KR100926032B1 - Time-resolved terahertz pump-probe spectrometer - Google Patents
Time-resolved terahertz pump-probe spectrometer Download PDFInfo
- Publication number
- KR100926032B1 KR100926032B1 KR1020070114647A KR20070114647A KR100926032B1 KR 100926032 B1 KR100926032 B1 KR 100926032B1 KR 1020070114647 A KR1020070114647 A KR 1020070114647A KR 20070114647 A KR20070114647 A KR 20070114647A KR 100926032 B1 KR100926032 B1 KR 100926032B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- thz
- probe
- pump
- sample
- terahertz
- Prior art date
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 66
- 229910007709 ZnTe Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 11
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 7
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0216—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using light concentrators or collectors or condensers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
- G01J3/0248—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using a sighting port, e.g. camera or human eye
Abstract
본 발명은 시간분해 THz 펌프-프로브 분광기에 관한 것으로, 특히 펨토초 레이저 빔을 3개로 분리하여 2개의 빔을 THz 프로브와 THz 펌프를 통해 샘플에 입사하여 THz파를 생성하고, THz 펌프 빔과 THz 프로브 빔이 샘플에 도달하는 시간 차이를 달리하여 시간 차이에 따른 THz 프로브 빔에 변화를 주고 샘플을 투과한 THz 프로브 빔과 제3빔을 집광하여 테라헤르츠파를 검출할 수 있도록 함으로써, 기존과 달리 테라헤르츠 주파수 영역에서 시간에 따른 테라헤르츠파의 변화량을 측정할 수 있는 시간분해 THz 펌프-프로브 분광기에 관한 것이다. 이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 펨토초 초고속 레이저빔을 생성하는 빔 생성기(10); 펨토초 초고속 레이저빔을 제1, 제2 및 제3빔으로 분리하는 제1 및 제2빔분리기(20,30); 제1빔을 이용하여 테라헤르츠파를 생성하여 샘플(100)에 입사시켜 주는 THz 프로브(40); 제2빔을 이용하여 테라헤르츠파를 생성하고 샘플(100)에 입사하여 테라헤르츠파의 주파수를 가변시켜 주는 THz 펌프(50); 및 샘플(100)을 투과한 테라헤르츠 프로브 빔과 제3빔을 집광하여 테라헤르츠파를 측정하는 측정수단(60);을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
티타늄-사파이어 레이저빔, THz 프로브, THz 펌프, 광전달 딜레이, 검출기
The present invention relates to a time-resolved THz pump-probe spectrometer, and in particular, two femtosecond laser beams are separated, and two beams are incident on a sample through a THz probe and a THz pump to generate THz waves, and a THz pump beam and a THz probe. By varying the time difference at which the beam reaches the sample, the THz probe beam is changed according to the time difference, and the THz probe beam and the third beam that have passed through the sample can be collected to detect terahertz waves. A time-resolved THz pump-probe spectrometer capable of measuring the amount of change in terahertz waves over time in the hertz frequency domain. The present invention for achieving this object, the beam generator 10 for generating a femtosecond ultra-fast laser beam; First and second beam separators 20 and 30 for separating the femtosecond ultrafast laser beam into first, second and third beams; A THz probe 40 generating a terahertz wave by using the first beam and incident the sample 100 into the sample 100; A THz pump 50 which generates a terahertz wave using the second beam and enters the sample 100 to vary the frequency of the terahertz wave; And measuring means 60 for condensing the terahertz probe beam and the third beam that have passed through the sample 100 and measuring the terahertz wave.
Titanium-Sapphire Laser Beam, THz Probe, THz Pump, Transmitter Delay, Detector
Description
본 발명은 시간분해 THz 펌프-프로브 분광기에 관한 것으로, 종래의 시간분해 펨토초 레이저 펌프-THz 프로브 분광기술보다 우수한 THz 펌프-프로브 분광기를 제공하고자 하는 것이다.The present invention relates to a time resolved THz pump-probe spectrometer, and to provide a THz pump-probe spectrometer superior to conventional time resolved femtosecond laser pump-THz probe spectroscopy.
일반적으로 테라헤르츠(THz)파는 전파와 광파의 경계 영역의 주파수로 오랫동안 도달하지 못했던 주파수 영역대였으나 최근 들어 광대역 광원과 고감도 검출 소자의 개발등 광-나노 기술의 발전에 힘입어 테라헤르츠 이미징으로 대표되는 물질 동정, 생체 계측 등의 산업 용도를 위한 새로운 분야로 개척되고 있는 분야이다.In general, the terahertz (THz) wave has been a frequency band that has not been reached for a long time at the boundary between the radio wave and the light wave. It is a field that is being pioneered as a new field for industrial use such as identification of materials and biometrics.
이러한 THz파는 전파천문과 분석과학 분야에서 매우 제한적으로 연구ㆍ이용되어 왔으나, 최근에 들어서는 공업ㆍ의료ㆍ바이오ㆍ농업ㆍ안전 분야 등 다양한 분야에 응용이 기대되고 있다.These THz waves have been researched and used in radio astronomy and analytical science in a limited manner, but they are expected to be applied to various fields such as industrial, medical, bio, agricultural, and safety in recent years.
게다가 최근에 와서는 초고속 신호처리 기술이라든가 THz파를 이용하는 장치 등의 개발이 가능해지면서 THz파 대역에 있어서도 1)THz전자파를 이용하는 광공 학(photonics) 분야, 2)THz 전자공학 분야 그리고 3)THz파 영사(Imaging) 분야로 대별되며 각 분야에서의 크게 사용이 늘어가고 있다.In addition, in recent years, it has become possible to develop ultra-high speed signal processing technology and devices using THz waves, and thus, 1) photonics field using THz electromagnetic waves, 2) THz electronic engineering field, and 3) THz waves in the THz wave band. It is roughly classified into the field of imaging and is increasingly used in each field.
광공학 분야에서는 포토믹싱(photo-mixing)을 이용하여 120GHz 대역의 무선 통신 기술이 개발로 수십 Gbps의 정보 전달이 가능하게 되었으며, 나노 기술의 발전에 힘입어서 고정밀도로 제어되는 반도체 양자우물구조의 제작이 가능하여 1.9THz대의 저주파화가 진행되고 있다.In the field of optical engineering, photo-mixing has enabled the development of wireless communication technology in the 120 GHz band, which enables the transfer of information of several tens of Gbps, and the development of semiconductor quantum well structures that are highly precisely controlled with the development of nanotechnology. The low frequency of 1.9THz band is progressing.
전자공학 분야에서는 화합물 반도체에 의한 집적회로(MMIC)라든가 고속 AD변환기의 개발도 진행되고 있다. 또한, 초전도 단일 자속양자(SFQ) 논리회로의 개발로 120GHz 대역에서 동작하는 쉬프트 레지스터라든가 160Gbps의 광 포켓 스위치의 실현으로 THz 디지털 신호처리 기술에도 활용할 수 있게 되어 무선이나 계측 응용 등의 다양하게 활용되고 있다.In the field of electronics, the development of integrated circuits (MMICs) or high-speed AD converters using compound semiconductors is also underway. In addition, the development of a superconducting single magnetic flux quantum (SFQ) logic circuit enables the shift registers operating in the 120 GHz band and the optical pocket switch of 160 Gbps to be used for THz digital signal processing technology, which is widely used in wireless and measurement applications. have.
THz 전자파를 이용하는 분야에서는, 특히 펨토초 레이저(Femto-Second Laser)의 개발에 힘입어 THz파의 시간 영역 분광법 등이 개발되면서 수십 GHz~100THz 이상의 초광대역 극초단파 펄스의 생성과 시간 영역 등의 측정을 통하여 새로운 THz 분광ㆍ영사(Imaging) 기술이 개발되고 있다.In the field of using THz electromagnetic waves, in particular, the development of the time domain spectroscopy of THz waves with the development of femto-second lasers, the generation of ultra-wideband microwave pulses over tens of GHz to 100 THz and measurement of the time domain New THz spectroscopy and imaging techniques are being developed.
그러나, 종래의 THz 분광 및 영사 기술은 THz영역에서 테라헤르츠파의 변화량을 제대로 측정할 수 없는 문제가 있다.However, conventional THz spectroscopy and projection techniques have a problem that the amount of change in terahertz waves in the THz region cannot be measured properly.
본 발명은 특히 펨토초 레이저 빔을 3개로 분리하여 2개의 빔을 THz 프로브와 THz 펌프를 통해 샘플에 입사하여 THz파를 생성하고, THz 펌프 빔과 THz 프로브 빔이 샘플에 도달하는 시간 차이를 달리하여 시간 차이에 따른 THz 프로브 빔에 변화를 주고 샘플을 투과한 THz 프로브 빔과 제3빔을 집광하여 테라헤르츠파를 검출할 수 있도록 함으로써, 기존과 달리 테라헤르츠 주파수 영역에서 시간에 따른 테라헤르츠파의 변화량을 측정할 수 있는 시간분해 THz 펌프-프로브 분광기에 관한 것이다.According to the present invention, the femtosecond laser beam is separated into three, and the two beams are incident on the sample through the THz probe and the THz pump to generate the THz wave, and by varying the time difference between the THz pump beam and the THz probe beam reaching the sample. By changing the THz probe beam according to the time difference and concentrating the THz probe beam and the third beam passing through the sample, the terahertz wave can be detected. A time resolved THz pump-probe spectrometer capable of measuring the amount of change.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은,The present invention for achieving this object,
펨토초 초고속 레이저빔을 생성하는 빔 생성기(10);A
펨토초 초고속 레이저빔을 제1, 제2 및 제3빔으로 분리하는 제1 및 제2빔분리기(20,30);First and
제1빔을 이용하여 테라헤르츠파를 생성하여 샘플(100)에 입사시켜 주는 THz 프로브(40);A
제2빔을 이용하여 테라헤르츠파를 생성하고 샘플(100)에 입사하여 테라헤르츠파의 주파수를 가변시켜 주는 THz 펌프(50); 및A
샘플(100)을 투과한 테라헤르츠 프로브 빔과 제3빔을 집광하여 테라헤르츠파를 측정하는 측정수단(60);을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.And measuring means (60) for measuring the terahertz wave by condensing the terahertz probe beam and the third beam transmitted through the sample (100).
또한, 빔 생성기는 펨토초 초고속 레이저빔을 생성하는 빔 생성기로, 빔 생성기에서 생성된 빔은 펄스폭 10~100fs이고 반복률이 10MHz인 빔인 것을 특징으로 한다.In addition, the beam generator is a beam generator for generating a femtosecond ultrafast laser beam, characterized in that the beam generated in the beam generator is a beam having a pulse width of 10 ~ 100fs and a repetition rate of 10MHz.
또한, 제2 및 제3빔은 각각 광전달 딜레이(31,21)을 통과하여 각각 THz 펌프(50)와 측정수단(60)에 입사되는 것을 특징으로 한다.In addition, the second and third beams respectively pass through the
또한, 제1빔분리기(20)는 초고속 레이저빔의 반사광을 THz 프로브(40)에 입사시켜 주는 것을 특징으로 한다.In addition, the
또한, 제2빔분리기(30)는 투과된 제2빔을 THz 펌프(50)에 입사하고, 반사된 제3빔을 측정수단(60)에 입사시켜 주는 것을 특징으로 한다.In addition, the
또한, THz 프로브(40) 및 THz 펌프(50)는 각각 집광용 렌즈(41,51)와 THz 생성용 ZnTe 결정(42,52) 및 빔 증폭용 비축미러(43,53)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.In addition, the
또한, 측정수단(60)은 제3빔을 집광시켜 주는 비축미러(63)와, 테라헤르츠파를 생성시켜 주는 THz 생성용 ZnTe 결정(62)과, 선형편광이 변화된 제3빔을 집광시켜 주는 집광용 렌즈(61)와, 제3빔을 편광시켜 주는 편광판(64)과, 집광된 빔을 분리시켜 주는 빔분리 편광기(65) 및 분리된 각 빔을 검출하는 검출기(66)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.In addition, the measuring means 60 collects the
또한, 편광판(64)은 제3빔을 원형으로 편광시켜 주는 것으로, λ/4편광판인 것을 특징으로 한다.In addition, the polarizing
본 발명에 따르면, 종래의 시간분해 레이저빔 펌프-THz 프로브 분광기는 THz 영역의 에너지보다 수백배 높은 에너지를 펌프로 사용하기 때문에 THz 영역에서의 시간분해 분광의 신뢰도가 낮은 반면, THz 펌프-프로브 분광기는 THz 영역의 에너지로 펌프 빔으로 사용하기 때문에 높은 측정 신뢰도를 얻을 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, the conventional time resolution laser beam pump-THz probe spectrometer uses several hundred times higher energy than the energy in the THz region as a pump, while the reliability of time resolution spectroscopy in the THz region is low, whereas the THz pump-probe spectrometer is low. Since is used as the pump beam in the energy of the THz region, there is an effect that can obtain a high measurement reliability.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대하여 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 시간분해 THz 펌프-프로브 분광기의 구성을 보여주는 개략도이다.1 is a schematic diagram showing the construction of a time resolved THz pump-probe spectrometer according to the present invention.
본 발명은 펨토초 초고속 레이저빔을 생성하는 빔 생성기(10)와, 이 초고속 레이저빔을 3개로 분광시켜 주는 2개의 제1 및 제2빔분할기(20,30)를 포함하여 이루어진다. 또한, 본 발명은 분광된 2개의 레이저빔을 각각 집광하여 테라헤르츠(THz)를 생성시켜 주는 THz 프로브(40) 및 THz 펌프(50)와, 테라헤르츠를 측정하는 측정수단(60)을 포함한다.The present invention includes a
빔 생성기(10)는 초광대역 극초단파 펄스의 생성과 시간 영역 등의 측정을 할 수 있도록 펨토초 티타늄-사파이어 초고속 레이저빔을 생성할 수 있는 것을 사용한다. 특히, 본 발명의 바람직한 실시예에서, 초고속 레이저빔은 펄스폭 10~100fs인 것을 이용하여, THz 발생세기 및 넓은 THz 주파수 영역을 극대화 할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.The
제1 및 제2빔분리기(20,30)는 통상의 기술로 제작되는 것을 사용하게 된다. 이때, 제1빔분리기(20)는 빔 생성기(10)로부터 입사된 레이저빔을 일부 반사시켜 제1빔을 형성하고, 나머지는 투과시켜 제2빔을 형성하게 된다. 또한, 제2빔분리기(30)는 입사된 제2빔을 일부 투과시켜 제2빔을 형성하고 나머지는 반사시켜 제3빔을 생성하게 된다.The first and
본 발명의 바람직한 실시예에서, 제2 및 제3빔이 각각 THz 펌프(50)와 측정수단(60)에 입사되기 전에 각각의 광전달 딜레이(21,31)를 투과할 수 있도록 구성함으로써, 펨토초의 시간분해능을 실시할 수 있도록 구성하는 것이 바람직하다.In a preferred embodiment of the present invention, the femtoseconds are constructed by allowing the second and third beams to pass through each of the
THz 펌프(50)는 제2빔을 집광하여 테라헤르츠파를 생성하고, 생성된 테라헤르츠파를 샘플(100)에 주사한다. 이러한 THz 펌프(50)는 집광용 렌즈(51)와 적당한 파장의 광원을 얻기 위한 파장 생성용 ZnTe 결정(52)을 포함하여 이루어진다. 여기서, ZnTe 결정은 두께가 얇을수록 테라헤르츠파의 신호 크기가 작으면서 광대역의 주파수를 가진 스펙트럼을 얻을 수 있다.The
특히, THz 펌프(50)에는 생성된 테라헤르츠파를 증폭시키기 위한 비축미러(Off-Axis Mirrors, 53)를 포함하여 구성하는 것이 바람직하다. 여기서, 비축미러는 빔을 집광하면서 빔의 경로가 모두 같도록 해준다.In particular, it is preferable that the
이와 같이 생성된 테라헤르츠파는 샘플(100)에 투사되어 블럭(110)에 의해 소멸되게 된다.The terahertz wave generated as described above is projected onto the
THz 프로브(40)는 THz 펌프(50)와 동일한 구성, 제1빔을 집광하기 위한 집광용 렌즈(41)와, 적절한 파장의 테라헤르츠파를 얻기 위한 ZnTe 결정(42)과, 이 테라헤르츠파를 증폭시켜 주기 위한 비축미러(43)를 포함하여 구성된다. 이들 구성 요소들은 상술한 THz 프로브(40)의 구성요소들과 기능이 동일하기 때문에 여기서는 그 설명을 생략한다.The
이와 같이 THz 프로브(40)에서 생성된 테라헤르츠파는 샘플(100)에 주사되고 THz 펌프(50)로부터 입사된 테라헤르츠파와 도달된 시간 차이에 의하여 그 세기가 변화하게 되고, 샘플(100)을 통과한 변화된 테라헤르츠 광원은 측정수단(60)에 의해 검출된다.Thus, the terahertz wave generated by the
측정수단(60)은 상술한 THz 펌프(50) 및 THz 프로브(40)와 마찬가지로 제3빔을 집광하기 위한 집광용 렌즈(61)와, 테라헤르츠파와 제3빔을 상호작용하기 위한 매질인 ZnTe 결정(62)과, 이 테라헤르츠파와 제3빔을 집광하기 위한 비축미러(63)를 포함하여 구성된다.The measuring means 60, like the
이들 구성 요소들은 상술한 THz 프로브(40)와 THz 펌프(50)의 구성요소들과 기능이 동일하나, 그 배치에 있어서 차이가 있다. 즉, 측정수단(60)은 샘플(100)을 투과하여 비축미러(63)에서 집광된 테라헤르츠파와 제3빔을 함께 ZnTe 결정(62)을 통해 상호작용시키고, 광정류에 의해 임의의 각으로 돌아간 선형편광의 제3빔을 집광용 렌즈(61)로 집광하는 구조이다.These components have the same function as the components of the
본 발명의 바람직한 실시예에서, 측정수단(60)은 THz 프로브(40)로부터 주사된 테라헤르츠파에 의하여 선형편광이 변화된 제3빔이 편광판(64)에 투과되도록 하여 원형 또는 타원형의 편광으로 변화시키는 효과를 얻을 수 있게 하는 것이 바람직하다. 여기서, 편광판(64)은 λ/4편광판을 이용하는 것이 더욱 바람직하며, λ는 파장을 의미한다. In a preferred embodiment of the present invention, the measuring means 60 changes the circular or elliptical polarization by transmitting the third beam whose linear polarization is changed by the terahertz wave scanned from the
또한, 측정수단(60)은 빔분리 편광기(65)를 더 포함하여 집광용 렌즈(63)를 통해 집광된 광원을 편광에 따라 분리하고, 각각 분리된 광원을 검출하기 위한 검출기(balanced detecter, 66)를 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the measuring means 60 further includes a
이와 같이 이루어진 구성을 포함하는 본 발명은, THz 프로브 빔이 샘플(100)에 도달하는 시간과 THz펌프빔이 샘플(100)에 도달하는 시간의 차이를 조절할 수 있게 된다. 따라서, THz펌프빔에 의해 변화된 샘플(100)의 흡수량을 시간에 따라 측정할 수 있게 된다.According to the present invention including the configuration thus made, it is possible to control the difference between the time when the THz probe beam reaches the
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it is possible to make various modifications or variations without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, the appended claims will cover such modifications and variations as fall within the spirit of the invention.
도 1은 본 발명에 따른 시간분해 THz 펌프-프로브 분광기의 구성을 보여주는 개략도.1 is a schematic view showing the construction of a time resolved THz pump-probe spectrometer according to the present invention;
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
10 : 빔 생성기10: beam generator
20 : 제1빔 분리기20: first beam separator
21, 31 : 광전달 릴레이21, 31: photoelectric relay
30 : 제2빔 분리기30: second beam separator
40 : THz 프로브40: THz probe
41, 51, 61 : 집광용 렌즈41, 51, 61: condensing lens
42, 52, 62 : ZnTe 결정42, 52, 62: ZnTe crystal
43, 53, 63 : 비축미러43, 53, 63: Stock Mirror
50 : THz 펌프50: THz Pump
60 : 측정수단60 measuring means
64 : 편광판64: polarizer
65 : 빔분리 편광기65: beam splitting polarizer
66 : 검출기66: detector
100 : 샘플100: sample
110 : 블럭110: block
Claims (10)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070114647A KR100926032B1 (en) | 2007-11-12 | 2007-11-12 | Time-resolved terahertz pump-probe spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070114647A KR100926032B1 (en) | 2007-11-12 | 2007-11-12 | Time-resolved terahertz pump-probe spectrometer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090048674A KR20090048674A (en) | 2009-05-15 |
KR100926032B1 true KR100926032B1 (en) | 2009-11-11 |
Family
ID=40857596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070114647A KR100926032B1 (en) | 2007-11-12 | 2007-11-12 | Time-resolved terahertz pump-probe spectrometer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100926032B1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114127539A (en) * | 2019-05-23 | 2022-03-01 | 昂图创新有限公司 | Non-destructive inspection and manufacturing metrology system and method |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001021503A (en) | 1999-07-09 | 2001-01-26 | Japan Science & Technology Corp | Terahertz band complex dielectric constant measuring system |
JP2003083888A (en) | 2001-09-10 | 2003-03-19 | Communication Research Laboratory | Time-resolved spectrometer for terahertz electromagnetic wave |
JP2005129732A (en) * | 2003-10-23 | 2005-05-19 | Tochigi Nikon Corp | Tera-hertz light generation device and tera-hertz light measuring instrument |
JP2006308426A (en) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Tochigi Nikon Corp | Terahertz measuring device |
-
2007
- 2007-11-12 KR KR1020070114647A patent/KR100926032B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001021503A (en) | 1999-07-09 | 2001-01-26 | Japan Science & Technology Corp | Terahertz band complex dielectric constant measuring system |
JP2003083888A (en) | 2001-09-10 | 2003-03-19 | Communication Research Laboratory | Time-resolved spectrometer for terahertz electromagnetic wave |
JP2005129732A (en) * | 2003-10-23 | 2005-05-19 | Tochigi Nikon Corp | Tera-hertz light generation device and tera-hertz light measuring instrument |
JP2006308426A (en) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Tochigi Nikon Corp | Terahertz measuring device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20090048674A (en) | 2009-05-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7936453B2 (en) | Terahertz frequency domain spectrometer with integrated dual laser module | |
US7781736B2 (en) | Terahertz frequency domain spectrometer with controllable phase shift | |
US7535005B2 (en) | Pulsed terahertz spectrometer | |
JP6692103B2 (en) | System and method for high contrast / near real time acquisition of terahertz images | |
JP6386655B2 (en) | Terahertz wave generator and spectroscopic device using the same | |
US8969804B2 (en) | Device for analyzing a sample using radiation in the terahertz frequency range | |
US10488259B2 (en) | Apparatus and method for measurement of optical frequency shifts | |
JP5713501B2 (en) | Homodyne detection system electromagnetic spectrum measurement system | |
JP2004354246A (en) | Reflection type terahertz spectrometry system and measuring method | |
US20100072368A1 (en) | Spectral Measuring System | |
JP2010048721A (en) | Terahertz measuring device | |
Scheller et al. | Multifrequency continuous wave terahertz spectroscopy for absolute thickness determination | |
US9995625B2 (en) | Device for generating and detecting photo mixing-type continuous-wave terahertz using phase noise compensation method | |
JP6294696B2 (en) | Far-infrared imaging device and far-infrared imaging method | |
KR100926032B1 (en) | Time-resolved terahertz pump-probe spectrometer | |
US20200371023A1 (en) | Far-Infrared Light Source and Far-Infrared Spectrometer | |
JP2007263891A (en) | Electromagnetic wave detection device | |
JP2010210991A (en) | Terahertz photodetector and optical equipment | |
Rout et al. | Experimental methods | |
JP4643705B2 (en) | Electromagnetic wave processing apparatus and electromagnetic wave processing method | |
US10302487B2 (en) | Noise reduction apparatus and detection apparatus including the same | |
JP2014202660A (en) | Time-domain spectral instrument, time-domain spectroscopy, and imaging device | |
JP2010019647A (en) | Electromagnetic wave measuring instrument and method | |
JP2019169582A (en) | Electromagnetic wave measuring device | |
Witteman | Heterodyne Detection |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121011 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |