KR100932522B1 - 마이크로 히터를 이용한 금속 산화물 나노 소재의 선택적증착방법 및 이를 이용한 가스센서 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 마이크로 히터를 이용하여 금속 산화물 나노 소재를 선택적으로 증착하는 방법에 있어서,중앙영역이 제거된 기판을 제공하는 단계와,상기 기판의 상부에 멤브레인을 형성하는 단계와,상기 중앙영역 부분의 상기 멤브레인 상부에 마이크로히터 전극을 형성하는 단계와,상기 마이크로히터 전극을 감싸는 절연막을 상기 멤브레인의 상부에 형성하는 단계와,상기 마이크로히터 전극 부분의 절연막 상부에 감지 전극을 형성하는 단계와,상기 금속 산화물 나노 소재에 대응하는 금속 산화물 전구체와 촉매를 혼합하여 용액을 제조하는 단계와,상기 용액에 상기 기판을 침수시키는 단계와,상기 마이크로히터 전극을 통해 상기 금속 산화물 나노 소재가 성장될 부분에만 특정 온도를 유지함으로써 상기 금속 산화물 나노 소재를 성장시키는 단계와,성장된 상기 금속 산화물 나노 소재에 대해 산소 플라즈마 또는 UV/O3 처리를 수행하는 단계를 포함하는, 금속 산화물 나노 소재의 선택적 증착방법.
- 삭제
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- 제1항에 있어서,성장된 상기 금속 산화물 나노 소재에 대해 상기 마이크로히터 전극을 이용한 급속 열처리를 수행하는 단계를 더 포함하는, 금속 산화물 나노 소재의 선택적 증착방법.
- 삭제
- 마이크로 히터를 이용하여 금속 산화물 나노 소재를 선택적으로 증착하는 방법에 있어서,중앙영역이 제거된 기판을 제공하는 단계와,상기 기판의 상부에 멤브레인을 형성하는 단계와,상기 중앙영역 부분의 상기 멤브레인 상부에 마이크로히터 전극을 형성하는 단계와,상기 마이크로히터 전극을 감싸는 절연막을 상기 멤브레인의 상부에 형성하는 단계와,상기 마이크로히터 전극 부분의 절연막 상부에 감지 전극을 형성하는 단계와,발열체를 갖는 반응로 내부에 상기 기판과 반응소스를 이격시켜 배치하는 단계와,상기 발열체를 통해 상기 반응소스를 가열하고 상기 마이크로히터 전극을 통해 상기 기판에서 상기 금속 산화물 나노 소재가 성장될 부분에만 가열하는 단계와,상기 반응로에 비활성 운반가스를 유입하는 단계를 포함하는, 금속 산화물 나노 소재의 선택적 증착방법.
- 제6항에 있어서,상기 반응소스는 금속산화물 분말 또는 금속산화물의 성분요소인 금속 분말이며, 상기 반응소스의 가열 온도는 800~1000℃ 인, 금속 산화물 나노 소재의 선택적 증착방법.
- 제6항에 있어서,상기 비활성 운반가스는 아르곤(Ar)이며, 상기 비활성 운반가스의 유량은 성 장 시간동안 일정하게 유지되는, 금속 산화물 나노 소재의 선택적 증착방법.
- 마이크로 히터를 이용하여 금속 산화물 나노 소재를 선택적으로 증착하는 방법에 있어서,중앙영역이 제거된 기판을 제공하는 단계와,상기 기판의 상부에 멤브레인을 형성하는 단계와,상기 중앙영역 부분의 상기 멤브레인 상부에 마이크로히터 전극을 형성하는 단계와,상기 마이크로히터 전극을 감싸는 절연막을 상기 멤브레인의 상부에 형성하는 단계와,상기 마이크로히터 전극 부분의 절연막 상부에 감지 전극을 형성하는 단계와,진공 챔버내부에 상기 기판과 타겟을 이격시켜 배치하는 단계와,비활성가스 또는 산화성 가스로 상기 진공 챔버를 채우는 단계와,상기 마이크로히터 전극을 통해 상기 기판에서 상기 금속 산화물 나노 소재가 성장될 부분에만 가열하는 단계와,레이져를 상기 타겟에 입사하여 플룸을 발생시키는 단계를 포함하는, 금속 산화물 나노 소재의 선택적 증착방법.
- 제9항에 있어서,상기 타겟은 금속산화물 분말 또는 금속산화물의 성분요소인 금속 분말인, 금속 산화물 나노 소재의 선택적 증착방법.
- 제1항, 제4항, 제6항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따라 증착된 금속 산화물 나노 소재를 이용하는 가스센서.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070126490A KR100932522B1 (ko) | 2007-12-07 | 2007-12-07 | 마이크로 히터를 이용한 금속 산화물 나노 소재의 선택적증착방법 및 이를 이용한 가스센서 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR1020070126490A KR100932522B1 (ko) | 2007-12-07 | 2007-12-07 | 마이크로 히터를 이용한 금속 산화물 나노 소재의 선택적증착방법 및 이를 이용한 가스센서 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090059568A KR20090059568A (ko) | 2009-06-11 |
KR100932522B1 true KR100932522B1 (ko) | 2009-12-17 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1020070126490A KR100932522B1 (ko) | 2007-12-07 | 2007-12-07 | 마이크로 히터를 이용한 금속 산화물 나노 소재의 선택적증착방법 및 이를 이용한 가스센서 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100932522B1 (ko) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8865114B2 (en) | 2009-07-07 | 2014-10-21 | Korea Advanced Institute Of Science And Technology | Method for manufacturing nanostructure and nanostructure manufactured by the same |
KR101105824B1 (ko) * | 2009-07-07 | 2012-01-18 | 한국과학기술원 | 나노구조물 제조방법, 이에 의하여 제조된 나노구조물, 이를 위한 제조장치, 및 이를 포함하는 가스 및 uv 센서 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20060076922A (ko) * | 2004-12-29 | 2006-07-05 | 엘지전자 주식회사 | 박막 가스 센서 및 그 제조 방법 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20060076922A (ko) * | 2004-12-29 | 2006-07-05 | 엘지전자 주식회사 | 박막 가스 센서 및 그 제조 방법 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR20090059568A (ko) | 2009-06-11 |
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