KR100876446B1 - Cover removal apparatus of conveyance container - Google Patents

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Abstract

여러 제조자의 여러 가지 반송 용기에 대하여, 모두 덮개 부재를 개폐할 수 있어서 사용 조건(온도, 습도, 사용 조건)이 변화되어도 정상 동작할 수 있는 허용 변형 오차를 만족시켜, 어떠한 사용 조건이어도 반송 용기가 임의의 부재에 충돌하지 않고 착탈될 수 있다. 내부가 고청정도로 유지된 반송 용기(200)의 개구부(202)의 덮개(203)를 고청정도로 유지된 룸의 개구부(12)의 문(13)에 결합시켜, 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고청정도를 유지한 채로 덮개(13)를 착탈하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치로서, 덮개(13)의 위치 결정을 하는 위치 결정 핀(14a, 14b), 위치 결정 핀(14a, 14b)의 위치를 미세 조정하는 미세 조정 기구(20), 위치 결정 핀(14a, 14b)에 의해서 맞물린 덮개(13)의 위치를 유지하는 위치 유지 기구(40)를 갖추었다.The cover members can be opened and closed for various conveying containers of various manufacturers, so as to satisfy the allowable deformation error that can operate normally even when the use conditions (temperature, humidity, use conditions) are changed, It can be detached without colliding with any member. The cover 203 of the opening 202 of the conveyance container 200 whose interior is maintained at high cleanness is coupled to the door 13 of the opening 12 of the room kept at high cleanness, and the peripheral portions of both openings are brought into close contact. A cover detachment device for a transport container which attaches and detaches the lid 13 while maintaining high cleanliness, wherein the positions of the positioning pins 14a and 14b and the positioning pins 14a and 14b for positioning the lid 13 are adjusted. The position adjustment mechanism 40 which hold | maintains the position of the cover 13 engaged by the fine adjustment mechanism 20 to fine-tune and the positioning pin 14a, 14b was provided.

Description

반송 용기의 덮개 착탈 장치 {POD COVER REMOVING-INSTALLING APPARATUS}Cover detaching device for return container {POD COVER REMOVING-INSTALLING APPARATUS}

도 1은 본 발명에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제1 실시예의 개략을 나타내는 사시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows the outline of 1st Example of the cover detachment apparatus of the conveyance container by this invention.

도 2는 본 발명에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제1 실시예를 나타내는 정면도이다.It is a front view which shows the 1st Example of the cover detachment apparatus of the conveyance container by this invention.

도 3은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 미세 조정 기구를 도시한 도면(도 2의 III 부분 확대도)이다.It is a figure which shows the fine adjustment mechanism of the lid | attachment detachment apparatus of the conveyance container which concerns on 1st Example (III enlarged view of FIG. 2).

도 4는 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 센터링 기구를 도시한 도면(도 2의 IV 부분 확대도)이다.It is a figure which shows the centering mechanism of the lid | cover detaching apparatus of the conveyance container which concerns on 1st Example (IV partial enlarged view of FIG. 2).

도 5는 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 유지 기구를 도시한 도면(도 2의 V-V 단면도)이다.It is a figure (V-V sectional drawing of FIG. 2) which shows the position holding mechanism of the lid | cover detaching apparatus of the conveyance container which concerns on 1st Example.

도 6은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 편심 전달 기구를 도시한 도면으로서, (a)는 사시도, (b)는 도 2의 VI-VI 단면도이다.FIG. 6 is a view showing an eccentric transmission mechanism of the lid detaching apparatus of the transport container according to the first embodiment, (a) is a perspective view, and (b) is a sectional view taken along the line VI-VI of FIG. 2.

도 7은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 결정 고정 수단을 도시한 도면(도 2의 VII-VII 단면도)이다.FIG. 7 is a view (position VII-VII cross-sectional view of FIG. 2) showing the positioning fixing means of the lid detaching apparatus of the transport container according to the first embodiment.

도 8은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제어 수단을 나타내는 블록도이다. It is a block diagram which shows the control means of the cover detachment apparatus of the conveyance container which concerns on 1st Example.                 

도 9는 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 동작 예(덮개의 개방 동작 1)를 나타내는 플로차트이다.It is a flowchart which shows the operation example (opening | operation operation | movement 1 of a cover) of the lid | attachment detachment apparatus of the conveyance container which concerns on 1st Example.

도 10은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 동작 예(덮개의 개방 동작 2)를 나타내는 플로차트이다.It is a flowchart which shows the operation example (opening operation 2 of a cover) of the cover detachment apparatus of the conveyance container which concerns on 1st Example.

도 11은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 동작 예(덮개의 폐쇄 동작 1)를 나타내는 플로차트이다.It is a flowchart which shows the operation example (closing operation 1 of a cover) of the lid detaching apparatus of the conveyance container which concerns on 1st Example.

도 12는 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 동작 예(덮개의 개방 동작 2)를 나타내는 플로차트이다.It is a flowchart which shows the operation example (opening operation 2 of a cover) of the cover detachment apparatus of the conveyance container which concerns on 1st Example.

도 13은 본 발명에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제2 실시예의 주요부를 나타내는 정면도이다.It is a front view which shows the principal part of the 2nd Example of the lid | attachment detachment apparatus of the conveyance container by this invention.

도 14는 본 발명에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제2 실시예의 주요부를 도시한 도면으로서, (a)는 도 13의 A-A 단면도, (b)는 도 13의 B-B 단면도이다.It is a figure which shows the principal part of the 2nd Example of the lid | cover detaching apparatus of the conveyance container by this invention, (a) is sectional drawing A-A of FIG. 13, (b) is sectional drawing B-B of FIG.

도 15는 본 발명에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제2 실시예의 주요부를 도시한 도면으로서, (a)는 (b)의 화살표 E 방향으로 본 도면이고, (b)는 도 13의 C-C 단면도이다.FIG. 15 is a view showing a main part of a second embodiment of a lid detaching apparatus of a transport container according to the present invention, (a) is a view seen in the direction of an arrow E in (b), and (b) is a cross-sectional view taken along CC of FIG. to be.

도 16은 본 발명에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제2 실시예의 주요부를 도시한 도면으로서, 도 13의 D-D 단면도이다.It is a figure which shows the principal part of the 2nd Example of the lid | attachment detachment apparatus of the conveyance container by this invention, and is sectional drawing in D-D of FIG.

도 17은 제3 실시예에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 유지 기구를 도시한 도면이다.It is a figure which shows the position holding mechanism of the lid | cover detaching apparatus of the conveyance container which concerns on 3rd Example.

도 18은 제4 실시예에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 결정 부재를 도시한 도면이다.It is a figure which shows the positioning member of the lid | cover detaching apparatus of the conveyance container which concerns on 4th Example.

도 19는 제5 실시예에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 테이블 위치 결정 부재를 도시한 도면이다.It is a figure which shows the table positioning member of the lid | cover detaching apparatus of the conveyance container which concerns on 5th Example.

도 20은 제6 실시예에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 결정 부재를 도시한 도면이다.It is a figure which shows the positioning member of the lid | cover detaching apparatus of the conveyance container which concerns on 6th Example.

도 21은 종래의 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 일례를 도시한 도면이다.It is a figure which shows an example of the lid removal apparatus of the conventional conveyance container.

본 발명은 반도체 웨이퍼 등의 얇은 기판을 수용하여 반송하는 반송 용기를 클린 룸에 장착하여, 서로의 청정도를 유지한 채로 그 덮개를 착탈하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a cover container detaching and detaching device for transport container that attaches and transports a transport container for accommodating and transporting a thin substrate such as a semiconductor wafer to a clean room, while maintaining the cleanness of each other.

도 21은 종래의 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 일례를 도시한 도면이다.It is a figure which shows an example of the lid removal apparatus of the conventional conveyance container.

종래의 반송 용기의 덮개 착탈 장치(100)는 고청정도의 공간(A)과 저청정도의 공간(B)을 구획하는 칸막이 판(101)과, 칸막이 판(101)에 형성되고 고청정도의 공간(A)과 저청정도의 공간(B)을 연통하는 개구부(102)와, 칸막이 판(101)의 개구부(102)를 개폐하는 도어(103)와, 도어(103)에 설치된 2개의 위치 결정 핀(104a, 104b) 및 2개의 T자 키(104c, 104d)를 갖고, 반송 용기(200)의 덮개(203)를 래치하는 래치 기구(104)와, 저청정도의 공간(B) 측에 설치되고 반송 용기(200)가 탑재되고 3개의 위치 결정 핀(105a, 105b, 105c) 및 하나의 잠금 키(105d)를 갖는 테이블(105) 등을 구비하고 있다.The lid detachment apparatus 100 of the conventional conveyance container is formed in the partition plate 101 which divides the high clean space A and the low clean space B, and the partition board 101, and the high clean space ( A) and the opening 102 communicating the low-brightness space B, the door 103 for opening and closing the opening 102 of the partition plate 101, and the two positioning pins provided in the door 103 ( It has a latch mechanism 104 which has 104a, 104b and two T-shaped keys 104c, 104d, and latches the lid | cover 203 of the conveyance container 200, and is installed in the low-cleanness space B side, and conveys The container 200 is mounted and includes a table 105 having three positioning pins 105a, 105b, 105c and one locking key 105d.

반송 용기(200)는 내부 공간(C)이 고청정도로 유지되고, 반도체 웨이퍼를 복수 개(예를 들면, 25개) 수용하는 용기이다.The conveyance container 200 is a container in which the internal space C is maintained at high cleanness and accommodates a plurality of semiconductor wafers (for example, 25 pieces).

이 반송 용기(200)는 용기 본체(201)와, 용기 본체(201)의 일면에 설치된 개구부(202)와, 개구부(202)를 개폐하고 위치 결정 핀(104a, 104b)이 결합하는 핀 구멍(204a, 204b) 및 T자 키(104c, 104d)가 맞물리는 키 구멍(204c, 204d)을 갖는 덮개(203)와, 테이블(105)의 위치 결정 핀(105a, 105b, 105c)이 결합하는 V자 단면의 홈(205a, 205b, 205c) 및 잠금 키(105d)가 맞물리는 키 구멍(205d)을 갖는 바닥면(205)을 구비하고 있다.The conveying container 200 includes a container body 201, an opening 202 provided on one surface of the container body 201, and a pin hole for opening and closing the opening 202 to which the positioning pins 104a and 104b engage. Cover 203 having key holes 204c and 204d into which 204a and 204b and T-shaped keys 104c and 104d are engaged, and V to which positioning pins 105a, 105b and 105c of table 105 engage. The bottom surface 205 which has the groove | channel 205a, 205b, 205c of the magnetic cross section and the key hole 205d which the locking key 105d engages is provided.

반송 용기(200)를 테이블(105)에 탑재하면, 3개의 위치 결정 핀(105a∼105c)이 V자 단면의 홈(205a∼205c)에 결합한다. 여기에서, 도시하지 않은 잠금 버튼을 스위치-온 하면, 잠금 키(105d)가 상승되고 경사져서 키 구멍(205d)에 맞물리는 동시에 테이블(105) 전체가 칸막이 판(101) 측으로 소정의 거리(약 30mm 정도) 이동하여, 반송 용기(200)가 칸막이 판(101)에 밀착된다. 칸막이 판(101)의 개구부(102) 및 반송 용기(200)의 개구부(202)의 외주에는 도시하지 않은 O링 등의 밀봉재가 설치되어 있어서 밀착에 의해 청정도를 유지할 수 있다.When the conveyance container 200 is mounted on the table 105, three positioning pins 105a to 105c engage with the grooves 205a to 205c of the V-shaped cross section. Here, when the lock button (not shown) is switched on, the locking key 105d is raised and inclined to engage the key hole 205d, and at the same time, the entire table 105 is moved to the partition plate 101 at a predetermined distance (about 30 mm), and the conveyance container 200 is in close contact with the partition plate 101. Sealing materials, such as an O-ring (not shown) are provided in the outer periphery of the opening part 102 of the partition plate 101 and the opening part 202 of the conveyance container 200, and cleanness can be maintained by close_contact | adherence.

반송 용기(200)는 테이블(105)의 이동에 의해 덮개(203)가 도어(103)에 밀착되어, 위치 결정 핀(104a, 104b)이 덮개(203)의 핀 구멍(204a, 204b)에 결합하고, T자 키(104c, 104d)가 키 구멍(204c, 204d)에 삽입된다. 그 후에, 도시하지 않은 로터리 액츄에이터 등에 의해 T자 키(104c, 104d)를 90도 회전시킴으로써, 발톱(204e∼204h)이 끌려 들어가, 용기 본체(201)와 덮개(203)와의 잠금이 해제된다.As for the conveyance container 200, the cover 203 adheres to the door 103 by the movement of the table 105, and the positioning pins 104a and 104b couple to the pin holes 204a and 204b of the cover 203. Then, the T-shaped keys 104c and 104d are inserted into the key holes 204c and 204d. Thereafter, by rotating the T-shaped keys 104c and 104d by 90 degrees with a rotary actuator or the like (not shown), the toenails 204e to 204h are drawn in, and the container body 201 and the lid 203 are unlocked.

이어서, 도어(103)는 도시하지 않은 구동 기구에 의해 공간(A)의 내측으로 끌려들어오는(화살표 D1) 동시에 하강하여(화살표 D2), 반송 용기(200)의 내부 공간(C)과 칸막이 판(101)의 내부 공간(A)이 고청정도를 유지한 채로 연통된다.Subsequently, the door 103 is pulled into the inside of the space A by the driving mechanism (not shown) (arrow D1) and lowered at the same time (arrow D2), whereby the inner space C of the conveyance container 200 and the partition plate ( The internal space A of 101 is communicated while maintaining high cleanliness.

전술한 종래의 기술에서는, 반송 용기(200)가 수지성형에 의해서 제작되어 있고, 성형 조건이나 온도 등에 따라 약간의 왜곡이 발생하기 때문에 위치 결정 핀(104a, 104b), 덮개(203)의 핀 구멍(204a, 204b)이나 키 구멍(204c, 204d) 등에 테이퍼 형상을 하게 하여 원활한 착탈 동작을 하도록 하고 있었다.In the above-mentioned prior art, the conveying container 200 is manufactured by resin molding, and since some distortion occurs according to molding conditions, temperature, etc., the pin holes of the positioning pins 104a and 104b and the lid 203 are provided. The taper shapes 204a and 204b, the key holes 204c and 204d, and the like are made to perform a smooth removal operation.

그러나 반송 용기(200)가 직경 300mm를 넘는 대구경 웨이퍼를 수용하는 경우에는, 허용 변형 오차(±0.5mm)를 확보하는 데에는 상당히 엄격한 기준이었다. 이로 인하여, 상기 동작이 안정적으로 유지되기 위해서는 매우 어려움이 수반될 것으로 예상되어 다음과 같은 대책이 고려된다.However, when the conveyance container 200 accommodates the large diameter wafer more than 300 mm in diameter, it was a very strict criterion to ensure an allowable deformation error (± 0.5 mm). For this reason, it is anticipated that very difficult will be involved in maintaining the above operation stably, and the following countermeasures are considered.

(A) 제1 방법은 용기 본체(201)와 덮개(203)를 각각 정밀도가 양호하게 제작하여 한 대씩 조정하여 조립하는 일이다. 그러나 이 방법은 별도의 반송 용기를 사용하는 경우에는 재조정해야 한다는 문제가 있었다.(A) The first method is to fabricate the container body 201 and the lid 203 with good precision, and to adjust and assemble one by one. However, this method has a problem that it is necessary to readjust when using a separate conveying container.

(B) 제2 방법은 용기 본체(201)를 약간 움직일 수 있도록 함으로써, 용기 본체(201)와 덮개(203)와의 어긋남을 흡수한다. 이 방법은 작은 변형에 대해서는 효과를 발휘하지만 큰 변형인 경우에는 비효율적이다. 예를 들면, 제조한지 얼마 안 되었을 때에는 문제가 없다고 해도, 2∼3년 지나면 서서히 변형이 발생하여, 점점 상태가 악화될 가능성이 있다.(B) The second method absorbs the deviation between the container body 201 and the lid 203 by allowing the container body 201 to move slightly. This method works for small strains but is inefficient for large strains. For example, there is a possibility that the deformation gradually occurs after two or three years, even if there is no problem when it is just manufactured, and the state gradually worsens.

본 발명의 목적은 SEMI 규격에 준하여 제작된 여러 제조자의 여러 가지 반송 용기에 대하여, 모두 덮개 부재를 개폐할 수 있고, 또한 그 여러 제조자의 여러 가지 반송 용기에 대하여 사용 조건(온도, 습도, 사용 조건)이 변화되어도 정상 동작할 수 있는 허용 변형 오차를 만족시켜, 어떠한 사용 조건이더라도 반송 용기가 어느 부재에도 충돌하지 않고 착탈할 수 있는 반송 용기의 덮개 착탈 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to open and close the lid member for various transport containers of various manufacturers manufactured according to the SEMI standard, and to use the transport conditions (temperature, humidity, use conditions for various transport containers of the various manufacturers). The present invention provides a lid detachable device for a transport container that satisfies an allowable deformation error that can operate normally even if the) is changed, and that the transport container can be detached without colliding with any member even under any use conditions.

상기 과제를 해결하기 위하여, 제1 발명은 내부가 고청정도로 유지된 반송 용기의 개구부의 덮개 부재를 고청정도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 맞물리게 하고, 상기 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고청정도를 유지한 채로 상기 덮개 부재를 착탈하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 덮개 부재의 위치 결정을 하는 위치 결정 부재와, 상기 위치 결정 부재의 위치를 미세 조정하는 미세 조정 기구와, 상기 위치 결정 부재에 의해서 맞물린 상기 덮개 부재의 위치를 유지하는 위치 유지 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.In order to solve the said subject, 1st invention makes the cover member of the opening part of the conveyance container hold | maintained with high cleanness to engage with the door member of the opening part of the room kept at high cleanness, and adhere | attaches the peripheral part of both opening parts closely, A lid detachment apparatus for a transport container for detaching the lid member while maintaining cleanliness, comprising: a positioning member for positioning the lid member, a fine adjustment mechanism for fine-adjusting the position of the positioning member, and the position It is a cover container attachment / detachment apparatus provided with the position holding mechanism which hold | maintains the position of the said lid member engaged by the crystal member.

제2 발명은 제1 발명 기재의 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 도어 부재는 베이스 플레이트와 그 베이스 플레이트에 대하여 면 방향으로 이동 가능한 위치 맞춤 플레이트를 구비하고, 상기 위치 결정 부재는 상기 위치 맞춤 플레이 트에 설치되고, 상기 미세 조정 기구는 상기 베이스 플레이트에 설치되어 상기 위치 맞춤 플레이트를 면 방향으로 이동 가능하게 지지하고, 상기 위치 유지 기구는 상기 베이스 플레이트에 설치되어 상기 위치 맞춤 플레이트의 위치를 유지하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.2nd invention is a lid | cover detaching apparatus of the conveyance container of 1st invention description, WHEREIN: The said door member is equipped with the base plate and the positioning plate movable in the surface direction with respect to the base plate, The said positioning member is the said positioning member It is installed on the plate, the fine adjustment mechanism is installed on the base plate to support the positioning plate movably in the surface direction, the positioning mechanism is installed on the base plate to maintain the position of the positioning plate It is a cover removal apparatus of the conveyance container characterized by the above-mentioned.

제3 발명은 제2 발명 기재의 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 위치 맞춤 플레이트를 중앙 위치로 복귀시키는 센터링 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.3rd invention is the cover removal apparatus of the conveyance container of the 2nd invention description, Comprising: The cover removal apparatus of the conveyance container is provided with the centering mechanism which returns the said positioning plate to a center position.

제4 발명은 제2 발명 기재의 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 위치 맞춤 플레이트에 설치되고, 그 축 주위로 회전하여 상기 덮개 부재에 맞물려 잠금 또는 해제하는 잠금 부재를 추가로 구비하고, 상기 베이스 플레이트 측에 설치되어 상기 잠금 부재를 회전 구동하는 잠금 부재 구동 수단과, 상기 베이스 플레이트와 상기 위치 맞춤 플레이트의 면 방향으로의 어긋남을 허용하여 상기 잠금 부재 구동 수단의 회전력을 상기 잠금 부재에 전달하는 편심 전달 기구를 구비한 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.In the cover detachment apparatus of the conveyance container of 2nd invention description, 4th invention is further provided with the locking member which is provided in the said positioning plate, rotates about the axis, and engages and locks or unlocks the said cover member, A locking member driving means installed on the base plate side to rotationally drive the locking member and a shift in the surface direction of the base plate and the positioning plate to transmit the rotational force of the locking member driving means to the locking member. It is a cover attachment / detachment apparatus of the conveyance container provided with the eccentric transmission mechanism.

제5 발명은 제1 내지 제4 발명 중 어느 하나에 기재된 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 위치 유지 기구는 상기 잠금 부재가 상기 덮개 부재를 잠그기 전에, 상기 위치 맞춤 플레이트의 지지를 해제하여 상기 잠금 부재가 상기 덮개 부재를 잠근 후에 상기 위치 맞춤 플레이트를 지지하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.5th invention WHEREIN: The cover attachment / detachment apparatus of the conveyance container in any one of 1st-4th invention WHEREIN: The said position holding mechanism releases support of the said positioning plate, before the said lock member locks the said cover member, It is a lid | cover detachable apparatus of the conveyance container characterized by supporting the said positioning plate after a locking member locks the said lid member.

제6 발명은 제1 내지 제5 발명 중 어느 하나에 기재된 반송 용기의 덮개 착 탈 장치에 있어서, 상기 잠금 부재는 상기 덮개 부재가 상기 반송 용기의 개구부에 삽입되는 삽입 동작의 초기 단계에서 잠금을 해제하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.The sixth invention is the lid detaching apparatus of the transport container according to any one of the first to fifth inventions, wherein the locking member releases the lock at an initial stage of the inserting operation in which the lid member is inserted into the opening of the transport container. It is a cover removal apparatus of the conveyance container characterized by the above-mentioned.

제7 발명은 내부가 고청정도로 유지된 반송 용기의 개구부의 덮개 부재를 고청정도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 맞물리게 하여 상기 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고청정도를 유지한 채로 상기 덮개 부재를 착탈하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 덮개 부재에 맞물려 잠그는 잠금 부재와 상기 잠금 부재를 상기 도어 부재 측에 잡아 당겨 상기 덮개 부재를 상기 도어 부재에 고정하는 덮개 고정 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.The seventh invention engages the lid member of the opening of the conveyance container with its interior maintained at high cleanness, and engages the door member of the opening of the room with the high cleanness, thereby keeping the periphery of both openings in close contact and maintaining the high cleanness. A lid attachment / detachment device for a transport container for attaching and detaching a lid, comprising: a locking member engaged with the lid member and a locking member pulled on the door member to secure the lid member to the door member. It is a cover detachment apparatus of the conveyance container made into.

제8 발명은 내부가 고청정도로 유지된 반송 용기의 개구부의 덮개 부재를 고청정도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 맞물리게 하여 상기 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고청정도를 유지한 채로 상기 덮개 부재를 착탈하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 덮개 부재의 피결합부에 결합하여 위치 결정을 하는 위치 결정 부재와, 상기 위치 결정 부재의 외경을 변화시켜 상기 위치 결정 부재를 상기 덮개 부재의 피결합부에 위치 결정 고정시키는 위치 결정 고정 수단을 구비한 것 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.In the eighth aspect of the invention, the lid member of the opening of the conveying container whose interior is maintained at high cleanness is engaged with the door member of the opening of the room maintained at the high cleanness, and the periphery of both openings is brought into close contact with the cover member while maintaining high cleanness. A lid removal and detachment apparatus for a transport container for attaching and detaching a body, the apparatus comprising: a positioning member coupled to an engaged portion of the lid member for positioning, and an outer diameter of the positioning member being changed so that the positioning member is removed from the lid member. It is a lid | attachment attachment / detachment apparatus of the conveyance container characterized by including the positioning fixing means for positioning and fixing to the engaging part.

제9 발명은 제8 발명 기재의 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 위치 결정 고정 수단은 상기 위치 결정 부재의 외주에 설치되고 내부 압력의 증감에 의해 신축하는 신축 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다. 9th invention is a lid | cover detaching apparatus of the conveyance container of 8th invention WHEREIN: The said positioning fixing means is equipped with the elastic member which is provided in the outer periphery of the said positioning member, and expands and contracts by the increase and decrease of an internal pressure. It is a cover detachment apparatus of a conveyance container.                     

제10 발명은 제8 발명 기재의 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 위치 결정 고정 수단은 상기 위치 결정 부재에 형성되고 기계적인 힘에 의해 그 직경을 변화시키는 분할부를 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.A tenth aspect of the present invention provides a lid detaching apparatus for a transport container according to an eighth aspect of the invention, wherein the positioning fixing means includes a divided portion formed on the positioning member and changing its diameter by a mechanical force. It is a cover detachment apparatus of a conveyance container.

제11 발명은 제1 내지 제10 발명 중 어느 하나에 기재된 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 위치 결정 부재는, 선단에 테이퍼를 가지는 외부 원통과, 상기 외부 원통에 대하여 축방향으로 이동 가능하게 설치되고, 선단에 상기 외부 원통의 테이퍼와 각도가 일치하는 테이퍼를 가져서 돌출 시에 상기 양 테이퍼가 연속하도록 배치된 내부 원통과 상기 내부 원통을 돌출방향으로 가압하는 가압 부재를 구비한 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.A 11th invention is the lid | attachment detachment apparatus of the conveyance container in any one of 1st-10th invention WHEREIN: The said positioning member is axially movable with respect to the outer cylinder which has a taper at a front end, and the said outer cylinder. And an inner cylinder having a taper at an end that coincides with the taper of the outer cylinder to press the inner cylinder in a protruding direction, and an inner cylinder in which both tapers are arranged continuously when protruding. It is a cover detachment apparatus of a conveyance container.

제12 발명은 제1 내지 제11 발명 중 어느 하나에 기재된 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 반송 용기의 연결 자세를 교정하는 연결 자세 교정 수단과, 상기 반송 용기를 탑재하여 상기 위치 결정 부재와의 결합 위치까지 반송하는 반송 테이블과, 상기 반송 용기의 하면에 설치된 V자형 단면의 홈과 상기 반송 테이블 상에 설치되어 상기 V자형 단면의 홈에 맞물리는 연결 핀을 포함하고, 상기 반송 용기를 상기 반송 테이블에 고정하는 고정 수단을 구비하고, 상기 연결 자세 교정 수단은 상기 연결 핀과 V자형 단면의 홈과의 접촉 범위에 설치되고, 상기 반송 테이블의 반송 방향과 대략 직각인 고정면인 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.The twelfth invention is the lid detachment apparatus of the transport container according to any one of the first to eleventh inventions, comprising: connection posture correcting means for correcting a connection posture of the transport container, the transport container, and the positioning member; And a conveying table for conveying to an engagement position of the conveyance table, a groove having a V-shaped cross section provided on the lower surface of the conveying container, and a connecting pin provided on the conveying table and engaged with the groove of the V-shaped cross section. And a fixing means fixed to the conveying table, wherein the connecting posture correcting means is provided in a contact range between the connecting pin and the groove of the V-shaped cross section, and is a fixing surface that is substantially perpendicular to the conveying direction of the conveying table. It is a cover detachment apparatus of the conveyance container.

제13 발명은 제1 내지 제11 발명 중 어느 하나에 기재된 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서, 상기 반송 용기의 연결 자세를 교정하는 연결 자세 교정 수단을 구비하고, 상기 연결 자세 교정 수단은 상기 도어 부재의 주변부에 설치되고 상기 반송 용기의 덮개 부재의 상부 및/또는 측부를 눌러 소정의 가동 범위 내에서 상기 반송 테이블의 반송 방향 및 이것과 수직 방향으로 이동 가능한 누름 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치이다.A thirteenth invention is the lid detachable device for transport containers according to any one of the first to eleventh inventions, comprising: connection posture correcting means for correcting a connection posture of the transport container; A conveying container, which is provided at a periphery of the conveying container and includes a pressing member movable in the conveying direction of the conveying table and in a direction perpendicular thereto within a predetermined movable range by pressing the upper and / or side portions of the lid member of the conveying container. It is a cover detachable device.

이하, 도면 등을 참조하면서 본 발명의 실시예를 들어 더욱 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the Example of this invention is described in detail, referring drawings.

(제1 실시예)(First embodiment)

도 1 및 도 2는 본 발명에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제1 실시예를 도시한 도면으로서, 도 1은 개략적으로 나타내는 사시도이고 도 2는 정면도이다.1 and 2 are views showing a first embodiment of the lid detaching apparatus of the transport container according to the present invention, in which FIG. 1 is a perspective view schematically and FIG. 2 is a front view.

이 반송 용기의 덮개 착탈 장치(10)는 칸막이 판(11), 개구부(12), 칸막이 판(11)의 개구부(12)를 개폐하는 도어(13), 2개의 위치 결정 핀(14a, 14b) 및 2개의 T자 키(14c, 14d)를 갖고, 반송 용기(200)의 덮개(203)를 개폐하는 래치 기구(14) 등을 구비하고 있다.The lid detachment apparatus 10 of this conveyance container is a partition plate 11, the opening part 12, the door 13 which opens and closes the opening part 12 of the partition plate 11, and two positioning pins 14a and 14b. And a latch mechanism 14 having two T-shaped keys 14c and 14d to open and close the lid 203 of the transfer container 200.

제1 실시예에서, 도어(13)는 베이스 플레이트(13A)와, 그 베이스 플레이트(13A)에 대하여 위치 맞춤을 할 수 있도록 면 방향으로 이동 가능한 위치 맞춤 플레이트(13B)를 구비하고 있다.In the first embodiment, the door 13 is provided with a base plate 13A and a positioning plate 13B which is movable in the plane direction so as to be able to be aligned with the base plate 13A.

또 도어(13)의 내부에는 4개의 미세 조정 기구(20), 2개의 센터링 기구(30), 4개의 위치 유지 기구(40), 2개의 편심 전달 기구(50) 및 위치 결정 고정 수단(60) 등이 설치되어 있다. In addition, four fine adjustment mechanisms 20, two centering mechanisms 30, four positioning mechanisms 40, two eccentric transmission mechanisms 50, and positioning fixing means 60 are provided inside the door 13. Etc. are installed.                     

도 3은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 미세 조정 기구를 도시한 도면(도 2의 III 부분 확대도)이다.It is a figure which shows the fine adjustment mechanism of the lid | attachment detachment apparatus of the conveyance container which concerns on 1st Example (III enlarged view of FIG. 2).

미세 조정 기구(20)는 위치 맞춤 플레이트(13B)를 면 방향으로 이동 가능하게 지지하여 위치 결정 핀(14a, 14b)의 위치를 미세 조정하는 기구이다. 이 미세 조정 기구(20)는 위치 맞춤 플레이트(13B)의 네 모서리에 설치되어 있고(도 1 참조), 나사부(21a)로 베이스 플레이트(13A)에 조여 고정하는 장착구(21), 장착구(21)의 풀림 방지용 암나사(22), 장착구(21)에 삽입되는 프리 베어링 등의 수용 부재(23) 및 그 수용 부재(23)에 회전가능하게 지지되는 볼(24), 대향 측 베이스 플레이트 프레임(13A-1)에 설치된 대향판(25), 대향판(25)에 설치된 수용 부재(26), 수용 부재(26)에 회전가능하게 지지되는 볼(27), 위치 맞춤 플레이트(13B) 측에 설치되고 홀(24)과 볼(27)의 사이에 이동 가능하게 끼인 가이드 판(28) 등을 구비하고 있다.The fine adjustment mechanism 20 is a mechanism which finely adjusts the position of the positioning pin 14a, 14b by supporting the positioning plate 13B so that a movement to a surface direction is possible. The fine adjustment mechanism 20 is provided at four corners of the positioning plate 13B (see FIG. 1), and is equipped with a mounting hole 21 and a mounting hole that are tightened and fixed to the base plate 13A with a screw portion 21a. Female screw 22 for preventing loosening of 21, a receiving member 23 such as a free bearing inserted into the mounting hole 21, a ball 24 rotatably supported by the receiving member 23, and an opposite side base plate frame On the opposing plate 25 provided in 13A-1, the accommodating member 26 provided in the opposing plate 25, the ball 27 rotatably supported by the accommodating member 26, and the positioning plate 13B side. It is provided with the guide plate 28 etc. which were provided and clamped so that a movement was possible between the hole 24 and the ball 27.

이 미세 조정 기구(20)는 위치 결정 핀(14a, 14b)이 반송 용기(200)의 핀 구멍(204a, 204b)(도 21참조)에 결합하는 초기 상태에서 위치 결정 핀(14a, 14b) 선단의 테이퍼가 핀 구멍(204a, 204b)의 테이퍼를 따르는 동작에 따라 면 방향으로 소정량(예를 들면, 상하좌우로 3mm) 이동한다. 이 때 도어에 반송 용기(200)의 핀 구멍(204a, 204b)의 위치에 다소의 오차가 있더라도 충돌하지 않고 용이하게 결합할 수 있다.The fine adjustment mechanism 20 is positioned at the tip of the positioning pins 14a and 14b in an initial state in which the positioning pins 14a and 14b are engaged with the pin holes 204a and 204b (see FIG. 21) of the transfer container 200. Taper moves in a plane amount (for example, 3 mm in up, down, left, and right) in the plane direction as the taper of the pinholes 204a, 204b follows. At this time, even if there are some errors in the position of the pinhole 204a, 204b of the conveyance container 200 in a door, it can combine easily without a collision.

도 4는 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 센터링 기구를 도시한 도면(도 2의 IV 부분 확대도)이다. It is a figure which shows the centering mechanism of the lid | cover detaching apparatus of the conveyance container which concerns on 1st Example (IV partial enlarged view of FIG. 2).                     

센터링 기구(30)는 위치 맞춤 플레이트(13B)를 중앙 위치에 복귀시키는(센터링하는) 기구이다. 이 센터링 기구(30)는 수평 방향(x 방향) 및 수직 방향(y 방향)용 2개의 시스템으로 이루어지는 기구가 있어, 누름판(31x, 31y), 누름판(31x, 31y)을 베이스 플레이트(13A)에 고정하는 고정구(32x, 32y), 누름판(31x, 31y)을 중앙 측으로 가압하는 코일 스프링(33x, 33y), 코일 스프링(33x, 33y)의 타단을 베이스 플레이트(13A)에 고정하는 고정구(34x, 34y), 누름판(31x, 31y)에 접촉하는 가이드편(guide piece)(35, 37), 가이드편(35, 37)을 위치 맞춤 플레이트(13B)와 베이스 플레이트(13A)에 고정하는 고정구(36, 38) 등을 구비하고 있다.The centering mechanism 30 is a mechanism for returning (centering) the positioning plate 13B to the center position. The centering mechanism 30 has a mechanism composed of two systems for the horizontal direction (x direction) and the vertical direction (y direction), and the pressing plates 31x and 31y and the pressing plates 31x and 31y are attached to the base plate 13A. Fixtures 32x and 32y for fixing, coil springs 33x and 33y for pressing the pressing plates 31x and 31y to the center side, and fixtures 34x and fixing the other ends of the coil springs 33x and 33y to the base plate 13A. 34y), guide pieces 35 and 37 in contact with the pressing plates 31x and 31y, and fasteners 36 for fixing the guide pieces 35 and 37 to the positioning plate 13B and the base plate 13A. , 38) and the like.

누름판(31X)은 가이드편(35, 37)이 X 방향으로 일직선이 되도록 정렬한다. 마찬가지로, 누름판(31Y)은 가이드편(35, 37)이 Y 방향으로 일직선이 되도록 정렬한다. 이상의 작용에 의해 위치 맞춤 플레이트(13B)의 센터링이 실현된다.The pressing plate 31X is aligned so that the guide pieces 35 and 37 are straight in the X direction. Similarly, the pressing plate 31Y is aligned so that the guide pieces 35, 37 are straight in the Y direction. By the above operation, centering of the positioning plate 13B is realized.

또, 도시가 생략되어 있지만, 도 2의 좌측 상방이나 우측 상방에 도시한 기구와 대칭의 기구가 설치되어 있다.In addition, although illustration is abbreviate | omitted, the mechanism symmetrical with the mechanism shown to the upper left side or the upper right side of FIG. 2 is provided.

위치 맞춤 플레이트(13B)는 미세 조정 기구(20)에 따라 베이스 플레이트(13A)에 대하여 면 방향으로 이동 가능하기 때문에, 센터링 기구(30)를 설치함으로써 결합의 초기 상태에서는 위치 결정 핀(14a, 14b)이 반송 용기(200)의 핀 구멍(204a, 204b)(도 21참조)에 항상 미리 설정된 중심 위치(오차가 없는 결합 위치)에 센터링할 수 있다.Since the positioning plate 13B is movable in the surface direction with respect to the base plate 13A according to the fine adjustment mechanism 20, the positioning pins 14a and 14b in the initial state of engagement by providing the centering mechanism 30 are provided. ) Can always be centered at a predetermined center position (coupling position without error) in the pin holes 204a and 204b (see FIG. 21) of the transfer container 200.

도 5는 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 유지 기구를 도시한 도면(도 2의 V-V 단면도)이다. It is a figure (V-V sectional drawing of FIG. 2) which shows the position holding mechanism of the lid | cover detaching apparatus of the conveyance container which concerns on 1st Example.                     

위치 유지 기구(40)는 반송 용기(200)의 덮개 부재(203)에 위치 결정 핀(14a, 14b)에 의해서 맞물린 위치 맞춤 플레이트(13B)의 위치를 유지하는 기구이다. 이 위치 유지 기구(40)는 베이스 플레이트 프레임(13A-1)에 설치된 고정판(41)과, 이 고정판(41)에 O링(42)을 사이에 두고 연결되고, 도시하지 않은 진공압원과 연결되는 노즐을 가지는 조인트(43)와, 조인트(43)에 설치되고 위치 맞춤 플레이트(13B)에 흡착 가능한 흡착 패드(44) 등을 구비하고 있다.The positioning mechanism 40 is a mechanism for holding the position of the positioning plate 13B which is engaged by the positioning pins 14a and 14b with the lid member 203 of the transfer container 200. The position holding mechanism 40 is connected to a fixed plate 41 provided on the base plate frame 13A-1 and an O-ring 42 between the fixed plate 41 and a vacuum pressure source (not shown). The joint 43 which has a nozzle to become, and the adsorption pad 44 etc. which are attached to the joint 43 and can be adsorb | sucked to the positioning plate 13B are provided.

위치 맞춤 플레이트(13B)는 미세 조정 기구(20)에 따라 베이스 플레이트(13A)에 대하여 면 방향으로 이동 가능하기 때문에, 위치 유지 기구(40)를 설치함으로써 위치 결정 핀(14a, 14b)이 반송 용기(200)의 핀 구멍(204a, 204b)(도 21 참조)에 결합한 위치를 유지할 수 있다. 이로 인하여 덮개(203)를 분리한 후에 다시 그 덮개(203)를 복귀시킬 때에도 분리하기 전의 위치를 유지하고 있기 때문에, 충돌하지 않고 덮개(203)를 닫을 수 있다.Since the positioning plate 13B is movable in the surface direction with respect to the base plate 13A according to the fine adjustment mechanism 20, the positioning pins 14a and 14b convey the container by providing the positioning mechanism 40. The position couple | bonded with the pin hole 204a, 204b (refer FIG. 21) of the 200 can be maintained. Therefore, the cover 203 can be closed without colliding since the cover 203 is removed and the position before the cover 203 is removed even after the cover 203 is removed.

도 6은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 편심 전달 기구를 도시한 도면으로서, 도 6(a)은 사시도이고 도 6(b)는 도 2의 VI-VI 단면도이다.Fig. 6 is a view showing an eccentric transmission mechanism of the lid detaching apparatus of the transport container according to the first embodiment, in which Fig. 6 (a) is a perspective view and Fig. 6 (b) is a sectional view taken along line VI-VI of Fig. 2.

T자 키(14c)(14d)는 위치 맞춤 플레이트(13B)의 소정의 위치에 설치되고, 덮개(203)의 키 구멍(204c)(204d)에 결합하여 덮개(203)를 잠그는 부재이며, 잠금 부재 구동 기구(70)(도 2참조)에 의해서 구동된다. 이 잠금 부재 구동 기구(70)는 베이스 플레이트(13A) 측에 설치되고, T자 키(14c)(14d)를 축 주위에 정역회전시켜, 잠금 또는 해제 동작을 하는 기구이다.The T-shaped keys 14c and 14d are provided at predetermined positions of the alignment plate 13B, are members that engage the key holes 204c and 204d of the lid 203 to lock the lid 203, and are locked. It is driven by the member drive mechanism 70 (refer FIG. 2). The locking member drive mechanism 70 is provided on the base plate 13A side, and is a mechanism that locks or releases the T-shaped keys 14c and 14d by forward and reverse rotation about the shaft.

위치 맞춤 플레이트(13B)는 가동을 위해 가벼운 쪽이 좋기 때문에, 잠금 부 재 구동 기구(70) 등은 베이스 플레이트(13A)에 설치하는 것이 바람직하다. 이로 인하여, T자 키(14c)(14d)에 잠금 부재 구동 기구(70)로부터의 구동력을 전달하기 위해 편심 전달 기구(50)가 설치되어 있다.Since the positioning plate 13B is preferably lighter for operation, it is preferable that the locking member drive mechanism 70 or the like be provided in the base plate 13A. For this reason, the eccentric transmission mechanism 50 is provided in order to transmit the driving force from the locking member drive mechanism 70 to T-shaped keys 14c and 14d.

이 편심 전달 기구(50)는 베이스 플레이트(13A)와 위치 맞춤 플레이트(13B)가 면 방향으로 어긋나는 것을 허용하여, 잠금 부재 구동 기구(70)의 회전력을 T자 키(잠금 부재)(14c)(14d)에 전달하는 기구이다.The eccentric transmission mechanism 50 allows the base plate 13A and the positioning plate 13B to be displaced in the surface direction, thereby allowing the rotational force of the locking member drive mechanism 70 to be T-shaped (locking member) 14c ( 14d).

이 편심 전달 기구(50)는 도 6에 도시한 바와 같이, 잠금 부재 구동 기구(70)에 연결되는 구동 레버(51), 구동 레버(51)에 회전가능하게 연결되는 회전 레버(52), 회전 레버(52)를 베이스 플레이트(13A)에 회전가능하게 지지하는 베어링부(54), 회전 레버(52)에 설치된 전달 롤러(53A, 53B), 전달 롤러(53A, 53B) 및 후술하는 전달 롤러(56A, 56B)가 삽입되고 직교하는 홈(55a, 55b)이 양면에 제공된 슬라이드 디스크(55), 전달 롤러(56A, 56B)가 설치되고 T자 키(14c)(14d)와 동축으로 설치된 회전판(57), 그리고 회전판(57) 및 T자 키(14c)(14d)의 축을 위치 맞춤 플레이트(13B)에 회전가능하게 지지하는 베어링 부(58) 등을 구비하고 있다.As shown in FIG. 6, the eccentric transmission mechanism 50 includes a drive lever 51 connected to the locking member drive mechanism 70, a rotation lever 52 rotatably connected to the drive lever 51, and rotation. A bearing portion 54 rotatably supporting the lever 52 to the base plate 13A, transfer rollers 53A and 53B provided on the rotary lever 52, transfer rollers 53A and 53B, and a transfer roller (to be described later) 56A, 56B are inserted and the slide disk 55 provided with the orthogonal grooves 55a, 55b on both sides, the rotating plate 56, and the rotating plate installed coaxially with the T-shaped keys 14c, 14d ( 57 and a bearing portion 58 for rotatably supporting the axes of the rotating plate 57 and the T-shaped keys 14c and 14d to the positioning plate 13B.

이 편심 전달 기구(50)는 위치 맞춤 플레이트(13B)가 면 방향으로의 가동 범위 내에서 벗어난 경우에도 잠금 부재 구동 기구(70)의 회전력을 T자 키(14c)(14d)에 전달할 수 있다.The eccentric transmission mechanism 50 can transmit the rotational force of the locking member drive mechanism 70 to the T-shaped keys 14c and 14d even when the positioning plate 13B is out of the movable range in the plane direction.

여기에서, 잠금 부재 구동 기구(70)는 도 2에 도시한 바와 같이, 모터(71), 모터(71)의 회전이 벨트(72)에 의해서 전달되는 구동 나사(73), 구동 나사(73)와 평행하게 배치된 슬라이드 축(74), 슬라이드 축(74)에 슬라이드 가능하게 지지되어 구동 나사(73)로 구동되는 이동 블록(75), 그리고 이동 블록(75)에 고정되어 전달 레버(51)의 장공에 맞물리는 베어링(76) 등을 구비하고 있다.Here, as shown in FIG. 2, the locking member drive mechanism 70 includes a drive screw 73 and a drive screw 73 in which rotation of the motor 71 and the motor 71 are transmitted by the belt 72. And a transfer lever 51 fixed to the slide shaft 74, the movable block 75 driven slidably on the slide shaft 74 and driven by the drive screw 73, and fixed to the movable block 75. And a bearing 76 to engage the long hole of the groove.

베어링(76)이 (a)의 위치에 있을 때 회전 레버(52)는 (a)의 위치에 있다. 베어링(76)이 우측으로 이동하여 (b)의 위치에 오면 회전 레버(52)가 회전하기 때문에 그 만큼 전달 레버(51)가 2점쇄선의 위치까지 내려온다. 베어링(76)은 이동 블록(75)에 고정되어 있기 때문에 (b)의 위치에서도 수평 방향으로는 (a)와 같은 위치이다. 이로 인하여 전달 레버(51)와 베어링(76)의 맞물림 위치가 어긋나지만, 그 어긋남은 전달 레버(51)의 장공에 의해서 흡수된다.The rotary lever 52 is in the position of (a) when the bearing 76 is in the position of (a). When the bearing 76 moves to the right and reaches the position of (b), the rotation lever 52 rotates so that the transmission lever 51 descends to the position of the double-dotted line by that amount. Since the bearing 76 is fixed to the moving block 75, it is the same position as (a) in the horizontal direction also in the position of (b). As a result, the engagement position of the transfer lever 51 and the bearing 76 is shifted, but the shift is absorbed by the long hole of the transfer lever 51.

도 7은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 결정 고정 수단을 도시한 도면(도 2의 VII-VII 단면도)이다.FIG. 7 is a view (position VII-VII cross-sectional view of FIG. 2) showing the positioning fixing means of the lid detaching apparatus of the transport container according to the first embodiment.

위치 고정 수단(60)은 위치 결정 핀(14a, 14b)이 반송 용기(200)의 핀 구멍(피결합부)(204a, 204b)에 맞물려 위치 결정을 했을 때 위치 결정 핀(14a, 14b)을 핀 구멍(204a, 204b)에 위치를 고정시키는 수단이다.The positioning means 60 is adapted to position the positioning pins 14a and 14b when the positioning pins 14a and 14b are engaged with the pin holes (joint portions) 204a and 204b of the transfer container 200 to position them. It is a means for fixing a position in pin hole 204a, 204b.

이 실시예의 위치 고정 수단(60)은 위치 결정 핀(14a)(14b)의 축 방향으로 설치된 유로(61)와, 이 유로(61)에 연통되고, 직경방향으로 설치된 유로(62)와 위치 결정 핀(14a)(14b)의 외주에 설치되고, 내부 압력의 증감에 의해 신축하는 네오프렌(neoprene) 등의 고무로 성형된 신축 부재(63), 유로(61)에 연통되는 배관(64), 그리고 배관(64)을 위치 결정 핀(14a)(14b)의 후단에 고정하는 고정구(65) 등을 구비하고 있다.The position fixing means 60 of this embodiment communicates with the flow path 61 provided in the axial direction of the positioning pins 14a and 14b, the flow path 62 communicated with the flow path 61, and the positioning with the flow path 62 provided in the radial direction. A tubing 64 which is provided on the outer circumference of the pins 14a and 14b and communicates with the elastic member 63 formed of rubber such as neoprene which expands and contracts by the increase or decrease of the internal pressure, the flow path 61, and A fastener 65 for fixing the pipe 64 to the rear end of the positioning pins 14a and 14b is provided.

이 위치 고정 수단(60)은 배관(64)에 도시하지 않은 공압 회로나 진공압 회 로를 접속하여, 위치 결정 핀(14a)(14b)의 유로(61, 62)의 내부 압력을 증감함으로써 신축 부재(63)가 신축하여 핀 구멍(204a, 204b)의 간극을 채우기 때문에 위치 결정 핀(14a)(14b)을 위치 고정할 수 있다.The position fixing means 60 expands and contracts by connecting a pneumatic circuit or a vacuum pressure circuit (not shown) to the pipe 64 to increase or decrease the internal pressure of the flow paths 61 and 62 of the positioning pins 14a and 14b. Since the member 63 expands and contracts to fill the gap between the pin holes 204a and 204b, the positioning pins 14a and 14b can be fixed in position.

도 8은 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제어 수단을 나타내는 블록도, 도 9 내지 도 12는 제1 실시예에 따른 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 동작 예를 나타내는 플로차트이다.8 is a block diagram showing a control means of a lid detachment apparatus of the transport container according to the first embodiment, and FIGS. 9 to 12 are flowcharts showing an operation example of the lid detachment apparatus of the transport container according to the first embodiment.

제어 수단(80)은 각 가동부의 위치 등을 검출하는 각종 센서(81)와 각종 센서(81)로부터의 위치 검출 신호에 따라, 후술하는 각 구동부를 제어하는 제어 신호를 생성하는 컨트롤러(82)와, 컨트롤러(82)로부터의 제어 신호를 각 구동부에 맞춘 구동 신호로 변환하는 드라이버(83)와, 드라이버(83)로부터의 구동 신호에 따라 구동되는 구동부인, 위치 유지 기구(40)로의 공기압의 흐름을 제어하는 위치 유지용 밸브(84), 덮개 고정 수단(60)으로의 공기압의 흐름을 제어하는 덮개 고정용 밸브(85), 잠금 부재 구동 수단(70)의 덮개 잠금용 모터(71), 용기 이동 모터(86) 및 도어 이동 모터(87) 등을 구비하고 있다.The control means 80 includes a controller 82 for generating a control signal for controlling each driving unit described later in accordance with various sensors 81 for detecting the position of each movable portion and the position detection signals from the various sensors 81; Flow of air pressure to the position maintaining mechanism 40, which is a driver 83 for converting a control signal from the controller 82 into a drive signal adapted to each drive unit, and a drive unit driven according to the drive signal from the driver 83; Valve for maintaining position 84 for controlling the valve, cover fixing valve 85 for controlling the flow of air pressure to the cover fixing means 60, the cover locking motor 71 of the locking member drive means 70, the container The moving motor 86, the door moving motor 87, etc. are provided.

다음에, 도 9 및 도 10을 이용하여 덮개의 개방 동작을 설명한다.Next, the opening operation of the lid will be described with reference to FIGS. 9 and 10.

먼저, 컨트롤러(82)는 위치 유지용 밸브(84)를 해제 측으로 구동하여 스텝 S(이하, 단순히 S로 표기함)(101), 해제를 센서로 확인하면(S102, YES), 용기 이동 모터(86)를 구동하여 반송 용기(200)를 전진시키고(S103), 반송 용기(200)가 결합위치에 온 것을 센서로 확인하면(S104, YES), 용기 이동 모터(86)를 정지한다.First, the controller 82 drives the position maintaining valve 84 to the release side, step S (hereinafter simply referred to as S) 101, and confirms the release with a sensor (S102, YES), and the container moving motor ( 86, the conveyance container 200 is advanced by advancing (S103), and when a sensor confirms that the conveyance container 200 is in the engagement position (S104, YES), the container movement motor 86 is stopped.

이 상태에서는 위치 유지용 밸브(84)에 의해 위치 유지 기구(40)가 해제되어 있기 때문에 위치 맞춤 플레이트(13B)는 프리(free)로 되어 있고, 또한 센터링 기구(30)에 의해 중앙 위치로 이동하고 있다. 그리고, 반송 용기(200)가 결합 위치에 오면 위치 결정 핀(14a, 14b)에 대하여 반송 용기(200)의 핀 구멍(204a, 204b)이 허용 범위 내에서 벗어나 있어도, 위치 맞춤 플레이트(13B)가 미세 조정 기구(20)에 의해서 이동하기 때문에 반송 용기(200)의 덮개(203)와 도어(13)의 결합이 이루어진다.In this state, since the positioning mechanism 40 is released by the positioning valve 84, the positioning plate 13B is free, and the centering mechanism 30 moves to the center position. Doing. And when the conveyance container 200 comes to an engagement position, even if the pin hole 204a, 204b of the conveyance container 200 deviates within the permissible range with respect to the positioning pin 14a, 14b, the positioning plate 13B will Since it moves by the fine adjustment mechanism 20, the cover 203 of the conveyance container 200 and the door 13 are combined.

다음에, 덮개 잠금용 모터(71)를 해제 측으로 구동하여(S105) T자 키(14c, 14d)를 회전시켜, 덮개(203)의 발톱(204e∼204h)을 끌어넣고 발톱(204e∼204h)이 끌어넣어진 것(해제)을 센서로 확인하면(S106, YES), 덮개 고정용 밸브(85)를 고정측으로 작동시켜(S107) 위치 결정 핀(14a, 14b)의 신축 부재(63)를 팽창시켜, 핀 구멍(204a, 204b)과의 고정을 센서로 확인한다(S108, YES).Next, the cover locking motor 71 is driven to the release side (S105) to rotate the T-shaped keys 14c and 14d so as to pull the toenails 204e to 204h of the lid 203 and toenails 204e to 204h. When this pulled-out (release) is confirmed by a sensor (S106, YES), the cover fixing valve 85 is operated to the fixed side (S107) and the expansion-contraction member 63 of the positioning pins 14a and 14b is expanded. Fixation with the pin holes 204a and 204b is confirmed by a sensor (S108, YES).

이 때, S107의 동작의 최종 단계에서, 위치 결정 핀(14a, 14b)과 핀 구멍(204a, 204b)이 어긋나 있고 위치 맞춤 플레이트(13B)가 이동하고 있어도, 편심 전달 기구(50)가 있으므로 T자 키(14c, 14d)를 회전시킬 수 있다.At this time, even if the positioning pins 14a and 14b and the pin holes 204a and 204b are displaced and the positioning plate 13B is moved in the final step of the operation of S107, since the eccentric transmission mechanism 50 is present, T The child keys 14c and 14d can be rotated.

또, 위치 결정 핀(14a, 14b)의 신축 부재(63)를 팽창시켜 핀 구멍(204a, 204b)과 고정하기 때문에 정확한 위치 고정을 할 수 있다.Moreover, since the expansion-contraction member 63 of the positioning pins 14a and 14b is expanded and fixed with the pin holes 204a and 204b, accurate positioning can be performed.

이어서, 도 10에 도시한 바와 같이, 위치 유지용 밸브(84)를 유지 측으로 구동하여(S109), 유지를 센서로 확인하면(S110, YES) 도어 이동 모터(87)를 구동하여 후퇴시키고(S111), 후퇴를 센서로 확인하면(S112, YES) 도어 이동 모터(87)를 다시 구동하여 하강시키고(S113), 하한 위치에 오면(S114, YES) 정지하여 처리를 종료한 다.Subsequently, as shown in FIG. 10, when the position maintaining valve 84 is driven to the holding side (S109), and the holding is confirmed by the sensor (S110, YES), the door moving motor 87 is driven and retracted (S111). When the retreat is confirmed by the sensor (S112, YES), the door movement motor 87 is driven again and lowered (S113), and when it is at the lower limit position (S114, YES), the process is terminated.

이 상태에서는, 위치 유지용 밸브(84)를 유지 측으로 구동하여 위치 맞춤 플레이트(13B)의 위치를 유지하고 있기 때문에, 후술하는 덮개의 폐쇄 동작을 할 때에도 원래의 위치를 유지할 수 있어, 도어의 재결합 시에 반송 용기(200)의 개구부(202)에 충돌을 하지 않는다.In this state, since the position maintaining valve 84 is driven to the holding side to maintain the position of the positioning plate 13B, the original position can be maintained even when the lid is closed, which will be described later. It does not collide with the opening part 202 of the conveyance container 200 at the time.

다음에, 도 11 및 도 12를 이용하여 덮개의 폐쇄 동작을 설명한다.Next, the closing operation of the lid will be described with reference to FIGS. 11 and 12.

먼저, 컨트롤러(82)는 도 11에 도시한 바와 같이, 도어 이동 모터(87)를 구동하여 상승시키고(S201), 상한 위치에 오면(S202, YES) 정지하여 도어 이동 모터(87)를 다시 구동하여 전진시키고(S203), 반송 용기(200)와의 재결합의 초기를 센서로 확인하면(S204, YES) 위치 유지용 밸브(84)를 해제 측으로 구동한다(S205). 해제를 센서로 확인하면(S206, YES) 다시 도어 이동 모터(87)를 구동하여 전진시키고(S207), 재결합이 완료되면 도어 이동 모터(87)를 정지시키고 반송 용기(200)와의 재결합의 완료를 센서로 확인한다(S208).First, as shown in FIG. 11, the controller 82 drives and lifts the door moving motor 87 (S201). When the controller 82 comes to the upper limit position (S202, YES), the controller 82 drives the door moving motor 87 again. By advancing (S203), and confirming the initial stage of recombination with the transfer container 200 (S204, YES), the position holding valve 84 is driven to the release side (S205). When the release is confirmed by the sensor (S206, YES), the door moving motor 87 is moved forward again (S207), and when the recombination is completed, the door moving motor 87 is stopped and the completion of the recombination with the transfer container 200 is completed. Check with a sensor (S208).

다음에, 덮개 고정용 밸브(85)를 해제 측으로 작동시켜(S209) 위치 결정 핀(14a, 14b)의 신축 부재(63)를 수축시켜, 핀 구멍(204a, 204b)과의 해제를 센서로 확인한다(S210, YES). 그리고, 덮개 잠금용 모터(71)를 잠금 측으로 구동하여(S211) T자 키(14c, 14d)를 회전시켜서 덮개(203)의 발톱(204e∼204h)을 돌출시키고, 발톱(204e∼204h)이 돌출되어 잠근 것을 센서로 확인한다(S212, YES).Next, the cover fixing valve 85 is operated to the release side (S209) to retract the expansion and contraction member 63 of the positioning pins 14a and 14b, and the release of the pin holes 204a and 204b is confirmed by the sensor. (S210, YES). Then, the cover locking motor 71 is driven to the lock side (S211) to rotate the T-shaped keys 14c and 14d to protrude the toenails 204e to 204h of the cover 203, thereby toe the toenails 204e to 204h. Check the protruding and locked by the sensor (S212, YES).

마지막으로, 용기 이동 모터(86)를 구동하여 반송 용기(200)를 후퇴시켜(S213) 반송 용기(200)가 후퇴한 것을 센서로 확인하면(S104, YES), 용기 이동 모터(86)를 정지하여 덮개의 폐쇄 동작을 종료한다.Finally, when the container movement motor 86 is driven to retreat the conveyance vessel 200 (S213) and the sensor confirms that the conveyance vessel 200 has retreated (S104, YES), the vessel movement motor 86 is stopped. To end the closing operation of the lid.

(제2 실시예)(2nd Example)

도 13 내지 도 16은 본 발명에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 제2 실시예의 주요부를 도시한 도면으로, 도 13은 정면도, 도 14(a)는 도 13의 A-A 단면도, 도 14(b)는 도 13의 B-B 단면도, 도 15(a)는 도 15(b)의 화살표 E 방향으로 본 도면, 도 15(b)는 도 13의 C-C 단면도, 도 16은 도 13의 D-D 단면도이다.13 to 16 are views showing main parts of a second embodiment of the lid detaching apparatus of the transport container according to the present invention, FIG. 13 is a front view, and FIG. 14 (a) is an AA sectional view of FIG. 13, FIG. 14 (b). 13 is a sectional view taken along line BB of FIG. 13, FIG. 15A is a view taken along arrow E of FIG. 15B, FIG. 15B is a sectional view taken along line CC of FIG. 13, and FIG. 16 is a sectional view taken along line DD of FIG.

제2 실시예의 덮개 착탈 장치는 제1 실시예의 구조 외에, 잠금 핀(13a, 13b)을 도어(13) 측으로 잡아당겨(도 13에서는 끌어내려) 덮개(203)를 도어(13)에 고정하는 덮개 고정 수단을 구비한 것이다.In addition to the structure of the first embodiment, the lid detaching apparatus of the second embodiment pulls the locking pins 13a and 13b toward the door 13 side (by pulling it in Fig. 13) to fix the lid 203 to the door 13. It is provided with a fixing means.

도시하지 않은 구동 수단으로부터의 직선 운동이 도 13의 래크(312)에 전달되면, 이 래크(312)에 맞물리는 피니언 기어(311)를 회전시킨다. 이 피니언 기어(311)에는 원판(310)이 동축으로 나사 고정되어 있다.When the linear motion from the drive means not shown is transmitted to the rack 312 of FIG. 13, the pinion gear 311 meshing with the rack 312 is rotated. The disc 310 is screwed coaxially to this pinion gear 311.

이 원판(310)은 180° 회전가능하여, 최초 90°의 회전으로 T자 키(14c)(14d)를 회전시키고, 다음 90°의 회전으로 T자 키(14c)((14d))를 화살표 F 방향으로 끌어넣어 덮개(203)를 도어(13)에 고정한다(덮개 고정 수단).This disc 310 is rotatable 180 ° to rotate the T-shaped keys 14c and 14d with the first 90 ° rotation, and to arrow the T-shaped keys 14c (14d) with the next 90 ° rotation. The cover 203 is fixed to the door 13 by being pulled in the F direction (cover fixing means).

원판(309)은 90° 회전가능하며, 베이스 플레이트(13A)에 나사 고정된 축(309a)에 회전가능하게 장착되어 있고, 그 하면에 형성된 홈과 원판(310)의 상면에 나사 고정된 회전체(베어링)에 의해 원판(310)으로부터의 회전이 전달되어 있다.The disc 309 is rotatable 90 °, is rotatably mounted to a shaft 309a screwed to the base plate 13A, and a groove formed on the bottom thereof and a rotating body screwed to an upper surface of the disc 310. The rotation from the disc 310 is transmitted by (bearing).

이 회전 원판(309)에는 도 14(a)에 도시한 바와 같이, 이동체(308) 및 베어 링(307)을 통해 회전원판(306)이 연결되어 있다. 이동체(308) 및 베어링(307)은 회전 원판(309)과 회전 원판(306)이 도 13의 상하 방향 또는 좌우 및 전후 방향으로 어긋나 있더라도 그 회전을 허용하기 위한 것이다.As shown in Fig. 14 (a), the rotating disc 306 is connected to the rotating disc 309 via the moving body 308 and the bearing 307. The movable body 308 and the bearing 307 are for allowing rotation even if the rotation disc 309 and the rotation disc 306 are shifted in the up-down direction, the left-right direction, and the front-back direction of FIG.

원판(305)은 원판(306)에 지주(320) 및 부시(321)(도 13 참조)를 통해 연결되고 스프링에 의해서 서로 가압되어 있기 때문에, 회전 원판(305, 306)은 일체로 회전한다.Since the disc 305 is connected to the disc 306 through the support 320 and the bush 321 (see FIG. 13) and is pressed against each other by a spring, the rotating discs 305 and 306 rotate integrally.

T자 키(14c)(14d)는 지지대(302)에 축 방향으로 이동 가능하게 지지되어 있고, 지지대(302)에는 밀어내림 판(303)이 연결되어 있다. 밀어내림 판(303)에는 베어링(304)이 설치되어 있으며, 베어링(304)은 원판(305)의 상면에서 구름접촉하고 있다. 원판(305)은 스프링(301)에 의해 밀어올림 방향으로 가압되어 있다. 원판(305)이 지지대(302)에 접촉함으로써, T자 키(14c)(14d)는 축 방향의 위치를 정확하게 결정할 수 있다.The T-shaped keys 14c and 14d are supported by the support 302 so as to be movable in the axial direction, and the lowering plate 303 is connected to the support 302. The bearing 304 is provided in the pushing down plate 303, and the bearing 304 is in rolling contact with the upper surface of the disc 305. As shown in FIG. The disc 305 is pressed by the spring 301 in the upward direction. By the disc 305 contacting the support 302, the T-shaped keys 14c and 14d can accurately determine the position in the axial direction.

T자 키(14c)(14d)는 원판(310)의 최초 90°의 회전에 의해 상기 기구를 통해 90° 회전함으로써, 잠금(또는 해제) 동작을 할 수 있다. 이 때, 이동체(308) 및 베어링(307)(편심 전달 기구)을 구비하고 있기 때문에, 회전 원판(309)과 회전 원판(306)이 도 13의 상하 방향 또는 좌우 및 전후 방향으로 어긋나 있더라도 그 회전을 전달할 수 있다.The T-shaped keys 14c and 14d can be locked (or unlocked) by rotating 90 degrees through the mechanism by the first 90 degrees of rotation of the disc 310. At this time, since the movable body 308 and the bearing 307 (eccentric transmission mechanism) are provided, even if the rotation disk 309 and the rotation disk 306 are shifted in the up-down direction, the left-right direction, and the front-back direction of FIG. Can be passed.

한편, 도 13 및 도 15에 도시한 바와 같이, 롤러(318)는 베이스 플레이트(13A)에 설치된 브래킷(322)에 장착되어 있고 원판(310)의 하면에 접하여, 원판(310)이 하방으로 변형되는 것을 방지하고 있다. On the other hand, as shown in Figs. 13 and 15, the roller 318 is mounted on the bracket 322 provided on the base plate 13A and in contact with the lower surface of the disc 310, the disc 310 is deformed downward. It is preventing it from becoming.                     

도 16(b)에 도시한 바와 같이, 원판(310)은 그 상면에 홈(310a)이 형성되어 있다. 이 홈(310a)은 바닥면이 최고점(310b)과 최저점(310c) 사이에서 경사져 있다. 이 홈(310a)에는 베어링(313)이 삽입되어 이동한다. 베어링(313)은 브래킷(322)에 장착된 칼라(323)에 슬라이드 가능하게 설치된 지지체(324)의 하단에 장착되어 있다. 지지체(324)는 상부가 원통으로 되어 있고, 스프링(315)을 통해 지주(316)가 삽입되어 있다. 핀(314)은 지지체(324)에 설치되어 지지체(324)의 회전을 방지하는 핀이다. 핀(314)은 브래킷(322)에 설치된 장공에 결합하고 있기 때문에, 지지체(324)는 상하로 이동하더라도 회전하지 않는다.As shown in Fig. 16B, the groove 310 is formed with a groove 310a on the upper surface thereof. The groove 310a has a bottom surface inclined between the highest point 310b and the lowest point 310c. The bearing 313 is inserted into this groove 310a and moves. The bearing 313 is mounted to the lower end of the support 324 slidably mounted to the collar 323 mounted to the bracket 322. The upper part of the support body 324 is cylindrical, and the support | pillar 316 is inserted through the spring 315. As shown in FIG. The pin 314 is a pin installed on the support 324 to prevent rotation of the support 324. Since the pin 314 is coupled to the long hole provided in the bracket 322, the support 324 does not rotate even if it moves up and down.

기부(317)는, 밀어내림 판(303)에 나사 고정되어 있고, 그 하단이 지주(316)의 상단과 접하고 있다. 밀어내림 판(303)은 핀(319)에 의해 회전가능하게 지지되어 있고, 기부(317)가 받는 밀어 올리는 힘(화살표 G)에 의해 도 13의 반시계 방향으로 회전하여, 타단에 설치되어 있는 베어링(304)에 밀어 내리는 힘(화살표 F)을 전달한다.The base 317 is screwed to the lowering plate 303, and the lower end thereof is in contact with the upper end of the support post 316. The pushing down plate 303 is rotatably supported by the pin 319, rotated counterclockwise in FIG. 13 by the pushing force (arrow G) received by the base 317, and is installed at the other end. The pushing force (arrow F) is transmitted to the bearing 304.

즉, 밀어내림 판(303)은 원판(310)의 다음 번 90°의 회전에 의해 상기 기구를 통해 T자 키(14c)(14d)를 밀어 내려서 반송 용기(200)의 덮개(203)를 도어(13)에 고정할 수 있다.That is, the pushing down plate 303 pushes down the T-shaped keys 14c and 14d through the mechanism by the next 90 ° rotation of the disc 310 to open the lid 203 of the transfer container 200. It can be fixed to (13).

제2 실시예에 의하면, 하나의 구동원에 의해 T자 핀(14c)(14d)의 회전 동작과, 덮개(203)를 도어(13)에 고정하는 T자 핀(14c)(14d)의 끌어넣는 동작을 할 수 있다. 또한, 베이스 플레이트(13A)와 위치 맞춤 플레이트(13B)의 어긋남을 허용하는 편심 전달 기구도 동시에 구비하고 있다. According to the second embodiment, the rotational operation of the T-shaped pins 14c and 14d by one driving source and the pulling of the T-shaped pins 14c and 14d which fix the lid 203 to the door 13 are carried out. It can work. In addition, an eccentric transmission mechanism for allowing the base plate 13A and the positioning plate 13B to be displaced is also provided.                     

(제3 실시예)(Third Embodiment)

도 17은 제3 실시예에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 유지 기구를 도시한 도면이다.It is a figure which shows the position holding mechanism of the lid | cover detaching apparatus of the conveyance container which concerns on 3rd Example.

이 위치 유지 기구(440)는 베이스 플레이트 프레임(도시하지 않음)에 설치된 고정판(441), 이 고정판(441)에 설치된 베이스 판(445), 베이스 판(445)에 O링(442)을 통해 연결되고 진공압원(451)과 연결되는 노즐을 가지는 본체(443), 본체(443)에 설치되고 위치 맞춤 플레이트(13B)에 시트(seat)(444a)로 흡착 가능한 흡착 패드(444)를 구비하고 있다.The position maintaining mechanism 440 is connected to a fixed plate 441 provided on a base plate frame (not shown), a base plate 445 provided on the fixed plate 441, and a base plate 445 via an O-ring 442. A main body 443 having a nozzle connected to the vacuum pressure source 451, and a suction pad 444 mounted to the main body 443 and adsorbable to the positioning plate 13B as a seat 444a. have.

이 실시예에서는, 추가로 흡착 패드(444)와 베이스 판(445) 사이에 공간(446)이 형성되어 있다. 베이스 판(445)에는 이 공간(446)을 공기압원(452)과 연통하는 노즐(447)이 설치되어 있다.In this embodiment, a space 446 is further formed between the suction pad 444 and the base plate 445. The base plate 445 is provided with a nozzle 447 for communicating this space 446 with the air pressure source 452.

진공압원(451)은 솔레노이드 밸브(SV1) 및 솔레노이드 밸브(SV2)를 통해 본체(443)의 노즐에 연결되고, 공기압원(452)은 솔레노이드 밸브(SV3)를 통해 노즐(447)에 연결되어 있다.The vacuum pressure source 451 is connected to the nozzle of the body 443 through the solenoid valve SV1 and the solenoid valve SV2, and the air pressure source 452 is connected to the nozzle 447 through the solenoid valve SV3. have.

솔레노이드 밸브(SV1)의 NC 포트는 진공압원(451)에 연통되고, NO 포트는 대기에 연통되며, C 포트는 솔레노이드 밸브(SV2)의 C 포트에 연통되어 있다. 솔레노이드 밸브(SV2)의 NC 포트는 노즐(443)에 연통되고, NO 포트는 솔레노이드 밸브(SV3)의 NC 포트에 연통되어 있다. 솔레노이드 밸브(SV3)의 C 포트는 공기압원(452)에 연통되고, NO 포트는 차단되어 있다.The NC port of the solenoid valve SV1 communicates with the vacuum pressure source 451, the NO port communicates with the atmosphere, and the C port communicates with the C port of the solenoid valve SV2. The NC port of the solenoid valve SV2 communicates with the nozzle 443, and the NO port communicates with the NC port of the solenoid valve SV3. The C port of the solenoid valve SV3 communicates with the air pressure source 452, and the NO port is blocked.

진공압원(451)을 진공 흡인하여 공기압원(452)으로 고압 공기를 공급하고, 도 17과 같이, 솔레노이드 밸브(SV1, SV2, SV3)가 NC 포트 측이면 흡착 패드(444)의 시트(444a)는 공간(446)을 가압함으로써 위치 맞춤 플레이트(13B) 측에 가압되는 동시에 시트(444a) 내측의 공간(448)은 부압이 되기 때문에 흡착 패드(444)의 밀착이 신속하게 행해진다.The vacuum pressure source 451 is vacuum suctioned to supply high pressure air to the air pressure source 452. As shown in FIG. 17, when the solenoid valves SV1, SV2, and SV3 are on the NC port side, the seat 444a of the suction pad 444. Is pressed against the positioning plate 13B side by pressing the space 446, and the space 448 inside the sheet 444a becomes underpressure, so that the suction pad 444 is quickly brought into close contact.

한편, 솔레노이드 밸브(SV1)를 NO 포트 측으로 전환하여 먼저 공간(448)을 대기에 개방하고, 이어서 솔레노이드 밸브(SV2, SV3)를 NO 포트 측으로 전환하여 공간(446)을 대기에 개방하고, 또한 솔레노이드 밸브(SV1)를 NC 포트 측으로 전환하면 공간(446)이 흡인되어 흡착 패드(444)의 개방을 신속하게 행할 수 있다.On the other hand, the solenoid valve SV1 is switched to the NO port side to first open the space 448 to the atmosphere, and then the solenoid valves SV2 and SV3 are switched to the NO port side to open the space 446 to the atmosphere, and the solenoid When the valve SV1 is switched to the NC port side, the space 446 is sucked and the suction pad 444 can be opened quickly.

제3 실시예에 의하면, 위치 맞춤 플레이트(13B)의 밀착 및 개방을 신속하게 행할 수 있다는 효과가 있다. 또한, 개방의 경우에는 시트(444a)가 위치 맞춤 플레이트(13B)로부터 멀어지기 때문에 위치 맞춤 플레이트(13B)의 동작을 원활하게 행할 수 있다.According to the third embodiment, there is an effect that adhesion and opening of the positioning plate 13B can be performed quickly. In addition, in the case of opening, since the sheet 444a moves away from the positioning plate 13B, the operation of the positioning plate 13B can be performed smoothly.

(제4 실시예)(Example 4)

도 18은 제4 실시예에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 결정 부재를 도시한 도면이다.It is a figure which shows the positioning member of the lid | cover detaching apparatus of the conveyance container which concerns on 4th Example.

도 18(c)는 종래의 방식이지만, 위치 결정 핀(14a)과 핀 구멍(204a)의 어긋남 δ0 = 1∼1.5mm 이상이 되면, 반송 용기(200) 측 핀 구멍(204a)의 테이퍼(204t)에도 의하지만, 위치 결정 핀(14a)는 핀 구멍(204a)에 원활하게 들어가지 않게 될 우려가 있다.18 (c) is a conventional method, the taper 204t of the pin hole 204a on the transport container 200 side when the shift δ0 = 1 to 1.5 mm or more between the positioning pin 14a and the pin hole 204a. ), The positioning pin 14a may not enter the pin hole 204a smoothly.

제4 실시예의 위치 결정 부재(500)는 외통(501)과 내통(502)을 구비하고 있 다. 외통(501)은 원통형의 부재이며, 선단에 형성된 테이퍼(501a), 외측에 형성된 플랜지부(501b), 내측에 형성된 계단부(501c), 플랜지부(501b)의 후방에 설치된 나사부(501d) 등을 구비하고, 플랜지부(501b)에서 위치 맞춤 플레이트(13B)에 고정되어 있다.The positioning member 500 of the fourth embodiment includes an outer cylinder 501 and an inner cylinder 502. The outer cylinder 501 is a cylindrical member, the taper 501a formed at the front end, the flange part 501b formed at the outer side, the step part 501c formed at the inner side, the screw part 501d provided at the rear of the flange part 501b, etc. And fixed to the positioning plate 13B at the flange portion 501b.

내통(502)은 외통(501)의 내부에 삽입되는 원통형의 부재이며, 선단에 형성되고 외통(501)의 테이퍼(501a)와 같은 각도의 테이퍼(502a)와 후단의 외측에 형성된 플랜지부(502b)를 구비하고, 플랜지부(502b)가 계단부(501c)에 결합하여 돌출 위치를 소정의 길이로 규제하고 있다.The inner cylinder 502 is a cylindrical member inserted into the outer cylinder 501, and is formed at the front end and a flange portion 502b formed at the outside of the rear end and the taper 502a at the same angle as the taper 501a of the outer cylinder 501. ), The flange portion 502b engages with the step portion 501c and restricts the protruding position to a predetermined length.

스프링(503)은 내통(502)의 내측에 삽입되어 있고 내통(502)을 돌출 방향으로 가압하고 있다. 캡 너트(504)는 외통(501)의 나사부(501d)에 삽입되어 외통(501)을 위치 맞춤 플레이트(13B)에 고정하는 동시에 스프링(503) 후단의 위치를 규제하고 있다.The spring 503 is inserted inside the inner cylinder 502 and presses the inner cylinder 502 in the protruding direction. The cap nut 504 is inserted into the threaded portion 501d of the outer cylinder 501 to fix the outer cylinder 501 to the positioning plate 13B, and restricts the position of the rear end of the spring 503.

도 18(a)에 도시한 바와 같이, 외통(501)과 내통(502)은 같은 각도로서 종래보다 예각이며, 또한 종래보다 긴 테이퍼(501a, 502a)를 구비하고 있기 때문에 어긋남이 δ1 = 3.0∼3.5mm 정도이어도 원활하게 연결할 수 있다.As shown in Fig. 18A, the outer cylinder 501 and the inner cylinder 502 have the same angle and are acute as compared with the prior art, and are provided with longer tapers 501a and 502a than before. Even 3.5mm can be connected smoothly.

또, 도 18(b)에 도시한 바와 같이, 연결 종료 후에 내통(502)이 스프링(503)의 가압력에 저항하여 후퇴하기 때문에, 종래의 반송 용기(200)의 핀 구멍(204a)과 같은 깊이(L=11mm)일 수 있다.In addition, as shown in Fig. 18B, since the inner cylinder 502 retreats after the end of the connection in response to the pressing force of the spring 503, the depth is the same as that of the pin hole 204a of the conventional transport container 200. (L = 11 mm).

(제5 실시예)(Example 5)

도 19는 제5 실시예에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 테이블의 위치 결 정 부재를 도시한 도면이다.It is a figure which shows the positioning member of the table of the lid | cover detaching apparatus of the conveyance container which concerns on 5th Example.

테이블(15)(도 21의 테이블(105) 참조)의 위치 결정 핀(15a∼15c)은 도 19(b)에 나타낸 바와 같이 배치되어 있다. 이로 인해 테이블(15)이 화살표 M의 방향으로 전진하면 V자 홈(205c)은 진행 방향과 평행하기 때문에, 특히 여분의 힘은 발생하지 않지만 V자 홈(205a, 205c)은 반송 용기(200)를 화살표 N(N1)의 방향으로 밀어 올리고자 하는 힘이 발생한다.The positioning pins 15a to 15c of the table 15 (see the table 105 in Fig. 21) are arranged as shown in Fig. 19B. Because of this, when the table 15 is advanced in the direction of the arrow M, the V-shaped grooves 205c are parallel to the advancing direction, so no extra force is generated in particular, but the V-shaped grooves 205a and 205c have the conveyance container 200. The force to push up in the direction of arrow N (N1) is generated.

그 결과로서, 도 19(d)에 도시한 바와 같이, 반송 용기(200)에는 위치 결정 핀(15c)을 중심으로 하여 화살표 P(P1)의 방향으로 회전력이 발생한다. 이로 인하여 반송 용기(200)는 선단 상부가 칸막이 판(11)으로부터 분리되어 밀봉 불량 등을 일으킬 가능성이 있었다.As a result, as shown in FIG.19 (d), the rotational force generate | occur | produces in the conveyance container 200 in the direction of arrow P (P1) centering on the positioning pin 15c. For this reason, in the conveyance container 200, the upper end part was isolate | separated from the partition plate 11, and there existed a possibility that sealing defects may arise.

제5 실시예의 반송 용기(600)는 그 하면에 형성된 V자 홈(605a)(605b, 605c)에 수직 고정면(605a-1)(605b-1, 605c-1)을 형성함으로써 위치 결정 핀(15a)(15b, 15c)의 수직 고정면(15a-1)(15b-1, 15c-1)과 접할 수 있으므로(결합 자세 교정 수단), 수평 방향의 힘으로 눌러도 반송 용기(600)를 밀어 올리는 힘이 발생하지 않는다.The conveying container 600 of the fifth embodiment forms the positioning pins (vertical fixing surfaces 605a-1, 605b-1, 605c-1 in the V-shaped grooves 605a, 605b, 605c formed on the bottom surface thereof). 15a) (15b-1, 15c-1) can be in contact with the vertical fixing surfaces 15a-1 (15b-1, 15c-1), so that the conveyance container 600 is pushed up even when pressed by a horizontal force. No force is generated

(제6 실시예)(Example 6)

도 20은 제6 실시예에 의한 반송 용기의 덮개 착탈 장치의 위치 결정 부재를 도시한 도면이다.It is a figure which shows the positioning member of the lid | cover detaching apparatus of the conveyance container which concerns on 6th Example.

제5 실시예는 현재 이미 사용되고 있는 반송 용기(200)에 대해서는 대응할 수 없고, 변경을 하는 경우에도 유형의 수정 등을 하여야 했다. 이로 인하여 제6 실시예에서는 반송 용기(200)의 연결 위치를 교정하는 결합 자세 교정 기구(700)가 설치되어 있다.The fifth embodiment cannot cope with the conveyance container 200 which is already used at present, and had to correct the type even when making a change. For this reason, in the 6th Example, the engagement attitude correction mechanism 700 which corrects the connection position of the conveyance container 200 is provided.

이 결합 위치 교정 기구(700)는 반송 용기(200)의 덮개 프레임(207)에 연결하는 도어 프레임(16)의 상부 및 측부에 형성되어 있으며 덮개 프레임(207)에 접하는 베어링 등의 회전체(701), 회전체(701)가 좌측단에 회전가능하게 설치되고 오른쪽 상단의 축(702a)에서 스스로 회전가능하게 지지된 가동판(702), 고정판(703)에 가동판(702)을 스프링(704)을 사이에 끼고 항상 회전체(701)가 덮개 프레임(207)을 가압하도록 연결하는 동시에 가동판(702)의 반시계 방향(화살표 Q)의 회전 위치를 규제하는 연결 부재(705), 고정판(703)에 설치되고 가동판(702)의 시계 방향(화살표 R)의 회전 위치를 규제하는 규제 부재(706) 등을 구비하고 있다.The engagement position correcting mechanism 700 is formed on the upper and side portions of the door frame 16 connected to the cover frame 207 of the transport container 200, and a rotating body 701 such as a bearing in contact with the cover frame 207. Spring 704 on the movable plate 702 and the fixed plate 703, the rotating body 701 is rotatably installed at the left end and rotatably supported by the shaft 702a at the upper right. Connection member 705 and fixing plate which connect the rotary body 701 to press the cover frame 207 at all times and regulate the rotational position of the movable plate 702 in the counterclockwise direction (arrow Q). It is provided in the 703, and the regulation member 706 etc. which regulate the rotation position of the clockwise direction (arrow R) of the movable plate 702 are provided.

회전체(701)는 그 회전에 의해 테이블(15)의 이동 방향(화살표 M)으로 자유롭게 이동할 수 있는 동시에, 가동판(702)의 회전에 의해 이동 방향(화살표 M)과 직각 방향으로 자유롭게 이동할 수 있다. 그리고 회전체(701)는 스프링(704)에 의해 항상 반송 용기(200)를 누르도록 배치되어 있다. 또 회전체(701)는 가동판(702)을 사이에 두고 연결 부재(705)에 의한 최소 압출(push-out) 위치와 규제 부재(706)에 의한 최대 압출 위치로 가동 범위가 규제되어 있다.The rotating body 701 can freely move in the moving direction (arrow M) of the table 15 by its rotation, and can move freely in the direction perpendicular to the moving direction (arrow M) by the rotation of the movable plate 702. have. And the rotating body 701 is arrange | positioned so that the conveyance container 200 may always be pressed by the spring 704. As shown in FIG. Moreover, the movable range is restrict | limited to the minimum push-out position by the connecting member 705 and the maximum extrusion position by the restricting member 706 with the movable plate 702 interposed.

따라서 반송 용기(200)는 결합 위치에 있어서, 상부 및 측부를 누를 수 있어 결합 자세를 허용 가능한 정규의 자세로 유지할 수 있다.Therefore, the conveyance container 200 can press an upper part and a side part in an engagement position, and can maintain an engagement posture in an allowable normal posture.

(변형예)(Variation)

이상 설명한 실시예에 한정되지 않고, 여러 가지 변형이나 변경이 가능하고, 이들 또한 본 발명의 동등한 범위 내이다.It is not limited to the Example demonstrated above, A various deformation | transformation and a change are possible, These are also in the equivalent range of this invention.

예를 들면, 도 7에 나타낸 덮개 고정 수단은 신축 부재(63)를 이용한 것을 예로 들어 설명했지만, 위치 결정 핀(14a)(14b)에 분할부를 설치하고 위치 결정 핀(14a)(14b)의 직경을 기계적으로 변화시켜 핀 구멍과의 위치 고정을 하도록 할 수도 있다.For example, although the lid | cover fixing means shown in FIG. 7 was demonstrated using the elastic member 63 as an example, the division part was provided in the positioning pin 14a, 14b, and the positioning pin 14a, 14b of the The diameter may be changed mechanically to fix the position with the pin hole.

본 발명에 의해, 여러 제조자의 여러 가지 반송 용기에 대하여, 모두 덮개 부재를 개폐할 수 있고, 또한 그 여러 제조자의 여러 가지 반송 용기에 대하여 사용 조건(온도, 습도, 사용 조건)이 변화되어도 정상 동작할 수 있는 허용 변형 오차를 만족시켜, 어떠한 사용 조건이더라도 반송 용기가 어느 부재에도 충돌하지 않고 착탈할 수 있는 반송 용기의 덮개 착탈 장치가 제공된다.According to the present invention, the lid member can be opened and closed with respect to various transport containers of various manufacturers, and the normal operation even if the use conditions (temperature, humidity, use conditions) are changed for the various transport containers of the various manufacturers. The cover detachable apparatus of the conveyance container which satisfies the allowable deformation | transformation error which can be made and which can be attached or detached even if a conveyance container does not collide with any member in any use condition is provided.

Claims (22)

삭제delete 내부가 고청정도로 유지된 반송 용기의 개구부의 덮개 부재를 고청정도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 맞물리게 하여, 상기 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고청정도를 유지한 채로 상기 덮개 부재를 착탈하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서,The cover member of the opening of the conveyance container of which the inside was kept at high cleanness is engaged with the door member of the opening of the room kept at the high cleanness, and the periphery of both openings is brought into close contact with the cover member to be detached while maintaining high cleanness. In the lid detachable device of the transport container, 상기 덮개 부재의 위치를 결정하는 위치 결정 부재;A positioning member for determining a position of the lid member; 상기 위치 결정 부재의 위치를 미세 조정하는 미세 조정 기구; 및A fine adjustment mechanism for finely adjusting the position of the positioning member; And 상기 위치 결정 부재에 의해서 맞물린 상기 덮개 부재의 위치를 유지하는 위치 유지 기구;를 구비하고,And a position holding mechanism for holding the position of the lid member engaged by the positioning member. 상기 도어 부재는 베이스 플레이트 및 그 베이스 플레이트에 대하여 면 방향으로 이동 가능한 위치 맞춤 플레이트를 구비하고,The door member has a base plate and a positioning plate movable in a plane direction with respect to the base plate, 상기 위치 결정 부재는 상기 위치 맞춤 플레이트에 설치되고,The positioning member is installed on the positioning plate, 상기 미세 조정 기구는 상기 베이스 플레이트에 설치되어 상기 위치 맞춤 플레이트를 면 방향으로 이동 가능하게 지지하고,The fine adjustment mechanism is installed on the base plate to support the positioning plate to be movable in the plane direction, 상기 위치 유지 기구는 상기 베이스 플레이트에 설치되어 상기 위치 맞춤 플레이트의 위치를 유지하는, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.The said position holding mechanism is attached to the said base plate, and the cover detachable apparatus of a conveyance container which maintains the position of the said positioning plate. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 위치 맞춤 플레이트를 중앙 위치로 복귀시키는 센터링 기구를 구비하는, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.A lid removal and detachment device for a transfer container, comprising a centering mechanism for returning the positioning plate to a center position. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 위치 맞춤 플레이트에 설치되어 그 축 주위로 회전하고 상기 덮개 부재에 맞물려 잠금 또는 해제하는 잠금 부재를 추가로 구비하고,And further provided with a locking member mounted to the positioning plate to rotate about its axis and engage or lock with or engage the lid member, 상기 베이스 플레이트 측에 설치되어 상기 잠금 부재를 회전 구동하는 잠금 부재 구동 수단과, 상기 베이스 플레이트와 상기 위치 맞춤 플레이트의 면 방향으로의 어긋남을 허용하여 상기 잠금 부재 구동 수단의 회전력을 상기 잠금 부재에 전달하는 편심 전달 기구를 구비하는, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.Locking member driving means installed on the base plate side to rotationally drive the locking member, and allows the shifting of the base plate and the positioning plate in the surface direction to transfer the rotational force of the locking member driving means to the locking member. The cover detachment apparatus of the conveyance container provided with the eccentric transmission mechanism. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 4, 상기 위치 유지 기구는 상기 잠금 부재가 상기 덮개 부재를 잠그기 전에 상기 위치 맞춤 플레이트의 유지를 해제하고, 상기 잠금 부재가 상기 덮개 부재를 잠근 후에 상기 위치 맞춤 플레이트를 유지하는, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.And the positioning mechanism releases the holding of the positioning plate before the locking member locks the lid member and holds the positioning plate after the locking member locks the lid member. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 4, 상기 잠금 부재는 상기 덮개 부재가 상기 반송 용기의 개구부에 삽입되는 삽입 동작의 초기 단계에서 잠금을 해제하는, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.And the locking member releases the lock in the initial stage of the inserting operation in which the lid member is inserted into the opening of the transport container. 내부가 고청정도로 유지된 반송 용기의 개구부의 덮개 부재를 고청정도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 맞물리게 하여, 상기 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고청정도를 유지한 채로 상기 덮개 부재를 착탈하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서,The cover member of the opening of the conveyance container of which the inside was kept at high cleanness is engaged with the door member of the opening of the room kept at the high cleanness, and the periphery of both openings is brought into close contact with the cover member to be detached while maintaining high cleanness. In the lid detachable device of the transport container, 상기 덮개 부재에 맞물려 잠그는 잠금 부재와, 상기 잠금 부재를 상기 도어 부재 측으로 잡아당겨 상기 덮개 부재를 상기 도어 부재에 고정하는 덮개 고정 수단을 구비하는, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.And a locking member for engaging and locking the lid member, and lid fixing means for pulling the locking member toward the door member to fix the lid member to the door member. 내부가 고청정도로 유지된 반송 용기의 개구부의 덮개 부재를 고청정도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 맞물리게 하여, 상기 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고청정도를 유지한 채로 상기 덮개 부재를 착탈하는 반송 용기의 덮개 착탈 장치에 있어서,The cover member of the opening of the conveyance container of which the inside was kept at high cleanness is engaged with the door member of the opening of the room kept at the high cleanness, and the periphery of both openings is brought into close contact with the cover member to be detached while maintaining high cleanness. In the lid detachable device of the transport container, 상기 덮개 부재의 피결합부에 결합하여 위치 결정을 하는 위치 결정 부재; 및A positioning member coupled to the engaged portion of the lid member for positioning; And 상기 위치 결정 부재의 외경을 변화시켜 상기 위치 결정 부재를 상기 덮개 부재의 피결합부에 위치 고정시키는 위치 고정 수단; 을 구비하는, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.Position fixing means for changing the outer diameter of the positioning member to fix the positioning member to the engaged portion of the lid member; Cover detachable device of conveyance container provided with. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 위치 고정 수단은 상기 위치 결정 부재의 외주에 설치되고 내부 압력의 증감에 의해 신축하는 신축 부재를 구비하는, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.The said position fixing means is a cover removal apparatus of the conveyance container provided with the elastic member which is installed in the outer periphery of the said positioning member, and expands and contracts by the increase and decrease of an internal pressure. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 위치 고정 수단은 상기 위치 결정 부재에 형성되고 기계적인 힘에 의해 그 직경을 변화시키는 분할부를 구비하는, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.The said position fixing means is a cover removal apparatus of the conveyance container provided with the division part formed in the said positioning member, and changing the diameter by a mechanical force. 제2항 내지 제4항 또는 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 4 or 8 to 10, 상기 위치 결정 부재는The positioning member 선단에 테이퍼를 가지는 외통;An outer cylinder having a taper at the tip; 상기 외통에 대하여 축방향으로 이동 가능하게 설치되고 선단에 상기 외통의 테이퍼와 각도가 일치하는 테이퍼를 가지며 돌출 시에 상기 양 테이퍼가 연속하도록 배치된 내통; 및 An inner cylinder installed movably in the axial direction with respect to the outer cylinder and having a taper at an end that coincides with the taper of the outer cylinder, and arranged such that both tapers are continuous when protruding; And 상기 내통을 돌출 방향으로 가압하는 가압 부재;를 구비하는, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.And a pressing member for pressing the inner cylinder in the protruding direction. 제2항 내지 제4항 또는 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 4 or 8 to 10, 상기 반송 용기의 연결 자세를 교정하는 연결 자세 교정 수단;Connection posture correcting means for correcting a connection posture of the conveying container; 상기 반송 용기를 탑재하여 상기 위치 결정 부재와의 결합 위치까지 반송하는 반송 테이블; 및A conveying table on which the conveying container is mounted and conveyed to a joining position with the positioning member; And 상기 반송 용기의 저면에 설치된 V자형 단면의 홈과 상기 반송 테이블 상에 설치되어 상기 V자형 단면의 홈에 결합하는 연결 핀을 포함하고 상기 반송 용기를 상기 반송 테이블에 고정하는 고정 수단;을 구비하고,And fixing means for fixing the conveying container to the conveying table, comprising a V-shaped groove formed on the bottom surface of the conveying container and a connecting pin provided on the conveying table to engage with the groove of the V-shaped cross section. , 상기 연결 자세 교정 수단은 상기 연결 핀과 상기 V자형 단면의 홈의 접촉 범위에 설치되고 상기 반송 테이블의 반송 방향과 직각인 고정면인, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.And said connecting posture correcting means is a fixing surface provided at a contact range between said connecting pin and said groove in said V-shaped cross section and is a fixed surface perpendicular to the conveying direction of said conveying table. 제2항 내지 제4항 또는 제7항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 4 or 7 to 10, 상기 반송 용기의 연결 자세를 교정하는 연결 자세 교정 수단을 구비하고,A connection posture correcting means for correcting a connection posture of the conveying container; 상기 연결 자세 교정 수단은 상기 도어 부재의 주변부에 설치되고 상기 반송 용기의 덮개 부재의 상부 또는 측부, 또는 상부 및 측부를 눌러 소정의 가동 범위 내에서 상기 반송 테이블의 반송 방향 및 이와 수직 방향으로 이동 가능한 누름 부재를 포함하는, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.The connection posture correcting means is provided at the periphery of the door member and is capable of moving in the conveying direction and vertical direction of the conveying table within a predetermined movable range by pressing the upper or side portions, or the upper and side portions of the lid member of the conveying container. The cover detachable apparatus of the conveyance container containing a pressing member. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 잠금 부재는 상기 덮개 부재가 상기 반송 용기의 개구부에 삽입되는 삽입 동작의 초기 단계에서 잠금을 해제하는, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.And the locking member releases the lock in the initial stage of the inserting operation in which the lid member is inserted into the opening of the transport container. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 위치 결정 부재는The positioning member 선단에 테이퍼를 가지는 외통;An outer cylinder having a taper at the tip; 상기 외통에 대하여 축방향으로 이동 가능하게 설치되고 선단에 상기 외통의 테이퍼와 각도가 일치하는 테이퍼를 가지며 돌출 시에 상기 양 테이퍼가 연속하도록 배치된 내통; 및 An inner cylinder installed movably in the axial direction with respect to the outer cylinder and having a taper at an end that coincides with the taper of the outer cylinder, and arranged such that both tapers are continuous when protruding; And 상기 내통을 돌출 방향으로 가압하는 가압 부재;를 구비하는, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.And a pressing member for pressing the inner cylinder in the protruding direction. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 위치 결정 부재는The positioning member 선단에 테이퍼를 가지는 외통;An outer cylinder having a taper at the tip; 상기 외통에 대하여 축방향으로 이동 가능하게 설치되고 선단에 상기 외통의 테이퍼와 각도가 일치하는 테이퍼를 가지며 돌출 시에 상기 양 테이퍼가 연속하도록 배치된 내통; 및 An inner cylinder installed movably in the axial direction with respect to the outer cylinder and having a taper at an end that coincides with the taper of the outer cylinder, and arranged such that both tapers are continuous when protruding; And 상기 내통을 돌출 방향으로 가압하는 가압 부재;를 구비하는, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.And a pressing member for pressing the inner cylinder in the protruding direction. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 반송 용기의 연결 자세를 교정하는 연결 자세 교정 수단;Connection posture correcting means for correcting a connection posture of the conveying container; 상기 반송 용기를 탑재하여 상기 위치 결정 부재와의 결합 위치까지 반송하는 반송 테이블; 및A conveying table on which the conveying container is mounted and conveyed to a joining position with the positioning member; And 상기 반송 용기의 저면에 설치된 V자형 단면의 홈과 상기 반송 테이블 상에 설치되어 상기 V자형 단면의 홈에 결합하는 연결 핀을 포함하고 상기 반송 용기를 상기 반송 테이블에 고정하는 고정 수단;을 구비하고,And fixing means for fixing the conveying container to the conveying table, comprising a V-shaped groove formed on the bottom surface of the conveying container and a connecting pin provided on the conveying table to engage with the groove of the V-shaped cross section. , 상기 연결 자세 교정 수단은 상기 연결 핀과 상기 V자형 단면의 홈의 접촉 범위에 설치되고 상기 반송 테이블의 반송 방향과 직각인 고정면인, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.And said connecting posture correcting means is a fixing surface provided at a contact range between said connecting pin and said groove in said V-shaped cross section and is a fixed surface perpendicular to the conveying direction of said conveying table. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 반송 용기의 연결 자세를 교정하는 연결 자세 교정 수단;Connection posture correcting means for correcting a connection posture of the conveying container; 상기 반송 용기를 탑재하여 상기 위치 결정 부재와의 결합 위치까지 반송하는 반송 테이블; 및A conveying table on which the conveying container is mounted and conveyed to a joining position with the positioning member; And 상기 반송 용기의 저면에 설치된 V자형 단면의 홈과 상기 반송 테이블 상에 설치되어 상기 V자형 단면의 홈에 결합하는 연결 핀을 포함하고 상기 반송 용기를 상기 반송 테이블에 고정하는 고정 수단;을 구비하고,And fixing means for fixing the conveying container to the conveying table, comprising a V-shaped groove formed on the bottom surface of the conveying container and a connecting pin provided on the conveying table to engage with the groove of the V-shaped cross section. , 상기 연결 자세 교정 수단은 상기 연결 핀과 상기 V자형 단면의 홈의 접촉 범위에 설치되고 상기 반송 테이블의 반송 방향과 직각인 고정면인, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.And said connecting posture correcting means is a fixing surface provided at a contact range between said connecting pin and said groove in said V-shaped cross section and is a fixed surface perpendicular to the conveying direction of said conveying table. 제11항에 있어서,The method of claim 11, 상기 반송 용기의 연결 자세를 교정하는 연결 자세 교정 수단;Connection posture correcting means for correcting a connection posture of the conveying container; 상기 반송 용기를 탑재하여 상기 위치 결정 부재와의 결합 위치까지 반송하는 반송 테이블; 및A conveying table on which the conveying container is mounted and conveyed to a joining position with the positioning member; And 상기 반송 용기의 저면에 설치된 V자형 단면의 홈과 상기 반송 테이블 상에 설치되어 상기 V자형 단면의 홈에 결합하는 연결 핀을 포함하고 상기 반송 용기를 상기 반송 테이블에 고정하는 고정 수단;을 구비하고,And fixing means for fixing the conveying container to the conveying table, comprising a V-shaped groove formed on the bottom surface of the conveying container and a connecting pin provided on the conveying table to engage with the groove of the V-shaped cross section. , 상기 연결 자세 교정 수단은 상기 연결 핀과 상기 V자형 단면의 홈의 접촉 범위에 설치되고 상기 반송 테이블의 반송 방향과 직각인 고정면인, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.And said connecting posture correcting means is a fixing surface provided at a contact range between said connecting pin and said groove in said V-shaped cross section and is a fixed surface perpendicular to the conveying direction of said conveying table. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 반송 용기의 연결 자세를 교정하는 연결 자세 교정 수단을 구비하고,A connection posture correcting means for correcting a connection posture of the conveying container; 상기 연결 자세 교정 수단은 상기 도어 부재의 주변부에 설치되고 상기 반송 용기의 덮개 부재의 상부 또는 측부, 또는 상부 및 측부를 눌러 소정의 가동 범위 내에서 상기 반송 테이블의 반송 방향 및 이와 수직 방향으로 이동 가능한 누름 부재를 포함하는, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.The connection posture correcting means is provided at the periphery of the door member and is capable of moving in the conveying direction and vertical direction of the conveying table within a predetermined movable range by pressing the upper or side portions, or the upper and side portions of the lid member of the conveying container. The cover detachable apparatus of the conveyance container containing a pressing member. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 반송 용기의 연결 자세를 교정하는 연결 자세 교정 수단을 구비하고,A connection posture correcting means for correcting a connection posture of the conveying container; 상기 연결 자세 교정 수단은 상기 도어 부재의 주변부에 설치되고 상기 반송 용기의 덮개 부재의 상부 또는 측부, 또는 상부 및 측부를 눌러 소정의 가동 범위 내에서 상기 반송 테이블의 반송 방향 및 이와 수직 방향으로 이동 가능한 누름 부재를 포함하는, 반송 용기의 덮개 착탈 장치.The connection posture correcting means is provided at the periphery of the door member and is capable of moving in the conveying direction and vertical direction of the conveying table within a predetermined movable range by pressing the upper or side portions, or the upper and side portions of the lid member of the conveying container. 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