KR100982487B1 - 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템 - Google Patents

더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명에서 정확한 90도 위상 차의 기준 트리거 신호를 생성하고, 이를 근거로 물리적 변화량을 효과적으로 복조할 수 있는 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템을 개시한다.
본 발명에 따른 광섬유 센서 시스템은, 편광 제어부가 장착된 제1 암과, 위상 변조를 수행하는 위상 변조부가 장착된 제2 암으로 이루어진 마하젠더 간섭계; 물리적 변화에 따른 위상변조를 검출하기 위한 센서 암 및 기준 암들이 접속된 제3 광섬유 커플러를 포함하여, 섬유 결합기를 구비한 마이켈슨 간섭계; 상기 섬유 결합기의 프레즈넬 반사를 유도하여 상기 마하젠더 간섭계 및 마이켈슨 간섭계로부터 간섭신호를 추출하기 위한 광검출부; 및 광검출부에서 검출된 신호에 대한 영점 주기에 기초하여 기준 트리거 신호를 생성하고, 기준 트리거 신호를 상기 제2 광검출기의 데이터 취득 트리거로 이용하여 두 신호에 대한 위상 변화로부터 물리적 변화량을 추출하기 위한 연산부로 이루어진다. 따라서, 본 발명은 90도 위상 차를 갖는 기준 트리거 신호를 생성함에 따라, 위상 변조의 비선형적 동작 특성이나, 위상변조 신호의 형태에 관계없이 정확한 90도 위상 간격으로 샘플링이 가능하다.
Figure R1020080043727
광섬유, 센서, 하이브리드, 마이켈슨, 마하젠더, 간섭계, 트리거, 위상변조

Description

더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템{FIBER-OPTIC SENSOR SYSTEM USING DOUBLE PASS MACH-ZEHNDER INTERFEROMETER}
본 발명은 물리량 변화에 따른 스트레인 측정 시스템에 관한 것으로, 상세하게는 더블 패스 마하젠더 간섭 신호에 대한 영점을 토대로 물리적 변화량에 대한 위상 복조를 수행할 수 있는 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 건축 구조물 등과 같이 외력 등에 따른 변형 여부가 중요한 경우, 스트레인의 측정이 매우 중요시되고 있다. 이러한 스트레인의 측정을 위하여 종래에는 전기적 센서를 이용하였으나, 센서당 최소 두 가닥의 전선이 필요한데, 이 전선으로 인하여 구조물 자체의 강도에 나쁜 영향을 미치고, 전선이 갖는 자기가열 효과로 인해 측정오차가 증가하는 문제점이 있으며, 또한 그 복잡성 때문에 유지보수가 어렵다는 문제점이 발생 되었다.
이러한 단점을 해결하기 위해 근래에는 광섬유를 이용한 스트레인 측정 방법에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이 중, 광섬유 간섭계 센서를 이용한 스트레인 측정 방법이 존재하는데, 여기서 적용되는 광섬유 간섭계 센서는 간섭계의 한 쪽 팔(Arm)에 온도, 스트레인, 압력과 같은 물리적 변화가 가해지면, 광 경로차에 의한 간섭신호가 발생하게 된다는 점을 이용하여 물리량을 측정한다. 따라서 광 경로차에 의해 변조된 위상 변화를 추출하면, 센서에 가해진 물리량을 복조할 수 있는 것이다.
즉, 기존의 광섬유 간섭계형 센서 시스템은 간섭계의 팔에 가해지는 물리랴엥 따른 위상 변화량, 입사되는 광원의 파장변화에 따른 위상 변화량을 추출하기 위하여, 간섭신호의 프린지를 세거나, 외부의 기준 트리거 신호를 이용하여 물리량 변화에 따른 위상을 복조하였다.
그러나, 종래 기술과 같이 외부 트리거 신호를 사용할 경우 외부 영향에 따른 복조의 오차가 켜 신뢰성이 저하되는 문제가 발생 된다. 더구나, 광섬유 간섭계를 센서로 사용하는 경우, 온도, 진동, 스트레인, 압력과 같은 물리량의 변화에 따라 센서 출력의 크기가 사인함수로 변화하므로, 사인형태의 간섭신호에서 위상 변화량을 추출하기 위한 위상복조 기술이 요구되기 때문에, 외부 트리거 신호를 사용할 경우, 물리적 변화량에 대한 복조가 효과적으로 이루어지지 못한다.
따라서, 물리적 변화량을 측정하기 위해서는 내부 트리거 신호가 절실한데, 이러한 내부 트리거 신호를 생성하기 위해 직교신호 처리방법(Quadrature signal processing)이 연구되고 있으며, 전술된 직교신호 처리방법은 위상이 90도가 되는 지점을 정확히 찾을 경우, 아크탄젠트 복조(Arctangent demodulation), 크로스 멀티플라이법 및 페이즈 언랩핑(Phase unwrapping) 방법 등 종래에 수행되는 방법에 의하여 위상 변화를 측정할 수 있는 방법으로, 위상을 정확히 90도 간격으로 샘플 링해야 하는 것이 기술적 관건이 되고 있다.
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로, 본 발명의 목적은 더블패스 마하젠더 간섭신호로부터 영점 검출법을 이용하여 기준 트리거 신호를 생성함으로써, 정확히 90도 위상차를 갖는 샘플을 추출할 수 있는 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 더블 패스 마하젠더 간섭 신호로부터 영점을 검출하여 이를 90도 위상차의 기준 트리거 신호로 활용함으로써, 마이켈슨 간섭계의 광섬유 라인으로 가해지는 물리적 변화량을 복조할 수 있는 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 관점에 따른 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템은, 입사된 광원을 분배 결합하기 위한 제1 광섬유 커플러 및 제2 광섬유 커플러 사이로 상기 광원의 편광을 제어하기 위한 편광 제어부가 장착된 제1 암과, 상기 제1 광섬유 커플러 및 제2 광섬유 커플러 사이로 외부 신호에 근거하여 위상 변조를 수행하는 위상 변조부가 장착된 제2 암으로 이루어진 마하젠더 간섭계; 일측 단으로 상기 제2 광섬유 커플러와 연장되고, 타측 단으로 물리적 변화에 따른 위상변조를 검출하기 위한 센서 암 및 기준 암들이 접속된 제3 광섬유 커플러를 포함하여, 상기 제3 광섬유 커플러 및 제2 광섬유 커플러 사이로 섬유 결합기를 구비한 마이켈슨 간섭계; 상기 섬유 결합기의 프레즈넬 반사를 유도 하여 상기 마하젠더 간섭계 및 마이켈슨 간섭계로부터 간섭신호를 추출하기 위해 상기 제1 광섬유 커플러에 접속되는 제1 광검출기 및 상기 제3 광섬유 커플러에 접속되는 제2 광검출기로 이루어진 광검출부; 및 상기 제1 광검출기에서 검출된 신호에 대한 영점 주기에 기초하여 기준 트리거 신호를 생성하고, 상기 기준 트리거 신호를 상기 제2 광검출기의 데이터 취득 트리거로 이용하여 두 신호에 대한 위상 변화로부터 물리적 변화량을 추출하기 위한 연산부로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명은 더블 패스 마하젠더 간섭 신호로부터 영점을 검출하여, 90도 위상 차를 갖는 기준 트리거 신호를 생성함에 따라, 위상 변조의 비선형적 동작 특성이나, 위상변조 신호의 형태에 관계없이 정확한 90도 위상 간격으로 정확한 샘플링이 가능한 효과가 있다. 또한 별도의 외부 트리거를 사용하지 않아 시스템의 생산 비용을 절감시키고, 시스템의 크기를 간소화할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명은 외부 트리거를 사용하지 않음에 따라, 종래 외부 트리거 사용에 따른 두 신호 간의 상대적 진폭, 위상차 등에 대한 강도-편광 섭동(Intensity-polarization perturbations), 입력파장의 편차, 광 검출기나 전지기기 등으로부터의 악영향에 따른 추가적인 이득 또는 위상의 조정에 대한 필요성을 배제할 수 있어 시스템의 안정성을 확보할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명은 더블 패스 마하젠더 간섭 신호로부터 내부 트리거 신호를 생성하고, 마이켈슨 간섭계를 센서로 적용함으로써, 센서의 민감도 및 측정 범위를 확장할 수 있는 효과가 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 예시도면에 의거 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 더블패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템을 나타낸 구성도이다. 도시된 바와 같이, 입사된 광원을 분배 결합하기 위한 제1 광섬유 커플러(101) 및 제2 광섬유 커플러(103) 사이로 상기 광원의 편광을 제어하기 위한 편광 제어부(105:Polarization Controller)가 장착된 제1 암(130)과, 상기 제1 광섬유 커플러(101) 및 제2 광섬유 커플러(103) 사이로 외부 신호에 근거하여 위상 변조를 수행하는 위상 변조부(107:Phase Modulator)가 장착된 제2 암(140)으로 이루어진 마하젠더 간섭계; 일측 단으로 상기 제2 광섬유 커플러(103)와 연장되고, 타측 단으로 물리적 변화에 따른 위상변조를 검출하는 센서 암(115) 및 기준 암(113)들이 접속된 제3 광섬유 커플러(109)를 포함하여, 상기 제3 광섬유 커플러(109) 및 제2 광섬유 커플러(103) 사이로 섬유 결합기(111:Fiber Connector)를 구비한 마이켈슨 간섭계; 상기 섬유 결합기(111)의 프레즈넬 반사를 유도하여 상기 마하젠더 간섭계 및 마이켈슨 간섭계로부터 간섭신호를 추출하기 위해 상기 제1 광섬유 커플러(101)에 접속되는 제1 광검출기(121:Photo Diode 1) 및 상기 제3 광섬유 커플러(109)에 접속되는 제2 광검출기(123:Photo Diode 2)로 이루어진 광검출부; 상기 제1 광검출기(121)에서 검출된 신호에 대한 영점 주기에 기초하여 기준 트리거 신호를 생성하고, 상기 기준 트리거 신호를 상기 제2 광검출기(123)의 데이터 취득 트리거로 이용하여 두 신호에 대한 위상 변화로부터 물리적 변화량을 추출하기 위한 연산부(150)로 이루어진다.
본 발명의 실시 예에 따라, 상기 섬유 결합기(111) 및 제3 광섬유 커플러(109) 사이로 상기 광원에 대한 출력 신호를 일 방향으로만 전송하기 위한 단향관(125:ISOlator)을 더 포함할 수 있을 것이다. 상기 단향관(125)은 신호를 한 방향으로만 전달하고 다른 방향으로 신호가 전달되는 것을 방지한다. 이는 섬유 결합기(111)를 일부 관통한 광원이 상기 제3 광섬유 커플러(109)로 제공되되, 상기 제3 광섬유 커플러(109)를 거쳐 유입되는 광원이 상기 섬유 결합기(111)를 관통하지 못하도록 함에 있다.
또한, 상기 제1 광검출기(121) 및 제2 광검출기(123)에는 로우패스 필터(127, 129: LPF)가 각각 접속되며, 검출된 신호에 대한 노이즈를 제거한다.
한편, 상기 광섬유 센서 시스템으로 적용되는 광원은 DFB(Distributed Feedback) 즉, 분산귀환형 레이져 다이오드를 이용한 광원이 사용되나, 저간섭 광원이 사용될 수 있을 것이다. 즉, 저간섭 광원이 사용될 경우, 간섭계의 암 길이를 조절함으로써, 광원의 종류에 한정되지 않을 것이다. 또한 상기 센서 암(115)에는 원통형 압전소자(PZT)를 감아 물리적 변화에 따른 위상 변조가 이루어지도록 한다.
상기 위상 변조부(107)는 제2 암(140)의 광경로의 길이를 조정할 수 있는 장치로써, 전기적 신호의 세기에 따라 팽창 또는 수축이 가능한 압전소자가 가능할 것이다. 또한, 상기 위상 변조부(107)로 인가되는 램프 신호는 왜곡된 램프신호, 정현파 신호, 삼각파 신호 등이 사용될 수 있으며, 상기 제2 광검출기(113)에서 검출된 신호를 기준으로 2π 이상의 변조 주기를 갖는 신호일 경우, 신호 종류에 관계없을 것이다.
상기 섬유 결합기(111)는 커넥터 구조로써 커넥터를 풀거나 조이도록 하여 프레즈넬 반사를 유도한다. 이는 도 2에 도시된 바와 같이, 섬유 결합기(111)는 크래딩측과 코어층으로 이루어진 제1 광섬유(181) 및 제2 광섬유(182) 사이로 전반사(Frustrated total internal reflection)를 유도하기 위한 간극(d)이 형성된다.
상기 간극(d)은 광신호가 굴절률 n1을 가지는 제1 광섬유(181)와 굴절률 n2를 가지는 간극(d)을 통과할 때 일부의 신호는 간극을 투과하여 제2 광섬유(182)로 전달이 되지만, 일부 신호는 간극에서 반사되어 다시 제1 광섬유(181)를 통하여 역으로 전달 되도록 구성된다. 여기서, 상기 간극(d)은 투과된 신호와 반사된 신호가 제1 광검출기(131) 및 제2 광검출기(132)에 의해 검출될 수 있는 정도의 세기를 가질 수만 있다면 그 간격에 제한이 없을 것이다.
이하, 본 발명의 동작을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 상기 레이저 다이오드를 통해 방사되는 광원 예컨대, DFB 광원은 상기 마하젠더 간섭계의 제1 광섬유 커플러(101) 및 편광 제어부(105), 제2 광섬유 커플러(103)로 전송된다. 상기 편광 제어부(105)는 경유하는 빛의 편광을 제어하는 구성요소로, 특정 편광만을 통과시킴으로써 검출되는 신호에서 노이즈를 줄일 수 있게 된다.
상기 편광 제어부(105)를 거쳐 제2 광섬유 커플러(103)로 인가된 광원은 마이켈슨 간섭계의 섬유 결합기(111)로 제공된다. 상기 섬유 결합기(111)는 굴절률 n1을 가지는 제1 광섬유(181)와 굴절률 n2를 가지는 간극(d)에 의해, 입사 광원에 대한 일부 광원이 간극을 투과하여 제2 광섬유(182)로 전달되고, 일부 광원은 굴절율 차이에 의해 상기 간극에서 반사되어 다시 제2 광섬유 커플러(103)를 통해 위상 변조부(107)로 제공된다.
상기 위상 변조부(107)는 전술된 바와 같이 위상 변조부(107)로 인가되는 위상 변조신호에 따라 제2 암(140)의 광경로를 조정하는 장치로써, 압전소자 예컨대 원통형 압전소자가 사용될 수 있다. 이러한 압전소자로 소정 주파수의 전기 신호가 인가되면, 전기 신호의 세기에 따라 팽창 또는 수축하면서 그 주위를 따라 형성된 광경로의 길이를 변화시키고, 이에 따라 간섭에 의해 발생되는 신호가 위상변조된다.
상기 위상 변조부(107)로 인가되는 소정 주파수 대역의 신호는 마이켈슨 간섭 효과에 의한 위상신호가 4π의 주기를 생성하도록 25Hz의 신호로서, 상기 소정 주파수 대역의 신호에 의해 상기 제1 광검출기(121)에서 검출된 신호는 주기적인 사인파 신호를 형성하며, 각 π주기가 마하젠더 간섭계의 간섭을 일으키는 광신호 즉, 제2 검출기(123)에서 검출된 신호의 π/2의 위상 주기에 해당한다.
반면, 상기 섬유 결합기(111)에 의해 일부 경유된 광원은 상기 단향관(125)으로 제공되며, 상기 단향관(125)은 입사 광원을 한 방향으로만 전달하고 다른 방향으로 신호가 전달되는 것을 방지한다. 따라서, 상기 섬유 결합기(111)를 관통한 광원은 제2 광섬유 커플러(109)로 인가되지만, 상기 센서 암(115)으로부터 인가되는 광원은 제2 광섬유 커플러(103)로 인가되지 못한다. 이는 센서 암(115)으로부터 인가되는 광원에 의해 제1 광검출기(121)에서 검출되는 신호에 노이즈가 발생하지 않도록 하기 위함이다. 그리고, 상기 제1 광검출기(121)에서 검출된 신호는 상기 로우패스 필터(127)를 거쳐 기준치의 노이즈가 제거된 후, 상기 연산부(150)로 전송된다.
한편, 상기 제3 광섬유 커플러(109)로 접속되는 센서 암(115)은 원통형 압전소자(117)를 보유하며, 상기 원통형 압전소자(117)는 물리적 변화량 측정을 위한 임의의 대상물로 장착된다. 따라서, 대상물의 물리적 변화는 상기 원통형 압전소자(117)를 미세 변형시키고, 상기 센서 암(115)을 관통하는 광원의 위상을 변조시킨다. 이와 같이 위상 변조된 광원은 상기 제3 광섬유 커플러(109)를 거쳐 제2 광검출기(123)로 제공된다. 상기 제2 광검출기(123)를 통해 검출된 위상 변조 신호는 상기 로우패스 필터(129)를 거쳐 노이즈가 제거된 후, 연산부(150)로 전송된다.
상기 연산부(150)는 제1 광검출기(121)로부터 검출된 위상 변조신호를 토대로 영점 검출법을 이용한 기준 트리거 신호를 생성하며, 기준 트리거 신호를 토대로 상기 마이켈슨 간섭 신호의 제로 크로싱이 일어나는 시점을 추출한다. 연산부(150)는 상기 제2 광검출기(123)에서 검출된 마하젠더 간섭 신호를 90도 간격으로 샘플링하고, 직교신호 처리를 기반으로 간섭 신호에 대한 복조를 수행하여 상기 센서에 의해 감지된 물리적 변화량을 연산한다. 여기서, 상기 간섭 신호에 대한 복조 방식은 아크탄젠트 복조, 위상 언랩핑(Phase unwrapping)과 같은 종래의 직교신 호처리에서 사용되는 복조 방법에 근거할 수 있을 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 더블패스 마하젠더 간섭계에서 이용하는 위상 변조신호를 나타낸 그래프이다. 도 4는 Lissajous 플랏을 나타낸 그래프이다.
상기 Lissajous 플랏은 샘플링된 간격이 정확히 π/2 가 될수록 원형을 띠게 되도록 되어 있는데, 도 3과 같은 다수 종류의 램프 신호가 입력되더라도, Lissajous 플랏이 원형을 띠고 있음을 나타내고 있다. 이는 상기 제1 광검출기(121)에서 검출된 광신호에 의해 검출된 기준 트리거 신호가 정확히 90도 위상차를 가지고 있음을 의미한다. 결국, 본 발명의 더블패스 마하젠더 간섭계에서 사용되는 위상변조 신호에 관계없이 정확하게 위상이 π/2 간격으로 샘플링이 가능한 것이다.
전술된 바와 같이, 본 발명은 내부 트리거 신호를 이용한 광섬유 센서 시스템을 구축함으로써, 하나의 신호만을 이용한 모든 측정이 가능하여 외부 영향에 상관없이 90도 위상 차의 정확한 샘플링 신호를 제공함에 따라 시스템의 안정성을 높이고 생산 단가를 격감시켜 계측 분야에서의 산업적 이용 가치를 높일 것으로 판단된다.
도 1은 본 발명에 따른 더블패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템을 나타낸 구성도이다.
도 2는 도 1의 섬유 결합기 원리를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 더블패스 마하젠더 간섭계에서 이용하는 위상 변조신호를 나타낸 그래프이다.
도 4는 본 발명의 실험에 따른 Lissajous 플랏을 나타낸 그래프이다.
<주요 도면에 대한 부호의 설명>
101 : 제1 광섬유 커플러 103 : 제2 광섬유 커플러
105 : 편광 제어부 107 : 위상 변조부
109 : 제3 광섬유 커플러 111 : 섬유 결합기
113 : 기준 암 115 : 센서 암
119 : 광원 121 : 제1 광검출기
123 : 제2 광검출기 125 : 단향관(ISO)
127, 129 : 로우패스 필터 130 : 제1 암
140 : 제2 암 150 : 연산부

Claims (13)

  1. 물리적 변화량을 측정하기 위한 광섬유 센서 시스템에 있어서,
    입사된 광원을 분배 결합하기 위한 제1 광섬유 커플러 및 제2 광섬유 커플러 사이로 상기 광원의 편광을 제어하기 위한 편광 제어부가 장착된 제1 암과, 상기 제1 광섬유 커플러 및 제2 광섬유 커플러 사이로 외부 신호에 근거하여 위상 변조를 수행하는 위상 변조부가 장착된 제2 암으로 이루어진 마하젠더 간섭계;
    일측 단으로 상기 제2 광섬유 커플러와 연장되고, 타측 단으로 물리적 변화에 따른 위상변조를 검출하기 위한 센서 암 및 기준 암들이 접속된 제3 광섬유 커플러를 포함하여, 상기 제3 광섬유 커플러 및 제2 광섬유 커플러 사이로 섬유 결합기를 구비한 마이켈슨 간섭계;
    상기 섬유 결합기의 프레즈넬 반사를 유도하여 상기 마하젠더 간섭계 및 마이켈슨 간섭계로부터 간섭신호를 추출하기 위해 상기 제1 광섬유 커플러에 접속되는 제1 광검출기 및 상기 제3 광섬유 커플러에 접속되는 제2 광검출기로 이루어진 광검출부; 및
    상기 제1 광검출기에서 검출된 신호에 대한 영점 주기에 기초하여 기준 트리거 신호를 생성하고, 상기 기준 트리거 신호를 상기 제2 광검출기의 데이터 취득 트리거로 이용하여 두 신호에 대한 위상 변화로부터 물리적 변화량을 추출하기 위한 연산부로 이루어진 것을 특징으로 하는 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 섬유 결합기 및 제3 광섬유 커플러 사이로 상기 광원에 대한 출력 신호를 일 방향으로만 전송하기 위한 단향관(Isolator)이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 광검출기 및 제2 광검출기에는 각각의 검출 신호에 대한 노이즈를 제거하기 위한 각각의 로우패스 필터가 각각 접속되는 것을 특징으로 하는 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템.
  4. 삭제
  5. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 광섬유 센서 시스템으로 적용되는 광원은 분산귀환형DFB(Distributed Feedback) 레이져 다이오드를 이용한 광원이 사용되는 것을 특징으로 하는 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 마이켈슨 간섭계의 센서 암은 물리적 변화에 따른 위상 변조를 수행하는 압전소자가 장착되는 것을 특징으로 하는 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 압전소자는 원통형 압전소자인 것을 특징으로 하는 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 위상 변조부는 상기 제2 암의 광경로의 길이를 임의적으로 조정하기 위한 장치인 것을 특징으로 하는 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 위상 변조부는 전기적 신호의 세기에 따라 팽창 또는 수축이 가능한 압전소자인 것을 특징으로 하는 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템.
  10. 제 1 항, 제 8 항 및 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 위상 변조부로 인가되는 외부 신호는 상기 제2 광검출기에서 검출된 신호를 기준으로 2π 이상의 변조 주기를 갖는 신호인 것을 특징으로 하는 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 외부 신호는 왜곡된 램프신호, 정현파 신호, 구형파 신호, 삼각파 신호 중 어느 하나의 신호인 것을 특징으로 하는 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 섬유 결합기는 각각으로 크래딩측과 코어층으로 이루어진 제1 광섬유 및 제2 광섬유 사이로 전반사(Frustrated total internal reflection)를 유도하기 위한 간극(d)을 갖는 것을 특징으로 하는 더블 패스 마하젠더 간섭계를 이용한 광섬유 센서 시스템.
  13. 삭제
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