KR100834416B1 - Rotating angle detection device used capacitive change and method - Google Patents
Rotating angle detection device used capacitive change and method Download PDFInfo
- Publication number
- KR100834416B1 KR100834416B1 KR1020070034669A KR20070034669A KR100834416B1 KR 100834416 B1 KR100834416 B1 KR 100834416B1 KR 1020070034669 A KR1020070034669 A KR 1020070034669A KR 20070034669 A KR20070034669 A KR 20070034669A KR 100834416 B1 KR100834416 B1 KR 100834416B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- side conductor
- rotation angle
- angle detection
- rotating
- conductor plate
- Prior art date
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 72
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
- G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
- G01P3/48—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
- G01P3/481—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
- G01P3/483—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals delivered by variable capacitance detectors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/249—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using pulse code
- G01D5/2492—Pulse stream
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
Abstract
Description
본 명세서에서 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어서 해석되어서는 아니된다.The following drawings, which are attached in this specification, illustrate preferred embodiments of the present invention, and together with the detailed description of the present invention, serve to further understand the technical spirit of the present invention. It should not be construed as limited to.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 적용되는 고정자와 회전자의 분해도.1 is an exploded view of a stator and a rotor applied to the first embodiment of the present invention.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 적용되는 고정자와 회전자의 조립상태도.Figure 2 is an assembled state of the stator and the rotor applied to the first embodiment of the present invention.
도 3은 도 1의 A-A선에서 본 단면도.3 is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 적용되는 고정측 도체판의 내면 전개도.4 is a development view of the inner surface of the fixed-side conductor plate applied to the first embodiment of the present invention.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 적용되는 회전측 도체판의 전개도.5 is a developed view of a rotating side conductor plate applied to the first embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 전기용량 변화를 이용한 회전각 검출 장치의 구성도.6 is a block diagram of a rotation angle detection device using a change in capacitance according to a second embodiment of the present invention.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 적용되는 고정측 도체판 및 회전측 도체판의 평면 구성도.7 is a planar configuration diagram of a fixed side conductor plate and a rotating side conductor plate applied to the second embodiment of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
20: 고정자20: stator
21,22: 고정측 도체판21,22: fixed side conductor plate
30: 회전자30: rotor
31: 회전측 도체판31: rotating side conductor plate
본 발명은 회전물체의 회전 각도를 측정하기 위한 장치에 관한 것으로, 특히 회전에 따라 교차하는 도체판 사이의 정전 용량의 비율 변화를 이용하여 회전각을 검출할 수 있도록 한 회전각 검출 장치 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a device for measuring the rotation angle of a rotating object, in particular a rotation angle detection device and method for detecting the rotation angle by using a change in the ratio of the capacitance between the conductor plates intersect with the rotation. It is about.
회전물체의 회전 각도를 측정하기 위해서 종래에는 일정한 간격으로 슬릿홀을 구비한 회전판과, 상기 회전판의 일측방에 배치된 발광소자와, 상기 회전판의 타측방에 배치되어 슬릿홀을 통과한 빛 신호를 받아들이는 수광소자를 포함한 구성으로 된 기계적인 엔코더를 주로 이용하는 방식이었다.Conventionally, in order to measure the rotation angle of the rotating object, a rotating plate having slit holes at regular intervals, a light emitting element disposed on one side of the rotating plate, and a light signal disposed on the other side of the rotating plate and passing through the slit hole It mainly used a mechanical encoder composed of a light receiving element.
그러나 이러한 기계적인 엔코더 방식의 경우 각도의 분해능을 높이기 위해 슬릿홀이 작게 구성되거나 촘촘하게 슬릿홀을 배열하여야 된다. 그러나 물리적으로 슬릿홀을 작게 구성하거나 슬릿홀을 등간격으로 촘촘히 배열하는데 한계가 있어 작게 구현하기 어렵고, 이에 따라 회전 각도의 분해능을 높이는데 제약을 받는다.However, in the case of the mechanical encoder method, the slit hole must be configured small or the slit holes are densely arranged to increase the resolution of the angle. However, there is a limitation in physically forming a slit hole or arranging the slit holes closely at equal intervals, so that it is difficult to implement a small slit hole, thereby limiting the resolution of the rotation angle.
또한 이러한 기계적인 엔코더 방식의 경우 비교적 제작 비용이 고가인 문제점을 가지고 있다.In addition, such a mechanical encoder has a relatively expensive manufacturing cost.
따라서 본 발명은 상기와 같은 제반적인 사정을 감안하여 창출된 것으로, 2개의 전기용량 비율 변화를 이용하여 회전각도의 분해능을 높일 수 있고, 작게 구현하며 저가로 제작이 가능한 전기용량 변화를 이용한 회전각 검출 장치 및 그 방법을 제공함에 그 목적이 있다.Therefore, the present invention was created in view of the above-mentioned circumstances, and it is possible to increase the resolution of the rotation angle by using two capacitance ratio changes, and to realize the rotation angle using the capacitance change that can be manufactured at low cost. It is an object of the present invention to provide a detection device and a method thereof.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구체적인 수단은,Specific means of the present invention for achieving the above object,
회전각 검출장치에 있어서,In the rotation angle detection device,
두개의 고정측 도체판을 갖는 고정자와;A stator having two fixed side conductor plates;
상기 고정자에 대하여 상대적으로 회전하여 1회전마다 상기 고정측 도체판 위를 동시에 서로 다른 변화 면적으로 반복하여 겹쳐 지나가는 회전측 도체판이 구비되어 있는 회전자를 포함하여 구성된다.And a rotor provided with a rotation side conductor plate that rotates relative to the stator and repeatedly overlaps the fixed side conductor plate with different change areas at the same time every one revolution.
또한 본 발명에 따르면,Also according to the invention,
상기 고정측 도체판에 전기적으로 연결되어 상기 서로 다른 전기용량의 아날로그값을 디지탈 각도로 변환시키는 커패시턴스 디지탈 컨버터를 더 포함하여 구성된다.And a capacitance digital converter electrically connected to the fixed side conductor plate to convert analog values of the different capacitances into digital angles.
또한 본 발명에 따르면,Also according to the invention,
상기 두개의 고정측 도체판은 각기 직각 삼각 형태로 구성되거나 태극 형태로 구성된 것을 특징으로 한다.The two fixed side conductor plates are each configured in a right triangular form or in a taegeuk form.
또한 본 발명에 따르면,Also according to the invention,
상기 고정측 도체판과 회전측 도체판의 사이에 유전율을 높여 전기용량을 크게 할 수 있는 유전체가 더 포함되어 구성된다.A dielectric is further included between the fixed side conductor plate and the rotating side conductor plate to increase the dielectric constant.
또한 본 발명에 따르면,Also according to the invention,
상기 고정측 도체판 및 회전측 도체판의 배면에는 절연체와 실드가 각기 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.An insulator and a shield are respectively formed on the rear surfaces of the fixed side conductor plate and the rotating side conductor plate.
또한 본 발명에 따른 회전각 검출 방법은,In addition, the rotation angle detection method according to the present invention,
평면 또는 내주면 전체에 설치된 두개의 고정측 도체판과 상기 고정측 도체판 위에 일정 면적을 가지고 교차하면서 회전가능하게 배치된 회전측 도체판을 구비하고;Two fixed-side conductor plates provided on the entire plane or inner circumferential surface thereof and a rotation-side conductor plate rotatably disposed on the fixed-side conductor plate with a predetermined area therebetween;
상기 회전측 도체판을 회전체에 연결하는 단계와;Connecting the rotating side conductor plate to a rotating body;
상기 회전측 도체판을 회전시켜 상기 2개의 고정측 도체판과의 사이에 발생된 각각의 전기용량(C1,C2)의 변환값을 전기용량 디지탈 컨버터를 이용하여 디지탈 값으로 변환 후 정정용량비(C1/(C1+C2))에 대응되는 회전각으로 변환시키는 단계를 포함하여 회전각을 검출하는 것을 특징으로 한다.The rotational conductor plate is rotated to convert the respective capacitances C1 and C2 generated between the two fixed-side conductor plates to digital values using a capacitive digital converter and then to a correction capacitance ratio C1. And converting the rotation angle to a rotation angle corresponding to / (C1 + C2)).
먼저, 본 발명은 전기용량의 센서(Capacitive Sensor) 방식을 적용하는 개념으로서, 고분해능을 위해 두 정정용량의 비율(ratio)를 산출하여 선형적인 각도 변환으로 회전각도(0°~360°)를 검출한다.First, the present invention is a concept of applying a capacitive sensor method, and calculates the ratio of two capacitive capacities for high resolution to detect a rotation angle (0 ° to 360 °) by linear angle conversion. do.
즉, 본 발명은 회전축에 연결된 회전측 도체판이 두개의 고정측 도체판을 동시에 서로 다른 면적으로 겹쳐 지나도록 하여 고정측 도체판의 변화되는 면적에 따 라 나타나는 전기용량의 비율을 360°의 회전각도로 대응하도록 구성한 것이다.That is, in the present invention, the rotational conductor plate connected to the rotational shaft passes two fixed-side conductor plates at the same time in different areas so that the ratio of capacitance generated according to the changed area of the fixed-side conductor plate is 360 °. It is configured to correspond to.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1 내지 도 3에서와 같이, 본 발명에 따른 회전각 검출장치는 고정자(20)와, 상기 고정자(20)에 대하여 상대적으로 회전하는 회전자(30)로 구성된다.1 to 3, the rotation angle detection device according to the present invention is composed of a
제 1 실시예에서 고정자(20)는 원통형으로 구성되고 상기 회전자(30)는 원형 단면을 갖고 고정자(20)의 내부에 삽입되어 회전하게 되어 있다. 이때 회전자(30)는 회전체(미도시)로부터 회전력을 전달받기 위한 회전축(30a)을 갖는다.In the first embodiment, the
상기 고정자(20)는 그 내주면에 분할된 두개의 고정측 도체판(21,22)이 설치되어 있다.The
본 실시예에서 두개의 고정측 도체판(21,22)은 도 4의 전개도에서와 같이 동일한 기울기의 변을 갖는 직각 삼각 형태로 이루어진다.In the present embodiment, the two fixed
이때 상기 고정측 도체판(21,22)의 배면에는 절연체(23)를 사이에 두고 실드(shield)(24)가 각기 구성되어 있다. 이때 실드(24)는 외부로부터 유입되는 전기자 또는 자기장에 의한 기생커패시턴스를 방지하기 위해 설치된다.At this time, a
상기 회전자(30)는 외주면 일개소에 설치되어 1회전시마다 상기 두개의 고정측 도체판(21,22) 위를 위치 이동하여 서로 다른 변화 면적으로 겹쳐 지나가는 회전측 도체판(31)이 구비되어 있다.The
이때 회전측 도체판(31)은 고정측 도체판(21,22)의 길이(L) 보다는 작고 고정측 도체판(21,22)의 폭(H)과 동일하게 구성된다.At this time, the rotation
또한, 상기 회전측 도체판(31)의 배면에는 절연체(32)를 사이에 두고 절연체 및 실드(33)가 각기 구성되어 있다. 이때 실드(23)는 외부로부터 유입되는 전기자 또는 자기장의 기생 커패시턴스를 방지하기 위해 설치된다.Moreover, the insulator and the
한편, 본 발명은 상기 고정측 도체판(21,22)과 회전측 도체판(31) 사이에서각기 발생된 서로 다른 전기용량(C1,C2)의 아날로그값을 디지탈 각도로 변환시키는 커패시턴스 디지탈 컨버터(40a,40b)가 전기적으로 연결되어 구성된다.On the other hand, the present invention is the capacitance digital converter for converting the analog values of the different capacitance (C1, C2) generated between the fixed side conductor plate (21, 22) and the rotating
이와 같이 구성된 제 1실시예의 회전각 검출장치는 회전자(30)의 회전축(30a)에 회전체(미도시)가 연결된다.In the rotation angle detecting device of the first embodiment configured as described above, a rotating body (not shown) is connected to the rotating
이 상태에서 회전자(30)가 회전하게 되면 회전측 도체판(31)은 두개의 고정측 도체판(21,22) 위를 서로 다른 면적을 겹쳐 지나가게 된다. 따라서 회전자(30)의 1회전 마다 회전측 도체판(31)과 고정측 도체판(21,22)의 겹치는 면적은 변화된다.When the
이로 인해 회전측 도체판(31)이 위치하는 회전 각도마다 고정측 도체판(21,22)과의 사이에서 전기용량(C1,C2)이 변화된다.As a result, the capacitances C1 and C2 are changed between the fixed
즉, 아래 표1에서의 실험결과와 같이 회전측 도체판(31)의 폭이 10mm 이고, 고정측 도체판(21,22)의 가로 길이 31,4mm이고(직경 10mm의 원의 둘레임) 세로 길이가 5mm 일 경우 회전자(30)의 이동 위치에 따른 커패시턴스(C1,C2)는 서로 반비례적으로 변화되어 나타남을 알 수 있다.That is, as shown in the experimental results in Table 1 below, the width of the
또한, 상기 커패시턴스(C1,C2)의 값을 이용한 분해능 C1/(C1+C2)의 비율을 플로팅하여 보면 아래 표2와 같이 나타남을 알 수 있다.In addition, when plotting the ratio of the resolution C1 / (C1 + C2) using the values of the capacitance (C1, C2) it can be seen that shown in Table 2 below.
따라서, 상기 고정측 도체판(21,22)과 회전측 도체판(31)에 전기적으로 연결된 커패시턴스 디지탈 컨버터(40a,40b)에 의해 각각의 전기용량이 디지탈 값으로 변환되며, 이로부터 C1/(C1+C2) 비율을 구하고 이에 대응된 회전각(0°~360°)이 환산된다.Accordingly, each capacitance is converted into a digital value by capacitance
한편, 상기 고정측 도체판(21,22)과 회전측 도체판(31)의 사이에는 유전율()을 높여 전기용량을 크게 하여 분해능을 높이기 위한 유전체가 더 설치될 수 있다.Meanwhile, the dielectric constant (between the fixed
일반적으로 전기용량(Capacitance), C는 아래와 같이 정의되므로 본 발명에서 도체판의 면적(A)을 증가시키거나 유전체의 두께(d)를 감소시키거나 유전율()이 높은 유전체를 사용하면 각도 분해능을 더욱 증진시킬 수 있다.In general, the capacitance (C) is defined as follows, so in the present invention, the area (A) of the conductor plate is increased, the thickness (d) of the dielectric is decreased, or the dielectric constant ( Higher dielectrics can further enhance angular resolution.
여기서, 는 자유공간의 유전율이다.here, Is the permittivity of free space.
다른 한편, 본 발명은 그 변형예의 제2실시예로서, 도 6 및 도 7에서와 같이 고정자(20)와 회전자(30)는 원판형으로 구성되고, 이때 두개의 고정측 도체판(21,22)은 직각 삼각형의 변형이 나선 형태로 구성된 것을 특징으로 한다.On the other hand, the present invention is a second embodiment of the modification, the
이에 대한 작용은 제 1실시예와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.Since the operation thereof is the same as in the first embodiment, detailed description thereof will be omitted.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.As described above, although the present invention has been described by way of limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto, and the technical idea of the present invention and the following by those skilled in the art to which the present invention pertains. Of course, various modifications and variations are possible within the scope of equivalents of the claims to be described.
상술한 바와 같이 본 발명의 전기용량 변화를 이용한 회전각 검출 장치에 따르면, 회전판에 슬릿홀을 형성할 필요가 없기 때문에 작게 구성할 수 있고 제작비용을 저렴하게 구현할 수 있다. 또한 전기용량의 비율로 선형적인 회전각도 변환값을 얻기 때문에 각도 검출의 고분해능을 얻을 수 있는 장점을 갖는다.As described above, according to the rotation angle detection apparatus using the capacitance change of the present invention, since it is not necessary to form a slit hole in the rotating plate, it can be configured small and the manufacturing cost can be implemented at low cost. In addition, since a linear rotation angle conversion value is obtained as a ratio of capacitance, it has an advantage of obtaining high resolution of angle detection.
Claims (7)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070034669A KR100834416B1 (en) | 2007-04-09 | 2007-04-09 | Rotating angle detection device used capacitive change and method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070034669A KR100834416B1 (en) | 2007-04-09 | 2007-04-09 | Rotating angle detection device used capacitive change and method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR100834416B1 true KR100834416B1 (en) | 2008-06-04 |
Family
ID=39769777
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070034669A KR100834416B1 (en) | 2007-04-09 | 2007-04-09 | Rotating angle detection device used capacitive change and method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100834416B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009136672A1 (en) * | 2008-05-08 | 2009-11-12 | Mi Kyung Kim | Rotating angle detection device used capacitive change and method thereof |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR980013015A (en) * | 1996-07-04 | 1998-04-30 | 유기범 | 2 Channel Assignment Method Using Mirror Method of Satellite Communication System and Its Apparatus |
KR20060045462A (en) * | 2004-04-06 | 2006-05-17 | 알프스 덴키 가부시키가이샤 | Apparatus for detecting rotation angle |
-
2007
- 2007-04-09 KR KR1020070034669A patent/KR100834416B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR980013015A (en) * | 1996-07-04 | 1998-04-30 | 유기범 | 2 Channel Assignment Method Using Mirror Method of Satellite Communication System and Its Apparatus |
KR20060045462A (en) * | 2004-04-06 | 2006-05-17 | 알프스 덴키 가부시키가이샤 | Apparatus for detecting rotation angle |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009136672A1 (en) * | 2008-05-08 | 2009-11-12 | Mi Kyung Kim | Rotating angle detection device used capacitive change and method thereof |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Zheng et al. | A capacitive rotary encoder based on quadrature modulation and demodulation | |
US9250058B2 (en) | Capacitive rotary encoder | |
US8847611B2 (en) | Capacitive differential quadrature rotary position sensor | |
CN103868535B (en) | Inductive position measurement apparatus | |
JP2002542476A (en) | Capacitive displacement encoder | |
DK2270433T3 (en) | Capacitive rotary angle sensor | |
JP2015114331A (en) | Angular and axial position sensor arrangement | |
JPH0477846B2 (en) | ||
TW200910402A (en) | Rotation input device and rotation detecting device using the same | |
JP2016151576A (en) | Sensor device for detecting rotation angle of rotation module in vehicle | |
EP2824426B1 (en) | Capacitative rotation angle sensor | |
CN202562970U (en) | Detector bar capable of adjusting telescoping of probe | |
EP3091339B1 (en) | Nonvolatile rotation sensor with spiral track | |
SE516952C2 (en) | angle sensors | |
CN103454318B (en) | Electrical capacitance tomography sensor with double-layer rotating electrode | |
ES2738581T3 (en) | Absolute capacitive encoder | |
CN110646632A (en) | Triboelectric rotating speed sensing device, shafting assembly and calibration method | |
Krklješ et al. | A capacitive angular sensor with flexible digitated electrodes | |
JP2010271333A (en) | Rotary type position detecting apparatus | |
KR100834416B1 (en) | Rotating angle detection device used capacitive change and method | |
US7023684B1 (en) | Variable position sensor employing capacitance | |
US9574958B2 (en) | Torque sensor | |
Das et al. | Simple approach to design a capacitive rotary encoder | |
EP2629061B1 (en) | Method for operating a capacitive position sensor and capacitive position sensor | |
CN102798340B (en) | Corner sensor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
N231 | Notification of change of applicant | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |