KR100972903B1 - Bitline equalization signal driving circuit of semiconductor memory device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 메모리 장치의 비트라인 균등화신호 구동회로에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 외부전원전압 VEXT를 펌핑하여 비트라인 균등화 전압 VBLEQ을 생성하여, 비트라인쌍을 균등화시키는 비트라인 균등화 신호 BLEQ를 안정적으로 구동하는 기술이다. 이를 위해 본 발명은 외부전원전압 VEXT을 펌핑하여 비트라인 균등화 전압 VBLEQ을 구동하여 비트라인 균등화 신호를 안정화시켜 출력하는 비트라인 균등화 구동부를 구비하는 것을 특징으로 한다. The present invention relates to a bit line equalization signal driving circuit of a semiconductor memory device, and more particularly, to generate a bit line equalization voltage VBLEQ by pumping an external power supply voltage VEXT to stably stabilize a bit line equalization signal BLEQ for equalizing bit line pairs. Driven by technology. To this end, the present invention is characterized in that it comprises a bit line equalization driving unit for driving the bit line equalization voltage VBLEQ by pumping the external power supply voltage VEXT to stabilize and output the bit line equalization signal.

Description

반도체 메모리장치의 비트라인 균등화신호 구동회로{Bitline equalization signal driving circuit of semiconductor memory device}Bitline equalization signal driving circuit of semiconductor memory device

도 1은 종래기술에 따른 반도체 메모리 장치의 균등화신호 구동회로 예시도.1 is a diagram illustrating an equalization signal driving circuit of a semiconductor memory device according to the related art.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 균등화신호 구동회로의 실시예도.2 is an embodiment of an equalization signal driving circuit of a semiconductor memory device according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 비트라인 균등화신호 구동부의 세부 회로도.3 is a detailed circuit diagram of a bit line equalization signal driver according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 비트라인 균등화신호 구동부의 동작 타이밍도.4 is an operation timing diagram of a bit line equalization signal driver according to the present invention;

본 발명은 반도체 메모리 장치의 비트라인 균등화신호 구동회로에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 외부전원전압 VEXT을 펌핑하여 비트라인 균등화 전압 VBLEQ을 독립적인 레벨로 설정하여, 비트라인 균등화 신호 BLEQ를 안정적으로 구동함으로써 빠르고 안정적으로 비트라인쌍을 균등화 시킬 수 있는 기술이다.The present invention relates to a bit line equalization signal driving circuit of a semiconductor memory device. More particularly, the bit line equalization voltage VBLEQ is set to an independent level by pumping an external power supply voltage VEXT to stably drive the bit line equalization signal BLEQ. This technology makes it possible to equalize the bit line pairs quickly and stably.

반도체 메모리장치의 비트라인 쌍은 메모리 셀의 데이터를 센싱하거나 메모리 셀에 라이트 할 데이터를 전달하기 위한 것이다.The bit line pair of the semiconductor memory device is for sensing data of a memory cell or transferring data to be written to the memory cell.

도 1은 종래기술에 따른 반도체 메모리 장치의 주요부분을 나타낸 개념도이 다. 여기서는 메모리 블록(10)내의 비트라인 균등화부(11)와 비트라인 균등화 신호구동부(20)만을 도시한다.1 is a conceptual diagram illustrating a main part of a semiconductor memory device according to the prior art. Here, only the bit line equalization unit 11 and the bit line equalization signal driver 20 in the memory block 10 are shown.

비트라인 균등화부(11)는 라이트 동작이나 리드 동작 후에 비트라인 프리차지 전압 VBLP 레벨로 비트라인쌍 BL, /BL을 프리차지(precharge) 시키는 프리차지 트랜지스터 PTR1, PTR2와, 비트라인쌍 BL, /BL을 균등화하는 균등화 트랜지스터 EQTR1을 구비한다. 이때, 프리차지 트랜지스터 PTR1, PTR2의 공통노드에 비트라인 프리차지전압 VBLP이 인가된다. 여기서, 모든 트랜지스터 PTR1, PTR2, EQTR1는 엔모스 트랜지스터로 구성된다.The bit line equalizer 11 precharges the bit line pair BL, / BL to the bit line precharge voltage VBLP level after the write operation or the read operation, and the bit line pair BL, /, Equalization transistor EQTR1 for equalizing BL is provided. At this time, the bit line precharge voltage VBLP is applied to the common nodes of the precharge transistors PTR1 and PTR2. Here, all the transistors PTR1, PTR2, and EQTR1 are composed of NMOS transistors.

비트라인 균등화부(11)의 비트라인 균등화 신호 BLEQ가 외부전원전압 VEXT 레벨이 되면 트랜지스터 PTR1, PTR2, EQTR1가 턴온되어 비트라인 쌍 BL, /BL의 전위가 비트라인 프리차지전압 VBLP 레벨로 균등화 된다. 이때, 외부전원전압 VEXT는 반도체 메모리 장치의 주변회로(Peripheral circuit)에 공유되어 사용된다.When the bit line equalization signal BLEQ of the bit line equalization unit 11 reaches the external power supply voltage VEXT level, the transistors PTR1, PTR2, and EQTR1 are turned on so that the potentials of the bit line pairs BL and / BL are equalized to the bit line precharge voltage VBLP level. . In this case, the external power supply voltage VEXT is shared and used in a peripheral circuit of the semiconductor memory device.

비트라인 균등화신호 구동부(20)는 외부전원전압 VEXT을 이용하여 비트라인 균등화신호 BLEQ를 출력한다. 그런데, 외부전원전압 VEXT이 일정전압 이하가 되면 비트라인쌍을 균등화시키는 시간이 많이 소요되는 문제점이 있었다.The bit line equalization signal driver 20 outputs the bit line equalization signal BLEQ using the external power supply voltage VEXT. However, when the external power supply voltage VEXT is less than or equal to a certain voltage, it takes a long time to equalize the bit line pairs.

이와같이, 외부전원전압(VEXT)의 불안정성에 의해 비트라인 쌍을 균등화시키는데 많은 시간이 소요되어, 반도체 메모리 소자의 고속화를 저해하는 문제점이 있었다.As described above, it takes a long time to equalize the bit line pairs due to the instability of the external power supply voltage VEXT, and there is a problem of inhibiting the speed of the semiconductor memory device.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 외부전원전압 VEXT 이 펌핑된 일정 전압을 독립적으로 사용하여 비트라인 균등화신호를 생성함으로써, 빠르고 안정적으로 비트라인쌍을 균등화시키는데 있다.An object of the present invention for solving the above problems is to equalize the bit line pair quickly and stably by generating the bit line equalization signal by using the constant voltage pumped independently of the external power supply voltage VEXT.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명은 비트라인을 균등화시키는 비트라인 균등화 회로를 제어하기 위한 비트라인 균등화 신호를 구동하는 반도체 메모리장치의 비트라인 균등화 신호 구동회로에 있어서, 외부전원전압을 펌핑하여 일정전위 이상의 비트라인 균등화 전압을 발생하고, 비트라인 균등화 전압의 레벨을 갖는 비트라인 균등화 신호를 비트라인 균등화 회로에 공급하는 비트라인 균등화 신호 발생수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상술한 목적 및 기타의 목적과 본 발명의 특징 및 이점은 첨부도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통해 보다 분명해 질 것이다.
The present invention for achieving the above object is a bit line equalization signal driving circuit of a semiconductor memory device for driving a bit line equalization signal for controlling the bit line equalization circuit for equalizing the bit line, by pumping an external power supply voltage constant voltage And a bit line equalization signal generating means for generating the above bit line equalization voltage and supplying a bit line equalization signal having a level of bit line equalization voltage to the bit line equalization circuit.
The above and other objects and features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings.

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이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 주요부분을 나타낸 개념도이다. 여기서는, 메모리 블록(30)내의 비트라인 균등화부(31)와 비트라인 균등화신호 구동부(40)만을 도시한다.2 is a conceptual diagram illustrating a main part of a semiconductor memory device according to the present invention. Here, only the bit line equalization unit 31 and the bit line equalization signal driver 40 in the memory block 30 are shown.

비트라인 균등화부(31)는 라이트나 리드 동작 후에 비트라인 쌍 BL, /BL을 비트라인 프리차지 전압 VBLP 레벨로 프리자치(precharge) 시키는 프리차지 프리차지 트랜지스터 PTR3, PTR4와 비트라인 쌍 BL, /BL을 균등화시키는 균등화 트랜지스터 EQTR2를 구비한다. 이때, 프리차지 트랜지스터(PTR1, PTR2)의 공통노드에 비트라인 프리차지 전압 VBLP이 인가된다. 여기서, 모든 트랜지스터 비트라인 PTR3, PTR4, EQTR2 는 엔모스 트랜지스터로 구성된다. The bit line equalization unit 31 precharges the bit line pairs BL and / BL to the bit line precharge voltage VBLP level after the write or read operation, and the bit line equalization transistors PTR3 and PTR4 and the bit line pairs BL, / An equalization transistor EQTR2 equalizes the BL. At this time, the bit line precharge voltage VBLP is applied to the common node of the precharge transistors PTR1 and PTR2. Here, all the transistor bit lines PTR3, PTR4 and EQTR2 are composed of NMOS transistors.                     

비트라인 균등화부(31)는 비트라인 균등화 신호 BLEQ가 하이레벨이 되면 모든 트랜지스터(PTR3, PTR4, EQTR2)가 턴 온(TURN ON)되어 비트라인 쌍 BL, /BL의 전위가 비트라인 프리차지 전압 VBLP 레벨로 균등화 된다.When the bit line equalization signal BLEQ becomes high level, the bit line equalizer 31 turns on all transistors PTR3, PTR4, and EQTR2 so that the potentials of the bit line pairs BL and / BL are bit line precharge voltages. Equalizes to VBLP level.

비트라인 균등화신호 구동부(40)는 외부전원전압 VEXT이 펌핑된 전위를 갖는 비트라인 균등화 전압(VBLEQ)을 이용하여 비트라인 균등화신호 BLEQ를 출력한다. 이때, 비트라인 균등화 전압(VBLEQ)은 1.9V 내지 3.6V로 하는 것이 바람직하다.The bit line equalization signal driver 40 outputs the bit line equalization signal BLEQ using the bit line equalization voltage VBLEQ having the potential at which the external power supply voltage VEXT is pumped. At this time, the bit line equalization voltage VBLEQ is preferably set to 1.9V to 3.6V.

도 3은 도 2의 비트라인 균등화신호 구동회로의 세부 회로도이다.3 is a detailed circuit diagram of the bit line equalization signal driving circuit of FIG. 2.

비트라인 균등화신호 구동부(40)는 엔모스 트랜지스터NM1, NM2, NM3, 펌핑 캐패시터 CP, 및 로드 캐패시터 CL로 구성된다.The bit line equalization signal driver 40 is composed of NMOS transistors NM1, NM2, NM3, pumping capacitor CP, and load capacitor CL.

엔모스 트랜지스터 NM1, NM2는 드레인에 외부전원전압 VEXT이 인가되고, 드레인과 게이트가 공통연결되며, 소스는 펌핑노드 N1와 출력노드 N2에 각각 연결된다. 엔모스 트랜지스터 NM3는 펌핑노드 N1과 출력노드 N2 사이에 연결되는데, 게이트가 펌핑노드 N1에 접속된다.The NMOS transistors NM1 and NM2 have an external power supply voltage VEXT applied to the drain, the drain and the gate are commonly connected, and the source is connected to the pumping node N1 and the output node N2, respectively. The NMOS transistor NM3 is connected between the pumping node N1 and the output node N2, and a gate is connected to the pumping node N1.

펌핑 캐패시터 CP는 일단이 펌핑노드 N1와 연결되고, 타단이 펄스 입력단자 에 연결되며, 펄스 입력단자를 통해 펄스 P를 입력받으면 펌핑을 하여 펌핑노드 N1의 전위를 상승시킨다. 로드 캐패시터 CL는 일단이 출력노드 N2와 연결되고, 타단이 접지전압 VSS과 연결되며, 엔모스 트랜지스터 NM3를 통해 펌핑노드 N1의 전위를 전달받아 충전된다. 여기서, 로드 캐패시터 CL의 용량은 펌핑 캐패시터 CP의 용량보다 훨씬 크게 설계하는 것이 바람직하다.The pumping capacitor CP has one end connected to the pumping node N1, the other end connected to the pulse input terminal, and when the pulse P is input through the pulse input terminal, the pumping capacitor CP increases the potential of the pumping node N1. One end of the load capacitor CL is connected to the output node N2, the other end is connected to the ground voltage VSS, and is charged by receiving the potential of the pumping node N1 through the NMOS transistor NM3. Here, the capacity of the load capacitor CL is preferably designed to be much larger than that of the pumping capacitor CP.

도 4는 도 3에 도시된 비트라인 균등화신호 구동부의 동작 타이밍도이다. 4 is an operation timing diagram of the bit line equalization signal driver shown in FIG. 3.                     

먼저, 펄스 P는 외부전원전압 VEXT 레벨을 갖는 주기적인 클럭을 갖고 발생된다. First, pulse P is generated with a periodic clock having an external power supply voltage VEXT level.

펌핑노드 N1의 전위는 초기에 일정전위(VEXT-VTN)을 유지하다가, 펌핑 캐패시터 CP에 펄스 P가 입력되면, 펌핑노드 N1은 aVEXT(a는 승압비)만큼 승압되어 특정전위(1+a)VEXT-VTN로 상승하고, 펄스 P 입력이 중단되면 초기전위(VEXT-VTN)로 떨어진다. 즉, 펌핑노드 N1의 전위는 펄스 P의 입력에 따라 상승과 하강을 반복한다. When the potential of the pumping node N1 is initially maintained at a constant potential (VEXT-VTN), and the pulse P is input to the pumping capacitor CP, the pumping node N1 is boosted by aVEXT (a is the boost ratio) and the specific potential (1 + a) It rises to VEXT-VTN and drops to the initial potential (VEXT-VTN) when pulse P input is interrupted. That is, the potential of the pumping node N1 repeats rising and falling in accordance with the input of the pulse P.

출력노드 N2의 전위는 초기에 일정전위(VEXT-VTN)를 유지하다가, 펄스 P가 입력되면 펌핑된 펌핑노드 N1의 전위를 전달받아 로드 캐패시터(CL)가 충전되어, 충전량만큼 출력노드 N2의 전위가 증가한다. 출력노드(N2)의 전위는 최고 최고전위(1+a)VEXT-2VTN 레벨까지 상승한다.The potential of the output node N2 is initially maintained at a constant potential (VEXT-VTN), and when the pulse P is input, the potential of the pumped node N1 is received and the load capacitor CL is charged, so that the potential of the output node N2 is equal to the charging amount. Increases. The potential of the output node N2 rises to the highest highest potential (1 + a) VEXT-2VTN level.

이하, 도 3, 4를 통해 비트라인 균등화신호 구동부(40)의 동작을 설명하기로 한다.Hereinafter, operations of the bit line equalization signal driver 40 will be described with reference to FIGS. 3 and 4.

펌핑 캐패시터 CP의 타단으로 펄스 P가 입력되지 않은 경우, 노드(N1, N2)의 전위는 엔모스 트랜지스터 NM1, NM2에 의해 외부전원전압 VEXT에서 각 엔모스 트랜지스터 NM1, NM2의 문턱전압을 뺀 만큼의 전위(VEXT-VTN)를 유지한다.When the pulse P is not input to the other end of the pumping capacitor CP, the potential of the nodes N1 and N2 is equal to the potential of the NMOS transistors NM1 and NM2 minus the threshold voltage of each NMOS transistor NM1 and NM2 by the external power supply voltage VEXT. The potential VEXT-VTN is maintained.

펌핑 캐패시터 CP의 타단으로 펄스 P가 입력되면, 펌핑노드 N1는 aVEXT(a는 승압비)만큼 승압되어 특정전위(VEXT-VTN+aVEXT)가 된다. 이처럼 펌핑 캐패시터 CP를 통해 펌핑노드 N1의 전위가 펌핑되어 엔모스 트랜지스터 NM3가 턴온된다. 그에 따라, 펌핑노드 N1의 전위가 출력노드 N2로 전달되면, 로드 캐패시터 CL에 전하가 충전된다. 이때, 로드 캐패시터 CL의 용량이 펌핑 캐패시터 CP보다 커서 출력노드 N2의 충전량은 작다.When the pulse P is input to the other end of the pumping capacitor CP, the pumping node N1 is boosted by aVEXT (a is the boost ratio) to become a specific potential (VEXT-VTN + aVEXT). As such, the potential of the pumping node N1 is pumped through the pumping capacitor CP to turn on the NMOS transistor NM3. Accordingly, when the potential of the pumping node N1 is transferred to the output node N2, the charge is charged to the load capacitor CL. At this time, since the capacity of the load capacitor CL is larger than the pumping capacitor CP, the charging amount of the output node N2 is small.

펌핑 캐패시터 CP의 펌핑을 통해 출력노드 N2의 전위가 상승하여 펌핑노드 N1와 출력노드 N2의 전위차가 엔모스 트랜지스터 NM3의 문턱전압 VTN 이상이 되면, 엔모스 트랜지스터 NM3가 턴오프된다. 그에 따라, 로드 캐패시터 CL의 전하충전이 정지된다.When the potential of the output node N2 rises through the pumping of the pumping capacitor CP and the potential difference between the pumping node N1 and the output node N2 becomes equal to or greater than the threshold voltage VTN of the NMOS transistor NM3, the NMOS transistor NM3 is turned off. As a result, charge charging of the load capacitor CL is stopped.

그 후, 펄스 P 입력이 중단되면 펌핑노드 N1의 전위가 초기전위(VEXT-VTN)이하로 떨어진다. 그러나, 엔모스 트랜지스터 NM1에 의해 곧바로 초기전위(VEXT-VTN) 상태로 유지된다.Thereafter, when the pulse P input is stopped, the potential of the pumping node N1 falls below the initial potential VEXT-VTN. However, the NMOS transistor NM1 immediately maintains the initial potential (VEXT-VTN).

그 후, 펄스(P)가 인가될 때마다, 출력노드 N2의 전위가 상승하여, 최고전위(1+a)VEXT-2VTN 레벨에 이른다. 여기서, 최고전위(1+a)VEXT-2VTN 레벨은 로드 캐패시터 CL에 저장된 전하의 형태로 유지되며, 전하 손실이 발생하면 이 레벨도 떨어진다. 이렇게 전하손실이 발생하면, 엔모스 트랜지스터 NM3가 턴온되어 출력노드 N2의 전하손실을 회복한다. 이러한 출력노드 N2의 전위는 비트라인 균등화 전압 VBLEQ으로 사용된다. Thereafter, each time the pulse P is applied, the potential of the output node N2 rises to reach the highest potential (1 + a) VEXT-2VTN level. Here, the highest potential (1 + a) VEXT-2VTN level is maintained in the form of charge stored in the load capacitor CL, and this level drops when charge loss occurs. When such a charge loss occurs, the NMOS transistor NM3 is turned on to recover the charge loss of the output node N2. The potential of this output node N2 is used as the bit line equalization voltage VBLEQ.

따라서, 메모리 블록(30)에 프리차지 명령이 입력되면, 비트라인 균등화 전압 VBLEQ이 비트라인 균등화부(31)로 제공되어, 비트라인 쌍 BL, /BL의 균등화가 수행된다.Therefore, when the precharge command is input to the memory block 30, the bit line equalization voltage VBLEQ is provided to the bit line equalization unit 31 to equalize the bit line pairs BL and / BL.

이와같이, 메모리 블록(30)에 공통으로 사용되는 외부전원전압 VEXT을 그대로 사용하지 않고 외부전원전압 VEXT을 펌핑하여 그 펌핑된 전압으로 구동하는 비트라인 균등화 신호 BLEQ를 비트라인 균등화부(31)에 제공함으로써 빠르고 안정적으로 비트라인쌍 BL, /BL을 균등화시킬 수 있다.In this way, the bit line equalization signal BLEQ for pumping the external power voltage VEXT and driving at the pumped voltage is provided to the bit line equalizer 31 without using the external power voltage VEXT commonly used in the memory block 30 as it is. This makes it possible to equalize the bit line pairs BL and / BL quickly and stably.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 외부전원전압을 펌핑하여 일정레벨 이상의 비트라인 균등화 전압을 생성하여 비트라인 균등화신호를 구동함으로써 빠르고 안정적으로 비트라인 쌍을 균등화시키는 효과가 있다.As described above, the present invention has the effect of equalizing the bit line pairs quickly and stably by driving the bit line equalization signal by generating a bit line equalization voltage of a predetermined level or more by pumping an external power supply voltage.

아울러 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위한 것으로, 당업자라면 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상과 범위를 통해 다양한 수정, 변경, 대체 및 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정 변경 등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, additions, and substitutions are possible, and that various modifications, additions and substitutions are possible, within the spirit and scope of the appended claims. As shown in Fig.

Claims (5)

비트라인을 균등화시키는 비트라인 균등화 회로를 제어하기 위한 비트라인 균등화 신호를 구동하는 반도체 메모리장치의 비트라인 균등화 신호 구동회로에 있어서,In a bit line equalization signal driving circuit of a semiconductor memory device for driving a bit line equalization signal for controlling a bit line equalization circuit for equalizing a bit line, 외부전원전압을 펌핑하여 일정전위 이상의 비트라인 균등화 전압을 발생하고, 상기 비트라인 균등화 전압의 레벨을 갖는 상기 비트라인 균등화 신호를 상기 비트라인 균등화 회로에 공급하는 비트라인 균등화 신호 발생수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리장치의 비트라인 균등화 신호 구동회로.And a bit line equalization signal generating means for pumping an external power supply voltage to generate a bit line equalization voltage of a predetermined potential or more and supplying the bit line equalization signal having a level of the bit line equalization voltage to the bit line equalization circuit. A bit line equalization signal driving circuit of a semiconductor memory device. 제 1 항에 있어서, 상기 비트라인 균등화 신호 발생수단은,The method of claim 1, wherein the bit line equalization signal generating means, 상기 외부전원전압에 의해 구동되어 펌핑노드와 출력노드의 전위를 일정전위로 프리차지하는 제 1 및 제 2 스위칭수단;First and second switching means which are driven by the external power supply voltage to precharge a potential of a pumping node and an output node to a constant potential; 소정의 펄스신호에 의해 상기 펌핑노드의 전위를 승압시키는 펌핑수단; Pumping means for boosting the potential of the pumping node by a predetermined pulse signal; 상기 펌핑노드의 펌핑전위를 상기 출력노드로 전달하는 제 3 스위칭수단; 및Third switching means for transferring a pumping potential of the pumping node to the output node; And 상기 출력노드의 전위를 충전하는 충전수단;Charging means for charging a potential of the output node; 을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리장치의 비트라인 균등화 신호 구동회로.And a bit line equalization signal driving circuit of the semiconductor memory device. 제 2 항에 있어서, 상기 펌핑수단 및 상기 충전수단은The method of claim 2, wherein the pumping means and the charging means 캐패시터임을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 비트라인 균등화 신호 구동회로.A bit line equalization signal driving circuit of a semiconductor memory device, characterized in that it is a capacitor. 제 3항에 있어서, 상기 충전수단의 정전용량이 상기 펌핑수단의 정전용량보다 큰 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 비트라인 균등화 신호 구동회로.4. The bit line equalization signal driving circuit of claim 3, wherein the capacitance of the charging means is larger than that of the pumping means. 제 1 항에 있어서, 상기 비트라인 균등화 전압은 1.9V 내지 3.6V 범위로 설정됨을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 비트라인 균등화 신호 구동회로.2. The bit line equalization signal driving circuit of claim 1, wherein the bit line equalization voltage is set in a range of 1.9V to 3.6V.
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