KR100978857B1 - Method and equipment for treating substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 카세트들의 적재 및 공급이 가능한 기판 처리 설비에 관한 것이다. 본 발명의 기판 처리 설비는 공정처리 전 기판들이 적재된 카세트 및 공정처리 후 기판들이 적재된 카세트가 카세트 물류 장치에 의해 반송되기 전에 대기하는 테이블들; 기판들을 공정 챔버로 투입시키기 위해 카세트의 도어를 개폐하는 카세트 오프너; 및 상기 테이블들과 상기 카세트 오프너 간의 카세트 반송을 위한 카세트 반송 로봇을 포함한다.The present invention relates to a substrate processing facility capable of loading and supplying cassettes. The substrate processing apparatus of the present invention includes: a table waiting for a cassette loaded with substrates before processing and a cassette loaded with substrates after processing, before being conveyed by the cassette logistics apparatus; A cassette opener that opens and closes the door of the cassette for introducing substrates into the process chamber; And a cassette transfer robot for cassette transfer between the tables and the cassette opener.

OHT,공급,오프너,인덱스,카세트 OHT, supply, opener, index, cassette

Description

기판 처리 설비 및 방법{METHOD AND EQUIPMENT FOR TREATING SUBSTRATE}Substrate Processing Equipment and Method {METHOD AND EQUIPMENT FOR TREATING SUBSTRATE}

본 발명은 기판 처리를 위한 설비에 관한 것으로, 더 상세하게는 카세트들의 적재 및 공급이 가능한 기판 처리 설비 및 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for substrate processing, and more particularly, to a substrate processing apparatus and method capable of loading and supplying cassettes.

일반적으로 반도체 소자는, 기판인 웨이퍼(wafer) 상에 여러 가지 물질을 박막형태로 증착하고 이를 패터닝하여 구현되는데, 이를 위하여 증착공정, 식각공정, 세정공정, 건조공정 등 여러 단계의 서로 다른 공정이 요구된다.Generally, a semiconductor device is implemented by depositing and patterning various materials on a wafer, which is a substrate, in a thin film form. For this purpose, different processes such as deposition, etching, cleaning, and drying are performed. Required.

이러한 각각의 공정에서 처리 대상물인 웨이퍼는 해당공정의 진행에 적절한 환경을 가지고 있는 반도체 제조 설비로 이송되어 처리되며, 이상과 같은 각 반도체 제조 설비로의 웨이퍼 이송은 대부분 약 25매의 웨이퍼가 적재되는 웨이퍼 카세트 단위로 수행된다. In each of these processes, the wafers to be processed are transferred to a semiconductor manufacturing facility having an environment suitable for the process, and processed, and the wafer transfer to each semiconductor manufacturing facility as described above is mostly loaded with about 25 wafers. It is performed in wafer cassette units.

따라서, 작업자 또는 소정 이송수단에 의하여 약 25매의 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트가 반도체 제조 설비로 이송되면, 반도체 제조설비는 웨이퍼 카세트에 적재된 웨이퍼를 순차적으로 인출한 다음 공정을 진행하고, 공정을 진행한 후에는 웨이퍼가 인출된 카세트로 웨이퍼를 다시 수납시키거나 별도로 마련된 빈 카세트로 웨이퍼를 수납시키는 방법으로 공정을 진행한다. Therefore, when a wafer cassette loaded with about 25 wafers is transferred to a semiconductor manufacturing facility by an operator or a predetermined transfer means, the semiconductor manufacturing facility sequentially withdraws the wafers loaded in the wafer cassette and then proceeds the process. After proceeding, the process is carried out by storing the wafer in the cassette from which the wafer is taken out or storing the wafer in an empty cassette provided separately.

카세트는 반도체 제조 설비의 전방에 배치되는 인덱스의 카세트 오프너로 제공되는데, 카세트 오프너는 보통 1-4개로 구성되기 때문에 반도체 라인의 물류 제어 능력에 따라 설비의 생산성이 결정된다.The cassette is provided as a cassette opener of an index disposed in front of the semiconductor manufacturing equipment. Since the cassette openers are usually composed of 1-4, the productivity of the equipment is determined by the logistics control capability of the semiconductor line.

본 발명은 카세트의 연속 공급이 가능한 기판 처리 설비 및 방법을 제공한다.The present invention provides a substrate processing apparatus and method capable of continuously supplying a cassette.

본 발명은 카세트 물류 시스템의 비 정상적인 상태에서도 연속적인 공정이 가능한 기판 처리 설비 및 방법을 제공한다.The present invention provides a substrate processing apparatus and method capable of continuous processing even in an abnormal state of a cassette logistics system.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. The problem to be solved by the present invention is not limited thereto, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명은 기판 처리 설비를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판 처리 설비는 전면에 카세트 오프너들이 구비된 인덱스부; 상기 인덱스부 전방에 배치되고, 카세트 물류 장치로부터 카세트를 제공받아 상기 카세트 오프너로 공급하고, 상기 카세트 오프너로부터 카세트를 회수하여 상기 카세트 물류 장치로 제공하는 카세트 공급부를 포함한다.The present invention provides a substrate processing facility. According to an embodiment of the present invention, a substrate processing apparatus includes: an index unit having cassette openers on a front surface thereof; It is disposed in front of the index unit, and receives a cassette from a cassette distribution device and supplies to the cassette opener, and a cassette supply unit for collecting the cassette from the cassette opener to provide to the cassette distribution device.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 카세트 공급부는 카세트의 반입 반출이 이루어지는 로드포트; 상기 로드포트와 상기 카세트 오프너 사이에 배치되는 카세트 반송 로봇; 및 카세트가 대기하는 대기 테이블들을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the cassette supply unit load port is carried in and out of the cassette; A cassette transport robot disposed between the load port and the cassette opener; And wait tables on which the cassette waits.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 로드 포트는 카세트가 놓여지는 테이블을 포함하되; 상기 테이블은 설비로의 카세트 반입 및 설비로부터의 카세트 반출을 위해 슬라이드 이동된다.According to an embodiment of the invention, the load port includes a table on which a cassette is placed; The table is slide-shifted for cassette loading into and out of the cassette.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 선반들은 상기 카세트 오프너의 상부 공간과 상기 로드 포트의 상부 공간에 다단으로 설치된다.According to an embodiment of the present invention, the shelves are installed in multiple stages in the upper space of the cassette opener and the upper space of the load port.

본 발명의 기판 처리 설비는 공정처리 전 기판들이 적재된 카세트 및 공정처리 후 기판들이 적재된 카세트가 카세트 물류 장치에 의해 반송되기 전에 대기하는 테이블들; 기판들을 공정 챔버로 투입시키기 위해 카세트의 도어를 개폐하는 카세트 오프너; 및 상기 테이블들과 상기 카세트 오프너 간의 카세트 반송을 위한 카세트 반송 로봇을 포함한다.The substrate processing apparatus of the present invention includes: a table waiting for a cassette loaded with substrates before processing and a cassette loaded with substrates after processing, before being conveyed by the cassette logistics apparatus; A cassette opener that opens and closes the door of the cassette for introducing substrates into the process chamber; And a cassette transfer robot for cassette transfer between the tables and the cassette opener.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 카세트 물류 장치로부터 제공되는 카세트는 상기 테이블들 중 적어도 하나에 놓여진다.According to an embodiment of the invention, the cassette provided from the cassette distribution device is placed in at least one of the tables.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 테이블들 중 적어도 하나는 상기 카세트 물류 장치로부터 카세트를 제공받기 위해 설비의 전면으로 슬라이드 이동된다.According to an embodiment of the present invention, at least one of the tables is slid to the front of the facility to receive a cassette from the cassette distribution device.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 테이블들은 카세트가 놓여지도록 다단으로 제공된다.According to an embodiment of the present invention, the tables are provided in multiple stages for placing a cassette.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 카세트 반송 로봇은 카세트를 파지 및 파지해제하는 그리퍼를 갖는 아암부; 상기 아암부를 승강시키는 승강부; 및 상기 아암부를 수평 이동시키는 수평 이동부를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the cassette transfer robot includes an arm portion having a gripper for holding and releasing a cassette; An elevating unit for elevating the arm unit; And a horizontal moving part for horizontally moving the arm part.

본 발명의 기판 처리 방법은 공정 처리전 기판들이 수납된 카세트는 카세트 물류 장치에 의해 로드 포트로 제공되고, 상기 로드 포트에 놓여진 카세트는 비어있는 카세트 오프너로 반송되거나 또는 테이블로 반송되어 대기하게 되며, 상기 테이블에서 대기중인 카세트는 상기 카세트 오프너들 중에서 자리가 빈 카세트 오프 너로 반송된다.In the substrate processing method of the present invention, the cassettes in which the substrates are stored before the process are provided to the load port by the cassette logistics apparatus, and the cassette placed on the load port is returned to the empty cassette opener or returned to the table to stand by. The cassette waiting at the table is returned to a cassette opener among the cassette openers.

본 발명의 실시예에 따르면, 공정을 마친 기판들이 수납된 카세트는 상기 카세트 오프너로부터 상기 로드 포트 또는 비어 있는 상기 테이블로 옮겨진다.According to an embodiment of the present invention, the cassette containing the finished substrates is transferred from the cassette opener to the load port or the empty table.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 로드 포트는 상기 카세트 물류 장치로부터 카세트를 제공받기 위해 설비의 전면으로 슬라이드 이동된다.According to an embodiment of the invention, the load port is slid to the front of the facility to receive the cassette from the cassette distribution device.

본 발명에 의하면, 인덱스의 카세트 오프너들로의 신속한 카세트 공급과 회수가 가능하다. According to the present invention, a rapid cassette supply and withdrawal to the cassette openers of the index is possible.

또한, 본 발명에 의하면, OHT의 정체 및 지연으로 인해 원활한 카세트 공급 및 회수가 어렵다 하더라도 카세트 오프너들로 카세트 공급과 회수가 가능하다.In addition, according to the present invention, even if a smooth cassette supply and recovery is difficult due to stagnation and delay of OHT, cassette supply and recovery are possible with cassette openers.

또한, 본 발명에 의하면, 인덱스에서 기판을 준비하는 시간을 단축하여 기판들의 연속 투입이 가능하게 함으로써 생산성의 한계를 극복할 수 있다. In addition, according to the present invention, it is possible to overcome the limitation of productivity by shortening the time to prepare the substrate in the index to enable the continuous input of the substrates.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 4b를 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 1 to 4B. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shape of the elements in the drawings are exaggerated to emphasize a more clear description.

본 실시예에서 기판은 반도체 웨이퍼 또는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(FieldEmission Display), ELD(Electro Luminescence Display)와 같은 평판 디스플레이(flat panel display, 이하 'FPD') 소자를 제조하기 위한 기판일 수 있다. In this embodiment, the substrate may be a semiconductor wafer or a flat panel display such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display (PDP), a vacuum fluorescent display (VFD), a field emission display (FED), or an electroluminescence display (ELD). It may be a substrate for manufacturing a 'FPD' device.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 사시도이다. 도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 인덱스부와 카세트 공급부를 보여주는 단면도 및 평면도이다. 1 is a perspective view of a substrate processing facility according to an embodiment of the present invention. 2 and 3 are a cross-sectional view and a plan view showing an index portion and a cassette supply portion of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비(1)는 후방에 기판에 대한 공정처리가 이루어지는 공정 처리부(100), 카세트로부터 기판들을 인출가 구비되고, 그 앞단으로 인덱스부(200)가 구비되며, 설비의 전방에는 카세트 공급부(300)가 구비된다. 1 to 3, a substrate processing apparatus 1 according to an embodiment of the present invention is provided with a process processing unit 100 in which process processing is performed on a substrate at a rear thereof, and withdrawing substrates from a cassette, and indexes the front end thereof. The unit 200 is provided, and the cassette supply unit 300 is provided at the front of the facility.

공정 처리부(100)는 복수개의 공정 챔버(미도시됨)들을 포함하며, 이들은 독립적인 모듈의 형태로 제공될 수 있다. 모듈이라 함은 각 공정 챔버들이 각각의 기판 처리 기능을 수행함에 있어서 독립적인 동작이 가능하도록 관련 파트들이 하나의 독립적인 하우징 내에 설치된 것을 말한다. 모듈의 형태로 제공되는 공정 챔버들은 기판 처리 설비의 레이아웃에 따라 공정 처리부를 구성하게 된다.The process processor 100 includes a plurality of process chambers (not shown), which may be provided in the form of independent modules. Module means that the relevant parts are installed in one independent housing so that each process chamber can perform independent operation in performing each substrate processing function. Process chambers provided in the form of modules form a process processing unit according to the layout of the substrate processing facility.

인덱스부(200)는 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module; EFEM)이라고 불리기도 하지만, 본 발명에서는 인덱스부가 설비 전방 단부에 설치되지 않기 때문에 그 명칭은 적절하다 할 수 없다. 인덱스부(200)와 공정처리부(300)는 로드락 챔버(310)에 의해 연결되며, 로드락 챔버(310)는 슬릿 밸브(312)에 의해 개폐된다. 인덱스부(200)는 기판 반송 로봇(210)과 4개의 카세트 오프너(220)를 포함한 다. 기판 반송 로봇(210)은 기판 이송을 담당하며 회동, 승강 및 하강이 가능하다. 기판 반송 로봇(210)은 캐리어(C)로부터 일회 동작에 적어도 한 장의 기판을 반출하여 로드락 챔버(310)로 반입할 수 있다. 이를 위하여 기판 반송 로봇(210)은 적어도 한 개의 엔드 이펙터(end effector)(212)를 구비한 싱글 암 구조의 로봇을 사용할 수 있다. The index portion 200 is also called an equipment front end module (EFEM), but in the present invention, since the index portion is not installed at the equipment front end, its name may not be appropriate. The index unit 200 and the process processor 300 are connected by the load lock chamber 310, and the load lock chamber 310 is opened and closed by the slit valve 312. The index unit 200 includes a substrate transfer robot 210 and four cassette openers 220. The substrate transfer robot 210 is responsible for the substrate transfer and can be rotated, raised and lowered. The substrate transfer robot 210 may carry out at least one substrate from the carrier C and carry it into the load lock chamber 310 in one operation. To this end, the substrate transfer robot 210 may use a single arm robot having at least one end effector 212.

이와 같이 기판 반송 로봇(210)은 본 실시예에서 보여주는 싱글 암 구조의 방식 이외에도 통상적인 반도체 제조 공정에서 사용되는 다양한 로봇들이 사용될 수 있다. As described above, the substrate transfer robot 210 may use various robots used in a conventional semiconductor manufacturing process, in addition to the single arm structure shown in the present embodiment.

카세트 오프너(220)는 카세트(C)의 도어를 개폐하기 위한 것으로, 카세트(C)에는 300mm 기판에 사용되는 밀폐형 저장 용기인 풉(FOUP, front open unified pod)이 사용된다. 카세트 오프너(220)는 카세트(C)가 놓여지는 스테이지(222)와, 스테이지(222)에 놓여진 카세트(C)의 도어를 개폐하는 도어 개폐부재(224)를 포함하는 통상의 구성으로 이루어진다. 카세트 오프너(220)에는 카세트 공급부(300)의 카세트 반송 로봇(310)에 의해 카세트(C)가 로딩/언로딩된다. The cassette opener 220 is used to open and close the door of the cassette C. The cassette C uses a front open unified pod (FOUP), which is a sealed storage container used for a 300 mm substrate. The cassette opener 220 has a conventional configuration including a stage 222 on which the cassette C is placed, and a door opening and closing member 224 for opening and closing the door of the cassette C placed on the stage 222. The cassette C is loaded / unloaded into the cassette opener 220 by the cassette transfer robot 310 of the cassette supply unit 300.

카세트 공급부(300)는 카세트 물류 장치(20)로부터 카세트(C)를 제공받아 카세트 오프너(220)로 공급(카세트 로딩)하고, 카세트 오프너(220)로부터 카세트를 회수(카세트 언로딩)하여 카세트 물류 장치(20)로 제공한다. 카세트 공급부(300)는 이미 반도체 생산 라인에 설치된 기판 처리 설비의 인덱스부 전방에 설치할 수 있도록 독립적인 모듈의 형태로 제공될 수 있다. 이처럼, 카세트 공급부(300)는 설비의 전방 단부에 설치되기 때문에 앞에서 언급한 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module; EFEM)이라 할 수 있다. The cassette supply unit 300 receives the cassette C from the cassette distribution device 20 and supplies the cassette C to the cassette opener 220 (cassette loading), and collects the cassette from the cassette opener 220 (cassette unloading) to supply the cassette. To the device 20. The cassette supply part 300 may be provided in the form of an independent module so that the cassette supply part 300 may be installed in front of the index part of the substrate processing equipment already installed in the semiconductor production line. As such, since the cassette supply unit 300 is installed at the front end of the facility, the cassette supply unit 300 may be referred to as the aforementioned equipment front end module (EFEM).

카세트 공급부(300)는 설비로의 카세트(C) 반입 반출이 이루어지는 4개의 로드포트(320)와, 로드포트(320)들과 카세트 오프너(220)들 사이에 배치되는 카세트 반송 로봇(310) 및 카세트(C)를 적재할 수 있는 대기 테이블(330)들을 포함한다. The cassette supply unit 300 includes four load ports 320 for carrying in and out of the cassette C to the facility, a cassette transfer robot 310 disposed between the load ports 320 and the cassette openers 220, and Waiting tables 330 capable of loading cassettes C are included.

로드포트(320)들은 카세트 공급부(300)의 전면(302), 즉 기판 처리 설비의 전방에 설치된다. 로드포트(320)는 카세트(C)가 놓여지는 테이블(322)을 갖으며, 이 테이블(322)은 설비로의 카세트 반입 및 설비로부터의 카세트 반출을 위해 전후 방향으로 슬라이드 이동된다. 물론, 카세트 공급부(300)의 전면(302)에는 테이블(322)에 놓여진 카세트(C)가 설비로 출입할 수 있는 개구(304)가 형성된다. 카세트(C)는 반도체 생산 라인의 천장에 설치되어 있는 카세트 물류 장치의 하나인 오버헤드 호이스트 트랜스포트(이하; OHT라고 함)(20)를 통해 이송되어 로드포트(320)의 테이블(322)에 놓여진다. 로드 포트(322)에 놓여진 카세트(C)는 테이블(322)의 슬라이드 이동에 의해 개구(304)를 통해 설비 안쪽으로 반입된다. 이렇게 반입된 카세트(C)는 카세트 반송 로봇(310)에 의해 카세트 오프너(220) 또는 대기 테이블(330)들로 반송된다. The load ports 320 are installed on the front surface 302 of the cassette supply 300, that is, in front of the substrate processing facility. The load port 320 has a table 322 on which the cassette C is placed, which is slidably moved forward and backward for cassette loading into and out of the facility. Of course, an opening 304 is formed in the front surface 302 of the cassette supply unit 300 through which the cassette C placed on the table 322 can enter and exit the facility. The cassette C is conveyed through an overhead hoist transport (hereinafter referred to as OHT) 20, which is one of the cassette distribution apparatuses installed on the ceiling of the semiconductor production line, to the table 322 of the load port 320. Is placed. The cassette C placed in the load port 322 is carried into the installation through the opening 304 by the slide movement of the table 322. The cassette C thus carried is conveyed to the cassette opener 220 or the waiting table 330 by the cassette transport robot 310.

카세트 반송 로봇(310)은 카세트(C)를 파지 및 파지해제하는 그리퍼(312)를 갖는 아암부(314)와, 아암부(314)를 승강시키는 승강부(316) 및 아암부(314)를 수평 이동시키는 수평 이동부(318)를 포함한다. 카세트 반송 로봇(310)은 카세트 오프너(220)와 로드 포트(320) 사이의 카세트 반송부 내부 공간에 배치된다. 카세트 반송 로봇(310)은 카세트 오프너(220)와 로드 포트(320) 그리고 대기 테이블(330) 간의 카세트 반송을 책임진다. The cassette carrier robot 310 includes an arm portion 314 having a gripper 312 for holding and releasing a cassette C, and an elevating portion 316 and an arm portion 314 for elevating the arm portion 314. And a horizontal moving unit 318 for horizontal movement. The cassette carrier robot 310 is disposed in the cassette carrier part inner space between the cassette opener 220 and the load port 320. The cassette transfer robot 310 is responsible for the cassette transfer between the cassette opener 220, the load port 320, and the waiting table 330.

대기 테이블(330)은 카세트 오프너(220)의 상단에 동일 높이로 4개가 배치되고, 인덱스부(200)의 전면과 마주하는 카세트 반송부의 일면에 2단으로 총 8개가 배치된다. 여기서 대기 테이블(330)들의 설치 위치와 개수는 본 실시예에 한정되지 않는다. 한편, 로드 포트(320)의 테이블(322)도 대기 테이블로 사용될 수 있음은 물론이다. 대기 테이블(330)들에는 공정 처리된 기판들이 수납된 카세트 및 공정 처리전 기판들이 수납된 카세트가 적재된다. 그리고, 대기 테이블(330)에 적재된 공정 처리된 기판들이 수납된 카세트는 카세트 반송 로봇(310)에 의해 로드 포트(320)로 옮겨지고, 대기 테이블(330)에 적재된 공정 처리전 기판들이 수납된 카세트는 카세트 반송 로봇(310)에 의해 빈 카세트 오프너(220)로 옮겨진다. Four standby tables 330 are disposed at the same height at the upper end of the cassette opener 220, and a total of eight stand-up tables 330 are disposed on one surface of the cassette carrier facing the front surface of the index unit 200. Here, the installation position and the number of the waiting tables 330 are not limited to this embodiment. Meanwhile, the table 322 of the load port 320 may also be used as a standby table. The standby tables 330 are loaded with cassettes in which processed substrates are stored and cassettes in which substrates before processing are stored. The cassette containing the processed substrates loaded on the waiting table 330 is transferred to the load port 320 by the cassette transfer robot 310, and the substrates before the processing loaded on the waiting table 330 are stored. The cassette is transferred to the empty cassette opener 220 by the cassette carrier robot 310.

상술한 바와 같이, 카세트 공급부(300)는 인덱스부(200)의 카세트 오프너(220)들로의 신속한 카세트 공급과 회수를 위한 것이다. 즉, 본 발명의 기판 처리 설비(1)는 OHT(20)의 정체 및 지연으로 인해 원활한 카세트 공급 및 회수가 어려운 경우에도 설비 자체에 구비된 카세트 공급부에서 카세트의 공급과 회수가 가능하다. 물론, 카세트 공급부(300)는 대기 테이블(330)에 카세트가 모두 적재되기 전까지 지속적으로 OHT(20)로부터 카세트를 제공받는 것이 바람직하다. 이처럼, 일반적으로 OHT(20)는 저속으로 운행하기 때문에 카세트가 기판 처리 설비로 적시에 공급되기 어렵다. 따라서, 본 발명에서는 OHT를 통해 충분한 양의 카세트들을 지속적으로 제공받아 카세트 공급부(300)의 대기 테이블(330)들에 적재함으로써 인덱스부(200)에서 요구하는 신속한 카세트의 교체가 가능한 것이다.As described above, the cassette supply unit 300 is for rapid cassette supply and recovery to the cassette openers 220 of the index unit 200. That is, the substrate processing facility 1 of the present invention can supply and recover cassettes from the cassette supply unit provided in the facility itself even when it is difficult to smoothly supply and recover cassettes due to the congestion and delay of the OHT 20. Of course, the cassette supply unit 300 preferably receives the cassette from the OHT 20 continuously until all of the cassettes are loaded on the waiting table 330. As such, since the OHT 20 generally runs at low speed, it is difficult for the cassette to be timely supplied to the substrate processing facility. Therefore, in the present invention, by receiving a sufficient amount of cassettes continuously through the OHT and loading them on the waiting tables 330 of the cassette supply unit 300, it is possible to quickly replace the cassette required by the index unit 200.

본 발명의 기판 처리 설비에서의 카세트 공급 과정을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the cassette supply process in the substrate processing equipment of the present invention.

우선, 카세트(C)는 반도체 생산 라인의 천장에 설치되어 있는 OHT(20)를 통해 이송되어 로드포트(320)의 테이블(322)에 놓여진다(도 4a). 로드 포트(322)에 놓여진 카세트(C)는 테이블(322)의 슬라이드 이동에 의해 개구(304)를 통해 설비 안쪽으로 반입된다(도 4b). 이렇게 반입된 카세트(C)는 카세트 반송 로봇(310)에 의해 비어있는 카세트 오프너(220)로 제공되고, 카세트 오프너(220)에 카세트가 이미 놓여져 있는 경우에는 대기 테이블로 반송된다. 본 발명의 기판 처리 설비(1)의 카세트 공급부(300)는 카세트(C)가 대기 테이블(330)들에 모두 적재될 때까지 공정 흐름에 상관없이 지속적으로 OHT(20)로부터 카세트를 제공받는다. 카세트는 카세트 오프너(220)에 의해 도어가 개방되고, 공정 처리전 기판들을 기판 반송 로봇(210)에 의해 카세트(C)로부터 인출되어 공정 처리부(100)로 제공된다. 공정 처리부(100)에서 공정을 마친 기판들은 기판 반송 로봇(210)에 의해 다시 카세트(C)에 수납된다. 카세트에 공정을 마친 기판들이 모두 수납되면, 카세트 반송 로봇(310)은 신속하게 해당 카세트를 로드 포트(320) 또는 대기 테이블(330)로 반송하고, 대기 테이블(330)에서 대기하고 있는 카세트를 카세트 오프너(2200로 반송한다. First, the cassette C is conveyed through the OHT 20 installed on the ceiling of the semiconductor production line and placed on the table 322 of the load port 320 (FIG. 4A). The cassette C placed in the load port 322 is carried into the installation through the opening 304 by the slide movement of the table 322 (FIG. 4B). The cassette C thus conveyed is provided to the empty cassette opener 220 by the cassette transport robot 310, and conveyed to the waiting table when the cassette is already placed on the cassette opener 220. The cassette supply part 300 of the substrate processing apparatus 1 of the present invention is continuously provided with the cassette from the OHT 20 regardless of the process flow until the cassette C is loaded on the waiting tables 330. The cassette is opened by the cassette opener 220, the door is opened, and the substrates before the process are taken out from the cassette C by the substrate transfer robot 210 to be provided to the process processor 100. Substrates that have been processed by the process processor 100 are stored in the cassette C again by the substrate transfer robot 210. When all the processed substrates are stored in the cassette, the cassette transfer robot 310 quickly transfers the cassette to the load port 320 or the waiting table 330, and cassettes the cassette waiting at the waiting table 330. It returns to the opener 2200.

이처럼, 본 발명에서는 공정 처리된 기판들이 카세트에 수납되면 카세트 오프너(220)로부터 신속하게 언로딩되고, 공정 처리전 기판들이 수납된 카세트가 신속하게 카세트 오프너(220)로 로딩된다. 따라서,본 발명의 기판 처리 설비(1)는 OHT(20)가 카세트를 회수하기 위해 이동되는 동안 카세트 오프너(220)에서 카세트를 대기시킬 필요가 없다. As such, in the present invention, when the processed substrates are stored in the cassette, the substrates are quickly unloaded from the cassette opener 220, and the cassettes containing the substrates before the processing are quickly loaded into the cassette opener 220. Thus, the substrate processing equipment 1 of the present invention does not need to hold the cassette in the cassette opener 220 while the OHT 20 is moved to recover the cassette.

일반적으로 기판 처리 설비는 기판 반송 기능 및 플로우 그리고 프로세스 타임 개선 등으로 어느 정도의 생산성 향상이 가능하지만, 카세트를 반송하는 반도체 생산 라인의 물류제어 능력에 따라 생산성에 한계가 발생된다. 하지만, 본 발명에서와 같이 복수개의 카세트를 적재할 수 있는 그리고 신속하게 카세트 오프너(220)에서 카세트(처리된 기판들이 수납된 카세트)를 언로딩(회수)하고 새로운 카세트(처리전 기판들이 수납된 카세트)를 로딩(공급)할 수 있는 카세트 공급부(300)를 인덱스부(200)의 전방에 추가함으로써 기판을 준비하는 시간을 단축하여 기판들의 연속 투입이 가능하게 함으로써 생산성의 한계를 극복할 수 있다. 즉, 본 발명은 카세트 물류 시스템의 정체 및 지연문제가 발생하더라도 기판 처리 설비의 생산성을 향상시킬 수 있는 것이다. In general, the substrate processing equipment can improve the productivity to some extent by improving the substrate transfer function, flow, and process time, but the productivity is limited by the logistics control capability of the semiconductor production line that carries the cassette. However, as in the present invention, it is possible to load a plurality of cassettes and to quickly unload (recover) the cassette (the cassette in which the processed substrates are stored) in the cassette opener 220 and to insert the new cassette (the substrate in which the pre-processing substrates are stored). By adding a cassette supply unit 300 capable of loading (supplying) the cassette in front of the index unit 200, the preparation time of the substrates can be shortened to enable continuous feeding of the substrates, thereby overcoming the limitation of productivity. . In other words, the present invention can improve the productivity of the substrate processing equipment even if the problem of congestion and delay of the cassette logistics system.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 사시도이다. 1 is a perspective view of a substrate processing facility according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 인덱스부와 카세트 공급부를 보여주는 단면도 및 평면도이다. 2 and 3 are a cross-sectional view and a plan view showing an index portion and a cassette supply portion of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4a 및 도 4b는 로드 포트에서 카세트의 반입/반출 상태를 보여주는 도면이다.4A and 4B are diagrams showing an import / export state of a cassette in a load port.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 공정 처리부 200 : 인덱스부100: process processing unit 200: index unit

300 : 카세트 공급부300: cassette supply unit

Claims (12)

기판 처리 설비에 있어서:In substrate processing equipment: 전면에 카세트 오프너들이 구비된 인덱스부;An index unit having cassette openers on a front surface thereof; 상기 인덱스부 전방에 배치되고, Disposed in front of the index portion, 카세트 물류 장치로부터 카세트를 제공받아 상기 카세트 오프너로 공급하고,Receiving a cassette from a cassette distribution device and supplying the cassette to the cassette opener, 상기 카세트 오프너로부터 카세트를 회수하여 상기 카세트 물류 장치로 제공하는 카세트 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And a cassette supply unit for recovering a cassette from the cassette opener and providing the cassette to the cassette distribution device. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 카세트 공급부는 The cassette supply unit 카세트의 반입 반출이 이루어지는 로드포트;A load port into which the cassette is carried in and out; 상기 로드포트와 상기 카세트 오프너 사이에 배치되는 카세트 반송 로봇; 및A cassette transport robot disposed between the load port and the cassette opener; And 카세트가 대기하는 대기 테이블들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.Substrate processing facility, characterized in that the cassette comprises waiting tables waiting. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 로드 포트는 The load port is 카세트가 놓여지는 테이블을 포함하되;A table on which a cassette is placed; 상기 테이블은 설비로의 카세트 반입 및 설비로부터의 카세트 반출을 위해 슬라이드 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And the table is slidably moved for cassette in and out of the facility. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 대기 테이블들은 상기 카세트 오프너의 상부 공간과 상기 로드 포트의 상부 공간에 다단으로 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And the waiting tables are provided in multiple stages in an upper space of the cassette opener and an upper space of the load port. 기판 처리 설비에 있어서:In substrate processing equipment: 공정처리 전 기판들이 적재된 카세트 및 공정처리 후 기판들이 적재된 카세트가 카세트 물류 장치에 의해 반송되기 전에 대기하는 테이블들;Tables which wait before the cassette loaded with substrates before processing and the cassette loaded with substrates after processing are conveyed by the cassette logistics apparatus; 기판들을 공정 챔버로 투입시키기 위해 카세트의 도어를 개폐하는 카세트 오프너; 및A cassette opener that opens and closes the door of the cassette for introducing substrates into the process chamber; And 상기 테이블들과 상기 카세트 오프너 간의 카세트 반송을 위한 카세트 반송 로봇을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And a cassette transfer robot for cassette transfer between said tables and said cassette opener. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 카세트 물류 장치로부터 제공되는 카세트는 상기 테이블들 중 적어도 하나에 놓여지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And a cassette provided from the cassette distribution device is placed on at least one of the tables. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 테이블들 중 적어도 하나는 상기 카세트 물류 장치로부터 카세트를 제 공받기 위해 설비의 전면으로 슬라이드 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.At least one of the tables is slid to the front of the facility to receive a cassette from the cassette distribution device. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 테이블들은 The tables are 카세트가 놓여지도록 다단으로 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.Substrate processing equipment, characterized in that provided in multiple stages to put the cassette. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 카세트 반송 로봇은The cassette carrier robot 카세트를 파지 및 파지해제하는 그리퍼를 갖는 아암부; An arm portion having a gripper for holding and releasing the cassette; 상기 아암부를 승강시키는 승강부; 및An elevating unit for elevating the arm unit; And 상기 아암부를 수평 이동시키는 수평 이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And a horizontal moving part for horizontally moving the arm part. 기판 처리 방법에 있어서:In the substrate processing method: 공정 처리전 기판들이 수납된 카세트는 카세트 물류 장치에 의해 로드 포트로 제공되고, 상기 로드 포트에 놓여진 카세트는 비어있는 카세트 오프너로 반송되거나 또는 테이블로 반송되어 대기하게 되며, 상기 테이블에서 대기중인 카세트는 상기 카세트 오프너들 중에서 자리가 빈 카세트 오프너로 반송되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.The cassette containing the substrates before the process is provided to the load port by the cassette logistics apparatus, and the cassette placed in the load port is returned to the empty cassette opener or returned to the table, where the cassette is waiting. A substrate processing method characterized in that it is conveyed to a cassette opener having a space among the cassette openers. 제10항에 있어서, The method of claim 10, 공정을 마친 기판들이 수납된 카세트는 상기 카세트 오프너로부터 상기 로드 포트 또는 비어 있는 상기 테이블로 옮겨지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.And a cassette containing the finished substrates is transferred from the cassette opener to the load port or the empty table. 제10항에 있어서, The method of claim 10, 상기 로드 포트는 상기 카세트 물류 장치로부터 카세트를 제공받기 위해 설비의 전면으로 슬라이드 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.The load port is a substrate processing method, characterized in that the slide is moved to the front of the facility to receive the cassette from the cassette distribution device.
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