의 반전을 수행시켜 이 송하는 기판 반전이송 장치(50)를 도시한 도면이다.FIG. 3 is a diagram illustrating a substrate inversion transfer device 50 which transfers by inverting a substrate when the substrate needs to be inverted as described above.

기판의 반전을 위한 구성을 보면, 이전 공정으로부터 기판(1)을 이송하는 제1이송로봇(52)과, 상기 제1로봇(50)으로부터 기판(1)을 전달받아 상하면 반전시키는 반전기(54)와, 상기 반전기(54)를 통해 반전된 기판(1)을 다음 공정으로 이송하는 제2이송로봇(56)으로 구성된다. 상기 각 이송로봇(52)(56)은 하나 이상의 로봇 관절을 구비하여 기동된다.In the configuration for reversing the substrate, the first transfer robot 52 for transferring the substrate 1 from the previous process, and the inverter 54 for receiving the substrate 1 from the first robot 50 and inverting the upper and lower surfaces thereof. ) And a second transfer robot 56 which transfers the substrate 1 inverted through the inverter 54 to the next process. Each of the transfer robots 52 and 56 is provided with one or more robot joints to be activated.

이러한 반전 장치(50)는 기판(1)이 안착되는 기판 안착패드(52a)를 구비하여 기판의 이송을 수행하는 상기 제1로봇(52)에 의해 기판(1)이 반전기(54) 내부로 삽입되고, 상기 반전기(54)는 내부로 이송된 기판(1)의 상하면 반전을 수행한 후 역시 기판 안착패드(56a)를 구비한 상기 제2로봇(56)을 통해 다음 공정으로 기판(1)을 배출하는 작업으로 수행된다.
The inversion device 50 includes a substrate mounting pad 52a on which the substrate 1 is mounted, and thus the substrate 1 is moved into the inverter 54 by the first robot 52 which transfers the substrate. The inverter 54 is inserted, and the upper and lower surfaces of the substrate 1 transferred therein are inverted, and then the substrate 1 is moved to the next process through the second robot 56 having the substrate seating pad 56a. It is carried out by discharging).

그런데 상기와 같이 수행되는 기판의 반전 공정은 상기한 반전기라는 장치가 필요로 하게 되며, 또한 반전기 구비에 따른 설비비용의 증가 및 반전기를 통하는 제조 공정 시간의 소요 등 생산성 저하 요인이 발생하며, 본 발명은 이러한 생산성 저하 요인을 제거하기 위해 기판의 이송과 아울러 반전을 수행할 수 있는 기판 반전이송 장치와 그 반전이송 방법을 제시하는데 목적이 있다.

However, the inversion process of the substrate performed as described above requires the device called the inverter, and also causes a decrease in productivity, such as an increase in equipment cost due to the inversion of the inverter and a time required for the manufacturing process through the inverter. An object of the present invention is to propose a substrate reversal transfer apparatus and a reverse transfer method capable of performing the reversal as well as the transfer of the substrate in order to eliminate such a factor of productivity decrease.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 다수개의 진공흡착판이 형성된 흡착암이 하나 이상 구성된 로봇 핸드와, 상기 로봇 핸드의 회전을 수행하는 회전관절을 포함하여 다수개의 로봇 관절을 이용해 기동되는 제1이송로봇과; 다수개의 진공흡착판이 형성된 흡착암이 하나 이상 구성된 로봇 핸드를 구비하고, 다수개의 로봇 관절을 이용해 기동되는 제2이송로봇을 포함하는 기판 반전이송 장치를 제시한다.In order to achieve the above object, the present invention includes a robot hand comprising at least one suction arm having a plurality of vacuum suction plates and a rotating joint for rotating the robot hand. 1 transfer robot; The present invention provides a substrate reversing transfer apparatus including a robot hand configured with at least one suction arm having a plurality of vacuum suction plates and including a second transfer robot that is activated using a plurality of robot joints.

여기서 상기 회전관절은 180도 또는 360도 회전되는 것을 특징으로 한다.The rotation joint is characterized in that rotated 180 or 360 degrees.

상기 제2이송로봇의 각 흡착암에 형성되는 진공흡착판은, 상기 흡착암의 하부에 형성되는 것을 특징으로 한다.A vacuum suction plate formed on each suction arm of the second transfer robot, characterized in that formed on the lower portion of the suction arm.

또한 본 발명은, 다수개의 진공흡착판이 형성된 흡착암이 하나 이상 구성된 로봇 핸드를 구비하고, 다수개의 로봇 관절을 이용해 기동되는 제1이송로봇과; 다수개의 진공흡착판이 형성된 흡착암이 하나 이상 구성된 로봇 핸드와, 상기 로봇 핸드의 회전을 수행하는 회전관절을 포함하여 다수개의 로봇 관절을 이용해 기동되는 제1이송로봇을 포함하는 기판 반전이송 장치를 제안한다.In another aspect, the present invention, the first transfer robot having a robot hand composed of one or more adsorption arms formed with a plurality of vacuum suction plate, and is activated using a plurality of robot joints; Proposed a substrate reversal transfer device comprising a robot hand comprising at least one suction arm having a plurality of vacuum suction plates, and a first transfer robot that is started by using a plurality of robot joints, including a rotating joint for rotating the robot hand. do.

여기서 상기 회전관절은 180도 또는 360도 회전되는 것을 특징으로 한다.The rotation joint is characterized in that rotated 180 or 360 degrees.

상기 제1이송로봇의 각 흡착암에 형성되는 진공흡착판은, 상기 흡착암의 상부에 형성되는 것을 특징으로 한다.A vacuum suction plate formed on each suction arm of the first transfer robot, characterized in that formed on the upper portion of the suction arm.

아울러 본 발명은 상기와 같이 제시된 기판 반전이송 로봇을 이용한 기판 반전이송 방법으로서, 상기 회전관절을 이용해 상기 제1로봇핸드의 진공흡착판이 상 부를 향하도록 기동하는 제1스텝과; 상기 제1로봇핸드의 흡착암 상부에 기판을 적재하는 제2스텝과; 상기 제1로봇핸드의 흡착암 상부에 적재된 기판을 다수개의 진공흡착판을 이용해 흡착하는 제3스텝과; 상기 기판이 흡착된 제1로봇핸드를 회전 관절을 이용해 180도 반전시키는 제4스텝과; 상기 반전된 기판을 흡착한 제1로봇핸드를 상기 제2이송로봇 측으로 기동시키는 제5스텝과; 상기 제2로봇핸드를 상기 제1로봇핸드 상부로 기동시키는 제6스텝과; 상기 제2로봇핸드의 흡착암을 상기 기판의 상면에 안착시키는 제7스텝과; 상기 기판에 접촉된 제2로봇핸드 흡착암은 진공흡착판을 이용해 상기 기판을 흡착하는 제8스텝과; 상기 기판으로부터 제1로봇핸드의 진공흡착판을 탈착시키는 제9스텝을 포함하는 기판 반전이송 방법을 제안한다.In addition, the present invention provides a substrate inversion transfer method using the substrate inversion transfer robot as described above, comprising: a first step of maneuvering the vacuum suction plate of the first robot hand upward using the rotation joint; A second step of loading a substrate on the suction arm of the first robot hand; A third step of adsorbing the substrate loaded on the suction arm of the first robot hand using a plurality of vacuum suction plates; A fourth step of inverting the first robot hand to which the substrate is adsorbed by 180 degrees by using a rotary joint; A fifth step of manipulating the first robot hand which has attracted the inverted substrate to the second transfer robot side; A sixth step of maneuvering the second robot hand above the first robot hand; A seventh step of mounting the suction arm of the second robot hand on an upper surface of the substrate; An eighth step of adsorbing the second robot hand suction arm in contact with the substrate by using a vacuum suction plate; A substrate inversion transfer method including a ninth step of detaching a vacuum suction plate of a first robot hand from the substrate is proposed.

상기 기판 반전이송 방법은, 상기 제2로봇핸드를 기동시켜 흡착된 기판을 설정된 위치로 이송하거나 또는 설정된 위치로 기판을 이송한 후 탈착하는 제10스텝을 더욱 포함한다.The substrate reversal transfer method further includes a tenth step of activating the second robot hand to transfer the adsorbed substrate to a predetermined position or to remove the substrate after transferring the substrate to the predetermined position.

또한 본 발명에 따른 기판 반전이송방법은, 상기 각 스텝을 반복하여 수행하는 것을 특징으로 한다.In addition, the substrate reversal transfer method according to the invention, it characterized in that to perform the above steps repeatedly.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판 반전이송 장치 및 그 반전이송 방법을 설명한다.Hereinafter, a substrate reverse transfer apparatus and a reverse transfer method thereof according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 기판 반전이송 장치(100)를 도시한 평면도면으로서, 기판(1)을 반전시켜 이송하는 제1이송로봇(110)과, 상기 제1로봇으로부터 반전된 기판을 전달받는 제2이송로봇(120)으로 구성된다. 4 is a plan view showing a substrate reversal transfer device 100 according to the present invention, the first transfer robot 110 for inverting and transporting the substrate 1, and receives the inverted substrate from the first robot It consists of a second transfer robot (120).                     

상기 제1이송로봇(110)은 다수개의 로봇 관절(111)로 기동되는 로봇암(robot arm)이며, 끝단에 구성된 제1로봇핸드(112)는 하나 이상의 흡착암(114)을 가지며, 상기 각 흡착암(114)은 다수개의 진공흡착판(115)을 구비한다. 상기 진공흡착판(115)은 에어의 주입 및 배출을 통해 기판의 분리 및 흡착을 수행하는 빨판(sucker)이다.The first transport robot 110 is a robot arm (robot arm) that is driven by a plurality of robot joints 111, the first robot hand 112 configured at the end has one or more adsorption arms 114, each The suction arm 114 includes a plurality of vacuum suction plates 115. The vacuum adsorption plate 115 is a sucker that performs separation and adsorption of the substrate through the injection and discharge of air.

또한 상기 제1이송로봇(110)은 상기 제1로봇핸드(112)를 연결하는 부분에 회전관절(116)을 구성하고 있는데, 이는 기판(1)의 180도 반전을 수행하여 제2로봇(120)측으로 전달하기 위한 로봇관절이다.In addition, the first transfer robot 110 constitutes a rotation joint 116 at a portion connecting the first robot hand 112, which performs a 180 degree reversal of the substrate 1 so that the second robot 120 is rotated. Robot joint to deliver to the side.

상기 제2이송로봇(120)은 다수개의 로봇 관절(121)로 기동되는 로봇암(robot arm)이며, 끝단에 구성된 제2로봇핸드(122)는 하나 이상의 흡착암(124)을 가지며, 상기 각 흡착암(124)은 다수개의 진공흡착판(125)을 구비한다.The second transfer robot 120 is a robot arm that is driven by a plurality of robot joints 121, and the second robot hand 122 configured at the end has one or more suction arms 124. The suction arm 124 includes a plurality of vacuum suction plates 125.

상기 제2이송로봇(120)은 상기 제1이송로봇(110)으로부터 기판(1)을 전달받기위한 로봇으로서, 상기 각 흡착암(124)에 구성된 진공흡착판(125)은 흡착암(124)의 하부에 형성되어 있다.The second transfer robot 120 is a robot for receiving the substrate 1 from the first transfer robot 110, the vacuum adsorption plate 125 is configured in each of the adsorption arms 124 of the adsorption arm 124 It is formed at the bottom.

이하 상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 기판 반전이송 장치를 이용한 기판 반전이송방법을 도 5의 흐름도를 참조하여 설명한다.Hereinafter, a substrate inversion transfer method using the substrate inversion transfer apparatus according to the present invention configured as described above will be described with reference to the flowchart of FIG. 5.

먼저, 상기 제1이송로봇(110)은 회전관절(116)을 이용해 상기 제1로봇핸드(112)의 각 흡착암(114)에 구성된 진공흡착판(115)이 상부를 향하도록 기동한다.(S1)First, the first transfer robot 110 is operated using the rotary joint 116 so that the vacuum suction plates 115 formed on the respective suction arms 114 of the first robot hand 112 face upwards. )

이후 상기 제1로봇핸드(112)의 흡착암(114) 상부, 즉 다수의 진공흡착판(115) 상부에 기판(1)을 적재하고(S2), 적재된 기판(1)을 진공흡착판(115)의 에어 배출을 통해 흡착한다.(S3)Subsequently, the substrate 1 is loaded on the suction arm 114 of the first robot hand 112, that is, on the plurality of vacuum suction plates 115 (S2), and the loaded substrate 1 is vacuum suction plate 115. Is adsorbed through the air discharge. (S3)

상기 기판(1)이 흡착된 제1로봇핸드(112)는 상기 회전관절(116)을 이용해 180도 반전시킨다.(S4) 이때 진공흡착판(115)에 흡착되어 반전된 기판(1)은 흡착암(114)의 하부에 위치하는 형상이다.The first robot hand 112 on which the substrate 1 is adsorbed is inverted by 180 degrees using the rotary joint 116. (S4) At this time, the substrate 1 adsorbed on the vacuum adsorption plate 115 is inverted by the adsorption arm. It is a shape located below 114.

다음으로 상기 반전된 기판(1)을 흡착한 제1로봇핸드(112)를 상기 제2이송로봇(120) 측으로 전달하기 위해 제2이송로봇(120) 측에 인접하도록 기동시킨다.(S5)Next, the first robot hand 112 which absorbs the inverted substrate 1 is moved to be adjacent to the second transfer robot 120 side to transfer the first robot hand 112 to the second transfer robot 120 side (S5).

상기 제2이송로봇(120) 측으로 위치 이동된 제1로봇핸드(112) 상부로 상기 제2로봇핸드(122)를 기동시킨다.(S6) 이때 상기 제1로봇핸드(112)와 제2로봇핸드(122) 및 기판의 위치는 도 6과 같다.The second robot hand 122 is operated above the first robot hand 112 which is moved toward the second transfer robot 120. (S6) At this time, the first robot hand 112 and the second robot hand are moved. 122 and the position of the substrate are as shown in FIG.

상기 제1로봇핸드(112)의 상부로 이동된 제2로봇핸드(122)는 하강 기동되어 상기 기판(1)의 상면에 흡착암(124)이 안착되고(S7), 상기 기판(1)에 접촉된 제2로봇핸드(122) 흡착암(124)은 진공흡착판(125)을 이용해 상기 기판(1)을 흡착한다.(S8)The second robot hand 122 moved to the upper portion of the first robot hand 112 is lowered and the suction arm 124 is seated on the upper surface of the substrate 1 (S7), and the substrate 1 The second robot hand 122 in contact with the suction arm 124 adsorbs the substrate 1 using the vacuum suction plate 125.

다음으로 상기 기판(1)에서 제1로봇핸드(112)의 진공흡착판(115)을 탈착시키게 된다. Next, the vacuum suction plate 115 of the first robot hand 112 is detached from the substrate 1.

상기한 스텝의 기판 반전이송 공정은 다수개의 기판에 대해 반복적으로 수행될 수 있으며, 상기 제2로봇핸드(122)로 반전되어 이송된 기판(1)은 제2이송로봇(120)에 의해 미리 설정된 위치로 이송되거나 또는 이송된 후 탈착된다. The substrate reversal transfer process of the above step may be repeatedly performed for a plurality of substrates, and the substrate 1 inverted and transferred to the second robot hand 122 may be preset by the second transfer robot 120. It is either transported to position or detached after being transported.                     

또한 본 발명은 상기 각 제1로봇핸드(112)와 제2로봇핸드(122)의 흡착암(114)(124)에서 일 방향 지향적으로 구성된 진공흡착판(115)(125)을 흡착암(114)(124)을 기준으로 대칭되는 위치에도 동일한 진공흡착판을 구성함으로써 로봇핸드(112)(122)의 기판 전달 또는 이재 기동 이후 원위치로 회전하지 않고 연속적인 기판의 이송 동작이 가능하도록 구성할 수도 있다.In addition, the present invention is the suction arm 114, the vacuum suction plate 115, 125 configured in one direction from the suction arm 114, 124 of each of the first robot hand 112 and the second robot hand 122. The same vacuum suction plate may be configured even at positions symmetric with respect to the reference numeral 124, and thus the robot hand 112 may be configured to allow continuous transfer of substrates without rotation to the original position after transfer or transfer of substrates.

상기와 같이 설명한 본 발명에 따른 기판 반전이송 장치는 제1이송로봇의 회전관절에 의해 기판을 반전시켜 제2이송로봇 측으로 전달하는 방법을 기술하였으나, 제2이송로봇 측에 회전관절을 구성하여 기판의 전달 후 반전을 수행할 수도 있음은 당연하다.
Substrate inversion transfer apparatus according to the present invention described above described a method for inverting the substrate by the rotational joint of the first transfer robot to transfer to the second transfer robot side, but by forming a rotation joint on the second transfer robot side Of course, it is also possible to perform an inversion after the transfer of.

상기와 같이 설명한 본 발명에 따른 기판 반전이송 장치는, 종래에 액정표시장치 제조공정에서 기판의 합착공정 또는 별도의 목적으로 기판을 반전시키기 위한 수단으로 별도의 반전 장치를 구비하여 기판의 반전을 수행하던 방법을 개선하고 있으며 상기한 반전 장치가 필요 없기 때문에 설비비의 감소와 아울러 작업 속도의 개선 효과에 따른 생산성 향상의 장점이 있다. The substrate inversion transfer apparatus according to the present invention as described above is provided with a separate inversion device as a means for inverting the substrate for a bonding process or a separate purpose in the conventional liquid crystal display device manufacturing process to perform the inversion of the substrate Since the method has been improved and the inverting device is not required, productivity is improved due to the reduction of equipment cost and the improvement of the working speed.

Claims (9)

다수개의 진공흡착판이 형성된 흡착암이 하나 이상 구성된 로봇 핸드와, 상기 로봇 핸드의 회전을 수행하는 회전관절을 포함하여 다수개의 로봇 관절을 이용해 기동되는 제1이송로봇과;A first transfer robot which is activated using a plurality of robot joints, including a robot hand including at least one suction arm having a plurality of vacuum suction plates and a rotational joint for rotating the robot hand; 다수개의 진공흡착판이 형성된 흡착암이 하나 이상 구성된 로봇 핸드를 구비하고, 다수개의 로봇 관절을 이용해 기동되는 제2이송로봇A second transfer robot having a robot hand having at least one suction arm having a plurality of vacuum suction plates formed thereon and maneuvering using a plurality of robot joints. 을 포함하는 기판 반전이송 장치Substrate reverse transfer device comprising a 청구항 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 회전관절은 180도 또는 360도 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 반전이송 장치The rotation joint is a substrate reverse transfer device, characterized in that rotated 180 or 360 degrees 청구항 제 1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제2이송로봇의 각 흡착암에 형성되는 진공흡착판은, 상기 흡착암의 하부에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 반전이송 장치The vacuum suction plate formed on each suction arm of the second transfer robot is formed on the lower portion of the suction arm, the substrate reverse transfer device 다수개의 진공흡착판이 형성된 흡착암이 하나 이상 구성된 로봇 핸드를 구비하고, 다수개의 로봇 관절을 이용해 기동되는 제1이송로봇과;A first transfer robot having a robot hand configured with at least one suction arm having a plurality of vacuum suction plates formed thereon and maneuvered using a plurality of robot joints; 다수개의 진공흡착판이 형성된 흡착암이 하나 이상 구성된 로봇 핸드와, 상기 로봇 핸드의 회전을 수행하는 회전관절을 포함하여 다수개의 로봇 관절을 이용해 기동되는 제1이송로봇A first transfer robot that is activated using a plurality of robot joints, including a robot hand having at least one suction arm having a plurality of vacuum suction plates formed thereon, and a rotating joint for rotating the robot hand. 을 포함하는 기판 반전이송 장치Substrate reverse transfer device comprising a 청구항 제 4 항에 있어서,The method according to claim 4, 상기 회전관절은 180도 또는 360도 회전되는 것을 특징으로 하는 기판 반전이송 장치The rotation joint is a substrate reverse transfer device, characterized in that rotated 180 or 360 degrees 청구항 제 4 항에 있어서,The method according to claim 4, 상기 제1이송로봇의 각 흡착암에 형성되는 진공흡착판은, 상기 흡착암의 상부에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 반전이송 장치A vacuum suction plate formed on each suction arm of the first transfer robot is formed on an upper portion of the suction arm. 다수개의 진공흡착판이 형성된 흡착암이 하나 이상 구성된 제1로봇핸드와, 상기 제1로봇핸드의 회전을 수행하는 회전관절을 포함하여 다수개의 로봇 관절을 이용해 기동되는 제1이송로봇과; 다수개의 진공흡착판이 형성된 흡착암이 하나 이상 구성된 제2로봇핸드를 구비하고, 다수개의 로봇 관절을 이용해 기동되는 제2이송로봇을 포함하는 기판 반전이송 장치를 이용한 기판 반전이송 방법으로서,A first transfer robot including a first robot hand configured with at least one suction arm having a plurality of vacuum suction plates and a plurality of robot joints including a rotation joint for rotating the first robot hand; A substrate inversion transfer method using a substrate inversion transfer apparatus comprising a second robot hand having at least one suction arm having a plurality of vacuum suction plates formed thereon, and including a second transfer robot that is activated using a plurality of robot joints. 상기 회전관절을 이용해 상기 제1로봇핸드의 진공흡착판이 상부를 향하도록 기동하는 제1스텝과;A first step of starting the vacuum suction plate of the first robot hand to face upward by using the rotary joint; 상기 제1로봇핸드의 흡착암 상부에 기판을 적재하는 제2스텝과;A second step of loading a substrate on the suction arm of the first robot hand; 상기 제1로봇핸드의 흡착암 상부에 적재된 기판을 다수개의 진공흡착판을 이용해 흡착하는 제3스텝과;A third step of adsorbing the substrate loaded on the suction arm of the first robot hand using a plurality of vacuum suction plates; 상기 기판이 흡착된 제1로봇핸드를 회전 관절을 이용해 180도 반전시키는 제4스텝과;A fourth step of inverting the first robot hand to which the substrate is adsorbed by 180 degrees by using a rotary joint; 상기 반전된 기판을 흡착한 제1로봇핸드를 상기 제2이송로봇 측으로 기동시키는 제5스텝과;A fifth step of manipulating the first robot hand which has attracted the inverted substrate to the second transfer robot side; 상기 제2로봇핸드를 상기 제1로봇핸드 상부로 기동시키는 제6스텝과;A sixth step of maneuvering the second robot hand above the first robot hand; 상기 제2로봇핸드의 흡착암을 상기 기판의 상면에 안착시키는 제7스텝과;A seventh step of mounting the suction arm of the second robot hand on an upper surface of the substrate; 상기 기판에 접촉된 제2로봇핸드 흡착암은 진공흡착판을 이용해 상기 기판을 흡착하는 제8스텝과;An eighth step of adsorbing the second robot hand suction arm in contact with the substrate by using a vacuum suction plate; 상기 기판으로부터 제1로봇핸드의 진공흡착판을 탈착시키는 제9스텝A ninth step of detaching the vacuum suction plate of the first robot hand from the substrate; 을 포함하는 기판 반전이송 방법Substrate reverse transfer method comprising a 청구항 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제2로봇핸드를 기동시켜 흡착된 기판을 설정된 위치로 이송하거나 또는 설정된 위치로 기판을 이송한 후 탈착하는 제10스텝A tenth step of activating the second robot hand to transfer the adsorbed substrate to a set position or to remove the substrate after transferring the substrate to the set position; 을 더욱 포함하는 기판 반전이송 방법Substrate reverse transfer method further comprising 청구항 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,The method according to claim 7 or 8, 상기 각 스텝을 반복하여 수행하는 것을 특징으로 하는 기판 반전이송 방법Substrate inversion transfer method characterized in that for repeating the steps
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