KR100915557B1 - Device and Method for Testing Airtight of RF Devices - Google Patents

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Abstract

RF 장비의 기밀 테스트 장치 및 방법이 제공된다. 개시된 기밀 테스트 장치는 테스트되는 RF 장비가 수용되는 챔버; 상기 챔버로 공기를 주입시키고 챔버 내부의 압력을 측정하는 에어 컨트롤러; 상기 챔버 내부에 삽입되며, 상기 테스트되는 RF 장비의 벤트 캡 부위에 접촉하는 진공 포트; 및 상기 진공 포트와 결합되며 상기 테스트되는 RF 장비 내부의 공기를 빨아들이는 진공 발생부를 포함한다. 개시된 장치에 의하면, 벤트 캡이 구비된 RF 장비 가압하지 않고 정확하게 기밀 상태를 테스트할 수 있는 장점이 있다. An apparatus and method for confidentiality testing of RF equipment is provided. The disclosed hermetic test device includes a chamber in which the RF equipment under test is received; An air controller for injecting air into the chamber and measuring pressure inside the chamber; A vacuum port inserted into the chamber and contacting a vent cap portion of the RF equipment under test; And a vacuum generator coupled to the vacuum port and sucking air inside the RF equipment under test. The disclosed device has the advantage of being able to accurately test the tightness without pressurizing the RF equipment with vent caps.

RF, 기밀, 누출, 벤트캡 RF, Airtight, Leak, Vent Cap

Description

RF 장비의 기밀 테스트 장치 및 방법{Device and Method for Testing Airtight of RF Devices}Device and Method for Testing Airtightness of RF Equipment {Device and Method for Testing Airtight of RF Devices}

본 발명은 RF 장비의 기밀 테스트 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 바이어스티, 필터와 같은 RF 장비에 수분이 침투할 수 없도록 충분히 기밀 상태를 유지하는지 여부를 테스트하는 장치 및 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a leak testing apparatus and method of the RF equipment, and more particularly to a device and method for testing whether or not to maintain a sufficient airtight so that moisture can not penetrate the RF equipment such as bias, filter. .

RF 장비는 RF 신호의 전송, 필터링, 증폭, 분리 등에 사용되는 장치로서, 도파관, 필터, 바이어스티, 아이졸레이터, 듀플렉서, TMA 등 다양하다. RF equipment is used for the transmission, filtering, amplification, and separation of RF signals, and is a variety of waveguides, filters, biases, isolators, duplexers, and TMAs.

일반적으로, 마이크로파와 같은 고주파의 RF 신호를 처리하는 RF 장비의 내부는 표피 효과 등의 발생 억제를 위해 은 또는 은과 같은 전도성이 높은 금속에 의해 도금되는 것이 일반적이다. In general, the interior of RF equipment for processing high frequency RF signals such as microwave is generally plated by a silver or a highly conductive metal such as silver to suppress the occurrence of the skin effect.

이와 같은 RF 장비의 수분이 침투할 경우 전도성을 위해 도금된 피막이 훼손될 수 있는 바, RF 장비는 수분이 침투할 수 없도록 기밀 상태가 유지되어야 하며, RF 장비의 제조 후 적절한 기밀 상태가 유지되는지 여부를 테스트할 필요가 있다.  If the moisture of such RF equipment penetrates, the plated film may be damaged for conductivity. Therefore, the RF equipment should be kept airtight so that moisture can not penetrate. You need to test

도 1은 종래의 RF 장비의 기밀 테스트 장치의 구성을 도시한 도면이다. 1 is a diagram showing the configuration of a conventional airtight test apparatus for RF equipment.

도 1을 참조하면, 종래의 RF 장비의 기밀 테스트 장치는 챔버(100) 및 에어 컨트롤러(102)를 포함한다. Referring to FIG. 1, the conventional airtight test apparatus of the RF equipment includes a chamber 100 and an air controller 102.

챔버(100)에는 기밀 상태가 테스트되는 RF 장비가 수용된다. 챔버(100)의 크기는 테스트되는 RF 장비의 크기에 따라 다양하게 설정되며, 챔버(100)의 일면에는 에어 컨트롤러(102)와 결합하기 위한 홀이 형성되어 있다. The chamber 100 houses RF equipment that is tested for hermeticity. The size of the chamber 100 is variously set according to the size of the RF equipment to be tested, and a hole for coupling with the air controller 102 is formed on one surface of the chamber 100.

에어 컨트롤러(102)는 챔버(100)에 기밀 테스트를 위한 공기를 주입시키고 챔버 내부의 압력을 감지하는 기능을 하며, 상기 홀을 통해 챔버 내에 공기를 주입시킨다. The air controller 102 injects air into the chamber 100 for airtightness testing and senses a pressure inside the chamber, and injects air into the chamber through the hole.

도 1을 참조하여 종래의 RF 장비의 기밀 테스트 방법을 설명하면 다음과 같다. Referring to Figure 1 describes the conventional airtight test method of RF equipment as follows.

먼저, 챔버(100)에 RF 장비를 수용시킨 후 에어 컨트롤러(102)는 챔버(100)에 공기를 주입시킨다. 이러한 공기 주입으로 인해 챔버 내부의 압력은 서서히 증가하며, 에어 컨트롤러(102)는 소정의 시간동안 미리 설정된 임계 압력에 도달할 때까지 공기를 주입시킨다. First, after receiving the RF equipment in the chamber 100, the air controller 102 injects air into the chamber 100. Due to this air injection, the pressure inside the chamber gradually increases, and the air controller 102 injects air until a predetermined threshold pressure is reached for a predetermined time.

일정 시간 공기를 주입시킨 후 약간의 조정 시간을 가진 후 챔버 내의 압력 변화가 에어 컨트롤러(102)에 의해 모니터링된다. 이때 에어 컨트롤러(102)는 챔버 내의 압력이 소정의 시간동안 임계 압력 상태를 유지하는지 여부를 모니터링한다. The pressure change in the chamber is monitored by the air controller 102 after a slight adjustment time after injecting air for a period of time. At this time, the air controller 102 monitors whether the pressure in the chamber maintains the critical pressure state for a predetermined time.

만일, 테스트되는 장비가 충분히 기밀 상태를 유지하지 않을 경우 챔버로 주입된 공기의 일부가 RF 장비 내부로 인입될 수 있으며, 이 경우 챔버 내부의 압력은 RF 장비의 기밀 상태가 적절히 유지되는 경우에 비해 빠른 시간에 낮아질 수 있 다. If the equipment under test is not sufficiently airtight, a portion of the air injected into the chamber may be drawn into the RF device, in which case the pressure inside the chamber is less than if the airtightness of the RF device is properly maintained. It can be lowered quickly.

따라서, 에어 컨트롤러(102)는 소정의 시간동안 미리 설정된 임계 압력 상태가 유지되는지 여부에 따라 적절한 기밀 상태가 유지되는지 여부를 판단한다. 예를 들어, 약 8초의 시간동안 0.3 기압이 유지되는지 여부가 판단될 수 있으며, 8초가 경과하기 전에 0.3 기압 이하로 기압이 떨어질 경우 기밀 상태가 적절한 기밀이 되있지 않다고 판단된다. Accordingly, the air controller 102 determines whether the proper airtight state is maintained according to whether or not the preset threshold pressure state is maintained for a predetermined time. For example, it may be determined whether 0.3 atm is maintained for about 8 seconds, and if the air pressure falls below 0.3 atm before 8 seconds has elapsed, it is determined that the airtight state is not adequate.

이와 같은 종래의 기밀 테스트 방식은 벤트 캡이 구비되지 않는 RF 장비의 경우에는 효율적으로 적용될 수 있었으나 벤트 캡이 구비된 RF 장비에는 적용될 수 없는 문제점이 있었다. Such a conventional hermetic test method was able to be efficiently applied to the RF equipment that is not provided with a vent cap, but there was a problem that cannot be applied to the RF equipment provided with the vent cap.

벤트 캡은 고어텍스 재질로서 수분은 침투시키지 않으나 공기는 통과시키는 특성을 가지고 있다. 벤트 캡은 RF 장비의 하우징 일면에 결합되며, 공기를 통과시켜 RF 장비가 과도하게 과열되는 것을 방지하는 역할을 한다. Vent cap is made of Gore-Tex material and does not penetrate moisture, but it allows air to pass through. The vent cap is coupled to one side of the housing of the RF equipment and serves to prevent air from overheating by passing air.

벤트 캡은 수분은 침투시키지 않으나 공기는 통과시키기 때문에, 상술한 종래의 테스트 방식이 적용될 경우 RF 장비의 기밀 상태가 유지되더라도 벤트 캡에 의해 주입된 공기가 장비 내부로 인입되면서 적절한 테스트가 이루어질 수 없는 문제점이 있었다. Since the vent cap does not penetrate moisture but allows air to pass, even if the conventional test method described above is applied, even if the airtight state of the RF equipment is maintained, the air injected by the vent cap is introduced into the equipment, so that proper testing cannot be performed. There was a problem.

이와 같이 벤트 캡이 구비될 경우의 문제점을 해결하기 위해 벤트 캡이 결합된 부분을 인위적으로 가린 후 기밀 상태를 테스트하는 방법이 사용되었다. In order to solve the problem when the vent cap is provided as described above, a method of testing the airtight state after artificially covering a portion where the vent cap is coupled is used.

도 2는 벤트 캡이 구비된 RF 장비의 기밀 상태를 테스트하기 위한 종래의 기밀 테스트 장치를 도시한 도면이다. 2 is a diagram illustrating a conventional airtight test apparatus for testing the airtight state of the RF equipment having a vent cap.

도 2를 참조하면, 벤트 캡이 구비된 RF 장비를 위한 기밀 테스트 장치는 챔버(200), 에어 컨트롤러(202) 및 가압 부재(204)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 2, an airtight test apparatus for an RF device having a vent cap may include a chamber 200, an air controller 202, and a pressure member 204.

도 2에서, 챔버(200) 및 에어 컨트롤러(202)의 역할은 도 1의 경우와 동일하다. In FIG. 2, the roles of the chamber 200 and the air controller 202 are the same as in the case of FIG. 1.

가압 부재(204)의 일단은 챔버(200) 내부의 일면에 결합되고 타단은 테스트되는 RF 장비에 접촉된다. 가압 부재(204)는 RF 장비에서 벤트 캡이 결합된 부위에 접촉되며, 가압 부재의 RF 장비의 접촉단의 사이즈는 벤트 캡의 사이즈에 상응하며 벤트 캡 전체를 가릴 수 있어야 한다. One end of the pressing member 204 is coupled to one surface inside the chamber 200 and the other end is in contact with the RF equipment under test. The pressing member 204 is in contact with the vent cap coupled portion of the RF equipment, the size of the contact end of the RF equipment of the pressing member corresponds to the size of the vent cap and should be able to cover the entire vent cap.

가압 부재(204)는 벤트 캡에 접촉하여 벤트 캡이 노출되지 않도록 하며 접촉 부위에서 벤트 캡으로 공기가 스며들지 않도록 RF 장비의 벤트 캡 부위를 가압한다. The pressing member 204 contacts the vent cap so that the vent cap is not exposed and pressurizes the vent cap portion of the RF equipment so that air does not penetrate into the vent cap at the contact portion.

이와 같이, 가압 부재(204)로 RF 장비의 벤트 캡 부위를 가압한 상태에서 에어 컨트롤러(202)에 의해 공기 주입이 이루어지고 도 1과 같은 방식으로 소정의 시간이 경과한 후의 압력 변화를 모니터링하여 기밀 상태를 테스트한다. As described above, air is injected by the air controller 202 while the vent cap portion of the RF equipment is pressed by the pressing member 204, and the pressure change after a predetermined time has elapsed in the same manner as in FIG. Test for confidentiality.

그러나 도 2에 도시된 장치에 의한 기밀 테스트는 가압 부재로 RF 장비를 가압하면서 정확한 기밀 상태 테스트가 이루어지기 어려운 문제점이 있었다. 통상적으로, 벤트 캡은 RF 장비의 커버 부분에 구비되는 것이 일반적이며, 이러한 커버는 본체와 나사 결합 등의 방식에 의해 체결된다. However, the airtight test by the apparatus shown in FIG. 2 has a problem that it is difficult to perform an accurate airtight state test while pressurizing the RF equipment with the pressing member. Typically, the vent cap is generally provided in the cover portion of the RF equipment, and the cover is fastened by a method such as screwing with the main body.

도 2의 기밀 테스트 장치에서, 가압 부재는 벤트 캡을 가압할 뿐만 아니라 커버를 함께 가압함으로써 테스트 시 RF 장비의 기밀 상태를 좋게 만들어주는 바 정확한 테스트가 이루어지기 어려운 문제점이 있었다. In the airtight test apparatus of FIG. 2, the pressing member not only pressurizes the vent cap but also pressurizes the cover together, thereby making it difficult to accurately test the airtight state of the RF equipment during the test.

상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해, 본 발명은 벤트 캡이 구비된 RF 장비의 기밀 테스트 장치 및 방법을 제안한다. In order to solve the problems as described above, the present invention proposes an airtight test apparatus and method of the RF equipment having a vent cap.

본 발명의 다른 목적은 RF 장비를 가압하지 않고 정확하게 기밀 상태를 테스트할 수 있는 RF 장비의 기밀 테스트 장치 및 방법을 제안하는 것이다.It is another object of the present invention to propose an airtight test apparatus and method for RF equipment that can accurately test the airtight state without pressurizing the RF equipment.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 테스트되는 RF 장비가 수용되는 챔버; 상기 챔버로 공기를 주입시키고 챔버 내부의 압력을 측정하는 에어 컨트롤러; 상기 챔버 내부에 삽입되며, 상기 테스트되는 RF 장비의 벤트 캡 부위에 접촉하는 진공 포트; 및 상기 진공 포트와 결합되며 상기 테스트되는 RF 장비 내부의 공기를 빨아들이는 진공 발생부를 포함하는 RF 장비의 기밀 테스트 장치가 제공딘다. In order to achieve the object as described above, according to an aspect of the present invention, the chamber is accommodated RF equipment to be tested; An air controller for injecting air into the chamber and measuring pressure inside the chamber; A vacuum port inserted into the chamber and contacting a vent cap portion of the RF equipment under test; And a vacuum generator coupled to the vacuum port and sucking air inside the RF equipment under test.

상기 진공 포트의 접촉 단의 사이즈는 상기 벤트 캡의 사이즈보다 큰 것이 바람직하다. The size of the contact end of the vacuum port is preferably larger than the size of the vent cap.

진공 발생부는 진공 펌프를 포함할 수 있으며, 상기 에어 컨트롤러는 소정의 시간동안 챔버 내부로 공기를 주입시키고, 소정의 테스트 시간 동안 챔버 내부의 압력이 미리 설정된 기준 압력으로 떨어지는지 여부에 의해 상기 테스트 대상이 되는 RF 장비의 기밀성을 테스트한다. The vacuum generating unit may include a vacuum pump, wherein the air controller injects air into the chamber for a predetermined time, and the test target is determined by whether the pressure inside the chamber falls to a predetermined reference pressure during a predetermined test time. The confidentiality of the resulting RF equipment.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 챔버 내에 RF 장비를 수용하는 단계(a); 상 기 RF 장비의 벤트 캡 부위에 진공 포트를 접촉시키는 단계(b); 상기 진공 포트를 통해 RF 장비 내부의 공기를 빨아들이는 단계(c); 상기 챔버에 소정의 시간동안 공기를 주입시키는 단계(d); 및 소정의 테스트 시간 동안 챔버 내부의 압력을 모니터링하여 상기 RF 장비의 기밀성을 테스트하는 단계(e)를 포함하는 RF 장비의 기밀 테스트 방법이 제공된다. According to another aspect of the invention, the method comprises the steps of (a) receiving the RF equipment in the chamber; (B) contacting the vacuum port with the vent cap portion of the RF equipment; (C) drawing air inside the RF equipment through the vacuum port; (D) injecting air into the chamber for a predetermined time; And testing (e) the airtightness of the RF equipment by monitoring the pressure inside the chamber for a predetermined test time.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 벤트 캡이 구비된 RF 장비 가압하지 않고 정확하게 기밀 상태를 테스트할 수 있는 장점이 있다. As described above, according to the present invention, there is an advantage that can accurately test the airtight state without pressurizing the RF equipment with a vent cap.

이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 RF 장비 기밀 테스트 장치 및 방법을 상세히 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the RF equipment confidentiality test apparatus and method according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명이 적용되는 RF 장비 중 바이어스 티의 구성을 도시한 도면이다. 3 is a diagram illustrating a configuration of a bias tee among RF equipment to which the present invention is applied.

본 실시예에서는 바이어스 티를 주요한 예로 하여 기밀 테스트 장치 및 방법을 설명할 것이나, 본 발명이 바이어스 티의 기밀 테스트에 한정되는 것은 아니며, 벤트 캡이 구비되는 다양한 종류의 RF 장비에 적용될 수 있을 것이다. In the present embodiment, the airtight test apparatus and method will be described using the bias tee as a main example, but the present invention is not limited to the airtight test of the bias tee, and may be applied to various kinds of RF equipments having a vent cap.

바이어스 티는 DC 신호와 RF 신호가 혼합된 신호에서 DC 신호 성분과 RF 신호 성분을 분리하여 출력하는 기능을 하는 장치이다. 근래에 들어, 기지국 장비에 대한 제어 신호와 통신 데이터를 포함하는 RF 신호가 하나의 전송 선로를 통해 전송되는 것이 일반적이며, DC 성분의 제어 신호와 RF 신호를 분리할 때 바이어스 티 가 사용된다. The bias tee is a device that separates and outputs a DC signal component and an RF signal component in a mixed signal of the DC signal and the RF signal. In recent years, it is common that RF signals including control signals and communication data for base station equipment are transmitted through one transmission line, and a bias tee is used to separate the control signal and the RF signal of the DC component.

도 3을 참조하면, 바이어스 티는 입력 포트(300), DC 출력 포트(302), RF 출력 포트(304), 본체(306), 상부 커버(308) 및 하부 커버(310)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 3, the bias tee may include an input port 300, a DC output port 302, an RF output port 304, a body 306, an upper cover 308, and a lower cover 310. .

입력 포트(300)로는 RF 신호가 DC 신호가 혼합된 신호가 입력된다. 바이어스 티의 등가 회로는 캐패시터와 인덕터로 구현되며, DC 신호는 인덕터는 통과하나 캐패시터를 통과할 수 없는 특성을 이용한 장치이다. The input port 300 receives a signal in which an RF signal and a DC signal are mixed. The equivalent circuit of the bias tee is implemented with a capacitor and an inductor, and the DC signal is a device using a characteristic that the inductor passes but cannot pass through the capacitor.

DC 출력 포트(302)는 본체(306) 내부의 인덕터 소자와 결합되며 입력 신호 중 DC 성분이 출력되는 포트이다. The DC output port 302 is coupled to the inductor element inside the main body 306 and is a port for outputting a DC component of the input signal.

RF 출력 포트(304)는 본체(306) 내부의 캐패시터 소자와 결합되며 입력 신호 중 RF 성분이 출력되는 포트이다. The RF output port 304 is coupled to the capacitor element inside the main body 306 and is a port for outputting an RF component of the input signal.

본체(306)의 상하부에는 상부 커버(308) 및 하부 커버(310)가 결합되며, 도 3에 도시된 바와 같이, 볼트 결합 방식에 의해 결합될 수 있다. 수분의 유입은 대부분 본체(306)와 상부 커버(308) 및 하부 커버(310) 사이의 결합 부위에서 일어날 수 있으며, 이 부위의 볼트 결합 정도에 따라 장비의 기밀성이 달라진다. The upper cover 308 and the lower cover 310 are coupled to the upper and lower portions of the main body 306, and as shown in FIG. 3, may be coupled by a bolt coupling method. The inflow of water can occur mostly at the coupling site between the body 306 and the upper cover 308 and the lower cover 310, and the tightness of the equipment depends on the degree of bolting at this location.

한편, 상부 커버(308)의 중심부에는 벤트 캡(350)이 결합된다. 전술한 바와 같이, 벤트 캡(350)은 고어텍스 재질로서 공기는 통과시키나 수분은 통과시키지 않는 재질로서 방수 제품에 주로 사용되는 재질이다. 벤트 캡(350)은 수분의 유입은 저지시키되 공기는 통과시킴으로써 RF 장비 내부의 온도가 과도하게 상승하는 것을 방지한다. On the other hand, the vent cap 350 is coupled to the center of the upper cover 308. As described above, the vent cap 350 is a Gore-tex material, which allows air to pass but does not allow moisture to pass through, and is mainly used for waterproof products. The vent cap 350 prevents the inflow of moisture but allows air to pass through, thereby preventing the temperature inside the RF equipment from excessively rising.

벤트 캡(350)의 결합 부위는 RF 장비에 따라 다양하게 설정될 수 있으며, 벤 트 캡(350)의 사이즈 및 수 역시 RF 장비의 사이즈에 따라 다양하게 설정될 수 있다. The coupling part of the vent cap 350 may be set in various ways according to the RF equipment, and the size and number of the vent caps 350 may also be set in various ways according to the size of the RF equipment.

이하에서는 도 3과 같은 바이어스 티에 대한 본 발명의 일 실시예에 따른 기밀 테스트 장치에 대해 살펴보기로 한다. Hereinafter, a leak test apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention for a bias tee as shown in FIG. 3 will be described.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기밀 테스트 장치의 구성을 도시한 도면이다. 4 is a diagram showing the configuration of an airtight test apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기밀 테스트 장치는 챔버(400), 진공 발생부(402), 진공 포트(404), 에어 컨트롤러(406) 및 모니터링 장치(408)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 4, an airtight test apparatus according to an embodiment of the present invention may include a chamber 400, a vacuum generator 402, a vacuum port 404, an air controller 406, and a monitoring device 408. Can be.

챔버(400)는 내부로 공기가 유입되지 않도록 사방이 막힌 구조이며 내부에 RF 장비가 수용된다. 도 4에는 도시되어 있지 않으나, 테스트 시 RF 장비가 고정될 수 있도록 RF 장비를 고정하기 위한 구조가 챔버 내부에 형성될 수 있다. The chamber 400 has a structure in which all directions are blocked so that no air is introduced into the chamber 400, and RF equipment is accommodated therein. Although not shown in FIG. 4, a structure for fixing the RF equipment may be formed inside the chamber so that the RF equipment may be fixed during the test.

챔버(400)에는 에어 컨트롤러(406)의 포트와 결합되기 위한 홀 및 진공 발생부에서 연장되는 진공 포트(404)가 삽입되기 위한 홀이 형성될 수 있다. In the chamber 400, a hole for coupling with a port of the air controller 406 and a hole for inserting the vacuum port 404 extending from the vacuum generator may be formed.

진공 발생부(402)는 진공 포트(404)와 결합되는 장비의 내부를 매우 낮은 압력의 진공 상태로 만드는 기능을 한다. 즉, 진공 발생부(402)는 대상 장비의 공기를 흡입하여 외부로 방출시키는 기능을 하며, 진공 펌프가 진공 발생부(402)로 사용될 수 있다. The vacuum generator 402 functions to make the interior of the equipment coupled to the vacuum port 404 into a very low pressure vacuum. That is, the vacuum generating unit 402 functions to suck the air of the target equipment and discharge it to the outside, and a vacuum pump may be used as the vacuum generating unit 402.

진공 펌프는 용적식 펌프와 원심력을 이용한 회전식 펌프 등 그 종류가 다양하며 다양한 종류의 진공 펌프가 모두 본 발명에 적용될 수 있을 것이다. 또한, 진 공 펌프 이외에도 다양한 진공을 발생 시킬 수 있는 장치가 본 발명에 적용될 수 있다는 점은 당업자에게 있어 자명할 것이다. There are various types of vacuum pumps such as volumetric pumps and rotary pumps using centrifugal force, and various types of vacuum pumps may be applied to the present invention. In addition, it will be apparent to those skilled in the art that a device capable of generating various vacuums in addition to the vacuum pump may be applied to the present invention.

진공 포트(404)는 진공 발생부(402)에 결합되어 대상 장비 내부의 공기가 이동하는 통로로서의 기능을 한다. 진공 포트(404)는 RF 장비의 벤트 캡 결합 부위에 접촉하며, 진공 발생부(402)에 의해 RF 장비 내부의 공기를 빨아들이는 기능을 한다. 또한, 진공 포트는 벤트 캡이 챔버 내에서 노출되지 않도록 진공 포트를 가리는 기능을 수행하기도 하며 진공 포트의 접촉 부위의 사이즈는 벤트 캡보다 크게 설정되는 것이 바람직하다. The vacuum port 404 is coupled to the vacuum generator 402 to function as a passage through which air inside the target equipment moves. The vacuum port 404 is in contact with the vent cap coupling portion of the RF equipment, and functions to suck air inside the RF equipment by the vacuum generator 402. In addition, the vacuum port may serve to cover the vacuum port so that the vent cap is not exposed in the chamber, and the size of the contact portion of the vacuum port is preferably set larger than that of the vent cap.

진공 포트(404)는 RF 장비 내부의 공기를 빨아들이기 위해 RF 장비의 벤트 캡 부위를 흡착하기 때문에 진공 포트(404)는 RF 장비를 가압할 필요가 없으며 진공 포트(404)를 RF 장비에 접촉 시키고 진공 펌프가 동작하는것 만으로 벤트 캡이 기밀 테스트에 방해 요인으로 작용하는 것을 방지할 수 있다. The vacuum port 404 does not need to pressurize the RF equipment because the vacuum port 404 adsorbs the vent cap portion of the RF equipment to suck air inside the RF equipment, and the vacuum port 404 contacts the RF equipment. The operation of the vacuum pump alone prevents the vent cap from interfering with the leak test.

에어 컨트롤러(406)는 챔버 내부에 공기를 주입시키고 챔버 내부의 압력을 측정하는 기능을 한다. 에어 컨트롤러(406)는 소정의 공기 주입 시간 동안 공기를 주입시킨 후 챔버 내부의 압력을 감지한다. The air controller 406 injects air into the chamber and measures the pressure inside the chamber. The air controller 406 injects air for a predetermined air injection time and then detects a pressure inside the chamber.

모니터링 장치(408)는 에어 컨트롤러에 의해 측정되는 챔버 내부의 압력을 디스플레이한다. 관리자는 모니터링 장치(408)에서 디스플레이되는 압력을 체크하여 RF 장비의 기밀 상태를 판단할 수 있다. The monitoring device 408 displays the pressure inside the chamber as measured by the air controller. The administrator may determine the confidentiality state of the RF equipment by checking the pressure displayed on the monitoring device 408.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기밀 테스트 방법의 전체적인 흐름을 도시한 도면이다. 5 is a view showing the overall flow of the leak test method according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 먼저 챔버에 테스트 대상이 되는 RF 장비를 수용한다(단계 500). 본 발명의 일 실시예에 따르면, 챔버의 바닥부는 슬라이딩 방식으로 외부로 나올 수 있으며, 슬라이딩된 바닥부에 RF 장비를 안착시킨 후 다시 슬라이딩으로 내부로 밀어넣은 후 덮개를 닫는 방식으로 챔버에 RF 장비를 수용할 수 있다. Referring to FIG. 5, first, RF chambers to be tested are accommodated in a chamber (step 500). According to an embodiment of the present invention, the bottom of the chamber may come out of the outside in a sliding manner, the RF equipment is seated on the sliding bottom and then pushed back into the inside by sliding the RF equipment in the chamber by closing the cover Can accommodate

챔버 내에 RF 장비가 수용되면, 챔버 내부의 진공 포트를 벤트 캡 부위에 접촉시킨다(단계 502). 전술한 바와 같이, 진공 포트의 접촉 단은 벤트 캡보다 사이즈 보다 크게 설정되어 벤트 캡은 진공 포트에 의해 가려진다. Once the RF equipment is received in the chamber, the vacuum port inside the chamber contacts the vent cap site (step 502). As described above, the contact end of the vacuum port is set larger than the size of the vent cap so that the vent cap is covered by the vacuum port.

진공 포트가 RF 장비에 접촉되면 진공 펌프가 진공 포트를 통해 RF 장비 내부의 공기를 빨아들인다(단계 504). 벤트 캡은 공기를 통과할 수 있도록 하기 때문에 RF 장비 내부의 공기를 빨아들이는 것이 가능하다. When the vacuum port contacts the RF equipment, the vacuum pump draws air inside the RF equipment through the vacuum port (step 504). The vent cap allows air to pass through, allowing it to suck air inside the RF equipment.

소정의 시간 동안 RF 장비 내부의 공기를 빨아들이면, 에어 컨트롤러를 통해 챔버 내부에 공기를 주입시킨다(단계 506). 공기는 소정의 임계 전압이 될 때까지 주입되며, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 약 12초의 시간동안 약 0.3 기압이 될 때까지 공기를 주입시킬 수 있다. If air is sucked into the RF equipment for a predetermined time, air is injected into the chamber through the air controller (step 506). Air is injected until it reaches a predetermined threshold voltage, and according to an embodiment of the present invention, air may be injected until about 0.3 atm for a time of about 12 seconds.

공기가 주입되면, 챔버 내에 임계 압력이 유지되도록 하는 조정 단계가 진행된다(단계 508). 이때, 에어 컨트롤러는 챔버 내부의 압력이 0.3 기압으로 유지되도록 공기를 주입하거나 빼는 방식으로 챔버 내의 압력을 조절한다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 조정 단계는 약 6초 내지 8초간 진행될 수 있다. Once air is injected, an adjustment step is made to maintain the critical pressure in the chamber (step 508). At this time, the air controller adjusts the pressure in the chamber by injecting or extracting air so that the pressure inside the chamber is maintained at 0.3 atmosphere. According to one embodiment of the invention, the adjustment step may proceed for about 6 seconds to 8 seconds.

조정 단계가 진행된 후, 소정의 테스트 시간동안 공기 주입을 중단하고 챔버 내부의 압력을 모니터링하여 RF 장비의 기밀 상태를 테스트한다(단계 510). 본 발 명의 일 실시예에 따르면, 약 8초의 시간동안 챔버 내의 압력을 모니터링하여 압력이 미리 설정된 기준 전압보다 하강하는지 여부를 판단한다. RF 장비의 기밀성이 충분히 확보되지 않은 경우, 챔버 내에 주입된 공기가 RF 장비 내부로 주입될 수 있으므로 챔버 내부의 압력은 떨어질 것이며 압력이 미리 설정된 기준 전압 이하로 떨어질 경우 기준치의 기밀성이 확보되지 않았다고 판단한다. After the adjustment step, the air injection is stopped for a predetermined test time and the pressure inside the chamber is monitored to test the air tightness of the RF equipment (step 510). According to one embodiment of the present invention, the pressure in the chamber is monitored for a time period of about 8 seconds to determine whether the pressure falls below a preset reference voltage. If the airtightness of the RF equipment is not sufficiently secured, since the air injected into the chamber may be injected into the RF equipment, the pressure inside the chamber will drop, and if the pressure drops below a predetermined reference voltage, it is determined that the airtightness of the reference value is not secured. do.

상술한 기밀 테스트 방식에 의하면, 진공 포트가 RF 장비의 벤트 캡 부위를 가압하지 않기 때문에 가압으로 인해 테스트 시의 기밀성이 높게 판단되는 종래 방식의 문제점을 해결할 수 있다. According to the above-described airtight test method, since the vacuum port does not pressurize the vent cap portion of the RF equipment, it is possible to solve the problem of the conventional method in which the airtightness is determined to be high due to the pressurization.

아울러, 테스트 시 RF 장비 내부를 진공에 근접한 상태로 만들고 테스트가 수행되므로 보다 정확한 기밀성 테스트가 가능하다. In addition, the test makes the inside of the RF device close to vacuum and the test is performed for more accurate airtightness test.

상기한 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다. Preferred embodiments of the present invention described above are disclosed for purposes of illustration, and those skilled in the art having ordinary knowledge of the present invention will be able to make various modifications, changes, additions within the spirit and scope of the present invention, such modifications, changes and Additions should be considered to be within the scope of the following claims.

도 1은 종래의 RF 장비의 기밀 테스트 장치의 구성을 도시한 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a diagram showing the configuration of an airtight test apparatus of a conventional RF equipment.

도 2는 벤트 캡이 구비된 RF 장비의 기밀 상태를 테스트하기 위한 종래의 기밀 테스트 장치를 도시한 도면.Figure 2 shows a conventional hermetic test device for testing the hermeticity of the RF equipment with the vent cap.

도 3은 본 발명이 적용되는 RF 장비 중 바이어스 티의 구성을 도시한 도면.3 is a diagram illustrating a configuration of a bias tee among RF equipment to which the present invention is applied.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기밀 테스트 장치의 구성을 도시한 도면.4 is a diagram illustrating a configuration of an airtight test apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기밀 테스트 방법의 전체적인 흐름을 도시한 도면.5 is a view showing the overall flow of the leak testing method according to an embodiment of the present invention.

Claims (6)

공기 입출이 가능한 벤트 캡이 구비된 RF 장비가 수용되는 챔버;A chamber accommodating RF equipment having a vent cap capable of entering and exiting air; 상기 챔버로 공기를 주입시키고 챔버 내부의 압력을 측정하는 에어 컨트롤러;An air controller for injecting air into the chamber and measuring pressure inside the chamber; 상기 챔버 내부에 삽입되고, 상기 테스트되는 RF 장비의 벤트 캡 부위에 접촉하며 접촉단의 사이즈가 상기 벤트 캡의 사이즈보다 크게 설정되어 상기 RF 장비 내부로 공기가 유입되는 것을 방지하기 위한 진공 포트; 및 A vacuum port inserted into the chamber and contacting a vent cap portion of the RF equipment to be tested and having a contact end size larger than that of the vent cap to prevent air from entering the RF equipment; And 상기 진공 포트와 결합되며 상기 테스트되는 RF 장비 내부의 공기를 빨아들이는 진공 발생부를 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 장비의 기밀 테스트 장치. And a vacuum generator coupled to the vacuum port and sucking air in the RF equipment under test. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 진공 발생부는 진공 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 장비의 기밀 테스트 장치. The vacuum generator is a tightness test apparatus of RF equipment, characterized in that it comprises a vacuum pump. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 에어 컨트롤러는 소정의 시간동안 챔버 내부로 공기를 주입시키고, 소 정의 테스트 시간 동안 챔버 내부의 압력이 미리 설정된 기준 압력으로 떨어지는지 여부에 의해 상기 테스트 대상이 되는 RF 장비의 기밀성을 테스트하는 것을 특징으로 하는 RF 장비의 기밀 테스트 장치. The air controller injects air into the chamber for a predetermined time, and tests the airtightness of the RF equipment to be tested by whether or not the pressure in the chamber drops to a predetermined reference pressure during a predetermined test time. Leakage test device for RF equipment. 챔버 내에 벤트 캡이 구비된 RF 장비를 수용하는 단계(a);(A) receiving RF equipment having a vent cap in the chamber; 상기 RF 장비의 벤트 캡 부위에 진공 포트를 접촉시키는 단계(b)-상기 진공 포트는 상기 챔버 내부로 삽입되어 상기 RF 장비의 벤트 캡 부위에 접촉되며 접촉단의 사이즈는 상기 벤트 캡의 사이즈보다 크게 설정됨-;(B) contacting the vacuum port to the vent cap portion of the RF equipment-the vacuum port is inserted into the chamber to contact the vent cap portion of the RF equipment and the size of the contact end is larger than the size of the vent cap Set-; 상기 진공 포트를 통해 RF 장비 내부의 공기를 빨아들이는 단계(c);(C) drawing air inside the RF equipment through the vacuum port; 상기 챔버에 소정의 시간동안 공기를 주입시키는 단계(d); 및(D) injecting air into the chamber for a predetermined time; And 소정의 테스트 시간 동안 챔버 내부의 압력을 모니터링하여 상기 RF 장비의 기밀성을 테스트하는 단계(e)를 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 장비의 기밀 테스트 방법. (E) testing the airtightness of the RF equipment by monitoring the pressure inside the chamber for a predetermined test time. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 단계(d) 이후 소정의 임계 압력이 유지되도록 챔버 내부의 압력을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 RF 장비의 기밀 테스트 방법. And adjusting the pressure in the chamber to maintain a predetermined threshold pressure after step (d).
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