KR100842474B1 - System and method for measuring bore erosion in a fluid dynamic motor, and method for aligning an axis of motion - Google Patents

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Abstract

ECM 프로세스에 의해 생성된 유체 다이내믹 그루브들을 측정하고 특징화하는 방법 및 시스템이 개시된다. 상기 방법은 공작물을 측정 장치와 정렬시키는 과정 및 침식 패턴을 신속, 정확하고 신뢰할 수 있게 측정하는 기술을 포함한다. 또한, 본 발명은 이러한 그루브들의 침식을 측정하고 특징화하는 시스템을 제공한다. A method and system are disclosed for measuring and characterizing fluid dynamic grooves produced by an ECM process. The method includes the process of aligning a workpiece with a measuring device and a technique for quickly, accurately and reliably measuring erosion patterns. The present invention also provides a system for measuring and characterizing the erosion of such grooves.

Description

유체 다이내믹 모터에서 보어 침식을 측정하기 위한 시스템 및 방법과, 이동 축선의 정렬 방법{SYSTEM AND METHOD FOR MEASURING BORE EROSION IN A FLUID DYNAMIC MOTOR, AND METHOD FOR ALIGNING AN AXIS OF MOTION}SYSTEM AND METHOD FOR MEASURING BORE EROSION IN A FLUID DYNAMIC MOTOR, AND METHOD FOR ALIGNING AN AXIS OF MOTION

본 출원은 2002년 8월 6일에 출원된 미국 가특허 출원 제 60/401,796호의 우선권을 주장한다.This application claims the priority of US Provisional Patent Application No. 60 / 401,796, filed August 6, 2002.

본 발명은 일반적으로 유체 다이내믹 베어링(fluid dynamic bearing)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 이러한 베어링을 형성하도록 디스크 드라이브의 스핀들 모터에 이용되는 에칭 그루브(etching grooves)에 관한 것이다.FIELD OF THE INVENTION The present invention relates generally to fluid dynamic bearings and, more particularly, to etching grooves used in the spindle motors of disk drives to form such bearings.

종래의 디스크 드라이브는 데이터를 저장 및 복구하기 위하여 자기 특성을 이용한다. 통상적으로, 디스크 드라이브는 컴퓨터 시스템 및 홈 엔터테인먼트 장비와 같은 전자 장비에 통합되어, 신속하고 신뢰성있게 복구될 수 있는 형태로 많은 양의 데이터를 저장한다. 디스크 드라이브의 주요 부품은 자기 매체, 읽기-쓰기 헤드, 모터 및 소프트웨어를 포함한다. 분 당 수천 회전으로 매체를 회전시키기 위해 이용되는 모터는 종점 진동으로 회전시키고, 신뢰적이고 유효하도록 구성된다. 이를 수행하는 하나의 방법은 오일로 모터에서 임계적으로 운동하는 부품의 적절한 윤활을 보장하는 것이다. 모터의 적절한 윤활은 통상적으로 전기화학적 가공(ECM; electro-erosive machining) 프로세스와 같은 절단 프로세스를 통하여 보어 및 샤프트에 있는 그루브를 통합함으로써 이루어진다. 이러한 그루브가 적절한 오일 순환을 유지하기에 중요하기 때문에, 그루브의 침식은 로크업(lockup) 때문에 부적절한 오일 순환이 모터 장애를 일으킨다. 따라서, 보어 및 샤프트에 있는 그루브의 침식을 측정 및 이해하는 것이 하드 드라이브를 위한 충분히 튼튼히 모터를 제조하기 위해 중요하다.Conventional disk drives use magnetic properties to store and recover data. Typically, disc drives are incorporated into electronic equipment such as computer systems and home entertainment equipment to store large amounts of data in a form that can be recovered quickly and reliably. The main components of the disk drive include magnetic media, read-write heads, motors and software. The motor used to rotate the medium at thousands of revolutions per minute is configured to rotate in end point vibrations, and to be reliable and effective. One way to do this is to ensure proper lubrication of critically moving parts in the motor with oil. Proper lubrication of the motor is typically achieved by integrating the grooves in the bore and shaft through a cutting process such as an electro-erosive machining (ECM) process. Because such grooves are important for maintaining proper oil circulation, erosion of the grooves causes improper oil circulation due to lockup, resulting in motor failure. Therefore, measuring and understanding the erosion of grooves in the bores and shafts is important to make the motor strong enough for the hard drive.

절단 프로세스는 소정의 다양한 전기 침식 가공 모드에서 수행될 수 있다. 전기 방전 가공(EDM)에서, 절삭 액체는 유전 액체, 예를 들면, 탈이온수이며, 가동 전기 전류는 연소적인 전기 펄스의 형태로 공급된다. 전기화학적 가공(ECM)에서, 절단 매체는 액체 전해질, 예를 들면, 수성 전해질 용액이며, 가공 전류는 높은 암페어의 연속형 또는 펄스형 전류이다. 전기화학적 방전 가공(ECDM)에서, 액체 매체는 전해 및 유전 성질 둘다를 가지며 가공 전류는 전도성 액체 매체를 통하여 전기 방전의 제조를 용이하게 하는 펄스의 형태로 인가되는 것이 바람직하다.The cutting process can be performed in any of a variety of electroerosion processing modes. In electrical discharge machining (EDM), the cutting liquid is a dielectric liquid, for example deionized water, and the operating electric current is supplied in the form of combustible electric pulses. In electrochemical processing (ECM), the cutting medium is a liquid electrolyte, for example an aqueous electrolyte solution, and the processing current is a high amperage continuous or pulsed current. In electrochemical discharge machining (ECDM), the liquid medium has both electrolytic and dielectric properties and the processing current is preferably applied in the form of pulses that facilitate the production of an electrical discharge through the conductive liquid medium.

공작물(work piece)은 절단 영역이 잠기도록 절단 액체 매체의 배쓰(bath)에 배치될 수 있다. 그러나, 더욱, 통상적으로, 절단 영역은 공기 또는 대기 환경에 배치된다. 유용하게는, 종래 설계의 하나 또는 두 개의 노즐이 액체 매체에 잠기거나 공기내에 배치되는 절단 영역으로 절단 액체 매체를 전달하기 위해 공작물의 양 측부 또는 한 측부에 배치된다. 절단 액체 매체는 편리하게는 원하는 전기 침식 절단 매체로서 기능하기 위한 가변하는 크기로 탈이온화 또는 이온화되는, 상술된 바와 같은 물이다.The work piece may be placed in a bath of the cutting liquid medium so that the cutting area is submerged. However, more typically, the cutting zone is disposed in an air or atmospheric environment. Advantageously, one or two nozzles of conventional design are disposed on either side or on one side of the workpiece to deliver the cutting liquid medium to a cutting area that is submerged in or disposed in the air. The cutting liquid medium is conveniently water as described above, which is deionized or ionized to varying sizes to function as the desired electroeroded cutting medium.

현대의 하드 드라이브는 더 정교한 임계적 특징을 가지는 더 작고 더 빠른 모터를 요구하기 때문에, 이러한 ECM 프로세스 등을 이용하여 더 정교한 특징을 제조 및 측정하는데 대한 실제적인 도전이 있다. 예를 들면, 더 작은 모터는 종래 보다 보어 및 샤프트에 제조되는 대응하는 더 작고 더 정교한 그루브를 가진다. ECM 프로세스는 일반적으로 종래에 공지되어 있다. 그러나, ECM 프로세스는 정밀하게 측정되어야 하는 갭에 걸친 표면에 그루브를 정밀하고 동시에 배치하여야 하는 요구가 있다. 기계적 허용 오차에서의 결함은 전극과 공작물의 오정렬을 일으켜서, 불균일한 갭 및 대응적으로 불균일한 깊이의 유체 다이내믹 그루브를 발생시킬 수 있다. 이러한 그루브의 정밀한 측정은 마모 패턴 및 궁극적인 설계를 이해하여 더 나은 모터를 제조하는 것이 요구된다. 모터에서 부품 마모를 측정하기 위해 이용되는 종래의 방법이 더 큰 피쳐의 측정을 위해 개발되었기 때문에 현재의 보어 및 샤프트 그루브에서 더 작은 크기의 피쳐를 찾기 위해 측정하기에 부적절하다.Since modern hard drives require smaller and faster motors with more sophisticated critical features, there are practical challenges to manufacturing and measuring more sophisticated features using this ECM process and the like. For example, smaller motors have corresponding smaller and more sophisticated grooves that are made in the bore and shaft than conventional ones. ECM processes are generally known in the art. However, ECM processes have a need to place grooves precisely and simultaneously on surfaces across gaps that must be precisely measured. Defects in mechanical tolerances can cause misalignment of electrodes and workpieces, resulting in nonuniform gaps and correspondingly nonuniform depths of fluid dynamic grooves. Precise measurement of these grooves requires understanding the wear pattern and ultimate design to make a better motor. Since conventional methods used to measure part wear in motors have been developed for the measurement of larger features, they are inadequate to measure to find smaller size features in current bores and shaft grooves.

따라서, 이러한 결함을 극복하고 모터의 보어 및 샤프트 상의 그루브와 같은 더 미세한 피쳐를 측정할 수 있는 시스템 및 방법이 요구된다.Accordingly, what is needed is a system and method that can overcome these deficiencies and measure finer features such as grooves on the motor and grooves on the shaft.

본 발명은 ECM 프로세스에 의해 제조된 유체 다이내믹 그루브를 특정하여 이를 측정하기 위한 시스템 및 방법을 제공한다. 부가적으로, 본 발명은 이러한 그루브의 침식을 특정하여 이를 측정하기 위한 시스템 및 방법이 제공된다.The present invention provides a system and method for specifying and measuring fluid dynamic grooves produced by an ECM process. In addition, the present invention provides a system and method for specifying and measuring erosion of such grooves.

보어 침식을 측정하기 위한 방법은 스타일러스(stylus)와 게이지 핀을 정렬하는 단계, 저널의 길이를 덮는 단계, 스타일러스를 정점 위치로 이동시키는 단계, 허브를 회전시킴으로써 최저 그루브에 위치시키는 단계, 허브를 고정 위치로 회전시키는 단계, 스캔 동안 데이터를 수집하는 제 1 종점과 제 2 종점 사이를 스캐닝하는 단계, 라인으로 데이터를 피팅함으로써 데이터를 분석하는 단계, 그루브에 최저 피크를 위치시키는 단계, 및 침식을 계산하는 단계를 포함한다. 그리고나서 공작물을 새로운 위치로 회전시킨 후 이러한 프로세스가 반복된다. 통상적으로 3개의 이러한 측정은 공작물이 120도 만큼 회전한 후 발생하는 각각의 측정으로 발생한다.Methods for measuring bore erosion include aligning the stylus and gauge pins, covering the length of the journal, moving the stylus to its apex position, positioning it in the lowest groove by rotating the hub, and securing the hub. Rotating to position, scanning between the first and second endpoints collecting data during the scan, analyzing the data by fitting the data into a line, placing the lowest peak in the groove, and calculating erosion It includes a step. The process then repeats after rotating the workpiece to a new position. Typically three such measurements occur with each measurement occurring after the workpiece has been rotated by 120 degrees.

보어 침식을 측정하기 위한 시스템은 정렬을 위한 게이지 핀, 상기 공작물을 지지하기 위한 세타 척(theta chuck), 회전 축선을 중심으로 세타 척 및 공작물을 회전시킬 수 있는 세타 스테이지, 상기 공작물이 회전하는 동안 공작물상의 표면형태(topography)를 탐침하기 위한 스타일러스 핀, 스타일러스 핀을 지지하기 위한 스타일러스, 및 공작물의 표면형태에 대한 상기 스타일러스의 응답을 측정하여 스타일러스 이동 방향을 따라 스타일러스를 제어 및 이동시키기 위한 표면 스캐너를 포함한다. 상기 게이지 핀은 측정되는 보어 직경의 크기와 대체로 동일한 크기를 가질 수 있으며, 상기 게이지 핀은 약 20 mm의 길이에 걸쳐 길이 상에 30 마이크론 높이의 최대 변화값을 갖는 라인을 따라 영역을 가진다.
본 발명에 따른 이동 축선을 공작물의 축선에 대해 정렬시키는 방법은, 측정되는 보어 직경의 크기와 실질적으로 동일한 크기를 가지는 게이지 핀을 제공하는 단계; 10mm 내지 30mm의 길이에 걸쳐 상기 게이지 핀을 스캐닝하는 단계; 및 종점들 사이의 최대 높이 편차가 30 마이크론 미만이 되도록 종점들을 갖는 라인을 따라 상기 게이지 핀을 스캐닝하는 단계를 포함한다.
상기 게이지 핀을 스캐닝하는 단계는 약 20mm의 길이에 걸쳐 상기 게이지 핀을 스캐닝하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
Systems for measuring bore erosion include gauge pins for alignment, theta chucks for supporting the workpiece, theta chucks for rotating theta chuck and workpiece about the axis of rotation, while the workpiece is rotating A stylus pin for probing topography on the workpiece, a stylus for supporting the stylus pin, and a surface scanner for controlling and moving the stylus along the direction of stylus movement by measuring the response of the stylus to the surface form of the workpiece. It includes. The gauge pin may have a size substantially the same as the size of the bore diameter being measured, the gauge pin having an area along a line with a maximum change of 30 microns in height over a length of about 20 mm.
The method of aligning the axis of movement with respect to the axis of the workpiece according to the invention comprises the steps of providing a gauge pin having a size substantially equal to the size of the bore diameter being measured; Scanning the gauge pin over a length of 10 mm to 30 mm; And scanning the gauge pin along a line with endpoints such that the maximum height deviation between the endpoints is less than 30 microns.
Scanning the gauge pin preferably includes scanning the gauge pin over a length of about 20 mm.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따라 보어 및 샤프트에 그루브를 구비한 유체 다이내믹 모터의 랜드 침식을 측정하기 위해 이용되는 바람직한 단계를 보여주는 흐름도이며,1 is a flow chart showing the preferred steps used to measure land erosion of a fluid dynamic motor having grooves in the bore and shaft in accordance with one embodiment of the present invention;

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라 그루브 측정 시스템을 나타내는 블록도이며,2 is a block diagram illustrating a groove measuring system according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 3은 그루브를 구비한 유체 다이내믹 모터 보어 상에 수행된 통상적인 측정의 스캔 라인을 도시한 도면이며,3 shows a scan line of a typical measurement performed on a fluid dynamic motor bore with grooves, FIG.

도 4는 반지름방향 침식, 정점, 원래 직경 및 최저 피크를 포함하는 보어의 그루브의 통상적인 프로파일을 도시한 도면이며,4 shows a typical profile of a groove of a bore including radial erosion, peaks, original diameter and lowest peak,

도 5는 그루브를 구비한 유체 다이내믹 모터 보어의 통상적인 스캔을 보여주는 플롯이며,5 is a plot showing a typical scan of a fluid dynamic motor bore with grooves,

도 6은 외측 보어 침식 패턴 측정의 결과 및 분석을 보여주는 통상적인 스캔을 보여주는 플롯이다.6 is a plot showing a typical scan showing the results and analysis of outer bore erosion pattern measurements.

본 발명은 ECM 프로세스에 의해 제조된 유체 다이내믹 그루브를 측정하고 특정하기 위한 시스템 및 방법을 제공한다. 또한, 본 발명은 상기 그루브의 침식을 측정하고 특성화하기 위한 시스템 및 방법을 제공한다. The present invention provides a system and method for measuring and specifying fluid dynamic grooves produced by an ECM process. The present invention also provides a system and method for measuring and characterizing the erosion of the groove.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따라 샤프트와 보어내에 그루브를 구비한 유체 다이내믹 모터의 랜드(land) 침식을 측정하기 위해 사용되는 바람직한 단계를 도시한 흐름도이다. 먼저, 단계 105에서, 스타일러스의 운동방향과 회전 축선이 일치하도록 회전식 고정체(rotary fixture)가 정렬된다. 그 다음, 단계 110에서, 그루브에 대한 스타일러스의 제 1 저널 포인트로부터 제 2 저널 포인트로 상기 스타일러스를 이동시킴으로써, 측정 동안의 스타일러스 운동 종점들이 한정된다. 상기 그루브에 대한 스타일러스의 제 1 저널 포인트와 제 2 저널 포인트는 통상적으로 11.8㎜로 설정된다. 1 is a flow chart showing the preferred steps used to measure land erosion of a fluid dynamic motor with grooves in the shaft and bore in accordance with an embodiment of the present invention. First, in step 105, the rotary fixture is aligned such that the direction of rotation of the stylus and the axis of rotation coincide. Then, in step 110, the stylus movement endpoints during the measurement are defined by moving the stylus from the first journal point of the stylus to the second journal point for the groove. The first journal point and the second journal point of the stylus for the groove are typically set to 11.8 mm.

그 다음, 단계 115에서, 상기 스타일러스는 모터 구조에 의해 결정된 정점 위치로 이동된다. 단계 120에서, 상기 스타일러스를 고정되게 유지하고 허브를 회전시킴으로써, 최저 그루브(MIN)의 위치가 설정된다. 단계 125에서, 상기 MIN의 위치가 설정된 후, 상기 허브가 세타(Θ)각으로 더 회전함으로써, 스타일러스의 위치는 MIN+Θ각도가 된다. 상기 Θ값은 통상적으로 12로 설정되지만, 이는 그루브의 수에 기초하여 결정된다. Then, in step 115, the stylus is moved to the vertex position determined by the motor structure. In step 120, the position of the lowest groove MIN is set by keeping the stylus stationary and rotating the hub. In step 125, after the position of the MIN is set, the hub is further rotated by theta angle, whereby the position of the stylus becomes MIN + Θ angle. The value of Θ is typically set to 12, but this is determined based on the number of grooves.

그 다음, 단계 130에서, 상기 스타일러스는 제 1 저널 포인트로부터 제 2 저널 포인트로 상기 고정체를 가로질러 이동하며 표면을 스캐닝하고 첨부도면에 도시된 바와 같이 표면의 프로파일을 생성한다. 단계 135에서, 최소 제곱 피트 알고리즘(least square fit algorithm)을 이용하여 고유 직경과 정점 영역의 최적 피팅(best fit) 라인이 계산된다. 그 다음, 단계 140에서, 최저 피크가 위치설정되고, 최소 제곱 피팅 라인으로부터 최저 피크까지의 거리가 계산된다. 단계 145에서, 이러한 허브 각도에 대한 방사상 침식(Ri)이 계산된다. 통상적으로, 이전 각도로부터 120°오프셋된 각각의 허브 각도에 대해 하나씩 3개의 방사상 침식(Ri)이 계산되며, 3개의 값, 즉 R1,R2,R3가 계산된다. Then, in step 130, the stylus moves across the fixture from the first journal point to the second journal point, scanning the surface and creating a profile of the surface as shown in the accompanying drawings. In step 135, a best fit line of intrinsic diameter and vertex region is calculated using a least square fit algorithm. Next, at step 140, the lowest peak is positioned and the distance from the least squared fitting line to the lowest peak is calculated. In step 145, the radial erosion (R i) for such a hub angle is calculated. Typically, three radial erosions (R i ) are calculated, one for each hub angle offset 120 ° from the previous angle, and three values, R 1 , R 2 , R 3, are calculated.

그 다음, 단계 150에서, 상기 허브는 MIN+Θ+120°의 위치로 120°만큼 회전된다. 단계 155에서, 상기 허브가 MIN+Θ+360°이상의 위치로 회전되었는지의 여부를 결정한다. 단계 155에서 상기 허브의 위치가 MIN+Θ+360°보다 크지 않은 것 으로 결정되었다면, 단계 130 내지 단계 155가 반복된다. 통상적으로, 단계 155는, 단계 145에서 설명한 바와 같이, 3회 스캔을 실시하고, 3개의 상이한 각도에서 3개의 침식값(R1,R2,R3)을 계산하게 된다. 단계 150에서 상기 허브가 120°회전되었으나, 이는 예를 들어 30°또는 60°와 같은 임의의 각도로 회전될 수도 있다. 회전량에 대한 제약은 없다. 단계 155에서 상기 허브의 위치가 MIN+Θ+360°보다 큰 것으로 결정되었다면, 단계 160이 실행된다. Then, in step 150, the hub is rotated by 120 ° to the position of MIN + Θ + 120 °. In step 155, it is determined whether the hub has been rotated to a position of MIN + Θ + 360 ° or more. If it is determined in step 155 that the position of the hub is not greater than MIN + Θ + 360 °, steps 130 to 155 are repeated. Typically, step 155 performs three scans and calculates three erosion values R 1 , R 2 , and R 3 at three different angles, as described in step 145. In step 150 the hub is rotated 120 °, but it may be rotated at any angle, for example 30 ° or 60 °. There is no restriction on the amount of rotation. If in step 155 the position of the hub is determined to be greater than MIN + Θ + 360 °, then step 160 is executed.

단계 160에서, 3개의 측정된 침식값(R1,R2,R3)을 평균하고, 그 평균값에 2를 곱함으로써, 총 침식이 계산된다. 단계 145 내지 155를 참조하여 전술한 바와 같이 단지 3회가 아닌 N회의 스캔이 실시된다면, 측정된 모든 침식값을 평균하고 그 평균값에 2를 곱함으로써 총 침식이 결정된다(즉, 총 침식=∑(Ri)I=1 TO N/N). 마지막으로, 단계 165에서 상기 고정체가 제거된다. In step 160, the total erosion is calculated by averaging the three measured erosion values R 1 , R 2 , R 3 and multiplying the average value by two. If N scans are performed, not just three, as described above with reference to steps 145-155, then the total erosion is determined by averaging all measured erosion values and multiplying the average by two (i.e., total erosion = ∑ (R i ) I = 1 TO N / N). Finally, in step 165 the fixture is removed.

도 2는 공작물(210), 세타(theta) 척(215), 세타 스테이지(220), 회전 축선(225), 스타일러스 팁(230), 스타일러스(235), 게이지 헤드(237), 표면 스캐너(240) 및 스타일러스 운동방향(245)을 포함하는 본 발명의 일 실시예에 따른 그루브 측정 시스템을 도시한 블록도이다. 통상적으로, 공작물(210)은 내부에 그루브를 가진 모터 샤프트 또는 그루브를 구비한 모터 슬리브 또는 캘리브레이션용 게이지 핀이다. 세타 척(215)은 프로파일링하는 동안 공작물(210)을 견고하게 고정 및 유지하기 위해 사용되는 통상의 척이다. 세타 스테이지(220)는 공작물(210)을 특정 프로파일링 위치로 회전시키며, 통상적으로, 0.1°의 분해도(resolution)로 공작물(210)을 0 내지 360°회전시킬 수 있는 스텝 모터 또는 서보 모터를 포함한다. 세타 스테이지(220)는 공작물(210)의 대칭축과 통상적으로 일치하도록 설정된 회전 축선(225)을 중심으로 공작물(210)을 회전시킨다. 통상적으로, 세타 스테이지(220)는 3개의 상이한 방위(0°,120°,240°)로 공작물을 이동시키며, 도 1을 참조하여 전술한 바와 같이 스캐닝이 실시된다. 2 shows workpiece 210, theta chuck 215, theta stage 220, axis of rotation 225, stylus tip 230, stylus 235, gauge head 237, surface scanner 240. And a groove measuring system according to an embodiment of the present invention including a direction of movement of the stylus 245. Typically, the workpiece 210 is a motor shaft with grooves therein or a motor sleeve with grooves or gauge pins for calibration. Theta chuck 215 is a conventional chuck used to firmly hold and hold workpiece 210 during profiling. Theta stage 220 rotates the workpiece 210 to a specific profiling position, and typically includes a stepper or servo motor capable of rotating the workpiece 210 0 to 360 ° with a resolution of 0.1 °. do. Theta stage 220 rotates the workpiece 210 about an axis of rotation 225 that is typically set to coincide with the axis of symmetry of the workpiece 210. Typically, theta stage 220 moves the workpiece in three different orientations (0 °, 120 °, 240 °), and scanning is performed as described above with reference to FIG.

상기 회전 축선(225)과 동일한 방향을 따라 스타일러스(235)를 이동시킴으로써, 상기 스타일러스 팁(230)은 공작물(210) 위에서 이동하게 된다. 상기 스타일러스 팁(230)이 공작물(210) 위에서 이동할 때, 상기 스타일러스(235)는 공작물(210)의 외형에 따라 상하로 움직인다. 상기 스타일러스(235)의 움직임은 게이지 헤드(237)에 의해 검출되며, 상기 게이지 헤드는 공작물(210)의 외형 변화를 모방하는 스타일러스(235)의 움직임에 응답하여 전기적 신호를 발생시킨다. 상기 게이지 헤드(237)는, 압전기를 이용하여 스타일러스(235)의 기계적 운동을 측정하거나, 스타일러스 팁(230)과 공작물(210)간의 커패시턴스 차이를 측정하거나 또는 스타일러스 팁(230)과 공작물(210)간의 전자 터널링(tunneling)을 측정하는 것과 같이, 당업계에 공지된 수단에 의해 전기적 신호를 발생시킬 수 있다. 스타일러스 팁(230)은 스타일러스(235)에 장착되며, 상기 스타일러스는 스타일러스 팁(230)을 유지 및 구동시킬 뿐만 아니라 헤드 게이지(237)에 대한 커플링을 제공한다. 표면 스캐너(240)는 스타일러스(235)와 스타일러스 팁(230)을 이동시킬 뿐만 아니라 표면 스캐너내의 전자기기에 의해 발생된 데이터를 기록 및 분석하는데 이용되는 통상의 접촉식 표면 프로파일러이다. 상기 표면 스캐너(240)는 스타일러스(235)와 스타일러스 팁(230)을 회전 축선(225)에 대해 대체로 평행한 스타일러스 운동방향(245)으로 구동시킨다. 상기 스타일러스 팁은 탄소로 제조되는 것이 바람직하다.By moving the stylus 235 along the same direction as the rotation axis 225, the stylus tip 230 is moved over the workpiece 210. When the stylus tip 230 moves over the workpiece 210, the stylus 235 moves up and down according to the appearance of the workpiece 210. The movement of the stylus 235 is detected by the gauge head 237, which generates an electrical signal in response to the movement of the stylus 235 to mimic the change in appearance of the workpiece 210. The gauge head 237 measures the mechanical motion of the stylus 235 using a piezo, measures the capacitance difference between the stylus tip 230 and the workpiece 210 or the stylus tip 230 and the workpiece 210. As with measuring electron tunneling of the liver, electrical signals can be generated by means known in the art. Stylus tip 230 is mounted to stylus 235, which not only holds and drives stylus tip 230, but also provides coupling to head gauge 237. Surface scanner 240 is a conventional contact surface profiler used to move stylus 235 and stylus tip 230 as well as to record and analyze data generated by electronics within the surface scanner. The surface scanner 240 drives the stylus 235 and the stylus tip 230 in the direction of stylus movement 245 generally parallel to the axis of rotation 225. The stylus tip is preferably made of carbon.

도 3은 그루브를 구비한 유체 다이내믹 모터 보어에서 통상적으로 측정된 주사선을 도시한 도면이다. 도 3에는 단지 3개의 그루브가 도시되어 있으나, 그루브의 갯수에 대한 제약은 없다. 통상적으로, 그루브의 실제 갯수는 10 내지 20개일 수 있다. 스캔 방향은 주사선(330)의 방향으로 표시된 바와 같이 좌측으로부터 우측이다. 스캔에 대한 보다 상세한 설명은 아래의 도 4를 참조한다. 스캔 라인(330)은 스타일러스(235)가 이동하고 스타일러스 이동(245)에 상응하는 방향이다.FIG. 3 shows scan lines typically measured in a fluid dynamic motor bore with grooves. Although only three grooves are shown in FIG. 3, there is no restriction on the number of grooves. Typically, the actual number of grooves may be 10-20. The scan direction is from left to right as indicated by the direction of the scan line 330. See FIG. 4 below for a more detailed description of the scan. Scan line 330 is in a direction in which stylus 235 moves and corresponds to stylus movement 245.

도 4는 초기 직경(410), 최저 피크(415), 정점(420), 최소 제곱 라인(425), 및 ECM 방사 침식을 포함하는 보어 내의 그루브의 일반적인 프로파일을 도시한다. 초기 직경(410)은 스캐너(240)에 의해 발생된 데이터이고 보어 그루브 침식 패턴의 표면형태를 나타낸다. 최저 피크(415)는 침식 패턴의 최저 부분을 나타내며 ECM 방사 침식(430)을 결정하는데 사용된다. 정점(420)은 침식 패턴의 최고점을 나타내며 ECM 방사 침식(430)을 결정하는데 사용된다. 최소 제곱 라인(425)은 본 발명이 속하는 기술분야에서 공지된 최소 제곱 피팅 알고리즘을 이용하여 계산된다. 최소 제곱 라인(425)은 정점과 초기 직경(410)(콰이어트 존, quiet zone)을 이용하여 계산된다.4 shows a general profile of the grooves in the bore including the initial diameter 410, the lowest peak 415, the vertex 420, the least squared line 425, and the ECM radiation erosion. The initial diameter 410 is data generated by the scanner 240 and represents the surface shape of the bore groove erosion pattern. The lowest peak 415 represents the lowest portion of the erosion pattern and is used to determine the ECM radiation erosion 430. Peak 420 represents the highest point of the erosion pattern and is used to determine ECM radiation erosion 430. Least squares line 425 is calculated using a least squares fitting algorithm known in the art. The least squares line 425 is calculated using the vertex and initial diameter 410 (quiet zone).

ECM 방사 침식(430)은 정점과 초기 직경(콰이어트 존)을 통과하는 최소 제곱 라인(425)과, 주어진 저널 상의 ECM 보어의 최저 피크 사이의 거리로 정의된다. ECM 방사 침식(430)은 다음의 식을 이용하여 결정된다. ECM radiation erosion 430 is defined as the distance between the smallest square line 425 passing through the vertex and the initial diameter (quiet zone) and the lowest peak of the ECM bore on a given journal. ECM radiation erosion 430 is determined using the following equation.                 

Ri = i번째 스캔으로부터 얻어진 방사 침식Ri = radial erosion obtained from the i th scan

N = 스캔 수N = number of scans

R평균 = ∑(Ri)i=1에서 N까지 / NR mean = ∑ (Ri) i = 1 to N / N

랜드 침식 = 2 * R평균 Land erosion = 2 * R mean

도 5는 그루브를 갖는 유체 다이내믹 모터 보어의 일반적인 스캔을 도시하는 도면이다. 도 5의 x-축은 11.8mm의 스캔 길이를 도시한다. 스캔 길이는 일반적으로 5mm 내지 20mm 범위로 설정된다. 스캔 길이는 측정 속도와 해상도를 최적화하도록 선택된다. 스캔 길이가 길수록 측정 시간은 보다 오래 걸릴 것이고 그 역도 성립한다. y-축은 침식 패턴의 깊이 프로파일을 나타내어 스캔 길이와 깊이 프로파일의 조합이 스타일러스(235)의 이동 방향을 따른 그루브의 정확한 관찰을 제공한다.5 is a diagram illustrating a general scan of a fluid dynamic motor bore with grooves. The x-axis of FIG. 5 shows a scan length of 11.8 mm. The scan length is generally set in the range of 5 mm to 20 mm. The scan length is chosen to optimize the measurement speed and resolution. The longer the scan length, the longer the measurement will take and vice versa. The y-axis represents the depth profile of the erosion pattern such that the combination of scan length and depth profile provides accurate observation of the grooves along the direction of movement of the stylus 235.

도 6은 외부 보어 침식 패턴 측정의 분석 및 결과를 도시하는 일반적인 스캔의 또다른 실시예이다. 도 6에 도시된 스캔은 본 발명에 따라 먼저 보어 직경과 동일한 크기를 갖는 게이지 핀인 공작물(210)을 이용하여 표면 스캐너(240)를 회전 축선(225) 척과 정렬시킴으로써 얻어진다. 20mm에 걸친 게이지 핀의 스캐닝은 상기 정렬을 수행한다. 스캔된 프로파일은 30마이크론 이하의 단부들 사이의 최대 높이차를 갖는 직선이어야 한다. θ(theta) 축(런 아웃, run out)에 대한 정렬은 스타일러스를 게이지 핀의 상부에 위치설정하고 핀을 완전 1회전 회전시킴으로써 수행된다. 스타일러스의 판독값은 회전을 통해 일정해야 한다. 정렬이 수행되면, θ 스테이지(220)가 홈 위치로 취해진다. 측정될 공작물의 일부는 θ척(215) 상에 장착되어 측정되는 공작물의 랜드가 스타일러스(235)의 상부 에지 상부에 그리고 평행하게 있다. 스타일러스(235)는 그 후 보어 내부로 이동되어 보어의 에지에지캔의 시작점 사이에 약 11.9mm의 이동 거리가 존재한다. 스타일러스는 그 후 공작물(210)과 접촉하게 된다. X 및 Z의 UCS가 0으로 설정되고 공작물이 스캔된다. 스타일러스(235)의 위치는 상기 부분의 정점(예를 들어, 2.5mm 위치)에 설정되고 Y 단계는 보어의 최저점으로 수동 이동된다. θ척(215)은 스타일러스 표시기가 그루브의 존재를 표시하는 최저값을 표시하는 각도로 회전된다. θ척(215)은 약 12°회전된다. 상기 위치는 나머지 부분에 대해 0°위치로 라벨되고 기준점으로서 작용한다.6 is another embodiment of a general scan showing the analysis and results of external bore erosion pattern measurements. The scan shown in FIG. 6 is obtained in accordance with the present invention by first aligning the surface scanner 240 with the axis of rotation 225 using a workpiece 210 which is a gauge pin having the same size as the bore diameter. Scanning of the gauge pin over 20 mm performs this alignment. The scanned profile should be straight with the maximum height difference between the ends of 30 microns or less. Alignment about the (theta) axis (run out) is performed by positioning the stylus on top of the gauge pin and rotating the pin a full revolution. The reading of the stylus should be constant through rotation. When the alignment is performed, the θ stage 220 is taken to the home position. A portion of the workpiece to be measured is mounted on the chuck 215 so that the land of the workpiece to be measured is above and parallel to the upper edge of the stylus 235. The stylus 235 is then moved inside the bore so that there is a travel distance of about 11.9 mm between the start points of the edge edge cans of the bore. The stylus then comes into contact with the workpiece 210. The UCS of X and Z is set to zero and the workpiece is scanned. The position of the stylus 235 is set at the vertex of the portion (eg 2.5 mm position) and the Y stage is manually moved to the lowest point of the bore. The chuck 215 is rotated at an angle at which the stylus indicator indicates the lowest value indicating the presence of the groove. The chuck 215 is rotated about 12 degrees. The position is labeled 0 ° relative to the rest and serves as a reference point.

이 때 도 5에 도시된 것처럼 UCS X는 11.8로 설정되고 Z는 0으로 설정된다. 기준점이 설정되면 스캔이 수행되고 표면 프로파일이 측정된다. 프로파일 데이터는 도 6에 도시된다. 표면 스캔이 완성되면 데이터는 Z=0으로부터 최단 거리로 정의되는 스캔 상의 최고점을 수동으로 찾음으로써 분석된다. 도 6에 도시된 델타 z는 R1 외부 보어이다. θ 스테이지(220)는 120°회전되고 동일한 측정이 R2 외측 보어로 지칭되는 제 2 위치에서 제 2 측정치를 얻기 위해 수행된다. θ 스테이지(220)는 또다시 120°회전되고 또다른 측정이 제 3 측정치 R3 외부 보어를 얻기 위해 취해진다. 마지막으로, 보어 침식은 다음의 식을 이용하여 계산된다.At this time, UCS X is set to 11.8 and Z is set to 0 as shown in FIG. 5. Once the reference point is set, the scan is performed and the surface profile is measured. Profile data is shown in FIG. 6. Once the surface scan is complete, the data is analyzed by manually finding the highest point on the scan, which is defined as the shortest distance from Z = 0. Delta z shown in FIG. 6 is an R1 outer bore. θ stage 220 is rotated 120 ° and the same measurement is performed to obtain a second measurement at a second position, referred to as the R2 outer bore. θ stage 220 is again rotated 120 ° and another measurement is taken to obtain a third measurement R3 outer bore. Finally, bore erosion is calculated using the equation

R평균 외측 보어 = (R1 외측 보어 + R2 외측 보어 + R3 외측 보어)/3.R mean outer bore = (R1 outer bore + R2 outer bore + R3 outer bore) / 3.

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외측 보어 침식 = R평균 외측 보어 *2.Outer bore erosion = R mean outer bore * 2.

본 발명이 바람직한 실시예에 의해 전술되었지만 이에 한정되지 않음을 당업자는 인식할 것이다. 전술된 본 발명의 다양한 특징 및 측면은 개별적으로 또는 조합적으로 이용될 수도 있다. 또한, 본 발명이 특정 환경에서의 실행과 관련하여 그리고 특정 분야에 대해 설명되었지만, 당업자는 본 발명의 유용성이 이에 제한되지 않고 많은 분위기 및 실행에 이용될 수 있음을 인식할 것이다.Those skilled in the art will recognize that the present invention has been described above by way of the preferred embodiment, but not limited thereto. The various features and aspects of the invention described above may be used individually or in combination. In addition, while the present invention has been described in connection with its implementation in a particular environment and with respect to a particular field, those skilled in the art will recognize that the usefulness of the present invention may be used in a number of environments and practices, without being limited thereto.

Claims (16)

보어 침식을 측정하기 위한 방법으로서,As a method for measuring bore erosion, a) 저널(journal)을 포함하는 공작물을 제공하는 단계;a) providing a workpiece comprising a journal; b) 스타일러스(stylus)를 상기 공작물에 정렬시키는 단계;b) aligning a stylus to the workpiece; c) 상기 저널의 길이를 한정하는 단계;c) defining a length of the journal; d) 상기 스타일러스를 정점 위치로 이동시키는 단계;d) moving the stylus to a vertex position; e) 허브를 회전시킴으로써 최저 그루브를 위치설정하는 단계;e) positioning the lowest groove by rotating the hub; f) 상기 허브를 고정된 위치로 회전시키는 단계;f) rotating the hub to a fixed position; g) 상기 스타일러스의 운동에 대한 제 1 종점 및 제 2 종점 사이를 스캐닝하고, 상기 스캐닝 동안 데이터를 수집하는 단계;g) scanning between a first end point and a second end point for the movement of the stylus and collecting data during the scanning; h) 상기 데이터를 라인에 피팅(fitting)함으로써 상기 데이터를 분석하는 단계;h) analyzing the data by fitting the data to a line; i) 상기 그루브에서 최저 피크를 위치설정하는 단계; 및i) positioning the lowest peak in the groove; And j) 침식을 계산하는 단계j) calculating erosion 를 포함하는 보어 침식 측정 방법.Bore erosion measurement method comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 공작물을 일정량 만큼 제 2 위치로 회전시키는 단계; 및Rotating the workpiece to the second position by an amount; And 상기 제 2 위치에서 상기 단계 a) 내지 단계 j)를 반복하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보어 침식 측정 방법.And repeating said steps a) to j) at said second position. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 일정량의 회전은 제 1 측정 위치로부터 120°인 것을 특징으로 하는 보어 침식 측정 방법.And said predetermined amount of rotation is 120 [deg.] From the first measurement position. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 공작물을 제 2 일정량 만큼 제 3 위치로 회전시키는 단계; 및Rotating the workpiece to a third position by a second predetermined amount; And 상기 제 3 위치에서 상기 단계 a) 내지 단계 h)를 반복하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보어 침식 측정 방법.And repeating step a) to step h) at the third position. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제 2 일정량의 회전은 제 2 측정 위치로부터 120°인 것을 특징으로 하는 보어 침식 측정 방법.And said second predetermined amount of rotation is 120 [deg.] From the second measurement position. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 데이터를 라인에 피팅하는 단계는 최소 제곱 피트(least square fit)를 이용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 보어 침식 측정 방법.Fitting the data to a line comprises using a least square fit. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스타일러스를 상기 공작물에 정렬시키는 단계는 측정되는 보어 직경의 크기와 동일한 크기를 가지는 게이지 핀을 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 보어 침식 측정 방법.Aligning the stylus to the workpiece comprises measuring a gauge pin having a size equal to the size of the bore diameter being measured. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 게이지 핀을 측정하는 단계는 10mm 내지 30mm의 길이에 걸쳐 상기 게이지 핀을 스캐닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 보어 침식 측정 방법.Measuring the gauge pin comprises scanning the gauge pin over a length of 10 mm to 30 mm. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 게이지 핀을 측정하는 단계는 15mm 내지 25mm의 길이에 걸쳐 상기 게이지 핀을 스캐닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 보어 침식 측정 방법.Measuring the gauge pin comprises scanning the gauge pin over a length of 15 mm to 25 mm. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 게이지 핀을 측정하는 단계는 20mm의 길이에 걸쳐 상기 게이지 핀을 스캐닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 보어 침식 측정 방법.Measuring the gauge pin comprises scanning the gauge pin over a length of 20 mm. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 게이지 핀을 측정하는 단계는 단부들 사이의 최대 높이 편차가 30 마이크론 미만인 라인을 따라 상기 게이지 핀을 스캐닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 보어 침식 측정 방법.Measuring the gauge pin comprises scanning the gauge pin along a line with a maximum height deviation between the ends of less than 30 microns. 이동 축선을 공작물의 축선에 대해 정렬시키는 방법으로서,A method of aligning a moving axis with respect to an axis of a workpiece, 측정되는 보어 직경의 크기와 동일한 크기를 가지는 게이지 핀을 제공하는 단계;Providing a gauge pin having a size equal to the size of the bore diameter being measured; 10mm 내지 30mm의 길이에 걸쳐 상기 게이지 핀을 스캐닝하는 단계; 및Scanning the gauge pin over a length of 10 mm to 30 mm; And 종점들 사이의 최대 높이 편차가 30 마이크론 미만이 되도록 종점들을 갖는 라인을 따라 상기 게이지 핀을 스캐닝하는 단계Scanning the gauge pin along a line with endpoints such that the maximum height deviation between endpoints is less than 30 microns 를 포함하는 이동 축선의 정렬 방법.Alignment method of the moving axis comprising a. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 게이지 핀을 스캐닝하는 단계는 20mm의 길이에 걸쳐 상기 게이지 핀을 스캐닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이동 축선의 정렬 방법.And scanning the gauge pin comprises scanning the gauge pin over a length of 20 mm. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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