KR100962475B1 - 기화기 - Google Patents

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KR100962475B1
KR100962475B1 KR1020090112545A KR20090112545A KR100962475B1 KR 100962475 B1 KR100962475 B1 KR 100962475B1 KR 1020090112545 A KR1020090112545 A KR 1020090112545A KR 20090112545 A KR20090112545 A KR 20090112545A KR 100962475 B1 KR100962475 B1 KR 100962475B1
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엄익한
송재헌
임성보
정종욱
전덕상
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주식회사 태한이엔씨
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/448—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials
    • C23C16/4481—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for generating reactive gas streams, e.g. by evaporation or sublimation of precursor materials by evaporation using carrier gas in contact with the source material

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Abstract

기화기는 액상 원료와 캐리어 가스로 구성된 혼합물을 가열하는 히팅부와 가열된 혼합물을 유출하는 유출부를 포함한다. 히팅부는 주입 실린더, 제1 내부 실린더, 제2 내부 실린더 및 제1 체결부를 포함한다. 유출부는 제2 체결부, 제3 내부 실린더 및 배출 실린더를 포함한다. 따라서 반도체 공정에서 화학 기상 증착 공정에 사용되는 액상 원료가 포함된 혼합물을 충분하게 기화시킬 수 있다.

Description

기화기{VAPORIZER}
본 발명은 기화기에 관한 것으로, 특히 반도체 제조 공정에 사용되는 기체를 제공하는 기화기에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 장치는 박막 형성 기술로 화학 기상 증착(CVD, Chemical Vapor Deposition)을 이용한다. 화학 기상 증착은 증착될 물질의 원자를 포함하고 있는 기체 상태의 화합물을 반응실로 유입하여 화학적 반응에 의해 기판 표면 위에서 박막을 형성하는 것이다. 기화기는 화학 기상 증착에서 필요한 기체를 제공하는 장치로 특히, 반도체 제조 공정에서 주로 사용될 수 있다.
실시예들 중에서, 기화기는 액상 원료와 캐리어 가스로 구성된 혼합물을 가열하는 히팅부와 상기 가열된 혼합물을 유출하는 유출부를 포함한다. 상기 히팅부는 주입 실린더, 제1 내부 실린더, 제2 내부 실린더 및 제1 체결부를 포함한다. 주입 실린더는 상기 혼합물을 주입하기 위한 주입구를 포함한다. 상기 제1 내부 실린더는 상기 주입 실린더와 이격되어 배치되는 제1 중앙 통로 및 제1 복수의 세공들을 가지는 제1 외측 통로를 포함하며, 상기 제1 외측 통로의 가장자리는 상기 주입 실린더와 연결된다. 상기 제2 내부 실린더는 상기 제1 내부 실린더와 이격되어 배치되고 상기 제1 중앙 통로보다 직경이 큰 차폐부 및 제2 복수의 세공들을 가지는 제2 외측 통로를 포함하며, 상기 제2 외측 통로의 가장자리는 상기 제1 내부 실린더와 연결된다. 상기 제1 체결부는 상기 제2 외측 통로로 배출되는 혼합물을 모으는 제2 중앙 통로를 포함한다. 상기 유출부는 제2 체결부, 제3 내부 실린더 및 배출 실린더를 포함한다. 상기 제2 체결부는 상기 제1 체결부와 동일한 직경을 가지고, 상기 모인 혼합물을 이동시키기 위한 중앙 돌출부와 주위 함몰부를 포함한다. 상기 제3 내부 실린더는 상기 중앙 돌출부가 이격되어 배치되는 중앙 함몰부와 상기 주위 함몰부와 이격되어 배치되고 제3 복수의 세공들을 가지는 주위 돌출부를 포함하고, 상기 주위 돌출부의 가장자리는 상기 제2 체결부와 연결되며 상기 제2 체결부보다 작은 직경을 가진다. 상기 배출 실린더는 상기 가열된 혼합물을 배출하기 위한 배출구를 포함하는 배출 실린더를 포함한다.
실시예들 중에서, 기화기는 액상 원료와 캐리어 가스로 구성된 혼합물을 가열하는 히팅부와 상기 가열된 혼합물을 유출하는 유출부를 포함한다. 상기 히팅부는 주입 실린더, 제1 내부 실린더, 제2 내부 실린더, 히팅 자켓 및 제1 체결부를 포함한다. 주입 실린더는 상기 혼합물을 주입하기 위한 주입구를 포함한다. 상기 제1 내부 실린더는 상기 주입 실린더와 이격되어 배치되는 제1 중앙 통로 및 제1 복수의 세공들을 가지는 제1 외측 통로를 포함하며, 상기 제1 외측 통로의 가장자리는 상기 주입 실린더와 연결된다. 상기 제2 내부 실린더는 상기 제1 내부 실린더와 이격되어 배치되고 상기 제1 중앙 통로보다 직경이 큰 차폐부 및 제2 복수의 세공들을 가지는 제2 외측 통로를 포함하며, 상기 제2 외측 통로의 가장자리는 상기 제1 내부 실린더와 연결된다. 상기 히팅 자켓은 상기 제1 및 제2 내부 실린더의 외벽에 접촉되어 상기 제1 및 제2 내부 실린더를 가열한다. 상기 제1 체결부는 상기 제2 외측 통로로 배출되는 혼합물을 모으는 제2 중앙 통로를 포함한다. 상기 유출부는 제2 체결부, 제3 내부 실린더 및 배출 실린더를 포함한다. 상기 제2 체결부는 상기 제1 체결부와 동일한 직경을 가지고, 상기 모은 혼합물을 이동시키기 위한 중앙 돌출부와 주위 함몰부를 포함한다. 상기 제3 내부 실린더는 상기 중앙 돌출부가 이격되어 배치되는 중앙 함몰부와 상기 주위 함몰부와 이격되어 배치되고 제3 복수의 세공들을 가지는 주위 돌출부를 포함하고, 상기 주위 돌출부의 가장자리는 상기 제2 체결부와 연결되며 상기 제2 체결부보다 작은 직경을 가진다. 상기 배출 실린더는 상기 가열된 혼합물을 배출하기 위한 배출구를 포함하는 배출 실린더를 포함한다.
본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 본 출원에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
“제1”, “제2” 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
“및/또는”의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, “제1 항목, 제2 항목 및/또는 제3 항목”의 의미는 제1, 제2 또는 제3 항목뿐만 아니라 제1, 제2 또는 제3 항목들 중 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
각 단계들에 있어 식별부호(예를 들어, a, b, c, ...)는 설명의 편의를 위하여 사용되는 것으로 식별부호는 각 단계들의 순서를 설명하는 것이 아니며, 각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않은 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 단계들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.
여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의된 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
도 1은 개시된 기술의 일 실시예에 따른 기화기를 나타내는 사시도이다.
도 1을 참조하면, 기화기(100)는 히팅부(110) 및 유출부(120)를 포함한다. 히팅부(110)는 액상 원료와 캐리어 가스로 구성된 혼합물을 가열한다. 유출부(120)는 가열된 혼합물을 유출한다.
도 2a는 히팅부(110)의 정면도이고, 도 2b는 히팅부(110)의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 2를 참조하면, 히팅부(110)는 주입 실린더(210), 제1 내부 실린더(220), 제2 내부 실린더(230) 및 제1 체결부(240)를 포함한다.
일 실시예에서, 액상 원료와 캐리어 가스는 반도체 제조 과정에서 히팅부(110)에 주입되기 전에 혼합될 수 있다. 액상 원료와 캐리어 가스의 혼합물이 히팅부(110)에 주입되면, 히팅부(110)는 주입된 혼합물을 가열하여 기화시킨다.
일 실시예에서, 주입 실린더(210), 제1 내부 실린더(220), 제2 내부 실린더(230), 제1 체결부(240)의 직경은 약 69.9mm에 상응할 수 있고, 기화의 효율을 위하여 상기 직경은 69.75mm 이상 70.05mm 이하에 상응할 수 있다.
도 3a는 주입 실린더(210)의 사시도이고, 도 3b는 주입 실린더(210)의 정면도이며, 도 3c는 주입 실린더(210)의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 2와 도 3을 참조하면, 주입 실린더(210)는 혼합물을 주입하기 위한 주입구(310)를 포함한다. 일 실시예에서, 주입구(310)의 직경은 약 15.95mm에 상응할 수 있고, 기화의 효율을 위하여 상기 직경은 15.85mm 이상 16.05mm 이하에 상응할 수 있다.
도 4a는 제1 내부 실린더(220)는 사시도이고, 도 4b는 제1 내부 실린더(220)의 정면도이며, 도 4c는 제1 내부 실린더(220)의 내부를 나타내는 단면도이 다.
도 2 및 도 4를 참조하면, 제1 내부 실린더(220)는 주입 실린더(210)와 이격되어 배치되는 제1 중앙 통로(410) 및 제1 복수의 세공들(421~427)을 가지는 제1 외측 통로(420)를 포함하며, 제1 외측 통로(420)의 가장자리는 주입 실린더(210)와 연결된다.
일 실시예에서, 제1 중앙 통로(410)의 직경은 약 12.7mm에 상응할 수 있고, 기화의 효율을 위하여 상기 직경은 12.6mm 이상 12.8mm 이하에 상응할 수 있다.
일 실시예에서, 제1 복수의 세공들(420) 각각의 직경은 약 3.2mm에 상응할 수 있고, 기화의 효율을 위하여 상기 직경은 3.15mm 이상 3.25mm 이하에 상응할 수 있다. 제1 복수의 세공들(420)은 주입 실린더(210)를 통과한 혼합물이 제1 내부 실린더(220)의 내벽과 접촉하는 단면적을 증가시키기 위하여 사용될 수 있다. 다만, 제1 복수의 세공들(420)의 직경이 적절하게 조절되지 못하는 경우에는 혼합물의 유체 흐름이 원활하지 않을 수 있다.
일 실시예에서, 제1 복수의 세공들(420)은 제1 내지 제7 동심원들(421~427)을 이루며 배열될 수 있다. 제1 동심원(421)은 약 12개의 세공들을 포함하고, 제2 동심원(422)은 약 18개의 세공들을 포함하고, 제3 동심원(423)은 약 24개의 세공들을 포함하고, 제4 동심원(424)은 약 32개의 세공들을 포함하고, 제5 동심원(425)은 약 38개의 세공들을 포함하고, 제6 동심원(426)은 약 44개의 세공들을 포함하고, 제7 동심원(427)은 약 50개의 세공들을 포함할 수 있다.
주입 실린더(210)의 주입구(310)가 히팅부(110)의 직경보다 더 작은 경우 주입구(310)를 통과한 혼합물이 제1 외측 통로(420)의 가장자리 방향으로 충분히 퍼져 나갈 수 있도록 주입 실린더(210)의 중앙부와 제1 내부 실린더(220)의 중앙부는 이격되며, 제1 외측 통로(420)의 가장자리는 주입 실린더(210)의 가장자리와 연결된다.
도 5a는 제2 내부 실린더(230)의 사시도이며, 도 5b는 제2 내부 실린더(230)의 정면도이고, 도 5c는 제2 내부 실린더(230)의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 2 및 도 5를 참조하면, 제2 내부 실린더(230)는 제1 내부 실린더(220)와 이격되어 배치되고 제1 중앙 통로(410)보다 직경이 큰 차폐부(510) 및 제2 복수의 세공들(521~523)을 가지는 제2 외측 통로(520)를 포함하며, 제2 외측 통로(520)의 가장자리는 제1 내부 실린더(220)와 연결된다.
차페부(510)는 제1 내부 실린더(220)의 제1 중앙 통로(410)보다 직경이 크기 때문에 제1 중앙 통로(410)를 통과한 혼합물이 제2 외측 통로(520)의 가장자리 방향으로 충분히 퍼져 나갈 수 있도록 제2 내부 실린더(230)의 차폐부(510)와 제1 내부 실린더(220)의 중앙부는 이격되며, 제2 외측 통로(520)의 가장자리는 제1 외측 통로(420)의 가장자리와 연결된다.
차폐부(510)의 직경은 약 40.6mm에 상응할 수 있고, 기화의 효율을 위하여 상기 직경은 40.45mm 이상 40.75mm 이하에 상응할 수 있다. 제2 복수의 세공들(520) 각각의 직경은 약 3.2mm에 상응할 수 있고, 기화의 효율을 위하여 상기 직 경은 3.15mm 이상 3.25mm 이하에 상응할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제2 복수의 세공들은 제8 내지 제10 동심원(521~523)을 이루며 배열된다. 제8 동심원(521)은 32개의 세공들을 포함하고, 제9 동심원(522)은 44개의 세공들을 포함하고, 제10 동심원(523)은 50개의 세공들을 포함할 수 있다. 혼합물의 흐름을 원활하게 하기 위해 제2 복수의 세공들은 제1 복수의 세공들과 정렬되어 배열될 수 있다.
도 6a는 제1 체결부(240)의 사시도이며, 도 6b는 제1 체결부(240)의 정면도이고, 도 6c는 제1 체결부(240)의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 2 및 도 6을 참조하면, 제1 체결부(240)는 제2 외측 통로로 배출되는 혼합물을 모으는 제2 중앙 통로(610)를 포함한다. 제2 중앙 통로(610)의 일단의 직경은 약 66.6mm에 상응할 수 있고, 기화의 효율을 위하여 상기 직경은 66.55mm 이상 66.75mm 이하에 상응할 수 있다. 제2 중앙 통로(610)의 타단의 직경은 약 30.48mm에 상응할 수 있고, 기화의 효율을 위하여 상기 직경은 30.33mm 이상 30.63mm 이하에 상응할 수 있다.
도 7a는 유출부(120)의 정면도이며, 도 7b는 유출부(120)의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 7을 참조하면, 유출부(120)는 제2 체결부(710), 제3 내부 실린더(720) 및 배출 실린더(730)를 포함한다. 히팅부(110)와 유출부(120)는 기화기의 수리 또는 관리 등을 위해 체결 장치를 이용하여 탈착될 수 있다. 히팅부(110)와 유출부(120)가 연결되는 경우 히팅부(110)의 제1 체결부(240)와 유출부(120)의 제2 체 결부(710)가 접촉된다.
도 8a는 제2 체결부(710)의 사시도이며, 도 8b는 제2 체결부(710)의 정면도이고, 도 8c는 제2 체결부(710)의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 제2 체결부(710)는 제1 체결부(240)와 동일한 직경을 가지고, 모은 혼합물을 이동시키기 위한 중앙 돌출부(810)와 주위 함몰부(820)를 포함한다.
중앙 돌출부(810)의 직경은 약 14.32mm에 상응할 수 있고, 기화의 효율을 위하여 상기 직경은 14.22mm 이상 14.42mm 이하에 상응할 수 있다. 주위 함몰부(820)의 직경은 약 47.6mm에 상응할 수 있고, 기화의 효율을 위하여 상기 직경은 47.45mm 이상 47.75mm 이하에 상응할 수 있다.
도 9a는 제3 내부 실린더(720)의 사시도이며, 도 9b는 제3 내부 실린더(720)의 정면도이고, 도 9c는 제3 내부 실린더(720)의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 7 및 도 9를 참조하면, 제3 내부 실린더(720)는 중앙 돌출부(810)가 이격되어 배치되는 중앙 함몰부(910)와 주위 함몰부(820)와 이격되어 배치되고 제3 복수의 세공들(930)을 가지는 주위 돌출부(920)를 포함하고, 주위 돌출부(920)의 가장자리는 제2 체결부(710)와 연결되며 제2 체결부(720)보다 작은 직경을 가진다.
제3 내부 실린더(720)의 직경은 약 47.6mm에 상응할 수 있고, 기화의 효율을 위하여 상기 직경은 47.45mm 이상 47.75 이하에 상응할 수 있다. 중앙 함몰부(910)의 직경은 약 19mm이고, 기화의 효율을 위하여 상기 직경은 18.9mm 이상 19.1mm 이하에 상응할 수 있다. 주위 돌출부(920)의 직경은 약 43.6mm에 상응할 수 있고, 기화의 효율을 위하여 상기 직경은 43.45mm 이상 43.75mm 이하에 상응할 수 있다.
제2 체결부(710)과 제3 내부 실린더(720)가 결합된 상태에서, 히팅부(110)를 통과한 혼합물은 제2 체결부(710)의 중앙 돌출부(810)를 통과한 후 제3 내부 실린더(720)의 중앙 함몰부(910)에 의해 유체 흐름 방향이 역전되어 제2 체결부(710)의 주위 함몰부(820)로 유동한다. 혼합물은 제2 체결부(710)의 주위 함몰부(820)에서 다시 유체 흐름 방향이 역전되어 제3 내부 실린더(720)의 제3 복수의 세공들(930)을 통과한다.
도 10a는 배출 실린더(730)의 사시도이며, 도 10b는 제3 배출 실린더(730)의 정면도이고, 도 10c는 제3 배출 실린더(730)의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 7 및 도 10을 참조하면, 배출 실린더(730)는 가열된 혼합물을 배출하기 위한 배출구(1010)를 포함한다. 배출구(1010)의 직경은 약 4.6mm 이하일 수 있다. 배출구(1010)의 직경이 제3 내부 실린더(720)의 직경보다 작아 제3 내부 실린더를 통과한 혼합물은 배출 실린더(730)를 통과하면 흐름 속도가 증가된다.
도 11은 개시된 기술의 일 실시예에 따른 기화기를 나타내는 사시도이다.
도 11을 참조하면, 화학 기상 증착 장치는 히팅부(1110) 및 유출부(1120)를 포함한다. 히팅부(1110)는 도 1에 도시된 히팅부(110)에서 제1 및 제2 내부 실린더의 외벽에 접촉되어 상기 제1 및 제2 내부 실린더를 가열하는 히팅 자켓(1112)를 더 포함한다.
본 발명은 다음의 효과를 가질 수 있다. 다만, 특정 실시예가 다음의 효과를 전부 포함하여야 한다거나 다음의 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.
일 실시예에 따른 기화기는 반도체 공정에서 화학 기상 증착 공정에 사용되는 액상 원료가 포함된 혼합물을 충분하게 기화시킬 수 있다. 즉, 기화기를 통과한 혼합물은 다수의 세공들을 순차적으로 통과하여 액상으로 남지 않을 수 있다.
일 실시예에 따른 기화기는 기화기의 직경에 따른 적절한 세공들의 개수와 직경을 채택하여 기화의 효율을 증가시킬 수 있다. 예를 들어, 기화기는 적절한 세공들의 개수와 직경을 채택하여 단위 시간당 통과하는 기체의 양과 속도를 개선시킬 수 있고, 또한, 액상 원료가 포함된 혼합물을 충분하게 기화시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 개시된 기술의 일 실시예에 따른 기화기를 나타내는 사시도이다.
도 2a는 히팅부의 정면도이고, 도 2b는 히팅부의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 3a는 주입 실린더의 사시도이며, 도 3b는 주입 실린더의 정면도이고, 도 3c는 주입 실린더의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 4a는 제1 내부 실린더의 사시도이며, 도 4b는 제1 내부 실린더의 정면도이고, 도 4c는 제1 내부 실린더의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 5a는 제2 내부 실린더의 사시도이며, 도 5b는 제2 내부 실린더의 정면도이고, 도 5c는 제2 내부 실린더의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 6a는 제1 체결부의 사시도이며, 도 6b는 제1 체결부의 정면도이고, 도 6c는 제1 체결부의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 7a는 유출부의 정면도이며, 도 7b는 유출부의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 8a는 제2 체결부의 사시도이며, 도 8b는 제2 체결부의 정면도이고, 도 8c는 제2 체결부의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 9a는 제3 내부 실린더의 사시도이며, 도 9b는 제3 내부 실린더의 정면도이고, 도 9c는 제3 내부 실린더의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 10a는 배출 실린더의 사시도이며, 도 10b는 제3 배출 실린더의 정면도이고, 도 10c는 제3 배출 실린더의 내부를 나타내는 단면도이다.
도 11은 개시된 기술의 일 실시예에 따른 기화기를 나타내는 사시도이다.

Claims (15)

  1. 액상 원료와 캐리어 가스로 구성된 혼합물을 가열하는 히팅부와 상기 가열된 혼합물을 유출하는 유출부를 포함하고,
    상기 히팅부는
    상기 혼합물을 주입하기 위한 주입구를 포함하는 주입 실린더 -상기 주입구의 직경은 15.85mm 이상 16.05mm 이하에 상응함-;
    상기 주입 실린더와 이격되어 배치되는 제1 중앙 통로 및 제1 복수의 세공들을 가지는 제1 외측 통로를 포함하며, 상기 제1 외측 통로의 가장자리는 상기 주입 실린더와 연결되는 제1 내부 실린더 -제1 중앙 통로의 직경은 12.6mm 이상 12.8mm 이하에 상응하고, 상기 제1 복수의 세공들 각각의 직경은 3.15mm 이상 3.25mm 이하에 상응함-;
    상기 제1 내부 실린더와 이격되어 배치되고 상기 제1 중앙 통로보다 직경이 큰 차폐부 및 제2 복수의 세공들을 가지는 제2 외측 통로를 포함하며, 상기 제2 외측 통로의 가장자리는 상기 제1 내부 실린더와 연결되는 제2 내부 실린더 -상기 차폐부의 직경은 40.45mm 이상 40.75mm 이하에 상응하고, 상기 제2 복수의 세공들 각각의 직경은 3.15mm 이상 3.25mm 이하에 상응함-; 및
    상기 제2 외측 통로로 배출되는 혼합물을 모으는 제2 중앙 통로를 포함하는 제1 체결부를 포함하며 -상기 제2 중앙 통로의 일단의 직경은 66.55mm 이상 66.75mm 이하에 상응하고, 타단의 직경은 30.33mm 이상 30.63mm 이하에 상응함-,
    상기 유출부는
    상기 제1 체결부와 동일한 직경을 가지고, 상기 모은 혼합물을 이동시키기 위한 중앙 돌출부와 주위 함몰부를 포함하는 제2 체결부 -상기 중앙 돌출부의 직경은 14.22mm 이상 14.42mm 이하에 상응하고, 상기 주위 함몰부의 직경은 47.45mm 이상 47.75mm 이하에 상응함-;
    상기 중앙 돌출부가 이격되어 배치되는 중앙 함몰부와 상기 주위 함몰부와 이격되어 배치되고 제3 복수의 세공들을 가지는 주위 돌출부를 포함하고, 상기 주위 돌출부의 가장자리는 상기 제2 체결부와 연결되며 상기 제2 체결부보다 작은 직경을 가지는 제3 내부 실린더 -상기 중앙 함몰부의 직경은 18.9mm 이상 19.1mm 이하에 상응하고, 상기 주위 돌출부의 직경은 43.45mm 이상 43.75mm 이하에 상응하고, 상기 제3 내부 실린더의 직경은 47.45mm 이상 47.75 이하에 상응함-; 및
    상기 가열된 혼합물을 배출하기 위한 배출구를 포함하는 배출 실린더를 포함하고 -상기 배출구의 직경은 4.6mm 이하에 상응함-,
    상기 주입 실린더, 상기 제1 내부 실린더, 상기 제2 내부 실린더, 상기 제1 체결부 및 제2 체결부의 직경은 69.75mm 이상 70.05mm 이하에 상응하는 기화기.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 복수의 세공들은 제1 내지 제7 동심원을 이루며 배열되고,
    상기 제1 동심원은 12개의 세공들을 포함하고,
    상기 제2 동심원은 18개의 세공들을 포함하고,
    상기 제3 동심원은 24개의 세공들을 포함하고,
    상기 제4 동심원은 32개의 세공들을 포함하고,
    상기 제5 동심원은 38개의 세공들을 포함하고,
    상기 제6 동심원은 44개의 세공들을 포함하고,
    상기 제7 동심원은 50개의 세공들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기화기.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제2 복수의 세공들은 제8 내지 제10 동심원을 이루며 배열되고,
    상기 제8 동심원은 32개의 세공들을 포함하고,
    상기 제9 동심원은 44개의 세공들을 포함하고,
    상기 제10 동심원은 50개의 세공들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기화기.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 액상 원료와 캐리어 가스로 구성된 혼합물을 가열하는 히팅부와 상기 가열된 혼합물을 유출하는 유출부를 포함하고,
    상기 히팅부는
    상기 혼합물을 주입하기 위한 주입구를 포함하는 주입 실린더 -상기 주입구의 직경은 15.85mm 이상 16.05mm 이하에 상응함-;
    상기 주입 실린더와 이격되어 배치되는 제1 중앙 통로 및 제1 복수의 세공들을 가지는 제1 외측 통로를 포함하며, 상기 제1 외측 통로의 가장자리는 상기 주입 실린더와 연결되는 제1 내부 실린더 -제1 중앙 통로의 직경은 12.6mm 이상 12.8mm 이하에 상응하고, 상기 제1 복수의 세공들 각각의 직경은 3.15mm 이상 3.25mm 이하에 상응함-;
    상기 제1 내부 실린더와 이격되어 배치되고 상기 제1 중앙 통로보다 직경이 큰 차폐부 및 제2 복수의 세공들을 가지는 제2 외측 통로를 포함하며, 상기 제2 외측 통로의 가장자리는 상기 제1 내부 실린더와 연결되는 제2 내부 실린더 -상기 차폐부의 직경은 40.45mm 이상 40.75mm 이하에 상응하고, 상기 제2 복수의 세공들 각각의 직경은 3.15mm 이상 3.25mm 이하에 상응함-;
    상기 제1 및 제2 내부 실린더의 외벽에 접촉되어 상기 제1 및 제2 내부 실린더를 가열하는 히팅 자켓; 및
    상기 제2 외측 통로로 배출되는 혼합물을 모으는 제2 중앙 통로를 포함하는 제1 체결부를 포함하며 -상기 제2 중앙 통로의 일단의 직경은 66.55mm 이상 66.75mm 이하에 상응하고, 타단의 직경은 30.33mm 이상 30.63mm 이하에 상응함-,
    상기 유출부는
    상기 제1 체결부와 동일한 직경을 가지고, 상기 모은 혼합물을 이동시키기 위한 중앙 돌출부와 주위 함몰부를 포함하는 제2 체결부 -상기 중앙 돌출부의 직경은 14.22mm 이상 14.42mm 이하에 상응하고, 상기 주위 함몰부의 직경은 47.45mm 이상 47.75mm 이하에 상응함-;
    상기 중앙 돌출부가 이격되어 배치되는 중앙 함몰부와 상기 주위 함몰부와 이격되어 배치되고 제3 복수의 세공들을 가지는 주위 돌출부를 포함하고, 상기 주위 돌출부의 가장자리는 상기 제2 체결부와 연결되며 상기 제2 체결부보다 작은 직경을 가지는 제3 내부 실린더 -상기 중앙 함몰부의 직경은 18.9mm 이상 19.1mm 이하에 상응하고, 상기 주위 돌출부의 직경은 43.45mm 이상 43.75mm 이하에 상응하고, 상기 제3 내부 실린더의 직경은 47.45mm 이상 47.75 이하에 상응함-; 및
    상기 가열된 혼합물을 배출하기 위한 배출구를 포함하고 -상기 배출구의 직경은 4.6mm 이하에 상응함-,
    상기 주입 실린더, 상기 제1 내부 실린더, 상기 제2 내부 실린더, 상기 제1 체결부 및 제2 체결부의 직경은 69.75mm 이상 70.05mm 이하에 상응하는 배출 실린더를 포함하는 기화기.
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