KR100961070B1 - Parallel testing apparatus and method for sram - Google Patents

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Abstract

본 발명은 SRAM의 병렬 테스트 장치 및 방법에 관한 것으로, 다수의 메모리 셀 그룹으로 구분된 SRAM의 병렬 테스트 장치로서, 다수의 메모리 셀 그룹에 연결되어, 각 메모리 셀 그룹 내에 고장 메모리 셀의 존재 여부를 다양한 테스트 패턴을 바탕으로 동시에 테스트하는 다수의 병렬 테스트 회로부를 포함하며, 각 병렬 테스트 회로부는 각 메모리 셀 그룹의 비트 라인쌍에 연결되는 SRAM의 병렬 테스트 장치 및 방법이 제공된다.The present invention relates to an apparatus and method for parallel testing of SRAM, which is a parallel test apparatus for an SRAM divided into a plurality of memory cell groups, which is connected to a plurality of memory cell groups to determine whether a failed memory cell exists in each memory cell group. Provided are a parallel test apparatus and method for SRAM that includes a plurality of parallel test circuits for simultaneously testing based on various test patterns, each parallel test circuit being connected to a pair of bit lines in each group of memory cells.

SRAM, 병렬 테스트, 프리차지, 프리디스차지 SRAM, Parallel Test, Precharge, Predischarge

Description

SRAM의 병렬 테스트 장치 및 방법 {PARALLEL TESTING APPARATUS AND METHOD FOR SRAM}Parallel testing apparatus and method of SRM A {PARALLEL TESTING APPARATUS AND METHOD FOR SRAM}

본 발명은 SRAM의 병렬 테스트 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 낮은 양산율 반도체 공정을 사용하여 SRAM 구현시 발생하는 다수의 오류 및 테스트 시간을 감소시키고 다양한 고장을 감지할 수 있는 블록 단위의 병렬 테스트 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for parallel testing of SRAM. More particularly, the present invention relates to a block test unit that can detect various failures and reduce a number of errors and test times that occur during SRAM implementation using a low-volume semiconductor process. A parallel test apparatus and method.

도 1은 종래 기술에 따른 메모리 테스트 순서를 나타낸 흐름도이다. 도 1을 참조하면, 우선 SRAM 메모리의 외부 입출력을 통하여 전체 메모리 셀을 순차적으로 액세스하여 테스트하는 과정을 수행한다(S10). 그리고 나서, 고장 메모리 셀이 존재하는지 판단하는 과정(S20)을 수행하고, 만약 고장 메모리 셀이 존재하는 경우에는 고장 메모리 셀에 대하여 리던던시 교체(redundancy replacement)를 수행한다(S30).1 is a flowchart illustrating a memory test sequence according to the prior art. Referring to FIG. 1, first, a process of sequentially accessing and testing all memory cells through external input / output of an SRAM memory is performed (S10). Then, a process of determining whether a faulty memory cell exists is performed (S20), and if there is a faulty memory cell, redundancy replacement is performed on the faulty memory cell (S30).

이와 같이, 기존의 메모리 테스트는 메모리 칩 I/O를 통해 기록 및 판독 과정을 거쳐 전체 메모리 셀에 순차적으로 액세스하여 이루어지므로, 메모리 셀이 늘어날수록 테스트 시간은 메모리 셀의 개수에 비례하거나 그 제곱에 비례하여 증가 할 수 밖에 없다. 즉, 메모리 테스트 알고리즘으로서 MARCH, CHECKER, WALKING 0s, WALKING 1s, Surround Disturb Patterns을 사용할 때, 메모리 테스트에 소모되는 시간은 n이 메모리 셀의 개수일 때, O(n)의 단위로 증가하게 된다. 또한, Exhaustive Test나 GALPAT(Galloping Pattern)과 같은 알고리즘 테스트를 사용할 경우, 메모리에서 발생 가능한 모든 패턴을 테스트하므로 O(n2)의 단위로 테스트 시간이 소모되게 된다. 예를 들어, 256 KB의 메모리를 exhaustive test를 수행하면 최소 k×256,000(k는 메모리 액세스 타임) 에서 k×256,000×256,000의 테스트 수행이 필요하게 된다. 이는 k를 10ns로 가정할 때 2.56ms시간에서 약 10분에 해당하는 시간이 소모된다.As such, the conventional memory test is performed by sequentially accessing the entire memory cell through the write and read process through the memory chip I / O. As the number of memory cells increases, the test time is proportional to the number of memory cells or squared. Inevitably increase. That is, when using MARCH, CHECKER, WALKING 0s, WALKING 1s, and Surround Disturb Patterns as the memory test algorithm, the time spent for the memory test increases in units of O (n) when n is the number of memory cells. In addition, when an algorithm test such as Exhaustive Test or GALPAT (Galloping Pattern) is used, test time is consumed in units of O (n 2 ) because all patterns that can occur in the memory are tested. For example, exhaustive testing of 256 KB of memory requires testing at k × 256,000 × 256,000 at a minimum of k × 256,000 (k is the memory access time). This takes about 10 minutes at 2.56 ms, assuming k is 10 ns.

한편, 최근 디스플레이 분야에서는 디스플레이 구동에 필요한 회로의 일부 및 전체를 디스플레이 패널 내에 집적시키는 시스템 온 패널(SOP:System on Panel) 화가 진행되고 있다. 현재 삼성 및 일본의 CG silicon, NEC, Sharp 등의 LCD 업체에서 이러한 노력이 진행되고 있다. SOP는 디스플레이가 사용되는 모든 시스템에 응용하면 전력소모와 인터컨넥션에 의한 지연을 줄일 수 있지만, 하지만 SOP를 위하여 사용되는 저온 폴리실리콘 공정(LTPS:Low Temperature Poly-silicon) 등은 수율이 낮다는 단점이 있다. 이러한 낮은 수율을 극복하기 위하여, 효율적인 테스트를 통한 효과적인 리던던시 교체가 필요하지만 기존의 메모리 테스트는 대용량화 할수록 많은 시간이 소모되어 비효율적이므로, 메모리 테스트의 정확도를 높이면서, 테스트 시간을 감소시키는 방안이 절실히 요구된다. Meanwhile, in the display field, a System on Panel (SOP) system for integrating part and all of a circuit required for driving a display into a display panel is progressing. At present, such efforts are being made by LCD companies such as CG silicon, NEC, and Sharp in Japan. SOP can reduce power consumption and interconnection delay when applied to all systems using displays, but low temperature polysilicon (LTPS) used for SOP has low yield. There is this. In order to overcome such low yield, effective redundancy replacement is required through efficient testing, but the existing memory test is inefficient because it takes more time as the capacity is increased, and thus, the method of reducing the test time while increasing the accuracy of the memory test is urgently required. do.

본 발명은 상술한 종래의 문제점을 극복하기 위한 것으로서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 고속으로 테스트가 가능하며, 다양한 고장을 감지할 수 있는 병렬 테스트 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.The present invention is to overcome the above-mentioned conventional problems, the problem to be solved by the present invention is to provide a parallel test apparatus and method that can be tested at high speed, and can detect a variety of failures.

본 발명의 다른 목적은 이웃 감응 고장(neighborhood sensitive fault)등 다양한 고장을 감지하여 테스트 검출률을 향상시킬 수 있는 다양한 테스트 패턴을 사용한 병렬 테스트 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.It is another object of the present invention to provide a parallel test apparatus and method using various test patterns that can detect various failures such as neighborhood sensitive faults and improve test detection rate.

본 발명의 또 다른 목적은 계층적 비트 라인과 분할된 워드 라인 메모리 구조에 적용될 수 있도록, 병렬 테스트 회로부를 그룹 단위로 설계 가능한 병렬 테스트 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.It is still another object of the present invention to provide a parallel test apparatus and method capable of designing parallel test circuit units in groups so that they can be applied to hierarchical bit lines and divided word line memory structures.

본 발명의 예시적인 실시예에 따르면, 다수의 메모리 셀 그룹으로 구분된 SRAM의 병렬 테스트 장치로서, 상기 다수의 메모리 셀 그룹에 연결되어, 상기 각 메모리 셀 그룹 내에 고장 메모리 셀의 존재 여부를 동시에 테스트하는 다수의 병렬 테스트 회로부를 포함하며, 상기 각 병렬 테스트 회로부는 상기 각 메모리 셀 그룹의 비트 라인쌍에 연결되는 SRAM의 병렬 테스트 장치가 제공된다.According to an exemplary embodiment of the present invention, a parallel test apparatus for an SRAM divided into a plurality of memory cell groups, which is connected to the plurality of memory cell groups and simultaneously tests whether a failed memory cell exists in each memory cell group. A plurality of parallel test circuits are provided, and each parallel test circuit is provided with a parallel test apparatus of SRAM connected to a pair of bit lines of each memory cell group.

상기 각 병렬 테스트 회로부는 상기 비트 라인쌍에 연결되어, 상기 비트 라인 쌍을 프리차지(precharge)하기 위한 프리차지 회로; 상기 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀들의 풀 다운 고장(pull down fault)을 감지하기 위한 프리차지 테스트 회로; 상기 비트 라인쌍에 연결되어, 상기 비트 라인 쌍을 프리디스차지(predischarge)하기 위한 프리디스차지 회로; 및 상기 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀들의 풀 업 고장(pull down fault)을 감지하기 위한 프리디스차지 테스트 회로를 포함한다.Each of the parallel test circuits is connected to the bit line pairs to precharge the bit line pairs; Precharge test circuitry for detecting a pull down fault of memory cells in the memory cell group; A predischarge circuit connected to the bit line pair for predischarge the bit line pair; And a predischarge test circuit for detecting a pull down fault of the memory cells in the memory cell group.

상기 프리차지 테스트 회로는 상기 비트 라인쌍에 각각 연결되어, 상기 비트 라인 쌍의 출력에 따라 구동되는 제1 스위칭부 및 제2 스위칭부; 및 상기 제1 스위칭부 및 제2 스위칭부에 각각 연결되어, 상기 비트 라인 쌍의 출력 값에 상응하는 데이터를 출력하는 제1 테스트 입출력 라인 쌍을 포함하며, 상기 프리디스차지 테스트 회로는 상기 비트 라인쌍에 각각 연결되어, 상기 비트 라인 쌍의 출력에 따라 구동되는 제3 스위칭부 및 제4 스위칭부; 및 상기 제3 스위칭부 및 제4 스위칭부에 각각 연결되어, 상기 비트 라인 쌍의 출력 값에 상응하는 데이터를 출력하는 제2 테스트 입출력 라인 쌍을 포함한다.The precharge test circuit may include: a first switching unit and a second switching unit respectively connected to the bit line pair and driven according to an output of the bit line pair; And a first test input / output line pair connected to the first switching unit and the second switching unit, respectively, to output data corresponding to an output value of the bit line pair, wherein the predischarge test circuit includes the bit line. A third switching unit and a fourth switching unit respectively connected to the pair and driven according to an output of the bit line pair; And a second test input / output line pair connected to the third switching unit and the fourth switching unit, respectively, and outputting data corresponding to an output value of the bit line pair.

상기 메모리 셀 그룹 내의 모든 메모리 셀들에서 풀 다운 고장이 존재하지 않으면, 상기 제1 테스트 입출력 라인 쌍은 상보적인 출력값을 가지며, 상기 메모리 셀 그룹 내의 모든 메모리 셀들에서 풀 업 고장이 존재하지 않으면, 상기 제2 테스트 입출력 라인 쌍은 상보적인 출력값을 갖는 것을 특징으로 한다.If there is no pull down failure in all the memory cells in the memory cell group, the first test input / output line pair has a complementary output value, and if there is no pull up failure in all the memory cells in the memory cell group, The two test input / output line pairs are characterized by having complementary output values.

상기 프리차지 테스트 회로는 상기 제1 테스트 입출력 라인 쌍을 프리차지하기 위한 프리차지부 및 상기 프리차지 테스트 회로의 동작을 개시하기 위한 프리차지 테스트 인에이블부를 더 포함하며, 상기 제1 스위칭부를 구성하는 스위칭 소자의 게이트 단자는 비트라인에 연결되며, 소스/드레인 단자 중 일 단자는 상기 제1 테스트 입출력 라인쌍 중 어느 한 라인에 연결되고, 타 단자는 상기 프리차지 테스트 인에이블부에 연결되며, 상기 제2 스위칭부를 구성하는 스위칭 소자의 게이트 단자는 비트라인 바에 연결되며, 소스/드레인 단자 중 일 단자는 상기 제1 테스트 입출력 라인쌍 중 나머지 라인에 연결되고, 타 단자는 상기 프리차지 테스트 인에이블부에 연결되며, 상기 프리차지부는 상기 제1 테스트 입출력 라인쌍의 일 단에 연결되어 상기 제1 테스트 입출력 라인쌍을 프리차지하며, 상기 프리차지 테스트 인에이블부를 구성하는 스위칭 소자의 소스/드레인 단자 중 일 단자는 접지에 연결되고, 타 단자는 상기 제1 스위칭부와 상기 제2 스위칭부에 연결된다.The precharge test circuit further includes a precharge unit for precharging the first test input / output line pair and a precharge test enable unit for initiating the operation of the precharge test circuit, and configured to constitute the first switching unit. A gate terminal of the switching element is connected to the bit line, one terminal of the source / drain terminals is connected to any one of the first test input / output line pair, and the other terminal is connected to the precharge test enable unit. A gate terminal of the switching element constituting the second switching unit is connected to the bit line bar, one terminal of the source / drain terminals is connected to the other line of the first test input / output line pair, and the other terminal is the precharge test enable unit. The precharge unit is connected to one end of the first test input / output line pair and connected to the first test input / output line pair. A pair of source / drain terminals of a switching element constituting the precharge input / output line pair, the terminal connected to ground, and the other terminal connected to the first switching unit and the second switching unit. do.

상기 프리디스차지 테스트 회로는 상기 제2 테스트 입출력 라인 쌍을 프리디스차지하기 위한 프리디스차지부 및 상기 프리디스차지 테스트 회로의 동작을 개시하기 위한 프리디스차지 테스트 인에이블부를 더 포함하며, 상기 제3 스위칭부를 구성하는 스위칭 소자의 게이트 단자는 비트라인에 연결되며, 소스/드레인 단자 중 일 단자는 상기 제2 테스트 입출력 라인쌍 중 어느 한 라인에 연결되고, 타 단자는 상기 프리디스차지 테스트 인에이블부에 연결되며, 상기 제4 스위칭부를 구성하는 스위칭 소자의 게이트 단자는 비트라인 바에 연결되며, 소스/드레인 단자 중 일 단자는 상기 제2 테스트 입출력 라인쌍 중 나머지 라인에 연결되고, 타 단자는 상기 프리디스차지 테스트 인에이블부에 연결되며, 상기 프리디스차지부는 상기 제2 테스트 입출력 라인쌍의 일 단에 연결되어, 상기 제2 테스트 입출력 라인쌍을 프리디스차지하며, 상기 프리디스차지 테스트 인에이블부를 구성하는 스위칭 소자의 소스/드레인 단자 중 일 단자는 구동전원에 연결되고, 타 단자는 상기 제3 스위칭부와 상기 제4 스위칭부에 연결된다.The predischarge test circuit further includes a predischarge unit for predischarging the second test input / output line pair and a predischarge test enable unit for initiating an operation of the predischarge test circuit. The gate terminal of the switching element constituting the three switching unit is connected to the bit line, one terminal of the source / drain terminals is connected to any one of the second test input and output line pair, and the other terminal is the predischarge test enable A gate terminal of a switching element constituting the fourth switching unit is connected to a bit line bar, one terminal of a source / drain terminal is connected to the other line of the second test input / output line pair, and the other terminal is A predischarge test enable unit is connected to the predischarge test enable unit, and the second test input / output line Is connected to one end of the second test input / output line pair, and precharges the second test input / output line pair, one terminal of a source / drain terminal of a switching element constituting the predischarge test enable unit is connected to a driving power source, and the other terminal is It is connected to the third switching unit and the fourth switching unit.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, SRAM 어레이를 다수의 메모리 셀 그룹으로 분할하는 단계; 상기 다수의 메모리 셀 그룹에 연결된 다수의 병렬 테스트 회로부를 이용하여, 상기 다수의 메모리 셀 그룹을 동시에 병렬 테스트하는 단계; 고장 메모리 셀이 감지된 메모리 셀 그룹을 선택하는 단계; 및 상기 선택된 메모리 셀 그룹 내부의 모든 메모리 셀에 대하여 순차적으로 테스트하는 단계를 포함하는 SRAM의 병렬 테스트 방법이 제공된다.According to another embodiment of the invention, partitioning an SRAM array into a plurality of memory cell groups; Parallel testing the plurality of memory cell groups simultaneously using a plurality of parallel test circuit units connected to the plurality of memory cell groups; Selecting a memory cell group in which a failed memory cell is detected; And sequentially testing all of the memory cells in the selected memory cell group.

상기 병렬 테스트하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 비트라인 쌍을 프리차지 또는 프리디스차지한 후, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀들의 풀업 또는 풀다운 구동 능력을 감지하는 단계를 포함한다. The parallel testing may include precharging or predischarging a pair of bit lines in each memory cell group, and then sensing pull-up or pull-down driving capability of the memory cells in each memory cell group.

상기 메모리 셀들의 풀업 또는 풀다운 구동 능력을 감지하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹에 임의의 테스트 패턴을 기록하는 단계; 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 비트 라인 쌍을 프리차지 또는 프리디스차지 하는 단계; 상기 테스트 패턴을 판독하기 위하여, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 테스트 패턴에 따른 메모리 셀들을 선택하는 단계; 상기 비트 라인 쌍의 출력 값에 상응하는 데이터를 출력하는 테스트 입출력 라인 쌍의 출력을 감지하는 단계; 및 상기 각 메모리 셀 그룹 내부에 고장 메모리 셀의 존재 여부를 판단하는 단계를 포함한다.Detecting pull-up or pull-down driving capability of the memory cells includes writing a test pattern in each memory cell group; Precharging or predischarging a pair of bit lines in each memory cell group; Selecting memory cells according to a test pattern in each memory cell group to read the test pattern; Detecting an output of a test input / output line pair for outputting data corresponding to an output value of the bit line pair; And determining whether a failed memory cell exists in each of the memory cell groups.

상기 고장 메모리 셀의 존재 여부를 판단하는 단계는 상기 테스트 입출력 라인 쌍의 출력이 상보적 출력인 경우, 메모리 셀 그룹 내에 고장 메모리 셀이 존재하지 않은 것으로 판단하며, 상기 테스트 입출력 라인 쌍의 출력이 상보적 출력이 아닌 경우, 메모리 셀 그룹 내에 고장 메모리 셀이 존재하는 것으로 판단하는 단계를 포함한다.The determining of the existence of the failed memory cell may include determining that the failed memory cell does not exist in the memory cell group when the output of the test input / output line pair is a complementary output, and the output of the test input / output line pair is complementary. If not, the step of determining that there is a failed memory cell in the memory cell group.

상기 임의의 테스트 패턴을 기록하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹에 동일한 데이터를 입력하는 단계를 포함하며, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀들을 선택하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 모든 메모리 셀들을 선택하는 단계를 포함한다.Writing the random test pattern includes inputting the same data into each memory cell group, and selecting memory cells in each memory cell group selects all memory cells in each memory cell group It includes a step.

상기 임의의 테스트 패턴을 기록하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹의 제1 워드 라인에 연결된 메모리 셀에 제1 데이터를 기록하는 단계; 및 상기 각 메모리 셀 그룹의 제2 워드 라인에 연결된 메모리 셀에 제2 데이터를 기록하는 단계를 포함하며, 상기 제1 및 제2 워드 라인은 각각 짝수 번째 및 홀수 번째 워드 라인이거나 또는 상기 제1 및 제2 워드 라인은 각각 홀수 번째 및 짝수 번째 워드라인인 것을 특징으로 한다.The writing of the random test pattern may include writing first data in a memory cell connected to a first word line of each memory cell group; And writing second data into memory cells connected to second word lines of each of the memory cell groups, wherein the first and second word lines are even and odd word lines, respectively, or the first and second word lines. The second word line is an odd-numbered and even-numbered wordline, respectively.

상기 각 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀들을 선택하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 모든 비트라인 쌍을 선택하고, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 워드 라인을 순차적으로 선택하는 단계를 포함하며, 상기 테스트 입출력 라인 쌍의 출력을 감지하는 단계는 상기 메모리 셀들이 선택된 순서에 따라 수행하는 것을 특징으로 한다.Selecting memory cells in each memory cell group includes selecting all bit line pairs in each memory cell group and sequentially selecting word lines in each memory cell group, wherein the test input / output line pairs The sensing of the output may be performed in the order in which the memory cells are selected.

상기 임의의 테스트 패턴을 기록하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹의 제1 비트 라인쌍에 연결된 메모리 셀에 제1 데이터를 기록하는 단계; 및 상기 각 메모리 셀 그룹의 제2 비트 라인쌍에 연결된 메모리 셀에 제2 데이터를 기록하는 단계 를 포함하며, 상기 제1 및 제2 비트 라인쌍은 각각 짝수 번째 및 홀수 번째 비트 라인쌍 이거나 또는 상기 제1 및 제2 비트 라인쌍은 각각 홀수 번째 및 짝수 번째 비트 라인쌍인 것을 특징으로 한다.The writing of the arbitrary test pattern may include writing first data to a memory cell connected to a first bit line pair of each memory cell group; And writing second data to a memory cell connected to a second bit line pair of each memory cell group, wherein the first and second bit line pairs are each even and odd bit line pairs, or The first and second bit line pairs are odd and even bit line pairs, respectively.

상기 각 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀들을 선택하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 제1 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 단계와 각 메모리 셀 그룹 내의 제2 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 단계를 포함하며, 상기 제1 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 워드 라인은 순차적으로 선택하고, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 비트라인 쌍은 상기 제1 비트라인 쌍을 선택하며, 상기 제2 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 워드 라인은 순차적으로 선택하고, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 비트라인 쌍은 제2 비트라인 쌍을 선택하고, 상기 테스트 입출력 라인 쌍의 출력을 감지하는 단계는 상기 메모리 셀들이 선택된 순서에 따라 수행하는 것을 특징으로 한다.Selecting memory cells in each memory cell group may include selecting memory cells in which first data in each memory cell group is written and selecting memory cells in which second data in each memory cell group is written. And selecting the memory cells in which the first data is written, sequentially selecting a word line in each memory cell group, and selecting a pair of bit lines in each memory cell group by selecting the first bit line pair. The selecting of the memory cells in which the second data is written may include sequentially selecting a word line in each of the memory cell groups, a pair of bit lines in each of the memory cell groups, and selecting a second bit line pair. Detecting the output of the input / output line pairs is performed in the order that the memory cells are selected. do.

상기 임의의 테스트 패턴을 기록하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 모든 메모리 셀에 제2 데이터를 입력하는 단계; 상기 각 메모리 셀 그룹의 제1 비트 라인 쌍과 제1 워드 라인의 교차 영역에 위치한 메모리 셀에 제1 데이터를 기록하는 단계; 및 상기 각 메모리 셀 그룹의 제2 비트 라인 쌍과 제2 워드 라인의 교차 영역에 위치한 메모리 셀에 제1 데이터를 기록하는 단계를 포함하며, 상기 제1 및 제2 비트 라인쌍은 각각 짝수 번째 및 홀수 번째 비트 라인쌍이거나 또는 상기 제1 및 제2 비트 라인쌍은 각각 홀수 번째 및 짝수 번째 비트 라인쌍이며, 상기 제 1 및 제2 워드 라인은 각각 짝수 번째 및 홀수 번째 워드 라인이거나 또는 상기 제1 및 제2 워드 라인은 각각 홀수 번째 및 짝수 번째 워드 라인인 것을 특징으로 한다.The recording of the arbitrary test pattern may include inputting second data into all memory cells in each memory cell group; Writing first data into a memory cell located at an intersection of a first bit line pair and a first word line of each memory cell group; And writing first data into a memory cell located at an intersection of a second bit line pair and a second word line of each memory cell group, wherein the first and second bit line pairs are each even and An odd bit line pair or the first and second bit line pairs are odd and even bit line pairs, respectively, and the first and second word lines are even and odd word lines, respectively, or the first And the second word line is an odd-numbered and even-numbered word line, respectively.

상기 각 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀들을 선택하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 제1 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 단계와 각 메모리 셀 그룹 내의 제2 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 단계를 포함하며, 상기 제1 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 워드 라인은 순차적으로 선택하고, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 비트라인 쌍은 상기 제1 및 제2 비트 라인쌍의 순서에 따라 교대로 선택하며, 상기 제2 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 워드 라인은 순차적으로 선택하고, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 비트라인 쌍은 상기 제2 및 제1 비트라인쌍의 순서에 따라 교대로 선택하고, 상기 테스트 입출력 라인 쌍의 출력을 감지하는 단계는 상기 메모리 셀들이 선택된 순서에 따라 수행하는 것을 특징으로 한다.Selecting memory cells in each memory cell group may include selecting memory cells in which first data in each memory cell group is written and selecting memory cells in which second data in each memory cell group is written. And selecting the memory cells in which the first data is written, sequentially selecting word lines in each of the memory cell groups, and pairs of bit lines in each of the memory cell groups in the first and second bit line pairs. And alternately selecting the memory cells in which the second data is written, sequentially selecting word lines in each of the memory cell groups, and pairing bit lines in each of the memory cell groups. And alternately selecting according to the order of the first bit line pair, and detecting the output of the test input / output line pair. It characterized in that the memory cells are performed according to the selected order.

본 발명에 따르면 SRAM의 내부 비트라인을 이용하여 고장 메모리 셀이 존재하는 메모리 셀 그룹을 병렬적으로 찾아내고, 고장 메모리 셀이 존재하는 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀을 순차적으로 테스트하므로, 종래 기술에 따른 테스트에 비하여 테스트 시간이 감축된다. According to the present invention, the memory cell group in which the failed memory cell exists is found in parallel using the internal bit line of the SRAM, and the memory cells in the memory cell group in which the failed memory cell exists are sequentially tested. Test time is reduced compared to the test.

프리차지 테스트 프리디스차지 테스트를 통하여, 메모리 셀들의 풀 다운 구 동 능력 또는 풀 업 구동 능력을 감지하여, 메모리 셀들의 고장 여부를 판단함으로써, 테스트 검출률을 증가시키는 효과를 얻는다. Precharge Test Through the predischarge test, the pull down driving capability or the pull up driving capability of the memory cells is sensed to determine whether the memory cells have failed, thereby increasing the test detection rate.

그리고, 다양한 테스트 패턴을 이용하여 병렬 테스트를 수행함으로써, 이웃 감응 고장 등 다양한 고장을 감지할 수 있게 되어, 테스트 검출률을 증가시키는 효과를 얻는다. In addition, by performing parallel tests using various test patterns, various failures such as neighbor sensitive failures can be detected, thereby increasing the test detection rate.

또한, 병렬 테스트 회로부를 메모리 셀 그룹 단위로 설계 가능하도록 구성함으로써, 계층적 비트 라인과 분할된 워드 라인 메모리 구조에도 적용될 수 있는 효과를 얻는다.In addition, by configuring the parallel test circuit unit to be designed in units of memory cell groups, an effect that can be applied to hierarchical bit lines and divided word line memory structures is obtained.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 SRAM의 병렬 테스트 장치의 개략도이며, 도 3은 본 발명에 따른 SRAM의 병렬 테스트 장치의 기능 블록도이다.2 is a schematic diagram of an SRAM parallel test apparatus according to the present invention, and FIG. 3 is a functional block diagram of an SRAM parallel test apparatus according to the present invention.

도 2를 참조하면, 우선 SRAM은 다수의 메모리 셀 그룹으로 구분되며, 본 발명에 따른 SRAM의 병렬 테스트 장치는 각 메모리 셀 그룹에 연결되어, 상기 각 메모리 셀 그룹 내에 고장 메모리 셀의 존재 여부를 동시에 테스트하는 다수의 병렬 테스트 회로부를 포함한다. 각 병렬 테스트 회로부는 각 메모리 셀 그룹의 비트 라인쌍에 연결된다.Referring to FIG. 2, first, an SRAM is divided into a plurality of memory cell groups, and the parallel test apparatus of the SRAM according to the present invention is connected to each memory cell group to simultaneously determine whether a failed memory cell exists in each memory cell group. It includes a number of parallel test circuits for testing. Each parallel test circuit is connected to a pair of bit lines in each group of memory cells.

본 실시예의 경우 설명의 편의를 위하여, SRAM은 제1 내지 제4 메모리 셀 그룹(G1 ~ G4)만을 도시하였으며, 제1 내지 제4 병렬 테스트 회로부(PTC1 ~ PTC4)는 제1 내지 제4 메모리 셀 그룹에 각각 연결되어, 각 메모리 셀 그룹을 동시에 병렬적으로 테스트 한다.In the present embodiment, for convenience of description, the SRAM shows only the first to fourth memory cell groups G1 to G4, and the first to fourth parallel test circuit units PTC1 to PTC4 represent the first to fourth memory cells. Connected to each group, each group of memory cells is tested in parallel at the same time.

도 3을 참조하면, 각 메모리 셀 그룹에 연결된 각 병렬 테스트 회로부는 프리차지 회로(100), 프리디스차지 회로(200), 프리차지 테스트 회로(300), 프리디스차지 테스트 회로(400) 및 컬럼 패스 트랜지스터(500)를 포함한다.Referring to FIG. 3, each parallel test circuit unit connected to each memory cell group includes a precharge circuit 100, a predischarge circuit 200, a precharge test circuit 300, a predischarge test circuit 400, and a column. Pass transistor 500.

프리차지 회로(100)는 메모리 셀 그룹 내부의 비트 라인쌍에 연결되어, 비트 라인 쌍을 프리차지(precharge)하는 기능을 수행하며, 프리디스차지 회로(200)는 메모리 셀 그룹 내부의 비트 라인쌍에 연결되어, 비트 라인 쌍을 프리디스차지(predischarge)하는 기능을 수행한다.The precharge circuit 100 is connected to a pair of bit lines in the memory cell group to perform a function of precharging the pair of bit lines, and the predischarge circuit 200 includes a pair of bit lines in the memory cell group. Is connected to the bit line to predischarge the pair of bit lines.

프리차지 테스트 회로(300)는 메모리 셀 그룹 내의 비트 라인 쌍을 프리차지한 후, 프리차지된 비트 라인 쌍이 소정 시간 동안에 충분히 풀 다운하는지를 측정하여, 메모리 셀들의 풀 다운 고장(pull down fault)을 감지하는 역할을 수행한다.The precharge test circuit 300 precharges a pair of bit lines in a group of memory cells, and then measures whether the precharged bit line pair is sufficiently pulled down for a predetermined time to detect pull down faults of the memory cells. Play a role.

프리디스차지 테스트 회로(400)는 메모리 셀 그룹 내의 비트 라인 쌍을 프리디스차지한 후, 프리디스차지된 비트 라인 쌍이 소정 시간 동안에 충분히 풀 업하는지를 측정하여, 메모리 셀들의 풀 업 고장(pull up fault)을 감지하는 역할을 수행한다.The predischarge test circuit 400 predischarges a pair of bit lines in a group of memory cells, and then measures whether the predischarged bit line pair is sufficiently pulled up for a predetermined time, thereby pulling up a pull up fault of the memory cells. It serves to detect.

컬럼 패스 트랜지스터(500)는 테스트 대상인 메모리 셀 그룹과 기존의 로컬 입출력 라인을 분리시키는 역할을 수행한다. 즉, 컬럼 패스 트랜지스터(500)는 임의의 메모리 셀 그룹을 인접하는 메모리 셀 그룹과 분리시켜서, 테스트를 각 메모리 셀 그룹 단위로 수행할 수 있도록 활용 가능하다. 그 결과, 프리차지 시간, 프 리디스차지 시간 및 테스트 시간이 감축된다.The column pass transistor 500 separates the memory cell group under test from the existing local input / output line. In other words, the column pass transistor 500 may separate an arbitrary memory cell group from an adjacent memory cell group so that the test may be performed for each memory cell group. As a result, the precharge time, predischarge time and test time are reduced.

도 2 및 도 3에 도시된 SRAM의 병렬 테스트 장치에 따르면, 우선 각 메모리 셀 그룹마다 내장되어 있는 다수의 병렬 테스트 회로부를 이용하여, 다수의 메모리 셀 그룹에 대하여 동시에 병렬 테스트를 수행한다. 병렬 테스트를 수행한 다음에 고장 메모리 셀이 존재하는 메모리 셀 그룹에 한하여, 모든 메모리 셀을 순차적으로 테스트함으로써, 테스트 시간을 감소시킨다.According to the parallel test apparatus of the SRAMs shown in FIGS. 2 and 3, first, a parallel test is performed on a plurality of memory cell groups simultaneously using a plurality of parallel test circuit units built in each memory cell group. The test time is reduced by sequentially testing all the memory cells only in the memory cell group in which the failed memory cell exists after performing the parallel test.

본 실시예의 경우에는 각 메모리 셀 그룹마다 병렬 테스트 회로부를 포함하는 것을 예로서 설명하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 이웃하는 메모리 셀 그룹이 하나의 병렬 테스트 회로부를 공유하는 방식으로 설계할 수도 있다. In the present exemplary embodiment, the parallel test circuit unit is included in each memory cell group as an example. However, the present invention is not limited thereto and the neighboring memory cell groups may be designed in such a manner that they share one parallel test circuit unit. It may be.

도 4는 6T SRAM에서 발생 가능한 고장 부위를 나타낸 도이며, 도 5는 프리차지 테스트와 프리디스차지 테스트에 의해서 감지 가능한 고장 부위를 정리한 표이다.FIG. 4 is a diagram illustrating failure areas that may occur in 6T SRAM, and FIG. 5 is a table showing failure areas detectable by a precharge test and a predischarge test.

도 4에 도시된 바와 같이, SRAM의 셀은 6개의 트랜지스터로 구성되며, 트랜지스터의 고장이나 약화(1 - 6) 및 인터컨넥션의 장애(7 - 9)로 인하여 메모리 셀 고장(fault)이 발생될 수 있다. 트랜지스터의 고장이나 약화는 메모리 셀의 풀 업 능력 및 풀 다운 능력의 저하로 나타난다. As shown in FIG. 4, a cell of an SRAM is composed of six transistors, and a memory cell fault may occur due to a transistor failure or weakening (1-6) and an interconnection failure (7-9). Can be. Failure or weakening of the transistor results in a decrease in the pull-up and pull-down capability of the memory cell.

도 5에는 프리차지 테스트와 프리디스차지 테스트에 의해서 감지 가능한 고장 부위가 도시된다. 도 5를 참조하면, 프리차지 테스트와 프리디스차지 테스트를 통하여 도 4에서 제시된 모든 발생 가능한 고장을 감지할 수 있음을 알 수 있다. 즉, 6T SRAM의 3, 4, 8 부분은 6T SRAM의 풀 다운 기능을 하는 구성 요소이며, 이러한 구성 요소의 능력을 점검하기 위해서는 프리차지 테스트를 실행하고, 1, 2, 7 부분의 능력을 점검하기 위해서는 프리디스차지 테스트를 실행한다. 그리고, 5, 6 및 9 부분의 능력을 점검하기 위해서는 프리차지 테스트 및 프리디스차지 테스트 중 어느 것을 수행해도 무방하다.FIG. 5 illustrates a failure site detectable by the precharge test and the predischarge test. Referring to FIG. 5, it can be seen that all possible failures shown in FIG. 4 can be detected through the precharge test and the predischarge test. That is, the 3, 4, and 8 parts of the 6T SRAM are components that pull down the 6T SRAM. To check the capability of these components, a precharge test is performed and the capabilities of the 1, 2, and 7 parts are checked. To do this, run the predischarge test. And, in order to check the capability of the 5, 6 and 9 parts, any of the precharge test and the predischarge test may be performed.

도 6은 SRAM의 병렬 테스트 장치의 개략적인 회로도이며, 도 7a는 SRAM의 병렬 테스트 장치의 프리차지 테스트 회로도이며, 도 7b는 SRAM의 병렬 테스트 장치의 프리디스차지 테스트 회로도이다.FIG. 6 is a schematic circuit diagram of a parallel test apparatus of SRAM, FIG. 7A is a precharge test circuit diagram of a parallel test apparatus of SRAM, and FIG. 7B is a predischarge test circuit diagram of a parallel test apparatus of SRAM.

도 6를 참조하면, 병렬 테스트 장치는 프리차지 회로(100), 프리디스차지 회로(200), 프리차지 테스트 회로(300), 프리디스차지 테스트 회로(400) 및 컬럼 패스 트랜지스터(500)를 포함한다.Referring to FIG. 6, the parallel test apparatus includes a precharge circuit 100, a predischarge circuit 200, a precharge test circuit 300, a predischarge test circuit 400, and a column pass transistor 500. do.

도 7a 및 도 7b를 참조하면, 프리차지 테스트 회로(300)는 비트 라인쌍에 각각 연결되어, 비트 라인 쌍의 출력에 따라 구동되는 제1 스위칭부(310:M1, M2, M3) 및 제2 스위칭부(320:M4, M5, M6) 및 제1 스위칭부(310:M1, M2, M3) 및 제2 스위칭부(320:M4, M5, M6)에 각각 연결되어, 비트 라인 쌍의 출력 값에 상응하는 데이터를 출력하는 제1 테스트 입출력 라인 쌍(330)을 포함한다. 또한, 제1 테스트 입출력 라인 쌍(330)을 프리차지하기 위한 프리차지부(340) 및 프리차지 테스트 회로(300)의 동작을 개시하는 프리차지 테스트 인에이블부(350)를 포함한다.7A and 7B, the precharge test circuit 300 is connected to the bit line pairs, respectively, and the first switching unit 310 (M1, M2, M3) and the second driving unit are driven according to the output of the bit line pair. It is connected to the switching unit 320: M4, M5, M6 and the first switching unit 310: M1, M2, M3 and the second switching unit 320: M4, M5, M6, respectively, and output values of the pair of bit lines And a first test input / output line pair 330 for outputting data corresponding to the first test input / output line pair 330. In addition, a precharge unit 340 for precharging the first test input / output line pair 330 and a precharge test enable unit 350 for starting an operation of the precharge test circuit 300 are included.

프리디스차지 테스트 회로(400)는 비트 라인쌍에 각각 연결되어, 비트 라인 쌍의 출력에 따라 구동되는 제3 스위칭부(410:M7, M8, M9) 및 제4 스위칭부(420:M10, M11, M12) 및 제3 스위칭부(410:M7, M8, M9) 및 제4 스위칭부(420:M10, M11, M12)에 각각 연결되어, 비트 라인 쌍의 출력 값에 상응하는 데이터를 출력하는 제2 테스트 입출력 라인 쌍(430)을 포함한다. 또한, 제2 테스트 입출력 라인 쌍(430)을 프리디스차지하기 위한 프리디스차지부(440) 및 프리디스차지 테스트 회로(400)의 동작을 개시하는 프리디스차지 테스트 인에이블부(450)를 포함한다.The predischarge test circuit 400 is connected to the bit line pairs, respectively, so that the third switching unit 410: M7, M8, M9 and the fourth switching unit 420: M10, M11 are driven according to the output of the bit line pair. M12 and third switches 410: M7, M8, and M9 and fourth switches 420: M10, M11, and M12, respectively, to output data corresponding to output values of the bit line pairs. Two test input / output line pairs 430. In addition, the predischarge unit 440 for predischarging the second test input / output line pair 430 and the predischarge test enable unit 450 for starting the operation of the predischarge test circuit 400 are included. do.

도 7a에 도시된 프리차지 테스트 회로를 이용하여 메모리 셀 그룹의 프리차지 테스트를 수행하는 과정을 살펴보면, 우선 메모리 셀 그룹에 임의의 테스트 패턴데이터를 입력한 후, 비트라인과 비트 바 라인을 VDD로 프리차지하고, 테스트 패턴에 따라 워드라인을 턴 온한다. 메모리 셀 그룹 내부의 선정된 메모리 셀에는 동일한 데이터가 저장되어 있으므로, 비트라인 쌍은 서로 상보적인(complementary) 데이터를 출력한다. 즉, 메모리 셀 그룹 내부의 모든 메모리 셀이 정상일 경우에는, 프리차지 테스트 회로의 제1 스위칭부(310:M1 - M3)와 제2 스위칭부(320:M4 - M6)중 어느 한 그룹은 모두 턴 온되고, 나머지 그룹은 턴 오프되어, 제1 테스트 입출력 라인 쌍(330)은 서로 상보적인 출력을 갖게 된다. 그러나, 메모리 셀 그룹 내부의 임의의 메모리 셀에 풀 다운 고장이 존재하는 경우, 비트 라인쌍 모두가 하이 또는 비트 라인쌍 중 하나가 약한 로우가 발생하게 되어, 임계 전압(Vth)이하로 풀 다운하지 못하게 된다. 그 결과, 제1 테스트 입출력 라인 쌍(330)은 서로 상보적이지 않은 출력을 갖게 된다. Referring to a process of performing a precharge test of a memory cell group using the precharge test circuit illustrated in FIG. 7A, first, arbitrary test pattern data is input to a memory cell group, and then a bit line and a bit bar line are set to VDD. Precharge and turn on the wordline according to the test pattern. Since the same data is stored in the selected memory cell in the memory cell group, the pair of bit lines outputs complementary data. That is, when all memory cells in the memory cell group are normal, any one of the first switching unit 310 (M1-M3) and the second switching unit 320: M4-M6 of the precharge test circuit is turned on. On, the remaining group is turned off, such that the first test input / output line pair 330 has outputs that are complementary to each other. However, if there is a pull-down failure in any memory cell in the memory cell group, either the bit line pair is high or one of the bit line pairs is weak, which causes the pull-down to fail below the threshold voltage Vth. I can't. As a result, the first test input / output line pair 330 has outputs that are not complementary to each other.

도 7b에 도시된 프리디스차지 테스트 회로를 이용하여 메모리 셀 그룹의 프리디스차지 테스트를 수행하는 과정은 프리차지 테스트와 동일한 원리로 풀 업 고장을 감지한다. 다만, 비트 라인은 최대 VDD - |Vth|까지 풀 업되기 때문에, 프리디스차지 회로의 제3 및 제4 스위칭부(410, 420)의 임계 전압이 VDD - 2|Vth|가 되도록 한다. 이를 위하여, 도 7b에 도시된 바와 같이, 풀업 전류 스위치(M13)를 NMOS로 사용하여 제3 및 제4 스위칭부의 소스에 VDD - Vth가 인가되도록 구성한다.The process of performing the predischarge test of the memory cell group using the predischarge test circuit shown in FIG. 7B detects a pull-up failure in the same principle as the precharge test. However, since the bit line is pulled up to a maximum of VDD-| Vth |, the threshold voltages of the third and fourth switching units 410 and 420 of the predischarge circuit are set to VDD-2 | Vth |. To this end, as shown in FIG. 7B, the pull-up current switch M13 is used as an NMOS so that VDD-Vth are applied to the sources of the third and fourth switching units.

도 7a에 도시된 프리차지 테스트 회로(300)의 구성을 상세히 살펴보면, 프리차지 테스트 회로(300)는 제1 스위칭부(310:M1, M2, M3), 제2 스위칭부(320:M4, M5, M6), 제1 테스트 입출력 라인 쌍(330), 프리차지부(340) 및 프리차지 테스트 인에이블부(350)로 구성된다. 제1 스위칭부(310)를 구성하는 트랜지스터의 게이트 단자는 비트라인에 연결되며, 소스/드레인 단자 중 일 단자는 제1 테스트 입출력 라인쌍 중 어느 한 라인에 연결되고, 타 단자는 프리차지 테스트 인에이블부(350)에 연결된다. 제2 스위칭부(320)를 구성하는 트랜지스터의 게이트 단자는 비트라인 바에 연결되며, 소스/드레인 단자 중 일 단자는 제1 테스트 입출력 라인쌍 중 나머지 라인에 연결되고, 타 단자는 프리차지 테스트 인에이블부(350)에 연결된다. 프리차지부(340)는 제1 테스트 입출력 라인쌍(330)의 일 단에 연결되어 제1 테스트 입출력 라인쌍을 프리차지하며, 프리차지 테스트 인에이블부(350)를 구성하는 트랜지스터의 소스/드레인 단자 중 일 단자는 접지에 연결되고, 타 단자는 제1 스위칭 부(310)와 제2 스위칭부(320)에 연결된다.Looking at the configuration of the precharge test circuit 300 shown in FIG. 7A in detail, the precharge test circuit 300 includes a first switch 310 (M1, M2, M3), the second switch 320 (M4, M5) , M6), a first test input / output line pair 330, a precharge unit 340, and a precharge test enable unit 350. The gate terminal of the transistor constituting the first switching unit 310 is connected to the bit line, one terminal of the source / drain terminals is connected to any one of the first test input / output line pairs, and the other terminal is the precharge test in It is connected to the enable unit 350. The gate terminal of the transistor constituting the second switching unit 320 is connected to the bit line bar, one terminal of the source / drain terminals is connected to the other line of the first test input / output line pair, and the other terminal is precharge test enable. It is connected to the unit 350. The precharge unit 340 is connected to one end of the first test input / output line pair 330 to precharge the first test input / output line pair and the source / drain of the transistor constituting the precharge test enable unit 350. One terminal of the terminals is connected to the ground, and the other terminal is connected to the first switching unit 310 and the second switching unit 320.

도 7b에 도시된 프리디스차지 테스트 회로(400)의 구성을 상세히 살펴보면, 프리차지 테스트 회로(400)는 제3 스위칭부(410:M7, M8, M9), 제4 스위칭부(420:M10, M11, M12), 제2 테스트 입출력 라인 쌍(430), 프리디스차지부(440) 및 프리디스차지 테스트 인에이블부(450)로 구성된다. 제3 스위칭부(410)를 구성하는 트랜지스터의 게이트 단자는 비트라인에 연결되며, 소스/드레인 단자 중 일 단자는 제2 테스트 입출력 라인쌍 중 어느 한 라인에 연결되고, 타 단자는 프리디스차지 테스트 인에이블부(450)에 연결된다. 제4 스위칭부(420)를 구성하는 트랜지스터의 게이트 단자는 비트라인 바에 연결되며, 소스/드레인 단자 중 일 단자는 제2 테스트 입출력 라인쌍 중 나머지 라인에 연결되고, 타 단자는 프리디스차지 테스트 인에이블부(450)에 연결된다. 프리디스차지부(340)는 제2 테스트 입출력 라인쌍(430)의 일 단에 연결되어 제2 테스트 입출력 라인쌍을 프리디스차지하며, 프리디스차지 테스트 인에이블부(450)를 구성하는 트랜지스터의 소스/드레인 단자 중 일 단자는 구동전원(VDD)에 연결되고, 타 단자는 제3 스위칭부(410)와 제4 스위칭부(420)에 연결된다.Referring to the configuration of the predischarge test circuit 400 shown in FIG. 7B in detail, the precharge test circuit 400 may include the third switching unit 410: M7, M8, M9, and the fourth switching unit 420: M10, M11 and M12, a second test input / output line pair 430, a predischarge unit 440, and a predischarge test enable unit 450. The gate terminal of the transistor constituting the third switching unit 410 is connected to the bit line, one terminal of the source / drain terminals is connected to one line of the second test input / output line pair, and the other terminal is a predischarge test. It is connected to the enable unit 450. The gate terminal of the transistor constituting the fourth switching unit 420 is connected to the bit line bar, one terminal of the source / drain terminals is connected to the other line of the second test input / output line pair, and the other terminal is a predischarge test in. It is connected to the enable unit 450. The predischarge unit 340 is connected to one end of the second test input / output line pair 430 to predischarge the second test input / output line pair and constitutes the predischarge test enable unit 450. One terminal of the source / drain terminal is connected to the driving power source V DD , and the other terminal is connected to the third switching unit 410 and the fourth switching unit 420.

한편, 본 실시예에서 사용된 스위칭 소자의 종류 또는 개수는 본 발명의 다양한 실시예 중 하나에 불과한 것으로, 본 발명의 기술적 사상의 범위가 이에 한정되는 것은 아니며, 다양하게 변형가능하다.On the other hand, the type or number of switching elements used in the present embodiment is only one of various embodiments of the present invention, the scope of the technical idea of the present invention is not limited thereto, and can be variously modified.

도 8a는 프리차지 테스트 결과를 나타낸 그림이며, 도 8b는 프리디스차지 테스트 결과를 나타낸 그림이다.FIG. 8A illustrates a precharge test result, and FIG. 8B illustrates a predischarge test result.

도 8a에는 프리차지 테스트를 수행한 결과, 정상인 경우와 고장 메모리 셀이 존재하는 경우의 출력 결과가 도시되며, 도 8b에는 프리디스차지 테스트를 수행한 결과, 정상인 경우와 고장 메모리 셀이 존재하는 경우의 출력 결과가 도시된다.FIG. 8A shows a result of performing a precharge test, and a result of a normal case and a failure memory cell. FIG. 8B shows a result of performing a predischarge test, a case of a normal case and a failure memory cell. The output result of is shown.

도 8 및 도 8b를 참조하면, 메모리 셀 그룹 내부의 모든 메모리 셀이 정상일 경우에는, 비트 라인 쌍의 출력 값에 상응하게 테스트 입출력 라인쌍 역시 상호 상보적인 출력을 갖는다. 그러나, 메모리 셀 그룹 내부의 임의의 메모리 셀에 풀 다운 고장 또는 풀 업고장이 존재하는 경우, 비트 라인 쌍의 출력값은 상보적이지 않은 출력을 나타내며, 테스트 입출력 라인쌍 역시 상보적이지 않은 출력을 갖게 된다.8 and 8B, when all of the memory cells in the memory cell group are normal, the test input / output line pairs also have mutually complementary outputs corresponding to the output values of the bit line pairs. However, if there is a pull-down failure or a pull-up failure in any memory cell in the memory cell group, the output value of the bit line pair represents an uncomplementary output, and the test input / output line pair also has an output that is not complementary. .

도 9는 본 발명에 따른 병렬 테스트 장치가 계층적 비트 라인과 분할된 워드 라인 메모리 구조에 적용된 예를 나타낸 그림이다. 9 is a diagram illustrating an example in which a parallel test apparatus according to the present invention is applied to a hierarchical bit line and a divided word line memory structure.

본 발명에 따른 병렬 테스트 장치는 도 9에 도시된 바와 같이, 병렬 테스트 장치가 계층적 비트 라인과 분할된 워드 라인 메모리 구조에서 각 메모리 셀 그룹 단위로 테스트를 수행할 수도 있다. In the parallel test apparatus according to the present invention, as shown in FIG. 9, the parallel test apparatus may perform a test for each memory cell group in a hierarchical bit line and a divided word line memory structure.

최근의 메모리 어레이의 구조는 글로벌 워드 라인 및 비트 라인으로 구성된 계층적으로 전체 어레이를 로컬 워드 라인과 비트 라인 블록으로 나누어 설계된다. 이러한 계층적 구성은 워드 라인/비트 라인의 캐패시턴스를 감소시켜 전력 소비 및 지연을 줄이는 장점이 있다. 본 발명에 따른 병렬 테스트 장치는 도 9에 도시된 계층적 비트 라인과 분할된 워드 라인 메모리 구조에 적용될 수 있어, 최근의 SRAM 아키텍처 디자인 트랜드에도 적용할 수 있다. The structure of modern memory arrays is designed by dividing the entire array into local word lines and bit line blocks hierarchically composed of global word lines and bit lines. This hierarchical configuration has the advantage of reducing power consumption and delay by reducing the capacitance of word lines / bit lines. The parallel test apparatus according to the present invention can be applied to the hierarchical bit line and divided word line memory structures shown in FIG. 9, and thus can be applied to the recent SRAM architecture design trend.

도 10은 본 발명에 따른 SRAM의 병렬 테스트 방법을 나타낸 흐름도이다. 10 is a flowchart illustrating a parallel test method of an SRAM according to the present invention.

도 10을 참조하여 본 발명에 따른 SRAM의 병렬 테스트 방법을 살펴보면, 우선 SRAM 어레이를 다수의 메모리 셀 그룹으로 분할하는 과정을 수행한다(S1010).Referring to FIG. 10, the SRAM parallel test method according to the present invention is first performed by dividing an SRAM array into a plurality of memory cell groups (S1010).

다수의 메모리 셀 그룹을 동시에 병렬 테스트하는 과정을 수행한다(S1020). 이때, 병렬 테스트는 각 메모리 셀 그룹의 내부 비트 라인쌍에 연결된 병렬 테스트 회로부를 이용하여 수행한다. 병렬 테스트 과정에서는 각 메모리 셀 그룹 내에 고장 메모리 셀이 존재하는지 여부만을 감지하게 된다.A process of simultaneously testing a plurality of memory cell groups in parallel is performed (S1020). In this case, the parallel test is performed using a parallel test circuit unit connected to an internal bit line pair of each memory cell group. In the parallel test process, only a faulty memory cell exists in each memory cell group is detected.

고장 메모리 셀이 존재하는 메모리 셀 그룹을 선택하는 과정을 수행한다(S1030). 고장 메모리 셀이 존재하지 않는 메모리 셀 그룹에 대해서는 추가적인 테스트를 진행하지 않으며, 고장 메모리 셀이 존재하는 메모리 셀 그룹에 대한 추가 테스트를 진행한다.A process of selecting a memory cell group in which a failed memory cell exists is performed (S1030). Additional tests are not performed on the memory cell group in which the failed memory cell does not exist, and additional tests are performed on the memory cell group in which the failed memory cell exists.

그리고 나서, 선택된 메모리 셀 그룹 내부의 모든 메모리 셀에 대하여 순차적으로 테스트하는 과정을 수행한다(S1040). 테스트 과정을 통해서 검출된 고장 메모리 셀에 대하여 리던던시 교체를 수행한다(S1050).Thereafter, a process of sequentially testing all memory cells in the selected memory cell group is performed (S1040). The redundancy replacement is performed on the failed memory cell detected through the test process (S1050).

[식 1][Equation 1]

종래 기술의 테스트 시간 = O(NC / NI/O) Prior Test Time = O (N C / N I / O )

[식 2][Equation 2]

본 발명의 테스트 시간 = O(NG/NTC) + O(NFG) Test time of the present invention = O (N G / N TC ) + O (N FG )

식 1에는 종래 기술에 따른 테스트 시간이 개시되어 있으며, 식 2에는 본 발명에 따른 테스트 시간이 개시되어 있다.Equation 1 discloses a test time according to the prior art, and Equation 2 discloses a test time according to the present invention.

식 1에서 메모리의 용량을 NC라고 하고, 메모리의 입출력 비트라인의 개수를 NI/O라고 한다면, 총 NC/NI/O의 메모리 셀 테스트를 거친 후, 리던던시 교체를 수행하게 된다. 그러나, NI/O는 NC에 비하여 매우 작기 때문에 이 과정에서 많은 테스트 시간이 소모되었다. 즉, 기존의 메모리에서 NC는 GByte정도이지만 NI/O는 8-32bit단위로, NC가 NI/O 보다 압도적으로 컸기 때문에, 종래 기술에 따르면 매우 많은 테스트 시간이 필요하였다.Said N C the capacity of the memory in the formula 1, and if as the number of input and output bit line of the memory N I / O, is then subjected to a memory cell test for a total of N C / N I / O, perform a redundancy replacement. However, since N I / O is very small compared to N C , much test time was consumed in this process. That is, in the conventional memory, N C is about GByte, but N I / O is in 8-32bit units. Since N C is overwhelmingly larger than N I / O , a lot of test time is required according to the prior art.

식 2에서, NG는 전체 메모리 내에서 메모리 그룹의 개수이며, NTC는 다수의 병렬 테스트 회로를 통해 동시에 병렬 테스트 가능한 연산의 총 개수, NFG는 고장(faulty)으로 판정된 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀 숫자이다.In Equation 2, N G is the number of memory groups in the total memory, N TC is the total number of operations that can be parallel tested simultaneously through multiple parallel test circuits, and N FG is in the memory cell group determined to be faulty. The memory cell number.

도 10에 도시된 본 발명에 따른 병렬 테스트 방법에 따르면, 다수의 병렬 테스트 회로부를 통해 NG/NTC회의 병렬 테스트를 수행한 후, 고장이 감지된 메모리 셀 그룹에 대해서만 NFG 회의 개별적인 메모리 셀 테스트만 수행하면 된다. 즉, 병렬 테스트는 종래 기술에 따른 개별적인 메모리 셀 테스트 시 소모되는 NC/NI/O에 해당하는 시간을 NFG 횟수만 테스트함으로써, 테스트 시간을 현저하게 줄일 수 있게 된다.According to the parallel test method according to the present invention shown in FIG. 10, after performing N G / N TC conference parallel tests through a plurality of parallel test circuit units, N FG conference individual memory cells only for the memory cell group in which a failure is detected. All you need to do is test it. That is, the parallel test can significantly reduce the test time by testing only N FG times the time corresponding to N C / N I / O consumed when testing individual memory cells according to the prior art.

도 11은 도 10에 도시된 과정 중 다수의 메모리 셀 그룹을 동시에 병렬 테스트하는 과정을 나타낸 흐름도이다.FIG. 11 is a flowchart illustrating a process of simultaneously testing a plurality of memory cell groups in parallel among the processes illustrated in FIG. 10.

도 11을 참조하면, 다수의 메모리 셀 그룹을 동시에 병렬 테스트하는 과정은 각 메모리 셀 그룹 내의 비트라인 쌍을 프리차지 또는 프리디스차지한 후, 각 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀들의 풀업 또는 풀다운 구동 능력을 감지함으로써 수행한다. 이러한 메모리 셀들의 풀업 또는 풀다운 구동 능력의 감지는 아래의 과정을 통하여 이루어진다.Referring to FIG. 11, a process of parallel testing a plurality of memory cell groups simultaneously detects pull-up or pull-down driving capability of memory cells in each memory cell group after precharging or predischarging a pair of bit lines in each memory cell group. By doing so. The detection of the pull-up or pull-down driving capability of these memory cells is performed through the following process.

우선, 각 메모리 셀 그룹에 임의의 테스트 패턴을 기록하는 과정을 수행한다(S1021). 이때, 테스트 패턴은 다양하게 변형될 수 있으며, 다양한 테스트 패턴은 이하의 실시예들을 통하여 더욱 상세히 상술한다.First, a process of writing an arbitrary test pattern in each memory cell group is performed (S1021). In this case, the test pattern may be variously modified, and various test patterns will be described in more detail with reference to the following embodiments.

그 다음에, 각 메모리 셀 그룹 내의 비트라인 쌍을 프리차지 또는 프리디스차지 하는 과정을 수행한다(S1022). 메모리 셀들의 풀 다운 구동 능력을 감지하는 경우에는 비트 라인 쌍을 프리차지하는 과정을 수행하며, 메모리 셀들의 풀 업 구동 능력을 감지하는 경우에는 비트 라인 쌍을 프리디스차지하는 과정을 수행한다. 프리차지 테스트를 수행한 다음에 프리디스차지 테스트를 수행할 수도 있으며, 그 반대로 프리디스차지 테스트를 수행한 다음에 프리차지 테스트를 수행할 수도 있다.Next, a process of precharging or predischarging a pair of bit lines in each memory cell group is performed (S1022). When sensing the pull-down driving capability of the memory cells, a process of precharging the bit line pair is performed, and when detecting the pull-up driving capability of the memory cells, the process of predischarging the bit line pair is performed. The predischarge test may be performed after the precharge test, or vice versa, and the precharge test may be performed after the predischarge test.

소정 시간 경과한 다음에 테스트 패턴을 판독하기 위하여, 각 메모리 셀 그룹 내의 테스트 패턴에 따른 메모리 셀들을 선택한다(S1023). 그리고 나서, 비트 라인 쌍의 출력 값에 상응하는 데이터를 출력하는 테스트 입출력 라인 쌍의 출력을 감지하는 과정을 수행한다(S1024).In order to read the test pattern after a predetermined time elapses, memory cells according to the test pattern in each memory cell group are selected (S1023). Thereafter, a process of detecting an output of a test input / output line pair for outputting data corresponding to an output value of the bit line pair is performed (S1024).

테스트 입출력 라인 쌍의 출력값을 통하여, 각 메모리 셀 그룹 내부에 고장 메모리 셀의 존재 여부를 판단하는 과정을 수행한다(S1025). 이때, 고장 메모리 셀의 존재 여부는 다음과 같이 판단한다. 만약, 테스트 입출력 라인 쌍의 출력이 상보적 출력인 경우, 메모리 셀 그룹 내에 고장 메모리 셀이 존재하지 않은 것으로 판단하며, 테스트 입출력 라인 쌍의 출력이 상보적 출력이 아닌 경우, 메모리 셀 그룹 내에 고장 메모리 셀이 존재하는 것으로 판단한다.Through the output values of the test input / output line pairs, a process of determining whether a failed memory cell exists in each memory cell group is performed (S1025). At this time, it is determined whether a faulty memory cell exists as follows. If the output of the test input / output line pair is a complementary output, it is determined that a faulty memory cell does not exist in the memory cell group. If the output of the test input / output line pair is not a complementary output, the fault memory is included in the memory cell group. It is determined that the cell exists.

도 12는 본 발명의 제1 실시예에 따른 테스트 패턴을 이용하여 병렬 테스트하는 과정 중 프리차지 테스트하는 과정을 나타낸 흐름도이다. 도 12에 도시된 본 발명의 제1 실시예는 각 메모리 셀 그룹 내의 모든 메모리 셀에 동일한 데이터를 적용하는 테스트 패턴을 이용하는 실시예이다. 프리디스차지 테스트 과정은 프리차지 테스트하는 과정과 원리가 동일하므로, 이하에서는 설명을 생략한다.12 is a flowchart illustrating a precharge test process in a parallel test process using a test pattern according to a first embodiment of the present invention. The first embodiment of the present invention shown in FIG. 12 is an embodiment using a test pattern for applying the same data to all the memory cells in each memory cell group. Since the predischarge test process has the same principle as the precharge test process, a description thereof will be omitted below.

도 12를 참조하면, 우선 각 메모리 셀 그룹에 동일한 데이터를 기록하는 과 정을 수행한다(S1210). 그 다음에, 각 메모리 셀 그룹 내의 비트 라인 쌍을 VDD로 프리차지 하는 과정을 수행한다(S1220).Referring to FIG. 12, first, a process of writing the same data to each memory cell group is performed (S1210). Next, a process of precharging a pair of bit lines in each memory cell group to V DD is performed (S1220).

테스트 패턴을 판독하기 위하여, 각 메모리 셀 그룹 내의 모든 메모리 셀들을 선택(S1230)한 후, 비트 라인 쌍의 출력 값에 상응하는 데이터를 출력하는 테스트 입출력 라인 쌍의 출력을 감지하는 과정을 수행한다(S1240).In order to read the test pattern, all memory cells in each memory cell group are selected (S1230), and then a process of sensing an output of a test input / output line pair for outputting data corresponding to an output value of a bit line pair is performed ( S1240).

그리고 나서, 각 메모리 셀 그룹 내부에 고장 메모리 셀의 존재 여부를 판단한다(S1250).Then, it is determined whether a failed memory cell exists in each memory cell group (S1250).

한편, 본 실시예의 경우와 같이 병렬 테스트 수행 시, 테스트 패턴이 일정할 경우에는 이웃 감응 고장(Neighborhood Sensitive Fault) 등과 같은 고장은 감지하기 어려울 수도 있다. 이를 극복하기 위하여, 이웃 메모리 셀간에 다른 데이터를 입력하고 테스트를 실행하는 방안은 이하의 실시예에서 살펴본다. On the other hand, when performing a parallel test as in the case of the present embodiment, when a test pattern is constant, it may be difficult to detect a fault, such as a neighboring sensitivity fault. To overcome this problem, a method of inputting different data and executing a test between neighboring memory cells will be described in the following embodiments.

도 13a 및 도 13b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 테스트 패턴을 이용하여 병렬 테스트하는 과정을 나타낸 도이다. 본 발명의 제2 실시예에 따른 병렬 테스트 과정은 도 11에 도시된 다수의 메모리 셀 그룹을 동시에 병렬 테스트하는 과정과 전체적으로 유사하며, 다만 테스트 패턴을 기록하는 단계와, 메모리 셀들을 선택하고, 테스트 입출력 라인 쌍의 출력을 감지하는 단계만이 상이한 바, 이하에서는 상이한 과정을 위주로 상술한다. 13A and 13B illustrate a process of performing parallel test using a test pattern according to a second embodiment of the present invention. The parallel test process according to the second embodiment of the present invention is generally similar to the process of parallel testing a plurality of memory cell groups shown in FIG. 11, except that writing a test pattern, selecting memory cells, and testing Only the step of sensing the output of the input and output line pairs are different, and hereinafter, the different processes will be described in detail.

도 13a에는 테스트 패턴을 기록하는 과정이 도시되며, 도 13b에는 테스트 수 행하는 과정이 도시된다.FIG. 13A illustrates a process of recording a test pattern, and FIG. 13B illustrates a process of performing a test.

우선 ①을 활성화시켜서 1을 워드 라인에 기록하고, 그 다음 주기에 ②를 활성화하여 0을 워드 라인에 기록하여 테스트 패턴을 완성시킨다. 그리고 나서, 테스트 수행 시에는 모든 컬럼 패스 트랜지스터를 작동시키고, 워드 라인 드라이버를 Rowm, Rowm+1, Rowm+2, Rowm+3 순서대로 순차적으로 작동시키면서 테스트를 수행한다. First, ① is activated to write 1 to the word line, and then ② is activated to write 0 to the word line to complete the test pattern. Then, when the test is performed, all column pass transistors are operated, and the word line driver is sequentially operated in order of Row m , Row m + 1 , Row m + 2 , and Row m + 3 .

즉, 테스트 패턴을 기록하는 과정에서는 각 메모리 셀 그룹의 짝수 번째 워드 라인에 연결된 메모리 셀에 제1 데이터를 기록하고(주기 1), 그 다음 번 주기에는 각 메모리 셀 그룹의 홀수 번째 워드 라인에 연결된 메모리 셀에 제2 데이터를 기록한다(주기 2). 한편, 주기 1과 주기 2의 순서는 바뀌어도 무방하다.That is, in the process of writing the test pattern, the first data is written to the memory cells connected to the even word lines of each memory cell group (cycle 1), and the next cycle is connected to the odd word lines of each memory cell group. The second data is written to the memory cell (cycle 2). In addition, the order of period 1 and period 2 may be changed.

그리고 나서, 테스트 패턴을 판독하기 위하여, 각 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀들을 선택하는 과정에서는 각 메모리 셀 그룹 내의 모든 비트라인 쌍을 선택하고, 각 메모리 셀 그룹 내의 워드 라인을 순차적으로 선택하며, 선택된 순서에 따라 테스트 입출력 라인 쌍의 출력을 감지하게 된다. Then, in order to read the test pattern, in the process of selecting memory cells in each memory cell group, all bit line pairs in each memory cell group are selected, word lines in each memory cell group are sequentially selected, and the selected order is selected. As a result, the output of the test input / output line pair is sensed.

도 14a 및 도 14b는 본 발명의 제3 실시예에 따른 테스트 패턴을 이용하여 병렬 테스트하는 과정을 나타낸 도이다. 도 14a에는 테스트 패턴을 기록하는 과정이 도시되며, 도 14b에는 테스트 수행하는 과정이 도시된다.14A and 14B illustrate a process of performing a parallel test using a test pattern according to a third exemplary embodiment of the present invention. 14A illustrates a process of recording a test pattern, and FIG. 14B illustrates a process of performing a test.

워드 라인 드라이버는 항상 활성화시키고, 컬럼 패스 트랜지스터를 ①과 ②로 나누어서 순차적으로 활성화시켜서 테스트 패턴을 완성시킨다. 그리고 나서, 테 스트 수행 시에는 워드 라인 드라이버는 순차적으로 구동시키고, 컬럼 패스 트랜지스터는 짝수 번째와 홀수 번째로 구분하여, 처음 4 주기 동안은 Coln, Coln+2와 같은 짝수 번째 컬럼 패스 트랜지스터만을 구동하여 테스트를 수행하고, 그 다음 4 주기 동안은 Coln+1, Coln+3과 같은 홀수 번째 컬럼 패스 트랜지스터만을 구동하여 테스트를 수행한다.The word line driver is always activated, and the column pass transistors are divided into 1 and 2 to be sequentially activated to complete the test pattern. Then, when performing the test, the word line driver is sequentially driven, and the column pass transistors are divided into even and odd numbers, and only the even column pass transistors such as Col n and Col n + 2 are used during the first four periods. The test is performed by driving, and the test is performed by driving only odd-numbered column pass transistors such as Col n + 1 and Col n + 3 for the next four cycles.

즉, 테스트 패턴을 기록하는 과정에서는 각 메모리 셀 그룹의 짝수 번째 비트 라인쌍에 연결된 메모리 셀에 제1 데이터를 기록하고(주기 1), 그 다음 주기에는 각 메모리 셀 그룹의 홀수 번째 비트 라인쌍에 연결된 메모리 셀에 제2 데이터를 기록한다(주기 2). 한편, 주기 1과 주기 2의 순서는 바뀌어도 무방하며, 기록 순서가 바뀌면 이하의 테스트 패턴 판독 순서도 그에 상응하게 변경된다.That is, in the process of writing the test pattern, the first data is written to the memory cells connected to the even-numbered bit line pairs of each memory cell group (period 1), and the next period is written to the odd-numbered bit line pairs of each memory cell group. The second data is written to the connected memory cell (cycle 2). On the other hand, the order of the cycle 1 and the cycle 2 may be changed. When the recording order is changed, the following test pattern reading order is also changed accordingly.

그리고 나서, 테스트 패턴을 판독하기 위하여, 각 메모리 셀 그룹 내의 제1 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 과정에서는 각 메모리 셀 그룹 내의 워드 라인은 순차적으로 선택하고, 각 메모리 셀 그룹 내의 비트라인 쌍은 짝수 번째 비트라인 쌍만을 선택하여 테스트를 수행한다. 그리고 각 메모리 셀 그룹 내의 제2 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 과정에서는 각 메모리 셀 그룹 내의 워드 라인은 순차적으로 선택하고, 각 메모리 셀 그룹 내의 비트라인 쌍은 홀수 번째 비트라인쌍만을 선택하여 테스트를 수행한다.Then, in order to read the test pattern, in the process of selecting the memory cells in which the first data in each memory cell group is written, the word lines in each memory cell group are sequentially selected, and the bit line pair in each memory cell group is The test is performed by selecting only even-numbered bit line pairs. In the process of selecting the memory cells in which the second data in each memory cell group is written, the word lines in each memory cell group are sequentially selected, and the bit line pair in each memory cell group is selected by testing only the odd bit line pair. Perform

도 15a 및 도 15b는 본 발명의 제4 실시예에 따른 테스트 패턴을 이용하여 병렬 테스트하는 과정을 나타낸 도이다. 15A and 15B illustrate a process of performing a parallel test using a test pattern according to a fourth exemplary embodiment of the present invention.

본 발명의 제4 실시예에 따른 테스트 패턴의 기록 시에는 3회의 주기가 필요하다. 우선, 전체 메모리 셀에 0을 기록하고(①), 짝수 번째 워드 라인 드라이버와 짝수 번째 컬럼 패스 트랜지스터를 활성화시켜 1을 기록한 후(②), 홀수 번째 워드 라인 드라이버와 홀수 번째 컬럼 패스 트랜지스터를 활성화시켜 1을 기록(③)하여, 테스트 패턴을 완성시킨다.Three cycles are required when recording the test pattern according to the fourth embodiment of the present invention. First, write 0 in the entire memory cell (①), activate the even-numbered word line driver and the even-numbered column pass transistor, write 1 (②), and activate the odd-numbered word line driver and the odd-numbered column pass transistor. Record 1 (③) to complete the test pattern.

그리고 나서, 테스트 수행 시에는 워드 라인 드라이버는 순차적으로 구동시키고, 컬럼 패스 트랜지스터는 짝수 번째와 홀수 번째로 구분하여, 처음 4 주기 동안은 Coln, Coln+2와 같은 짝수 번째 컬럼 패스 트랜지스터와 Coln+1, Coln+3와 같은 홀수 번째 컬럼 패스 트랜지스터를 교대로 구동하여 테스트를 수행한다. 그리고, 그 다음 4 주기 동안은 워드 라인 드라이버는 순차적으로 구동시키고, 이전 4 주기 동안과 반대의 순서로 컬럼 패스 트랜지스터를 교대로 구동하여 테스트를 수행한다. Then, when the test is performed, the word line driver is sequentially driven, and the column pass transistors are divided into even and odd numbers. During the first four periods, even-numbered column pass transistors such as Col n and Col n + 2 and Col are The test is performed by alternately driving odd-numbered column pass transistors such as n + 1 and Col n + 3 . The word line driver is sequentially driven during the next four cycles, and the test is performed by alternately driving the column pass transistors in the reverse order of the previous four cycles.

즉, 테스트 패턴을 기록하는 과정에서는 각 메모리 셀 그룹 내의 모든 메모리 셀에 제2 데이터를 입력하고(주기 1), 각 메모리 셀 그룹의 짝수 번째 비트 라인 쌍과 짝수 번째 워드 라인의 교차 영역에 위치한 메모리 셀에 제1 데이터를 기록(주기 2)한 다음에, 각 메모리 셀 그룹의 홀수 번째 비트 라인 쌍과 홀수 번째 워드 라인의 교차 영역에 위치한 메모리 셀에 제1 데이터를 기록한다(주기 3). 한편, 주기 2와 주기 3의 순서는 바뀌어도 무방하며, 기록 순서가 바뀌면 이하의 테 스트 패턴 판독 순서도 그에 상응하게 변경된다. 그리고 나서, 테스트 패턴을 판독하기 위하여, 각 메모리 셀 그룹 내의 제1 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 과정에서는 각 메모리 셀 그룹 내의 워드 라인은 순차적으로 선택하고, 각 메모리 셀 그룹 내의 비트라인 쌍은 짝수 번째 및 홀수 번째의 순서에 따라 교대로 선택하여 테스트를 수행한다. 그리고, 각 메모리 셀 그룹 내의 제2 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 과정에서는 각 메모리 셀 그룹 내의 워드 라인은 순차적으로 선택하고, 각 메모리 셀 그룹 내의 비트라인 쌍은 이전 주기와는 반대로 홀수 번째 및 짝수 번째의 순서에 따라 교대로 선택하여 테스트를 수행한다.That is, in the process of writing the test pattern, the second data is input to all memory cells in each memory cell group (period 1), and the memory is located at the intersection of even-numbered bit line pairs and even-numbered word lines of each memory cell group. After writing the first data into the cell (period 2), the first data is written into the memory cell located at the intersection of the odd-numbered bit line pair and the odd-numbered word line of each memory cell group (period 3). On the other hand, the order of period 2 and period 3 may be changed. When the recording order is changed, the following test pattern reading order is also changed accordingly. Then, in order to read the test pattern, in the process of selecting the memory cells in which the first data in each memory cell group is written, the word lines in each memory cell group are sequentially selected, and the bit line pair in each memory cell group is The tests are performed by alternately selecting the even and odd numbers in order. In the process of selecting memory cells in which second data in each memory cell group is written, word lines in each memory cell group are sequentially selected, and bit line pairs in each memory cell group are odd-numbered and The tests are performed by alternately selecting them in the even order.

도 13a 내지 도 15b에 도시된 테스트 패턴 기록은 이하의 표 1과 정리할 수 있으며, 테스트 판독 주기는 이하의 표 2와 같이 정리할 수 있다.The test pattern records shown in Figs. 13A to 15B can be summarized in Table 1 below, and the test read period can be summarized in Table 2 below.

구 분division 테스트 패턴 기록(주기 1)Test pattern recording (cycle 1) 테스트 패턴 기록 (주기 2)Test pattern recording (cycle 2) 테스트 패턴 기록 (주기 3)Test pattern record (cycle 3) 제2실시예Second embodiment Rowm, Rowm+2, All colsRow m , Row m + 2 , All cols Rowm+1, Rowm+3, All colsRow m + 1 , Row m + 3 , All cols N/AN / A 제3실시예Third embodiment All rows, Coln, Coln+2 All rows, Coln, Col n + 2 All rows, Coln+1, Coln+3 All rows, Col n + 1 , Coln +3 N/AN / A 제4실시예Fourth embodiment All rows, All colsAll rows, all cols Rowm, Rowm+2, Coln, Coln+2 Row m , Row m + 2 , Coln, Col n + 2 Rowm+1, Rowm+3, Coln+1, Coln+3 Row m + 1 , Row m + 3 , Col n + 1 , Col n + 3

구 분division 테스트 (주기 1)Test (cycle 1) 테스트 (주기 2)Test (cycle 2) 테스트 (주기 3)Test (cycle 3) 테스트 (주기 4)Test (cycle 4) 제2실시예Second embodiment Rowm All colsRow m all cols Rowm+1, All colsRow m + 1 , all cols Rowm+2, All colsRow m + 2 , all cols Rowm+3, All colsRow m + 3 , all cols 제3실시예Third embodiment Rowm, Coln, Coln+2 Row m , Col n , Col n + 2 Rowm+1, Coln, Coln+2 Row m + 1 , Col n , Col n + 2 Rowm+2, Coln, Coln+2 Row m + 2 , Col n , Coln +2 Rowm+3, Coln, Coln+2 Row m + 3 , Col n , Col n + 2 제4실시예Fourth embodiment Rowm, Coln, Coln+2 Row m , Col n , Col n + 2 Rowm+1, Coln+1, Coln+3 Row m + 1 , Col n + 1 , Col n + 3 Rowm+2, Coln, Coln+2 Row m + 2 , Col n , Coln +2 Rowm+1, Coln+1 Coln+3 Row m + 1 , Col n + 1 Col n + 3 구 분division 테스트 (주기 5)Test (cycle 5) 테스트 (주기 6)Test (cycle 6) 테스트 (주기 7)Test (cycle 7) 테스트 (주기 8)Test (cycle 8) 제2실시예Second embodiment N/AN / A N/AN / A N/AN / A N/AN / A 제3실시예Third embodiment Rowm, Coln+1, Coln+3 Row m , Col n + 1 , Col n + 3 Rowm+1, Coln+1, Coln+3 Row m + 1 , Col n + 1 , Col n + 3 Rowm+2, Coln+1, Coln+3 Row m + 2 , Col n + 1 , Col n + 3 Rowm+3, Coln+1, Coln+3 Row m + 3 , Col n + 1 , Col n + 3 제4실시예Fourth embodiment Rowm, Coln+1, Coln+3 Row m , Col n + 1 , Col n + 3 Rowm+1, Coln, Coln+2 Row m + 1 , Col n , Col n + 2 Rowm+2 Coln+1 Coln+3 Row m + 2 Col n + 1 Col n + 3 Rowm+3, Coln, Coln+2 Row m + 3 , Col n , Col n + 2

도 16은 본 발명에 따른 병렬 테스트의 성능을 비교하기 위한 테스트 시간 비율을 시뮬레이션 한 그림이다.16 is a diagram simulating a test time ratio for comparing the performance of the parallel test according to the present invention.

병렬 테스트의 성능을 비교하기 위하여, 테스트 시간 비율을 이하의 식 3과 같이 정의하였다. 테스트 시간 비율은 각 메모리 그룹에 최소 하나 이상의 고장 메모리 셀이 존재한다고 가정하고, 병렬 테스트 시의 수행시간과 개별적인 메모리 셀 테스트 시간을 비교한 것이다. In order to compare the performance of the parallel test, the test time ratio was defined as in Equation 3 below. The test time ratio assumes that at least one faulty memory cell exists in each memory group, and compares the execution time in parallel testing with the individual memory cell test time.

[식 3][Equation 3]

Figure 112008074349526-pat00001
Figure 112008074349526-pat00001

이때, NC 는 메모리의 용량이며, TICT는 개별적인 메모리 셀 테스트 시간이고, NFG는 고장(faulty)으로 판정된 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀 숫자이다.Where N C is the capacity of the memory, T ICT is the individual memory cell test time, and N FG is the number of memory cells in the memory cell group determined to be faulty.

식 3을 바탕으로 메모리 그룹 개수와 메모리 용량에 따른 테스트 시간 비율이 도 16에 도시된다. Based on Equation 3, a test time ratio according to the number of memory groups and the memory capacity is shown in FIG. 16.

도 16을 참조하면, 메모리 그룹 개수가 16이고 메모리 용량이 16Kbyte인 경우, 기존의 경우보다 약 1/15 정도의 테스트 타임이 필요하며, 메모리 그룹 개수가 1024개이고 메모리 용량이 16Mb일 경우 약 1000 배까지 효율적임을 알 수 있다. Referring to FIG. 16, when the number of memory groups is 16 and the memory capacity is 16 Kbytes, a test time of about 1/15 is required, and when the number of memory groups is 1024 and the memory capacity is about 16 times, about 1000 times. It can be seen that it is efficient.

따라서, 메모리 용량 (NC)이 크고, 메모리 그룹 개수가 많을수록 병렬 테스트의 효과가 높다는 것을 알 수 있다. Accordingly, it can be seen that the larger the memory capacity N C and the larger the number of memory groups, the higher the effect of the parallel test.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 SRAM의 병렬 테스트 장치 및 방법의 예시적인 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이, 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.What has been described above is merely an exemplary embodiment of the parallel test apparatus and method of the SRAM according to the present invention, the present invention is not limited to the above-described embodiment, as claimed in the claims below, Without departing from the gist of the present invention, one of ordinary skill in the art will have the technical spirit of the present invention to the extent that various modifications can be made.

도 1은 종래 기술에 따른 메모리 테스트 순서를 나타낸 흐름도이다.1 is a flowchart illustrating a memory test sequence according to the prior art.

도 2는 본 발명에 따른 SRAM의 병렬 테스트 장치의 개략도이며, 도 3은 본 발명에 따른 SRAM의 병렬 테스트 장치의 기능 블록도이다.2 is a schematic diagram of an SRAM parallel test apparatus according to the present invention, and FIG. 3 is a functional block diagram of an SRAM parallel test apparatus according to the present invention.

도 4는 6T SRAM에서 발생 가능한 고장 부위를 나타낸 도이다.4 is a diagram illustrating a possible failure part in 6T SRAM.

도 5는 프리차지 테스트와 프리디스차지 테스트에 의해서 감지 가능한 고장 부위를 정리한 표이다.FIG. 5 is a table summarizing the trouble spots detectable by the precharge test and the predischarge test.

도 6은 SRAM의 병렬 테스트 장치의 개략적인 회로도이다.6 is a schematic circuit diagram of a parallel test apparatus of SRAM.

도 7a는 SRAM의 병렬 테스트 장치의 프리차지 테스트 회로도이며, 도 7b는 SRAM의 병렬 테스트 장치의 프리디스차지 테스트 회로도이다.FIG. 7A is a precharge test circuit diagram of an SRAM parallel test apparatus, and FIG. 7B is a predischarge test circuit diagram of an SRAM parallel test apparatus.

도 8a는 프리차지 테스트 결과를 나타낸 그림이며, 도 8b는 프리디스차지 테스트 결과를 나타낸 그림이다.FIG. 8A illustrates a precharge test result, and FIG. 8B illustrates a predischarge test result.

도 9는 본 발명에 따른 병렬 테스트 장치가 계층적 비트 라인과 분할된 워드 라인 메모리 구조에 적용된 예를 나타낸 그림이다.9 is a diagram illustrating an example in which a parallel test apparatus according to the present invention is applied to a hierarchical bit line and a divided word line memory structure.

도 10은 본 발명에 따른 SRAM의 병렬 테스트 방법을 나타낸 흐름도이다.10 is a flowchart illustrating a parallel test method of an SRAM according to the present invention.

도 11은 도 10에 도시된 과정 중 다수의 메모리 셀 그룹을 동시에 병렬 테스트하는 과정을 나타낸 흐름도이다.FIG. 11 is a flowchart illustrating a process of simultaneously testing a plurality of memory cell groups in parallel among the processes illustrated in FIG. 10.

도 12는 본 발명의 제1 실시예에 따른 테스트 패턴을 이용하여 병렬 테스트하는 과정 중 프리차지 테스트하는 과정을 나타낸 흐름도이다. 12 is a flowchart illustrating a precharge test process in a parallel test process using a test pattern according to a first embodiment of the present invention.

도 13a 및 도 13b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 테스트 패턴을 이용하여 병렬 테스트하는 과정을 나타낸 도이다.13A and 13B illustrate a process of performing parallel test using a test pattern according to a second embodiment of the present invention.

도 14a 및 도 14b는 본 발명의 제3 실시예에 따른 테스트 패턴을 이용하여 병렬 테스트하는 과정을 나타낸 도이다.14A and 14B illustrate a process of performing a parallel test using a test pattern according to a third exemplary embodiment of the present invention.

도 15a 및 도 15b는 본 발명의 제4 실시예에 따른 테스트 패턴을 이용하여 병렬 테스트하는 과정을 나타낸 도이다.15A and 15B illustrate a process of performing a parallel test using a test pattern according to a fourth exemplary embodiment of the present invention.

도 16은 본 발명에 따른 병렬 테스트의 성능을 비교하기 위한 테스트 시간 비율을 시뮬레이션 한 그림이다.16 is a diagram simulating a test time ratio for comparing the performance of the parallel test according to the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100 : 프리차지 회로100: precharge circuit

200 : 프리디스차지 회로200: predischarge circuit

300 : 프리차지 테스트 회로300: precharge test circuit

400 : 프리디스차지 테스트 회로400: predischarge test circuit

500 : 컬럼 패스 트랜지스터500: Column Pass Transistor

Claims (17)

다수의 메모리 셀 그룹으로 구분된 SRAM의 병렬 테스트 장치로서,A parallel test device of SRAM divided into a group of memory cells, 상기 다수의 메모리 셀 그룹에 연결되어, 상기 각 메모리 셀 그룹 내에 고장 메모리 셀의 존재 여부를 동시에 테스트하는 다수의 병렬 테스트 회로부를 포함하며, A plurality of parallel test circuits connected to the plurality of memory cell groups and simultaneously testing whether a failed memory cell exists in each memory cell group, 상기 각 병렬 테스트 회로부는 상기 각 메모리 셀 그룹의 비트 라인쌍에 연결되며, Each of the parallel test circuits is connected to a pair of bit lines of each group of memory cells, 상기 각 병렬 테스트 회로부는,Each parallel test circuit unit, 상기 비트 라인쌍에 연결되어, 상기 비트 라인 쌍을 프리차지(precharge)하기 위한 프리차지 회로;A precharge circuit coupled to the bit line pair for precharging the bit line pair; 상기 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀들의 풀 다운 고장(pull down fault)을 감지하기 위한 프리차지 테스트 회로;Precharge test circuitry for detecting a pull down fault of memory cells in the memory cell group; 상기 비트 라인쌍에 연결되어, 상기 비트 라인 쌍을 프리디스차지(predischarge)하기 위한 프리디스차지 회로; 및A predischarge circuit connected to the bit line pair for predischarge the bit line pair; And 상기 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀들의 풀 업 고장(pull down fault)을 감지하기 위한 프리디스차지 테스트 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 SRAM의 병렬 테스트 장치.And a predischarge test circuit for detecting a pull down fault of memory cells in the memory cell group. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 프리차지 테스트 회로는,The precharge test circuit, 상기 비트 라인쌍에 각각 연결되어, 상기 비트 라인 쌍의 출력에 따라 구동되는 제1 스위칭부 및 제2 스위칭부; 및 상기 제1 스위칭부 및 제2 스위칭부에 각각 연결되어, 상기 비트 라인 쌍의 출력 값에 상응하는 데이터를 출력하는 제1 테스트 입출력 라인 쌍을 포함하며,A first switching unit and a second switching unit respectively connected to the bit line pair and driven according to an output of the bit line pair; And a first test input / output line pair connected to the first switching unit and the second switching unit, respectively, to output data corresponding to the output values of the bit line pairs. 상기 프리디스차지 테스트 회로는,The predischarge test circuit, 상기 비트 라인쌍에 각각 연결되어, 상기 비트 라인 쌍의 출력에 따라 구동되는 제3 스위칭부 및 제4 스위칭부; 및 상기 제3 스위칭부 및 제4 스위칭부에 각각 연결되어, 상기 비트 라인 쌍의 출력 값에 상응하는 데이터를 출력하는 제2 테스트 입출력 라인 쌍을 포함하는 것을 특징으로 하는 SRAM의 병렬 테스트 장치.A third switching unit and a fourth switching unit respectively connected to the bit line pair and driven according to an output of the bit line pair; And a second test input / output line pair connected to the third switching unit and the fourth switching unit, respectively, and outputting data corresponding to the output values of the bit line pairs. 제3항에 있어서, The method of claim 3, 상기 메모리 셀 그룹 내의 모든 메모리 셀들에서 풀 다운 고장이 존재하지 않으면, 상기 제1 테스트 입출력 라인 쌍은 상보적인 출력값을 가지며, If there is no pull down failure in all memory cells in the memory cell group, the first test input / output line pair has a complementary output value, 상기 메모리 셀 그룹 내의 모든 메모리 셀들에서 풀 업 고장이 존재하지 않으면, 상기 제2 테스트 입출력 라인 쌍은 상보적인 출력값을 갖는 것을 특징으로 하는 SRAM의 병렬 테스트 장치.And if there is no pull-up failure in all memory cells in the memory cell group, the second test input / output line pair has a complementary output value. 제3항에 있어서, 상기 프리차지 테스트 회로는,The method of claim 3, wherein the precharge test circuit, 상기 제1 테스트 입출력 라인 쌍을 프리차지하기 위한 프리차지부 및 상기 프리차지 테스트 회로의 동작을 개시하기 위한 프리차지 테스트 인에이블부를 더 포함하며,A precharge unit for precharging the first test input / output line pairs and a precharge test enable unit for initiating an operation of the precharge test circuit; 상기 제1 스위칭부를 구성하는 스위칭 소자의 게이트 단자는 비트라인에 연결되며, 소스/드레인 단자 중 일 단자는 상기 제1 테스트 입출력 라인쌍 중 어느 한 라인에 연결되고, 타 단자는 상기 프리차지 테스트 인에이블부에 연결되며, A gate terminal of the switching element constituting the first switching unit is connected to a bit line, one terminal of a source / drain terminal is connected to any one of the first test input / output line pairs, and the other terminal is the precharge test in Connected to the enable portion, 상기 제2 스위칭부를 구성하는 스위칭 소자의 게이트 단자는 비트라인 바에 연결되며, 소스/드레인 단자 중 일 단자는 상기 제1 테스트 입출력 라인쌍 중 나머지 라인에 연결되고, 타 단자는 상기 프리차지 테스트 인에이블부에 연결되며, A gate terminal of the switching element constituting the second switching unit is connected to a bit line bar, one terminal of a source / drain terminal is connected to the other line of the first test input / output line pair, and the other terminal is the precharge test enable. Connected to wealth, 상기 프리차지부는 상기 제1 테스트 입출력 라인쌍의 일 단에 연결되어 상기 제1 테스트 입출력 라인쌍을 프리차지하며, The precharge unit is connected to one end of the first test input / output line pair to precharge the first test input / output line pair, 상기 프리차지 테스트 인에이블부를 구성하는 스위칭 소자의 소스/드레인 단자 중 일 단자는 접지에 연결되고, 타 단자는 상기 제1 스위칭부와 상기 제2 스위칭부에 연결되는 것을 특징으로 하는 SRAM의 병렬 테스트 장치.Parallel test of the SRAM, characterized in that one terminal of the source / drain terminals of the switching element constituting the precharge test enable unit is connected to the ground, and the other terminal is connected to the first switching unit and the second switching unit. Device. 제3항에 있어서, 상기 프리디스차지 테스트 회로는,The method of claim 3, wherein the predischarge test circuit, 상기 제2 테스트 입출력 라인 쌍을 프리디스차지하기 위한 프리디스차지부 및 상기 프리디스차지 테스트 회로의 동작을 개시하기 위한 프리디스차지 테스트 인에이블부를 더 포함하며,A predischarge unit for predischarging the second test input / output line pair and a predischarge test enable unit for initiating an operation of the predischarge test circuit; 상기 제3 스위칭부를 구성하는 스위칭 소자의 게이트 단자는 비트라인에 연결되며, 소스/드레인 단자 중 일 단자는 상기 제2 테스트 입출력 라인쌍 중 어느 한 라인에 연결되고, 타 단자는 상기 프리디스차지 테스트 인에이블부에 연결되며, A gate terminal of the switching element constituting the third switching unit is connected to a bit line, one terminal of a source / drain terminal is connected to any one of the second test input / output line pairs, and the other terminal is the predischarge test. Connected to the enable section, 상기 제4 스위칭부를 구성하는 스위칭 소자의 게이트 단자는 비트라인 바에 연결되며, 소스/드레인 단자 중 일 단자는 상기 제2 테스트 입출력 라인쌍 중 나머지 라인에 연결되고, 타 단자는 상기 프리디스차지 테스트 인에이블부에 연결되며, A gate terminal of the switching element constituting the fourth switching unit is connected to a bit line bar, one terminal of a source / drain terminal is connected to the other line of the second test input / output line pair, and the other terminal is the predischarge test in. Connected to the enable portion, 상기 프리디스차지부는 상기 제2 테스트 입출력 라인쌍의 일 단에 연결되어, 상기 제2 테스트 입출력 라인쌍을 프리디스차지하며, The predischarge unit is connected to one end of the second test input / output line pair, and predischarges the second test input / output line pair. 상기 프리디스차지 테스트 인에이블부를 구성하는 스위칭 소자의 소스/드레인 단자 중 일 단자는 구동전원에 연결되고, 타 단자는 상기 제3 스위칭부와 상기 제4 스위칭부에 연결되는 것을 특징으로 하는 SRAM의 병렬 테스트 장치.One of the source / drain terminals of the switching element constituting the predischarge test enable unit is connected to a driving power source, and the other terminal is connected to the third switch unit and the fourth switch unit. Parallel test device. SRAM 어레이를 다수의 메모리 셀 그룹으로 분할하는 단계; Dividing the SRAM array into a plurality of memory cell groups; 상기 다수의 메모리 셀 그룹에 연결된 다수의 병렬 테스트 회로부를 이용하여, 상기 다수의 메모리 셀 그룹을 동시에 병렬 테스트하는 단계; Parallel testing the plurality of memory cell groups simultaneously using a plurality of parallel test circuit units connected to the plurality of memory cell groups; 고장 메모리 셀이 감지된 메모리 셀 그룹을 선택하는 단계; 및Selecting a memory cell group in which a failed memory cell is detected; And 상기 선택된 메모리 셀 그룹 내부의 모든 메모리 셀에 대하여 순차적으로 테스트하는 단계를 포함하며, Sequentially testing all memory cells in the selected memory cell group, 상기 병렬 테스트하는 단계는,The parallel test step, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 비트라인 쌍을 프리차지 또는 프리디스차지한 후, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀들의 풀업 또는 풀다운 구동 능력을 감지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 SRAM의 병렬 테스트 방법.And detecting a pull-up or pull-down driving capability of the memory cells in each memory cell group after precharging or predischarging the pair of bit lines in each memory cell group. 삭제delete 제7항에 있어서, 상기 메모리 셀들의 풀업 또는 풀다운 구동 능력을 감지하는 단계는,The method of claim 7, wherein the sensing of the pull-up or pull-down driving capability of the memory cells comprises: 상기 각 메모리 셀 그룹에 임의의 테스트 패턴을 기록하는 단계;Writing a random test pattern into each memory cell group; 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 비트 라인 쌍을 프리차지 또는 프리디스차지 하는 단계;Precharging or predischarging a pair of bit lines in each memory cell group; 상기 테스트 패턴을 판독하기 위하여, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 테스트 패턴에 따른 메모리 셀들을 선택하는 단계;Selecting memory cells according to a test pattern in each memory cell group to read the test pattern; 상기 비트 라인 쌍의 출력 값에 상응하는 데이터를 출력하는 테스트 입출력 라인 쌍의 출력을 감지하는 단계; 및 Detecting an output of a test input / output line pair for outputting data corresponding to an output value of the bit line pair; And 상기 각 메모리 셀 그룹 내부에 고장 메모리 셀의 존재 여부를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 SRAM의 병렬 테스트 방법. And determining whether a faulty memory cell exists in each of the memory cell groups. 제9항에 있어서, 상기 고장 메모리 셀의 존재 여부를 판단하는 단계는,The method of claim 9, wherein the determining of the presence of the failed memory cell comprises: 상기 테스트 입출력 라인 쌍의 출력이 상보적 출력인 경우, 메모리 셀 그룹 내에 고장 메모리 셀이 존재하지 않은 것으로 판단하며, When the output of the test input / output line pair is a complementary output, it is determined that a failed memory cell does not exist in the memory cell group. 상기 테스트 입출력 라인 쌍의 출력이 상보적 출력이 아닌 경우, 메모리 셀 그룹 내에 고장 메모리 셀이 존재하는 것으로 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 SRAM의 병렬 테스트 방법.And determining that a faulty memory cell exists in a memory cell group when the output of the test input / output line pair is not a complementary output. 제9항에 있어서, 상기 임의의 테스트 패턴을 기록하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹에 동일한 데이터를 입력하는 단계를 포함하며,10. The method of claim 9, wherein writing the random test pattern comprises inputting the same data into each of the memory cell groups, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀들을 선택하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 모든 메모리 셀들을 선택하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 SRAM의 병렬 테스트 방법.Selecting memory cells in each memory cell group comprises selecting all memory cells in each memory cell group. 제9항에 있어서, 상기 임의의 테스트 패턴을 기록하는 단계는, The method of claim 9, wherein recording the arbitrary test pattern comprises: 상기 각 메모리 셀 그룹의 제1 워드 라인에 연결된 메모리 셀에 제1 데이터를 기록하는 단계; 및Writing first data to memory cells connected to first word lines of each memory cell group; And 상기 각 메모리 셀 그룹의 제2 워드 라인에 연결된 메모리 셀에 제2 데이터를 기록하는 단계를 포함하며,Writing second data to a memory cell connected to a second word line of each memory cell group, 상기 제1 및 제2 워드 라인은 각각 짝수 번째 및 홀수 번째 워드 라인이거나 또는 상기 제1 및 제2 워드 라인은 각각 홀수 번째 및 짝수 번째 워드라인인 것을 특징으로 하는 SRAM의 병렬 테스트 방법.And the first and second word lines are even and odd word lines, respectively, or the first and second word lines are odd and even word lines, respectively. 제12항에 있어서, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀들을 선택하는 단계는,The method of claim 12, wherein selecting memory cells in each memory cell group comprises: 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 모든 비트라인 쌍을 선택하고, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 워드 라인을 순차적으로 선택하는 단계를 포함하며, Selecting all bit line pairs in each memory cell group, and sequentially selecting word lines in each memory cell group, 상기 테스트 입출력 라인 쌍의 출력을 감지하는 단계는 상기 메모리 셀들이 선택된 순서에 따라 수행하는 것을 특징으로 하는 SRAM의 병렬 테스트 방법.Sensing the output of the test input / output line pairs according to the selected order of the memory cells. 제9항에 있어서, 상기 임의의 테스트 패턴을 기록하는 단계는, The method of claim 9, wherein recording the arbitrary test pattern comprises: 상기 각 메모리 셀 그룹의 제1 비트 라인쌍에 연결된 메모리 셀에 제1 데이터를 기록하는 단계; 및Writing first data to a memory cell connected to a first bit line pair of each memory cell group; And 상기 각 메모리 셀 그룹의 제2 비트 라인쌍에 연결된 메모리 셀에 제2 데이터를 기록하는 단계를 포함하며,Writing second data to a memory cell connected to a second bit line pair of each memory cell group, 상기 제1 및 제2 비트 라인쌍은 각각 짝수 번째 및 홀수 번째 비트 라인쌍 이거나 또는 상기 제1 및 제2 비트 라인쌍은 각각 홀수 번째 및 짝수 번째 비트 라인쌍인 것을 특징으로 하는 SRAM의 병렬 테스트 방법.Wherein the first and second bit line pairs are even and odd bit line pairs, respectively, or the first and second bit line pairs are odd and even bit line pairs, respectively. . 제14항에 있어서, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀들을 선택하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 제1 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 단계와 각 메모리 셀 그룹 내의 제2 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 단계를 포함하며,15. The method of claim 14, wherein selecting memory cells in each memory cell group comprises selecting memory cells in which first data in each memory cell group is written and a memory in which second data in each memory cell group is written. Selecting cells; 상기 제1 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 워드 라인은 순차적으로 선택하고, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 비트라인 쌍은 상기 제1 비트라인 쌍을 선택하며, The selecting of the memory cells in which the first data is written comprises sequentially selecting word lines in each of the memory cell groups, and pairing bit lines in each memory cell group to select the first bit line pair. 상기 제2 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 워드 라인은 순차적으로 선택하고, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 비트라인 쌍은 제2 비트라인 쌍을 선택하고, Selecting the memory cells in which the second data is written, sequentially selecting word lines in each of the memory cell groups, selecting a second bit line pair in the pair of bit lines in each of the memory cell groups, 상기 테스트 입출력 라인 쌍의 출력을 감지하는 단계는 상기 메모리 셀들이 선택된 순서에 따라 수행하는 것을 특징으로 하는 SRAM의 병렬 테스트 방법.Sensing the output of the test input / output line pairs according to the selected order of the memory cells. 제9항에 있어서, 상기 임의의 테스트 패턴을 기록하는 단계는,The method of claim 9, wherein recording the arbitrary test pattern comprises: 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 모든 메모리 셀에 제2 데이터를 입력하는 단계;Inputting second data into all memory cells in each memory cell group; 상기 각 메모리 셀 그룹의 제1 비트 라인 쌍과 제1 워드 라인의 교차 영역에 위치한 메모리 셀에 제1 데이터를 기록하는 단계; 및Writing first data into a memory cell located at an intersection of a first bit line pair and a first word line of each memory cell group; And 상기 각 메모리 셀 그룹의 제2 비트 라인 쌍과 제2 워드 라인의 교차 영역에 위치한 메모리 셀에 제1 데이터를 기록하는 단계를 포함하며,Writing first data to a memory cell located at an intersection of a second bit line pair and a second word line of each memory cell group, 상기 제1 및 제2 비트 라인쌍은 각각 짝수 번째 및 홀수 번째 비트 라인쌍이거나 또는 상기 제1 및 제2 비트 라인쌍은 각각 홀수 번째 및 짝수 번째 비트 라인쌍이며,The first and second bit line pairs are even and odd bit line pairs, respectively, or the first and second bit line pairs are odd and even bit line pairs, respectively. 상기 제1 및 제2 워드 라인은 각각 짝수 번째 및 홀수 번째 워드 라인이거나 또는 상기 제1 및 제2 워드 라인은 각각 홀수 번째 및 짝수 번째 워드 라인인 것을 특징으로 하는 SRAM의 병렬 테스트 방법.And the first and second word lines are even and odd word lines, respectively, or the first and second word lines are odd and even word lines, respectively. 제16항에 있어서,The method of claim 16, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 메모리 셀들을 선택하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 제1 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 단계와 각 메모리 셀 그룹 내의 제2 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 단계를 포함하며,Selecting memory cells in each memory cell group may include selecting memory cells in which first data in each memory cell group is written and selecting memory cells in which second data in each memory cell group is written. Include, 상기 제1 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 워드 라인은 순차적으로 선택하고, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 비트라인 쌍은 상기 제1 및 제2 비트 라인쌍의 순서에 따라 교대로 선택하며, Selecting the memory cells in which the first data is written comprises sequentially selecting word lines in each memory cell group, and pairing bit lines in each memory cell group in the order of the first and second bit line pairs. Then alternately choose 상기 제2 데이터가 기록된 메모리 셀들을 선택하는 단계는 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 워드 라인은 순차적으로 선택하고, 상기 각 메모리 셀 그룹 내의 비트라인 쌍은 상기 제2 및 제1 비트라인쌍의 순서에 따라 교대로 선택하고,The selecting of the memory cells in which the second data is written comprises sequentially selecting word lines in each memory cell group, and pairing bit lines in each memory cell group in the order of the second and first bit line pairs. Alternately select, 상기 테스트 입출력 라인 쌍의 출력을 감지하는 단계는 상기 메모리 셀들이 선택된 순서에 따라 수행하는 것을 특징으로 하는 SRAM의 병렬 테스트 방법.Sensing the output of the test input / output line pairs according to the selected order of the memory cells.
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강용석 외, "병렬 테스트 방법을 적용한 고집적 SRAM을 위한 내장된 자체 테스트 기법", 전자공학회논문지 제35권 C편 제8호, 대한전자공학회, 1998. 8.*

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