KR100911885B1 - Measurement apparatus for superconductivity - Google Patents

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KR100911885B1 KR1020070084919A KR20070084919A KR100911885B1 KR 100911885 B1 KR100911885 B1 KR 100911885B1 KR 1020070084919 A KR1020070084919 A KR 1020070084919A KR 20070084919 A KR20070084919 A KR 20070084919A KR 100911885 B1 KR100911885 B1 KR 100911885B1
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김석호
심기덕
성기철
김호민
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Abstract

본 발명은 초전도 특성 측정장치에 관한 것으로, 특히 1단냉각부와, 상기 1단냉각부 상측에 형성된 2단냉각부로 이루어진 콜드헤드와; 상기 콜드헤드의 1단냉각부 상측을 수용하여, 외부로부터 상기 1단냉각부 상측에 미치는 복사열을 차단시키는 내부챔버와; 상기 내부챔버 및 콜드헤드의 1단냉각부를 수용하며, 진공펌프에 연결되어 내부가 진공이 되는 외부챔버와; 상기 콜드헤드의 2단냉각부에 접촉결합되어, 상기 콜드헤드의 냉기를 전달받으며, 특성 측정을 위한 초전도 시편이 고정되는 시편홀더와; 상기 콜드헤드의 1단냉각부와 절연결합되는 고온부와, 상기 시편홀더에 접촉결합되는 저온부로 이루어져 외부의 전류를 초전도 시편에 전달시키는 초전도전류리드와; 상기 초전도전류리드의 고온부와 접촉결합되어 초전도전류리드에 전류를 공급시키는 파워피드쓰루;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치를 기술적 요지로 한다. 이에 따라 콜드헤드를 1단냉각부와 2단냉각부로 분리형성시켜 초전도 시편 및 초전도 시편에 전류를 인가하는 초전도전류리드를 2중 냉각하여, 더욱 정밀하고 정확한 초전도 코일의 특성인 임계전류 등의 측정이 가능하고, 초전도 시편 및 초전도전류리드 등의 2중 냉각으로 인해 초전도전류리드를 통해 초전도 시편에 대전류의 인가가 가능하여, 대전류, 최대 500A까지 온도 변화가 없어 특정 온도 및 전류에서의 초전도 특성 측정이 가능한 효과가 있으며, 시편홀더 및 초전도전류리드와 연결된 전류단자의 형상에 의해 형태 및 크기에 관계없이 다양한 초전도 시편의 특성 측정이 가능한 이점이 있다.The present invention relates to an apparatus for measuring superconductivity, and in particular, a cold head comprising a first stage cooling unit and a second stage cooling unit formed above the first stage cooling unit; An inner chamber accommodating an upper side of the first stage cooling unit of the cold head to block radiant heat applied to the upper side of the first stage cooling unit; An outer chamber accommodating the first stage cooling unit of the inner chamber and the cold head, and connected to a vacuum pump to form a vacuum inside the chamber; A specimen holder coupled to the two-stage cooling part of the cold head to receive cold air from the cold head, and to hold a superconducting specimen for characteristic measurement; A superconducting current lead consisting of a high temperature part insulated from the first stage cooling part of the cold head and a low temperature part in contact with the specimen holder to transfer external current to the superconducting specimen; The superconducting characteristic measuring apparatus comprising a; and a power feed-through for supplying a current to the superconducting current lead in contact with the high temperature portion of the superconducting current lead. Accordingly, the cold head is separated into a first stage cooling section and a second stage cooling section, and the superconducting specimen and the superconducting current lead applying current to the superconducting specimen are double-cooled to measure the critical current, which is a characteristic of the superconducting coil, more precisely and accurately. Due to the dual cooling of superconducting specimens and superconducting current leads, it is possible to apply large currents to superconducting specimens through superconducting current leads.Therefore, there is no temperature change up to 500A. This is possible, and there is an advantage that the characteristics of the various superconducting specimens can be measured regardless of the shape and size by the shape of the current terminal connected to the specimen holder and the superconducting current lead.

초전도 특성 임계전류 1단냉각 2단냉각 Superconductivity Critical Current 1st Stage Cooling 2nd Stage Cooling

Description

초전도 특성 측정장치{measurement apparatus for superconductivity}Measurement apparatus for superconductivity

본 발명은 초전도 특성 측정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 초전도 시편 및 초전도 시편에 전류를 인가하는 초전도전류리드를 2중 냉각하여, 더욱 정밀하고 정확한 고온 초전도 코일의 특성인 임계전류 등의 측정이 가능한 초전도 특성 측정장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for measuring superconductivity, and more particularly, by supercooling a superconducting specimen and a superconducting current lead that applies current to the superconducting specimen, measurement of critical current, which is a characteristic of high-temperature superconducting coils, is more precise and accurate. A superconductivity characteristic measuring apparatus is possible.

일반적으로 고온 초전도체를 이용한 초전도 시스템에 있어서 현재까지 가장 응용 가능성이 높은 재료로써 Bi-2223 등의 초전도 테이프가 주목을 받고 있으며, 실제 많은 고온 초전도체는 초전도 코일의 형태로 제작되어 응용되고 있으며, 적용온도에 따라 그 성능도 달라지게 된다.In general, superconducting tapes such as Bi-2223 are attracting attention as the most highly applicable materials to date in superconducting systems using high temperature superconductors, and many high temperature superconductors are manufactured and applied in the form of superconducting coils. The performance will also vary.

따라서 초전도 코일에 대한 일정온도에서의 특성평가는 초전도 코일을 응용하는데 있어서 매우 중요한 역할을 하게 된다.Therefore, the characteristic evaluation at a constant temperature of the superconducting coil plays a very important role in the application of the superconducting coil.

그 특성 가운데서 대표적인 것은 초전도 코일에 대한 임계전류(Ic)이며, 임계전류의 측정은 통상 코일의 양끝에서 일정전류(I)를 인가시킴과 동시에 가운데 부분에서 전압(V)을 측정하는 방식의 4단자법을 이용하여 특정온도에서 초전도 코일의 임계전류를 측정하게 되는 것이다.One of the characteristics is the critical current (Ic) for the superconducting coil, and the measurement of the critical current is a four-terminal method in which a constant current (I) is normally applied at both ends of the coil and the voltage (V) is measured at the center part. By using the method, the critical current of the superconducting coil is measured at a specific temperature.

그런데 상기 초전도 코일인 경우 일정온도 이하에서만 초전도현상이 나타나는 바, 초전도 현상이 나타나는 온도는 거의 극저온인 경우가 대부분이며, 상기 초전도 코일에 대한 임계전류 측정 역시 극저온에서 이루어지게 되며, 이러한 경우 통상 냉매로 액체질소나 액체헬륨을 사용하게 된다.However, in the case of the superconducting coil, the superconducting phenomenon appears only at a predetermined temperature or less, and the temperature at which the superconducting phenomenon occurs is almost cryogenic, and the critical current measurement for the superconducting coil is also made at the cryogenic temperature. Liquid nitrogen or liquid helium is used.

고온 초전도 코일의 임계전류를 측정하는 일반적인 방법은 측정하고자 하는 초전도 시편을 직접 액체질소 또는 액체헬륨에 담근 상태에서 임계전류를 측정하게 되는 바, 이는 특정온도, 특히 액체질소를 냉매로 사용하는 경우 약 77.3K에서만 측정이 가능하고, 액체헬륨을 냉매로 사용하는 경우에는 4.2K에서만 가능하여 온도에 따른 임계전류의 측정이 불가능하다는 문제점이 있다.The general method of measuring the critical current of a high temperature superconducting coil is to measure the critical current when the superconducting specimen to be measured is directly immersed in liquid nitrogen or liquid helium. It is possible to measure only 77.3K, and in the case of using liquid helium as a refrigerant, it is possible to measure only 4.2K, which makes it impossible to measure the critical current according to temperature.

그리고 액체헬륨인 경우에는 고가이며, 고진공, 극저온 용기가 필요함과 동시에 회수가 어려워 경제적이지 못하다는 문제점이 있다.In the case of liquid helium, there is a problem in that it is expensive, high vacuum, cryogenic container is required, and at the same time, recovery is difficult and economical.

이러한 문제점을 해결하기 위해 별도의 초전도 특성 평가를 위한 측정장치가 필요한 실정이며, 이에 대해 본 출원인은 대한민국특허청 등록특허공보 등록번호 제10-0570631호 "온도가변식 초전도 코일 특성 측정장치"에 대한 특허발명을 출원하여 등록받은 바 있다.In order to solve such a problem, a separate measuring device for evaluating superconducting properties is required, and for this, the present applicant has a patent for “Temperature-Variable Superconducting Coil Characteristics Measuring Device” of Korean Patent Application Publication No. 10-0570631. The invention has been filed and registered.

상기의 종래 기술은 외부챔버와 내부챔버로 이루어지고, 상기 내부챔버 내부에 히터 및 온도 센서를 콜드헤드 등에 장착하여 다양한 온도에서의 초전도 특성의 측정을 안정적으로 이루어지도록 한 것이다.The prior art is composed of an outer chamber and an inner chamber, and a heater and a temperature sensor are mounted inside the inner chamber so as to stably measure the superconductivity at various temperatures.

그러나, 종래의 이러한 특성 측정장치는 주로 초전도 박막 혹은 초전도체 벌크의 물성 측정용으로, 측정이 가능한 초전도 시편의 크기가 10mm 이하로 매우 작 고 초전도 시편의 형태 또한 제한적인 문제점이 있다.However, such a conventional measuring device for measuring the properties of the superconducting thin film or superconductor bulk, the size of the superconducting specimen that can be measured is very small, less than 10mm and there is a problem in the form of the superconducting specimen is also limited.

또한, 이러한 장치에서 특성 평가용 수송 전류값은 수 A(암페어) 혹은 수 100A 이하이나, 수송 전류가 높아질수록 초전도 코일 및 전류의 수송을 위한 초전도 시편 및 초전도전류리드 등의 온도유지가 어려운 단점이 있어, 이에 의한 정확한 온도에서의 정밀한 초전도 특성 측정이 제대로 이루어지지 않는 문제점이 있다.In addition, the transport current value for evaluating characteristics in such a device is a few amperes (A) or less than 100 A, but the higher the transport current, the more difficult it is to maintain temperature such as superconducting coils and superconducting current leads for transporting current. Thereby, there is a problem in that accurate superconductivity characteristics measurement at the correct temperature is not made properly.

따라서, 본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위해, 콜드헤드를 1단냉각부와 2단냉각부로 분리형성시켜 초전도 시편 및 초전도 시편에 전류를 인가하는 초전도전류리드를 2중 냉각하여, 정밀하고 정확한 고온 초전도 코일의 특성인 임계전류 등의 측정이 가능한 초전도 특성 측정장치를 제공하는 것을 그 해결하고자 하는 과제로 한다.Therefore, in order to solve the above problems of the prior art, the cold head is formed by separating the cold head into the first stage cooling unit and the second stage cooling unit, thereby superheating the superconducting specimen and the superconducting current lead applying current to the superconducting specimen, to thereby double cooling. An object of the present invention is to provide a superconducting characteristic measuring apparatus capable of measuring a critical current, which is a characteristic of precise high temperature superconducting coils.

상술한 바와 같은 과제 달성을 위해 본 발명은, 1단냉각부와, 상기 1단냉각부 상측에 형성된 2단냉각부로 이루어진 콜드헤드와; 상기 콜드헤드의 1단냉각부 상측을 수용하여, 외부로부터 상기 1단냉각부 상측에 미치는 복사열을 차단시키는 내부챔버와; 상기 내부챔버 및 콜드헤드의 1단냉각부를 수용하며, 진공펌프에 연결되어 내부가 진공이 되는 외부챔버와; 상기 콜드헤드의 2단냉각부에 접촉결합되어, 상기 콜드헤드의 냉기를 전달받으며, 특성 측정을 위한 초전도 시편이 고정되는 시편홀더와; 상기 콜드헤드의 1단냉각부와 절연결합되는 고온부와, 상기 시편홀더에 접촉결합되는 저온부로 이루어져 외부의 전류를 초전도 시편에 전달시키는 초전도전류리드와; 상기 초전도전류리드의 고온부와 접촉결합되어 초전도전류리드에 전류를 공급시키는 파워피드쓰루;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치를 기술적 요지로 한다.In order to achieve the above-described problems, the present invention provides a cold head comprising a first stage cooling unit and a second stage cooling unit formed above the first stage cooling unit; An inner chamber accommodating an upper side of the first stage cooling unit of the cold head to block radiant heat applied to the upper side of the first stage cooling unit; An outer chamber accommodating the first stage cooling unit of the inner chamber and the cold head, and connected to a vacuum pump to form a vacuum inside the chamber; A specimen holder coupled to the two-stage cooling part of the cold head to receive cold air from the cold head, and to hold a superconducting specimen for characteristic measurement; A superconducting current lead consisting of a high temperature part insulated from the first stage cooling part of the cold head and a low temperature part in contact with the specimen holder to transfer external current to the superconducting specimen; The superconducting characteristic measuring apparatus comprising a; and a power feed-through for supplying a current to the superconducting current lead in contact with the high temperature portion of the superconducting current lead.

또한, 상기 내부챔버는, 원통형상으로 형성되고, 상기 콜드헤드의 원주면상 에 형성된 쉴드플레이트가 하측에 결합되며, 외주면 둘레에 복사열 차단용 슈퍼인슐레이션이 형성되는 것이 바람직하며, 상기 쉴드플레이트에는, 콜드헤드 결합구와, 상기 콜드헤드 결합구 둘레에 초전도전류리드 인입구가 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the inner chamber is formed in a cylindrical shape, the shield plate formed on the circumferential surface of the cold head is coupled to the lower side, it is preferable that the super insulation for shielding radiant heat is formed around the outer circumferential surface, cold on the shield plate, It is preferable that a superconducting current lead inlet is formed around the head coupler and the cold head coupler.

또한, 상기 외부챔버는, 원통형상으로 형성되고, 상기 콜드헤드의 원주면상에 형성된 베이스플랜지가 하측에 결합되는 것이 바람직하며, 상기 외부챔버 상면 외부에 초전도 시편 교환시 상기 베이스플랜지로부터 분리를 위한 승하강보조부가 더 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the outer chamber is formed in a cylindrical shape, the base flange formed on the circumferential surface of the cold head is preferably coupled to the lower side, the winch for separation from the base flange when replacing the superconducting specimen outside the outer chamber upper surface It is preferable that the lowering auxiliary part is further formed.

또한, 상기 시편홀더는, 금속재질 또는 유리강화섬유로 형성되며, 상측에 초전도 시편의 안착을 위한 시편안착부가 형성되는 것이 바람직하며, 상기 시편안착부는 초전도 시편의 형상에 따라 사각형상 또는 코일보빈형상으로 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the specimen holder is formed of a metallic material or glass-reinforced fiber, it is preferable that the specimen seating portion for mounting the superconducting specimen is formed on the upper side, the specimen seating portion is rectangular or coil bobbin shape depending on the shape of the superconducting specimen. It is preferable to form.

또한, 상기 초전도 특성 측정장치에는, 금속재질로 형성되며, 상기 시편홀더의 하측에 접촉결합됨과 동시에 상기 콜드헤드의 2단냉각부 상면에 접촉결합되어 상기 콜드헤드의 2단냉각부에서 전달된 냉기를 시편홀더에 전달시키는 보조플랜지가 더 형성되는 것이 바람직하며, 상기 보조플랜지에는 제1온도센서가 부착되는 것이 바람직하다.In addition, the superconducting characteristics measuring device, formed of a metal material, and is in contact with the lower side of the specimen holder and at the same time in contact with the upper surface of the two-stage cooling unit of the cold head, the cold air delivered from the two-stage cooling unit of the cold head It is preferable to further form an auxiliary flange for transmitting to the specimen holder, it is preferable that the first temperature sensor is attached to the auxiliary flange.

또한, 상기 초전도전류리드는, 길이 방향으로 길게 형성되어 내부에 초전도 선재가 수용되며, 저온부는 상기 보조플랜지 양측에 절연재를 사이에 두고 결합되는 전류단자와 전기적으로 접촉되고, 고온부는 상기 콜드헤드의 1단냉각부와 절연 결합되는 것이 바람직하다.In addition, the superconducting current lead is formed long in the longitudinal direction to accommodate the superconducting wire therein, the low temperature portion is in electrical contact with the current terminal coupled via the insulating material on both sides of the auxiliary flange, the high temperature portion of the cold head It is preferable to be insulated with the one-stage cooling unit.

또한, 상기 전류단자는, 'ㄱ'자로 형성되어, 상측부는 상기 보조플랜지 상면 양측에 결합형성되고, 하측부는 상기 초전도전류리드의 초전도 선재와 전기적으로 접촉형성되고, 상면에는 상기 시편홀더에 고정된 초전도 시편의 양단부가 안착되는 시편고정부가 형성된 단자블럭과; 상기 시편고정부에 안착된 초전도 시편을 고정시키도록 상기 시편고정부 상측에 결합되는 단자덮개;로 이루어진 것이 바람직하며, 상기 단자블럭의 시편고정부는, 상기 시편홀더에 고정되는 초전도 시편의 길이 방향에 평행하게 단차가 지도록 형성되어, 초전도 시편의 종류에 따라 적정 위치의 단차에 초전도 시편을 고정시키는 것이 바람직하다.In addition, the current terminal is formed of a letter 'a', the upper portion is coupled to both sides of the upper surface of the auxiliary flange, the lower portion is in electrical contact with the superconducting wire of the superconducting current lead, the upper surface is fixed to the specimen holder A terminal block on which both ends of the superconducting specimen are seated; Preferably, the terminal cover is coupled to the upper part of the specimen fixing part to fix the superconducting specimen seated on the specimen fixing part, and the specimen fixing part of the terminal block is disposed in the longitudinal direction of the superconducting specimen fixed to the specimen holder. It is preferable that the step is formed in parallel to fix the superconducting specimen at the step of the proper position according to the kind of the superconducting specimen.

또한, 상기 콜드헤드의 2단냉각부 하측에는 히터가 더 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the heater is preferably further formed below the two-stage cooling part of the cold head.

또한, 상기 파워피드쓰루는, 상기 외부챔버의 하측에서 인입되는 전류공급부와; 일단부는 상기 전류공급부의 상단부와 전기적으로 결합되고, 타단부는 상기 초전도전류리드의 고온부와 접촉결합되는 황동전류리드;로 이루어진 것이 바람직하다.In addition, the power feed-through, the current supply unit drawn from the lower side of the outer chamber; One end is electrically coupled to the upper end of the current supply, the other end is a brass current lead that is in contact with the high temperature of the superconducting current lead;

또한, 상기 초전도전류리드와 황동전류리드와의 사이에 형성되어 이들을 접촉결합시키는 연결블럭이 더 삽입형성되는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable that the connection block formed between the superconducting current lead and the brass current lead to contact-couple them is further formed.

또한, 상기 초전도 특성 측정장치에는 상기 연결블럭과 절연되면서 일단부가 결합되는 서멀앵커와, 상기 서멀앵커의 타단부에 접촉결합되어 상기 콜드헤드의 1단냉각부와 접촉결합되는 냉기전달편조선이 형성되어, 상기 초전도전류리드의 고온 부에 냉기를 전달시키는 것이 바람직하며, 상기 연결블럭과 서멀앵커의 일단부는 평판형의 고정용서스판에 의해 고정결합되는 것이 바람직하다.In addition, the superconducting characteristics measuring device is formed with a thermal anchor is insulated from the connection block and coupled to one end portion, and the cold air transfer braid is coupled to the other end of the thermal anchor in contact with the first stage cooling portion of the cold head. Preferably, the cold air is transferred to the high temperature portion of the superconducting current lead, and one end portion of the connection block and the thermal anchor is fixedly coupled by a flat plate fixing plate.

또한, 상기 서멀앵커는 일단부가 상기 콜드헤드의 1단냉각부에 접촉결합되고, 타단부가 상기 냉기전달편조선의 일단부에 접촉결합되는 제1서멀앵커와; 일단부가 상기 냉기전달편조선의 타단부에 접촉결합되는 제2서멀앵커와; 일단부가 상기 고정용서스판의 타측에 절연재를 사이에 두고 결합되고, 타단부가 상기 제2서멀앵커의 타단부와 접촉결합되는 제3서멀앵커;로 이루어진 것이 바람직하다.In addition, the thermal anchor may include a first thermal anchor having one end contacted with the first stage cooling part of the cold head and the other end contacted with the one end of the cold air transfer braiding line; A second thermal anchor having one end contacted with the other end of the cold air transfer braiding line; It is preferable that one end is coupled to the other side of the fixing suspending plate with an insulating material therebetween, and the other end is a third thermal anchor that is in contact with the other end of the second thermal anchor.

여기에서, 상기 외부챔버는 고정용 가이드프레임에 결합되는 것이 바람직하다.Here, the outer chamber is preferably coupled to the fixing guide frame.

상기 과제 해결 수단에 의해 본 발명은, 콜드헤드를 1단냉각부와 2단냉각부로 분리형성시켜 초전도 시편 및 초전도 시편에 전류를 인가하는 초전도전류리드를 2중 냉각하여, 더욱 정밀하고 정확한 초전도 코일의 특성인 임계전류 등의 측정이 가능한 효과가 있다.According to the above problem solving means, the present invention, the cold head is separated into a first stage cooling section and a second stage cooling section to superheat the superconducting specimens and the superconducting current lead to apply the current to the superconducting specimens, thereby providing a more precise and accurate superconducting coil. There is an effect that can measure the critical current, which is the characteristic of.

또한, 초전도 시편 및 초전도전류리드 등의 2중 냉각으로 인해 초전도전류리드를 통해 초전도 시편에 대전류의 인가가 가능하며, 대전류, 최대 500A까지 온도 변화가 없어 특정 온도 및 전류에서의 초전도 특성 측정이 가능한 효과가 있다.In addition, due to the dual cooling of the superconducting specimen and the superconducting current lead, it is possible to apply a large current to the superconducting specimen through the superconducting current lead. It works.

또한, 시편홀더 및 초전도전류리드와 연결된 전류단자의 형상에 의해 형태 및 크기에 관계없이 다양한 초전도 시편의 특성 측정이 가능한 효과가 있다.In addition, it is possible to measure the characteristics of various superconducting specimens regardless of the shape and size by the shape of the current terminal connected to the specimen holder and the superconducting current lead.

이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of the present invention will be described in detail.

본 발명은 초전도 시편 즉, 고온 초전도 선재, 고온 초전도 코일, 초전도 벌크 등의 특성을 측정하기 위한 초전도 특성 측정장치에 관한 것으로, 일반적으로 가장 대표적인 초전도 특성인 온도에 따른 임계전류 특성을 측정하는 장치이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for measuring superconductivity characteristics for measuring characteristics of superconducting specimens, ie, high temperature superconducting wires, high temperature superconducting coils, and superconducting bulk. .

도시된 바와 같이 본 발명에 따른 초전도 특성 측정장치는, 콜드헤드(100), 내부챔버(200), 외부챔버(300), 시편홀더(400), 초전도전류리드(500) 및 파워피드쓰루(600)로 크게 구성되며, 콜드헤드(100)에 의해 냉기가 시편홀더(400) 및 초전도전류리드(500)에 전달되어 초전도 시편 및 초전도전류리드(500)를 극저온으로 유지시키고, 파워피드쓰루(600)를 통해 초전도전류리드(500)에 전류를 공급하게 되며, 내부챔버(200) 및 외부챔버(300)에 의해 이들을 수용하여 진공 및 극저온 상태를 유지토록 하는 것이다.As illustrated, the superconducting characteristic measuring apparatus according to the present invention includes a cold head 100, an inner chamber 200, an outer chamber 300, a specimen holder 400, a superconducting current lead 500, and a power feedthrough 600. It is largely composed of), cold air is transferred to the specimen holder 400 and the superconducting current lead 500 by the cold head 100 to maintain the superconducting specimen and the superconducting current lead 500 at cryogenic temperature, power feedthrough (600) The current is supplied to the superconducting current lead 500, and is accommodated by the inner chamber 200 and the outer chamber 300 to maintain the vacuum and cryogenic conditions.

본 발명은 일반적으로 사용되는 기포드-맥마흔(Gifford-McMahon) 냉동기(이하 GM 냉동기라 함)를 이용하였으며, 이는 헬륨가스를 압축, 단열팽창시키는 방식을 취한 것으로 최저 냉각온도는 4K까지 가능하다. GM 냉동기에 대한 내용은 공지의 기술이므로 여기에서 상세한 설명은 생략하기로 하며, GM 냉동기의 냉기를 전달받아 초전도 시편 자체를 냉각하여 온도변화에 따른 초전도 시편의 전기적 특성을 측정하고자 하는 것이다.The present invention uses a commonly used Gifford-McMahon refrigerator (hereinafter referred to as GM refrigerator), which is a method of compressing and thermally expanding helium gas, and the minimum cooling temperature is 4K. Since the description of the GM refrigerator is a known technique, a detailed description thereof will be omitted, and the electrical characteristics of the superconducting specimen according to the temperature change are to be measured by cooling the superconducting specimen itself by receiving the cold air of the GM refrigerator.

먼저, 상기 콜드헤드(100)에 대해 설명하고자 한다.First, the cold head 100 will be described.

상기 콜드헤드(100)는 상기 GM 냉동기의 냉기를 직접 전달받는 부분으로 통 상 봉형상의 금속으로 형성되어 냉기를 전달받아 금속의 열전도에 의해 냉기를 상측으로 전달시킨다. 그리고 상기 콜드헤드(100)의 원주면에는 외부전원과 연결된 히터(130)가 설치되어 발열됨에 의해 콜드헤드(100)에 일정한 양의 열을 전달시킨다.The cold head 100 is a portion directly receiving the cold air of the GM refrigerator is formed of a generally rod-shaped metal to receive the cold air to transmit the cold air to the upper side by the heat conduction of the metal. In addition, a heater 130 connected to an external power source is installed on the circumferential surface of the cold head 100 to generate heat, thereby transferring a predetermined amount of heat to the cold head 100.

상기 콜드헤드(100)는 후술할 외부챔버(300) 하측에서 결합되어 상측부가 외부챔버(300) 내부에 수용되고, 외부챔버(300)의 길이 방향에 대해 전체적으로 상측으로 길게 형성되며, 외부챔버(300) 하면 상측부와 내부챔버(200) 하면 하측부와의 사이에 1단냉각부(110)가 형성되고, 내부챔버(200) 내부 상측으로 2단냉각부(120)가 형성된다.The cold head 100 is coupled to the lower side of the outer chamber 300 to be described later, the upper side is accommodated in the outer chamber 300, the overall length is formed in the upper side with respect to the longitudinal direction of the outer chamber 300, the outer chamber ( 300, the first stage cooling unit 110 is formed between the upper surface of the lower surface and the lower surface of the inner chamber 200, and the two stage cooling unit 120 is formed above the inner chamber 200.

여기에서 상기 1단냉각부(110)는 내부가 진공인 상태의 외부챔버(300) 내부에 위치하게 되어 후술할 초전도전류리드(500)에 콜드헤드(100)의 냉기를 직접적으로 전달되도록 하는 것이며, 상기 2단냉각부(120)는 내부가 진공이면서 외부와의 복사열까지 차단된 상태의 내부챔버(200) 내부에 위치하게 되어 초전도 시편 및 시편홀더(400) 그리고 초전도전류리드(500)를 일정한 온도 상태로 유지토록 하여, 초전도 시편을 저온 상태로 유지함과 동시에 이에 전류를 수송하는 초전도전류리드(500) 또한 냉기를 유지하도록 하여 대전류의 인가가 가능토록 한 것이다.In this case, the first stage cooling unit 110 is positioned inside the outer chamber 300 in a vacuum state so that the cold air of the cold head 100 is directly transmitted to the superconducting current lead 500 which will be described later. The two-stage cooling unit 120 is positioned inside the inner chamber 200 in a state in which the interior is vacuum and the radiant heat from the outside is blocked, so that the superconducting specimen, the specimen holder 400, and the superconducting current lead 500 are fixed. The superconducting current lead 500 which maintains the superconducting specimen in the low temperature state while maintaining the temperature in the low temperature state also maintains the cold air to allow the application of a large current.

또한, 상기 콜드헤드(100)의 원주면에는 외부전원과 연결된 히터(130)가 설치되어, 발열됨에 의해 콜드헤드(100)에 일정한 양의 열을 전달시켜, 소정 온도에서의 초전도 시편의 특성을 측정할 수 있을 뿐만 아니라, 온도에 따른 운전특성을 측정할 수 있도록 한 것이다. 이러한 열 공급용 히터(130)는 상기 콜드헤드(100)의 2단냉각부(120) 주변에 히터단자 등을 형성시켜 히터 공급선 단자를 꽂는 방법에 의해 콜드헤드(100)에 열을 공급하도록 하였다.In addition, a heater 130 connected to an external power source is installed on the circumferential surface of the cold head 100 to transmit a predetermined amount of heat to the cold head 100 by being heated, thereby improving the characteristics of the superconducting specimen at a predetermined temperature. In addition to being able to measure, it is possible to measure the operating characteristics according to the temperature. The heat supply heater 130 forms a heater terminal around the two-stage cooling unit 120 of the cold head 100 to supply heat to the cold head 100 by inserting a heater supply line terminal. .

다음으로, 상기 내부챔버(200) 및 외부챔버(300)에 대해 설명하고자 한다.Next, the inner chamber 200 and the outer chamber 300 will be described.

상기 내부챔버(200)는 원통형상으로 형성되며, 상기 콜드헤드(100)의 2단냉각부(120)를 포함하는 1단냉각부(110) 상측을 수용하여, 외부로부터 상기 1단냉각부(110) 상측에 미치는 복사열을 차단시키게 된다. 상기 내부챔버(200)는 외부챔버(300) 내부에 수용되므로, 상기 콜드헤드(100)의 2단냉각부(120)를 포함하는 1단냉각부(110)의 상측이 외부챔버(300) 및 내부챔버(200) 내부에 2중으로 수용되게 된다. 그리고 상기 외부챔버(300)는 진공배기포트(미도시)와 연결되어 내부가 진공을 이루게 되며, 상기 외부챔버(300)와 내부챔버(200)는 동일한 공간 상에 존재하게 되므로, 상기 내부챔버(200) 또한 진공 상태를 유지하게 된다.The inner chamber 200 is formed in a cylindrical shape and accommodates the upper stage of the first stage cooling unit 110 including the second stage cooling unit 120 of the cold head 100, and the first stage cooling unit from the outside ( 110) It blocks the radiant heat to the upper side. Since the inner chamber 200 is accommodated in the outer chamber 300, the upper side of the first stage cooling unit 110 including the two stage cooling unit 120 of the cold head 100 is the outer chamber 300 and The inner chamber 200 is to be accommodated in a double. And the outer chamber 300 is connected to a vacuum exhaust port (not shown) to achieve a vacuum inside, the outer chamber 300 and the inner chamber 200 is present in the same space, the inner chamber ( 200) also maintains a vacuum.

그리고, 상기 내부챔버(200)는 하부가 개구된 원통형상을 이루게 되며, 초전도 특성 측정시에는 상기 콜드헤드(100)의 원주면상에 형상된 쉴드플레이트(shield plate)(210)가 하측에 결합된다. 또한, 상기 내부챔버(200) 외주면(외측면 및 상면을 포함) 둘레에는 외부로부터의 복사열을 차단하기 위한 슈퍼인슐레이션(220)이 감겨져 있어, 내부챔버(200) 내부는 복사에 의한 열 전달의 영향을 방지하도록 하였다.In addition, the inner chamber 200 has a cylindrical shape with a lower opening, and when measuring superconductivity, a shield plate 210 formed on the circumferential surface of the cold head 100 is coupled to the lower side. . In addition, a super insulation 220 is wound around the outer circumferential surface (including the outer surface and the upper surface) of the inner chamber 200 to block radiant heat from the outside, and the inside of the inner chamber 200 is affected by heat transfer by radiation. It was to prevent.

또한, 상기 쉴드플레이트(210)에는 콜드헤드(100)의 원주면 상에 결합되어 있으므로, 중심부에 콜드헤드 결합구(211)가 형성되고, 상기 콜드헤드 결합구(211) 둘레에 후술할 초전도전류리드(500)가 통과될 수 있도록 적어도 두 개 이상의 초전도전류리드 인입구(212)가 형성되게 된다.In addition, since the shield plate 210 is coupled on the circumferential surface of the cold head 100, a cold head coupler 211 is formed at the center thereof, and a superconducting current to be described later around the cold head coupler 211. At least two or more superconducting current lead inlets 212 may be formed to allow the lead 500 to pass therethrough.

그리고, 상기 외부챔버(300)는 하부가 개구된 원통형상을 이루게 되나, 초전도 특성 측정시에는 상기 콜드헤드(100)의 원주면상에 형성된 베이스플랜지(310)(base flange)가 하측에 결합되어 상하부가 완전히 밀폐되는 구조를 이루게 된다. 상기 베이스플랜지(310) 또한 콜드헤드(100)의 원주면 상에 결합되어 있으므로 중심부에 콜드헤드 결합구(211)가 형성되고, 상기 콜드헤드 결합구(211) 둘레에는 각종 신호선의 인입구 및 전류공급을 위한 인입구, 진공 배기를 위한 결합공 등이 형성되게 된다.In addition, the outer chamber 300 has a cylindrical shape having a lower opening, but when measuring superconductivity, a base flange 310 (base flange) formed on the circumferential surface of the cold head 100 is coupled to the upper and lower parts thereof. Will form a completely sealed structure. Since the base flange 310 is also coupled to the circumferential surface of the cold head 100, a cold head coupling hole 211 is formed at the center thereof, and the inlet and current supply of various signal lines are provided around the cold head coupling hole 211. Inlet for the purpose, the coupling hole for the vacuum exhaust and the like is formed.

이러한 외부챔버(300) 상면 외부에는 상기 베이스플랜지(310)로부터 분리를 위한 승하강보조부(320)가 형성되어, 외부챔버(300)의 설치 및 분리가 용이하도록 하여, 초전도 시편의 교환 및 장치의 점검, 보수가 가능토록 하였다. 상기 승하강보조부(320)는 외부챔버(300) 상면 외부에 고리 및 이와 결합된 사슬 등으로 형성되어 크레인에 의한 승하강이 이루어지도록 한 것으로, 상기 외부챔버(300)를 들어올려 베이스플랜지(310)로부터 분리시킨 후 상기 내부챔버(200)를 분리하면 콜드헤드(100)를 포함한 여러 구성요소들이 외부에 드러나게 되므로, 초전도 시편의 교환 및 장치의 점검, 보수 작업이 가능하게 되는 것이다.A lifting aid 320 for separation from the base flange 310 is formed outside the upper surface of the outer chamber 300 to facilitate the installation and separation of the outer chamber 300, thereby replacing the superconducting specimen and the device. Inspection and repair were made possible. The lifting aid 320 is formed by a ring and a chain coupled to the outer surface of the outer chamber 300 to be raised and lowered by a crane, by lifting the outer chamber 300, the base flange 310 After the separation from the inner chamber 200, the various components including the cold head 100 is exposed to the outside, it is possible to replace the superconducting specimens and check, repair the device.

또한, 상기 외부챔버(300)는 고정용 가이드프레임(700)에 고정 결합되어, 외부챔버(300) 및 이의 내부에 수용되는 구성요소가 바닥면으로부터 이격되도록 형성되도록 하고, 외부환경으로부터 안정적으로 고정되도록 함과 동시에, 상기 외부챔 버(300) 하측에는 각종 신호 공급을 위한 전선장치 및 전원공급을 위한 파워공급부 등이 형성되도록 한다.In addition, the outer chamber 300 is fixedly coupled to the fixing guide frame 700, so that the outer chamber 300 and the components accommodated therein are formed to be spaced apart from the bottom surface, and stably fixed from the external environment. At the same time, the lower side of the outer chamber 300, a wire device for supplying various signals and a power supply for power supply are formed.

또한, 상기 고정용 가이드프레임(700)은 외부챔버(300)를 상기 승하강보조부(320)의 작동으로 들어올릴때, 외부챔버(300)를 적정 위치에 고정시키는 역할 또한 하게 된다.In addition, the fixing guide frame 700 also serves to fix the outer chamber 300 to a proper position when lifting the outer chamber 300 by the operation of the lifting aid 320.

다음으로, 상기 시편홀더(400)에 대해 설명하고자 한다.Next, the specimen holder 400 will be described.

상기 시편홀더(400)는 상기 콜드헤드(100)의 2단냉각부(120)에 접촉결합되어, 상기 콜드헤드(100)의 냉기를 전달받으며, 특성 측정을 위한 초전도 시편이 고정되는 부분이다. 상기 시편홀더(400)는 금속재질 또는 유리강화섬유로 형성되며, 상측에 초전도 시편의 안착을 위한 시편안착부(410)가 형성된다.The specimen holder 400 is in contact with the two-stage cooling unit 120 of the cold head 100, receives the cold air of the cold head 100, is a portion to which the superconducting specimen for the characteristic measurement is fixed. The specimen holder 400 is formed of a metallic material or glass-reinforced fiber, and a specimen seating portion 410 is formed on the upper side for mounting the superconducting specimen.

초전도 시편의 종류에 따라 내외부가 절연된 경우에는 금속재질의 시편홀더(400)가 사용되며, 절연되지 않은 경우에는 유리강화섬유 재질의 시편홀더(400)가 사용되게 된다. 또한, 상기 시편안착부(410)의 형상은 초전도 시편의 종류에 따라, 사각형상 또는 코일보빈형상으로 형성되는 것이 바람직하다.When the inner and outer parts are insulated according to the type of superconducting specimen, the specimen holder 400 of metal material is used, and the specimen holder 400 of glass reinforced fiber material is used if it is not insulated. In addition, the shape of the specimen seating portion 410 is preferably formed in a rectangular or coil bobbin shape, depending on the type of superconducting specimen.

즉, 초전도 시편이 선재 및 테이프 형상으로 형성된 경우에는 시편안착부(410)가 이에 대응되어 사각형상으로 형성되며, 초전도 시편이 보빈에 감긴 초전도 코일이라면 이에 대응되어 코일보빈형상으로 형성되게 된다. 필요에 의해 시편안착부(410)의 상면에는 초전도 시편과 절연이 이루어지도록 절연층을 형성시키며, 상기 절연층은 저온에서의 안정적인 상태를 유지하는 AlN(질화알루미늄)을 주로 사 용한다.That is, when the superconducting specimen is formed in the shape of a wire and a tape, the specimen seating portion 410 is formed in a rectangular shape corresponding to this, and if the superconducting specimen is a superconducting coil wound on a bobbin, it is formed in a coil bobbin shape. If necessary, an insulating layer is formed on the upper surface of the specimen seating portion 410 to insulate the superconducting specimen, and the insulating layer mainly uses AlN (aluminum nitride) to maintain a stable state at low temperature.

또한, 상기 시편홀더(400) 하측에는 원판형상의 보조플랜지(420)가 접촉결합 형성됨과 동시에 상기 콜드헤드(100)의 2단냉각부(120)와 접촉결합되어, 상기 콜드헤드(100)의 2단냉각부(120)에서 전달된 냉기를 시편홀더(400)에 전달시키도록 한다.In addition, a disk-shaped auxiliary flange 420 is formed in contact with the lower side of the specimen holder 400 and at the same time is in contact with the two-stage cooling unit 120 of the cold head 100, the cold head 100 The cold air transmitted from the two-stage cooling unit 120 to be delivered to the specimen holder 400.

상기 보조플랜지(420)는 열전도도가 우수한 금속재질의 무산소동으로 형성되며, 제1온도센서(421)가 부착되어, 초전도 시편에 적용되는 온도를 측정할 수 있도록 하여 정밀한 온도 제어가 가능하도록 한다. 또한, 온도 측정 및 정밀한 온도제어를 위한 온도센서는 필요에 의해 시편홀더(400)를 비롯하여 여러 곳에 장착될 수도 있다.The auxiliary flange 420 is formed of an oxygen-free copper of a metal material having excellent thermal conductivity, and is attached to the first temperature sensor 421 to enable precise temperature control by measuring the temperature applied to the superconducting specimen. . In addition, a temperature sensor for temperature measurement and precise temperature control may be mounted at various places including the specimen holder 400 as necessary.

다음으로 상기 초전도전류리드(500)에 대해 설명하고자 한다.Next, the superconducting current lead 500 will be described.

상기 초전도전류리드(500)는 외부에서 공급된 전류를 초전도 시편에 전달하기 위한 것으로, 상기 콜드헤드(100)의 1단냉각부(110)와 절연결합되는 고온부(510)와, 상기 시편홀더(400)에 접촉결합되는 저온부(520)로 이루어져 있다. 상기 초전도전류리드(500)는 길이 방향으로 길게 형성되어 내부에 전류 전달을 위한 초전도 선재가 적층 수용되며, 저온부(520)는 상기 보조플랜지(420) 양측에 절연재를 사이에 두고 결합되는 후술할 전류단자(530)와 전기적으로 결합되고, 고온부(510)는 상기 콜드헤드(100)의 1단냉각부(110)와 절연결합되어 냉기가 초전도전류리드(500)에 직접적으로 전달되도록 한다. 상기 고온부(510) 및 저온부(520)는 서로 상대적인 온도 분포를 가지는 것으로, 상기 1단냉각부(110)에 접촉결합되는 고온부(510)가 더욱 높은 온도를 가지게 되며, 상기 시편홀더(400)에 접촉결합되는 저온부(520)가 상대적으로 낮은 온도를 가지게 된다.The superconducting current lead 500 is for delivering a current supplied from the outside to the superconducting specimen, the high temperature portion 510 insulated from the first stage cooling unit 110 of the cold head 100, and the specimen holder ( 400 is made of a low temperature portion 520 which is in contact coupling. The superconducting current lead 500 is formed long in the longitudinal direction to accommodate the stack of superconducting wires for current transfer therein, and the low temperature unit 520 is coupled to the secondary flange 420 with an insulating material interposed therebetween to be described below. Electrically coupled to the terminal 530, the high temperature unit 510 is insulated and coupled to the first stage cooling unit 110 of the cold head 100 to allow the cold air is directly transmitted to the superconducting current lead (500). The high temperature unit 510 and the low temperature unit 520 have a temperature distribution relative to each other, and the high temperature unit 510 which is in contact with the first stage cooling unit 110 has a higher temperature, and the specimen holder 400 The low temperature portion 520 which is in contact with each other will have a relatively low temperature.

즉, 상기 초전도전류리드(500)는 수직으로 길이 방향으로 길게 형성되어 상대적으로 저온을 이루는 상기 초전도전류리드(500)의 상측부인 저온부(520)는 외부챔버(300) 및 내버챔버 내부에 수용되게 되며, 상대적으로 고온을 이루는 상기 초전도전류리드(500)의 하측부인 고온부(510)는 외부챔버(300) 내부에 수용되게 된다. 또한 길이 방향으로 길게 형성된 상기 초전도전류리드(500)의 안정적인 고정을 위해 초전도전류리드지지대를 형성시켜, 상기 내부챔버(200)에 결합된 쉴드플레이트(210)에 초전도전류리드지지대를 고정시키고, 다시 초전도전류리드지지대를 초전도전류리드(500)의 일면에 고정시킬 수 있다.That is, the superconducting current lead 500 is formed to be vertically elongated in the longitudinal direction so that the low temperature part 520, which is the upper portion of the superconducting current lead 500, which is relatively low temperature, is accommodated in the outer chamber 300 and the inner chamber. The high temperature portion 510, which is a lower portion of the superconducting current lead 500, which is relatively high in temperature, is accommodated in the outer chamber 300. In addition, by forming a superconducting current lead support for the stable fixing of the superconducting current lead 500 formed long in the longitudinal direction, to fix the superconducting current lead support to the shield plate 210 coupled to the inner chamber 200, again The superconducting current lead support may be fixed to one surface of the superconducting current lead 500.

상기 보조플랜지(420) 상면 양측에는 전류단자(530)가 결합되게 되는데, 상기 전류단자(530)는 상기 초전도전류리드(500)와 연결되어 초전도 시편에 전류를 인가하기 위한 것으로, 단자블럭(531)과, 단자덮개(532)로 이루어져 있다.The current terminal 530 is coupled to both sides of the upper surface of the auxiliary flange 420. The current terminal 530 is connected to the superconducting current lead 500 to apply a current to the superconducting specimen, and the terminal block 531. ) And a terminal cover 532.

상기 단자블럭(531)은 'ㄱ'자로 형성되어, 상측부는 상기 보조플랜지(420) 상면 양측에 결합형성되고, 하측부는 상기 초전도전류리드(500)의 초전도 선재와 전기적으로 접촉형성되고, 상면에는 상기 시편홀더(400)에 고정된 시편의 양단부를 고정시키는 시편고정부(531a)가 형성되어 있다. 상기 단자덮개(532)는 상기 시편안착부(410) 및 시편고정부(531a)에 안착된 초전도 시편을 고정시키기 위해 상기 시편고정부(531a) 상측에 결합되는 것으로, 상기 단자덮개(532)의 단자블럭(531) 결 합면은 상기 시편고정부(531a)의 형상에 대응되게 형성된다.The terminal block 531 is formed of a letter 'A', the upper portion is coupled to both sides of the upper surface of the auxiliary flange 420, the lower portion is electrically contacted with the superconducting wire of the superconducting current lead 500, the upper surface A specimen fixing part 531a for fixing both ends of the specimen fixed to the specimen holder 400 is formed. The terminal cover 532 is coupled to the upper surface of the specimen fixing portion 531a to fix the superconducting specimen seated on the specimen mounting portion 410 and the specimen fixing portion 531a, and the terminal cover 532 of the terminal cover 532 The mating surface of the terminal block 531 is formed to correspond to the shape of the specimen fixing part 531a.

여기에서 상기 시편고정부(531a)는 상기 시편홀더(400)의 시편안착부(410)에 안착된 초전도 시편의 길이 방향에 평행하게 적어도 2개 이상의 단차가 지도록 형성되어, 초전도 시편의 종류 및 형상, 두께에 따라 적절한 단차 위치에 초전도 시편을 고정시킬 수 있도록 한다. 적절한 단차에 안착된 초전도 시편은 이에 대응된 형상을 가지는 단자덮개(532)로 덮어 고정시키도록 한다. 이에 의해 초전도 시편의 양단부는 전류단자(530)를 이루는 단자블럭(531) 및 단자덮개(532)에 의해 고정되고, 상기 전류단자(530)는 상기 초전도전류리드(500)의 초전도 선재에 전기적으로 접촉결합되게 된다.Here, the specimen fixing portion 531a is formed to have at least two or more steps parallel to the longitudinal direction of the superconducting specimen seated on the specimen seating portion 410 of the specimen holder 400, and the type and shape of the superconducting specimen In other words, the superconducting specimens shall be held in the appropriate stepped position according to the thickness. The superconducting specimen seated on the appropriate step is fixed by being covered with a terminal cover 532 having a shape corresponding thereto. Accordingly, both ends of the superconducting test piece are fixed by the terminal block 531 and the terminal cover 532 forming the current terminal 530, and the current terminal 530 is electrically connected to the superconducting wire of the superconducting current lead 500. To be in contact.

만약, 초전도 시편이 보빈에 감긴 초전도 시편이라면, 도 4에 도시된 바와 같이 코일보빈형상을 이루는 시편홀더(400)에 코일이 감긴 코일보빈(B)이 결합되고, 초전도 코일 또는 초전도 코일과 전기적으로 연결된 초전도체(T)를 상기 단자덮개(532)까지 전기적으로 연결시켜서, 초전도전류리드와 전기적으로 결합시키도록 한다.If the superconducting specimen is a superconducting specimen wound on the bobbin, the coil bobbin B wound around the coil bobbin B is coupled to the specimen holder 400 forming the coil bobbin shape as shown in FIG. 4, and is electrically connected to the superconducting coil or the superconducting coil. The connected superconductor T is electrically connected to the terminal cover 532 to be electrically coupled with the superconducting current lead.

이 경우에 상기 단자덮개(532)에의 초전도 코일 또는 초전도체(T)의 안정적인 결합을 위해 상기 단자덮개(532) 일측에 연장되게 초전도체안내부(532a)가 더 형성되는 것이 바람직하다.In this case, it is preferable that the superconductor guide part 532a is further formed to extend on one side of the terminal cover 532 for the stable coupling of the superconducting coil or the superconductor T to the terminal cover 532.

상기 초전도체안내부(532a)는 상기 단자덮개(532) 일측에 연장되어 초전도 코일 또는 초전도체(T)가 단자덮개까지 안내되는 경로에 대응되어 부드러운 곡면을 이루도록 형성되며, 초전도 코일 또는 초전도체(T)의 안정적인 고정을 위해 일측면 에는 내측으로 함몰되어 초전도 코일 또는 초전도체(T)가 수용결합되는 가이드홈이 형성된다.The superconductor guide portion 532a is formed to extend on one side of the terminal cover 532 to form a smooth curved surface corresponding to the path where the superconducting coil or superconductor T is guided to the terminal cover, and the superconducting coil or superconductor T One side surface is recessed inward for stable fixing, and a guide groove in which the superconducting coil or the superconductor T is accommodated is formed.

여기에서 상기 초전도체안내부(532a)는 도 4(a)에 도시된 바와 같이 단자덮개(532)와 초전도 코일 또는 초전도체(T)와의 접촉결합부위가, 초전도 코일 또는 초전도체(T)를 끼울 수 있도록 단자덮개(532) 내측으로 연장되게 형성된 홈으로 형성되거나, 도 4(b)에 도시된 바와 같이 단자덮개(532) 측면에 형성되도록 한다.Here, the superconductor guide portion 532a is a contact coupling portion between the terminal cover 532 and the superconducting coil or the superconductor T, as shown in Figure 4 (a), so that the superconducting coil or superconductor (T) can be fitted. The terminal cover 532 is formed as a groove formed to extend inward, or as shown in Figure 4 (b) to be formed on the side of the terminal cover 532.

즉, 초전도 시편이 보빈에 감겨져 있는 초전도 시편인 경우에는 단자블럭(531) 및 초전도전류리드(500)에의 초전도 코일의 안정적 결합 및 초전도 시편의 성질에 따라, 상기 단자블럭에 결합되는 단자덮개(532)의 일측에 초전도체안내부(532a)를 더 형성시킨 것이다.That is, when the superconducting specimen is a superconducting specimen wound on the bobbin, the terminal cover 532 is coupled to the terminal block according to the stable coupling of the superconducting coil to the terminal block 531 and the superconducting current lead 500 and the properties of the superconducting specimen. One side of the) is to form a superconductor guide portion (532a).

또한, 초전도 시편이 In addition, superconducting specimens 보빈에On bobbin 감긴 초전도 시편인 경우, 단자덮개는 도 5와 같은 형상으로 구성되어도 무방하다.  In the case of the wound superconducting specimen, the terminal cover may be configured as shown in FIG.

즉, In other words, 시편홀더에In the specimen holder 코일이 감긴  Coiled 코일보빈이Coil bobbin 결합되고Being combined , 초전도 코일 또는 초전도 코일과 전기적으로 연결된 초전도체(T)를 상기 단자덮개(532)까지 전기적으로 연결시켜서, By connecting a superconductor T electrically connected to a superconducting coil or a superconducting coil to the terminal cover 532, 초전도전류리드와Superconducting current leads 전기적으로 결합시키도록 하는 구조는  The structure to make the electrical coupling 상기 도Above 4와 동일하나 단자덮개(532)의 구조가 달라지는바, 단자덮개에는 길이방향으로 연장된 안내홈(533)이 형성된다. 그리고 상기 단자덮개(532) 측면에는  Same as 4, but the structure of the terminal cover 532 is different, the terminal cover is formed with a guide groove 533 extending in the longitudinal direction. And on the side of the terminal cover 532 압착바(534)를Crimp bar 534 형성시키고  Forming 압착바(534)에는The pressing bar 534 상기 단자덮개와 연결된 볼트(535)가 형성된다.  A bolt 535 connected to the terminal cover is formed.

초전도 코일을 설치하고자 하는 경우, If you want to install a superconducting coil, 코일보빈에서In coil bobbin 연장되어  Extended 풀려진Released 초전도체(T)가 상기 단자덮개의  Superconductor (T) of the terminal cover 안내홈(533)에In guide groove 533 수용된다. 이때, 상기 초전도체(T)의 측 면에는 밀착을 위하여 인듐(536) 등을 부착하여  Are accepted. At this time, indium (536) or the like is attached to the side surface of the superconductor (T) for close contact 고정시킨다Fix . 상기의 상태에서 상기 볼트를 회전시켜 . In the above state by rotating the bolt 압착바(534)를Crimp bar 534 조이게 되면 상기  Tighten above 압착바(534)가The compression bar (534) 상기  remind 단자덮Terminal cover 개(532)의 측면을 압박하여 상기 Pressing the side of the dog 532 above 안내홈(533)의Of guide groove 533 간격을 줄이게 되므로 상기 초전도체가 상기 단자덮개(532)에 안정되게  Since the spacing is reduced, the superconductor is stably fixed to the terminal cover 532. 결합된다Combined . .

다음으로, 상기 파워피드쓰루(600)에 대해 설명하고자 한다.Next, the power feed-through 600 will be described.

상기 파워피드쓰루(600)는 상기 초전도전류리드(500)의 고온부(510)와 접촉결합되어 초전도전류리드(500)에 전류를 공급시키는 구성요소로써, 전기전도도가 우수한 금속재질인 무산소동으로 형성되는 것이 바람직하다.The power feed-through 600 is a component that is in contact with the high temperature portion 510 of the superconducting current lead 500 to supply current to the superconducting current lead 500, and is formed of oxygen-free copper, which is a metal material having excellent electrical conductivity. It is preferable to be.

상기 파워피드쓰루(600)는 상기 외부챔버(300)의 하측에서 인입되는 전류공급부(610)와, 일단부는 상기 전류공급부(610)의 상단부와 전기적으로 결합되고, 타단부는 상기 초전도전류리드(500)의 고온부(510)와 접촉결합되는 황동전류리드(620)로 이루어져 있다.The power feed-through 600 is a current supply unit 610 drawn from the lower side of the outer chamber 300, one end is electrically coupled to the upper end of the current supply unit 610, the other end is the superconducting current lead ( It consists of a brass current lead 620 is in contact with the high temperature portion 510 of the 500.

상기 황동전류리드(620)는 1개 이상의 황동 테이프가 적층형성되어, 대전류의 수송이 가능하도록 하였으며, 상기 전류공급부(610)와 상기 초전도전류리드(500)를 전기적으로 결합시킨다.The brass current lead 620 is formed by stacking one or more brass tapes to enable transport of large currents, and electrically couples the current supply unit 610 and the superconducting current lead 500.

또한, 상기 황동전류리드(620)는 외부챔버(300) 및 내부챔버(200)의 원통형상에 대응되게 일정 곡률을 가지면서 휘어지게 형성되며, 상기 전류공급부(610)와 상기 초전도전류리드(500)가 일정 간격으로 이격되도록 형성시키기 위해 상기 전류공급부(610)로부터 초전도전류리드(500)까지 수평으로 길게 형성되는 것이 바람직 하다. 이에 의해 외부에서 인입되는 파워피드쓰루(600)의 전류공급부(610)가 다른 부분에 비해 상대적으로 고온하므로, 상기 황동전류리드(620)에 의해 전류가 수송되는 동안 외부의 전도 열 침입을 다소 줄이는 역할을 하도록 한 것이다.In addition, the brass current lead 620 is formed to have a predetermined curvature corresponding to the cylindrical shape of the outer chamber 300 and the inner chamber 200, the current supply unit 610 and the superconducting current lead 500 ) Is preferably horizontally elongated from the current supply unit 610 to the superconducting current lead 500 so as to be spaced apart at regular intervals. As a result, since the current supply unit 610 of the power feed-through 600 drawn from the outside is relatively high in temperature, other induction conduction heat intrusion is somewhat reduced while the current is transported by the brass current lead 620. It was to play a role.

또한, 상기 초전도전류리드(500)와 황동전류리드(620)는 이들의 견고한 결합을 위해 그 사이에 연결블럭(540)을 더 삽입하여 이들을 결합시킬 수도 있으며, 상기 연결블럭(540)은 열전도도 및 전기전도도가 우수한 금속재질인 무산소동으로 형성되며, 사각판상으로 형성되어 일단부가 상기 초전도전류리드(500)의 초전도 선재 및 황동전류리드(620) 사이에 삽입되어 결합되게 된다.In addition, the superconducting current lead 500 and the brass current lead 620 may further insert a connection block 540 therebetween for coupling them, and the connection block 540 may have thermal conductivity. And an oxygen-free copper, which is a metal material having excellent electrical conductivity, and is formed in a rectangular plate shape so that one end thereof is inserted and coupled between the superconducting wire of the superconducting current lead 500 and the brass current lead 620.

이는, 상기 전류공급부(610)가 다른 부분에 비해 상대적으로 고온을 유지하게 되므로, 1차적으로 상기 황동전류리드(620)를 거친 후, 다시 2차적으로 상기 연결블럭(540)에 의해 초전도전류리드(500)에 전기적으로 결합되므로, 외부의 온도의 영향이 초전도전류리드(500)에 거의 미치지 않도록 한 것이다. 또한, 상기 연결블럭(540)은 초전도전류리드(500)와 황동전류리드(620)의 결합을 더욱 견고히 하는 역할 또한 하게 된다.This is because the current supply unit 610 maintains a relatively high temperature compared to other parts, and after passing through the brass current lead 620 firstly, a second superconducting current lead by the connection block 540 again. Since it is electrically coupled to the (500), the influence of the external temperature is to be so close to the superconducting current lead (500). In addition, the connection block 540 also serves to further solidify the coupling of the superconducting current lead 500 and the brass current lead 620.

또한, 상기 초전도전류리드(500)에 안정적인 냉기를 전달하기 위해, 상기 연결블럭(540)과 절연재를 사이에 두고 접촉결합되는 서멀앵커(550) 및 콜드헤드(100)의 1단냉각부(110)와 접촉결합되는 냉기전달편조선(560)의 구성을 더 형성시키는 것이 바람직하다.In addition, in order to deliver stable cold air to the superconducting current lead 500, the first stage cooling unit 110 of the thermal anchor 550 and the cold head 100 which are contacted with the connection block 540 and the insulating material therebetween. It is preferable to further form the configuration of the cold air transfer braiding line 560 in contact with.

상기 서멀앵커(550)의 일단부는 상기 초전도전류리드(500) 및 황동전류리드(620) 사이에 형성된 연결블럭(540)과 절연재를 사이에 두고 결합되되, 상기 연 결블럭(540)의 타단부 및 서멀앵커(550)의 일단부는 평판형의 고정용서스판(570)에 의해 고정결합되도록 한다. 상기 고정용서스판(570)은 판상으로 형성되어 상하측에 나사결합부가 형성되어 상기 연결블럭(540)과 서멀앵커(550)를 상호 견고히 결합시키게 된다. 즉, 상기 고정용서스판(570)의 일측은 연결블럭(540)을 잡아주고, 타측은 서멀앵커(550)를 동시에 잡아주게 된다.One end of the thermal anchor 550 is coupled with an insulating material and a connection block 540 formed between the superconducting current lead 500 and the brass current lead 620, and the other end of the connection block 540. And one end of the thermal anchor 550 is fixedly coupled by the flat fixing susceptor plate 570. The fixing suspan plate 570 is formed in a plate shape is formed with a screw coupling portion on the upper and lower sides to firmly couple the connection block 540 and the thermal anchor 550 with each other. That is, one side of the fixing suspan plate 570 to hold the connection block 540, the other side to hold the thermal anchor 550 at the same time.

그리고, 상기 냉기전달편조선(560)은 열전도도가 우수한 금속재질로 형성되어 적층된 테이프 또는 다수의 금속선 뭉치로 형성되어 상기 콜드헤드(100)의 1단냉각부(110)의 냉기를 초전도전류리드(500)에 직접적으로 전달하도록 하는 것이다.In addition, the cold air transfer braiding line 560 is formed of a metal material having excellent thermal conductivity, and is formed of a stacked tape or a plurality of metal wire bundles to cool the cold air of the first stage cooling unit 110 of the cold head 100. It is to be delivered directly to the lead 500.

여기에서 상기 서멀앵커(550)는 일단부가 상기 콜드헤드(100)의 1단냉각부(110)에 접촉결합되고, 타단부가 상기 냉기전달편조선(560)의 일단부에 접촉결합되는 제1서멀앵커(551)와, 일단부가 상기 냉기전달편조선(560)의 타단부에 접촉결합되는 제2서멀앵커(552)와, 일단부가 상기 고정용서스판(570)의 타측에 절연재를 사이에 두고 결합되고, 타단부가 상기 제2서멀앵커(552)의 타단부와 접촉결합되는 제3서멀앵커(553)로 이루어진다.Here, the thermal anchor 550 has a first end of which is in contact with the first stage cooling part 110 of the cold head 100, and the other end is in contact with one end of the cold air transfer braiding line 560. The thermal anchor 551, one end of the second thermal anchor 552, which is in contact with the other end of the cold air transfer braiding line 560, and the other end of the fixing suspending plate 570 with an insulating material interposed therebetween. The third thermal anchor 553 is coupled and the other end is in contact with the other end of the second thermal anchor 552.

상기 제1서멀앵커(551)는 전체적으로 판상으로 형성되되, 너비는 상기 냉기전달편조선(560)의 너비에 대응되게 형성된다. 상기 제1서멀앵커(551)의 일단부는 상기 콜드헤드(100)의 1단냉각부(110)에 접촉결합되는 것으로, 접촉되는 부위는 상기 콜드헤드(100)의 원통형상에 대응되어 원형으로 절삭되어 형성되고, 상기 냉기전달편조선(560)에 결합되는 타단부는 내측으로 부분 함몰되게 형성되어 냉기전달편조선(560)의 결합이 용이하도록 형성된다.The first thermal anchor 551 is formed in a plate shape as a whole, the width is formed to correspond to the width of the cold air transfer braiding line 560. One end of the first thermal anchor 551 is in contact with the first stage cooling unit 110 of the cold head 100, the contact portion is cut in a circular shape corresponding to the cylindrical shape of the cold head 100 The other end coupled to the cold air transmission braid 560 is formed to be partially recessed inward, so that the cold air transmission braid 560 is easily coupled.

그리고, 상기 제2서멀앵커(552) 또한 전체적으로 판상으로 형성되되, 너비는 상기 냉기전달편조선(560)의 너비에 대응되게 형성되되, 상기 냉기전달편조선(560)이 결합되는 일단부는 내측으로 부분 함몰되게 형성되어 냉기전달편조선(560)의 결합이 용이하도록 형성된다.In addition, the second thermal anchor 552 is also formed in a plate shape as a whole, the width is formed to correspond to the width of the cold air transfer braiding line 560, one end portion to which the cold air transfer braiding line 560 is coupled to the inside It is formed to be partially recessed and is formed to facilitate coupling of the cold air transfer braiding line 560.

그리고, 상기 제3서멀앵커(553)는 초전도전류리드(500)와 접촉결합된 연결블럭(540)에 냉기를 전달하여 최종적으로 초전도전류리드(500)를 일정 온도의 저온으로 유지시키기 위한 것으로, 상기 연결블럭(540)과의 사이에 절연재를 사이에 두고 접촉결합되면서, 일단부가 상기 고정용서스판(570)의 타측에 절연재를 사이에 두고 결합되되, 상기 제2서멀앵커(552)의 타단부와 접촉결합되게 된다.In addition, the third thermal anchor 553 is to maintain the superconducting current lead 500 at a low temperature by finally delivering cold air to the connection block 540 which is in contact with the superconducting current lead 500. While being in contact with the connecting block 540 with an insulating material therebetween, one end is coupled to the other side of the fixing suspension plate 570 with an insulating material interposed therebetween, the other end of the second thermal anchor 552 It is in contact with.

또한, 상기 제3서멀앵커(553)는 상기 연결블럭(540) 및 고정용서스판(570)으로부터 상기 냉기전달편조선(560)까지 이격되도록 수평으로 길게 형성되어, 상기 내부챔버(200) 및 외부챔버(300)의 형상에 대응되어 소정 곡률을 가지도록 휘어지거나 적어도 두개 이상의 내측으로 굴곡부위를 가지도록 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the third thermal anchor 553 is formed to be horizontally long to be spaced apart from the connection block 540 and the fixing suspension plate 570 to the cold air transfer braiding line 560, the inner chamber 200 and the outside Corresponding to the shape of the chamber 300 is preferably formed to be bent to have a predetermined curvature or to have a bent portion at least two or more inside.

이에 의해 상기 초전도전류리드(500)의 상측부는 외부챔버(300) 및 내부챔버(200)에 의해 이중으로 단열되고, 콜드헤드(100)의 2단냉각부(120)에 의해 냉기를 전달받게 되고, 상기 초전도전류리드(500)의 하측부는 외부챔버(300)에 의해 외부와 단열되면서, 콜드헤드(100)의 1단냉각부(110)에 의해 냉기를 전달받도록 형성되어, 대전류가 초전도전류리드(500)에 수송되더라도 효율적인 냉기의 전달 및 안정적인 온도 유지가 이루어지도록 하여, 500A 이상의 대전류의 수송이 가능하도록 하였다.As a result, the upper side of the superconducting current lead 500 is double-insulated by the outer chamber 300 and the inner chamber 200, and receives cold air by the two-stage cooling unit 120 of the cold head 100. The lower portion of the superconducting current lead 500 is insulated from the outside by the outer chamber 300, and is formed to receive cold air by the first stage cooling unit 110 of the cold head 100. Even if it is transported to (500), efficient cold air delivery and stable temperature maintenance is to be made, it is possible to transport a large current of 500A or more.

다음으로, 상기 구성에 의한 작동효과에 대해 설명하고자 한다.Next, the operation effect by the above configuration will be described.

먼저, 사용자는 상기 외부챔버(300)를 크레인 등의 승하강보조부(320)를 작동시켜 상측으로 이동시키고, 내부챔버(200)를 분리한 후, 초전도 시편의 종류에 따른 시편홀더(400)를 선택하여, 시편홀더(400) 상측에 초전도 시편을 고정시키고, 초전도 시편 양단부를 전류단자(530)로 접촉 고정시킨다. 여기에서 상기 전류단자(530) 양측에는 각각 초전도전류리드(500)가 전기적으로 접촉결합형성되어 있는 상태이므로, 전류단자(530)에 초전도 시편을 고정시키는 동작에 의해 초전도전류리드(500) 및 전류단자(530), 초전도 시편은 전기적으로 결합되게 된다.First, the user moves the outer chamber 300 to the upper side by operating the lifting aid 320, such as a crane, and after separating the inner chamber 200, the specimen holder 400 according to the type of superconducting specimens Selectively, the superconducting specimen is fixed on the specimen holder 400, and both ends of the superconducting specimen are fixed by contact with the current terminal 530. Here, since the superconducting current leads 500 are electrically contact-coupled to both sides of the current terminal 530, the superconducting current leads 500 and the currents are operated by fixing the superconducting specimen to the current terminals 530. Terminal 530, the superconducting specimen is to be electrically coupled.

그리고, 상기 내부챔버(200)를 쉴드플레이트(210)에 결합시키고, 상기 승하강보조부(320)를 작동시켜 외부챔버(300)를 내려 베이스플랜지(310)에 결합하여 외부 진공펌프를 작동시켜 외부챔버(300) 및 내부챔버(200) 내부를 진공(10-4Torr 이하) 상태가 되게 한 후, GM 냉동기를 구동시킨다. 냉동기의 구동에 의해 상기 콜드헤드(100)는 4K 정도까지 냉각되게 되며, 히터(130)에 의해 발열량을 조절하여 콜드헤드(100)의 온도를 조절하게 된다.Then, the inner chamber 200 is coupled to the shield plate 210, the lifting aid 320 is operated to lower the outer chamber 300 to the base flange 310 to operate an external vacuum pump to the outside After the interior of the chamber 300 and the inner chamber 200 is in a vacuum (10 −4 Torr or less), the GM refrigerator is driven. The cold head 100 is cooled to about 4K by the operation of the refrigerator, and the temperature of the cold head 100 is controlled by controlling the amount of heat generated by the heater 130.

여기에서 상기 콜드헤드(100)의 1단냉각부(110)는 주로 파워피드쓰루(600) 및 초전도전류리드(500)의 하측부에 냉기를 전달하게 되며, 상기 콜드헤드(100)의 2단냉각부(120)는 주로 초전도전류리드(500)의 상측부, 시편홀더(400) 및 이에 고 정되는 초전도 시편에 냉기를 전달하게 되어, 파워피드쓰루(600) 및 초전도전류리드(500)를 통한 외부의 열이 초전도 시편에 전달되는 것을 방지하며, 초전도전류리드(500) 자체의 온도 유지를 위해 1단냉각부(110)에 의한 냉기를 전달받도록 하여, 대전류 수송시에도 소정 온도의 안정적이 유지가 가능하게 된다.Here, the first stage cooling unit 110 of the cold head 100 mainly transmits cool air to the lower side of the power feedthrough 600 and the superconducting current lead 500, and the second stage of the cold head 100. The cooling unit 120 mainly transmits cool air to the upper portion of the superconducting current lead 500, the specimen holder 400, and the superconducting specimen fixed thereto, thereby transferring the power feedthrough 600 and the superconducting current lead 500. It prevents external heat from being transferred to the superconducting specimen, and receives cold air from the first stage cooling unit 110 to maintain the temperature of the superconducting current lead 500 itself, thereby stably maintaining a predetermined temperature even when transporting a large current. Maintenance is possible.

이에 의해 온도에 따른 초전도 시편의 초전도 특성을 더욱 정밀하고, 정확하고 안정적으로 측정할 수 있게 되는 것이다.As a result, the superconducting properties of the superconducting specimens with temperature can be measured more precisely, accurately and stably.

도 1 - 본 발명에 따른 초전도 특성 측정장치에 대한 전체적인 개략도.1-overall schematic diagram of a superconducting characteristic measuring apparatus according to the present invention;

도 2 - 본 발명에 따른 초전도 특성 측정장치의 주요부에 대한 분해사시도.Figure 2-an exploded perspective view of the main part of the superconducting property measuring apparatus according to the present invention.

도 3 - 본 발명에 따른 초전도 특성 측정장치의 콜드헤드의 1단냉각부 주변에 대한 평면도.3 is a plan view of the periphery of the first stage of the cold head of the superconducting characteristic measuring apparatus according to the present invention.

도 4 - 본 발명에 따른 초전도 특성 측정장치에서 초전도 시편이 보빈코일 형상인 경우에 단자덮개 및 시편홀더에 대한 적용예시도((a)초전도 코일 또는 초전도체와의 접촉결합부위가 홈으로 형성된 경우, (b)초전도 코일 또는 초전도체와의 접촉결합부위가 단자덮개 측면에 형성된 경우).4-Example of application to the terminal cover and the specimen holder in the case of the superconducting specimen is bobbin coil shape in the superconducting characteristics measuring apparatus according to the present invention ((a) when the contact coupling portion with the superconducting coil or superconductor is formed as a groove, (b) The contact coupling part with the superconducting coil or superconductor is formed on the side of the terminal cover.

<도면에 사용된 주요부호에 대한 설명><Description of Major Symbols Used in Drawings>

100 : 콜드헤드 110 : 1단냉각부100: cold head 110: 1 stage cooling unit

120 : 2단냉각부 130 : 히터120: two-stage cooling unit 130: heater

200 : 내부챔버 210 : 쉴드플레이트200: inner chamber 210: shield plate

211 : 콜드헤드 결합구 212 : 초전도전류리드 인입구211: cold head coupler 212: superconducting current lead inlet

220 : 슈퍼인슐레이션 300 : 외부챔버220: super insulation 300: outer chamber

310 : 베이스플랜지 320 : 승하강보조부310: base flange 320: lifting aids

400 : 시편홀더 410 : 시편안착부400: specimen holder 410: specimen seat

420 : 보조플랜지 421 : 제1온도센서420: auxiliary flange 421: first temperature sensor

500 : 초전도전류리드 510 : 고온부500: superconducting current lead 510: high temperature part

520 : 저온부 530 : 전류단자520: Low temperature part 530: Current terminal

531 : 단자블럭 531a : 시편고정부531: terminal block 531a: test piece fixing

532 : 단자덮개 532a : 초전도체안내부532: terminal cover 532a: superconductor guide

533 : 533: 안내홈Home 534 :                              534: 압착바Crimp bar

535 : 볼트 536 : 인듐535: Bolt 536: Indium

540 : 연결블럭 550 : 서멀앵커540: connection block 550: thermal anchor

551 : 제1서멀앵커 552 : 제2서멀앵커551: first thermal anchor 552: second thermal anchor

553 : 제3서멀앵커 560 : 냉기전달편조선553: Third thermal anchor 560: Cold delivery braid

570 : 고정용서스판 580 : 초전도전류리드지지대570: fixing plate 580: superconducting current lead support

600 : 파워피드쓰루 610 : 전류공급부600: power feed-through 610: current supply unit

620 : 황동전류리드 700 : 고정용 가이드프레임620: brass current lead 700: fixing guide frame

Claims (20)

1단냉각부(110)와, 상기 1단냉각부(110) 상측에 형성된 2단냉각부(120)로 이루어진 콜드헤드(100)와;A cold head (100) consisting of a first stage cooling unit (110) and a second stage cooling unit (120) formed above the first stage cooling unit (110); 상기 콜드헤드(100)의 1단냉각부(110) 상측을 수용하여, 외부로부터 상기 1단냉각부(110) 상측에 미치는 복사열을 차단시키는 것으로, 원통형상으로 형성되고, 상기 콜드헤드(100)의 원주면상에 형성된 쉴드플레이트(210)가 하측에 결합되며, 외주면 둘레에 복사열 차단용 슈퍼인슐레이션(220)이 형성된 내부챔버(200)와;By receiving the upper stage of the first stage cooling unit 110 of the cold head 100, by blocking the radiant heat applied to the upper stage of the first stage cooling unit 110 from the outside, formed in a cylindrical shape, the cold head 100 A shield plate 210 formed on a circumferential surface of the inner chamber 200, coupled to a lower side thereof, and having a super insulation 220 for shielding radiant heat formed around an outer circumferential surface thereof; 상기 내부챔버(200) 및 콜드헤드(100)의 1단냉각부(110)를 수용하며, 진공펌프에 연결되어 내부가 진공이 되는 외부챔버(300)와;An outer chamber (300) for accommodating the first stage cooling unit (110) of the inner chamber (200) and the cold head (100); 상기 콜드헤드(100)의 2단냉각부(120)에 접촉결합되어, 상기 콜드헤드(100)의 냉기를 전달받으며, 특성 측정을 위한 초전도 시편이 고정되는 시편홀더(400)와;A specimen holder 400 which is coupled to the two-stage cooling unit 120 of the cold head 100 to receive cold air from the cold head 100 and to which a superconducting specimen for measuring characteristics is fixed; 상기 콜드헤드(100)의 1단냉각부(110)와 절연결합되는 고온부(510)와, 상기 시편홀더(400)에 접촉결합되는 저온부(520)로 이루어져 외부의 전류를 초전도 시편에 전달시키는 초전도전류리드(500)와;A superconducting portion consisting of a high temperature portion 510 insulated from the first stage cooling unit 110 of the cold head 100 and a low temperature portion 520 in contact with the specimen holder 400 to transfer external current to the superconducting specimen. A current lead 500; 상기 초전도전류리드(500)의 고온부(510)와 접촉결합되어 초전도전류리드(500)에 전류를 공급시키는 파워피드쓰루(600);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.And a power feedthrough (600) contacted with the high temperature portion (510) of the superconducting current lead (500) to supply current to the superconducting current lead (500). 삭제delete 제 1항에 있어서, 상기 쉴드플레이트(210)에는,The method of claim 1, wherein the shield plate 210, 콜드헤드 결합구(211)와, 상기 콜드헤드 결합구(211) 둘레에 초전도전류리드 인입구(212)가 형성되는 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.Superconducting characteristics measuring device, characterized in that the superconducting current lead inlet (212) is formed around the cold head coupler (211) and the cold head coupler (211). 제 1항에 있어서, 상기 외부챔버(300)는,The method of claim 1, wherein the outer chamber 300, 원통형상으로 형성되고, 상기 콜드헤드(100)의 원주면상에 형성된 베이스플랜지(310)가 하측에 결합되는 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.Superconducting characteristics measuring device, characterized in that formed in a cylindrical shape, the base flange 310 formed on the circumferential surface of the cold head 100 is coupled to the lower side. 제 4항에 있어서, 상기 외부챔버(300)는,The method of claim 4, wherein the outer chamber 300, 상면 외부에 초전도 시편 교환시 상기 베이스플랜지(310)로부터 분리를 위한 승하강보조부(320)가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.Superconducting characteristics measuring device, characterized in that the lifting aid sub-320 is further formed to separate from the base flange 310 when replacing the superconducting specimen outside the upper surface. 제 1항에 있어서, 상기 시편홀더(400)는,According to claim 1, wherein the specimen holder 400, 금속재질 또는 유리강화섬유로 형성되며, 상측에 초전도 시편의 안착을 위한 시편안착부(410)가 형성되는 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.Superconducting characteristics measuring device is formed of a metallic material or glass-reinforced fiber, characterized in that the specimen mounting portion 410 is formed on the upper side for mounting of the superconducting specimen. 제 6항에 있어서, 상기 시편홀더(400)의 시편안착부(410)는 초전도 시편의 형상에 따라 사각형상 또는 코일보빈형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.The superconducting characteristic measuring apparatus according to claim 6, wherein the specimen seating portion (410) of the specimen holder (400) is formed in a rectangular shape or a coil bobbin shape according to the shape of the superconducting specimen. 제 1항에 있어서, 상기 초전도 특성 측정장치에는,According to claim 1, The superconducting characteristic measuring device, 금속재질로 형성되며, 상기 시편홀더(400)의 하측에 접촉결합됨과 동시에 상기 콜드헤드(100)의 2단냉각부(120) 상면에 접촉결합되어 상기 콜드헤드(100)의 2단냉각부(120)에서 전달된 냉기를 시편홀더(400)에 전달시키는 보조플랜지(420)가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.It is formed of a metal material and is in contact with the lower side of the specimen holder 400 and at the same time in contact with the upper surface of the two-stage cooling unit 120 of the cold head 100 is the two-stage cooling unit of the cold head ( Superconducting characteristics measuring device, characterized in that the auxiliary flange 420 for transmitting the cold air transmitted from the 120 to the specimen holder 400 is further formed. 제 8항에 있어서, 상기 보조플랜지(420)에는 제1온도센서(421)가 부착되는 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.The superconducting characteristic measuring apparatus according to claim 8, wherein a first temperature sensor (421) is attached to the auxiliary flange (420). 제 8항에 있어서, 상기 초전도전류리드(500)는,The method of claim 8, wherein the superconducting current lead 500, 길이 방향으로 길게 형성되어 내부에 초전도 선재가 수용되며, 저온부(520)는 상기 보조플랜지(420) 양측에 절연재를 사이에 두고 결합되는 전류단자(530)와 전기적으로 접촉되고, 고온부(510)는 상기 콜드헤드(100)의 1단냉각부(110)와 절연결합되는 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.It is formed long in the longitudinal direction to accommodate the superconducting wire therein, the low temperature portion 520 is in electrical contact with the current terminal 530 coupled to the secondary flange 420 with an insulating material between both sides, the high temperature portion 510 is Superconducting characteristics measuring device characterized in that the insulating coupling with the first stage cooling unit (110) of the cold head (100). 제 10항에 있어서, 상기 전류단자(530)는,The method of claim 10, wherein the current terminal 530, 'ㄱ'자로 형성되어, 상측부는 상기 보조플랜지(420) 상면 양측에 결합형성되 고, 하측부는 상기 초전도전류리드(500)의 초전도 선재와 전기적으로 접촉형성되고, 상면에는 상기 시편홀더(400)에 고정된 초전도 시편의 양단부가 안착되는 시편고정부(531a)가 형성된 단자블럭(531)과;'A' is formed, the upper portion is coupled to both sides of the upper surface of the auxiliary flange 420, the lower portion is formed in electrical contact with the superconducting wire of the superconducting current lead 500, the upper surface to the specimen holder 400 A terminal block 531 having a specimen fixing part 531a on which both ends of the fixed superconducting specimen are mounted; 상기 시편고정부(531a)에 안착된 초전도 시편을 고정시키도록 상기 시편고정부(531a) 상측에 결합되는 단자덮개(532);로 이루어진 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.A superconducting characteristic measuring device comprising: a terminal cover (532) coupled to an upper side of the specimen fixing part (531a) to fix the superconducting specimen seated on the specimen fixing part (531a). 제 11항에 있어서, 상기 단자덮개(532)는,The method of claim 11, wherein the terminal cover 532, 일측에 형성되어 초전도 시편까지 연장되고, 일측면에는 내측으로 함몰되어 초전도 시편 또는 초전도 시편과 전기적으로 연결된 초전도체를 수용결합시키는 가이드홈이 형성된 초전도체안내부(532a)가 더 형성된 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.Superconducting characteristics, characterized in that the superconductor guide portion 532a is formed on one side and extends to the superconducting specimen, one side is recessed inward to form a guide groove for accommodating the superconducting specimen or the superconductor electrically connected to the superconducting specimen. Measuring device. 제 11항에 있어서, 상기 단자블럭(531)의 시편고정부(531a)는,The method of claim 11, wherein the specimen fixing portion 531a of the terminal block 531, 상기 시편홀더(400)에 고정되는 초전도 시편의 길이 방향에 평행하게 단차가 지도록 형성되어, 초전도 시편의 종류에 따라 적정 위치의 단차에 초전도 시편을 고정시키는 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.The superconducting characteristics measuring device, characterized in that the step is formed in parallel to the longitudinal direction of the superconducting specimen fixed to the specimen holder 400, to fix the superconducting specimen to the step of the appropriate position according to the type of superconducting specimen. 제 1항에 있어서, 상기 콜드헤드(100)의 2단냉각부(120) 하측에는 히터(130)가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.The superconducting characteristic measuring apparatus according to claim 1, wherein a heater (130) is further formed below the two-stage cooling unit (120) of the cold head (100). 제 1항에 있어서, 상기 파워피드쓰루(600)는,The method of claim 1, wherein the power feed-through 600, 상기 외부챔버(300)의 하측에서 인입되는 전류공급부(610)와;A current supply part 610 drawn in from the lower side of the outer chamber 300; 일단부는 상기 전류공급부(610)의 상단부와 전기적으로 결합되고, 타단부는 상기 초전도전류리드(500)의 고온부(510)와 접촉결합되는 황동전류리드(620);로 이루어진 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.One end is electrically coupled with the upper end of the current supply unit 610, the other end is a brass current lead 620 is in contact with the high temperature portion 510 of the superconducting current lead 500; Measuring device. 제 15항에 있어서, 상기 초전도전류리드(500)와 황동전류리드(620)와의 사이에 형성되어 이들을 접촉결합시키는 연결블럭(540)이 더 삽입형성되는 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.16. The apparatus for measuring superconductivity according to claim 15, further comprising a connection block (540) formed between the superconducting current lead (500) and the brass current lead (620) for contact coupling them. 제 16항에 있어서, 상기 초전도 특성 측정장치에는,The superconducting characteristic measuring apparatus according to claim 16, 상기 연결블럭(540)과 절연되면서 일단부가 결합되는 서멀앵커(550)와, 상기 서멀앵커(550)의 타단부에 접촉결합되어 상기 콜드헤드(100)의 1단냉각부(110)와 접촉결합되는 냉기전달편조선(560)이 형성되어, 상기 초전도전류리드(500)의 고온부(510)에 냉기를 전달시키는 초전도 특성 측정장치.The thermal anchor 550 is insulated from the connection block 540 and coupled to one end thereof, and the other end of the thermal anchor 550 is in contact with the first stage cooling unit 110 of the cold head 100. The cold air transfer braiding line 560 is formed, and transmits the cold air to the high temperature portion 510 of the superconducting current lead (500). 제 17항에 있어서, 상기 연결블럭(540)과 서멀앵커(550)의 일단부는 평판형의 고정용서스판(570)에 의해 고정결합되는 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.18. The apparatus for measuring superconductivity characteristics according to claim 17, wherein one end of the connection block 540 and the thermal anchor 550 is fixedly coupled by a plate-type fixing suspending plate 570. 제 18항에 있어서, 상기 서멀앵커(550)는The method of claim 18, wherein the thermal anchor 550 is 일단부가 상기 콜드헤드(100)의 1단냉각부(110)에 접촉결합되고, 타단부가 상기 냉기전달편조선(560)의 일단부에 접촉결합되는 제1서멀앵커(551)와;A first thermal anchor 551 having one end contacted with the first stage cooling unit 110 of the cold head 100 and the other end contacting with one end of the cold air transfer braiding line 560; 일단부가 상기 냉기전달편조선(560)의 타단부에 접촉결합되는 제2서멀앵커(552)와;A second thermal anchor 552 whose one end is in contact with the other end of the cold air transfer braiding line 560; 일단부가 상기 고정용서스판(570)의 타측에 절연재를 사이에 두고 결합되고, 타단부가 상기 제2서멀앵커(552)의 타단부와 접촉결합되는 제3서멀앵커(553);로 이루어진 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.A third thermal anchor 553 having one end coupled to the other side of the fixing suspending plate 570 with an insulating material interposed therebetween, and the other end being in contact with the other end of the second thermal anchor 552. Superconducting characteristics measuring device. 제 1항에 있어서, 상기 외부챔버(300)는 고정용 가이드프레임(700)에 결합되는 것을 특징으로 하는 초전도 특성 측정장치.The superconducting characteristic measuring apparatus according to claim 1, wherein the outer chamber (300) is coupled to a fixing guide frame (700).
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