KR100941080B1 - Scribing apparatus and method, and apparatus for cutting substrate using the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 스크라이빙 장치 및 방법과, 이를 이용한 기판 절단 장치를 개시한 것으로서, 모 기판상에 형성되는 스크라이브 라인들의 진행 방향에 따라 스크라이빙 휠의 회전 축(Axis) 방향이 서로 반대 방향을 향하도록 스크라이빙 휠을 회전시키는 것을 특징으로 가진다. The present invention discloses a scribing apparatus and method, and a substrate cutting apparatus using the same, wherein the axis of rotation of the scribing wheel is in a direction opposite to each other according to the advancing direction of the scribe lines formed on the mother substrate. And rotate the scribing wheel to face.

이러한 특징에 의하면, 스크라이브 라인의 형성 방향에 무관하게 스크라이빙 휠의 방향성을 일정하게 유지할 수 있는 스크라이빙 장치 및 방법과, 이를 이용한 기판 절단 장치를 제공할 수 있다.According to this aspect, it is possible to provide a scribing apparatus and method capable of maintaining a constant directionality of the scribing wheel irrespective of the forming direction of the scribe line, and a substrate cutting apparatus using the same.

스크라이버, 회전 Scriber, rotating

Description

스크라이빙 장치 및 방법과, 이를 이용한 기판 절단 장치{SCRIBING APPARATUS AND METHOD, AND APPARATUS FOR CUTTING SUBSTRATE USING THE SAME}Scribing apparatus and method, and substrate cutting apparatus using the same {SCRIBING APPARATUS AND METHOD, AND APPARATUS FOR CUTTING SUBSTRATE USING THE SAME}

본 발명은 평판 디스플레이 패널의 제조에 사용되는 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수의 단위 기판들이 형성된 모 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이빙 장치 및 방법과, 이를 이용하여 모 기판을 절단하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for manufacturing a flat panel display panel, and more particularly, to a scribing apparatus and method for forming a scribe line on a mother substrate on which a plurality of unit substrates are formed, and a mother substrate using the same. A device for cutting.

최근 들어, 정보 처리 기기는 다양한 형태의 기능과 더욱 빨라진 정보 처리 속도를 갖도록 급속하게 발전하고 있다. 이러한 정보 처리 기기는 가동된 정보를 표시하는 디스플레이(Display)를 가진다. 종래에는 디스플레이로서 주로 브라운관(Cathode Ray Tube) 모니터가 사용되었으나, 최근에는 가볍고 공간을 작게 차지하는 박막 트랜지스터-액정 디스플레이(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display Panel)나 유기 다이오드 디스플레이(Organic Light Emitting Diodes display)와 같은 평판 디스플레이의 사용이 크게 증대하고 있다. Recently, information processing devices have been rapidly developed to have various types of functions and faster information processing speeds. Such information processing apparatus has a display for displaying the activated information. Conventionally, a cathode ray tube monitor is mainly used as a display, but recently, a light and space-saving thin film transistor-liquid crystal display panel or organic light emitting diodes display The use of such flat panel displays is greatly increasing.

일반적으로, 평판 디스플레이 등에 사용되는 패널은 보통 취성 기판을 이용하여 제작되며, 패널은 한 장으로 구성된 단판 기판이나 2장의 기판이 접합된 접합 기판으로 대별된다.In general, a panel used for a flat panel display or the like is usually manufactured using a brittle substrate, and the panel is roughly classified into a single plate substrate composed of one sheet or a bonded substrate bonded to two substrates.

접합 기판은 휴대 전화의 액정 표시기용의 패널과 같이 소형인 것부터 TV나 디스플레이 등의 패널과 같은 대형의 다양한 크기로 가공되어 사용되기 때문에, 대형의 모 기판으로부터 소정 크기의 단위 기판으로 절단되어 각각의 패널로 이용된다.Since the bonded substrate is processed into small and various sizes, such as a panel for a liquid crystal display of a mobile phone, to a large size such as a panel such as a TV or a display, the bonded substrate is cut into a unit substrate having a predetermined size from a large parent substrate, Used as a panel.

모 기판을 절단하는 방법으로는, 레이저빔을 이용하여 절단하는 방법 또는 미세한 다이아몬드가 박혀있는 스크라이브 휠(Scribe Wheel)을 이용하여 절단하는 방법 등이 있다.As a method of cutting a mother substrate, there is a method of cutting using a laser beam or a method of cutting using a scribe wheel embedded with fine diamond.

레이저 빔을 이용하여 모 기판을 절단하는 방법은 모 기판의 절단 예정선을 따라 스크라이브용 레이저 빔을 조사하여 스크라이브 라인을 형성하고 가열된 스크라이브 라인을 급냉시키는 스크라이빙 공정과, 스크라이브 라인을 따라 브레이크용 레이저 빔을 조사하여 모 기판을 단위 기판으로 절단하는 브레이킹 공정으로 이루어진다.A method of cutting a mother substrate using a laser beam includes a scribing process of irradiating a scribe laser beam along a cutting line of the mother substrate to form a scribe line and quenching the heated scribe line, and a brake along the scribe line. It is made of a braking step of cutting the parent substrate into a unit substrate by irradiating a laser beam for.

스크라이브 휠을 이용하여 모 기판을 절단하는 방법은 스크라이브 휠을 모 기판의 절단 예정선에 접촉한 후 절단 예정선을 따라 소정 깊이의 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하는 스크라이빙 공정과, 모 기판에 물리적인 충격을 가하여 스크라이브 라인을 따라 크랙(Crack)이 전파되도록 함으로써 모 기판을 단위 기판으로 절단하는 브레이킹 공정으로 이루어진다.A method of cutting a mother substrate using a scribe wheel includes a scribing process of contacting a scribe wheel with a cutting target line of the mother substrate and forming a scribe line having a predetermined depth along the cutting target line, and a mother substrate. A cracking process propagates along a scribe line by applying a physical impact to the breaker to break the parent substrate into a unit substrate.

본 발명은 스크라이브 라인의 형성 방향에 무관하게 스크라이빙 휠의 방향성을 일정하게 유지할 수 있는 스크라이빙 장치 및 방법과, 이를 이용한 기판 절단 장치를 제공하기 위한 것이다.The present invention provides a scribing apparatus and method capable of maintaining a constant directionality of a scribing wheel irrespective of the forming direction of a scribe line, and a substrate cutting apparatus using the same.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The object of the present invention is not limited thereto, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명에 의한 스크라이빙 장치는, 모 기판에 형성된 단위 기판을 분리하기 위한 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이빙 장치에 있어서, 상기 모 기판상에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이버와; 상기 모 기판의 평면에 수직한 상기 스크라이버의 자기 중심 축을 중심으로 상기 스크라이버를 회전시키는 회전 구동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a scribing apparatus according to the present invention is a scribing apparatus for forming a scribe line for separating a unit substrate formed on a mother substrate, the scribing apparatus to form a scribe line on the mother substrate With the driver; And a rotation drive unit for rotating the scriber about a magnetic center axis of the scriber perpendicular to the plane of the parent substrate.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 스크라이빙 장치에 있어서, 상기 스크라이버는 상기 모 기판에 접촉되어 회전하는 스크라이빙 휠과; 상기 스크라이빙 휠을 회전 가능하게 지지하는 지지체와; 상기 지지체의 상부에 일체를 이루도록 고정되며, 스크라이브 라인의 형성시 상기 스크라이빙 휠이 일정한 힘으로 상기 모 기판을 누를 수 있도록 상기 지지체를 아래 방향으로 누르는 누름 부재를 포함하되, 상기 회전 구동 유닛은 상기 누름 부재를 회전시킬 수 있다.In the scribing apparatus according to the present invention having the configuration as described above, the scriber includes: a scribing wheel which rotates in contact with the mother substrate; A support for rotatably supporting the scribing wheel; It is fixed to be integral to the upper portion of the support, and includes a pressing member for pressing the support downwards so that the scribing wheel to press the parent substrate with a constant force when forming a scribe line, the rotation drive unit The pressing member can be rotated.

상기 회전 구동 유닛은 구동 부재와; 상기 구동 부재의 구동력을 상기 누름 부재로 전달하는 동력 전달 부재와; 상기 누름 부재를 회전 가능하게 지지하는 지지 부재를 포함할 수 있다.The rotary drive unit includes a drive member; A power transmission member for transmitting a driving force of the driving member to the pressing member; It may include a support member for rotatably supporting the pressing member.

상기 구동 부재는 회전 구동력을 제공하는 모터일 수 있다.The drive member may be a motor that provides a rotational driving force.

상기 동력 전달 부재는 상기 모터의 회전 축에 결합된 구동 풀리와; 상기 구동 풀리와 상기 누름 부재에 감겨지며, 상기 구동 풀리로부터 상기 누름 부재로 회전력을 전달하는 벨트를 포함할 수 있다.The power transmission member includes a drive pulley coupled to the rotational shaft of the motor; The belt may be wound around the driving pulley and the pressing member and transmits a rotational force from the driving pulley to the pressing member.

상기 지지 부재는 상부 및 하부가 개방된 통 형상의 몸체와; 상기 몸체의 내측에 고정되는 외륜과, 상기 외륜에 대해 회전 가능하게 설치되고 상기 누름 부재가 삽입되는 내륜을 가지는 베어링을 포함할 수 있다.The support member may include a cylindrical body having upper and lower openings; It may include a bearing having an outer ring fixed to the inside of the body, and an inner ring rotatably installed with respect to the outer ring and the pressing member is inserted.

상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명에 의한 스크라이빙 방법은, 모 기판에 형성된 단위 기판을 분리하기 위한 스크라이브 라인을 형성하는 방법에 있어서, 상기 모 기판상에 형성되는 스크라이브 라인들의 진행 방향에 따라 스크라이빙 휠의 회전 축(Axis) 방향이 서로 반대 방향을 향하도록 스크라이빙 휠을 회전시키는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the scribing method according to the present invention, in the method for forming a scribe line for separating the unit substrate formed on the mother substrate, according to the advancing direction of the scribe lines formed on the mother substrate The scribing wheel is rotated so that the axis of rotation (Axis) of the scribing wheel is opposite to each other.

상술한 바와 같은 특징을 가지는 본 발명에 의한 스크라이빙 방법에 있어서, 상기 모 기판상에 상기 단위 기판들이 배열된 제 1 방향 및 제 2 방향 중 어느 일 방향의 일 측을 향해 스크라이브 라인을 형성하고, 상기 모 기판의 평면에 수직한 자기 중심 축을 중심으로 상기 스크라이버를 180° 회전시키고, 상기 형성된 스크라이브 라인에 평행하도록 상기 어느 일 방향의 타 측을 향해 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.In the scribing method according to the present invention having the characteristics as described above, a scribe line is formed on one side of the first direction and the second direction in which the unit substrates are arranged on the mother substrate. The scriber may be rotated 180 ° about a magnetic center axis perpendicular to the plane of the mother substrate, and a scribe line may be formed toward the other side of the one direction so as to be parallel to the formed scribe line.

상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명에 의한 기판 절단 장치는 복수 개의 단위 기판들이 형성된 모 기판이 로딩되는 로딩부와; 상기 로딩부로부터 전달받은 상기 모 기판에 스크라이브 라인을 생성하는 스크라이빙부와; 상기 모 기판에 생성된 스크라이브 라인을 따라 상기 모 기판을 단위 기판으로 분리하는 브레이킹부와; 분리된 상기 단위 기판들을 언로딩하는 언로딩부를 포함하되, 상기 스크라이빙부는 상기 모 기판상에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이버와; 상기 모 기판의 평면에 수직한 상기 스크라이버의 자기 중심 축을 중심으로 상기 스크라이버를 회전시키는 회전 구동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a substrate cutting apparatus according to the present invention includes a loading unit in which a mother substrate on which a plurality of unit substrates are formed is loaded; A scribing unit generating a scribe line on the mother substrate received from the loading unit; Breaking unit for separating the parent substrate into a unit substrate along the scribe line generated in the parent substrate; An unloading unit configured to unload the separated unit substrates, wherein the scribing unit comprises: a scriber forming a scribe line on the mother substrate; And a rotation drive unit for rotating the scriber about a magnetic center axis of the scriber perpendicular to the plane of the parent substrate.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 기판 절단 장치에 있어서, 상기 스크라이버는 상기 모 기판에 접촉되어 회전하는 스크라이빙 휠과; 상기 스크라이빙 휠을 회전 가능하게 지지하는 지지체와; 상기 지지체의 상부에 일체를 이루도록 고정되며, 스크라이브 라인의 형성시 상기 스크라이빙 휠이 일정한 힘으로 상기 모 기판을 누를 수 있도록 상기 지지체를 아래 방향으로 누르는 누름 부재를 포함하되, 상기 회전 구동 유닛은 상기 누름 부재를 회전시킬 수 있다.A substrate cutting apparatus according to the present invention having the configuration as described above, wherein the scriber comprises: a scribing wheel that rotates in contact with the parent substrate; A support for rotatably supporting the scribing wheel; It is fixed to be integral to the upper portion of the support, and includes a pressing member for pressing the support downwards so that the scribing wheel to press the parent substrate with a constant force when forming a scribe line, the rotation drive unit The pressing member can be rotated.

상기 회전 구동 유닛은 구동 부재와; 상기 구동 부재의 구동력을 상기 누름 부재로 전달하는 동력 전달 부재와; 상기 누름 부재를 회전 가능하게 지지하는 지지 부재를 포함할 수 있다.The rotary drive unit includes a drive member; A power transmission member for transmitting a driving force of the driving member to the pressing member; It may include a support member for rotatably supporting the pressing member.

상기 구동 부재는 회전 구동력을 제공하는 모터일 수 있다.The drive member may be a motor that provides a rotational driving force.

상기 동력 전달 부재는 상기 모터의 회전 축에 결합된 구동 풀리와; 상기 구동 풀리와 상기 누름 부재에 감겨지며, 상기 구동 풀리로부터 상기 누름 부재로 회 전력을 전달하는 벨트를 포함할 수 있다.The power transmission member includes a drive pulley coupled to the rotational shaft of the motor; It may include a belt wound around the drive pulley and the pressing member, and transmits rotational power from the driving pulley to the pressing member.

상기 지지 부재는 상부 및 하부가 개방된 통 형상의 몸체와; 상기 몸체의 내측에 고정되는 외륜과, 상기 외륜에 대해 회전 가능하게 설치되고 상기 누름 부재가 삽입되는 내륜을 가지는 베어링을 포함할 수 있다.The support member may include a cylindrical body having upper and lower openings; It may include a bearing having an outer ring fixed to the inside of the body, and an inner ring rotatably installed with respect to the outer ring and the pressing member is inserted.

본 발명에 의하면, 스크라이브 라인의 형성 방향에 무관하게 스크라이빙 휠의 방향성을 일정하게 유지할 수 있다.According to the present invention, the directionality of the scribing wheel can be kept constant regardless of the forming direction of the scribe line.

그리고, 본 발명에 의하면, 하나의 스크라이빙 휠을 이용하여 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.According to the present invention, a scribe line can be formed using one scribing wheel.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 스크라이빙 장치 및 방법과, 이를 이용한 기판 절단 장치를 상세히 설명하기로 한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, a scribing apparatus and method and a substrate cutting apparatus using the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals are assigned to the same components as much as possible, even if shown on different drawings. In addition, in describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related well-known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

( 실시 예 )(Example)

도 1은 모 기판(1)의 일 예를 보여주는 도면이다.1 is a diagram illustrating an example of a mother substrate 1.

도 1을 참조하면, 모 기판(1)은 박막 트랜지스터-액정 디스플레이(Thin Film Transistor - Liquid Crystal Display, TFT-LCD)용 패널일 수 있다. 모 기판(1)은 대체로 사각형의 판 형상을 가지는 제 1 모 기판(2)과, 제 2 모 기판(3)으로 이루어진다. 제 1 모 기판(2)과 제 2 모 기판(3)은 상하로 적층된다. 제 1 모 기판(2)에는 복수 개의 단위 기판들(2a)이 형성되고, 제 2 모 기판(3)에는 복수 개의 단위 기판들(3a)이 형성되며, 단위 기판들(2a,3a)은 제 1 및 제 2 모 기판(2,3)의 평면상에 격자 모양으로 배열될 수 있다. 제 1 모 기판(2)은 박막 트랜지스터 기판이 형성된 기판이고, 제 2 모 기판(3)은 컬러 필터 기판이 형성된 기판이다. 한편, 모 기판(1)은 평판 디스플레이용 패널의 일종인 유기 발광 다이오드(Organic Light Emitting Diodes, OLED) 디스플레이용 패널 등일 수 있다. Referring to FIG. 1, the mother substrate 1 may be a panel for a thin film transistor-liquid crystal display (TFT-LCD). The mother board | substrate 1 consists of the 1st mother board | substrate 2 which has a substantially rectangular plate shape, and the 2nd mother board | substrate 3. As shown in FIG. The first mother substrate 2 and the second mother substrate 3 are stacked up and down. A plurality of unit substrates 2a are formed on the first mother substrate 2, a plurality of unit substrates 3a are formed on the second mother substrate 3, and the unit substrates 2a and 3a are formed on the first mother substrate 2. It may be arranged in a grid shape on the plane of the first and second parent substrates (2, 3). The first mother substrate 2 is a substrate on which a thin film transistor substrate is formed, and the second mother substrate 3 is a substrate on which a color filter substrate is formed. The mother substrate 1 may be a panel for organic light emitting diodes (OLED) display, which is a kind of panel for a flat panel display.

도 2는 본 발명에 따른 기판 절단 장치(10)의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다. 2 is a view schematically showing the configuration of a substrate cutting device 10 according to the present invention.

도 2를 참조하면, 기판 절단 장치(10)는 모 기판(도 1의 도면 참조 번호 1)을 복수 개의 단위 기판들로 절단하기 위한 것으로, 로딩부(11), 스크라이빙부(12), 브레이킹부(13), 그리고 언로딩부(14)를 포함한다. 로딩부(11), 스크라이빙부(12), 브레이킹부(13), 그리고 언로딩부(14)는 일렬로 순차적으로 배치될 수 있다. 모 기판(1)은 로딩부(11)를 통해 기판 절단 장치(10)로 반입되고, 스크라이빙부(12)와 브레이킹부(13)를 순차적으로 거쳐 복수 개의 단위 기판들로 분리되고, 언로딩부(14)를 통해 기판 절단 장치(10)의 외부로 반출된다. Referring to FIG. 2, the substrate cutting apparatus 10 is for cutting a parent substrate (reference numeral 1 of FIG. 1) into a plurality of unit substrates, and includes a loading unit 11, a scribing unit 12, and a braking unit. The unit 13 and the unloading unit 14 is included. The loading unit 11, the scribing unit 12, the breaking unit 13, and the unloading unit 14 may be sequentially arranged in a line. The mother substrate 1 is loaded into the substrate cutting device 10 through the loading unit 11, separated into a plurality of unit substrates sequentially through the scribing unit 12 and the breaking unit 13, and unloaded. It is carried out to the exterior of the board | substrate cutting apparatus 10 through the part 14.

스크라이빙부(12)는 후술할 스크라이빙 장치를 이용하여 제 1 모 기판(2) 또는 제 2 모 기판(3)에 단위 기판들의 배열 방향을 따라 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성한다. 브레이킹부(13)는 브레이크 바(Break Bar)(미도시)를 이용하여 모 기판(1)에 형성된 스크라이브 라인 부위에 힘을 가하여 모 기판(1)으로부터 단위 기판들을 절단한다. 그리고, 스크라이빙부(12)의 일 측에는 반전부(15)가 배치될 수 있다. 반전부(15)는 스크라이브 라인이 형성된 모 기판의 일면의 위치와 스크라이브 라인이 형성되지 않은 모 기판의 타 면의 위치를 서로 바꾸어주는 역할을 한다. 즉, 모 기판(1) 중 제 1 모 기판(2)에 먼저 스크라이브 라인을 형성한 경우, 제 2 모 기판(3)에 스크라이브 라인을 형성하기 위하여 제 1 모 기판(2)과 제 2 모 기판(3)의 위치를 서로 바꾸어 주도록 모 기판(1)을 반전시킨다.The scribing unit 12 forms a scribe line on the first mother substrate 2 or the second mother substrate 3 along the arrangement direction of the unit substrates using a scribing apparatus to be described later. The breaking part 13 cuts the unit substrates from the mother substrate 1 by applying a force to a scribe line portion formed in the mother substrate 1 using a break bar (not shown). In addition, an inverting unit 15 may be disposed on one side of the scribing unit 12. The inverting unit 15 serves to change the position of one surface of the mother substrate on which the scribe line is formed and the position of the other surface of the mother substrate on which the scribe line is not formed. That is, when a scribe line is first formed on the first mother substrate 2 of the mother substrate 1, the first mother substrate 2 and the second mother substrate are formed to form a scribe line on the second mother substrate 3. The mother substrate 1 is inverted so as to change the position of (3).

도 3은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 일 예를 개략적으로 보여주는 도면이다.3 is a view schematically showing an example of a scribing apparatus according to the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 스크라이빙 장치는, 모 기판에 형성된 단위 기판을 분리하기 위해 스크라이브 라인을 형성하기 위한 것으로, 스크라이버(100)와 회전 구동 유닛(200)을 포함한다. 스크라이버(10)는 모 기판상에 스크라이브 라인을 형성하고, 회전 구동 유닛(200)은 스크라이브 라인의 형성 방향에 따라 모 기판의 평면에 수직한 스크라이버(100)의 자기 중심 축을 중심으로 스크라이버(100)를 회전시킨다.Referring to FIG. 3, the scribing apparatus according to the present invention is for forming a scribe line to separate a unit substrate formed on a mother substrate, and includes a scriber 100 and a rotation driving unit 200. The scriber 10 forms a scribe line on the mother substrate, and the rotation drive unit 200 scriber about the magnetic center axis of the scriber 100 perpendicular to the plane of the mother substrate according to the forming direction of the scribe line. Rotate 100.

스크라이버(100)는 스크라이빙 누름 부재(110), 지지체(120), 그리고 스크라 이빙 휠(130)을 포함한다. 스크라이빙 휠(130)은 스크라이빙 공정시 모 기판(1)에 접촉되어 회전하면서 모 기판(1)에 스크라이브 라인을 형성한다. 스크라이빙 휠(130)로는 다이아몬드 재질의 휠(wheel)이 사용될 수 있으며, 스크라이빙 휠(130)의 에지는 날카롭게 제공된다. 스크라이빙 휠(130)은 지지체(120)에 의해 회전 가능하게 지지된다. 누름 부재(110)는 지지체(120)의 상부에 일체를 이루도록 고정되며, 스크라이빙 휠(130)과 모 기판(1)의 접촉시 스크라이빙 휠(130)이 일정 힘으로 모 기판(1)을 누를 수 있도록 스크라이빙 휠(130)을 가압한다. 일 예에 의하면, 누름 부재(110)는 지지체(120)의 상부에 위치되어 공압을 이용하여 지지체(120)를 아래 방향으로 누름으로써 스크라이빙 휠(130)을 가압한다. 그리고, 도면에 도시되지는 않았지만, 지지체(120)의 내부에는 진동자가 장착될 수 있다. 진동자는 스크라이빙 공정 진행시 스크라이빙 휠(130)에 진동을 인가하며, 진동자(228)로는 초음파 진동자가 사용될 수 있다.The scriber 100 includes a scribing pressing member 110, a support 120, and a scribing wheel 130. The scribing wheel 130 forms a scribe line on the mother substrate 1 while rotating in contact with the mother substrate 1 during the scribing process. As the scribing wheel 130, a wheel made of diamond may be used, and the edge of the scribing wheel 130 may be sharply provided. The scribing wheel 130 is rotatably supported by the support 120. The pressing member 110 is fixed to be integrally formed on the upper portion of the support 120, and when the scribing wheel 130 is in contact with the mother substrate 1, the scribing wheel 130 has a predetermined force with the mother substrate 1. Press the scribing wheel 130 to press (). In one example, the pressing member 110 is positioned above the support 120 to press the support 120 downward by using pneumatic pressure to press the scribing wheel 130. Although not shown in the figure, the vibrator may be mounted inside the support 120. The vibrator applies vibration to the scribing wheel 130 during the scribing process, and an ultrasonic vibrator may be used as the vibrator 228.

회전 구동 유닛(200)은 스크라이버(100)를 회전시키기 위한 것으로, 지지 부재, 구동 부재(220), 그리고 동력 전달 부재(230)를 포함한다. 지지 부재는 상부 및 하부가 개방된 통 형상의 몸체(210)를 가진다. 몸체(210)의 내측에는 베어링(212)이 장착된다. 베어링(212)은 몸체(210)의 내측에 고정되는 외륜(212a)과, 외륜(212a)에 대해 상대 회전이 가능하도록 설치되는 내륜(212b)을 가진다. 내륜(212b)의 내주에는 스크라이버(100)의 누름 부재(110)가 삽입 설치된다. 그리고, 몸체(210)는 스크라이버(100)를 이동시키는 이동 유닛(미도시)의 지지대(214)에 연결된다.The rotation drive unit 200 is for rotating the scriber 100, and includes a support member, a drive member 220, and a power transmission member 230. The support member has a cylindrical body 210 with upper and lower openings open. The bearing 212 is mounted inside the body 210. The bearing 212 has an outer ring 212a fixed to the inside of the body 210 and an inner ring 212b installed to allow relative rotation with respect to the outer ring 212a. The pressing member 110 of the scriber 100 is inserted into the inner circumference of the inner ring 212b. The body 210 is connected to a support 214 of a mobile unit (not shown) for moving the scriber 100.

구동 부재(220)는 회전 구동력을 제공하는 모터일 수 있으며, 브라켓(222)에 의해 지지 부재의 몸체(210) 일 측에 설치될 수 있다. 구동 부재(220)의 회전 구동력은 동력 전달 부재(230)에 의해 몸체(210)에 회전 가능하게 삽입된 스크라이버(100)의 누름 부재(110)로 전달된다. 동력 전달 부재(230)는 구동 풀리(232)와 벨트(234)를 포함한다. 구동 풀리(232)는 구동 부재(220)의 회전 축(221)에 결합된다. 벨트(234)는 구동 풀리(232)와 누름 부재(110)에 감겨지고, 구동 풀리(232)로부터 누름 부재(110)로 회전력을 전달한다.The driving member 220 may be a motor that provides a rotational driving force, and may be installed at one side of the body 210 of the supporting member by the bracket 222. The rotational driving force of the driving member 220 is transmitted to the pressing member 110 of the scriber 100 rotatably inserted into the body 210 by the power transmission member 230. The power transmission member 230 includes a drive pulley 232 and a belt 234. The drive pulley 232 is coupled to the rotation axis 221 of the drive member 220. The belt 234 is wound around the driving pulley 232 and the pressing member 110, and transmits a rotational force from the driving pulley 232 to the pressing member 110.

도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 동작 상태를 보여주는 도면이다.4 and 5 are views showing an operating state of the scribing apparatus according to the present invention.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 스크라이빙 장치는 모 기판(1)상에 형성되는 스크라이브 라인들의 진행 방향에 따라 스크라이빙 휠(130)의 회전 축(Axis) 방향이 서로 반대 방향을 향하도록 스크라이빙 휠(130)을 회전시킬 수 있다. 보다 구체적으로 설명하면, 먼저, 모 기판(1)상에 단위 기판들이 배열된 제 1 방향 및 제 2 방향 중 어느 일 방향의 일 측을 향해 스크라이브 라인을 형성한다.(도 4) 이후, 모 기판(1)의 평면에 수직한 자기 중심 축을 중심으로 스크라이버를 180° 회전시키고, 형성된 스크라이브 라인에 평행하도록 어느 일 방향의 타 측을 향해 스크라이브 라인을 형성한다. 4 and 5, in the scribing apparatus according to the present invention, the axis of rotation of the scribing wheel 130 is oriented with each other according to the advancing direction of the scribe lines formed on the mother substrate 1. The scribing wheel 130 may be rotated to face in the opposite direction. More specifically, first, a scribe line is formed on one side of one of the first and second directions in which the unit substrates are arranged on the mother substrate 1 (FIG. 4). The scriber is rotated 180 degrees about the magnetic center axis perpendicular to the plane of (1), and a scribe line is formed toward the other side in one direction so as to be parallel to the formed scribe line.

이와 같은 구성 및 동작에 의해, 스크라이브 라인의 형성 방향(도 4 및 도 5의 기판 진행 방향의 반대 방향)에 무관하게 스크라이빙 휠(130)의 방향성을 일정 하게 유지할 수 있다. 여기서, 스크라이빙 휠(130)의 방향성이라 함은, 스크라이빙 휠(130)의 회전 방향을 이르는 것으로, 도 4의 경우 스크라이빙 휠(130)은 반시계 방향으로 회전하고 있으며, 도 5의 경우에도 지면의 반대쪽에서 보았을 때 스크라이빙 휠(130)이 반시계 방향으로 회전하고 있다. 이와 같이, 스크라이브 라인의 형성 방향에 무관하게 스크라이빙 휠(130)의 방향성을 일정하게 유지할 수 있게 되면, 스크라이빙 공정에 종래에는 두 개의 스크라이빙 휠이 사용되던 것을 한 개의 스크라이빙 휠로 줄일 수 있게 된다. 그리고, 동시에 여러 개의 스크라이브 라인을 형성하고자 하는 경우에도 스크라이빙 장치들의 설치 공간을 줄일 수 있기 때문에, 보다 많은 수의 스크라이빙 장치를 설치할 수 있는 이점이 있다.By such a configuration and operation, the directionality of the scribing wheel 130 can be kept constant regardless of the direction in which the scribe line is formed (the direction opposite to the substrate advancing direction of FIGS. 4 and 5). Here, the directionality of the scribing wheel 130 is to reach the rotation direction of the scribing wheel 130, in the case of Figure 4 the scribing wheel 130 is rotated counterclockwise, Also in case of 5, the scribing wheel 130 is rotated counterclockwise when viewed from the opposite side of the ground. As such, when the directionality of the scribing wheel 130 can be kept constant regardless of the direction in which the scribe line is formed, one scribing is performed in which two scribing wheels were conventionally used in the scribing process. It can be reduced by the wheel. In addition, even when it is desired to form a plurality of scribe lines at the same time, since the installation space of the scribing devices can be reduced, there is an advantage that a larger number of scribing devices can be installed.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications and changes without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

도 1은 모 기판의 일 예를 보여주는 도면이다.1 is a diagram illustrating an example of a mother substrate.

도 2는 본 발명에 따른 기판 절단 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다.2 is a view schematically showing the configuration of a substrate cutting device according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 일 예를 개략적으로 보여주는 도면이다.3 is a view schematically showing an example of a scribing apparatus according to the present invention.

도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 스크라이빙 장치의 동작 상태를 보여주는 도면이다.4 and 5 are views showing an operating state of the scribing apparatus according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

100 : 스크라이버 130 : 스크라이빙 휠100: scriber 130: scribing wheel

200 : 회전 구동 유닛 210 : 몸체200: rotation drive unit 210: body

212 : 베어링 220 : 구동 부재212: bearing 220: drive member

230 : 동력 전달 부재 232 : 구동 풀리230: power transmission member 232: drive pulley

234 : 벨트234: Belt

Claims (14)

삭제delete 모 기판에 형성된 단위 기판을 분리하기 위한 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이빙 장치에 있어서,A scribing apparatus for forming a scribe line for separating the unit substrate formed on the parent substrate, 상기 모 기판상에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이버와;A scriber for forming a scribe line on the mother substrate; 상기 모 기판의 평면에 수직한 상기 스크라이버의 자기 중심 축을 중심으로 상기 스크라이버를 회전시키는 회전 구동 유닛을 포함하며,A rotation drive unit for rotating the scriber about a magnetic center axis of the scriber perpendicular to the plane of the parent substrate, 상기 스크라이버는,The scriber, 상기 모 기판에 접촉되어 회전하는 스크라이빙 휠과;A scribing wheel that contacts and rotates the mother substrate; 상기 스크라이빙 휠을 회전 가능하게 지지하는 지지체와;A support for rotatably supporting the scribing wheel; 상기 지지체의 상부에 일체를 이루도록 고정되며, 스크라이브 라인의 형성시 상기 스크라이빙 휠이 일정한 힘으로 상기 모 기판을 누를 수 있도록 상기 지지체를 아래 방향으로 누르는 누름 부재를 포함하되,It is fixed to be integrally formed on the upper portion of the support, and includes a pressing member for pressing the support downwards so that the scribing wheel can press the mother substrate with a constant force when forming a scribe line, 상기 회전 구동 유닛은 상기 누름 부재를 회전시키는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And the rotation drive unit rotates the pressing member. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 회전 구동 유닛은,The rotation drive unit, 구동 부재와;A drive member; 상기 구동 부재의 구동력을 상기 누름 부재로 전달하는 동력 전달 부재와;A power transmission member for transmitting a driving force of the driving member to the pressing member; 상기 누름 부재를 회전 가능하게 지지하는 지지 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And a support member for rotatably supporting the pressing member. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 구동 부재는 회전 구동력을 제공하는 모터인 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And said drive member is a motor for providing a rotational driving force. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 동력 전달 부재는,The power transmission member, 상기 모터의 회전 축에 결합된 구동 풀리와;A drive pulley coupled to the rotational shaft of the motor; 상기 구동 풀리와 상기 누름 부재에 감겨지며, 상기 구동 풀리로부터 상기 누름 부재로 회전력을 전달하는 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And a belt wound around the driving pulley and the pressing member and transmitting a rotational force from the driving pulley to the pressing member. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 지지 부재는,The support member, 상부 및 하부가 개방된 통 형상의 몸체와;A cylindrical body having an upper portion and a lower portion opened; 상기 몸체의 내측에 고정되는 외륜과, 상기 외륜에 대해 회전 가능하게 설치되고 상기 누름 부재가 삽입되는 내륜을 가지는 베어링을 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.And a bearing having an outer ring fixed inside the body and an inner ring rotatably installed with respect to the outer ring and into which the pressing member is inserted. 삭제delete 모 기판에 형성된 단위 기판을 분리하기 위한 스크라이브 라인을 형성하는 방법에 있어서,In the method for forming a scribe line for separating the unit substrate formed on the parent substrate, 상기 모 기판상에 형성되는 스크라이브 라인들의 진행 방향에 따라 스크라이빙 휠의 회전 축(Axis) 방향이 서로 반대 방향을 향하도록 스크라이빙 휠을 회전시키되,Rotate the scribing wheel so that the axis of rotation (Axis) of the scribing wheel is opposite to each other according to the advancing direction of the scribe lines formed on the mother substrate, 상기 모 기판상에 상기 단위 기판들이 배열된 제 1 방향 및 제 2 방향 중 어느 일 방향의 일 측을 향해 스크라이브 라인을 형성하고, Forming a scribe line on one side of the first direction and the second direction in which the unit substrates are arranged on the mother substrate; 상기 모 기판의 평면에 수직한 자기 중심 축을 중심으로 상기 스크라이버를 180° 회전시키고,Rotate the scriber 180 ° about a magnetic center axis perpendicular to the plane of the parent substrate, 상기 형성된 스크라이브 라인에 평행하도록 상기 어느 일 방향의 타 측을 향해 스크라이브 라인을 형성하는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.A scribing method, characterized in that for forming a scribe line toward the other side of the one direction to be parallel to the formed scribe line. 복수 개의 단위 기판들이 형성된 모 기판이 로딩되는 로딩부와;A loading unit to which a mother substrate on which a plurality of unit substrates are formed is loaded; 상기 로딩부로부터 전달받은 상기 모 기판에 스크라이브 라인을 생성하는 스 크라이빙부와;A scribing unit generating a scribe line on the mother substrate received from the loading unit; 상기 모 기판에 생성된 스크라이브 라인을 따라 상기 모 기판을 단위 기판으로 분리하는 브레이킹부와;Breaking unit for separating the parent substrate into a unit substrate along the scribe line generated in the parent substrate; 분리된 상기 단위 기판들을 언로딩하는 언로딩부를 포함하되,Including an unloading unit for unloading the separated unit substrate, 상기 스크라이빙부는,The scribing unit, 상기 모 기판상에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이버와;A scriber for forming a scribe line on the mother substrate; 상기 모 기판의 평면에 수직한 상기 스크라이버의 자기 중심 축을 중심으로 상기 스크라이버를 회전시키는 회전 구동 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.And a rotation drive unit for rotating the scriber about a magnetic center axis of the scriber perpendicular to the plane of the parent substrate. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 스크라이버는,The scriber, 상기 모 기판에 접촉되어 회전하는 스크라이빙 휠과;A scribing wheel that contacts and rotates the mother substrate; 상기 스크라이빙 휠을 회전 가능하게 지지하는 지지체와;A support for rotatably supporting the scribing wheel; 상기 지지체의 상부에 일체를 이루도록 고정되며, 스크라이브 라인의 형성시 상기 스크라이빙 휠이 일정한 힘으로 상기 모 기판을 누를 수 있도록 상기 지지체를 아래 방향으로 누르는 누름 부재를 포함하되,It is fixed to be integrally formed on the upper portion of the support, and includes a pressing member for pressing the support downwards so that the scribing wheel can press the mother substrate with a constant force when forming a scribe line, 상기 회전 구동 유닛은 상기 누름 부재를 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.And the rotation drive unit rotates the pressing member. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 회전 구동 유닛은,The rotation drive unit, 구동 부재와;A drive member; 상기 구동 부재의 구동력을 상기 누름 부재로 전달하는 동력 전달 부재와;A power transmission member for transmitting a driving force of the driving member to the pressing member; 상기 누름 부재를 회전 가능하게 지지하는 지지 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.And a support member for rotatably supporting the pressing member. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 구동 부재는 회전 구동력을 제공하는 모터인 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.And the drive member is a motor that provides a rotational driving force. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 동력 전달 부재는,The power transmission member, 상기 모터의 회전 축에 결합된 구동 풀리와;A drive pulley coupled to the rotational shaft of the motor; 상기 구동 풀리와 상기 누름 부재에 감겨지며, 상기 구동 풀리로부터 상기 누름 부재로 회전력을 전달하는 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.And a belt wound around the driving pulley and the pressing member and transmitting a rotational force from the driving pulley to the pressing member. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 지지 부재는,The support member, 상부 및 하부가 개방된 통 형상의 몸체와;A cylindrical body having an upper portion and a lower portion opened; 상기 몸체의 내측에 고정되는 외륜과, 상기 외륜에 대해 회전 가능하게 설치되고 상기 누름 부재가 삽입되는 내륜을 가지는 베어링을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.And a bearing having an outer ring fixed inside the body and an inner ring rotatably mounted to the outer ring and into which the pressing member is inserted.
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