KR100893768B1 - Optical delay line apparatus by polygon mirror - Google Patents

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Abstract

회전다면경에 의한 1차원 반사광 분포를 굴절광학 부재를 이용해서 광경로 지연 경로를 생성한 후, 이를 다시 수직 광반사 부재를 통해 입사광원 방향으로 피드백해 줄 수 있는 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치에 대해 개시한다. 특정 방향에서 회전다면경으로 입력된 광이 회전다면경의 회전에 의해서 1차원적인 반사각 분포가 생성되는데, 이러한 분포광을 굴절광학 부재를 통해 광경로 지연을 생성시킨 후, 수렴 또는 발산된 광을 각 위치별로 수직입사 및 수직반사 기능을 갖는 수직 광반사 부재로 반사시켜 진행해 왔던 광경로가 유지된 상태에서 다시 역순으로 진행하여 처음 입사광 위치와 방향으로 되돌아가게 되므로, 초기 입사광이 입사한 위치와 방향에 정확히 일치된 출사광을 얻을 수 있게 된다. 따라서 본 발명에 의한 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치는 고속으로 회전하는 회전다면경에서 발생되는 반사각 분포를 이용하여 매우 빠른 속도의 광경로 지연장치의 구성이 가능하여 광학간섭계 또는 OCT 시스템 구성요소인 광경로 지연장치 등에 응용될 수 있다.The optical path delay path is generated by using the refractive optical member to generate the one-dimensional reflected light distribution by the rotating polyhedron, and then the optical path delay using the rotating polyhedron can be fed back to the incident light source through the vertical light reflecting member. Discuss the device. One-dimensional reflection angle distribution is generated by the rotation of the rotating polygon mirror in a specific direction, and after generating the optical path delay through the refractive optical member, the converged or divergent light is angled. Since the light path is reflected by a vertical light reflecting member having vertical incidence and vertical reflecting function for each position, the light path is maintained in the reverse order and returns to the initial incident light position and direction. You will get exactly the same outgoing light. Therefore, the optical path delay device using the rotating multi-facet mirror according to the present invention is capable of constructing an optical path retarder having a very high speed by using the reflection angle distribution generated from the rotating multi-facet rotating at high speed, thereby making it an optical interferometer or an OCT system component. It can be applied to the phosphorescent path delay device.

회전다면경, 굴절광학 부재, 수직 광반사 부재, 광경로 지연, Rotating polyhedron, refractive optical member, vertical light reflecting member, optical path delay,

Description

회전다면경을 이용한 광경로 지연장치{OPTICAL DELAY LINE APPARATUS BY POLYGON MIRROR}Optical path delay device using rotating polyscopy {OPTICAL DELAY LINE APPARATUS BY POLYGON MIRROR}

도 1은 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치를 나타낸 도면,1 is a view showing an optical path delay apparatus using a rotating multi-face mirror according to a first embodiment of the present invention,

도 2는 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치를 나타낸 도면,2 is a view showing an optical path delay apparatus using a rotating multi-face mirror according to a second embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치를 나타낸 도면,3 is a view showing an optical path delay apparatus using a rotating multi-face mirror according to a third embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 바람직한 제4실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치를 나타낸 도면이다.4 is a view showing an optical path delay apparatus using a rotating multi-face mirror according to a fourth embodiment of the present invention.

＜도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명＞<Description of the code | symbol about the principal part of drawing>

10 : 회전다면경 20 : 굴절광학 부재10: rotating polygon mirror 20: refractive optical member

22 : 수렴렌즈 24 : 발산렌즈22: converging lens 24: diverging lens

26 : 프리즘 30 : 수직 광반사 부재26: prism 30: vertical light reflection member

32 : 오목형 수직반사 미러 34 : 볼록형 수직반사 미러32: concave vertical reflection mirror 34: convex vertical reflection mirror

36 : 자유곡면형 수직반사 미러 40 : 입,출사광36: free curved vertical reflection mirror 40: entrance, exit light

42 : 회전다면경에서 반사된 광 44 : 굴절광학 부재에 의한 광 수렴부분42: light reflected from the rotating polygon mirror 44: light converging portion by the refractive optical member

46 : 수직 광반사 부재에서 수직입사 및 수직반사된 광46: vertically incident and vertically reflected light in the vertical light reflecting member

본 발명은 입사된 광이 광경로 지연장치에 의해 다시 입사광 위치로 되돌아 오는 상황에서, 시간에 따라 광경로가 변화(지연)되는 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 회전다면경에 의한 1차원 반사광 분포를 굴절광학 부재를 이용해서 광경로 지연 경로를 생성한 후, 이를 다시 수직 광반사 부재를 통해 입사광 방향으로 피드백해 줄 수 있는 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치에 관한 것이다.The present invention relates to an optical path delay device using a rotating polyhedral mirror in which the optical path is changed (delayed) with time in the situation where the incident light is returned to the incident light position again by the optical path delay device. Optical path delay device using a rotating multi-faceted mirror that can generate a one-dimensional reflection light distribution by the rotating multi-facet mirror using a refractive optical member and then feed it back to the incident light direction through a vertical light reflecting member It is about.

일반적으로 광경로 지연장치로는 선형이동거울 또는 프리즘 등의 조합을 사용하는 방법이 있으며, 이 경우 광이 입사하여 선형이동거울에 의해 반사되어 원래 방향으로 진행하게 된다. 이러한 방법은 간단하고 광경로 지연 범위가 크지만 구동속도가 늦는 단점이 있다.In general, there is a method using a combination of a linear moving mirror or a prism as the optical path delay device, in which case the light is incident and reflected by the linear moving mirror to proceed in the original direction. This method is simple and has a large optical path delay range, but has a disadvantage of slow driving speed.

또한 회절격자와 진동거울을 사용하여 구성하는 방법이 있으며, 이 경우 서로 다른 파장의 광이 공통적으로 입사하여 회절격자에 의해 파장이 분리되며 진동거울에 의해 반사되어 원래 방향으로 진행하게 된다. 이러한 방법은 군지연과 위상지연이 일치하지 않으며, 광학계의 정렬이 난해한 단점이 있다.In addition, there is a method configured using a diffraction grating and a vibrating mirror, in which case light of different wavelengths is commonly incident, the wavelength is separated by the diffraction grating and reflected by the vibrating mirror to proceed in the original direction. This method has a disadvantage that the group delay and phase delay do not coincide, and the alignment of the optical system is difficult.

그 외에 광섬유를 응용한 방법들로 광섬유를 스트레치하거나 광섬유격자를 이용하는 방법들은 구동속도가 늦거나 광파워 손실이 큰 단점이 있다.In addition, the methods using the optical fiber to stretch the optical fiber or the method using the optical fiber grating has a disadvantage that the driving speed is slow or the optical power loss is large.

본 발명은 상기와 같은 종래기술에 따른 문제점을 해소하기 위하여 안출한 것으로, 본 발명의 기술적 과제는 구조가 간단하고 스캔 범위가 넓으며 빠른 실시간 스캐닝이 가능하도록 한 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치를 제공하는 데 있다.The present invention has been made to solve the problems according to the prior art as described above, the technical problem of the present invention is a light path delay device using a rotating multi-faceted mirror to enable a simple structure, wide scan range and fast real-time scanning To provide.

상기와 같은 기술적 과제를 해소하기 위해서, 본 발명은, In order to solve the above technical problem, the present invention,

입사되는 광이 반사되어 각도방향으로 분포되도록 회전 가능하게 배치되는 회전다면경; 상기 회전다면경의 회전에 의한 반사광의 각도방향 변화에 따라 반사된 광이 주기적으로 광경로가 발생되도록 광경로 상에 배치되는 굴절광학 부재; 및 상기 굴절광학 부재를 투과하여 진행하는 광이 표면에서 수직입사 및 수직반사되어 다시 역방향 및 역순으로 진행하여 처음 입사광 위치와 방향으로 되돌아가도록 배치되는 수직 광반사 부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치를 제공한다.A rotary polygon mirror rotatably disposed so that incident light is reflected and distributed in an angular direction; A refractive optical member disposed on the optical path such that the reflected light is periodically generated in accordance with the change in the angular direction of the reflected light due to the rotation of the rotating polymirror; And a vertical light reflecting member disposed so that the light propagating through the refractive optical member is vertically incident and vertically reflected on the surface, and then proceeds in the reverse and reverse order to return to the initial incident light position and direction. Provided is an optical path delay device using a multi-facet mirror.

또한, 굴절광학 부재는 수렴렌즈, 발산렌즈 및 프리즘 중에서 선택되는 어느 하나의 렌즈로 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the refractive optical member is characterized by consisting of any one lens selected from a converging lens, a diverging lens and a prism.

또한, 상기 수렴렌즈와 발산렌즈는 구면 또는 비구면으로 형성된 것을 특징으로 한다.In addition, the converging lens and the diverging lens is characterized in that formed in a spherical or aspherical surface.

또한, 상기 수직 광반사 부재는 그 표면이 상기 굴절광학 부재에 대해 역방향 경로가 유지되도록 입사각과 반사각이 영도 각도로 형성된 구면이나 비구면을 가지는 오목형 수직반사 미러로 이루어진 것을 특징으로 한다.The vertical light reflecting member may be a concave vertical reflecting mirror having a spherical or aspherical surface having an incident angle and a reflecting angle formed at a zero angle such that a surface thereof maintains a reverse path with respect to the refractive optical member.

또한, 상기 수직 광반사 부재는 그 표면이 상기 굴절광학 부재에 대해 역방향 경로가 유지되도록 입사각과 반사각이 영도 각도로 형성된 구면이나 비구면을 가지는 볼록형 수직반사 미러로 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the vertical light reflection member is characterized in that the surface is made of a convex vertical reflection mirror having a spherical or aspherical surface formed with a zero angle angle of incidence and reflection so that the reverse path with respect to the refractive optical member.

또한, 상기 수직 광반사 부재는 그 표면이 상기 굴절광학 부재에 대해 역방향 경로가 유지되도록 입사각과 반사각이 영도 각도로 형성된 자유곡면을 가지는 자유곡면형 수직반사 미러로 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the vertical light reflecting member is characterized in that the surface is formed of a free-curved vertical reflecting mirror having a free curved surface formed at an angle of incidence and a reflection angle of zero so that the reverse path with respect to the refractive optical member.

이하, 본 발명의 바람직한 각 실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치에 대하여 첨부된 도면을 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings with respect to the optical path delay device using a rotating multi-faceted mirror according to an embodiment of the present invention in detail.

도 1에는 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로지연장치가 도시되어 있다.1 shows an optical path delay apparatus using a rotating multi-face mirror according to a first embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치는 회전다면경(10), 굴절광학 부재(20) 및 수직 광반사 부재(30)로 이루어진다.As shown in FIG. 1, the optical path retardation apparatus using the rotating polygon mirror according to the first preferred embodiment of the present invention includes a rotating polygon mirror 10, a refractive optical member 20, and a vertical light reflecting member 30. Is done.

회전다면경(10)은 입사되는 광이 반사되어 다양한 각도방향으로 분포되도록 하기 위한 것으로, 그 외주에 다수의 반사면이 구비되어 회전 가능하게 배치된다.Rotating mirror 10 is for reflecting the incident light is distributed in various angular directions, a plurality of reflecting surfaces are provided on the outer periphery is rotatably disposed.

굴절광학 부재(20)는 회전다면경(10)의 회전에 의한 반사광의 방향 변화에 따라 반사된 광이 주기적으로 광경로가 발생되도록 하기 위한 것으로, 회전다면경(10)에 입사되어 반사되는 반사광의 광경로상에 배치된다. 본 실시 예에서 굴절광학 부재(20)는 비구면이나 구면으로 형성되는 수렴렌즈(22)로 이루어질 수 있으며, 도면상에서 수렴렌즈(22)는 비구면으로 형성된 것이 도시되어 있다.The refractive optical member 20 is for causing the light path to be periodically generated by the change of the direction of the reflected light by the rotation of the rotating polygon mirror 10, the reflected light incident on the rotating mirror mirror 10 is reflected It is disposed on the optical path of. In the present exemplary embodiment, the refractive optical member 20 may be formed of a converging lens 22 formed as an aspherical surface or a spherical surface. In the drawing, the converging lens 22 is formed as an aspherical surface.

수직 광반사 부재(30)는 굴절광학 부재(20)를 투과하여 진행하는 광이 다시 역방향 및 역순으로 진행하여 처음 입사광 위치와 방향으로 되돌아가도록 하기 위한 것으로, 굴절광학 부재(20)를 투과하여 진행하는 광이 표면에서 수직입사 및 수직반사가 되도록 광경로상에 배치된다. 본 실시 예에서의 수직 광반사 부재(30)는 그 표면이 굴절광학 부재(20)에 대해 역방향 경로가 유지되도록 입사각과 반사각이 영도 각도로 형성되는 구면을 가지는 오목형 수직반사 미러(32)로 이루어진다.The vertical light reflecting member 30 is for allowing the light traveling through the refractive optical member 20 to travel in the reverse and reverse order again and return to the first incident light position and direction. The light is disposed on the optical path such that the light is vertically incident and vertically reflected at the surface. The vertical light reflection member 30 in the present embodiment is a concave vertical reflection mirror 32 having a spherical surface whose incidence angle and reflection angle are formed at zero angle so that the surface thereof maintains a reverse path with respect to the refractive optical member 20. Is done.

전술한 바와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the optical path delay device using a rotating multi-face mirror according to the first embodiment of the present invention configured as described above are as follows.

먼저, 회전다면경(10)이 회전되는 상태에서, 회전다면경(10)의 반사면에 입사광(40)이 입사되면, 입사광(40)은 회전다면경(10)의 회전에 따라 반사각이 변하게 되어 회전다면경(10)에 입사하는 위치를 중심으로 발산하는 형태를 갖게 된다.First, when the incident light 40 is incident on the reflecting surface of the rotating mirror mirror 10 while the rotating mirror mirror 10 is rotated, the incident light 40 causes the reflection angle to change according to the rotation of the rotating mirror mirror 10. Therefore, it has a form of diverging around the position incident on the rotating multi-face mirror 10.

이렇게 회전다면경(10)에 입사하는 위치를 중심으로 발산하는 반사광(42)을 수차가 제거된 비구면 수렴렌즈(22)를 통해 공간의 한점(44)으로 모은 뒤, 이 점(44)을 중심으로 한 원의 원주 상 곡선을 따라 구면을 가지는 오목형 수직반사 미러(32)를 배치하게 되면, 오목형 수직반사 미러(32)의 표면에서 수직으로 반사된 광(46)이 다시 공간의 한 점(44)으로 모이게 되고, 이들이 다시 수렴렌즈(22)를 통해 회전다면경(10)의 표면에서 입사하게 된다. 이러한 광경로들은 기하학적으로 광이 진행해왔던 방향의 역순 방향이므로, 초기 입사광(40)이 입사한 위치와 방향으로 다시 되돌아가게 된다.In this way, the reflected light 42 diverging from the position incident on the rotating mirror mirror 10 is collected as a point 44 of space through the aspherical converging lens 22 from which the aberration is removed, and then the point 44 is centered. When the concave vertical reflection mirror 32 having a spherical surface is arranged along the circumferential curve of a circle, the light 46 reflected vertically from the surface of the concave vertical reflection mirror 32 is again a point in space. Are collected at (44), and they are incident on the surface of the mirror mirror (10) through the converging lens (22). Since the optical paths are geometrically in the reverse direction of the direction in which the light has traveled, the optical paths are returned to the position and direction in which the initial incident light 40 is incident.

즉, 회전다면경(10)의 반사면에 입사되고 반사되어 광경로를 생성하도록 수렴렌즈(22)를 투과하여 진행하는 광은 오목형 수직반사 미러(32)의 표면에서 수직입사 및 수직반사되어 진행해 왔던 광경로가 유지되도록 다시 역방향 및 역순으로 진행하여 처음 입사광 위치와 방향으로 되돌아가게 되므로, 초기 입사광(40)이 입사한 위치와 방향에 정확히 일치된 출사광(40)을 얻을 수 있게 된다.In other words, the light incident on the reflecting surface of the rotating mirror mirror 10 and propagating through the converging lens 22 to generate an optical path is vertically incident and vertically reflected on the surface of the concave vertical reflection mirror 32. Since the light path that has been advanced is maintained in the reverse and reverse order again to return to the first incident light position and direction, it is possible to obtain the outgoing light 40 that exactly matches the position and direction in which the initial incident light 40 is incident.

한편, 상기한 수렴렌즈(22)는 비구면 대신에 구면으로 형성된 수렴렌즈를 사용할 수 있으며, 이 경우 발생하는 수렴위치에서의 구면수차 등은 수직 광반사 부재(30)의 곡면조절, 즉 비구면을 가지는 오목형 수직반사 미러의 도입을 통해 해결할 수 있다.Meanwhile, the converging lens 22 may use a converging lens formed as a spherical surface instead of an aspherical surface. In this case, spherical aberration and the like at the converging position may have a curved surface control, that is, an aspherical surface of the vertical light reflecting member 30. This can be solved by introducing a concave vertical reflection mirror.

도 2에는 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치가 도시되어 있다.2 shows an optical path retarder using a rotating multi-face mirror according to a second preferred embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치는 회전다면경(10), 굴절광학 부재(20) 및 수직 광반사 부재(30)로 이루어진다.As shown in FIG. 2, the optical path retardation apparatus using the rotating polygon mirror according to the second preferred embodiment of the present invention includes a rotating polygon mirror 10, a refractive optical member 20, and a vertical light reflecting member 30. Is done.

다만, 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치는 제1실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치의 구조에 있어서 다음과 같은 차이점을 가진다.However, the optical path delay apparatus using the rotating multi-face mirror according to the second preferred embodiment of the present invention has the following differences in the structure of the optical path retarder using the rotary multi-face mirror according to the first embodiment.

즉, 본 실시 예에서 수직 광반사 부재(30)는 그 표면이 굴절광학 부재(20)에 대해 역방향 경로가 유지되도록 입사각과 반사각이 영도 각도로 형성되는 구면을 가지는 볼록형 수직반사 미러(34)로 이루어진다. 이러한 볼록형 수직반사 미러(34) 의 반사면은 굴절광학 부재(20)에 대해 역방향 경로가 유지되도록 입사각과 반사각이 영도 각도로 형성되는 비구면으로 형성될 수도 있음은 물론이다.That is, in the present embodiment, the vertical light reflection member 30 is a convex vertical reflection mirror 34 having a spherical surface whose incidence angle and reflection angle are formed at zero angle so that the surface thereof maintains a reverse path with respect to the refractive optical member 20. Is done. The reflective surface of the convex vertical reflection mirror 34 may be formed as an aspherical surface in which the incidence angle and the reflection angle are formed at zero angle so that the reverse path is maintained with respect to the refractive optical member 20.

상기와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치의 구조 이외의 구성은 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치와 동일하므로 생략하기로 한다.The configuration other than the structure of the optical path delay apparatus using the rotating multi-face mirror according to the second preferred embodiment of the present invention configured as described above is the same as the optical path delay apparatus using the rotating multi-face mirror according to the first preferred embodiment of the present invention. It will be omitted.

이와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치는 수렴렌즈(22)와 볼록형 수직반사 미러(34)의 거리가 짧아져서 보다 소형화된 기기의 제작이 가능한 장점을 가진다.The optical path delay device using the rotating multi-faceted mirror according to the second preferred embodiment of the present invention configured as described above has the advantage that the distance between the converging lens 22 and the convex vertical reflection mirror 34 is shortened, so that a smaller sized device can be manufactured. Has

도 3에는 본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치가 도시되어 있다.3 shows an optical path retarder using a rotating multi-face mirror according to a third exemplary embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치는 회전다면경(10), 굴절광학 부재(20) 및 수직 광반사 부재(30)로 이루어진다.As shown in FIG. 3, the optical path retardation apparatus using the rotating polygon mirror according to the third preferred embodiment of the present invention includes a rotating polygon mirror 10, a refractive optical member 20, and a vertical light reflecting member 30. Is done.

다만, 본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치는 제1실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치의 구조에 있어서 다음과 같은 차이점을 가진다.However, the optical path delay device using the rotating multi-face mirror according to the third preferred embodiment of the present invention has the following differences in the structure of the optical path delay device using the rotary multi-face mirror according to the first embodiment.

즉, 본 실시 예에서 굴절광학 부재(20)는 구면 또는 비구면으로 형성되는 발산렌즈(24)로 이루어진다. 도면상에서 발산렌즈(24)는 비구면으로 형성된 것이 도시되어 있다.That is, in the present embodiment, the refractive optical member 20 is composed of a diverging lens 24 formed in a spherical or aspherical surface. In the figure, it is shown that the diverging lens 24 is formed as an aspherical surface.

상기와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 회전다면경을 이 용한 광경로 지연장치의 구조 이외의 구성은 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치와 동일하므로 생략하기로 한다.The structure other than the structure of the optical path delay apparatus using the rotating polyhedron according to the third preferred embodiment of the present invention configured as described above is an optical path delay apparatus using the rotating polyhedron according to the first preferred embodiment of the present invention. Since it is the same, it will be omitted.

이와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 제3실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치는 발산렌즈(24)와 오목형 수직반사 미러(32)의 거리가 짧아져서 보다 소형화된 기기의 제작이 가능한 장점을 가진다.The optical path delay device using the rotating multi-face mirror according to the third preferred embodiment of the present invention configured as described above can shorten the distance between the diverging lens 24 and the concave vertical reflection mirror 32, thereby making it possible to manufacture a more compact device. Has an advantage.

도 4에는 본 발명의 바람직한 제4실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치가 도시되어 있다.4 shows an optical path delay apparatus using a rotating multi-face mirror according to a fourth preferred embodiment of the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 제4실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치는 회전다면경(10), 굴절광학 부재(20) 및 수직 광반사 부재(30)로 이루어진다.As shown in FIG. 4, the optical path retardation apparatus using the rotary polygon mirror according to the fourth preferred embodiment of the present invention includes a rotary polygon mirror 10, a refractive optical member 20, and a vertical light reflection member 30. Is done.

다만, 본 발명의 바람직한 제4실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치는 제1실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치의 구조에 있어서 다음과 같은 차이점을 가진다.However, the optical path delay device using the rotating multi-facet mirror according to the fourth embodiment of the present invention has the following differences in the structure of the optical path delay device using the multi-facet mirror according to the first embodiment.

즉, 본 실시 예에서 굴절광학 부재(20)는 프리즘(26)으로 이루어진다.That is, in the present embodiment, the refractive optical member 20 is made of a prism 26.

또한, 수직 광반사 부재(30)는 그 표면이 굴절광학 부재(20)에 대해 역방향 경로가 유지되도록 입사각과 반사각이 영도 각도로 형성되는 자유곡면을 가지는 자유곡면형 수직반사 미러(36)로 이루어진다.Further, the vertical light reflecting member 30 is composed of a free curved vertical reflecting mirror 36 having a free curved surface whose incidence angle and reflecting angle are formed at zero angle so that the surface thereof maintains a reverse path with respect to the refractive optical member 20. .

상기와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 제4실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치의 구조 이외의 구성은 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치와 동일하므로 생략하기로 한다.The configuration other than the structure of the optical path delay apparatus using the rotating multi-face mirror according to the fourth preferred embodiment of the present invention configured as described above is the same as the optical path delay apparatus using the rotating multi-face mirror according to the first preferred embodiment of the present invention. It will be omitted.

이와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 제4실시 예에 따른 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치는 굴절광학 부재(20)로 수렴렌즈(22)나 발산렌즈(24) 대신에 프리즘(26)을 사용하므로 부품의 준비가 용이한 장점을 가지며, 프리즘(26)을 투과하여 진행하는 광은 자유곡면형 수직반사 미러(36)에 의해 역방향 경로가 유지되도록 반사된다.The optical path retarder using the rotating multi-faceted mirror according to the fourth embodiment of the present invention configured as described above uses the prism 26 instead of the converging lens 22 or the diverging lens 24 as the refractive optical member 20. The component has an advantage of being easy to prepare, and the light propagating through the prism 26 is reflected by the free curved vertical reflection mirror 36 to maintain the reverse path.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치는 현재 상용화된 회전다면경과 굴절광학 부재 및 수직 광반사 부재를 사용하므로 구성이 간단하고 상용화가 용이할 뿐만 아니라, 회전다면경의 회전속도 및 입사광 각도조절을 통해 광경로 지연속도와 스캔 범위를 용이하게 조절할 수 있는 효과가 있다.As described above, the optical path retarder using the rotating multi-facet mirror according to the present invention uses a commercially available rotating multi-facet mirror, a refractive optical member and a vertical light reflecting member, so that the configuration is simple and commercialized, and the rotating face By adjusting the rotational speed of the mirror and the angle of incident light, it is possible to easily adjust the optical path delay speed and the scan range.

또한, 회전다면경을 고속으로 회전시킬 경우 매우 빠른 속도의 광경로 지연장치가 가능하여 실시간 대응 간섭계 구성이 가능하고, 효율이 높은 광학계 구성으로 저손실을 갖는 광경로 지연장치가 가능한 효과도 있다.In addition, when rotating the rotating multi-face mirror at a high speed, it is possible to configure the optical path delay device of a very high speed, real-time corresponding interferometer can be configured, and the optical path delay device having a low loss with an efficient optical system configuration is possible.

이상에서는 본 발명을 각 실시 예로써 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형이 가능할 것이다.The present invention has been described in the above embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and those skilled in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Anyone can make a variety of variations.

Claims (6)

입사되는 광이 반사되어 각도방향으로 분포되도록 회전 가능하게 배치되는 회전다면경(10);A rotating multi-face mirror 10 rotatably disposed such that incident light is reflected and distributed in an angular direction; 상기 회전다면경(10)의 회전에 의한 반사광의 각도방향 변화에 따라 반사된 광이 주기적으로 광경로가 발생되도록 광경로 상에 배치되는 굴절광학부재(20); 및A refractive optical member 20 disposed on the optical path such that the reflected light periodically generates an optical path according to the change in the angular direction of the reflected light due to the rotation of the rotating mirror mirror 10; And 상기 굴적광학부재(20)를 투과하여 진행하는 광이 표면에서 수직입사 및 수직반사되어 다시 역방향 및 역순으로 진행하여 처음 입사광 위치와 방향으로 되돌아가도록 배치되는 수직 광반사 부재(30);A vertical light reflection member 30 disposed so that the light propagating through the concave optical member 20 is vertically incident and vertically reflected at the surface, and then proceeds in the reverse and reverse order to return to the initial incident light position and direction; 를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치.Optical path delay apparatus using a rotating multi-faced mirror, characterized in that made. 청구항 1에 있어서, 굴절광학부재(20)는 수렴렌즈(22), 발산렌즈(24) 및 프리즘(26) 중에서 선택되는 어느 하나의 렌즈로 이루어진 것을 특징으로 하는 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치.The optical path delay apparatus of claim 1, wherein the refractive optical member 20 is formed of any one selected from a converging lens 22, a diverging lens 24, and a prism 26. . 청구항 2에 있어서, 상기 수렴렌즈(22)와 발산렌즈(24)는 구면 또는 비구면으로 형성된 것을 특징으로 하는 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치.The optical path delay apparatus of claim 2, wherein the converging lens and the diverging lens are formed in a spherical or aspherical surface. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수직 광반사 부재 (30)는 그 표면이 상기 굴절광학부재(20)에 대해 역방향 경로가 유지되도록 입사각과 반사각이 영도 각도로 형성된 구면이나 비구면을 가지는 오목형 수직반사 미러(32)로 이루어진 것을 특징으로 하는 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치.The method of claim 1, wherein the vertical light reflecting member 30 has a spherical or aspherical surface having an incident angle and a reflection angle formed at a zero angle such that a surface thereof maintains a reverse path with respect to the refractive optical member 20. Light path retarder using a rotating multi-facet mirror, characterized in that consisting of a concave vertical reflection mirror (32). 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수직 광반사 부재(30)는 그 표면이 상기 굴절광학부재(20)에 대해 역방향 경로가 유지되도록 입사각과 반사각이 영도 각도로 형성된 구면이나 비구면을 가지는 볼록형 수직반사 미러(34)로 이루어진 것을 특징으로 하는 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치.The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the vertical light reflecting member 30 is a spherical or aspherical surface formed with the angle of incidence and the reflection angle at a zero angle so that the surface is maintained in the reverse path with respect to the refractive optical member 20 Optical path delay device using a rotating multi-facet mirror, characterized in that the branch is made of a convex vertical reflection mirror (34). 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수직 광반사 부재(30)는 그 표면이 상기 광학굴절부재(20)에 대해 역방향 경로가 유지되도록 입사각과 반사각이 영도 각도로 형성된 자유곡면을 가지는 자유곡면형 수직반사 미러(36)로 이루어진 것을 특징으로 하는 회전다면경을 이용한 광경로 지연장치.The method of claim 1, wherein the vertical light reflecting member 30 has a free curved surface whose incidence angle and reflection angle are formed at a zero angle such that a surface thereof maintains a reverse path with respect to the optical refraction member 20. Optical path delay device using a rotating multi-facet mirror, characterized in that consisting of a free-curved vertical reflection mirror (36).
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