KR100900124B1 - Method and system for controlling light delay for synchronization of light pass in laser device - Google Patents

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Abstract

A method and a system for controlling light delay of a high power laser device are provided to obtain the high power laser by controlling difference between different optical paths. An optical light detecting unit(101) detects the n laser output beams which are inputted to a target chamber and are divided from one light source. An optical path difference operating unit(102) compares the detected n laser output beams. The optical path difference operating unit distinguishes incident points of time of the n laser output beams to the target chamber and generates the time difference information from the distinguished incident points. The optical path difference operating unit operates the optical path difference by using the generated time difference information. An optical path controlling unit(103) controls the optical path about at least one laser output beam among the n laser output beams by considering the operated optical path difference.

Description

고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법 및 광 딜레이 제어 시스템{METHOD AND SYSTEM FOR CONTROLLING LIGHT DELAY FOR SYNCHRONIZATION OF LIGHT PASS IN LASER DEVICE}Optical delay control method and optical delay control system for optical path synchronization in a high power laser device {METHOD AND SYSTEM FOR CONTROLLING LIGHT DELAY FOR SYNCHRONIZATION OF LIGHT PASS IN LASER DEVICE}

본 발명은 고출력 레이저 장치에서 광경로가 서로 다른 출력광이 타겟 챔버에 동기화되어 입사되도록 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법 및 광 딜레이 제어 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an optical delay control method and an optical delay control system for synchronizing optical paths in a high power laser device in which output light having different optical paths is synchronized to the target chamber and incident to the target chamber.

고출력 레이저 장치는 고출력 레이저를 획득하기 위해 출력광을 여러 경로로 분할한다. 이때, 고출력 레이저 장치는 분할된 출력광들의 광경로차에 의해 생기는 딜레이를 동기시켜 타켓 챔버에 입사시켜야 한다. 또한, 출력광의 속도가 무척 빠른 관계(30만 km/sec)로 매우 정교한 제어 기술이 광 동기 조정에 필요하다.The high power laser device splits the output light into several paths to obtain a high power laser. At this time, the high power laser device should enter the target chamber in synchronization with the delay caused by the optical path difference of the divided output lights. In addition, since the speed of the output light is very fast (300,000 km / sec), a very sophisticated control technique is required for optical synchronization adjustment.

하지만, 주변환경(온도, 습도 진동 및 장치하중)에 의해 고출력 레이저 장치의 사용 중 상술한 장치와 연관된 관계자는 수동으로 주변환경에 따라 광 동기 조정을 수행한다.However, during the use of the high power laser device by the surrounding environment (temperature, humidity vibration and device load), the person concerned with the above-mentioned device manually performs optical synchronization adjustment according to the surrounding environment.

따라서, 고출력 레이저 장치의 광 동기 조정을 타켓 챔버에 입사되는 출력광에 따라 자동으로 조정하는 방법 및 시스템이 요구되고 있다.Therefore, there is a need for a method and system for automatically adjusting the optical synchronization of a high power laser device in accordance with the output light incident on the target chamber.

본 발명은 고출력 레이저 장치에서 광경로가 서로 다른 출력광이 타겟 챔버에 동기화되어 입사되도록 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법 및 광 딜레이 제어 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide an optical delay control method and an optical delay control system for synchronizing optical paths in a high power laser device in which output light having different optical paths is synchronized to the target chamber and incident to the target chamber.

또한, 본원발명의 목적은, 고출력 레이저 장치에서 고출력 레이저가 획득되도록 타겟 챔버에 동기화되어 입사되도록 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법 및 광 딜레이 제어 시스템을 제공하는 데에 있다.It is also an object of the present invention to provide an optical delay control method and an optical delay control system for optical path synchronization in a high power laser device in which a high power laser device is synchronized to the target chamber so as to obtain a high power laser.

상기의 목적을 이루기 위한 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법은 하나의 광원으로부터 출력되며 타켓 챔버로의 입사 시점이 상이한 n개의 레이저 출력광을, 검출하는 단계, 검출된 n개의 레이저 출력광을 비교하여, n개의 레이저 출력광 간 광경로차를 연산하는 단계 및 연산된 광경로차를 고려하여, n개의 레이저 출력광 중 적어도 하나의 레이저 출력광에 대한 광경로를 조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The optical delay control method for synchronizing optical paths in a high power laser apparatus for achieving the above object comprises detecting n laser output light output from one light source and having different viewpoints of incidence into the target chamber, and detecting n lasers. Comparing the output light, calculating the optical path difference between the n laser output light and considering the calculated optical path difference, adjusting the optical path for at least one laser output light of the n laser output light It is characterized by including.

또한, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 구성으로서, 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템은 하나의 광원으로부터 출력되며 타켓 챔버로의 입사 시점이 상이한 n개의 레이저 출력광을, 검출하는 출력광 검출수단, 검출된 n개의 레이저 출력광을 비교하여, n개의 레이저 출력광 간 광경로차를 연산하는 광경로차 연산수단 및 연산된 광경로차를 고려하여, n개의 레이저 출력광 중 적어도 하나의 레이저 출력광에 대한 광경로를 조정하는 광경로 조정수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, as a technical configuration of the present invention for achieving the above object, the optical delay control system for synchronizing the optical path in the high-power laser device is output from one light source and the n laser output light is different from the incident time to the target chamber, The output light detecting means for detecting, the optical path difference calculating means for comparing the detected n laser output light, and calculating the optical path difference between the n laser output light and the n laser output light in consideration of the calculated optical path difference. It characterized in that it comprises a light path adjusting means for adjusting the light path for at least one of the laser output light.

본 발명에 따르면, 고출력 레이저 장치에서 광경로가 서로 다른 출력광이 타겟 챔버에 동기화되어 입사되도록 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법 및 광 딜레이 제어 시스템을 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide an optical delay control method and an optical delay control system for synchronizing optical paths in a high power laser device in which output light having different optical paths is synchronized to the target chamber and incident to the target chamber.

또한, 본 발명에 따르면, 고출력 레이저 장치에서 고출력 레이저가 획득되도록 타겟 챔버에 동기화되어 입사되도록 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법 및 광 딜레이 제어 시스템을 제공할 수 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to provide an optical delay control method and an optical delay control system for synchronizing optical paths in a high power laser device in which a high power laser device is synchronized to the target chamber so as to obtain a high power laser.

이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법 및 광 딜레이 제어 시스템에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, an optical delay control method and an optical delay control system for optical path synchronization in a high power laser device according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명인 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템의 구성도이다.1 is a block diagram of an optical delay control system for synchronizing optical paths in a high power laser device of the present invention.

도 1을 참조하면, 광 딜레이 제어 시스템(100)은 출력광 검출수단(101), 광경로차 연산수단(102) 및 광경로 조정수단(103)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, the optical delay control system 100 may include an output light detecting unit 101, an optical path difference calculating unit 102, and an optical path adjusting unit 103.

출력광 검출수단(101)은 하나의 광원으로부터 출력되며 타켓 챔버로의 입사 시점이 상이한 n개(상기 n은 2 이상의 자연수)의 레이저 출력광을 검출하는 기능을 수행한다. 즉, 출력광 검출수단(101)은 하나의 광원으로부터 분할되어 타켓 챔버로 입사되는 n개의 레이저 출력광을 검출하여, 출력광의 입사 시점을 비교할 수 있는 환경을 마련할 수 있다.The output light detecting means 101 outputs from one light source and detects n laser output light having different incidence times into the target chamber (where n is a natural number of two or more). That is, the output light detecting means 101 may detect n laser output light which is split from one light source and enters the target chamber, thereby providing an environment in which incident points of the output light can be compared.

광경로차 연산수단(102)은 검출된 n개의 레이저 출력광을 비교하여, n개의 레이저 출력광 간 광경로차를 연산하는 기능을 수행한다. 즉, 광경로차 연산수단(102)은 입사 시점이 상이하여 검출되는 n개의 레이저 출력광 각각이 타켓 챔버에 입사한 입사 시점을 식별하고, 식별된 입사 시점들로부터 시차 정보를 생성하며, 생성된 시차 정보를 이용하여 광경로차를 연산한다.The optical path difference calculating means 102 compares the detected n laser output lights and performs a function of calculating the optical path difference between the n laser output lights. That is, the optical path difference calculating means 102 identifies the incident time point at which each of the n laser output lights detected because the incident time points are different from each other, enters the target chamber, generates parallax information from the identified incident time points, and generates The optical path difference is calculated using the parallax information.

다시 설명하면, 광경로차 연산수단(102)은 검출된 n개의 레이저 출력광을 오실로스코프에 입력하고, 오실로스코프를 통해 표시되는 입력된 n개의 레이저 출력광에 대한 파형을 분석하여 n개의 레이저 출력광 간의 시차 정보를 생성하며, 생성된 시차 정보를 이용하여 n개의 레이저 출력광 간 광경로차를 연산한다.In other words, the optical path difference calculating means 102 inputs the detected n laser output lights to the oscilloscope, analyzes waveforms of the n input laser output lights displayed through the oscilloscope, The parallax information is generated, and the optical path difference between the n laser output lights is calculated using the generated parallax information.

광경로 조정수단(103)은 연산된 광경로차를 고려하여, n개의 레이저 출력광 중 적어도 하나의 레이저 출력광에 대한 광경로를 조정하는 기능을 수행한다. 즉, 광경로 조정수단(103)은 입사 시점이 상이하여 검출되는 n개의 레이저 출력광 중에서, (1) 타켓 챔버에 입사한 입사 시점이 가장 먼저인 레이저 출력광의 광경로가, 연산된 광경로차 만큼 증가되도록 조정하거나 또는, (2) 타켓 챔버에 입사한 입사 시점이 가장 나중인 레이저 출력광의 광경로가, 연산된 광경로차 만큼 감소되도록 할 수 있다.The optical path adjusting means 103 performs a function of adjusting the optical path for at least one laser output light among the n laser output light in consideration of the calculated optical path difference. That is, among the n laser output lights detected by different incidence times, the optical path adjusting means 103 (1) the optical path difference of which the optical paths of the laser output light having the first incident time incident on the target chamber are calculated. Or (2) the optical path of the laser output light having the latest incident time incident on the target chamber is reduced by the calculated optical path difference.

광경로 조정수단(103)은 선정된 알고리즘에 기초하여 연산된 광경로차로부 터 조정 신호를 생성하고, 생성된 조정 신호를 모터에 입력하여 n개의 레이저 출력광 중 적어도 하나의 레이저 출력광에 대한 광경로를 조정할 수 있다.The optical path adjusting means 103 generates an adjustment signal from the optical path difference calculated on the basis of the selected algorithm, inputs the generated adjustment signal to the motor, and outputs at least one laser output light of the n laser output lights. The light path can be adjusted.

광경로 조정수단(103)은 검출된 n개의 레이저 출력광의 입사 시점이 허용 범위 이내에서 일치하도록 동기화할 수 있다.The optical path adjusting means 103 may synchronize the incident time points of the detected n laser output lights to coincide within an allowable range.

이하, 도 2 내지 도 4를 참조하여 본 발명인 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템의 실시예를 설명한다.Hereinafter, an embodiment of an optical delay control system for synchronizing optical paths in a high power laser device of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 4.

본 실시예에서 레이저 광원으로부터 분할된 레이저 출력광은 2개로 가정한다(n=2).In this embodiment, it is assumed that the laser output light divided from the laser light source is two (n = 2).

도 2는 본 발명인 광 딜레이 제어 시스템이 포함된 고출력 레이저 장치에 관한 것이다.2 is a high power laser apparatus including the optical delay control system of the present invention.

고출력 레이저 장치의 레이저 광원(201)으로부터 출력된 레이저 출력광은 광분할기(202)에 의해 분할된다.The laser output light output from the laser light source 201 of the high power laser device is split by the light splitter 202.

광분할기(202)로부터 분할된 제1 레이저 출력광(203)은 전반사미러(213) 및 광 딜레이 보정 미러(206)의 프리즘 미러(210)에 의해 반사되어 광증폭기(216)를 거쳐 타켓 챔버(207)에 입사된다.The first laser output light 203 split from the optical splitter 202 is reflected by the total reflection mirror 213 and the prism mirror 210 of the optical delay correction mirror 206 and passes through the optical amplifier 216 to the target chamber ( 207).

또한, 광분할기(202)로부터 분할된 제2 레이저 출력광(204)은 전반사미러(205, 214)에 의해 반사되어 광증폭기(215)를 거쳐 타켓 챔버(207)에 입사된다.In addition, the second laser output light 204 split from the light splitter 202 is reflected by the total reflection mirrors 205 and 214 and enters the target chamber 207 through the optical amplifier 215.

타겟 챔버(207)의 TM(Target Material, 208)에 입사되는 제1 레이저 출력광(203)과 제2 레이저 출력광(204)은 입사 시점이 동기화되지 못할 수 있다. 여기 서, 동기화는 제1 레이저 출력광(203)과 제2 레이저 출력광(204)의 입사 시점이 10-15초 이내 인 것을 의미한다.The first laser output light 203 and the second laser output light 204 that are incident on the target material 208 of the target chamber 207 may not be synchronized with each other. Here, synchronization means that the incident time of the first laser output light 203 and the second laser output light 204 is within 10 -15 seconds.

제1 레이저 출력광(203)과 제2 레이저 출력광(204)이 동기화되지 못하는 것을 검사하기 위해, 우선 광 딜레이 제어 시스템(200)의 출력광 검출 수단인 검출기(212)는 제1 레이저 출력광(203) 및 제2 레이저 출력광(204)을 검출한다.In order to check that the first laser output light 203 and the second laser output light 204 are not synchronized, the detector 212, which is an output light detecting means of the optical delay control system 200, first performs the first laser output light. 203 and the second laser output light 204 are detected.

이어서, 광 딜레이 제어 시스템(200)의 광경로차 연산수단 및 광경로차 조정수단인 제어 컴퓨터(211)는 검출된 제1 레이저 출력광(203) 및 제2 레이저 출력광(204)을 비교하여, 제1 레이저 출력광(203) 및 제2 레이저 출력광(204) 간 광경로차를 연산하고, 모터(209)를 통해 광 딜레이 보정 미러(206)를 조정 함으로서, 광경로를 조정한다.Subsequently, the control computer 211 which is the optical path difference calculating means and the optical path difference adjusting means of the optical delay control system 200 compares the detected first laser output light 203 and the second laser output light 204. The optical path is adjusted by calculating the optical path difference between the first laser output light 203 and the second laser output light 204 and adjusting the optical delay correction mirror 206 through the motor 209.

도 3은 본 발명인 광 딜레이 제어 시스템의 구성도이다.3 is a block diagram of the optical delay control system of the present invention.

광 딜레이 제어 시스템(300)의 출력광 검출수단인 검출기(301)는, 하나의 광원으로부터 출력되며 타켓 챔버로의 입사 시점이 상이한 n개의 레이저 출력광을 검출한다.The detector 301, which is an output light detecting means of the optical delay control system 300, detects n laser output lights that are output from one light source and differ in the incident time into the target chamber.

광 딜레이 제어 시스템(300)의 광경로차 연산수단인 제어 컴퓨터(303)는 검출기(301)로부터 오실로스코프(302)를 이용하여 제1 레이저 출력광 및 제2 레이저 출력광에 대한 신호를 입력받는다.The control computer 303, which is an optical path difference calculating means of the optical delay control system 300, receives a signal for the first laser output light and the second laser output light from the detector 301 using the oscilloscope 302.

도 4는 오실로스코프에 의해 인식된 제1 레이저 출력광 및 제2 레이저 출력광에 대한 신호를 도시한 도면이다.4 is a diagram illustrating signals for the first laser output light and the second laser output light recognized by the oscilloscope.

도 4를 참조하면, 오실로스코프에 인식된 제1 레이저 출력광의 신호(401)와 제2 레이저 출력광의 신호(402)는 403에 의해 지칭되는 시간 딜레이를 가진다.Referring to FIG. 4, the signal 401 of the first laser output light and the signal 402 of the second laser output light recognized by the oscilloscope have a time delay referred to by 403.

광경로차 연산수단인 제어 컴퓨터(303)는 오실로스코프(302)에 의해 인식된 제1 레이저 출력광 및 제2 레이저 출력광에 대한 신호를 식별하고, 식별된 입사 시점들로부터 시차 정보를 생성하며, 생성된 시차 정보를 이용하여 광경로차를 연산한다. 즉, 광경로차 연산수단인 제어 컴퓨터(303)는 오실로스코프를 통해 표시되는 입력된 제1 레이저 출력광 및 제2 레이저 출력광에 대한 파형을 분석하여 제1 레이저 출력광 및 제2 레이저 출력광 간의 시차 정보를 생성하며, 생성된 시차 정보를 이용하여 제1 레이저 출력광 및 제2 레이저 출력광 간 광경로차를 연산한다.The control computer 303, which is an optical path difference calculating means, identifies the signals for the first laser output light and the second laser output light recognized by the oscilloscope 302, and generates parallax information from the identified incident time points, The optical path difference is calculated using the generated parallax information. That is, the control computer 303, which is an optical path difference calculating means, analyzes waveforms of the first laser output light and the second laser output light, which are displayed through the oscilloscope, between the first laser output light and the second laser output light. The parallax information is generated, and the optical path difference between the first laser output light and the second laser output light is calculated using the generated parallax information.

광경로 조정수단이기도 한 제어 컴퓨터(303)는 선정된 알고리즘에 기초하여 연산된 광경로차로부터 조정 신호를 생성하고, 생성된 조정 신호를 모터드라이버 인터페이스(304) 및 리니어모터 드라이버(305)를 통해 리니어모터(306)에 전달하여 제1 레이저 출력광 및 제2 레이저 출력광 중 적어도 하나의 레이저 출력광에 대한 광경로를 조정한다. 즉, 광경로 조정수단이기도 한 제어 컴퓨터(303)는 입사 시점이 상이하여 검출되는 2개의 레이저 출력광 중에서, (1) 타켓 챔버에 입사한 입사 시점이 먼저인 레이저 출력광의 광경로가, 연산된 광경로차 만큼 증가되도록 조정하거나 (2) 타켓 챔버에 입사한 입사 시점을 나중인 레이저 출력광의 광경로가, 연산된 광경로차 만큼 감소되도록 할 수 있다.The control computer 303, which is also an optical path adjustment means, generates an adjustment signal from the optical path difference calculated based on the selected algorithm, and generates the adjustment signal through the motor driver interface 304 and the linear motor driver 305. The optical path is transmitted to the linear motor 306 to adjust the optical path to at least one of the first laser output light and the second laser output light. That is, the control computer 303, which is also an optical path adjusting means, calculates an optical path of the laser output light having the first incident time incident on the target chamber among the two laser output lights detected because the incident time points are different from each other. The optical path of the laser output light, which is adjusted to be increased by the optical path difference, or (2) the incident time incident to the target chamber, may be reduced by the calculated optical path difference.

예를 들어, 출력광 검출수단을 통해 검출된 제1 레이저 출력광이 제2 레이 저 출력광에 비해 10-10초 차이로 늦게 입사하는 것이 식별된 경우, 광경로차 연산수단인 제어 컴퓨터는 오실로스코프를 통해 표시되는 입력된 제1 레이저 출력광 및 제2 레이저 출력광에 대한 파형을 분석하여 제1 레이저 출력광 및 제2 레이저 출력광 간의 시차 정보를 생성하며, 생성된 시차 정보를 이용하여 제1 레이저 출력광 및 제2 레이저 출력광 간 광경로차를 연산한다.For example, the first laser output light detected by the output light detecting means is 10 -10 seconds compared to the second laser output light. When the late incidence is identified as a difference, the control computer, which is the optical path difference calculating means, analyzes the waveforms of the input first laser output light and the second laser output light displayed through the oscilloscope to analyze the first laser output light and the first laser output light. The parallax information is generated between the two laser output lights, and the optical path difference between the first laser output light and the second laser output light is calculated using the generated parallax information.

이어서, 광경로 조정수단이기도 한 제어 컴퓨터는 선정된 알고리즘에 기초하여 연산된 광경로차로부터 조정 신호를 생성하고, 생성된 조정 신호를 모터드라이버 인터페이스 및 리니어모터 드라이버를 통해 리니어모터에 전달하여 광 딜레이 보정 미러를 조정한다. 즉, 상술한 제어 컴퓨터는 제1 레이저 출력광의 광경로를 연산된 광경로 차만큼 감소 함으로서, 제1 레이저 출력광과 제2 레이저 출력광의 타켓 챔버에 대한 입사 시점이 허용 범위인 10-15초 이내로 일치하도록 동기화한다.Subsequently, the control computer, which is also an optical path adjusting means, generates an adjustment signal from the optical path difference calculated based on the selected algorithm, and transmits the generated adjustment signal to the linear motor through the motor driver interface and the linear motor driver to delay the optical delay. Adjust the calibration mirror. That is, the above-described control computer reduces the optical path of the first laser output light by the calculated optical path difference, so that the incident time of the first laser output light and the second laser output light into the target chamber is within the allowable range of 10 -15 seconds. Synchronize to match.

따라서, 본 발명에 의하면, 고출력 레이저 장치에서 광경로가 서로 다른 출력광이 타겟 챔버에 동기화되어 입사되도록 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템을 마련할 수 있다.Therefore, according to the present invention, an optical delay control system for synchronizing light paths may be provided in a high power laser device in which output light having different light paths is inputted in synchronization with a target chamber.

도 5는 본 발명인 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법에 관한 작업 흐름도이다.5 is a flowchart illustrating a method of controlling an optical delay for synchronizing optical paths in the high power laser device of the present invention.

단계 501에서, 광 딜레이 제어 시스템의 출력광 검출수단은 하나의 광원으로부터 출력되며 타켓 챔버로의 입사 시점이 상이한 n개의 레이저 출력광을 검출한다. 즉, 본 단계는 출력광 검출수단이 하나의 광원으로부터 분할되어 타켓 챔버로 입사되는 n개의 레이저 출력광을 검출하여, 출력광의 입사 시점을 비교할 수 있는 환경을 마련하는 과정이다.In step 501, the output light detecting means of the optical delay control system detects n laser output light which are output from one light source and are different in terms of incident time into the target chamber. That is, in this step, the output light detecting means detects n laser output light which is split from one light source and enters the target chamber, thereby preparing an environment for comparing the incident time points of the output light.

단계 502에서, 광 딜레이 제어 시스템의 광경로차 연산수단은 검출된 n개의 레이저 출력광을 비교하여, n개의 레이저 출력광 간 광경로차를 연산한다. 즉, 본 단계는 광경로차 연산수단이 입사 시점이 상이하여 검출되는 n개의 레이저 출력광 각각이, 타켓 챔버에 입사한 입사 시점을 식별하고, 식별된 입사 시점들로부터 시차 정보를 생성하며, 생성된 시차 정보를 이용하여 광경로차를 연산하는 과정이다.In step 502, the optical path difference calculating means of the optical delay control system compares the detected n laser output lights and calculates the optical path difference between the n laser output lights. That is, in this step, each of the n laser output light detected by the optical path difference calculating means is different from the incident time point, the incident time point is entered into the target chamber, and the parallax information is generated from the identified incident time points, and generated. It is a process of calculating the optical path difference using the time difference information.

예를 들어, 단계 502에서 광경로차 연산수단은 검출된 n개의 레이저 출력광을 오실로스코프에 입력하고, 오실로스코프를 통해 표시되는 입력된 n개의 레이저 출력광에 대한 파형을 분석하여 n개의 레이저 출력광 간의 시차 정보를 생성하며, 생성된 시차 정보를 이용하여 n개의 레이저 출력광 간 광경로차를 연산한다.For example, in step 502, the optical path difference calculating means inputs the detected n laser output lights to the oscilloscope, analyzes waveforms of the n input laser output lights displayed through the oscilloscope, The parallax information is generated, and the optical path difference between the n laser output lights is calculated using the generated parallax information.

단계 503에서, 광 딜레이 제어 시스템의 광경로 조정수단은 연산된 광경로차를 고려하여, n개의 레이저 출력광 중 적어도 하나의 레이저 출력광에 대한 광경로를 조정한다. 즉, 본 단계는 광경로 조정수단이 입사 시점이 상이하여 검출되는 n개의 레이저 출력광 중에서, (1) 타켓 챔버에 입사한 입사 시점이 가장 먼저인 레이저 출력광의 광경로가, 연산된 광경로차 만큼 증가되도록 조정하거나 (2) 타켓 챔버에 입사한 입사 시점이 가장 나중인 레이저 출력광의 광경로가, 연산된 광경로차 만큼 감소되도록 하는 과정이다.In step 503, the optical path adjusting means of the optical delay control system adjusts the optical path for at least one laser output light of the n laser output lights in consideration of the calculated optical path difference. That is, in this step, among the n laser output lights detected by the optical path adjusting means having different incidence times, (1) the optical path difference of which the optical paths of the laser output light having the first incident time incident on the target chamber are calculated; (2) the optical path of the laser output light having the latest incident time incident to the target chamber is reduced by the calculated optical path difference.

또한, 단계 503은 광경로 조정수단이 선정된 알고리즘에 기초하여 연산된 광경로차로부터 조정 신호를 생성하고, 생성된 조정 신호를 모터에 입력하여 n개의 레이저 출력광 중 적어도 하나의 레이저 출력광에 대한 광경로를 조정하는 과정을 포함할 수 있다.Further, step 503 generates an adjustment signal from the optical path difference calculated based on the algorithm for which the optical path adjusting means is selected, and inputs the generated adjustment signal to the motor to at least one laser output light of the n laser output lights. It may include adjusting the light path for the.

또한, 단계 503은 광경로 조정수단이 검출된 n개의 레이저 출력광의 입사 시점이 허용 범위 이내에서 일치하도록 동기화하는 과정을 포함할 수 있다.In addition, step 503 may include a process of synchronizing the light path adjusting means so that the incident time points of the detected n laser output lights coincide within an allowable range.

따라서, 본 발명에 의하면, 고출력 레이저 장치에서 광경로가 서로 다른 출력광이 타겟 챔버에 동기화되어 입사되도록 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법을 마련할 수 있다.Therefore, according to the present invention, an optical delay control method for synchronizing optical paths may be provided in a high-power laser device in which output light having different optical paths is inputted in synchronization with a target chamber.

본 발명에 의해서는, 고출력 레이저 장치에서 광경로가 서로 다른 출력광이 타겟 챔버에 동기화되어 입사되도록 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화하도록 할 수 있다.According to the present invention, it is possible to synchronize the optical paths in the high-power laser device in which the output light of the different optical paths in the high-power laser device to be incident in synchronization with the target chamber.

또한, 본 발명에 의해서는, 고출력 레이저 장치에서 고출력 레이저가 획득되도록 타겟 챔버에 동기화되어 입사되도록 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화하도록 할 수 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to synchronize the optical path in the high-power laser device to be incident in synchronization with the target chamber so that a high-power laser is obtained in the high-power laser device.

또한, 본 발명의 실시예들은 다양한 컴퓨터로 구현되는 동작을 수행하기 위한 프로그램 명령을 포함하는 컴퓨터 판독 가능 매체를 포함한다. 상기 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 매체는 프로그램 명령은 본 발명을 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다.In addition, embodiments of the present invention include computer-readable media containing program instructions for performing various computer-implemented operations. The computer readable medium may include program instructions, data files, data structures, etc. alone or in combination. The medium or program instructions may be those specially designed and constructed for the purposes of the present invention, or they may be of the kind well-known and available to those having skill in the computer software arts. Examples of computer-readable recording media include magnetic media such as hard disks, floppy disks, and magnetic tape, optical media such as CD-ROMs, DVDs, and magnetic disks, such as floppy disks. Magneto-optical media, and hardware devices specifically configured to store and execute program instructions, such as ROM, RAM, flash memory, and the like. Examples of program instructions include not only machine code generated by a compiler, but also high-level language code that can be executed by a computer using an interpreter or the like.

지금까지 본 발명에 따른 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.While specific embodiments of the present invention have been described so far, various modifications are possible without departing from the scope of the present invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be defined not only by the claims below, but also by those equivalent to the claims.

도 1은 본 발명인 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템의 구성도이다.1 is a block diagram of an optical delay control system for synchronizing optical paths in a high power laser device of the present invention.

도 2는 본 발명인 광 딜레이 제어 시스템이 포함된 고출력 레이저 장치에 관한 것이다.2 is a high power laser apparatus including the optical delay control system of the present invention.

도 3은 본 발명인 광 딜레이 제어 시스템의 구성도이다.3 is a block diagram of the optical delay control system of the present invention.

도 4는 오실로스코프에 의해 인식된 제1 레이저 출력광 및 제2 레이저 출력광에 대한 신호를 도시한 도면이다.4 is a diagram illustrating signals for the first laser output light and the second laser output light recognized by the oscilloscope.

도 5는 본 발명인 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법에 관한 작업 흐름도이다.5 is a flowchart illustrating a method of controlling an optical delay for synchronizing optical paths in the high power laser device of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100 : 광 딜레이 제어 시스템100: optical delay control system

101 : 출력광 검출수단101: output light detection means

102 : 광경로차 연산수단102: optical path difference calculation means

103 : 광경로 조정수단103: light path adjusting means

Claims (13)

하나의 광원으로부터 출력되며 타켓 챔버로의 입사 시점이 상이한 n개의 레이저 출력광을, 검출하는 단계;Detecting n laser output lights that are output from one light source and are different in terms of incident time into the target chamber; 상기 검출된 n개의 레이저 출력광을 비교하여, 상기 n개의 레이저 출력광 간 광경로차를 연산하는 단계; 및Comparing the detected n laser output lights and calculating an optical path difference between the n laser output lights; And 상기 연산된 광경로차를 고려하여, 상기 n개의 레이저 출력광 중 적어도 하나의 레이저 출력광에 대한 광경로를 조정하는 단계Adjusting an optical path to at least one laser output light among the n laser output lights in consideration of the calculated optical path difference; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법.Optical delay control method for optical path synchronization in a high power laser device comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 광경로차를 연산하는 상기 단계는,The step of calculating the optical path difference, 상기 n개의 레이저 출력광 각각이, 상기 타켓 챔버에 입사한 입사 시점을 식별하는 단계;Identifying each incident point of the n laser output light incident on the target chamber; 상기 식별된 입사 시점들로부터 시차 정보를 생성하는 단계; 및Generating parallax information from the identified incident time points; And 상기 생성된 시차 정보를 이용하여 상기 광경로차를 연산하는 단계Calculating the optical path difference using the generated parallax information 를 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법.Optical delay control method for optical path synchronization in a high power laser device comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 광경로차를 연산하는 상기 단계는,The step of calculating the optical path difference, 상기 검출된 n개의 레이저 출력광을 오실로스코프에 입력하는 단계;Inputting the detected n laser output lights into an oscilloscope; 상기 오실로스코프를 통해 표시되는 상기 입력된 n개의 레이저 출력광에 대한 파형을 분석하여 상기 n개의 레이저 출력광 간의 시차 정보를 생성하는 단계; 및Analyzing the waveforms of the input n laser output lights displayed through the oscilloscope to generate parallax information between the n laser output lights; And 상기 생성된 시차 정보를 이용하여 상기 n개의 레이저 출력광 간 광경로차를 연산하는 단계Calculating an optical path difference between the n laser output lights using the generated parallax information 를 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법.Optical delay control method for optical path synchronization in a high power laser device comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 광경로를 조정하는 상기 단계는,The step of adjusting the light path, 상기 n개의 레이저 출력광 중에서 상기 타켓 챔버에 입사한 입사 시점이 가장 먼저인 레이저 출력광의 광경로가, 상기 연산된 광경로차 만큼 증가되도록 조정하는 단계; 또는Adjusting an optical path of the laser output light having the first incident time incident to the target chamber among the n laser output lights to increase by the calculated optical path difference; or 상기 n개의 레이저 출력광 중에서, 상기 타켓 챔버에 입사한 입사 시점이 가장 나중인 레이저 출력광의 광경로가, 상기 연산된 광경로차 만큼 감소되도록 하는 단계The optical path of the laser output light having the lowest incident time incident to the target chamber among the n laser output lights reduced by the calculated optical path difference; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법.Optical delay control method for optical path synchronization in a high power laser device comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 광경로를 조정하는 상기 단계는,The step of adjusting the light path, 선정된 알고리즘에 기초하여 상기 연산된 광경로차로부터 조정 신호를 생성하는 단계; 및Generating an adjustment signal from the calculated optical path difference based on a predetermined algorithm; And 상기 생성된 조정 신호가 입력되는 모터의 구동에 의해 상기 레이저 출력광에 대한 광경로를 조정하는 단계Adjusting an optical path to the laser output light by driving a motor to which the generated adjustment signal is input; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법.Optical delay control method for optical path synchronization in a high power laser device comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 광경로를 조정하는 상기 단계는,The step of adjusting the light path, 상기 검출된 n개의 레이저 출력광의 입사 시점이 허용 범위 이내에서 일치하도록 동기화하는 단계Synchronizing the incident times of the detected n laser output lights to coincide within an allowable range 를 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 방법.Optical delay control method for optical path synchronization in a high power laser device comprising a. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 방법을 수행하는 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능 기록매체.A computer-readable recording medium having recorded thereon a program for performing the method of any one of claims 1 to 6. 하나의 광원으로부터 출력되며 타켓 챔버로의 입사 시점이 상이한 n개의 레이저 출력광을, 검출하는 출력광 검출수단;Output light detecting means for detecting n laser output light output from one light source and different from the incident time point into the target chamber; 상기 검출된 n개의 레이저 출력광을 비교하여, 상기 n개의 레이저 출력광 간 광경로차를 연산하는 광경로차 연산수단; 및Optical path difference calculating means for comparing the detected n laser output lights and calculating an optical path difference between the n laser output lights; And 상기 연산된 광경로차를 고려하여, 상기 n개의 레이저 출력광 중 적어도 하나의 레이저 출력광에 대한 광경로를 조정하는 광경로 조정수단Optical path adjusting means for adjusting an optical path to at least one laser output light among the n laser output light in consideration of the calculated optical path difference 을 포함하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템.Optical delay control system for optical path synchronization in a high power laser device comprising a. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 광경로차 연산수단은,The optical path difference calculating means, 상기 n개의 레이저 출력광 각각이, 상기 타켓 챔버에 입사한 입사 시점을 식별하고, 상기 식별된 입사 시점들로부터 시차 정보를 생성하며, 상기 생성된 시차 정보를 이용하여 상기 광경로차를 연산하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템.Each of the n laser output lights identifies an incident point of time incident on the target chamber, generates parallax information from the identified incident points, and calculates the optical path difference using the generated parallax information. An optical delay control system for optical path synchronization in high power laser devices. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 광경로차 연산수단은,The optical path difference calculating means, 상기 검출된 n개의 레이저 출력광을 오실로스코프에 입력하고, 상기 오실로 스코프를 통해 표시되는 상기 입력된 n개의 레이저 출력광에 대한 파형을 분석하여 상기 n개의 레이저 출력광 간의 시차 정보를 생성하며, 상기 생성된 시차 정보를 이용하여 상기 n개의 레이저 출력광 간 광경로차를 연산하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템.Inputting the detected n laser output lights to an oscilloscope, analyzing waveforms of the input n laser output lights displayed through the oscilloscope to generate parallax information between the n laser output lights, and generating The optical delay control system for optical path synchronization in a high-power laser device, characterized in that for calculating the optical path difference between the n laser output light using the parallax information. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 광경로 조정수단은,The light path adjusting means, 상기 n개의 레이저 출력광 중에서, (1) 상기 타켓 챔버에 입사한 입사 시점이 가장 먼저인 레이저 출력광의 광경로가, 상기 연산된 광경로차 만큼 증가되도록 조정하거나, 또는 (2) 상기 타켓 챔버에 입사한 입사 시점이 가장 나중인 레이저 출력광의 광경로가, 상기 연산된 광경로차 만큼 감소되도록 하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템.Among the n laser output light beams, (1) the optical path of the laser output light having the first incident time incident to the target chamber is adjusted to be increased by the calculated optical path difference, or (2) to the target chamber. The optical delay control system for synchronizing optical paths in a high-power laser device, characterized in that the optical path of the laser output light, the incident time of the incident incident is the last to be reduced by the calculated optical path difference. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 광경로 조정수단은,The light path adjusting means, 선정된 알고리즘에 기초하여 상기 연산된 광경로차로부터 조정 신호를 생성하고, 상기 생성된 조정 신호가 입력되는 모터의 구동에 의해 상기 레이저 출력광에 대한 광경로를 조정하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템.A high power laser device, characterized in that for generating an adjustment signal from the calculated optical path difference based on the selected algorithm, and adjusting the optical path to the laser output light by driving the motor to which the generated adjustment signal is input. Delay control system for optical path synchronization in the system. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 광경로 조정수단은,The light path adjusting means, 상기 검출된 n개의 레이저 출력광의 입사 시점이 허용 범위 이내에서 일치하도록 동기화하는 것을 특징으로 하는 고출력 레이저 장치에서 광경로 동기화를 위한 광 딜레이 제어 시스템.The optical delay control system for synchronizing optical paths in the high-power laser device, characterized in that the synchronization of the incident time of the detected n laser output light is synchronized within the allowable range.
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