KR100852478B1 - Continuous ion exchange scrubber - Google Patents
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Abstract
본 발명은 연속식 이온교환 스크러버에 관한 것으로, 하우징과; 상기 하우징 내에 하나 이상의 층으로 설치되고, 각 층은 이온교환섬유를 포함하는 흡착부와; 상기 흡착부의 각 층 상부에 설치되고, 재생액 유입관에 연결되어, 상기 흡착부에 재생액을 공급하는 재생액 공급부; 상기 흡착부의 최하층보다 낮게 배치되는 하나 이상의 가스 유입구; 상기 흡착부의 최상층보다 높게 배치되는 하나 이상의 가스 배출구; 상기 하우징의 하부에 형성되어 사용된 재생액이 드레인되는 재생액 드레인 배관;을 포함하여 구성된다. 특히, 상기 재생액 공급부는 회전가능하게 재생액 유입관에 연결되어 흡착부에 재생액을 고르게 뿌려줄 수 있도록 형성된다. The present invention relates to a continuous ion exchange scrubber, comprising: a housing; An adsorption unit installed in the housing in one or more layers, each layer comprising ion exchange fibers; A regeneration solution supply unit installed above each layer of the adsorption unit and connected to a regeneration solution inlet pipe to supply a regeneration solution to the adsorption unit; One or more gas inlets disposed lower than the lowermost layer of the adsorption unit; At least one gas outlet disposed higher than the uppermost layer of the adsorption unit; And a regeneration liquid drain pipe formed at a lower portion of the housing to drain the used regeneration liquid. In particular, the regeneration solution supply unit is rotatably connected to the regeneration solution inlet tube so as to evenly spray the regeneration solution to the adsorption unit.
이와 같이 구성되는 연속식 이온교환 스크러버는 하나의 챔버 내에서 오염 가스의 흡착 처리와 이온교환섬유의 재생을 동시에 연속적으로 실행할 수 있어 오염 가스의 정화 처리 효율을 현저히 향상시킬 수 있는 장점이 있다. The continuous ion exchange scrubber configured as described above has the advantage that the adsorption treatment of the polluting gas and the regeneration of the ion exchange fiber can be carried out continuously at the same time in one chamber, thereby significantly improving the purification treatment efficiency of the polluting gas.
이온교환 스크러버, 이온교환섬유, 재생액 Ion exchange scrubber, ion exchange fiber, regeneration solution
Description
도 1은 본 발명에 따른 연속식 이온교환 스크러버의 단면도,1 is a cross-sectional view of a continuous ion exchange scrubber according to the present invention,
도 2는 도 1의 이온교환 스크러버의 흡착부의 확대사시도,2 is an enlarged perspective view of an adsorption unit of the ion exchange scrubber of FIG. 1;
도 3은 도 1의 이온교환 스크러버의 재생액 공급부의 측면도,3 is a side view of the regeneration liquid supply unit of the ion exchange scrubber of FIG.
도 4는 도 3의 재생액 공급부의 회전동작을 나타내는 평면도이다. 4 is a plan view illustrating a rotation operation of the regeneration liquid supply unit of FIG. 3.
[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명][Explanation of symbols on the main parts of the drawings]
11: 하우징 21: 가스 유입구11: housing 21: gas inlet
22: 가스 배출구 31: 재생액 드레인 배관22: gas outlet 31: regeneration liquid drain piping
40: 흡착부 42: 고정판40: adsorption part 42: fixed plate
43: 고정핀 51: 이온교환섬유43: fixing pin 51: ion exchange fiber
61: 재생액 유입관 71: 재생액 공급부61: regeneration solution inlet tube 71: regeneration solution supply unit
72a, 72b: 공급 막대 76a, 76b: 배출구72a, 72b:
77a, 77b: 조절 밸브 78a, 78b: 조절 개구77a, 77b: regulating
81: 기액 분리기81: gas-liquid separator
본 발명은 이온교환 스크러버에 관한 것으로, 더 구체적으로는 이온교환섬유에 의해 오염된 가스를 정화시키는 동시에 이온교환섬유에 재생액을 공급하여 재생함으로써 연속적으로 이온교환에 의한 흡착을 실행할 수 있는 연속식 이온교환 스크러버에 관한 것이다.The present invention relates to an ion exchange scrubber, and more particularly, a continuous type capable of performing adsorption by ion exchange continuously by purifying a gas contaminated by ion exchange fibers and supplying and regenerating a regeneration solution to ion exchange fibers. It relates to an ion exchange scrubber.
이온교환 스크러버는 이온교환섬유를 이용하여 반도체 제조 과정 등에서 발생하는 오염된 가스에서 산성 또는 염기성 유해 가스 성분이나 악취 성분 등을 제거하는 가스 정화 장치이다. The ion exchange scrubber is a gas purification device that removes acidic or basic harmful gas components or odor components from contaminated gases generated during semiconductor manufacturing processes using ion exchange fibers.
이온교환섬유는 방사선 조사를 이용하여 부직포에 라디칼을 형성시켜(그라프트 중합) 양이온 또는 음이온을 교환할 수 있도록 제조된 섬유상의 흡착제로서, 오염된 가스에서 오염물질을 제거하는 필터의 기능을 한다. 이온교환섬유는 종래의 물리적 흡착제보다 약 2배 내지 4배의 흡착성능을 가진다. Ion exchange fibers are fibrous adsorbents prepared to exchange cations or anions by forming radicals (graft polymerization) on nonwoven fabrics using radiation to act as a filter to remove contaminants from contaminated gases. Ion exchange fibers have an adsorption performance of about 2 to 4 times that of conventional physical adsorbents.
이러한 이온교환섬유는 오염물질이 다량 흡착된 경우 산성 또는 염기성의 재생액으로 이온교환섬유를 세척하면 반복적으로 사용할 수 있고, 여러번 재생(탈착)하여 사용하여도 이온교환섬유의 흡착성능이 크게 변하지 않는다.Such ion exchange fibers can be used repeatedly when the ion exchange fibers are washed with an acidic or basic regeneration solution when a large amount of pollutants are adsorbed, and the adsorption performance of the ion exchange fibers does not change significantly even when used several times. .
따라서, 종래의 이온교환 스크러버에서는, 이온교환섬유의 재생을 실행하기 위하여, 각각 이온교환섬유를 포함하는 두 개의 챔버로 구성되어 재생액을 펌프로 양 챔버에 번갈아가며 이송하여 하나의 챔버에서 이온교환섬유를 재생액에 침지하여 재생하는 동안에 나머지 하나의 챔버에서 이온교환 흡착을 실행하도록 하였다. 그러나, 이러한 스크러버에서는 두 개의 챔버를 필요로 하므로 설비의 부피가 커지고, 그 부피의 절반에서만 가스 정화가 이루어지므로 가스 처리 효율이 상대적으로 낮은 단점이 있었다. 또한, 두 챔버 사이에서 재생액을 이송하는 중에 기류의 맥동으로 인해 배출기류가 불안정한 문제점이 있었다. 뿐만 아니라, 이온교환섬유가 재생액에 침지되면, 젖은 이온교환섬유가 처지고 탈락하는 경우가 있었다.Therefore, in the conventional ion exchange scrubber, in order to perform the regeneration of the ion exchange fibers, it is composed of two chambers each containing the ion exchange fibers, the regeneration liquid is alternately transferred to both chambers by a pump to ion exchange in one chamber The fibers were immersed in the regeneration solution to allow ion exchange adsorption to be performed in the other chamber during regeneration. However, such a scrubber requires two chambers, so that the volume of the equipment is increased, and gas purification efficiency is relatively low because only half of the volume is used for gas purification. In addition, there was a problem that the discharge air flow is unstable due to the pulsation of the air flow while transferring the regeneration liquid between the two chambers. In addition, when the ion exchange fibers are immersed in the regeneration solution, the wet ion exchange fibers may sag and drop off.
따라서, 본 발명은 장치 전체 부피에서 흡착을 실행할 수 있을 뿐 아니라 이온교환섬유의 재생을 위하여 가스 흡착 처리 과정을 정지할 필요가 없도록, 흡착과 이온교환섬유의 재생을 동시에 실행할 수 있는 연속식 이온교환 가스 스크러버를 제공하는 것을 목적으로 한다. Therefore, the present invention is not only capable of carrying out the adsorption in the entire volume of the apparatus, but also the continuous ion exchange capable of simultaneously carrying out the adsorption and regeneration of the ion exchange fibers so that it is not necessary to stop the gas adsorption treatment process for the regeneration of the ion exchange fibers. It is an object to provide a gas scrubber.
또한, 이온교환섬유가 재생액에 젖더라도 처지거나 탈락하는 것을 방지할 수 있는 이온교환식 스크러버를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.It is also an object of the present invention to provide an ion exchange scrubber which can prevent sagging or falling off even if the ion exchange fibers get wet with the regeneration solution.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 이온교환 스크러버는, 하우징과; 상기 하우징 내에 하나 이상의 층으로 설치되고, 각 층은 이온교환섬유를 포함하는 흡착부와; 상기 흡착부의 각 층 상부에 설치되고, 재생액 유입관에 연결되어, 상기 흡착부에 재생액을 공급하는 재생액 공급부; 상기 흡착부의 최하층보다 낮게 배치되는 하나 이상의 가스 유입구; 상기 흡착부의 최상층보다 높게 배치되는 하나 이상의 가스 배출구; 상기 하우징의 하부에 형성되어 사용된 재생액이 드레인되는 재생액 드레인 배관;을 포함하여 구성된다. An ion exchange scrubber of the present invention for achieving the above object, the housing; An adsorption unit installed in the housing in one or more layers, each layer comprising ion exchange fibers; A regeneration solution supply unit installed above each layer of the adsorption unit and connected to a regeneration solution inlet pipe to supply a regeneration solution to the adsorption unit; One or more gas inlets disposed lower than the lowermost layer of the adsorption unit; At least one gas outlet disposed higher than the uppermost layer of the adsorption unit; And a regeneration liquid drain pipe formed at a lower portion of the housing to drain the used regeneration liquid.
즉, 본 발명의 이온교환 스크러버는 하나의 챔버 내에서 가스의 이온 흡착 처리와 동시에 이온교환섬유의 재생이 이루지므로, 가스의 흡착 처리가 연속적으로 실행될 수 있어 처리 효율을 현저히 향상시킬 수 있다. That is, in the ion exchange scrubber of the present invention, since the ion exchange fibers are regenerated at the same time as the ion adsorption treatment of the gas in one chamber, the adsorption treatment of the gas can be carried out continuously and the treatment efficiency can be significantly improved.
바람직하게는, 상기 흡착부는 이온교환섬유를 고정하는 다수의 고정핀을 구비한 고정판을 더 포함한다. 즉, 이온교환섬유가 고정핀에 의해 지지되어 재생액에 젖더라도 처지거나 탈락되는 것을 방지할 수 있다. Preferably, the adsorption portion further includes a fixing plate having a plurality of fixing pins for fixing the ion exchange fibers. That is, the ion exchange fibers are supported by the fixing pins to prevent sagging or falling off even when wetted with the regeneration solution.
더 바람직하게는, 상기 재생액 공급부는, 일단이 상기 재생액 유입관과 연통하도록 형성된 중공형 공급 막대로서 서로 마주하는 방향으로 배출구가 형성된 한 쌍의 공급 막대를 포함하고, 상기 재생액 유입관에 회전가능하게 연결되도록 구성될 수 있다. 이 경우, 각 공급 막대의 배출구를 통해 재생액이 배출될 때 그 반동으로 생성되는 반대 방향의 추력에 의해 상기 재생액 공급부가 회전하게 된다. 즉, 재생액 공급부는 회전하면서 재생액을 뿌려주므로 재생액이 흡착부에 고르게 분배될 수 있다. More preferably, the regeneration liquid supply unit is a hollow feed rod, one end of which is formed in communication with the regeneration liquid inlet pipe, and includes a pair of supply rods having discharge ports formed in a direction facing each other, It can be configured to be rotatably connected. In this case, when the regeneration liquid is discharged through the discharge port of each supply rod, the regeneration liquid supply portion is rotated by the opposite thrust generated by the reaction. That is, since the regeneration solution supply part sprays the regeneration solution while rotating, the regeneration solution can be evenly distributed to the adsorption part.
특히, 상기 공급 막대는 자유단부에 상기 배출구와 다른 방향으로 형성된 조절 개구 및 상기 조절 개구를 통한 유출량을 조절하는 조절 밸브를 구비할 수 있으며, 상기 조절 밸브에 의해 조절 개구의 유출량을 조절함으로써 상기 재생액 공급부의 회전 속도를 가스 유동을 방해하지 않으면서 재생액을 고르게 분배할 수 있는 속도로 제어할 수 있다. In particular, the supply rod may have a regulating opening formed at a free end in a direction different from the outlet and a regulating valve for regulating the amount of outflow through the regulating opening, wherein the regenerative valve controls the outflow of the regulating opening. The rotational speed of the liquid supply portion can be controlled at a speed that can evenly distribute the regeneration liquid without disturbing the gas flow.
이하, 첨부된 도면을 참조한 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 더 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 연속식 이온교환 스크러버의 단면도이다. 본 발명의 이온교환 스크러버는 하우징(11)의 하부에 가스 유입구(21)가 형성되고, 상부에 가스 배출구(22)가 형성되며, 그 사이에 이온교환섬유를 포함하는 흡착부(40)가 배치되어, 가스 유입구(21)를 통하여 오염된 가스가 유입되어 상승 이동하는 동안 이온교환섬유에 의하여 흡착 처리하여 유해 가스 성분 및 악취 성분을 제거한 후 상부의 가스 배출구(22)를 통해 배출된다. 1 is a cross-sectional view of a continuous ion exchange scrubber according to the present invention. In the ion exchange scrubber of the present invention, a
오염된 가스의 이온교환 흡착 처리를 위하여, 이온교환섬유를 포함하는 흡착부(40)는 도 1에 도시된 바와 같이 복수의 층으로 배치될 수 있으며, 이에 의하여 가스 처리 효율을 향상시킬 수 있다. For ion exchange adsorption treatment of contaminated gas, the
상기 흡착부(40)가 도 2에 확대 도시되어 있다. 도시된 바와 같이, 이온교환섬유(51)는 다수의 고정핀(43)을 구비된 고정판(42) 사이에 배치된다. 이에 따라, 이온교환섬유(51)는 고정핀(43)에 의해 지지되어 재생액에 젖더라도 처지거나 탈락되지 않고 유지될 수 있다. 상기 고정핀(43)을 구비한 고정판(42)은 플라스틱 사출에 의하여 제조될 수 있다. 고정판(42)은 하우징(11)에 연결된 받침대(45)(도 1 참조) 위에 설치되어 안정적으로 지지될 수 있다. The
각 층의 흡착부(40) 위에는 재생액 공급부(71)가 배치된다. 이 재생액 공급부(71)는 재생액 유입관(61)에 연결되어 있어 유입된 재생액을 흡착부(40)에 뿌려 준다. 상기 재생액 공급부(71)는 재생액 유입관(61)에 회전 가능하게 연결된다. 도 3에는 이러한 재생액 유입관(61)과 재생액 공급부(71)가 더 상세히 도시되어 있다. 도시된 실시예에서는 상기 재생액 유입관(61)에 분배관(73)이 연통하도록 연결되고, 재생액 공급부(71)는 베어링(74)을 통하여 분배관(73)에 연결되며, 따라서 재생액 공급부(71)는 분배관(73) 및 재생액 유입관(61)에 대하여 회전할 수 있다. 그러나, 재생액 공급부(71)는 종래의 알려진 다른 구성에 의해서도 재생액 유입관(61)에 회전 가능하게 설치될 수 있다. The regeneration
상기 재생액 공급부(71)는 일단이 상기 재생액 유입관(61)과 연통하도록 형성된 한 쌍의 중공형 공급 막대(72a, 72b)을 포함하며, 이 공급 막대들은 서로 마주하는 방향으로 배출구(76a, 76b)가 형성된다. 따라서, 도 1의 화살표 A 방향으로 재생액 유입관(61)에 유입된 재생액은 분배관(73)을 통하여 재생액 공급부(71)의 공급 막대(72a, 72b)에 전달되어 배출구(76a, 76b)를 통하여 저압으로 하우징 내부로 방출된다. 이때, 각 공급 막대의 배출구는 서로 마주하도록, 즉 반대 방향으로 형성되어 있어, 재생액이 배출되면 그 반동에 의해 발생되는 추력으로 재생액 공급부(71)가 저속으로 회전하게 된다(도 4 참조).The regeneration
이와 같이 회전하는 재생액 공급부(71)에 의해 재생액을 고르게 분배하여 뿌려줄 수 있다. In this way, the regeneration solution can be evenly distributed and sprayed by the regeneration
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 공급 막대(72a, 72b)의 자유 단부에는 배출구(76a, 76b)와 반대 방향으로 조절 개구(78a, 78b)가 형성되고, 이 조절 개구를 통한 유출량을 조절하는 조절 밸브(77a, 77b)가 구비될 수 있다. 이 경우, 조절 밸브에 의해 조절 개구를 통한 유출량을 조절함으로써 재생액 공급부(71)의 회전 속도를 조절할 수 있다. As shown in Figs. 3 and 4, at the free ends of the
즉, 조절 밸브(77a, 77b)가 열려 배출구(76a, 76b)와 반대 방향의 조절 개구(78a, 78b)를 통한 유출량이 증가하면 그 반동에 의해 생성되는 추력이 배출구를 통한 재생액 배출에 의한 추력을 상쇄하여 재생액 공급부(71)의 회전 속도가 줄어들게 된다. That is, when the
조절 개구(78a, 78b)는 배출구를 통한 재생액 배출에 의한 추력을 상쇄할 수만 있으면, 어느 방향으로 형성되어도 무방하다. The
이러한 구성에 의하여, 재생액 공급부(71)가 처리 가스의 상승을 방해하지 않으면서 재생액을 고르게 뿌려줄 수 있는 최적의 속도로 회전할 수 있도록 제어할 수 있다.By such a configuration, it is possible to control the regeneration
이온교환섬유(51)의 재생에 사용된 재생액은 하우징 하부에 모아져 재생액 드레인 배관(31)에 의하여 드레인된다. The regeneration liquid used for regeneration of the
본 발명의 다른 바람직한 실시예에서는, 하우징(11)의 가스 배출구 아래에 데미스터 또는 엘리미네이터 등의 기액 분리기(81)가 추가로 설치될 수 있다. 이러한 구성에 의하여 재생액이 가스 중에 포함되어 방출되는 것을 방지할 수 있다. In another preferred embodiment of the present invention, a gas-
상기와 같이 구성되는 본 발명의 이온교환 스크러버에서는, 하부의 가스 유입구(21)를 통하여 처리 가스가 유입되면 상승하는 동안 흡착층(40)을 거치면서 이온교환섬유(51)에 의하여 흡착 처리되어 상부의 가스 배출구(22)를 통해 배출된다. 이와 동시에, 흡착층(40) 상부에서는 재생액 유입관(61)을 통해 공급된 재생액이 재생액 공급부(71)의 공급 막대 배출구(76a, 76b)를 통하여 흡착층에 뿌려진다. 이때 재생액 공급부(71)는 재생액 배출에 의한 반동으로 회전하게 되므로 재생액은 흡착층 전체에 고르게 분배될 수 있다. 또한, 이러한 과정에서 조절 개구(78a, 78b) 및 조절 밸브(77a, 77b)에 의하여 재생액 공급부(71)의 회전 속도가 조절될 수 있다. In the ion exchange scrubber of the present invention configured as described above, when the processing gas is introduced through the
이와 같이, 오염 가스의 흡착 처리와 동시에 이온교환섬유의 재생이 이루어지므로, 하나의 챔버로 모든 작동이 실행될 뿐 아니라 이온교환섬유를 재생하는 동안 가스 처리를 일시 중지할 필요도 없다. 즉, 장치 전체에서 지속적으로 가스가 처리될 수 있어 장치 부피에 따른 효율은 현저히 향상될 수 있다. 또한, 이온교환섬유(51)는 고정핀(43)에 의해 양측에서 고정되어 있으므로 재생액이 뿌려지더라도 처지거나 탈락되지 않는다. In this way, the regeneration of the ion exchange fibers is performed simultaneously with the adsorption treatment of the contaminated gas, so that not only all operations are performed in one chamber but also there is no need to pause the gas treatment while regenerating the ion exchange fibers. That is, the gas can be treated continuously throughout the device, so the efficiency according to the device volume can be significantly improved. In addition, since the
이상과 같이 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 이온교환 스크러버는 이온교환섬유를 재생액에 침지시키지 아니하고 흡착층 상부에 재생액 공급부를 구비하여 하나의 챔버 내에서 오염 가스의 흡착 처리와 이온교환섬유의 재생이 동시에 연속적으로 이루어지므로, 장치 부피에 따른 가스 처리 효율을 현저히 향상시킬 수 있는 장점이 있다. As described above, the ion exchange scrubber according to the present invention does not immerse the ion exchange fibers in the regeneration solution, and has a regeneration solution supply portion at the upper portion of the adsorption layer, so that the adsorption treatment of the polluted gas and the Since the regeneration is performed continuously at the same time, there is an advantage that can significantly improve the gas treatment efficiency according to the device volume.
또한, 이온교환섬유를 고정핀으로 고정 지지함으로써 이온교환섬유가 재생액에 젖어도 처지거나 탈락하는 것을 방지할 수 있다.In addition, it is possible to prevent the ion exchange fibers from sagging or falling off even if the ion exchange fibers are wetted with the regeneration solution by fixing the ion exchange fibers with the fixing pin.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 또한 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능함은 물론이며, 그와 같은 변형은 청구범위의 기재 범위 내에 있게 된다. Although the preferred embodiments of the present invention have been shown and described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and the general knowledge in the field of the present invention without departing from the gist of the present invention as claimed in the following claims. Anyone with a variety of modifications are possible, of course, such modifications are within the scope of the claims.
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- 2007-05-03 KR KR1020070043281A patent/KR100852478B1/en active IP Right Grant
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