KR100914494B1

KR100914494B1 - Linear actuator

Info

Publication number: KR100914494B1
Application number: KR1020070006559A
Authority: KR
Inventors: 정훈택
Original assignee: 정훈택
Priority date: 2007-01-22
Filing date: 2007-01-22
Publication date: 2009-08-28
Also published as: KR20080069004A

Abstract

본 발명은 반도체소자 등의 검사나 가공이나 증착 등의 작업과정에서 이용하는 이동장치에 관한 것으로; 베이스의 상측에 마그네트(22)들이 배열된 고정유닛과, 이 고정유닛에 탑재되어 상기 마그네트(22)와의 상호 작용을 통해 자기장을 발생하는 다수개의 자계코일(21)을 배열한 가동유닛으로 구성된 한 쌍의 세로이동대를 병설하고; 상기 세로이동대의 상면에 상기 자계코일(21)에 고정되어 왕복이동하는 가로이동대(13)를 가로 건너 설치하며; 상기 가로이동대(13)에 작업기구(15)를 탑재하고 작업대상물의 작업을 수행하는 이동장치로서; 상기 세로이동대들의 상부에 상호 인접되어 적어도 2개 이상의 병행하게 배치되는 가로이동대들 및; 상기 가로이동대들 각기에 상기 가로이동대(13)의 이동방향을 기준으로 인접측과 교호적이며 상호 접촉되지 않고 중첩되어 상기 자계코일(21)의 길이 이내의 작업간격을 제공하는 배열을 갖는 적어도 2개 이상의 가동유닛으로 구성되어; 가로이동대의 전후진과정에서 허용되는 작업기구의 작업간격이 줄어들어 작업의 신뢰성이 극대화될 뿐만 아니라 작업기구의 작업시간 및 작업공정수가 절감되어 효율성이 극대화되게 한 것이다. The present invention relates to a mobile device used during the inspection, processing or deposition of semiconductor devices, etc .; A fixed unit having magnets 22 arranged on an upper side of the base, and a movable unit mounted on the fixed unit and arranged with a plurality of magnetic coils 21 for generating a magnetic field through interaction with the magnet 22. Parallel pairs of longitudinal carriages; It is fixed to the magnetic field coil (21) on the upper surface of the vertical port and installed across the horizontal port (13) for reciprocating; A mobile device for mounting a work tool (15) on the horizontal movable table (13) and performing work of a work object; At least two transverse carriages disposed adjacent to each other on top of the longitudinal carriages and arranged in parallel; At least each of the transversal bands has an arrangement that provides a working interval within the length of the magnetic field coil 21 by overlapping the adjacent sides alternately without mutual contact with respect to the adjacent side with respect to the moving direction of the transverse band 13. Two or more movable units; The work interval of the work tool that is allowed in the forward and backward movement of the horizontal movable platform is not only maximized, but also the reliability of the work is maximized, and the work time and the number of work steps of the work tool are reduced to maximize the efficiency.

이동장치, 작업간격, 가이드, 가로이동대, 모터부, 자계코일, 제어부 Moving device, working interval, guide, horizontal moving table, motor part, magnetic field coil, control part

Description

Linear actuator

도 1은 종래 기술에 따른 이동장치를 도시한 측단면도, 1 is a side cross-sectional view showing a moving device according to the prior art,

도 2는 종래 기술에 따른 도 1의 A-A선을 도시한 단면도, 2 is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG. 1 according to the prior art;

도 3은 본 발명에 따른 이동장치를 도시한 평면도, 3 is a plan view showing a mobile device according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 이동장치를 도시한 측단면도,Figure 4 is a side cross-sectional view showing a moving device according to the present invention,

도 5는 본 발명에 따른 도 4의 A-A선을 도시한 단면도,5 is a cross-sectional view showing a line A-A of FIG. 4 according to the present invention;

도 6은 본 발명에 따른 이동장치의 모터부를 도시한 개략적인 사시도이다. 6 is a schematic perspective view of the motor unit of the mobile device according to the present invention.

* 도면 중 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1 : 이동장치 10 : 몸체부1: moving device 10: body

11 : 베이스 12 : 가이드11: base 12: guide

13 : 가로이동대 14 : 홈센서13: horizontal moving table 14: home sensor

15 : 작업기구 16 : 리미트센서15: working mechanism 16: limit sensor

17 : 스톱퍼 20 : 모터부17: stopper 20: motor portion

21 : 자계코일 22 : 마그네트21: magnetic field coil 22: magnet

30 : 제어부30: control unit

본 발명은 반도체소자 등의 검사나 가공이나 증착 등의 작업과정에서 이용하는 이동장치에 관한 것으로, 특히 모터부를 복열로 배치하면서도 작업간격을 최소화하여 작업시간 및 작업공정을 단순화시킴은 물론 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 한 이동장치에 관한 것이다. The present invention relates to a mobile device used in the inspection, processing or deposition process of semiconductor devices, etc. In particular, while the motor unit is arranged in a double row, the work interval is minimized by simplifying work time and work process as well as reliability of work. It relates to a mobile device that can be improved.

일반적으로, 리니어모터를 이용한 이동장치는 반도체소자와 같은 정밀부품의 제조라인에 설치되어 카메라와 검사장비나 가공장비나 증착장비 등을 이송하는 기구로서, 이 이동장치는 베이스구조물에 일렬로 설치된 리니어모터에 하나 또는 다수개의 슬라이드를 설치하게 된다. In general, a moving device using a linear motor is a mechanism for transferring cameras, inspection equipment, processing equipment, and deposition equipment installed on a manufacturing line for precision parts such as semiconductor devices, and the moving device is a linear motor installed in a line with the base structure. One or more slides will be installed in the system.

예컨대, 도 1 및 도 2에서와 같이, 이동장치(100)는, 베이스(110)의 상면양측에 각각 장착된 가이드(120)와, 상기 가이드(120)에 탑재되어 작업기구(150)을 운반하는 슬라이드(130) 및, 상기 슬라이드(130)와 상기 베이스(110)에 각각 장착된 마그네트(141)과 자계코일(142)의 전기적인 작용을 통해 상기 슬라이드(130)를 직선이동시키는 리니어모터(140)로 구성된다. For example, as shown in FIGS. 1 and 2, the moving device 100 includes guides 120 mounted on both sides of the upper surface of the base 110, and mounted on the guides 120 to carry work tools 150. A linear motor for linearly moving the slide 130 through the electrical action of the slide 130 and the magnet 141 and the magnetic coil 142 mounted on the slide 130 and the base 110, respectively ( 140).

그리고, 가이드(120)는, 베이스(110)의 상부측에 구성된 슬라이드(130)의 이동루트를 안내하는 것으로서, 베이스(110)의 상면양측에 각각 장착되는 한 쌍의 고정체(121)과, 상기 고정체(121)의 상부측에 다수개의 볼부재(122)를 통해 각각 안착되는 이동체(123)로 구성된다. The guide 120 guides the movement route of the slide 130 formed on the upper side of the base 110, and has a pair of fixed bodies 121 mounted on both sides of the upper surface of the base 110. The upper body of the fixed body 121 is composed of a moving body 123 which is seated through a plurality of ball members 122, respectively.

따라서, 이동장치(100)에 작동신호를 출력하면, 리니어모터(140)의 구성부품에 의해 발생하는 자장에 의해, 베이스(110)의 상부측에 구성된 슬라이드(130)가 가이드(120)를 따라 전진 및 후진하므로, 슬라이드(130)에 탑재된 각종 작업기구(150)를 이송할 수 있게 되는 것이다. Accordingly, when the operation signal is output to the moving device 100, the slide 130 formed on the upper side of the base 110 is guided along the guide 120 by the magnetic field generated by the components of the linear motor 140. Since it moves forward and backward, it is possible to transport the various work mechanisms 150 mounted on the slide 130.

그런데, 이동장치(100)는 하나의 베이스(110)에 일렬로 리니어모터(140)를 설치하고 하나 또는 다수개의 가로이동대(130)를 장착하는 구성이므로, 슬라이드(130)의 길이를 자계코일(142)의 길이와 같게 구성하거나 더 길게 구성할 수 밖에 없는 구조적인 한계점이 있었다. By the way, since the moving device 100 is installed to install the linear motor 140 on one base 110 in a row and to mount one or a plurality of horizontal movable table 130, the length of the slide 130 magnetic coil There was a structural limitation that inevitably consisted of the length of (142) or longer.

즉, 이동장치(100)의 슬라이드(130)를 최소한 2개로 구성하면서 슬라이드대(130)의 길이를 자계코일(142)의 길이보다 짧게 구성하는 경우, 슬라이드와 슬라이드를 최대로 근접시키면 자계코일(142)들이 먼저 닿을 수 있었다. That is, when configuring the slide 130 of the moving device 100 to at least two while the length of the slide stage 130 is configured to be shorter than the length of the magnetic coil 142, when the slide and the slide as close as possible the magnetic coil ( 142) could reach first.

이로 인해, 자계코일(142)의 전체길이로 인해 설정된 상기 슬라이드(130)와 슬라이드(130)간의 간격이 상대적으로 넓어서 작업기구(150)의 정밀작업이 불가능해지는 문제점이 있는 것이다. For this reason, the gap between the slide 130 and the slide 130 is set relatively wide due to the total length of the magnetic field coil 142 has a problem that the precise work of the work tool 150 is impossible.

이에, 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 모터부를 복열로 배치하면서도 작업간격을 최소화하여 작업시간 및 작업공정을 단순화시킴은 물론 작업의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 한 이동장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다. Accordingly, the present invention has been made to solve the problems described above, the mobile device to simplify the work time and work process as well as to improve the work reliability by minimizing the work interval while arranging the motor unit in a double row The purpose is to provide.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 베이스의 상측에 상호 극성이 교번되게 다수개의 마그네트들이 배열된 고정유닛과, 상기 고정유닛에 탑재되어 상기 마그네트와의 상호 작용을 통해 자기장을 발생하는 다수개의 자계코일을 배열한 가동유닛으로 구성된 한 쌍의 세로이동대를 일정간격을 두고 병설하고; 상기 세로이동대의 상면에 상기 자계코일에 고정되어 자장의 변화량에 따라 왕복이동하는 가로이동대를 가로 건너 설치하며; 상기 가로이동대에 작업기구를 탑재하고 작업대상물에 요구되는 작업을 수행시키게 하는 이동장치로서; 상기 세로이동대들의 상부에 상호 인접되어 적어도 2개 이상의 병행하게 배치되는 가로이동대들 및; 상기 가로이동대들 각기에 상기 가로이동대의 이동방향을 기준으로 인접측과 교호적이며 상호 접촉되지 않고 중첩되어 상기 자계코일의 길이 이내의 작업간격을 제공하는 배열을 갖는 적어도 2개 이상의 가동유닛을 포함하여서 구성된다. The present invention for achieving the above object, a plurality of magnets are arranged on the upper side of the base alternately polarity and a plurality of magnets mounted on the fixing unit to generate a magnetic field through interaction with the magnet Arranging a pair of longitudinal moving units composed of movable units in which magnetic field coils are arranged at regular intervals; It is fixed to the magnetic field coil on the upper surface of the vertical port is installed across the transverse band reciprocating in accordance with the amount of change in the magnetic field; A mobile device for mounting a work tool on the horizontal movable table and performing work required for a work object; At least two transverse carriages disposed adjacent to each other on top of the longitudinal carriages and arranged in parallel; At least two movable units each having an arrangement for providing a working interval within the length of the magnetic field coil, which overlaps with each other on the basis of the movement direction of the horizontal carriage and overlaps with each other without mutual contact. It is configured by.

이하, 본 발명에 따른 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, an embodiment according to the present invention will be described in detail.

도 3은 본 발명에 따른 이동장치를 도시한 평면도이며, 도 4는 본 발명에 따른 이동장치를 도시한 측단면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 도 4의 A-A선을 도시한 단면도이며, 도 6은 본 발명에 따른 이동장치의 모터부를 확대 도시한 개략적인 사시도이다Figure 3 is a plan view showing a moving device according to the present invention, Figure 4 is a side cross-sectional view showing a moving device according to the present invention, Figure 5 is a cross-sectional view showing a line AA of Figure 4 according to the present invention, 6 is a schematic perspective view showing an enlarged motor unit of the mobile device according to the present invention.

베이스(11)의 상측에 상호 극성이 교번되게 다수개의 마그네트(22)들이 배열된 고정유닛과, 상기 고정유닛에 탑재되어 상기 마그네트(22)와의 상호 작용을 통해 자기장을 발생하는 다수개의 자계코일(21)을 배열한 가동유닛으로 구성된 한 쌍의 세로이동대를 일정간격을 두고 병설하고; 상기 세로이동대의 상면에 상기 자계코일(21)에 고정되어 자장의 변화량에 따라 왕복이동하는 가로이동대(13)를 가로 건너 설치하며; 상기 가로이동대(13)에 작업기구(15)를 탑재하고 작업대상물에 요구되는 작업을 수행시키게 하는 이동장치로서; 상기 세로이동대들의 상부에 상호 인접되어 적어도 2개 이상의 병행하게 배치되는 가로이동대들 및; 상기 가로이동대들 각기에 상기 가로이동대(13)의 이동방향을 기준으로 인접측과 교호적이며 상호 접촉되지 않고 중첩되어 상기 자계코일(21)의 길이 이내의 작업간격을 제공하는 배열을 갖는 적어도 2개 이상의 가동유닛을 포함하여서 구성된다. A fixing unit in which a plurality of magnets 22 are arranged so that mutual polarities are alternately arranged on an upper side of the base 11, and a plurality of magnetic coils mounted on the fixing unit to generate a magnetic field through interaction with the magnets 22 ( 21) a pair of longitudinally moving tables composed of movable units arranged side by side at regular intervals; It is fixed to the magnetic field coil (21) on the upper surface of the vertical port and installed across the horizontal port (13) to reciprocate in accordance with the amount of change in the magnetic field; A mobile device for mounting a work mechanism (15) on the horizontal movable table (13) and performing a work required for a work object; At least two transverse carriages disposed adjacent to each other on top of the longitudinal carriages and arranged in parallel; At least each of the transversal bands has an arrangement that provides a working interval within the length of the magnetic field coil 21 by overlapping the adjacent sides alternately without mutual contact with respect to the adjacent side with respect to the moving direction of the transverse band 13. It comprises two or more movable units.

먼저, 본 실시예에 따른 이동장치(1)는, 장치의 외관을 이루는 몸체부(10)와, 상기 몸체부(10)의 사용공간에 순차적으로 배치되어 자장을 발생하는 다수개의 모터부(20) 및, 상기 모터부(20)를 포함한 각종 전장품에 작동신호를 출력하는 베어부(30)로 이루어진다.First, the moving device 1 according to the present embodiment includes a plurality of motor parts 20 sequentially arranged in a space used for forming the exterior of the device and a space used for the body part 10 to generate a magnetic field. And a bare part 30 for outputting an operation signal to various electric appliances including the motor part 20.

여기서, 이동장치(1)의 작동기구는, 마그네트(22)들을 배열한 고정유닛과 자계코일(21)들을 배열한 가공유닛이 상호 결합된 한 쌍의 세로이동대와, 이 세로이동대의 상부측에 구성되면서 작업기구(15)가 탑재되는 가로이동대로 이루어진다. Here, the actuating mechanism of the moving device 1 includes a pair of longitudinal slides in which a fixed unit in which the magnets 22 are arranged and a processing unit in which the magnetic coils 21 are arranged are coupled to each other, and an upper side of the vertical slide. While being configured in the working mechanism 15 is made of the horizontal movement.

그리고, 이동장치(1)는 반도체소자 등과 같은 정밀부품의 제조라인을 포함한 각종 산업현장에서 작업기구(15)를 전진 및 후진시키는 모든 장치를 포함하는 것이며, 작업기구(15)는 가로이동대(13)에 의해 이송되는 검사장치나 가공장치나 증착장치 등과 같은 모든 기구를 의미한다. In addition, the moving device 1 includes all devices for advancing and reversing the work tool 15 in various industrial sites including a manufacturing line of precision parts such as semiconductor devices, and the work mechanism 15 includes a horizontal moving table ( Means all instruments such as inspection equipment, processing equipment, and deposition equipment carried by 13).

그리고, 몸체부(10)는, 이동장치(1)의 전체하중을 지지함은 물론 외관을 이루는 것으로서, 베이스(11)의 상부측에 탑재된 가이드(12)를 매개로 한 또는 다수개의 가로이동대(13)가 전진 및 후진한다. And, the body portion 10, as well as supporting the overall load of the moving device 1 to form an appearance, or a plurality of horizontal movements via the guide 12 mounted on the upper side of the base 11 Base 13 moves forward and backward.

또한, 몸체부(10)에는 가이드(12)의 초기위치를 감지하는 홈센서(14)나 가로이동대(13)의 전진 및 후진량을 감지하는 리미트센서(16) 등과 같은 각종 센서와 각종 제어기구들이 장착된다. In addition, the body 10 has various sensors and various controls such as a home sensor 14 for detecting the initial position of the guide 12 or a limit sensor 16 for sensing the forward and backward amounts of the horizontal movable table 13. The instruments are mounted.

또한, 베이스(11)는, 이동장치의 설치장소에 안착되거나 고정수단을 통해 고정되는 판형상의 부재로서, 그 상면 양측부에 길이방향을 따라 가이드(12)가 배치되는 수용공간(11a)이 형성된다. In addition, the base 11 is a plate-shaped member that is seated at the installation location of the mobile device or is fixed through the fixing means, and the receiving space 11a in which the guide 12 is disposed along the longitudinal direction is formed at both sides of the upper surface. do.

또한, 가이드(12)는, 베이스(11)의 상면에 탑재되어 가로이동대(13)의 이동방향을 안내하는 것으로서, 수용공간(11a)의 바닥면에 고정되는 고정체(12a)와, 이 고정체(12a)의 상면에 슬라이딩식으로 결합된 상태에서 가로이동대(13)의 하면에 고정되는 이동체(12b)로 이루어진다. In addition, the guide 12 is mounted on the upper surface of the base 11 to guide the moving direction of the horizontal movable table 13, and is fixed to the bottom surface of the accommodation space 11a, It consists of a movable body 12b fixed to the lower surface of the horizontal movable table 13 in a slidingly coupled state on the upper surface of the fixed body 12a.

이때, 가이드(12)의 이동체(12a)와 고정체(12b)가 상하방향으로 장착된 것에 한정하여 설명하였지만 가로이동대(13)의 특성에 맞추어 경사도를 조절할 수 있으며, 특히 LM가이드를 적용함이 바람직하다. In this case, the movable body 12a and the fixed body 12b of the guide 12 have been described in the above-described way, but the tilt can be adjusted according to the characteristics of the horizontal movable table 13, and in particular, the LM guide is applied. This is preferred.

또한, 가로이동대(13)는, 가이드(12)의 상부측에 탑재되어 작업기구(15)를 원하는 장소로 운반하는 것으로서, 가이드의 상부측에 하나 또는 다수개 구성되며, 그 상면에 부식을 방지함은 물론 작업기구(15)와의 마찰손상을 방지하는 실링부재(13a)를 부착함이 바람직하다. In addition, the horizontal movable table 13 is mounted on the upper side of the guide 12 to carry the work mechanism 15 to a desired place, and is provided with one or more on the upper side of the guide and prevents corrosion on its upper surface. It is preferable to attach the sealing member 13a to prevent the damage as well as the friction with the work mechanism 15.

또한, 홈센서(14)는 가이드(12)의 이동경로에 장착되어 가이드(12)의 초기위치를 감지하며, 리미트센서(16)는 가로이동대(13)의 이동경로에 장착되어 가로이동대의 최대 전진량 및 최대 후진량을 감지한다. In addition, the home sensor 14 is mounted on the movement path of the guide 12 to detect the initial position of the guide 12, the limit sensor 16 is mounted on the movement path of the horizontal movable table 13 is installed Detects the maximum amount of forward and maximum amount of reverse.

또한, 몸체부(10)의 구성과정에서 도 5에서와 같이, 몸체부(10)의 선단부와 후단부에 각각의 스톱퍼(17)를 장착하여, 가이드(12)의 이동루트를 규정량으로 제한함은 물론 구성부품들을 보호함이 바람직하다. In addition, as shown in Figure 5 in the configuration of the body portion 10, by mounting the respective stopper 17 to the front end and the rear end of the body portion 10, limiting the movement route of the guide 12 to a prescribed amount Of course, it is desirable to protect the components.

그리고, 모터부(20)는, 몸체부(10)의 수용공간 장착되어 자장의 변화량에 따라 가로이동대(13)를 전/후진시키는 것으로서, 베이스(11)의 상부측에 장착된 다수열의 마그네트(22)와, 이 마그네트(22)에 마주하게 장착되어 가로이동대(13)를 이송하는 각각의 자계코일(21)로 구성된다.In addition, the motor unit 20 is mounted to the receiving space of the body portion 10 to move forward and backward in accordance with the amount of change in the magnetic field, a plurality of rows of magnets mounted on the upper side of the base 11 And magnetic field coils 21 which are mounted to the magnets 22 so as to face each other and to which the horizontal movable table 13 is conveyed.

또한, 자계코일(21)은, 전기장치(미도시)에 연결되어 외부전원을 인가하는 것으로서, 그 상면에 각각의 가로이동대(13)가 장착되며, 그 양측면에 상기 마그네트(30)를 수용하기 위한 오목홈(21a)이 형성된다. In addition, the magnetic field coil 21 is connected to an electric device (not shown) to apply an external power source, and each of the horizontal movable bases 13 is mounted on an upper surface thereof and accommodates the magnets 30 on both sides thereof. The concave groove 21a is formed.

이때, 본 실시예에서는 자계코일(21)의 오목홈(21a)에 각각의 마그네트(22)가 수용되는 것으로 한정하였지만, 자계코일(21)과 마그네트(22)에 의해 가로이동대(13)가 왕복하는 구성이라면 본원의 기술범주에 포함됨은 당연하다. At this time, in this embodiment, each magnet 22 is limited to the recessed groove 21a of the magnetic field coil 21, but the horizontal moving table 13 is moved by the magnetic field coil 21 and the magnet 22. Naturally, it is included in the technical category of the present application as long as it is a reciprocating configuration.

이로 인해, 상기 세로이동대는, 베이스(11)에 상기 작업기구(15)의 이동방향을 따라 일정간격을 두고 다수열의 마그네트(22)가 배치되면서, 상기 마그네트(22)에 상기 베이스(11)의 폭방향을 기준으로하여 상호 교호적으로 배치된 각각의 자계코일(21)들을 매개로 각각의 가로이동대(13)들이 장착된다.For this reason, the vertical movable table has a plurality of rows of magnets 22 arranged in the base 11 at regular intervals along the moving direction of the work tool 15, and the magnets 22 of the base 11 are disposed. Each of the horizontal slides 13 is mounted on the basis of the respective magnetic coils 21 alternately arranged on the basis of the width direction.

이때, 자계코일(21)은, 베이스(11)의 폭방향 바람직하게는 작업기구(15)의 이동방향을 기준으로 상호 인접하는 자계코일들이 교호적으로 위치된다. At this time, in the magnetic field coil 21, magnetic field coils adjacent to each other are alternately positioned based on the width direction of the base 11 and preferably the moving direction of the work tool 15.

즉, 다수열의 마그네트(22)에 인접하는 각각의 자계코일(21)들이 상호 교호적으로 배치됨으로 인해, 도 6에서와 같이 자계코일(21)의 길이(L1)에 비해 가로이동대(13)의 길이(L2)를 더 짧게 형성할 수 있다. That is, since the respective magnetic coils 21 adjacent to the magnets 22 in the plurality of rows are alternately arranged, the transverse band 13 as compared to the length (L1) of the magnetic field coil 21 as shown in FIG. The length L2 of can be formed shorter.

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따라서, 이동장치(1)에 3열의 마그네트(22)를 구성하려는 경우, 상기 가로이동대(13)의 길이(L2)는 상기 자계코일(21)의 길이(L1)와 대비하여 약 "1/3∼3/4"정도로 형성되는 것이다. Therefore, in the case of configuring three rows of magnets 22 in the mobile device 1, the length L2 of the horizontal movable table 13 is about " 1 / " compared to the length L1 of the magnetic field coil 21. It is formed to about 3 to 3/4 ".

또한, 가로이동대(13)와 가로이동대(13)의 전체길이로 인해 형성되는 작업기구(15)와 작업기구(15)의 검사영역(사각지대)에 인접하는 작업기구(15)가 위치하므로 작업간격이 최소화되는 것이다. In addition, the work tool 15 formed by the overall length of the horizontal movable table 13 and the horizontal movable table 13 and the working tool 15 adjacent to the inspection area (square zone) of the working tool 15 are located. This minimizes work intervals.

또한, 가로이동대(13)를 구성하는 과정에서, 그 전후면에 상기 가로이동대간의 거리가 최대로 가까워지는 경우 발생하는 간섭현상을 방지하기 위한 수단으로, 오목홈이나 경사면이나 단차부 등을 형성함이 바람직하다. Further, in the process of forming the transverse bar 13, as a means for preventing the interference caused when the distance between the transverse bar close to the front and rear surface to the maximum, a recessed groove, inclined surface, stepped portion, etc. It is preferable to form.

그리고, 제어부(30)는 이동장치(1)에 구성된 각종 전장품을 전기적으로 자동제어하기 위한 것으로서, 모터부(20)의 자계코일(21)을 포함한 모든 전장품에 각종 작동신호를 출력하여 제어한다. In addition, the controller 30 is to electrically control various electronic devices configured in the moving device 1 and outputs and controls various operation signals to all the electronic devices including the magnetic field coil 21 of the motor unit 20.

즉, 제어부(30)는, 센서(14,16)들의 출력신호를 입력받아 자계코일(21)에 작동신호를 출력하여, 상기 가로이동대(13)의 이동량을 제어할 뿐만 아니라 상기 가이드(12)의 초기위치를 제어하는 기능을 수행한다. That is, the controller 30 receives the output signals of the sensors 14 and 16 and outputs an operation signal to the magnetic field coil 21 to control the movement amount of the horizontal movable table 13 as well as the guide 12. It controls the initial position of).

이하, 본 발명에 따른 작용을 첨부된 예시도면을 참고로하여 상세하게 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, described in detail with reference to the accompanying drawings illustrating the operation according to the present invention.

먼저, 이동장치(1)를 작동하여 작업기구(15)를 운반하기 위해, 자계코일(21)에 전원을 인가하면, 자계코일(21)과 마그네트(22)의 상호작용에 의해 만들어진 자장의 변화에 따라 자계코일(21)이 이동한다. First, when the power is applied to the magnetic field coil 21 to operate the moving device 1 to transport the work tool 15, the change in the magnetic field generated by the interaction of the magnetic field coil 21 and the magnet 22 is performed. The magnetic field coil 21 moves accordingly.

이로 인해, 자계코일(21)의 상부측에 결합된 가로이동대(13)가 자장의 변화량에 해당하는 만큼 가이드(12)를 따라 이동하면서 가로이동대(13)에 탑재된 작업기구(15)를 원하는 장소로 이송하는 것이다. Accordingly, the work mechanism 15 mounted on the horizontal movable base 13 while the horizontal movable base 13 coupled to the upper side of the magnetic field coil 21 moves along the guide 12 by the amount corresponding to the change in the magnetic field. To transfer to the desired place.

이때, 마그네트(22)에 교호적으로 배치된 각각의 자계코일(21)에 의해 가로이동대(13)와 가로이동대(13)의 배치간격이 작아지므로, 가로이동대(13)에 탑재된 작업기구(15)의 작업간격이 최소화되는 것이다. At this time, since the magnetic field coils 21 alternately arranged on the magnets 22 reduce the arrangement interval of the horizontal movable base 13 and the horizontal movable base 13, they are mounted on the horizontal movable base 13. The working interval of the work tool 15 is minimized.

예컨대, 자계코일(21)의 전체길이 및 두께에 의해 세팅된 가로이동대(13)들간의 작업간격, 특히 가로이동대(13)들이 마주하는 지점에 해당하는 작업영역에 인접하는 또다른 가로이동대(13)가 위치하는 것이다. For example, another horizontal movement adjacent to the work area corresponding to the work interval between the transverse stages 13 set by the total length and thickness of the magnetic field coil 21, in particular the transverse stages 13 facing each other. The stand 13 is located.

이로 인해, 작업기구(15)와 작업기구(15)의 사이에 위치하는 검사영역 즉, 한 열의 모터부(20)인 경우 작업이 수행되지 않는 사각영역에, 인접하는 작업기구(15)가 위치하여 작업간격이 좁아지는 것이다. Therefore, the work tool 15 adjacent to the work area 15 and the work area 15 are positioned in the inspection area, that is, the rectangular area where the work is not performed in the case of the motor unit 20 in a row. The working interval is narrowed.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 이동장치에 의하면, 이동장치의 모터부를 복열로 구성하는 경우 자계코일을 교호적으로 배치하여 가로이동대들간의 배치간격을 최소화함으로서, 가로이동대의 전.후진과정에서 허용되는 작업기구의 작업간격이 줄어들어 작업의 신뢰성이 극대화될 뿐만 아니라 작업기구의 작업시간 및 작업공정수가 절감되어 효율성이 극대화되는 효과가 있다. As described above, according to the mobile device according to the present invention, when the motor unit of the mobile device is configured in a double row, the magnetic field coils are alternately arranged to minimize the spaced interval between the horizontal moving bars, and thus, in the forward and backward processes of the horizontal moving table. The work interval of the working tool is reduced to maximize the reliability of the work, and the working time and the number of working steps of the working tool are reduced, thereby increasing the efficiency.

Claims

A fixing unit in which a plurality of magnets 22 are arranged so that mutual polarities are alternately arranged on an upper side of the base 11, and a plurality of magnetic coils mounted on the fixing unit to generate a magnetic field through interaction with the magnets 22 ( 21) a pair of longitudinally moving tables composed of movable units arranged side by side at regular intervals; It is fixed to the magnetic field coil (21) on the upper surface of the vertical port and installed across the horizontal port (13) to reciprocate in accordance with the amount of change in the magnetic field; A mobile device for mounting a work mechanism (15) on the horizontal movable table (13) and performing a work required for a work object;

At least two transverse carriages disposed adjacent to and parallel to the upper portions of the longitudinal carriages;

Magnetic coils 21 adjacent to each of the magnets 22 relative to the moving direction of the work tool 15 are alternately arranged to fill a working interval within a length L1 of the magnetic coil 21. Providing at least two movable units;

Mobile device characterized in that it comprises a.

According to claim 1, Length L2 of the horizontal movable table 13,

Moving device, characterized in that formed shorter than the length (L1) of the magnetic field coil (21).

delete

The method according to claim 1 or 2. The horizontal movable table 13,

And a concave groove, an inclined surface, or a stepped portion formed on the front and rear surfaces thereof to prevent an interference phenomenon generated when the distance between the transverse bands approaches the maximum.