KR100926461B1 - 수정미소저울 노점센서를 이용한 저온에서의 상점과 이슬점구별 측정 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 저온에서의 이슬점 측정방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 수정미소저울 노점센서(quartz crystal microbalance dew-point sensor)를 이용하여 0℃ 이하의 저온에서 이슬점(dew-point)과 상점(frost-point)를 정확하게 구별하여 측정방법에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 온도를 서서히 하강시키면서 수정미소저울 노점센서(quartz crystal microbalance dew-point sensor)의 공명진동수를 측정하는 단계; 상기 공명진동수의 충격파를 관찰하는 단계; 및 상기 수정미소저울 노점센서의 공명진동수 및 상기 충격파의 관찰을 통하여 이슬점 또는 서리점을 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서를 이용한 저온에서의 상점과 이슬점 구별 측정 방법을 제공한다.

과냉각 이슬점, 수정미소저울, 노점센서, 서리점

Description

수정미소저울 노점센서를 이용한 저온에서의 상점과 이슬점 구별 측정 방법{The measurement method of distinguishing dew and frost point using quartz crystal microbalance dew-point sensor in low temperature}

본 발명은 저온에서의 이슬점 측정방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 수정미소저울 노점센서를 이용하여 0℃ 이하의 저온에서 이슬점(dew-point)과 상점(frost-point)을 정확히 구별하여 측정하는 방법에 대한 것이다.

습도측정은 환경, 음식, 농업, 의료, 자동차, 직물, 반도체기술, 바이오기술 등 수많은 분야에 있어서 매우 중요하며, 이를 위해, 임피던스, 정전용량, 광학적인 방법, 표면 음파 등을 이용한 여러 가지의 습도측정 기술들이 개발되어 왔다. 습도측정에 있어서 이슬점 측정은 일반적으로 표준방법으로 사용되고 있으며, 냉각경형태(chilled mirror type)의 노점센서는 현재에도 많은 실험실에서 교정기준기로 사용되고 있다.

반도체, 디스플레이, 초순수 가스제조 등과 같은 분야에 있어서, 다수의 공정들이 매우 낮은 압력 또는 진공환경에서 이루어지게 된다. 반도체 공정의 경우, 공정 중 잔존 가스의 일부분에 미량의 수분이 존재하더라도, 금속과 반도체 박막의 물성에 커다란 영향이 미치게 된다. 또한 디스플레이 공정의 경우에도 마찬가지로 미량의 수분이 불량을 유발하게 되므로, 극소 공간 내 ppm, ppb와 같은 미량의 수분을 측정하는 기술이 요구되고 있다.

따라서 저습환경에서의 정확한 이슬점의 측정 및 분석 기술에 대한 요구가 증가되고 있다. 현재 상용화된 이슬점 측정 장치는 -90℃까지의 이슬점 측정이 가능하지만, 저온에서의 낮은 정확도로 인하여 정확한 과냉각 이슬점의 측정이 어려움을 겪고 있다.

한 예로써, 현재 일반화되어 사용되고 있는 냉각경(chilled mirror)형태의 이슬점 측정 장치의 경우, 광학적인 방법에 의해 이슬점 형성을 측정하기 때문에 3㎍/㎠ 이상의 이슬이 생겨야 노점측정이 가능하다. 또한, 0℃ 내지 -40℃ 사이의 저온에서 이슬점을 측정하는 경우, 액상의 이슬이 발생할 수도 있지만, 고상의 서리가 발생할 수도 있는데 이를 구분하기가 쉽지 않다. 0℃ 이하에서 형성된 물방울이 액상의 이슬인지 고상의 서리인지에 따라 측정되는 이슬점(또는 서리점)의 온도는 많은 오차(약 4℃)가 발생하게 되며 정확히 측정이 되지 않을 수 있다. 이러한 오차를 없애기 위한 많은 방법들이 강구되고 있지만 현재까지도 많은 해결책이 요구되고 있다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 수정미소저울 노점센서를 이용한 과냉각 이슬점 인식의 새로운 방법을 제시하고, 0℃ 이하의 저온에서 과냉각 이슬점과 서리점을 정확히 구분하여 측정할 수 있는 저온에서의 이슬점 측정방법을 제공하는 데 목적이 있다.

또한 본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 수정미소저울 노점센서를 이용하여, 새로운 부가적인 시스템없이 한 번의 진동주파수 스캔으로 이슬점, 과냉각 이슬점 및 서리점을 정확히 구별할 수 있는 저온에서의 이슬점 측정방법을 제공하는데 목적이 있다.

상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명은 온도를 서서히 하강시키면서 수정미소저울 노점센서(quartz crystal microbalance dew-point sensor)의 공명진동수를 측정하는 단계; 상기 공명진동수의 충격파를 관찰하는 단계; 및 상기 수정미소저울 노점센서의 공명진동수 및 상기 충격파의 관찰을 통하여 이슬점 또는 서리점을 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서를 이용한 저온에서의 상점과 이슬점 구별 측정 방법을 제공한다.

상기 수정미소저울 노점센서의 수정진동자 공명진동수를 온도를 감소시키며 관찰할 때, 상기 수정진동자의 공명진동수 패턴에서 충격파와 공명진동수의 전이현상이 나타나는 경우에는, 상기 온도를 이슬점이라 판단하고, 충격파와 공명진동수 의 전이현상이 관측되지 않을 경우에는, 상기 온도를 상점이라고 판단하는 것을 특징으로 한다.

상기 수정미소저울 노점센서는 수정진동자(quartz resonator), 펠티어 냉각소자(Peltier cooler device), 수정진동자 홀더 및 백금저항온도소자(platinum resistance temperature sensor)로 이루어진 것일 수 있다.

상기 온도를 서서히 하강시키는 것은 상기 펠티어 냉각소자를 이용하여 상기 수정진동자의 온도를 조절하여 수행되고, 상기 펠티어 냉각소자에 의해 하강되는 온도가 상기 수정진동자 홀더를 통해 상기 수정진동자로 전해짐으로써, 상기 수정진동자의 온도가 조절될 수 있다.

상기 수정진동자 홀더는 구리로 만들어지고, 상기 수정진동자 홀더의 온도 측정을 위해 상기 수정진동자의 일면에 백금저항온도소자가 부착될 수 있다.

수정진동자의 공명진동수는 동축케이블을 이용하여 신호를 컴퓨터로 전송되게 하며, 컴퓨터에 의해 온도의 함수로 저장되게 할 수 있다.

본 발명에 따른 저온에서의 이슬점 측정방법은 수정미소저울 노점센서를 사용하여 세 가지의 물방울 형태, 즉, 서리, 과냉각 이슬, 및 이슬에 대해 정확히 구별하여 측정할 수 있는 장점이 있다.

나아가서, 수정진동자의 특징적인 진동수 현상으로 저온에서의 과냉각 이슬점을 확인할 수 있으며, 추가적인 장치없이 한 번의 공명진동수 스캔으로 과냉각 이슬점과 서리점을 정확히 측정할 수 있는 효과가 있다.

첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 실시 예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 이하 설명되어지는 실시 예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고 도면들에 있어서, 층 및 영역의 길이, 두께 등은 편의를 위하여 강조되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.

도 1은 본 발명에 따른 수정미소저울 노점센서의 단면도로서, 상기 수정미소저울 노점센서의 단면도를 사용하여 수정미소저울 노점센서를 이용한 저온에서의 상점과 이슬점 구별 측정기술을 하기와 같이 설명한다.

도면을 참조하면, 수정미소저울 노점센서의 수정진동자의 온도를 서서히 하강시키면서 상기 수정미소저울 노점센서의 공명진동수를 측정한다. 상기 수정미소저울 노점센서는 수정진동자(quartz resonator; 10), 펠티어 냉각소자(Peltier cooler device; 20), 수정진동자 홀더(30) 및 백금저항온도소자(platinum resistance temperature sensor; 40)로 이루어진 것일 수 있다.

상기 수정미소저울 노점센서의 온도를 서서히 하강시키는 것은 상기 펠티어 냉각소자(20)를 사용하여 상기 수정진동자(10)의 온도를 조절해줌으로써 수행할 수 있다. 상세히 말하면, 상기 펠티어 냉각소자(20)가 상기 수정진동자 홀더(30)의 아래 면에 접촉하여 위치하고, 상기 수정진동자 홀더(30)는 상기 수정진동자(10)의 가장자리에 접촉하여 위치한다. 따라서 상기 펠티어 냉각소자(20)로 인해 하강하는 온도가 상기 수정진동자 홀더(30)를 통해 상기 수정진동자(10)로 전해짐으로써 상기 수정진동자(10)의 온도를 조절할 수 있다.

상기 펠티어 냉각소자(20)로부터 효율적인 온도 전달을 위해 상기 수정진동자 홀더(30)는 열전도율이 높은 물질로 형성된 것이 바람직하며, 예를 들어, 구리로 제작할 수 있다.

상기 수정진동자 홀더(30)의 일면에는 백금저항온도소자(40)를 부착하여 상기 수정진동자 홀더(30)의 온도를 측정한다. 상기 측정된 수정진동자 홀더(30)의 온도는 상기 펠티어 냉각소자(20)와 연결된 온도조절기(60)의 입력값으로 사용된다.

상기 온도조절기(60)에 입력된 값을 피드백 함으로써 상기 온도조절기(60)의 전류출력을 조절하여 상기 펠티어 냉각소자(20)의 냉각판의 온도를 정확히 조절하며 서서히 하강시킨다. 상기 온도를 서서히 하강시키는 것은 0℃ 이하 -60℃ 이상의 온도 범위에서 수행하는 것일 수 있다.

또한, 20℃ 내지 -30℃의 온도 범위에서 상기 수정진동자 홀더(30)의 보다 미세한 온도 조절이 가능하기 위해서는 상기 펠티어 냉각소자(20)의 밑면에서 발생하는 열을 효과적으로 제거할 수 있어야 한다. 이를 위해 냉각액이 순환하는 구리 재질의 열 흡수장치(heat sink ; 50)를 상기 펠티어 냉각소자(20)의 하부에 배치할 수 있다.

상기 펠티어 냉각소자(20) 및 상기 열 흡수장치(50)는 소자 및 장치 자체의 온도변화가 이슬점 측정에 영향을 주지 않도록, 이슬점 측정 공간과는 단열시키는 것이 바람직하다.

상기 수정진동자(10)는 금전극 표면을 가진다. 상기 수정미소저울 노점센서의 공명진동수를 측정하는 것은 상기 수정진동자(10)의 공명진동수를 측정함으로써 이루어진다. 즉, 상기 펠티어 냉각소자(20) 및 상기 수정진동자 홀더(30)로 인해 상기 수정진동자(10)의 온도가 서서히 하강되면, 상기 수정진동자(10)의 금전극 표면의 온도가 하강된다. 교류가 연결된 상기 수정진동자(10)의 금전극 표면에는 물분자의 응결현상이 유도되며, 그에 따라 상기 수정진동자(10)의 공명진동수의 변화가 측정된다. 즉, 상기 수정진동자(10)의 금전극 표면 온도의 하강에 따라 이슬이 맺히기 시작하고, 이슬이 맺히기 시작하면서부터 상기 공명진동수 가 감소하는 형태를 보일 수 있다.

이슬이 맺히는 온도를 효율적으로 측정하기 위해, 상기 공명진동수의 측정은 짧은 시간 간격으로 하는 것이 바람직하며, 예를 들어 0.5초의 시간 간격으로 수정진동자 홀더(30)의 온도 및 상기 수정진동자(10)의 공명진동수를 측정할 수 있다. 상기 공명진동수의 측정은 상기 수정진동자(10)와 연결된 진동수 측정회로선(70)이 외부의 주파수 카운터 장치와 연결됨으로써 수행될 수 있다.

온도 하강이 계속되면, 상기 수정진동자(10)의 공명진동수 감소가 지속되다가 어느 순간 충격파가 관찰된다. 이는 이슬이 맺히는 양이 증가한 경우, 액상의 무게 따른 관성에 의해서, 상기 액상이 상기 수정진동자(10)의 진동과 공조할 수 없는 단계에 이르렀음을 의미한다. 즉, 상기 수정진동자(10)가 어느 한 방향으로 진동을 하는 경우 액상이 그 진동과 동시에 함께 움직이는 것이 아니라, 관성에 의 해 기존의 방향으로 이동하려고 하는 액상의 성질 때문에 함께 진동하지 않게 되는 것이다.

따라서 온도에 따른 진동의 변화가 교란(perturbation)되어 상기 공명진동수의 그래프에서는 불규칙하게 급격한 피크를 보이게 된다. 결국, 상기 피크가 관찰되는 경우 수정진동자 금전극 표면에 형성된 물분자의 응결체가 액상의 이슬임을 판단할 수 있게 되며, 상기 수정미소저울의 공명진동수 및 상기 충격파가 관찰된 진동수 영역에서 정확하게 이슬점을 결정할 수 있다.

서리가 형성되어도 고체이기 때문에 급격한 공명진동수의 감소가 관측되게 된다. 따라서 공명진동수의 급격한 감소패턴만으로는 이슬점이 형성되는지 서리점이 형성되는지는 정확히 파악할 수 없지만, 상기와 같은 공명진동수의 교란이 나타나게 되면 이는 이슬점이라 판단할 수 있고 물방울 응결체가 형성된 후 공명진동수의 감소영역에서 상기 충격파가 관찰이 되지 않는 경우에는 고상의 서리가 형성되어 있음을 의미한다. 이럴 경우 서리가 수정진동자 금전극 표면에 달라붙어 있어 액상의 이슬형성 때와는 물 응결체의 관성효과가 나타나지 않아 충격파 패턴이 나타나지 않기 때문이다.

도 2 내지 도 4의 실시 예들을 참조하여 서리점, 과냉각 이슬점 및 이슬점의 측정방법을 하기와 같이 설명한다.

도 2는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 -50℃의 얼음을 이용해 포화시킨 습공기에 대한 수정진동자의 표면온도에 따른 공명진동수 특성을 나타낸 그래프이다.

도면을 참조하면, - 50℃± 0.2℃의 온도 이하에서부터 급속히 공명진동수가 감소하기 시작함을 알 수 있다. 상기 온도는 본 실시 예에서 사용한 습도발생장치 포화조의 얼음 온도로써, 이를 통해 상기 온도는 서리점임을 알 수 있다.

즉, 수정진동자의 표면에서 공명진동수를 감소시킨 작은 물방울들의 상태는 얼음임을 의미한다. 또한, 공기 중 물 분자의 추가적인 흡수로 진동이 지속적으로 일정하게 감소되는 것도 보여준다. 왜냐하면 얼음은 강체(rigid)라 볼 수 있으므로 수정진동자의 표면의 진동운동을 함께하는 것으로 볼 수 있기 때문이다. 진동이 일정하게 감소함을 볼 때, 수정진동자의 표면과 얼음층의 계면의 편차는 무시 가능함을 알 수 있다.

-30℃에서 -60℃ 사이의 서리점 측정 시 동일한 경향을 보이며, 상기의 결과를 볼 때 상기 온도 내의 서리점이 측정 가능함을 알 수 있다.

도 3은 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 -10℃의 얼음 상의 포화수증기에 대해 수정진동자의 표면온도에 따른 공명주파수 특성을 나타낸 그래프로써, 0℃ 내지 -30℃ 서리점의 구간에서 과냉각 이슬점 및 서리점을 가지는 포화수증기에 대한 특성을 나타낸 것이다.

도면을 참조하면, 본 실시 예에서 사용한 수증기는 -10℃에의 얼음을 이용해 포화시킨 습공기이며, 수증기분압은 2.597mbar이다. 수정의 표면에 미세 물방울이 나타나기 시작한 것은 -11.2℃이며, 이것은 서리가 아닌, 과냉각된 이슬임을 알 수 있다. 왜냐하면 물이 액상에서 포화수증기압은 -11.2℃에서 약 2.605mbar이고, 얼음 상에서 포화수증기압은 -11.2℃에 대해 2.335mbar이다. 또한, 액체 상태인 물에 대해 -50℃ ~ 0℃의 온도범위에서 0.3%의 포화수증기압의 상대적인 불확도를 가진 다.

즉, 상기의 포화수증기압의 수치적인 차이 및 공명진동수 곡선의 이슬점/서리점의 해석 오차를 비교해볼 때, 0℃ 이하의 물 상에서의 불확도는 포화수증기압과 관련이 있으며, 측정된 과냉각 이슬점의 정확도와는 상관이 없다고 볼 수 있다. 따라서 측정된 온도가 액체 상태로 판단함에 오차나 무리가 없음을 알 수 있다.

상기 수정진동자의 표면온도에 대한 공명진동수 곡선은 상기 수정진동자의 표면에 형성된 미세 물방울의 형상이 다른 3가지의 구간으로 나뉨을 볼 수 있다.

구간 Ⅰ의 경우, 수정진동자 표면에 형성된 미세한 물방울은 그 질량에 대한 관성 또한 작아서 무시가 가능하므로, 물방울의 운동은 수정진동자 표면의 진동운동과 함께한다. 다시 말하면, 수정진동자의 표면에서 물방울이 미끄러진다 하더라도 그것은 상기 수정진동자의 진동 주기보다 더 짧다는 것을 의미한다. 이것은 구간 Ⅰ에서 보여주는 것처럼 공명진동수가 일정하게 감소하는 경향을 보여준다.

구간 Ⅱ의 경우, 수정진동자의 표면에 응집된 액상 크기의 영향으로 액상의 관성을 무시할 수 없는 순간, 물 분자의 응집이 지속되어 액상의 미끄러짐(sliding) 현상이 발생하게 되어, 액상이 무게 따른 관성에 의해 수정진동자의 진동과 공조할 수 없는 단계에 이르렀음을 보여준다.

상기 도 1에서 설명한 바와 같이, 액상이 수정진동자의 진동과 동시에 함께 움직이는 것이 아니라, 액상이 관성에 의해 기존의 방향으로 이동하려고 하는 성질 때문에 수정진동자와 함께 진동하지 않고 순간적으로 미끄러짐 현상이 발생하게 되어, 수정진동자의 공명진동수가 튀는 현상을 보이게 되는 것이다. 이 피크가 관찰 되는 경우 이슬점이라 판단할 수 있다.

구간 Ⅲ의 경우, 공명진동수의 홉핑(hopping) 구간이 사라지면서 다시 일정한 감소를 보이므로, 더 이상 물방울의 미끄러짐 현상이 나타나지 않는다는 것을 알 수 있다. 수정진동자의 빠른 진동운동의 결과 수정진동자 표면에 형성된 과냉각이슬체에 역학적인 교란이 발생하여 빠른 시간 안에 과냉각이슬에서 서리로의 상전이가 일어나게 되는 것이다. 즉, 역학적인 교란은 전이의 속도를 가속화시켰음을 알 수 있다.

상기의 과냉각 이슬에서 서리로의 전이의 현상은 기존의 냉각경으로는 측정 불가능할 수 있다. 예를 들어, 구간 Ⅱ의 경우 온도저하 속도가 0.1℃/sec이므로 전이 속도는 1분도 안 되는 것을 알 수 있으며, 이러한 속도는 광학적 방법인 냉각경에서는 수 시간에 걸쳐 일어날 수도, 안 일어 날 수도 있는 현상이기 때문에 이슬점과 서리점의 정확한 구별 측정이 불가능하다. 따라서 본 실시 예에서 한 번의 온도하강에 따른 공명진동수 스캔으로도 서리점 및 과냉각 이슬의 이슬점을 모두 정확하게 구분하여 측정이 가능함을 알 수 있다.

도 4는 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 6.3℃의 물에 대한 포화수증기압을 가지고있는 습공기에 대해 수정진동자의 표면온도에 따른 공명진동수 특성을 나타낸 그래프이다.

도면을 참조하면, 내부에 삽입된 그래프에서 보듯이 물방울의 응결온도가 6.25℃± 0.22℃이며 이는 상온이기 때문에 관측된 점이 이슬점임을 알 수 있다. 도 3과 같은 전이 영역이 나타나지 않음을 알 수 있다. 왜냐하면, 수정진동자의 표 면온도가 0℃ 이하로 충분이 감소되지 않았기 때문에 과냉각 이슬이 발생하지 않으며, 이는 전이 조건이 되지 않기 때문으로 분석할 수 있다.

이슬이 생긴 경우에는 상기 과냉각이슬이 형성되었을 경우와 마찬가지로 물방울의 관성효과에 의해 미끄러짐 현상이 발생할 수 있음을 알 수 있다. 도 4에서 보는 바와 같이 액상의 물응결체가 수정진동자 표면에 형성된 후 공명진동수가 빠르게 감소하는 것은 공기 중의 높은 수증기 분압으로 인해 물분자의 빠른 응집이 야기되어, 수정진동자에 가중되는 질량이 빠르게 증가하였기 때문이다. 점선 원형 내부의 영역처럼 공명진동수의 변동(fluctuation) 영역은 물방울들의 미끄러짐 현상과 질량의 과적으로 인한 공명진동수를 측정하기 위해 제작된 진동회로의 상-고정(phase-lock)조건이 파괴되었기 때문에 나타난다고 설명할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 수정미소저울 노점센서의 단면도

도 2는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 -50℃의 얼음에 대해 포화시킨 습공기에 대한 수정진동자의 표면온도에 따른 공명진동수 특성을 나타낸 그래프

도 3은 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 -10℃의 얼음에 대해 포화시킨 습공기에 대한 수정진동자의 표면온도에 따른 공명진동수 특성을 나타낸 그래프

도 4는 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 6.3℃의 물에 대해 포화시킨 습공기에 대한 수정진동자의 표면온도에 따른 공명진동수 특성을 나타낸 그래프

* 도면의 주요 부분에 대한 도면 부호의 설명 *

10; 수정진동자, 20; 펠티어 냉각소자,

30; 수정진동자 홀더, 40; 백금저항온도소자

Claims (9)

1. 온도를 서서히 하강시키면서 수정미소저울 노점센서(quartz crystal microbalance dew-point sensor)의 공명진동수를 측정하는 단계;

   상기 공명진동수의 충격파를 관찰하는 단계; 및

   상기 수정미소저울 노점센서의 공명진동수 및 상기 충격파의 관찰을 통하여 이슬점 또는 서리점을 결정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서를 이용한 저온에서의 상점과 이슬점 구별 측정 방법.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 수정미소저울 노점센서의 수정진동자 공명진동수를 온도를 감소시키며 관찰할 때, 상기 수정진동자의 공명진동수 패턴에서 급격한 감소패턴이 나타나는 시점의 온도를 이슬점 또는 상점이라고 판단하되,

   공명진동수의 온도에 따른 변화 양상이 임의의 형태에서 그와는 다른 형태로 변화가 이루어지는 현상을 전이현상이라 할 때,

   충격파와 공명진동수의 전이현상이 나타나는 경우에는, 상기 온도를 이슬점이라 판단하고,

   충격파와 공명진동수의 전이현상이 관측되지 않을 경우에는, 상기 온도를 상점이라고 판단하는 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서를 이용한 저온에서의 상점과 이슬점 구별 측정 방법.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 공명진동수의 충격파가 관찰되기 전에, 상기 공명진동수는 일정하게 감소하는 것을 특징으로 하는 저온에서의 이슬점 측정 방법.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 공명진동수의 충격파를 관찰한 후에, 상기 공명진동수는 다시 일정하게 감소하는 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서를 이용한 저온에서의 상점과 이슬점 구별 측정 방법.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 온도를 서서히 하강시키는 것은 0℃ 이하 -90℃ 이상의 온도 범위에서 수행하는 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서를 이용한 저온에서의 상점과 이슬점 구별 측정 방법.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 수정미소저울 노점센서는 수정진동자(quartz resonator), 펠티어 냉각소자(Peltier cooler device), 수정진동자 홀더 및 백금저항온도소자(platinum resistance temperature sensor)를 포함하는 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서를 이용한 저온에서의 상점과 이슬점 구별 측정 방법.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 온도를 서서히 하강시키는 것은 상기 펠티어 냉각소자를 이용하여 상기 수정진동자의 온도를 조절하여 수행되는 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센 서를 이용한 저온에서의 상점과 이슬점 구별 측정 방법.
8. 제 7 항에 있어서,

   상기 펠티어 냉각소자에 의해 하강되는 온도가 상기 수정진동자 홀더를 통해 상기 수정진동자로 전해짐으로써, 상기 수정진동자의 온도가 조절되는 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서를 이용한 저온에서의 상점과 이슬점 구별 측정 방법.
9. 제 8 항에 있어서,

   상기 수정진동자 홀더는 구리로 만들어지며, 상기 수정진동자 홀더의 온도 측정을 위해 상기 수정진동자의 일면에 백금저항온도소자가 부착되는 것을 특징으로 하는 수정미소저울 노점센서를 이용한 저온에서의 상점과 이슬점 구별 측정 방법.

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