KR100951544B1 - 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서 및 제조방법 - Google Patents

나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서 및 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 나노와이어 또는 탄소나노튜브를 포함하는 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서에 관한 것으로, 보다 자세하게는 휘어짐이 가능한 박막상에 고정된 타겟분자를 포획하기 위한 리셉터와 기능기를 포함하는 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서 및 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서는 타겟분자를 포함하는 테스트 용액을 저장하거나 흐르게 하기 위한 마이크로 체널; 상기 마이크로 채널 상단에 위치한 플렉서블 막박에 고정된 화학기능기와 연결되어 상기 타겟분자를 포획하기 위한 리셉터; 및 상기 마이크로 채널 하단에 위치하여 상기 타겟분자의 전하에 의한 전계영향을 감지하기 위한 나노 와이어 구조물을 포함함에 기술적 특징이 있다.
본 발명의 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서 제조방법은 타겟분자가 포함된 테스트 용액이 있는 마이크로 채널상에 플렉서블 박막을 형성하는 단계;
상기 플렉서블 박막에 표면처리를 하여 상기 타겟분자를 포획할 리셉터와 연결된 화학기능기를 부착하는 단계; 및 상기 마이크로 채널의 하단에 상기 타겟분자의 전하에 의한 전계효과를 감지하기 위한 나노와이어 구조물을 형성하는 단계를 포함함에 기술적 특징이 있다.
나노, 와이어, 바이오, 센서, 타겟, 분자

Description

나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서 및 제조방법{Fabricating method for bio sensor using nano-scale structure}
본 발명은 나노와이어 또는 탄소나노튜브를 포함하는 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서에 관한 것으로, 보다 자세하게는 휘어짐이 가능한 박막상에 고정된 타겟분자를 포획하기 위한 리셉터와 기능기를 포함하는 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서 및 제조방법에 관한 것이다.
나노와이어 FET는 나노와이어 양단에 전극을 형성시켜 나노와이어의 전기적 특성을 측정할 수 있도록 전기소자로 구성된 소자이다. 일반적으로 전계효과 트랜지스터에 형성되는 게이트와 달리 나노와이어 FET는 나노와이어 표면에 전하입자의 흡착정도 혹은 흡착유무를 통해 게이팅 전계가 형성되도록 한다.
나노와이어 FET을 이용한 바이오센서는 나노와이어를 표면처리함으로써, 특정 바이오 분자만을 검출하는 기능을 갖고 있다. 이러한 기능을 실현하기 위하여 특정 바이오분자에 특이적으로 작용하는 화학 기능기, 압타머, 또는 단백질 등의 생물분자를 나노와이어 표면에 고정화하는 작업으로 리셉터를 형성하는 과정을 거치게 된다.
나노와이어 표면에 화학적으로 처리된 화학 기능기는 리셉터로써 검사용 용액내에 존재하는 미지의 타겟분자를 선택적으로 인지하여 결합한다. 이때, 결합되어 포획된 미지의 타겟분자의 전하는 인해 나노와이어에 전계효과를 유도하는데, 이는 나노와이어 FET에 게이팅을 하게 된다. 이를 통해서 나노와이어의 전도성 변화가 감지되고 바이오센서로써 동작하게 된다. 나노와이어 표면에 고정된 리셉터는 타겟분자에 특이적으로 반응하도록 제작되기 때문에 검출을 원하는 분자만을 검출한다.
도 1 내지 도 3은 종래에 따른 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서의 개념도이다.
종래의 바이오센서는 테스트 용액내 타겟분자를 검출하기 위하여 기판(110)상에 절연층(120)과 나노와이어(130)를 포함한다. 나노와이어(130)의 표면에는 소정의 길이를 갖는 화학기능기(140)가 부착되어 있으며, 화학 기능기(140) 일단에는 리셉터(150)가 형성되어 있다(도 1). 리셉터(150)는 테스트 용액내 특정 타겟분자(160)를 포획한다. 타겟분자(160)의 전하에 의한 전계효과는 나노와이어(130)의 채널(170)내에 전류량을 결정하는 캐리어 농도의 변화를 유도한다.
그러나 이러한 종래의 바이오센서는 혈액 등의 테스트 용액내에 함께 존재하는 고농도의 염, 이온 및 기타 전하를 띤 입자 또는 단백질 분자 등이 존재하는데, 이들이 포함하고 있는 전하는 타겟분자에 의한 전계효과를 스크리닝함으로써, 바이오센 서의 감지 능력을 저하시킨다. 일예로서, 나노와이어(130) 표면에 고정되어 있는 리셉터(150)가 나노와이어(130) 표면으로부터 상당한 거리만큼 멀리 떨어져 있을 경우, 검사 용액내 존재하는 자유 전하 입자들이 리셉터(150)에 포착된 타겟분자(160)의 전계효과를 방해(디바이 차폐)하여 게이팅 효과가 일어나지 않을 수 있다. 이를 디바이 차폐라고 하는데 전하입자의 전계효과가 주변 전하들의 영향으로 인해 차폐되는 현상을 말한다. 이로 인하여, 바이오센서가 검출하고자 하는 타겟분자에 의한 게이팅이 제한적으로 일어날 가능성이 크다.(도 2).
도 3은 이러한 디바이 차폐에 따른 문제점을 해결하기 위하여 나노와이어(130) 표면에 형성된 화학기능기(140)의 길이를 디바이 길이 이내로 형성함으로써, 디바이 차폐에 의한 영향을 낮춘 또 다른 종래의 바이오센서의 개념도이다.
디바이 차폐를 해결하려면 나노와이어(130) 표면에 부착되는 리셉터(150)와 연결된 화학기능기(140)의 길이를 짧게 하거나 리셉터(150) 자체의 크기를 최대한 줄임으로써, 디바이 차폐가 일어나는 것을 막는다.
항체와 같은 큰 크기의 단백질의 경우, 디바이 차폐 길이에 비해 상대적으로 크기 때문에 항체의 인지부위만 따로 떼어내어 나노와이어(130) 표면에 고정화하는 방법을 쓰기도 하지만 번거롭고 간단하지가 않다.
그리고 길이가 짧은 화학기능기(140)나 압타머 등의 리셉터 물질을 사용하는 방법이 제안되고 있지만 공정적인 면에서 다양한 제약을 받음으로써, 디바이 차폐를 해결할 수 있는 근본적인 해법이 요구된다.
이외에도 디바이 차폐에 따른 문제점을 해결하기 위하여 바이오센서의 리셉 터 활성을 극대화하기 위한 다양한 종래의 기술들이 있다.
일반적으로 고체 기판상에 리셉터를 고정할 때 리셉터의 활성을 극대화하기 위해서는 바닥에서 일정 길이 이상으로 떨어뜨려 형성하는 것이 유리하며, 항체 등의 방향성 제어를 통해 면역반응의 극대화를 유도하는 것이 바람직한데, 이 경우 여러 단백질이 교차적으로 사용되어야 하기 때문에 바닥으로부터 일정 길이 이상으로 공간이 확보되어야 할 필요성이 있어 현실적으로 적용할 수 없는 단점이 있다.
즉, 디바이 길이 내로 타겟분자를 감지하기 위하여 화학기능기를 고정하기 위한 표면처리 기술을 적용하기 어려우며, 타겟분자 감지도가 떨어질 가능성이 크다.
상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 본 발명은 휘어짐이 가능한 박막을 구비한 공압용 체임버를 이용하여 타겟분자를 포획한 화학 기능기를 나노와이어에 접근시킴으로써, 디바이 차폐효과를 막을 수 있는 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서 및 제조방법을 제공함에 본 발명의 목적이 있다.
그리고 본 발명은 나노와이어의 하부에 디바이 길이에 대응하는 스페이서를 형성함으로써, 디바이 차폐효과를 막을 수 있는 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서 및 제조방법을 제공함에 본 발명의 다른 목적이 있다.
또한, 나노 스케일 구조물과 인접한 영역의 절연층을 디바이 길이에 대응하는 깊이로 식각하여 디바이 차폐효과를 막을 수 있는 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서 및 제조방법을 제공함에 본 발명의 또 다른 목적이 있다.
본 발명의 상기 목적은 타겟분자를 포함하는 테스트 용액을 저장하거나 흐르게 하기 위한 마이크로 체널; 상기 마이크로 채널 상단에 위치한 플렉서블 막박에 고정된 화학기능기와 연결되어 상기 타겟분자를 포획하기 위한 리셉터; 및 상기 마이크로 채널 하단에 위치하여 상기 타겟분자의 전하에 의한 전계영향을 감지하기 위한 나노 와이어 구조물를 포함하는 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오 센서에 의해 달성된다.
본 발명의 상기 다른 목적은 타겟분자가 포함된 테스트 용액이 있는 마이크로 채널상에 플렉서블 박막을 형성하는 단계; 상기 플렉서블 박막에 표면처리를 하여 상기 타겟분자를 포획할 리셉터와 연결된 화학기능기를 부착하는 단계; 및 상기 마이크로 채널의 하단에 상기 타겟분자의 전하에 의한 전계효과를 감지하기 위한 나노와이어 구조물을 형성하는 단계를 포함하는 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오 센서의 제조방법에 의해 달성된다.
따라서, 본 발명의 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서 및 제조방법은 디바이 차폐현상을 막아 센서의 감도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
그리고 나노 스케일의 구조물이 형성된 기판과 타겟분자가 포획되는 기판이 서로 다른 기판에 형성되기 때문에 나노와이어/탄소나노튜브 FET 바이오센서 소자를 연속해서 사용할 수 있는 장점이 있다. 즉, 바이오센서는 게이팅 효과로 인한 감지소자로만 활용되고, 타겟분자의 흡착은 테스트 용액을 포함하는 마이크로 채널의 상층부 표면에서 이루어지므로 테스트 용액에 따른 마이크로 채널을 교체함으로써 연속적으로 감지 가능한 소자로 활용이 가능하다.
본 발명의 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서 및 제조방법은 기판 표면에 고정된 화학 기능기에 포획된 타겟분자를 물리적으로 나노와이어 표면에 접근시키는 것이므로 표면처리 방법에 제약이 없어서 기존의 바이오칩 기술에서 활용하는 표면처리 기술을 그대로 도입할 수 있는 장점이 있다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 4와 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 나노 스케일의 구조물을 이용한 바이오센서의 개념도이다.
기판(110)에 형성된 절연층(120)상에 나노 와이어 구조물(130)이 형성된 바이오센서를 마이크로 유체 채널(체임버;220)내에 위치시킨다. 마이크로 유체 채널(220)에는 테스트 용액으로 채워져 있다.
본 발명에 따르면 나노 와이어 구조물(130)은 실리콘 나노 와이어 또는 탄소 나노튜브(210)를 이용한 FET 소자를 이용할 수 있다.
바이오센서 상부에는 외부의 압력에 의하여 휘어짐이 가능한 플렉서블 박막을 구비 한 가압장치(230)가 구비되어 있다.
본 발명에 따른 가압장치(230)는 공압을 이용한 공압용 체임버(채널)를 사용할 수 있으며, 플렉서블 박막은 복수의 상층부 박막으로 구성되어 있다.
먼저, 제1 상층부 박막은 PDMS를 포함하는 고분자 소재로 이루어져 있어, 가압장치(230)에 주입된 공압에 의하여 중심부가 부풀어 오르게 된다. 제2 상층부 박막(250)으로는 Au를 포함한 금속, 실리카 및 폴리머 등 일반적인 바이오센서에 사용되는 기판의 소재를 사용할 수 있다. 제2 상층부 박막(250) 표면은 표면처리를 통하여 화학기능기(140)가 부착된다. 화학기능기(140) 일단에는 리셉터(150)가 형성되어 있어 테스트 용액내의 특정 타겟분자(160)를 포획한다.
공압용 체임버(채널)에 압력을 가함으로써, 제1 상층부 박막(240)과 제2 상층부 박막(250)이 구부러지면, 타겟분자(160)를 포획한 리셉터(150)와 이와 연결된 화학기능기(140)가 나노와이어(130)가 형성된 기판(110)으로 접근한다. 타겟분자(160)내 존재하는 전하는 나노와이어(130)에 전계효과를 유도하여 채널(170)내의 캐리어 농도를 변화시킨다.
즉, 종래의 나노와이어를 이용한 바이오센서와 달리, 나노 와이어 구조물이 형성된 바이오센서와 타겟분자를 포획하면서 바이오센서에 접근시키기 위한 복수의 플렉서블 박막이 형성된 공압용 체임버(채널)를 이용하는 것이다.
특정 타겟분자(160)를 인식하기 위한 리셉터(150)는 제2 상층부 박막(250)상에 고정되는데, 이때, 리셉터(150)의 활성화를 극대화할 수 있도록 표면처리의 자유도를 높이는 것이 바람직하다. 그리고 나노와이어 구조물(130)를 이용하여 타겟 분자(160)의 전하를 검출시에는 디바이 길이 이내로 타겟분자(160)를 나노와이어(130) 표면까지 접근시키는 것이 바람직하다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서의 개념도이다.
절연층(120)을 비등방성 식각을 이용하여 나노와이어 구조물(130) 하부에 소정의 높이로 형성된 스페이서(310)를 형성한다. 이때, 스페이서(310)의 높이는 디바이 길이를 감안하여 형성하는 것이 바람직하다. 절연층(310)의 표면에는 표면처리에 의하여 리셉터(150)와 연결된 화학기능기(140)가 고정된다. 리셉터(150)는 테스트 용액내의 특정 타겟분자(160)를 포획한다. 포획된 타겟분자(160)의 전하에 의하여 발생한 전계효과는 나노와이어 구조물(130)의 채널(170)내 캐리어 농도를 변화시키고, 나노와이어 구조물(130)에 흐르는 전류의 양에 변화를 준다.
스페이서의 형성은 도 7에 도시된 바와 같이 절연층(310)을 등방성 또는 비등방성으로 식각하여 형성할 수 있다.
스페이서(310)를 나노와이어 구조물(130)을 절연층(120)으로부터 디바이 길이 정도의 높이로 형성함으로써, 디바이 차폐현상을 막아 타겟분자(160)의 전하에 의한 전계효과가 나노와이어 구조물(130)의 채널(170)내 캐리어 농도의 변화에 영향을 주도록 한다.
등방성 식각을 이용할 경우, 절연층에 식각홀(410)이 형성된다. 이때 식각홀(410)의 깊이는 디바이 길이를 고려하여 형성하고, 표면처리를 통하여 식각홀(410)에 화학기능기(140)를 부착함으로써, 디바이 차폐 현상을 막는 것이 바람직 하다.
도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서의 개념도이다.
기판(110)상에 절연층(120)과 나노와이어 구조물(130)을 형성한다. 나노와이어 구조물(130)과 인접한 영역의 절연층(120) 일부를 식각하여 식각홀(410)을 형성한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 절연층(120) 식각은 등방성 또는 비등방성 시각을 이용할 수 있다.
식각홀(140)이 형성되면 표면 처리를 통하여 식각홀(410)에 화학기능기(150)를 형성한다. 화학기능기(150) 일단에 형성된 리셉터(150)에 포획된 타겟분자(160)의 전하에 의하여 나노 스케일의 구조물(130)에 전계효과가 유도되어, 채널(170)의 캐리어 농도가 변하게 된다.
본 발명의 제1실시예와 마찬가지로 나노와이어 자체를 활용하기보다는 나노와이어의 주변 표면을 활용하여 표면처리를 하여 화학기능기(150)를 도입하고 리셉터를 고정하는 일련의 과정을 거쳐 나노와이어에 전계효과를 유도할 수 있다.
나노와이어 구조물(130)의 표면에 직접 붙게된 타겟분자(160)는 디바이 차폐로 인해 감지되지않지만, 바닥표면에 처리된 리셉터(150)와 결합된 타겟분자(160)는 전계효과로 인하여 감지가 가능하다.
도 9 내지 도 11은 본 발명의 제2실시예와 제3실시예에 따른 나노 와이어의 공정 흐름도이다.
먼저 사진식각 공정을 이용하여 기판(110)상에 떠 있는 실리콘 나노와이어(130)를 형성한다(도 9). 다음으로, 나노와이어(130)가 형성된 기판 전면(110)에 디바이 길이를 대응하는 두께를 갖는 절연층(120)을 증착한다(도 10). 나노와이어 트랜스퍼를 이용하여 절연층(120)이 증착된 바닥면을 하향으로 이동시킨 후, 나노와이어 바이오센서를 형성한다(도 11). 마지막으로 기판바닥에 표면처리를 통한 화학기능기를 부착하고 스페이서의 높이를 조절함으로써 디바이 차폐효과를 해결한 바이오센서를 완성한다.
나노와이어 트랜스퍼를 이용할 경우, 도 9에서 스페이서 역할을 할 절연층(120)을 미리 적절한 두께, 10nm 내외로 형성할 수 있어, 앞서 설명한 실시예와 같이 식각공정 진행할 필요가 없다는 장점이 있다. 절연층이 형성된 나노와이어를 기판위에 전사한 후 금속공정으로 나노와이어 FET 소자를 만들고 나노와이어가 형성된 바닥기판 표면을 표면처리하여 기능기를 도입하고 리셉터를 고정화하여 바이오센서로 형성할 수 있다.
나노와이어 상층부에 증착하는 절연층의 증착두께를 디바이 길이에 상응하게 형성시킬 수 있으며 실제로 증착된 두께 정보를 이용하여 기판표면에 화학기능기 도입시 기능기의 길이를 조절해줌으로써 리셉터가 붙잡는 타겟 분자가 나노와이어 표면에 가깝게 존재할 수 있도록 쉽게 구현할 수 있다.
본 발명은 이상에서 살펴본 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양 한 변경과 수정이 가능할 것이다.
도 1 내지 도 3은 종래에 따른 나노와이어 바이오센서의 개면도,
도 4와 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서의 개념도,
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서의 개념도,
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 스페이서 실시예의 개념도,
도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서의 개념도,
도 9 내지 도 11은 본 발명의 제2실시예와 제3실시예에 따른 나노 스케일 구조물을 이용한 구조물의 공정 흐름도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110:기판 120:절연층
130:나노와이어 140:화학 기능기
150:리셉터 160:타겟분자
170:캐리어 180:전하
210:탄소나노튜브 220:마이크로유체채널
230:가압장치 240:제1 상층부 박막
250:제2 상층부 박막 310:스페이서
410:식각홀

Claims (15)

  1. 타겟분자를 포함하는 테스트 용액을 저장하거나 흐르게 하기 위한 마이크로 체널;
    상기 마이크로 채널 상단에 위치한 플렉서블 박막에 고정된 화학기능기와 연결되어 상기 타겟분자를 포획하기 위한 리셉터; 및
    상기 마이크로 채널 하단에 위치하여 상기 타겟분자의 전하에 의한 전계영향을 감지하기 위한 나노 와이어 구조물
    을 포함하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오 센서.
  2. 제1항에 있어서, 상기 플렉서블 박막은,
    휘어짐이 가능한 제1 상층부 박막;
    상기 제1상층부 박막에 형성되어 상기 화학기능기를 고정시키기 위한 제2 상층부 박막; 및
    상기 제1 상층부 박막에 압력을 가하여 휘어짐을 유도하기 위한 가압장치
    를 포함하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오 센서.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 상층부 박막은 고분자 소재로 이루어진 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오 센서.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제2 상층부 박막은 금속, 실리카 및 고분자 중 어느 하나인 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 나노와이어 구조물은 실리콘 나노와이어 또는 탄소나노튜브인 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서.
  6. 절연층이 형성된 기판 상에 하기 타겟분자의 전하에 의한 전계효과를 감지하기 위한 나노와이어 구조물;
    상기 나노와이어 구조물 하단에 디바이 길이에 대응하는 높이로 형성된 스페이서; 및
    상기 나노와이어 구조물 표면에 고정되어 상기 타겟분자를 포획하기 위한 리셉터를 구비한 화학기능기
    를 포함하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서.
  7. 절연층이 형성된 기판 상에 하기 타겟분자의 전하에 의한 전계효과를 감지하기 위한 나노와이어 구조물;
    상기 나노와이어 구조물과 인접한 영역이 식각된 상기 절연층; 및
    상기 나노와이어 구조물 표면에 고정되어 상기 타겟분자를 포획하기 위한 리셉터를 구비한 화학 기능기
    를 포함하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    상기 나노와이어 구조물은 실리콘 나노와이어 또는 탄소나노튜브를 포함하는 반도체 특성의 소재를 이용하여 와이어 형태를 갖는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 타겟분자가 포함된 테스트 용액이 있는 마이크로 채널상에 플렉서블 박막을 형성하는 단계;
    상기 플렉서블 박막에 표면처리를 하여 상기 타겟분자를 포획할 리셉터와 연결된 화학기능기를 부착하는 단계; 및
    상기 마이크로 채널의 하단에 상기 타겟분자의 전하에 의한 전계효과를 감지하기 위한 나노와이어 구조물을 형성하는 단계
    를 포함하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서의 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 나노와이어 구조물을 형성하는 단계는 반도체 와이어 형태의 구조물을 형성하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서의 제조방법.
  13. 제11항에 있어서, 상기 나노와이어를 구조물을 형성하는 단계는,
    사진식각공정을 이용하여 기판으로부터 상부로 이격된 영역에 나노와이어를 형성하는 단계;
    상기 기판과 상기 나노와이어 전면에 절연층을 형성하는 단계; 및
    상기 나노와이어 트랜스퍼를 이용하여 상기 절연층 증착면을 바닥면으로 하는 단계
    를 포함하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서의 제조방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 나노와이어와 인접한 영역의 상기 절연층을 식각하는 단계를 포함하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서의 제조방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 절연층을 식각하는 단계는,
    상기 식각은 등방성 또는 비등방성 식각을 이용하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서의 제조방법.
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