KR100977027B1 - 섬유류 필터링용 에어필터 - Google Patents

섬유류 필터링용 에어필터 Download PDF

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Abstract

본 발명은 섬유류 필터링용 에어필터에 관한 것으로 상세하게는 통형상으로 형성되어 투명재질로 형성되어진 본체부의 내부에 금속재질로 이루어지는 유동부가 삽입되고, 상기 유동부의 내측 외주에 필터링부가 설치되어 섬유류를 필터링하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 섬유류 필터링용 에어필터에 관한 것이다.

Description

섬유류 필터링용 에어필터{Air filter for textile filtering}
본 발명은 섬유류 필터링용 에어필터에 관한 것으로 상세하게는 통형상으로 형성되어 투명재질로 형성되어진 본체부의 내부에 금속재질로 이루어지는 유동부가 삽입되고, 상기 유동부의 내측 외주에 필터링부가 설치되어 섬유류를 필터링하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 섬유류 필터링용 에어필터에 관한 것이다.
일반적으로 정밀 기계조립이나 반도체 부품의 제작시에는 공기를 필터링하여 사용하는데 이러한 공기를 필터링하는 크린룸에서는 섬유를 여과재로서 이용한 에어필터가 사용되고 있다. 특히 유리섬유를 여과재로서 사용한 에어필터, 예를들어 ULPA(Ultra Low Penetration Air의 약칭) 필터나, HEPA(High Efficiency Particle Air의 약칭) 필터는, 미립자를 제거할 수 있다는 점에서 우수하다. 예컨대 ULPA 필터로서는 직경이 0.1㎛ 이상인 미립자를 제거할 수 있다.
대표적으로 반도체 제작시에는 반도체 디바이스의 고집적도화에 따라, 크린룸 내의 공기의 문제로서, 먼지뿐만 아니라 가스형태의 유기물도 골라서 제거할 수 있게 되었다.
그러나 이러한 크린룸의 공기 중에는 많은 유기물이 존재하며, 이 유기물이 실리콘웨이퍼에 흡착하면, 제조된 반도체 디바이스가 열화(劣化)된다는 문제점이 있다. 그 원인은 게이트산화막의 신뢰성의 저하에 의한 것이라고 되어 있다.
그리고, 웨이퍼의 표면에 공기중의 섬유류가 흡착되어지면, 에칭 및 리소그래피 공정등에서 정상적인 공정이 이루어지지 않아 웨이퍼의 불량을 발생시킬 수 있는 문제점이 발생하게 된다.
상기의 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 통형상의 본체부에 삽입되는 유동부의 외주연에 필터링부를 설치하고 유동부의 일측에서 유입되는 공기를 본체부와 유동부 간의 공간으로 유동시켜 필터링부에 섬유류등의 이물질이 걸러지게 하는 섬유류 필터링용 에어필터를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기의 과제를 해결하기 위한 본 발명은 섬유류 필터링용 에어필터에 관한 것으로서 통형상으로 형성되어 투명재질로 형성되어진 본체부의 내부에 금속재질로 이루어지는 유동부가 삽입되고, 상기 유동부의 내측 외주에 필터링부가 설치되어 섬유류를 필터링하도록 구성되어진다.
본 발명은 통형상의 본체부에 삽입되는 유동부의 외주연에 필터링부를 설치하고 유동부의 일측에서 유입되는 공기를 본체부와 유동부 간의 공간으로 유동시켜 필터링부에 섬유류등의 이물질이 걸러지게 하고, 유동부를 본체부와 분리시켜 필터링부의 이물질을 제거한뒤 다시 결합하여 재사용이 가능한 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 섬유류 필터링용 에어필터의 전체 구성을 나타낸 단면도,
도 2는 본 발명에 따른 섬유류 필터링용 에어필터의 전체 구성을 나타낸 분해도,
도 3은 본 발명에 따른 섬유류 필터링용 에어필터의 동작을 나타낸 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 섬유류 필터링용 에어필터의 본체부와 유동부가 분리되어지는 것을 나타낸 사시도.
본 발명은 정밀 장치를 제작하는 시설에 공기를 주입할 때 사용되는 에어 필터에 있어서, 통형상으로 형성되어지며, 투명재질로 이루어지는 본체부(10)와; 상기 본체부(10) 내부로 삽입되어지며, 양단에 홈(22)이 형성되고, 홈의 외측으로 다수개의 유동홀(21)이 형성되어 상기 본체부(10) 측으로 공기가 유동되어지도록 하는 유동부(20)와; 상기 유동부(20)의 홈(22)에 결합되어지며, 공기 주입부와 연결되어 유동부(20)로 공기를 유입시키는 유입부(30)와; 상기 유동부(20)의 외주연을 감으며 설치되고, 스프링 형태로 형성되어지는 필터링부(40);를 포함하여 이루어진다.
이러한 상기 유동부(20)의 양단측 외주연에는 공기가 유출되지 않도록 고무링(23)이 결합되어지고, 상기 유동부(20)는 본체부(10)와 분리 결합이 가능하도록 형성되며, 필터링부(40)에 걸리는 섬유류를 제거하여 재사용이 가능하도록 한다.
즉, 본 발명을 좀더 상세하게 설명하면 다음과 같다.
통형상으로 형성되어 투명재질로 형성되어진 본체부(10)의 내부에 금속재질로 이루어지는 유동부(20)가 삽입되고, 상기 유동부(20)의 내측 외주에 필터링부(40)가 설치되어 섬유류가 필터링부의 틈새에 끼어져 필터링되도록 구성되어진다.
상기 유동부(20)는 양측에 공기가 유입 배출되는 홈(22)이 형성되어지고, 외주연측으로 다수개의 유동홀(21)이 형성되며, 양측단 외주연에 고무링(23)이 결합되어지며, 외주연 중심측에 필터링부(40)가 다수개 결합되어진다.
그리고, 상기 유동부(20)의 양측 홈(22)에는 공기가 유입되어지도록 외부의 공기주입부와 연결되어지는 유입부(30)가 결합되어지고, 상기 유동부(20)와 유입부(30) 간에 와셔부(31)가 개재되어진다.
상기 유동부(20)는 본체부(10)와 분리 결합이 임의로 가능하며, 유동부(20)의 일측을 밀어 본체부(10)의 타측으로 분리할 수 있도록 구성되며, 유동부(20)를 본체부(10)에서 분리한뒤 필터링부(40)에 응집된 섬유류등의 이물질을 제거하여 다시 본체부(10)에 삽입한뒤 재사용 할 수 있다.
10 : 본체부 20 : 유동부
30 : 유입부 40 : 필터링부

Claims (2)

  1. 정밀 장치를 제작하는 시설에 공기를 주입할 때 사용되는 섬유류 에어 필터에 있어서,
    통형상으로 형성되어지며, 육안으로 내부 확인이 가능하도록 투명재질로 이루어지는 본체부(10)와;
    상기 본체부(10) 내부로 삽입되어지며, 양단에 홈(22)이 형성되고, 홈과 외부가 연통되는 다수개의 유동홀(21)이 형성되어 상기 본체부(10) 측으로 공기가 유동되어지도록 하는 유동부(20)와;
    상기 유동부(20)의 홈(22)에 결합되어지며, 공기 주입부와 연결되어 유동부(20)로 공기를 유입시키는 유입부(30)와;
    상기 유동부(20)의 외주연을 감으며 설치되고, 스프링 형태로 형성되어지는 필터링부(40);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 섬유류 필터링용 에어필터.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 유동부(20)의 양단측 외주연에는 공기가 유출되지 않도록 고무링(23)이 결합되며, 상기 유동부(20)는 본체부(10)와 분리 결합이 가능하도록 형성되어 필터링부(40)에 걸리는 섬유류를 제거하여 재사용이 가능한 것을 특징으로 하는 섬유류 필터링용 에어필터.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110732192A (zh) * 2019-11-12 2020-01-31 佛山科学技术学院 一种便于清洗的大气污染治理装置

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