KR100924987B1 - A manufacturing method for ammonia gas vessel - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A manufacturing method of an ammonia gas container is provided to offer convenience of operation simply by manufacturing the container into on body after finishing internal surface processing. CONSTITUTION: A manufacturing method of an ammonia gas container(10) includes the following steps of: processing a raw material to one body(11) and plates(12A,12B); buffing an inner surface of the raw material; forming a container shape by welding the plates; buffing of the inner surface of a welding part; removing foreign material after washing inside of the container; maintaining a vacuum state of the container; injecting argon gas to the container; performing an electroless nickel plating process; and installing a valve unit(13) and a check unit(14) on the plates.

Description

암모니아 가스용기의 제조방법{A manufacturing method for ammonia gas vessel}A manufacturing method for ammonia gas vessel

본 발명은 암모니아 가스(Ammonia Gas)를 충진하기 위한 용기를 제조함에 있어서 용기 내부를 진공으로 유지한 상태에서 아르곤 가스를 투입한 후 열처리 및 무전해 니켈도금을 순차적으로 실시할 수 있도록 함에 따라 열처리에 따른 산화현상으로 인한 내면 표층부의 조도(照度) 파괴현상을 방지할 수 있음은 물론 완전한 무전해 니켈도금 피막이 형성되도록 하여 용기 내에 충전되는 가스의 순도(純度)를 유지할 수 있도록 한 암모니아 가스용기의 제조방법에 관한 것이다.The present invention is to prepare a container for filling ammonia gas (Ammonia Gas) in order to perform the heat treatment and electroless nickel plating sequentially after the addition of argon gas while maintaining the inside of the container in a vacuum state to heat treatment Production of ammonia gas container that can prevent the destruction of roughness of inner surface layer due to oxidation, and to maintain the purity of the gas filled in the container by forming a complete electroless nickel plating film It is about a method.

현재, 국, 내외 반도체 산업의 호황으로 인하여 고순도 암모니아 가스의 수요량이 증가함에 따라 이에 수반하여 저장용기의 수요량도 급증하고 있으나, 기존과 같이 스텐레스 316L로 제조하는 경우 고가의 원자재 가격으로 인해 가스용기 유통업체의 채산성(採算性)이 현저히 악화되기 때문에 최근에는 비교적 가격이 저렴한 탄소강의 일종인 SPV 355로 용기를 제조한 후 그 내면에 무전해 니켈도금을 행하여 암모니아 가스의 순도를 유지하고 있다.At present, as the demand of high purity ammonia gas increases due to the boom of domestic and foreign semiconductor industry, the demand of storage containers is increasing rapidly.However, when manufacturing stainless steel 316L as mentioned above, gas containers are distributed due to the high price of raw materials. Since the company's profitability deteriorates considerably, recently, containers made of SPV 355, a kind of relatively inexpensive carbon steel, have been manufactured, and electroless nickel plating has been applied to the inside to maintain ammonia gas purity.

즉, 상기 암모니아 가스는 용기 내에 충전된 후 용기 내벽에 존재하는 이물 질 등에 의해 오염될 수도 있고, 또한 용기 내벽의 수분이나 이물질과 화학적으로 반응하여 가스의 물리적, 화학적 성질을 변화시키고 그 고유 특성을 저해하여 가스의 순도를 저하시킴에 따라 현장 생산에 치명적인 영향을 줄 수 있다.That is, the ammonia gas may be contaminated by foreign matter, etc. present in the inner wall of the container after being filled in the container, and also chemically reacts with moisture or foreign matter on the inner wall of the container to change the physical and chemical properties of the gas and change its inherent characteristics. Inhibition can reduce gas purity, which can have a fatal effect on site production.

따라서, 통상 SPV 355로 용기를 성형한 상태에서 값이 매우 비싸지만 일반 산업용 가스에 대해 화학적으로 매우 안정한 특성을 갖고 있는 니켈(Nickel)을 이용하여 용기 내면에 도금 처리를 실시하는 것이 보통이다.Therefore, it is common to perform plating treatment on the inner surface of the container by using nickel, which is very expensive in the state of forming the container with SPV 355, but which has chemically very stable properties for general industrial gases.

그러나, 상기한 바와 같이 가스용기 내벽에 무전해 니켈도금을 실시하는 경우, 사용 기간이 경과하면서 도금층과 원자재 사이의 표면에 산화피막이 형성되거나 크랙(Crack)이 발생함에 따라 충전된 가스가 용기 내벽의 소재와 화학적으로 반응하여 가스의 고유 특성을 저하시킨다는 문제를 내포하고 있는 것이었다.However, when electroless nickel plating is carried out on the inner wall of the gas container as described above, as the oxide film is formed on the surface between the plating layer and the raw material or crack occurs as the period of use elapses, the filled gas is formed on the inner wall of the container. The problem was that the chemical reaction with the material lowers the intrinsic properties of the gas.

가스용기의 제조기술과 관련하여 예들 들어 국내 공개특허 제2001-0094832호 공보에는 용기의 중량을 경량화시킴과 동시에 안전도를 높일 수 있도록 용접 이음매를 갖지 않는 알루미늄 용기 및 그 제조방법에 대해 개시되어 있고, 공개특허 제2007-0099688호 공보에는 하나 이상의 일부가 중공 원통형상의 라이너 구성부재 끼리를 접합하여 구성된 수지 라이너 및 이 수지 라이너의 바깥 둘레에 배치된 보강층을 가지는 가스용기로서, 라이너 구성부재의 접합부와 라이너 구성부재의 접합부가 둘레방향에 걸쳐 레이저용착에 의하여 접합된 가스용기 및 그 제조방법에 관해 개시되어 있다.Regarding the manufacturing technology of the gas container, for example, Korean Unexamined Patent Publication No. 2001-0094832 discloses an aluminum container having no welded seam and a method of manufacturing the same to reduce the weight of the container and increase safety. Korean Patent Laid-Open Publication No. 2007-0099688 discloses a gas container having a resin liner formed by joining one or more hollow cylindrical liner components, and a reinforcement layer disposed around an outer circumference of the resin liner. Disclosed are a gas container and a method of manufacturing the same, in which a joining portion of a structural member is joined by laser welding over a circumferential direction.

또한, 국내 공개특허 제2008-0024063호 공보에는 고압가스 용기 몸체의 내벽에 적어도 인(P)의 함량을 달리하는 복수의 무전해 니켈 도금층을 형성함에 따라 도금층에 크랙이 발생하더라도 크랙의 발생 정도나 위치 등이 달라지게 되며, 이로 인해 도금층의 동일한 위치에는 크랙이 발생하지 않도록 하여 부식성 가스나 고순도 가스가 크랙을 통해 용기 몸체의 내벽과 반응하지 않도록 한 기술에 대해 개시되어 있다.In addition, Korean Laid-Open Patent Publication No. 2008-0024063 discloses a plurality of electroless nickel plating layers having at least phosphorus (P) content on the inner wall of the high-pressure gas container body, so that even if cracks occur in the plating layer, the degree of cracking may occur. The position and the like will be different, and thus, a technique is disclosed in which a crack does not occur at the same position of the plating layer such that a corrosive gas or a high purity gas does not react with the inner wall of the container body through the crack.

그러나, 상기한 바와 같은 종래 기술의 경우 제조방식이 복잡하고 작업성이 크게 떨어지기 때문에 이로 인한 제품 단가의 상승을 초래한다는 문제가 있고, 또 무전해 니켈도금을 위한 전 처리로서 고압가스법의 규정상 반드시 처리해야 하는 열처리의 일종인 소둔(燒鈍)을 행하고자 할 경우 열처리로(熱處理爐) 내부의 산소가 용기 내부로 흡입되어 산화작용이 진행됨에 따라 용기 내부의 버핑면을 산화시키게 되고, 이로 인해 용기 내면의 조도상태를 현격하게 저하시키게 된다.However, in the case of the prior art as described above, there is a problem in that the manufacturing method is complicated and workability is greatly reduced, resulting in an increase in the product cost. In order to perform annealing, which is a kind of heat treatment that must be processed, oxygen in the heat treatment furnace is sucked into the container and the buffing surface inside the container is oxidized as the oxidation proceeds. This significantly reduces the roughness of the inner surface of the container.

따라서, 상기 용기 내에 충진되는 암모니아 가스의 순도가 크게 떨어져서 암모니아 가스를 사용하는 반도체 제조공정 상의 불량 발생을 야기시키는 원인이 되는 것이었다.Therefore, the purity of the ammonia gas filled in the container is greatly reduced, causing a defect in the semiconductor manufacturing process using the ammonia gas.

본 발명은 상술한 바와 같은 종래기술의 문제들을 감안하여 이루어진 것으로서, 본 발명의 목적은 용기 자체를 간단히 제조할 수 있음은 물론 진공으로 유지되어 있는 용기 내부에 아르곤 가스를 투입한 후 소둔처리 및 무전해 니켈도금을 순차적으로 실시할 수 있도록 함으로써, 용기 내면의 조도 파괴현상을 방지하고 완전한 무전해 니켈도금 피막이 형성되도록 하여 가스의 고순도를 유지할 수 있는 암모 니아 가스용기의 제조방법을 제공함에 있다.The present invention has been made in view of the problems of the prior art as described above, and an object of the present invention is to simply manufacture the container itself, as well as annealing and electrolessly applying an argon gas to the inside of the container maintained in vacuum. The present invention provides a method for manufacturing an ammonia gas container which can maintain the high purity of the gas by preventing the destruction of the roughness of the inner surface of the container and forming a complete electroless nickel plating film by allowing the nickel plating to be carried out sequentially.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 암모니아 가스용기를 제조하기 위한 방법으로서, 원자재를 벤딩 및 포밍에 의해 하나의 동체와 제1 및 제2경판으로 각각 분할 가공하고 그 내면에 1차 버핑을 행하는 단계와, 상기 동체와 제1 및 제2경판을 순차적으로 용접하여 용기 형태로 제작한 후 이들 용접부분의 내면을 다시 2차 버핑하는 단계와, 상기 용기 내부를 세척하여 이물질을 제거하고 진공펌프를 이용하여 진공상태로 유지함과 동시에 아르곤 가스를 주입하는 단계와, 상기 용기의 용접부분에 발생하는 응력을 제거하기 위한 소둔처리를 행한 후 용기 내면에 무전해 니켈도금을 실시하는 단계와, 상기 제1 및 제2경판에 밸브유닛 및 점검유닛을 각각 설치하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object, as a method for producing an ammonia gas container, the raw material is divided into one body and the first and second hard plates by bending and foaming, respectively, and the first buffing on the inner surface And the step of sequentially welding the fuselage and the first and second hard plates to form a container, and then secondly buffing the inner surfaces of the welded parts again, and cleaning the inside of the container to remove foreign substances and vacuum Maintaining the vacuum state using a pump and simultaneously injecting argon gas, and performing annealing treatment to remove stress generated in the welded portion of the container, and then performing electroless nickel plating on the inner surface of the container; Characterized in that it comprises the step of installing the valve unit and the check unit on the first and second hard plate, respectively.

또한, 상기 용기 내부를 세척한 후 0.5∼3kg/㎠의 압력으로 질소가스를 채운 상태에서 기밀 테스트를 실시하는 단계가 더 포함되는 것을 특징으로 한다.In addition, after washing the inside of the container characterized in that it further comprises the step of performing a gas tight test in a state filled with nitrogen gas at a pressure of 0.5 ~ 3kg / ㎠.

또, 상기 용기 내부의 진공도는 0.4∼1.2mmHq 범위인 것을 특징으로 한다.In addition, the degree of vacuum in the vessel is characterized in that the range of 0.4 to 1.2mmHq.

또, 상기 용기의 소둔처리는 열처리로 내의 온도가 600∼650℃로 유지된 상태에서 30∼60분 동안 행해지도록 하는 것을 특징으로 한다.In addition, the annealing treatment of the vessel is characterized in that it is carried out for 30 to 60 minutes while the temperature in the heat treatment furnace is maintained at 600 ~ 650 ℃.

또, 상기 소둔처리를 완료한 후에 산세처리를 행하는 단계가 더 포함되며, 이 산세처리는 용기를 염산조에 투입하여 20∼40분간 유지되도록 하는 것을 특징으로 한다.In addition, after the annealing treatment is completed, a step of performing a pickling treatment is further included. The pickling treatment is characterized in that the container is put in a hydrochloric acid tank and maintained for 20 to 40 minutes.

상술한 바와 같은 특징을 가지는 본 발명의 암모니아 가스용기의 제조방법에 의하면, 원자재를 단일 동체와 제1 및 제2경판으로 분할하여 내면 가공을 완료한 상태에서 일체형으로 용접하여 용기를 제조할 수 있도록 함에 따라 작업 자체가 매우 간단하여 생산성을 높이고 제조단가를 절감할 수 있으며, 진공으로 유지되어 있는 용기 내부에 아르곤 가스를 투입한 후 소둔처리 및 무전해 니켈도금을 순차적으로 실시하도록 하였기 때문에, 용기 내면의 조도 파괴현상을 방지하고 완전한 무전해 니켈도금 피막이 형성되도록 하여 가스의 순도를 유지할 수 있게 된다.According to the manufacturing method of the ammonia gas container of the present invention having the characteristics as described above, the raw material is divided into a single body and the first and second hard plates so that the container can be manufactured by integrally welding in the state of completing the inner surface processing. As the work itself is very simple, productivity can be increased and manufacturing cost can be reduced.In addition, argon gas is introduced into the container maintained in vacuum, followed by annealing and electroless nickel plating. It is possible to maintain the purity of the gas by preventing the coarseness destruction of the film and forming a complete electroless nickel plating film.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 1은 암모니아 가스용기의 구성을 설명하기 위한 단면도로서, 이 도면에서와 같이 가스용기(10)는 원자재를 벤딩(Bending) 및 포밍(Forming)에 의해 성형한 원통형의 단일 동체(11)를 포함하여 이 동체(11)의 양측에 각각 용접되어 일체형으로 장착되는 제1 및 제2경판(12A,12B)으로 이루어져 있다.First, Figure 1 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the ammonia gas container, the gas container 10 as shown in the figure is a cylindrical single body 11 formed by bending and forming the raw material (Bending) Including a first and second hard plates 12A, 12B are welded to both sides of the moving body 11 and integrally mounted.

상기 제1경판(12A)에는 용기(10) 내부로 암모니아 가스를 주입하거나 배출시키기 위한 한쌍의 밸브유닛(13)이 설치되어 있고, 상기 제2경판(12B)에는 용기 제조시의 내부를 세척하거나 장기간에 걸친 가스용기의 사용 후에 내면 상태를 점검하거나 이물질을 제거하기 위한 점검유닛(14)이 마련되어 있다.The first hard plate 12A is provided with a pair of valve units 13 for injecting or discharging ammonia gas into the container 10, and the second hard plate 12B is for washing the inside of the container during manufacture. After use of the gas container for a long time, an inspection unit 14 is provided for checking the internal condition or removing foreign matter.

또한, 상기 제1 및 제2경판(12A,12B)의 외측에는 케이싱(15)이 용접되어 용 기(10)로부터 노출되어 있는 밸브유닛(13) 및 점검유닛(14)을 외부 충격으로부터 보호할 수 있도록 구성되어 있다.In addition, the casing 15 is welded to the outside of the first and second hard plates 12A and 12B to protect the valve unit 13 and the inspection unit 14 exposed from the container 10 from external shocks. It is configured to be.

상기 밸브유닛(13)은 제1경판(12A)에 형성된 통공으로 체결되는 고정부재 (16) 및 이 고정부재(16)에 장착된 밸브체(17)를 구비하고 있으며, 상기 고정부재 (16) 내에 장착되어 용기(10) 내부로 인입되어 있는 튜브(18)를 포함하여 상기 밸브체(17)에 씌워지는 캡(19)으로 이루어져 있다.The valve unit 13 includes a fixing member 16 fastened by a through hole formed in the first hard plate 12A, and a valve body 17 mounted to the fixing member 16. The fixing member 16 It consists of a cap 19 which covers the valve body 17, including a tube 18 mounted inside and drawn into the container 10.

상기 점검유닛(14)은 제2경판(12B)에 형성된 관통공으로 체결되는 결속부재 (20) 및 이 결속부재(20)에 가스켓(21)을 개재하여 체결나사(22)로 고정 설치되는 차폐판(23)으로 이루어져 있다.The inspection unit 14 includes a binding member 20 fastened by a through hole formed in the second hard plate 12B and a shielding plate fixedly installed by a fastening screw 22 through a gasket 21 in the binding member 20. It consists of 23.

다음에, 도 2 내지 도 4a, 도 4b에 도시되어 있는 바와 같이, 가스용기(10)를 제작하기 위해서는 입고된 원자재를 벤딩 및 포밍작업에 원통형의 단일 동체 (11)와 제1 및 제2경판(12A,12B)으로 각각 분할하여 성형하고, 상기 동체(11)의 맞닿는 면을 포함하여 상기 제1 및 제2경판(12A,12B)에 케이싱(15)을 용접하여 일체형으로 접합하게 된다.Next, as shown in Figs. 2 to 4A and 4B, in order to manufacture the gas container 10, the cylindrical single body 11 and the first and second hard plates are used for bending and forming the received raw materials. It is formed by dividing into 12A and 12B, respectively, and the casing 15 is welded to the first and second hard plates 12A and 12B including the abutting surface of the body 11 to be integrally joined.

이 때, 상기 동체(11)의 용접이 완료된 상태에서 RT 검사, 즉 용접부에 대한 X-Ray 검사를 미리 실시하여 결함 여부를 확인하게 되는데, 통상적으로 대개 용기의 용접부에 대한 20∼100% 검사를 시행하여 결함이 발견되는 경우 이를 개선하여 재 용접을 실시해야 한다. At this time, in the state where the welding of the fuselage 11 is completed, RT inspection, that is, X-ray inspection of the welded portion is performed in advance to check whether there is a defect, and usually 20 to 100% inspection of the welded portion of the container is performed. If defects are found by doing so, they should be corrected and rewelded.

그 후, 상기 동체(11)와 제1 및 제2경판(12A,12B)의 내면에 무전해 니켈도금을 실시하기에 앞서 통상의 버핑 머신(Buffing Machine)을 이용하여 1차 버핑을 행 함으로써 평균 조도가 1㎛이하, 보다 바람직하게는 200∼300 micron의 범위로 유지되도록 한다.Thereafter, prior to performing electroless nickel plating on the inner surface of the body 11 and the first and second hard plates 12A and 12B, an average of the first buffing is performed by using a conventional buffing machine. The illuminance is kept at 1 μm or less, more preferably in the range of 200 to 300 micron.

이어서, 상기 제1 및 제2경판(12A,12B)을 동체(11)의 양측에 각각 용접하여 일체형으로 장착시킴에 따라 용기 형태로 제작한 후 제2경판(12B)에 형성되어 있는 관통공을 통해 상기 각각의 용접부분을 다시 2차로 버핑하여 작업을 완료한다.Subsequently, the first and second hard plates 12A and 12B are welded to both sides of the body 11 to be integrally mounted so that the through holes formed in the second hard plate 12B are formed in a container shape. Through each of the welded parts to the second buffing again to complete the work.

또한, 상기 용접이 완료된 용기 내부를 세척하여 유분을 포함한 연마제 등의 불순물을 제거한 후 통상의 기밀테스트를 실시하여 가스용기의 불량여부를 체크하게 되는데, 이 경우에는 상기 제1경판(12A)에 형성된 한쌍의 통공을 테프론 테이프가 감겨진 밀폐봉(도시생략)으로 막고 제2경판(12B)에 스텐레스 316L로 제작한 가스켓을 장착한 상태에서 0.5∼3kg/㎠ 정도의 질소가스를 공급하여 행하게 된다.In addition, the inside of the vessel in which the welding is completed is removed to remove impurities such as an abrasive including oil, and then a normal airtight test is performed to check whether the gas container is defective. In this case, the first hard plate 12A is formed. A pair of through holes are blocked with a sealed rod (not shown) wrapped with Teflon tape and supplied with nitrogen gas of about 0.5 to 3 kg / cm 2 while a gasket made of stainless 316L is attached to the second hard plate 12B.

그 후, 통상의 진공펌프를 이용하여 상기 가스용기의 내부를 0.4∼1.2mmHq 범위의 진공도로 유지함과 동시에 아르곤 가스를 투입하고, 상기 용기의 용접부분에 발생하는 응력을 제거하기 위하여 열처리의 일종인 소둔처리를 실시한다.Thereafter, using an ordinary vacuum pump, while maintaining the interior of the gas container at a vacuum of 0.4 to 1.2 mmHq, argon gas is introduced, and a kind of heat treatment is performed to remove stress generated in the welded portion of the container. Annealing is performed.

이 소둔처리 시에는 열처리로 내의 온도가 600∼650℃로 유지되고 있는 상태에서 30∼60분 동안 행해지도록 하는 것이 가장 바람직하며, 이들 범위를 벗어나는 경우 금속 조직에 악영향을 줄 수 있다.In this annealing treatment, it is most preferable to carry out for 30 to 60 minutes in a state where the temperature in the heat treatment furnace is maintained at 600 to 650 ° C. If it is out of these ranges, it may adversely affect the metal structure.

상기한 바와 같이, 소둔이 진행됨에 따라 용기 내부의 아르곤 가스가 밀봉되어 있다가 고온으로 상승하면서 팽창하게 되는데, 이 아르곤 가스는 불활성 가스이기 때문에 고온에서 용기 내부를 최적의 상태로 유지시켜 주며, 고온으로 소둔이 진행되는 동안 밀폐봉에 감겨진 테프론 테이프가 서서히 녹으면서 가스용기(10) 내부의 진공상태를 해제하게 되나 소둔 완료시에도 미량의 아르곤가스는 용기 내부에 존재하게 된다.As described above, as the annealing proceeds, the argon gas inside the container is sealed and then expands to a high temperature. The argon gas is an inert gas, which maintains the inside of the container at an optimal state at a high temperature. While the annealing is performed, the Teflon tape wound on the sealing rod is gradually melted to release the vacuum state inside the gas container 10, but even when the annealing is completed, a small amount of argon gas is present in the container.

한편, 상기 제2경판(12B)에 장착되는 가스켓을 고온에서 견디는 통상의 흑연 (黑鉛)이나 석면(石綿)으로 제작한 것을 사용하는 경우에 기밀은 어느 정도 유지되지만 용기 내부의 표면이 고온에서 발생되는 연기로 인하여 용기 내부가 코팅되는 현상이 발생함에 따라 도금 피막이 불균일하게 형성되거나 가스 발생부위와 접촉하는 부분은 도금 피막이 형성되지 않게 된다.On the other hand, in the case where the gasket mounted on the second hard plate 12B is made of ordinary graphite or asbestos, which endures at high temperature, the airtightness is maintained to some extent, but the surface inside the container is kept at high temperature. As a phenomenon in which the inside of the container is coated due to the generated smoke occurs, the plating film is unevenly formed or the portion in contact with the gas generating part is not formed.

또한 석면을 사용하는 경우에는 기밀이 파괴되어 내부의 아르곤 가스가 외부로 단시간에 유출되어 외부 산소가 용기 내부로 유입되는 과정에서 산소와 접촉하는 부분이 산화되어 조도가 파괴되고 산화막이 형성되어 버리는 문제가 있기 때문에 스텐레스 316L로 제작하는 것이 가장 바람직하다.In addition, when asbestos is used, airtightness is destroyed, and the argon gas inside is leaked out to the outside for a short time, and when oxygen is introduced into the container, the part in contact with oxygen is oxidized, roughness is destroyed, and an oxide film is formed. It is most preferable to manufacture with stainless 316L.

상기한 바와 같이 하여 가스용기(10)에 대한 소둔처리가 완료된 상태에서 용기 내면에 무전해 니켈도금을 실시한 후, 상기 제1 및 제2경판(12A,12B)에 형성되어 있는 통공 및 관통공 상에 밸브유닛(13) 및 점검유닛(14)을 각각 설치한다. As described above, after the annealing treatment of the gas container 10 is completed, electroless nickel plating is performed on the inner surface of the container, and then through and through holes formed in the first and second hard plates 12A and 12B. The valve unit 13 and the inspection unit 14 are installed respectively.

이러한 일련의 과정을 통해 완성된 가스용기(10)의 내부에 최종 수압테스트를 실시하게 되는데, 이 경우에는 30∼38kg/㎠의 물로 가압하여 대략 30분 정도 유지시킴에 따라 팽창율을 산정한 후에 용기 체적의 5％ 미만에 해당하는 경우 합격으로 처리한다.The final hydraulic test is carried out inside the completed gas container 10 through this series of processes. In this case, after the expansion rate is estimated by maintaining the pressure for 30 to 38 kg / cm 2 and maintaining it for about 30 minutes, the container If less than 5% of the volume corresponds to pass.

본 발명에 있어서는, 상기 무전해 니켈도금을 실시하기에 앞서 산세처리를 행함에 따라 열처리 시에 생성될 수 있는 산화막이나 불순물을 제거하는 단계가 더 포함될 수 있으며, 이 경우의 산세처리는 용기를 통상의 염산조에 투입하여 20∼40분간 유지되도록 하는 것이 가장 바람직하다.In the present invention, prior to performing the electroless nickel plating, the pickling treatment may further include removing an oxide film or impurities that may be generated during heat treatment. Most preferably, it is added to a hydrochloric acid tank and maintained for 20 to 40 minutes.

최종적으로, 가스용기(10)가 제조된 상태에서 용기의 외부면에 도장을 행함과 동시에 필요한 글자를 마킹하여 작업을 종료하게 된다.Finally, in the state in which the gas container 10 is manufactured, the outer surface of the container is coated and at the same time, the necessary letters are marked to finish the work.

상술한 바와 같은 기술적 구성에 의해 본 발명의 기술적 과제가 달성되는 것이며, 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나 여기에 한정되지 않고 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능한 것임은 물론이다.The technical problem of the present invention is achieved by the technical configuration as described above, although the present invention has been described by a limited embodiment and drawings, the present invention is not limited thereto but by those skilled in the art to which the present invention pertains. Various modifications and variations are possible, without departing from the spirit and scope of the appended claims.

도 1은 본 발명에 따른 암모니아 가스용기의 전체 구성을 나타낸 단면도, 1 is a cross-sectional view showing the overall configuration of an ammonia gas container according to the present invention,

도 2는 가스용기의 제조과정을 순서별로 나타낸 도면,2 is a view showing the manufacturing process of the gas container in order;

도 3은 가스용기의 제조과정을 모식적으로 나타낸 도면,3 is a view schematically showing a manufacturing process of a gas container;

도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 실제 작업과정을 나타낸 사진이다.4A and 4B are photographs showing the actual working process according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10: 가스용기 11: 동체(胴體)10: gas container 11: body

12A: 제1경판 12B: 제2경판12A: 1st hard board 12B: 2nd hard board

13: 밸브유닛 14: 점검유닛 13: valve unit 14: inspection unit

15: 케이싱 16: 고정부재15: casing 16: fixing member

17: 밸브체 18: 튜브17: valve body 18: tube

19: 캡 20: 결속부재19: cap 20: binding member

21: 가스켓 22: 체결나사21: Gasket 22: Tightening Screw

23: 차폐판23: shield plate

Claims (5)

암모니아 가스용기를 제조하기 위한 방법으로서, As a method for producing an ammonia gas container, 원자재를 벤딩 및 포밍에 의해 하나의 동체와 제1 및 제2경판으로 각각 분할 가공하고 그 내면에 1차 버핑을 행하는 단계와,Dividing the raw material into one fuselage and the first and second hard plates by bending and foaming, respectively, and performing primary buffing on the inner surface thereof; 상기 동체와 제1 및 제2경판을 순차적으로 용접하여 용기 형태로 제작한 후 이들 용접부분의 내면을 다시 2차 버핑하는 단계와,Sequentially welding the fuselage and the first and second hard plates to form a container, and secondly buffing the inner surfaces of the welded portions again; 상기 용기 내부를 세척하여 이물질을 제거하고 진공펌프를 이용하여 진공상태로 유지함과 동시에 아르곤 가스를 주입하는 단계와, Washing the inside of the container to remove foreign substances and maintaining the vacuum state using a vacuum pump and simultaneously injecting argon gas; 상기 용기의 용접부분에 발생하는 응력을 제거하기 위한 소둔처리를 행한 후 용기 내면에 무전해 니켈도금을 실시하는 단계와,Performing an annealing treatment on the inner surface of the container after annealing to remove stress generated in the welded portion of the container; 상기 제1 및 제2경판에 밸브유닛 및 점검유닛을 각각 설치하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 암모니아 가스용기의 제조방법.And a valve unit and an inspection unit are respectively installed on the first and second hard plates. 제1항에 있어서, 상기 용기 내부를 세척한 후 0.5∼3kg/㎠의 압력으로 질소가스를 공급하여 기밀 테스트를 실시하는 단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 암모니아 가스용기의 제조방법. The method of claim 1, further comprising the step of performing an airtight test by supplying nitrogen gas at a pressure of 0.5 to 3 kg / cm 2 after washing the inside of the container. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 용기 내부의 진공도는 0.4∼1.2mmHq 범위인 것을 특징으로 하는 암모니아 가스용기의 제조방법.The method for producing an ammonia gas container according to claim 1 or 2, wherein the degree of vacuum in the vessel is in the range of 0.4 to 1.2 mmHq. 제1항에 있어서, 상기 용기의 소둔처리는 열처리로 내의 온도가 600∼650℃로 유지된 상태에서 30∼60분 동안 행해지도록 하는 것을 특징으로 하는 암모니아 가스용기의 제조방법.The method for producing an ammonia gas container according to claim 1, wherein the annealing treatment of the container is performed for 30 to 60 minutes while the temperature in the heat treatment furnace is maintained at 600 to 650 ° C. 제4항에 있어서, 상기 소둔처리를 완료한 후에 산세처리를 행하는 단계가 더 포함되며, 이 산세처리는 용기를 염산조에 투입하여 20∼40분간 유지되도록 하는 것을 특징으로 하는 암모니아 가스용기의 제조방법.The method of manufacturing an ammonia gas container according to claim 4, further comprising a step of performing a pickling treatment after the annealing treatment is completed, wherein the pickling treatment is put in a hydrochloric acid tank and maintained for 20 to 40 minutes. .
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