KR100855748B1 - Regulation valve - Google Patents
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Abstract
본 발명은 관구경 조절밸브에 관한 것으로 본 발명에 따른 관구경 조절밸브는, 측면에 압축공기 유입부(44)가 형성된 실린더(40);와 상기 실린더(40)의 외주면에 나사 결합되는 조정노브(30);와 상기 압축공기 유입부(44)로 주입되는 압력의 변화와 상기 조정노브(30)의 조작에 의해 상기 실린더(40)의 내부에서 왕복운동하는 피스톤(41);과 상기 실린더(40) 내부에서 상기 피스톤(41)을 탄지하는 스프링(42) 및 상기 실린더(40)에 연결되고 유체가 유출입되는 보조유체관(70)에 일부 또는 전부 삽입되어 상기 보조유체관(70)의 일부 또는 전부를 개폐하는 삽입단부(21)가 일단에 구비된 구동축(20);을 포함하는 관구경 조절밸브에 있어서, 상기 피스톤(41)의 왕복운동을 제어하는 원통형상의 스톱퍼(43);와 상기 조정노브(30)의 중심부로부터 상기 스톱퍼(43)와 피스톤(41) 및 실린더(40)를 관통하여 상기 구동축(20)의 타단까지 연장형성된 중공부(50);와 상기 중공부(50)로 삽입되어 상기 구동축(20)의 타단과 나사결합되는 볼트(60);를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a tube diameter control valve according to the present invention, the tube diameter control valve, the cylinder 40 having a compressed air inlet 44 is formed on the side; and the adjustment knob screwed to the outer peripheral surface of the cylinder 40 And a piston 41 reciprocating in the cylinder 40 by the change of the pressure injected into the compressed air inlet 44 and the operation of the adjusting knob 30; and the cylinder (30). 40 is partially or fully inserted into the spring 42 supporting the piston 41 and the auxiliary fluid pipe 70 connected to the cylinder 40 and into which the fluid flows in and out of the part, and thus a part of the auxiliary fluid pipe 70. Or a driving shaft 20 having one end of the insertion end portion 21 opening and closing the opening and closing portion thereof; a cylindrical stopper 43 for controlling the reciprocating movement of the piston 41; and the From the center of the adjusting knob 30, the stopper 43 and the piston 41 and A hollow part 50 extending through the lining 40 to the other end of the drive shaft 20; and a bolt 60 inserted into the hollow part 50 and screwed to the other end of the drive shaft 20; It is characterized by including.
상기와 같은 본 발명에 따른 유량조절밸브에 의하면, 조정노브의 중심부로부터 피스톤을 관통하여 구동축의 타단까지 형성된 중공부가 형성되어 상기 구동축의 교체작업시 교체시간이 단축될 뿐만 아니라, 교체작업 또한 간단히 할 수 있어 숙련도가 떨어지는 작업자도 손쉽게 교체할 수 있는 장점이 있다.According to the flow control valve according to the present invention, a hollow portion formed through the piston from the center of the adjustment knob to the other end of the drive shaft is formed to not only shorten the replacement time during the replacement operation of the drive shaft, but also simplify the replacement operation. It can be easily replaced even if the skilled worker can be replaced.
챔버, 유량조절밸브 Chamber, Flow Control Valve
Description
도 1은 종래기술에 따른 관구경 조절밸브의 분해단면도,1 is an exploded cross-sectional view of a tube diameter control valve according to the prior art,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 관구경 조절밸브가 유량조절밸브에 장착된 장착단면도,Figure 2 is a sectional view of the tube diameter control valve mounted on the flow control valve according to a preferred embodiment of the present invention,
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 관구경 조절밸브의 분해 단면도,3 is an exploded cross-sectional view of a tube diameter control valve according to a preferred embodiment of the present invention;
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 관구경 조절밸브의 합체 단면도이다.Figure 4 is a sectional view of the union of the tube diameter control valve according to a preferred embodiment of the present invention.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
10-관구경 조절밸브10-pipe size control valve
20-구동축 21-삽입단부20-drive shaft 21-insertion end
30-조정노브30-adjustment knob
40-실린더 41-피스톤40-cylinder 41-piston
42-스프링 43-스톱퍼42-spring 43-stopper
44-압축공기 유입부44-Compressed Air Inlet
50-중공부50-Hollow Department
60-볼트60-volt
70-보조유체관70-Secondary Fluid Pipe
본 발명은 유량조절밸브에 관한 것으로서, 더 상세하게는 조정노브의 중심부로부터 피스톤을 관통하여 구동축의 일단까지 형성된 중공부가 형성되어 상기 구동축의 교체작업시 교체시간이 단축될 뿐만 아니라, 교체작업 또한 간단히 할 수 있어 숙련도가 떨어지는 작업자도 손쉽게 교체할 수 있는 관구경 조절밸브에 관한 것이다.The present invention relates to a flow control valve, and more particularly, a hollow portion formed through the piston from the center of the adjustment knob to one end of the driving shaft is formed, which not only shortens the replacement time during the replacement operation of the driving shaft, but also makes the replacement operation simple. It relates to a tube diameter control valve that can be easily replaced even by less skilled workers.
일반적으로 반도체는 고정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다. 이러한 이유로 반도체 소자는 공기중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조된다. 따라서 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.In general, since semiconductors require high precision, high cleanliness and special manufacturing techniques are required. For this reason, the semiconductor device is manufactured in a vacuum state that can completely block the contact of foreign matter contained in the air. Therefore, the vacuum working area of the semiconductor manufacturing apparatus and the airtight technology also have a great influence on the quality of semiconductor products.
따라서, 반도체 제조종정에는 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버와 이 챔버내의 공기를 흡입하는 진공펌프와의 사이에 설치되어 진공펌프의 흡입력이 챔버로 전달되는 것을 개폐하는 유량조절밸브가 중요한 역할을 한다.Therefore, in the semiconductor manufacturing termination, a flow control valve is installed between the chamber in which the semiconductor device integration process is performed and the vacuum pump that sucks air in the chamber, thereby opening and closing the flow of suction power of the vacuum pump to the chamber. .
본 출원인은 특허출원 10-2005-0009687호(발명의 명칭:유량조절밸브)를 통하 여 보조유체통로의 구조를 개선하여 밸브의 청소를 용이하게 하고, 다양한 용량을 가지는 챔버에 다양하게 적용될 수 있는 유량조절밸브를 출원하였다.The present applicant improves the structure of the auxiliary fluid passage through the patent application 10-2005-0009687 (name: flow control valve) to facilitate the cleaning of the valve, it can be applied to various chambers having various capacities Filed flow control valve.
도 1을 참조하면, 종래기술에 따른 관구경 조절밸브의 분해단면도가 되어 있는데, 이 출원의 유량조절밸브의 관구경 조절밸브는 조정노브(30)를 좌측 또는 우측으로 회전시켜 챔버내의 유체를 단속하는 장치로서, 측면에 압축공기 유입부(44)가 형성된 실린더(40)와 상기 실린더(40)의 외측단부에서 나사 결합되는 조정노브(30)와 상기 압축공기 유입부(44)로 주입되는 압력의 변화에 의해 상기 실린더 내부에서 왕복운동하는 피스톤(41)과 상기 실린더(40) 내부에서 상기 피스톤(41)을 탄지하는 스프링(42) 및 상기 피스톤(41)에 연결되고 유체가 유출입되는 보조유체관의 일부 또는 전부가 삽입되어 상기 보조유체관의 일부 또는 전부를 개폐하는 삽입단부(21)가 구비되어 있다.Referring to Figure 1, there is an exploded cross-sectional view of a pipe diameter control valve according to the prior art, the pipe diameter control valve of the flow control valve of the present application is to control the fluid in the chamber by rotating the
상기와 같은 관구경 조절밸브(10)의 삽입단부(21)는 챔버내의 유체를 단속하는데, 반복적인 왕복운동에 따른 마모와 유량조절밸브 내부의 압력 등의 외적요인에 의해서 구동축(20)을 교체해야 한다. 그러나, 상기 관구경 조절밸브(10)의 구동축(20)을 교체하려면 먼저, 조정노브(30)를 제거한 후 내측에 위치한 스프링(42)과 피스톤(41)을 제거해야만 상기 구동축(20)을 교체할 수 있도록 형성되어 있다.
이에 따라, 종래의 관구경 조절밸브의 삽입단부의 교체시에는 조정노브, 스프링, 피스톤을 반드시 해체해야 하므로, 교체시간이 증가할 뿐만 아니라 숙련도가 떨어지는 작업자가 작업을 하면 보조유량밸브의 파손이 우려되었다.Accordingly, the adjustment knob, the spring, and the piston must be dismantled when replacing the insertion end of the conventional tube diameter control valve, which increases the replacement time and may cause damage to the auxiliary flow valve when an inexperienced worker works. It became.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 조정노브의 중심부로부터 피스톤을 관통하여 구동축의 타단까지 형성된 중공부가 형성되어 상기 구동축의 교체작업시 교체시간이 단축될 뿐만 아니라, 교체작업 또한 간단히 할 수 있어 숙련도가 떨어지는 작업자도 손쉽게 교체할 수 있는 관구경 조절밸브를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to form a hollow formed through the piston from the center of the adjustment knob to the other end of the drive shaft is not only shortened the replacement time during the replacement operation of the drive shaft, The replacement operation can also be simplified to provide a tube diameter control valve that can be easily replaced even by a less skilled worker.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 본 발명에 따른 관구경 조절밸브는, 측면에 압축공기 유입부(44)가 형성된 실린더(40);와 상기 실린더(40)의 외주면에 나사 결합되는 조정노브(30);와 상기 압축공기 유입부(44)로 주입되는 압력의 변화와 상기 조정노브(30)의 조작에 의해 상기 실린더(40)의 내부에서 왕복운동하는 피스톤(41);과 상기 실린더(40) 내부에서 상기 피스톤(41)을 탄지하는 스프링(42) 및 상기 실린더(40)에 연결되고 유체가 유출입되는 보조유체관(70)에 일부 또는 전부 삽입되어 상기 보조유체관(70)의 일부 또는 전부를 개폐하는 삽입단부(21)가 일단에 구비된 구동축(20);을 포함하는 관구경 조절밸브에 있어서, 상기 피스톤(41)의 왕복운동을 제어하는 원통형상의 스톱퍼(43);와 상기 조정노브(30)의 중심부로부터 상기 스톱퍼(43)와 피스톤(41) 및 실린더(40)를 관통하여 상기 구동축(20)의 타단까지 연장형성된 중공부(50);와 상기 중공부(50)로 삽입되어 상기 구동축(20)의 타단과 나사결합되는 볼트(60);를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the tube diameter control valve according to the present invention includes a
삭제delete
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한 다. 각 도면에 제시된 동일한 부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 관구경 조절밸브가 유량조절밸브에 장착된 단면도가 도시되어 있고, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 관구경 조절밸브의 분해 단면도가 도시되어 있으며, 도 4은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 관구경 조절밸브의 결합 단면도가 도시되어 있는데, 관구경 조절밸브(10)는 구동축(20), 조정노브(30), 실린더(40), 피스톤(41), 스프링(42), 스톱퍼(43), 중공부(50), 볼트(60)가 포함되고, 압축공기 유입부(44), 보조유체관(70), 삽입단부(21)가 포함될 수 있다.2 is a cross-sectional view showing a pipe diameter control valve according to a preferred embodiment of the present invention mounted on the flow control valve, Figure 3 is an exploded cross-sectional view of the pipe diameter control valve according to a preferred embodiment of the present invention 4 is a cross-sectional view of a combined diameter adjusting valve according to a preferred embodiment of the present invention, the
상기 구동축(20)은 도 2의 하단부에 도시된 부분확대도와 같이 일단에는 상기 삽입단부(21)가 형성되어 있는데, 후술할 조정노브(30)와 스프링(42)으로 상기 보조유체관(70)을 개폐한다. 또한, 상기 구동축(20)의 타단은 후술할 실린더(40)에는 볼트(60)를 매개로 결합된다.
상기 조정노브(30)는 원통형으로 형성되며, 내주면에는 나사산(미도시)이 형성되어 후술할 실린더(40)의 외주면에 나사결합된다. 상기와 같이 나사결합되어 상기 조정노브(30)를 좌측 혹은 우측으로 회전시키는 조작패턴에 따라 상기 조정노브(30)가 전진 또는 후진한다.
예컨대, 상기 조정노브(30)가 전진하게 되면, 실린더(40) 내부에 형성된 스프링(42)이 압축되면서 피스톤(41)을 가압하게 된다. 이에 따라, 상기 피스톤(41)이 구동축(20)을 밀면서 상기 구동축(20)의 일단에 형성된 삽입단부(21)는 보조유체관(70)을 닫게 된다.
또한, 상기 조정노브(30)가 후진하면 전진하는 패턴의 반대로 동작이 된다. 한편, 상기 조정노브(30)의 중심부에는 통공이 형성되어 상기 볼트(60)가 삽입 또는 인출가능하게 형성된다.The
The adjusting
For example, when the
In addition, when the
삭제delete
상기 실린더(40)는 측면에 상기 압축공기 유입부(44)가 형성되어 있으며, 외주면에는 상기 조정노브(30)의 내주면에 형성된 나사산(미도시)과 결합된다. 또한, 상기 실린더의 내측에는 후술할 피스톤(41), 스프링(42), 스톱퍼(43)가 형성된다.The
상기 피스톤(41)은 상기 실린더(40)의 내측에 형성되며, 중심부에는 볼트(60)가 관통되는 통공이 형성되어 있는데, 이러한 통공은 상기 구동축(20)의 타단과 나사결합되는 볼트(60)가 출입된다. 또한, 상기 실린더(40)의 압축공기 유입부(44)로부터 주입되는 압력의 변화에 따라 상기 실린더(40) 내부에서 왕복운동한다.The
상기 스프링(42)은 상기 실린더(40) 내측, 즉, 상기 피스톤(41)을 후면에서 탄지하며, 상기 조정노브(30)의 좌측 혹은 우측으로 회전시키는 조작패턴에 따라 탄성력이 증가하거나 혹은 감소한다. 이러한 탄성력의 증감에 따라 상기 구동축(20)의 일단에 형성된 삽입단부(21)는 전진 또는 후진하게 되는데, 이에 따라, 보조유체관(70)을 개폐하여 유량조절밸브 내부를 단속한다.The
상기 스톱퍼(43)는 상기 스프링(42)과 함께 실린더(40)의 내측에 형성됨과 동시에 상기 피스톤(41)을 탄지하는 역할을 한다. 또한, 상기 스톱퍼(43)는 원통형상으로 형성되는데, 내측에 중공이 형성되어 있어 상기 볼트(60)가 삽입 또는 인출 가능하도록 형성되어 있다.The
상기 중공부(50)는 상술한 상기 조정노브(30)의 중심부로부터 상기 스톱퍼(43)와 피스톤(41) 및 실린더(40)를 관통하여 상기 구동축(20)의 타단까지 연장형성된다. 이에 따라, 상기 조정노브(30)를 실린더(40)와 분리하지 않고, 상기 볼트(60)를 상기 조정노브(30)의 중심부의 통공으로부터 삽입하면, 상기 중공부(50)의 전면에 형성된 상기 구동축(20)의 타단과 직접 연결가능하게 되어 예컨대, 상기 중공부(50)의 길이보다 긴 드라이버로 상기 볼트(60)를 조여주면, 상기 구동축(20)이 상기 실린더(40)에 체결이 되며, 상기와 같이 체결된 상태에서 상기 볼트(60)를 풀면, 상기 구동축(20)과 실린더(40)가 해체가 된다.The
다음으로, 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 관구경 조절밸브의 정비방법의 순서도이다. 도 5를 도 2 내지 도 4와 함께 살펴보면, 관구경 조절밸브의 정비방법은 다음과 같다. 이에 대한 더 상세한 설명은 도 2 내지 도 4에 설명되었으므로 생략한다.Next, with reference to Figure 5 is a flow chart of the maintenance method of the tube diameter control valve according to a preferred embodiment of the present invention. Looking at Figure 5 with Figures 2 to 4, the maintenance method of the tube diameter control valve is as follows. A more detailed description thereof will be omitted since it has been described with reference to FIGS. 2 to 4.
먼저, 관구경 조절밸브(10)를 유량조절밸브로부터 분리한다.(S100)First, the tube
이후, 상기와 같이 분리된 관구경 조절밸브(10)의 조정노브(30)를 실린더(40)와 분해하지않고, 조정노브(30)의 외측에서부터 중공부(50)로 드라이버 등의 체결수단을 삽입하여 볼트(60)를 매개로 고정설치된 구동축(20)을 해체한다.(S200)Thereafter, the
이후, 상기와 같이 해체한 구동축(20)을 또 다른 구동축으로 교체한다.(S300)Thereafter, the disassembled
이후, 상기 조정노브(30)의 외측으로부터 상기 중공부(50)로 드라이버 등의 체결수단을 삽입하여 상기 교체된 또 다른 구동축을 볼트(60)를 매개로 고정설치한다.(S400)Thereafter, a fastening means such as a driver is inserted into the
이후, 상기와 같이 교체된 후, 상기 관구경 조절밸브(10)를 유량조절밸브에 결합한다.(S500)Then, after the replacement as described above, the pipe
도면과 명세서에서 최적의 실시예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.The best embodiments have been disclosed in the drawings and the specification. Although specific terms have been used herein, they are used only for the purpose of describing the present invention and are not intended to limit the scope of the present invention as defined in the claims or the claims. Therefore, those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible from this. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.
이상 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 조정노브의 중심부로부터 피스톤을 관통하여 구동축의 타단까지 형성된 중공부가 형성되어 상기 구동축의 교체작업시 교체시간이 단축될 뿐만 아니라, 교체작업 또한 간단히 할 수 있어 숙련도가 떨어지는 작업자도 손쉽게 교체할 수 있는 장점이 있다.As described above, according to the present invention, a hollow portion formed through the piston from the center of the adjustment knob to the other end of the drive shaft is formed, which not only shortens the replacement time during the replacement operation of the drive shaft, but also facilitates the replacement operation. Falling workers also have the advantage of easy replacement.
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AMND | Amendment | ||
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GRNT | Written decision to grant | ||
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