KR100820128B1 - Apparatus for keeping scanning probe of scanning probe microscope - Google Patents

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KR100820128B1
KR100820128B1 KR1020060126695A KR20060126695A KR100820128B1 KR 100820128 B1 KR100820128 B1 KR 100820128B1 KR 1020060126695 A KR1020060126695 A KR 1020060126695A KR 20060126695 A KR20060126695 A KR 20060126695A KR 100820128 B1 KR100820128 B1 KR 100820128B1
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magnet
probe module
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storage device
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정정주
한철수
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한양대학교 산학협력단
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Abstract

A probe storing device for an SPM(Scanning Probe Microscope) is provided to prevent a probe from being damaged by shock and to fix a probe module stably with a magnet by easily attaching and detaching the probe module by difference of magnetic force generated according to the distance between a support plate and the magnet. A probe storing device for an SPM is composed of: a case(20) comprising a cover capable of being opened and closed and a lower case for containing a probe module; a magnet(24) fixed in the lower case; a support body(25) fixed in the lower case and provided with a placing part(25a) positioned right above the magnet to place and fix the probe module; and a fixed plate(27) made of materials attachable on the magnet and attached on the placing part of the support body by magnetic force of the magnet. The probe module is fitted between the placing part and the fixed plate and then fixed by magnetic force of the magnet.

Description

주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치{Apparatus for keeping scanning probe of scanning probe microscope}Apparatus for keeping scanning probe of scanning probe microscope

도 1은 종래기술에 따른 탐침 보관 장치를 나타내는 사시도,1 is a perspective view showing a probe storage device according to the prior art,

도 2는 본 발명에 따른 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치의 전체 사시도, 2 is an overall perspective view of a storage device of a scanning probe microscope probe according to the present invention,

도 3은 본 발명에 따른 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치에서 덮개를 연 상태의 단면도, 3 is a cross-sectional view of the cover open state in the storage device of the scanning probe microscope probe according to the present invention,

도 4는 본 발명에 따른 탐침 보관 장치에 탐침 모듈을 고정시킨 상태의 사시도, 4 is a perspective view of a probe module fixed to the probe storage device according to the present invention,

도 5는 본 발명에 따른 탐침 보관 장치에 탐침 모듈을 고정시킨 상태의 단면도, 5 is a cross-sectional view of a probe module fixed to the probe storage device according to the invention,

도 6은 본 발명에 따른 탐침 보관 장치에서 탐침 모듈의 고정을 위한 주요 구성부의 상세도,6 is a detailed view of the main components for fixing the probe module in the probe storage device according to the invention,

도 7은 본 발명에 따른 탐침 보관 장치의 다른 실시예로서, 탐침 모듈이 지지되는 지지체를 달리하여 구성한 단면도.7 is a cross-sectional view of another embodiment of the probe storage device according to the present invention, in which the probe module is supported with different supports.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

5 : 탐침 모듈 20 : 케이스5: probe module 20: case

21 : 덮개 22 : 하부 케이스21: cover 22: lower case

23 : 힌지결합부 24 : 자석23: hinge coupling portion 24: the magnet

25 : 지지판 25a : 안착부25 support plate 25a seating portion

25b : 연결부 26 : 성형체25b: connecting portion 26: molded body

26a : 안착부 26b : 연결부26a: seating part 26b: connection part

27 : 고정판 27a : 가이드부 27: fixing plate 27a: guide part

본 발명은 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 탐침 모듈을 자석의 자기력에 의해 고정하도록 구성됨으로써, 케이스 내의 탐침 모듈을 안전하게 고정 및 수납할 수 있고, 휴대 또는 보관에 있어서 안정성을 높일 수 있는 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관장치에 관한 것이다.The present invention relates to a storage device for a probe for a scanning probe microscope, and more particularly, to be configured to fix the probe module by the magnetic force of the magnet, so that the probe module in the case can be securely fixed and stored, and in portable or storage The present invention relates to a storage device for a scanning probe microscope probe that can increase stability.

탐침 모듈의 보관 장치에 자성이 있는 물체로 탐침 모듈을 고정시킴으로써 휴대 및 보관에 있어서 안전성을 높일 수 있으며 탈착이 용이한 구조를 제공한다.By fixing the probe module with a magnetic object to the storage device of the probe module, it is possible to increase safety in carrying and storage and to provide a structure that is easily removable.

일반적으로, 주사 탐침 현미경(Scanning Probe Microscope; SPM)은, 일반 대기 상태에서 나노 스케일의 물질 구조를 해석하는데 이용되는 것으로서, 날카롭고 뾰족하게 생긴 탐침(Probe, Tip)을 시료 표면에 직접 접촉 또는 근접시킨 뒤 위에 서 시료 표면을 왕복하면서 스캐닝하여 그 시료 표면의 형상을 알 수 있게 하는 현미경을 총칭한다. In general, Scanning Probe Microscope (SPM) is used to analyze nanoscale material structures in normal atmosphere, and the sharp, pointed probe (Probe, Tip) is in direct contact with or close to the sample surface. After scanning the sample surface reciprocally from above, it is a generic term for the microscope to determine the shape of the sample surface.

이러한 주사 탐침 현미경을 통해서는 형상뿐만 아니라 자기력과 정전기적 반발력 등 시료가 가지는 여러 가지 힘, 즉 특성을 감지하는 것도 가능하며, 모양을 스캐닝하거나 여러 가지 힘의 분포를 아는 것에 의해 시료의 형상과 자기적, 전기적 성질을 화상으로 표시할 수도 있다. Through this scanning probe microscope, it is possible to detect not only shapes but also various forces, ie characteristics, such as magnetic force and electrostatic repulsive force, and by scanning shapes or knowing the distribution of various forces, Red and electrical properties may be displayed as images.

한편, 상기와 같은 주사 탐침 현미경에서는 수 Å의 분해능을 가진 탐침을 사용하며, 이 탐침은 캔틸레버 몸체 끝단에 결합되어 있는데, 상용 주사 탐침 현미경에서는 캔틸레버 몸체를 직접 고정시키거나 캐리어라는 부가 장치를 사용하게 된다.On the other hand, such a scanning probe microscope uses a probe having a resolution of several microseconds, and the probe is coupled to the end of the cantilever body. In a commercial scanning probe microscope, the cantilever body may be directly fixed or an additional device called a carrier may be used. do.

통상 캐리어는 주사 탐침 현미경 내에 자기력으로 부착시켜 사용할 수 있도록 자석에 부착될 수 있는 재질, 예컨대 철판 등을 재질로 하여 제작되고 있으며, 주사 탐침 현미경에 따라서는 플라스틱 등을 재질로 하여 제작되기도 한다. Usually, the carrier is made of a material that can be attached to a magnet, such as an iron plate, so as to be attached to the scanning probe microscope with a magnetic force, and, depending on the scanning probe microscope, may be made of plastic or the like.

그리고, 탐침을 보관할 시에는 일반적으로 탐침과 캔틸레버 몸체가 일체로 결합된 상태 또는 탐침, 캔틸레버 몸체, 캐리어가 일체로 결합된 상태로 보관한다(이하, 탐침, 캔틸레버 몸체, 캐리어가 일체로 결합된 상태를 탐침 모듈라 함).In addition, when storing the probe, the probe and the cantilever body are generally integrally coupled, or the probe, the cantilever body, and the carrier are kept integrally coupled (hereinafter, the probe, the cantilever body, and the carrier are integrally coupled to each other). Is called the probe module).

특히, 상기와 같이 일체로 결합된 탐침과 캔틸레버 몸체 또는 탐침 모듈을 외부 충격으로부터 보호하고 손상을 방지하기 위하여 별도의 보관 장치에 보관하도록 되어 있다.In particular, the probe and cantilever body or the probe module integrally coupled as described above is to be stored in a separate storage device in order to protect from external shock and to prevent damage.

이하, 종래기술에 따른 탐침 보관 장치에 대해 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the probe storage device according to the prior art will be described.

첨부한 도 1은 종래기술에 따른 탐침 보관 장치를 도시한 사시도로서, 이에 도시한 바와 같이, 보관 장치는 탐침을 넣어 보관할 수 있는 케이스(1)를 포함한다. 1 is a perspective view showing a probe storage device according to the prior art, and as shown therein, the storage device includes a case 1 into which a probe can be stored.

그리고, 상기 케이스(1)는 크게 열고 닫을 수 있는 덮개(2)와, 탐침이 수납되는 하부 케이스(3)로 구성되며, 여기서 덮개(2)는 먼지 등 외부의 오염을 차단하는 기능을 가진다.In addition, the case 1 is composed of a cover (2) that can be opened and closed largely, and the lower case (3) in which the probe is housed, where the cover (2) has a function of blocking external contamination such as dust.

그리고, 하부 케이스(3)는 탐침을 수납하는 동시에 고정시키고, 또한 외부 충격으로부터 보호하여 손상을 방지하는 역할을 하는 바, 하부 케이스(3)의 내부 바닥면에는 부드러운 재질로 이루어진 연성체가 채워진다. In addition, the lower case 3 accommodates and fixes the probe, and also serves to prevent damage by protecting it from external shocks. A soft material made of a soft material is filled in the inner bottom surface of the lower case 3.

예컨대, 고정을 위하여, 점성을 가진 젤(4)이 하부 케이스(3)의 바닥면에 채워진(도포된) 상태에서, 이 젤(4)에 탐침이 결합되어 있는 캔틸레버 몸체를 점성을 이용해 직접 붙이거나 캔틸레버 몸체와 결합된 캐리어를 점성을 이용해 붙여서 보관하게 된다.For example, for fixation, with a viscous gel 4 being filled (coated) on the bottom surface of the lower case 3, the cantilever body with the probe attached to the gel 4 is directly attached with viscosity. Alternatively, the carrier combined with the cantilever body may be stored in a viscous manner.

즉, 하부 케이스(3)의 바닥면에 젤(4)을 바른 상태로 탐침을 젤에 붙여 수납하고 있으며, 이때 젤(4)의 점성에 의해 탐침이 움직이지 않고 하부 케이스(3) 내부에 고정되면서 케이스(1) 내부에 안전하게 보관되는 것이다.That is, the probe is attached to the gel while the gel 4 is applied to the bottom surface of the lower case 3, and the probe is not moved by the viscosity of the gel 4 and fixed inside the lower case 3. Will be stored safely inside the case (1).

그러나, 상기와 같은 종래의 보관 장치는 단순히 연성체의 점성을 이용해서 캔틸레버 몸체나 캐리어를 고정시키므로, 케이스(1)가 세워지거나 외부 충격이 가해질 경우 또는 반복적인 탈착으로 인해 연성체가 오염되어 점성이 약해질 경우에는 탐침의 고정에 문제가 발생할 수 있다.However, the conventional storage device as described above simply secures the cantilever body or carrier by using the viscosity of the flexible body, so that when the case 1 is erected, an external impact is applied or the detachable material is contaminated due to repeated detachment, If weak, problems with fixing the probe may occur.

즉, 탐침이 케이스의 내부 부착면으로부터 완전히 고정되지 못하고 쉽게 떨어질 수 있는 문제가 있는 것이다.That is, there is a problem that the probe is not completely fixed from the inner attachment surface of the case and can easily fall off.

이와 같이 케이스 내부에 수납된 상태에서 탐침의 고정이 완전하게 이루어지지 않으면, 수납된 탐침들이 움직이면서 부딪혀 충격을 받을 수 있고, 이에 손상을 받을 수가 있다.If the fixing of the probe is not completely made in the state accommodated in the case as described above, the stored probes may be impacted by a bump while moving, and may be damaged.

이에 종래에는 탐침을 케이스 내부에 수납한 상태라 하더라도 휴대 및 보관에 세심한 주의가 필요하였으며, 탐침이 손상되어 사용하지 못하게 되는 문제가 자주 발생하고 있는 바, 이에 대한 개선이 절실한 실정이다. Therefore, in the conventional art, even if the probe is stored in the case, it is necessary to pay close attention to carrying and storage, and the problem is often caused by the damage to the probe, which is an urgent need for improvement.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명한 것으로서, 탐침 모듈이 케이스 내에서 자석의 자기력에 의해 고정되도록 구성됨으로써, 케이스 내의 탐침 모듈을 정위치에서 탈락됨 없이 안전하게 고정 및 수납할 수 있고, 휴대 또는 보관에 있어서 안정성을 높일 수 있으며, 탐침이 충격에 의해 손상되는 것을 효과적으로 방지할 수 있는 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Therefore, the present invention is invented to solve the above problems, the probe module is configured to be fixed by the magnetic force of the magnet in the case, so that the probe module in the case can be securely fixed and stored without falling off from the correct position. The present invention is intended to provide a storage device for a scanning probe microscope probe which can enhance stability in carrying or storing, and can effectively prevent the probe from being damaged by an impact.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 개폐 가능한 덮개와 탐침 모듈이 수납되는 하부 케이스로 이루어진 케이스와, 상기 하부 케이스 내부에 고정 설치되는 자석와, 상기 하부 케이스 내부에 고정 설치되고 탐침 모듈이 올려진 뒤 고정 및 지지되는 부분으로서 상기 자석의 직상방으로 위치되는 안착부를 구비한 지지체와, 자석에 부착될 수 있는 재질로 제작되어 상기 자석의 자기력에 의해 상기 지지체의 안착부에 부착되는 고정판을 포함하여 구성되고, 탐침 모듈이 상기 안착부와 고정판 사이에 끼워진 뒤 상기 자석의 자기력에 의해 고정되어 수납될 수 있게 된 것을 특징으로 하는 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention is a case consisting of a case that is open and close the cover and the probe module, the magnet is fixedly installed in the lower case, the fixed fixed inside the lower case and the probe module is raised And a support having a seating portion located directly above the magnet as a fixed and supported portion, and a fixing plate made of a material attachable to the magnet and attached to the seating portion of the support by the magnetic force of the magnet. It is configured to provide a storage device for a scanning probe microscope probe, characterized in that the probe module is sandwiched between the seating portion and the fixed plate and can be fixed and stored by the magnetic force of the magnet.

일 실시예에서, 상기 지지체가 상기 자석로부터 소정 거리 이격된 상태가 되도록 하여 상기 자석를 덮을 수 있게 고정 설치되는 지지판이고; 상기 지지판은 반복적으로 절곡 형성되어 전체적으로는 그 단면상에서 볼 때 톱니 모양을 형성하는 절곡된 구조로 구비되어, 탐침 모듈이 올려진 뒤 고정 및 지지되는 복수개의 경사진 안착부와, 이웃한 두 안착부 사이를 연결하는 연결부로 구성되며; 상기 지지판의 각 안착부 직하방에 상기 자석가 각각 위치되어 설치되는 것을 특징으로 한다.In one embodiment, the support is fixed to cover the magnet so that the support is spaced apart from the magnet by a predetermined distance; The support plate has a bent structure that is repeatedly bent to form a sawtooth shape when viewed in its cross section as a whole, a plurality of inclined seating portions fixed and supported after the probe module is raised, and two adjacent seating portions It is composed of a connecting portion for connecting between; Characterized in that the magnet is positioned and installed directly below each seating portion of the support plate.

또한 탐침 모듈이 접촉하게 되는 상기 안착부 표면을 포함하는 지지판 표면에는 접촉시 탐침 모듈에 가해지는 충격 및 손상을 최소화하기 위한 완충제가 코팅되는 것을 특징으로 한다.In addition, the support plate surface including the seating surface to which the probe module is in contact is characterized in that the buffer is coated to minimize the impact and damage to the probe module upon contact.

또한 상기 각 안착부는 단면상에서 볼 때 그 길이를 탐침 모듈의 길이보다 짧게 하여, 탐침 모듈이 올려진 뒤 탐침 모듈의 상단부가 상기 안착부 표면과 완전 분리된 상태로 상방으로 돌출 연장될 수 있게 된 것을 특징으로 한다.In addition, the seating portion is shorter than the length of the probe module when viewed in cross section, so that the upper end of the probe module can be protruded upwardly and completely separated from the seating surface after the probe module is raised It features.

또한 상기 경사진 각 안착부는 그 직하방에 위치된 상기 자석와의 거리에 있어서 상단부에서의 거리가 하단부에서의 거리에 비해 상대적으로 크게 되어 있어, 상기 자석에 의한 자기력(흡인력)이 안착부 상단부에서 하단부에 비해 상대적으로 작게 작용하도록 한 것을 특징으로 한다.In addition, each of the inclined seating portion has a distance from the upper end relative to the distance from the magnet located directly below it is relatively larger than the distance from the lower end, so that the magnetic force (suction force) by the magnet at the lower end of the seating portion It is characterized in that it acts relatively small compared to.

다른 실시예에서, 상기 지지체가 하부 케이스 내부에 설치되는 성형체로 되어 있고; 상기 성형체의 상면은 단면상으로 볼 때 톱니 모양으로 형성되어, 탐침 모듈이 올려진 뒤 고정 및 지지되는 복수개의 경사진 안착부와, 이웃한 두 안착부 사이를 연결하는 연결부로 구성되며; 상기 성형체의 각 안착부에서 그 표면으로부터 직하방으로 소정 거리를 두고 위치될 수 있게 상기 성형체의 내부 홀에 상기 자석가 각각 삽입되어 고정 설치되는 것을 특징으로 한다.In another embodiment, the support is a molded body installed inside the lower case; The upper surface of the molded body is formed in a sawtooth shape when viewed in cross section, and is composed of a plurality of inclined seating portions fixed and supported after the probe module is raised, and a connection portion connecting between two neighboring seating portions; The magnets are inserted into and fixed in the inner holes of the molded body so as to be positioned at a predetermined distance directly below the surface of each seating part of the molded body.

여기서, 상기 경사진 각 안착부는 그 직하방에 위치된 상기 자석와의 거리에 있어서 상단부에서의 거리가 하단부에서의 거리에 비해 상대적으로 크게 되어 있어, 상기 자석에 의한 자기력(흡인력)이 안착부 상단부에서 하단부에 비해 상대적으로 작게 작용하도록 한 것을 특징으로 한다.Here, each of the inclined seating portion is a distance from the upper end relative to the distance from the magnet located directly below the distance relative to the distance from the lower end, so that the magnetic force (suction force) by the magnet at the seating upper end Relatively small compared to the lower end is characterized in that the action.

또한 상기 안착부와 고정판 사이로 탐침 모듈이 용이하게 끼워질 수 있도록, 상기 고정판에는 탐침 모듈이 최초 끼워지는 쪽의 상단부에 상방 절곡된 구조의 가이드부가 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the guide plate of the structure bent upwardly is formed on the upper end of the side in which the probe module is first inserted into the fixing plate so that the probe module can be easily fitted between the seating portion and the fixing plate.

또한 상기 케이스는 내부에 설치된 상기 자석의 자기력이 외부에 영향을 주지 않거나 최소화될 수 있도록 자기 차폐 소재로 제작되는 것을 특징으로 한다.In addition, the case is characterized in that the magnetic force of the magnet installed therein is made of a magnetic shielding material so as not to affect or minimize the outside.

또한 상기 케이스는 자기 차폐 소재로서 퍼멀로이(permalloy) 또는 센더스 트(sendust)를 소재로 하여 제작되는 것을 특징으로 한다.In addition, the case is characterized in that the magnetic shielding material is made of permalloy or sender (sendust) as a material.

이하, 당업자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 설명하기로 한다. DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily practice the present invention.

참고로, 여기서 개시되는 실시예는 여러 가지 실시 가능한 예 중에서 당업자의 이해를 돕기 위하여 가장 바람직한 예를 선정하여 제시한 것일 뿐, 본 발명의 기술적 사상이 반드시 이 실시예에 의해 한정되거나 제한되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화와 변경이 가능함은 물론, 균등한 타의 실시예가 가능함을 밝혀 둔다.For reference, the embodiments disclosed herein are only presented by selecting the most preferred examples to help those skilled in the art from the various possible examples, the technical spirit of the present invention is not necessarily limited or limited by this embodiment. In addition, various changes and modifications are possible within the scope without departing from the spirit of the present invention, as well as other examples of the same can be found out.

첨부한 도 2는 본 발명에 따른 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치의 전체 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치에서 덮개를 연 상태의 단면도이다. 2 is an overall perspective view of the storage device of the scanning probe microscope probe according to the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view of the cover is opened in the storage device of the scanning probe microscope probe according to the present invention.

또한 첨부한 도 4는 본 발명에 따른 탐침 보관 장치에 탐침 모듈을 고정시킨 상태의 사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 탐침 보관 장치에 탐침 모듈을 고정시킨 상태의 단면도이며, 도 6은 본 발명에 따른 탐침 보관 장치에서 탐침 모듈의 고정을 위한 주요 구성부의 상세도이다.4 is a perspective view of a state in which a probe module is fixed to a probe storage device according to the present invention, FIG. 5 is a cross-sectional view of a state in which a probe module is fixed to a probe storage device according to the present invention, and FIG. Detail view of the main components for the fixing of the probe module in the probe storage device according to.

본 발명에 따른 탐침 보관 장치는 탐침, 캔틸레버 몸체, 캐리어가 일체로 결합된 탐침 모듈(5)을 보관하도록 되어 있으며, 특히 케이스(20) 내부에서 자석(24)를 이용하여 탐침 모듈(5)을 고정하는 것에 특징이 있다.The probe storage device according to the present invention is configured to store the probe module 5 in which the probe, the cantilever body, and the carrier are integrally coupled, and in particular, the probe module 5 is used by the magnet 24 in the case 20. It is characteristic to fix.

우선, 케이스(20)는 크게 열고 닫을 수 있는 덮개(21)와, 탐침 모듈(5)이 수 납되는 하부 케이스(22)로 구성되며, 여기서 덮개(21)는 먼지 등 외부의 오염을 차단하는 기능을 가진다.First, the case 20 is composed of a cover 21 that can be largely opened and closed, and a lower case 22 in which the probe module 5 is stored, wherein the cover 21 is configured to block external contamination such as dust. Has the function.

그리고, 하부 케이스(22)는 탐침 모듈(5)을 수납하는 동시에 고정시키고, 또한 외부 충격으로부터 수납된 탐침 모듈(5)을 보호하여 손상을 방지하는 역할 및 외부 오염을 차단하는 역할을 한다.In addition, the lower case 22 accommodates and fixes the probe module 5 and also protects the probe module 5 housed from external shocks, thereby preventing damage and blocking external contamination.

도시한 실시예에서, 상기 덮개(21)는 하부 케이스(22)에 힌지 결합되며, 이 힌지결합부(23)를 중심으로 회전되면서 하부 케이스(22)를 열고 닫도록 되어 있다.In the illustrated embodiment, the cover 21 is hinged to the lower case 22, and rotates around the hinge coupler 23 to open and close the lower case 22.

상기 케이스(20), 즉 덮개(21)와 하부 케이스(22)는, 후술하는 바와 같이 내부에 탐침 모듈(5)을 고정하기 위한 다수개의 자석(24)가 설치되므로, 이 자석(24)의 자기력이 PC 등의 외부 시스템에 영향을 주지 않도록 하거나 자기력에 의한 영향을 최소화할 수 있도록, 자기 차폐가 가능한 방자성 소재로 제작되는 것이 바람직하다.Since the case 20, that is, the lid 21 and the lower case 22 is provided with a plurality of magnets 24 for fixing the probe module 5 therein, as will be described later, In order to prevent the magnetic force from affecting an external system such as a PC or to minimize the influence of the magnetic force, it is preferable that the magnetic force is made of a magnetic shielding capable of magnetic shielding.

예를 들면, 자기 차폐 소재로 널리 알려진 퍼멀로이(철 20 ~ 25%가 함유된 니켈 합금)이나 센더스트(sendust)(알루미늄 5 중량%, 규소 10 중량%, 철 85 중량%의 조성을 가진 고투자율 합금) 또는 자기력에 의한 영향을 최소화할 수 있는 플라스틱이나 스테인리스 스틸 등으로 제작될 수 있다.For example, high permeability alloys with compositions of permalloy (nickel alloys containing 20-25% iron) or sendust (5% aluminum, 10% silicon and 85% iron), widely known as magnetic shielding materials. ) It can be made of plastic or stainless steel to minimize the influence of magnetic force.

한편, 상기 하부 케이스(22) 내부에는 다수개의 자석(예를 들면, 영구자석이나 전자석 등이 가능함)(24)가 고정 설치되는 바, 상기 자석(24)는 일방향으로 길게 형성되어 다수개가 소정 간격의 배열을 이루어 배치된다. Meanwhile, a plurality of magnets (for example, permanent magnets or electromagnets, etc.) 24 are fixedly installed in the lower case 22, and the magnets 24 are formed long in one direction so that a plurality of magnets are formed at predetermined intervals. Are arranged in an array.

여기서, 각각의 자석(24)는 예시한 바와 같이 하부 케이스(22)의 바닥면에 고정될 수 있으며, 또는 하부 케이스(22) 내부에 설치된 별도 지지수단 또는 고정수단(미도시됨)을 매개로 고정 설치될 수 있다.Here, each magnet 24 may be fixed to the bottom surface of the lower case 22 as illustrated, or through a separate support means or fixing means (not shown) installed inside the lower case 22. Can be fixedly installed.

첨부한 도면에는 길게 형성된 각 자석(24)가 하부 케이스(22)의 바닥면에 좌우방향으로 길게 고정 배치되어 자석 여러 개가 소정 간격의 배열을 이룬 예가 도시되어 있으나, 길게 형성된 각 자석 대신에 그 길이방향으로 사각형 또는 원형 등 소정 형상의 자석 여러 개를 배열하는 것도 가능하며, 이 경우 자석가 N×M 배열 형태로 배치되게 된다.In the accompanying drawings, an example in which each of the long magnets 24 is formed to be fixedly arranged on the bottom surface of the lower case 22 in a lateral direction so that several magnets are arranged at a predetermined interval is provided. It is also possible to arrange a plurality of magnets of a predetermined shape such as a square or a circle in the direction, in which case the magnets are arranged in the form of N × M arrangement.

다음으로, 탐침 모듈(5)이 올려진 후 고정 및 지지되는 지지체로서, 상기 자석(24)의 상측으로는 지지판(25)이 설치되는데, 이 지지판(25)은 탐침 모듈(5)을 자석(24) 상측에 위치될 수 있도록 지지하는 역할을 한다. Next, as a support that is fixed and supported after the probe module 5 is raised, a support plate 25 is installed above the magnet 24, and the support plate 25 is a magnet ( 24) It supports to be located on the upper side.

즉, 상기 자석(24) 위에 지지판(25)이 설치되어 이 지지판 위에 올려진 탐침 모듈(5)이 하측 자석의 자기력에 의해 고정될 수 있게 구성되는 것으로, 상기 하부 케이스(22)의 내부에 자석(24)로부터 소정 거리 이격된 상태로 자석 배열의 상측을 덮을 수 있게 지지판(25)이 고정 설치된다. That is, the support plate 25 is installed on the magnet 24 so that the probe module 5 mounted on the support plate can be fixed by the magnetic force of the lower magnet, and the magnet inside the lower case 22. The support plate 25 is fixedly installed so as to cover the upper side of the magnet array in a state spaced apart from the predetermined distance 24.

이 지지판(25)은 하부 케이스(22)의 측벽 내측면에 직접 고정(접착식 또는 끼움식 등)하거나 하부 케이스(22)의 측벽 내측면에 미리 설치한 별도 고정수단(미도시됨)을 이용해 고정할 수 있다.The support plate 25 is directly fixed to the inner side surface of the lower case 22 (adhesive or fitted) or fixed using a separate fixing means (not shown) previously installed on the inner side surface of the lower case 22. can do.

이하, 상기 지지판의 구조에 대해 도 5 및 도 6을 참조하여 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the structure of the support plate will be described in more detail with reference to FIGS. 5 and 6.

예시한 바의 바람직한 실시예에서, 상기 지지판(25)은 반복적으로 절곡 형성 되어 전체적으로는 그 단면상에서 볼 때 톱니 모양을 형성하는 절곡된 구조로 되어 있다.In the preferred embodiment of the exemplary embodiment, the support plate 25 has a bent structure that is repeatedly formed to form a sawtooth shape when viewed from its cross section.

이와 같이 반복적으로 절곡된 구조에 의하여, 상기 지지판(25)은 탐침 모듈(5)이 안착된 상태로 고정되는 복수개의 안착부(25a)와, 이웃한 두 안착부(25a) 사이를 연결하는 연결부(25b)로 구성되어지며, 상기 복수개의 안착부(25a)와 연결부(25b)가 일체로 연결되어 지지판(25)을 형성하게 된다.By the structure repeatedly bent in this way, the support plate 25 is a plurality of seating portion (25a) is fixed in a state in which the probe module (5) is seated, connecting portion connecting between two adjacent seating portion (25a) It is composed of a (25b), the plurality of seating portion (25a) and the connecting portion (25b) is integrally connected to form a support plate (25).

상기 안착부(25a)는 탐침 모듈(5)이 그 위로 안착된 상태에서 비스듬히 경사지게 놓여질 수 있도록 소정 각도의 경사면으로 되어 있고, 연결부(25b) 역시 이웃한 두 안착부(25a)를 연결하기 위해 소정 각도의 경사면으로 되어 있다.The seating portion 25a has an inclined surface at an angle so that the probe module 5 can be inclined obliquely in a state in which the probe module 5 is seated thereon, and the connecting portion 25b is also predetermined to connect two adjacent seating portions 25a. It is a slope of the angle.

그리고, 지지판(25)이 하부 케이스(22)의 내부에 설치된 상태에서 상기 안착부(25a)는 각 자석(24)의 직상방에 위치하도록 되어 있다.The seating portion 25a is positioned above the magnets 24 in a state where the supporting plate 25 is installed inside the lower case 22.

이러한 지지판(25) 구조에서 탐침 모듈(5)은 안착부(25a) 위에 올려져 고정되며, 특히 소정 기구(예를 들면, 핀셋을 통상 사용함)를 이용해 탐침 모듈(5)을 집어 올릴 수 있도록 해야 하는 바, 이를 위해서는 탐침 모듈(5) 전체가 안착부(25a) 위에 올려져 모두 접촉되서는 안되며, 기구를 이용해 집어 올릴 수 있도록 적어도 일부는 안착부(25a)와 분리된 상태가 되어야 한다.In the structure of the support plate 25, the probe module 5 is mounted on the seating portion 25a and fixed, and in particular, the probe module 5 can be lifted up using a predetermined mechanism (for example, tweezers is commonly used). For this purpose, the entire probe module 5 should not be placed on the seating portion 25a so as to be in contact with each other. At least a part of the probe module 5 should be separated from the seating portion 25a so as to be picked up using a mechanism.

따라서, 도 6의 단면상에서 볼 때 안착부(25a)의 길이를 탐침 모듈(5)의 길이보다 짧게 하여, 안착부(25a) 위에 탐침 모듈(5)이 올려진 상태에서 탐침을 포함한 탐침 모듈(5) 상단부가 안착부(25a) 표면과 완전히 분리된 상태로 상방으로 돌출 연장될 수 있게 되어 있다.Therefore, as seen in the cross section of FIG. 6, the length of the seating portion 25a is shorter than that of the probe module 5, so that the probe module including the probe in the state where the probe module 5 is placed on the seating portion 25a ( 5) The upper end portion can protrude upwardly in a state completely separated from the surface of the seating portion 25a.

즉, 기구를 사용하여 탐침 모듈(5)의 상단부를 잡은 뒤 당겨서 탐침 모듈(5)을 안착부(25a)로부터 들어올리거나 분리시킬 수 있도록 하는 것이다.That is, by using the mechanism to hold the upper end of the probe module 5 and pull it to be able to lift or detach the probe module 5 from the seating portion (25a).

본 발명의 보관 장치에서 상기와 같이 이루어진 지지판(25)은 탐침 모듈(5)이 직접 접촉하는 부분이므로 경질의 재질로 제작되는 경우 접촉시의 손상을 방지하기 위하여 표면에 별도 완충제를 코팅하여 제작하는 것이 바람직하다.In the storage device of the present invention, since the support plate 25 made as described above is a part in which the probe module 5 is in direct contact, the support plate 25 may be manufactured by coating a separate buffer on a surface to prevent damage during contact when manufactured with a hard material. It is preferable.

예를 들면, 완충제 소재로 널리 알려진 젤 또는 우레탄 등을 사용하여 코팅할 수 있다. For example, the coating may be performed using a gel or urethane which is widely known as a buffer material.

그리고, 본 발명의 보관 장치는 지지판(25) 위에 안착된 탐침 모듈(5)이 지지판(25) 위에서 완전히 고정될 수 있도록 하는 고정판(27)을 포함하는 바, 이 고정판(27)은 자석(24)의 자기력(흡인력)에 의해 부착될 수 있는 재질, 예를 들면 철판 등의 재질로 제작된다.In addition, the storage device of the present invention includes a fixing plate 27 which allows the probe module 5 seated on the supporting plate 25 to be completely fixed on the supporting plate 25, and the fixing plate 27 is a magnet 24. It is made of a material that can be attached by magnetic force (suction force) of, for example, iron plate or the like.

따라서, 상기 고정판(27)은 안착부(25a) 위에서 그 직하방에 위치한 자석(24)의 자기력에 의해 위치가 고정되는 것으로, 상기 고정판(27)이 지지판(25)의 안착부(25a) 위에 올려질 경우, 그 하측에 위치된 자석(24)의 자기력에 의하여 고정판(27)은 지지판(25)의 안착부(25a) 위에 부착되며, 이와 같이 자석(24)의 자기력에 의하여 고정판(27)이 지지판(25)의 안착부(25a)에 밀착되는 힘, 즉 부착력은 탐침 모듈(5)을 안착부(25a)에 고정시키는 힘이 된다.Therefore, the fixing plate 27 is fixed to the position by the magnetic force of the magnet 24 located directly below the mounting portion 25a, the fixing plate 27 on the mounting portion 25a of the support plate 25 When lifted up, the fixed plate 27 is attached to the seating portion 25a of the support plate 25 by the magnetic force of the magnet 24 located below the fixed plate 27, and thus the fixed plate 27 is fixed by the magnetic force of the magnet 24. The force in close contact with the seating portion 25a of the support plate 25, that is, the attachment force, is a force for fixing the probe module 5 to the seating portion 25a.

본 발명의 보관 장치에서는 탐침 모듈(5)이 지지판(25)의 소정 위치, 즉 안착부(25a) 위에 고정되되, 이때 안착부(25a) 직하방에 위치한 자석(24)의 자기력에 의하여 탐침 모듈(5)이 고정되도록 되어 있는 바, 이에 대해 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다. In the storage device of the present invention, the probe module 5 is fixed to a predetermined position of the support plate 25, that is, the seating portion 25a, and at this time, the probe module is formed by the magnetic force of the magnet 24 located directly below the seating portion 25a. (5) is to be fixed, which will be described in more detail as follows.

도 5와 도 6에 나타낸 바와 같이 탐침 모듈(5)은 기본적으로 지지판(25)의 안착부(25a)와 고정판(27) 사이에 끼워져 자석(24)의 자기력(흡인력)에 의해 위치가 고정되게 된다.5 and 6, the probe module 5 is basically inserted between the seating portion 25a and the fixed plate 27 of the support plate 25 so that the position is fixed by the magnetic force (suction force) of the magnet 24. do.

탐침 모듈(5)에서 캐리어가 자석(24)에 자기력으로 부착될 수 있는 철판 등의 재질로 제작된 경우, 탐침 모듈(5)이 지지판(25)의 안착부(25a) 위에 올려지게 되면, 탐침 모듈(5) 자체가 안착부 아래 자석(24)의 자기력에 의해 위치가 고정되게 된다.In the probe module 5, when the carrier is made of a material such as an iron plate that can be attached to the magnet 24 by magnetic force, when the probe module 5 is placed on the seating portion 25a of the support plate 25, the probe The module 5 itself is fixed in position by the magnetic force of the magnet 24 under the seat.

그리고, 탐침 모듈(5)에서 캐리어가 플라스틱 등의 재질로 제작된 경우, 탐침 모듈(5)은 고정판(27)과 지지판(25)의 안착부(25a) 사이에서 고정판(27)이 자석(24)의 자기력에 의해 지지판(25)의 안착부(25a)에 밀착되는 힘, 즉 고정판(27)의 부착력에 의해 위치가 고정되게 된다.In addition, when the carrier is made of a material such as plastic in the probe module 5, the probe module 5 may include a magnet 24 between the fixing plate 27 and the seating portion 25a of the support plate 25. The position is fixed by the force of close contact with the seating portion 25a of the support plate 25 by the magnetic force of the support plate, that is, by the attachment force of the fixing plate 27.

이와 같이 캐리어의 재질과 상관없이 본 발명의 보관 장치에서는 탐침 모듈(5)을 자기력에 의해 고정시킬 수가 있게 된다.As described above, in the storage device of the present invention regardless of the material of the carrier, the probe module 5 can be fixed by magnetic force.

이와 같이 이루어진 보관 장치에서 탐침 모듈(5)을 수납하기 위해서는 핀셋 등의 소정 기구를 이용하여 탐침 모듈(5)의 상단부를 잡은 뒤 고정판(27)과 지지판(25)의 안착부(25a) 사이로 슬라이드시켜 밀어 넣게 된다.In order to store the probe module 5 in the storage device configured as described above, the upper end of the probe module 5 is grasped using a predetermined mechanism such as tweezers and then slides between the fixed plate 27 and the seating portion 25a of the support plate 25. Push it in.

이와 같이 탐침 모듈(5)을 고정판(27)과 지지판(25)의 안착부(25a) 사이에 끼우는 과정에서, 탐침 모듈(5)을 보다 용이하게 끼울 수 있도록 하기 위하여, 탐침 모듈(5)이 최초 끼워지는 쪽의 고정판(27) 상단부에는 상방 절곡시킨 구조의 가 이드부(27a)가 형성된다.In this way, in the process of sandwiching the probe module 5 between the fixing plate 27 and the seating portion 25a of the support plate 25, the probe module 5 may be inserted more easily. The guide part 27a of the structure bent upward is formed in the upper end part of the fixing plate 27 of the side inserted first.

이와 같이 탐침 모듈(5)을 끼워 고정하는 과정에서 도 6에 나타낸 바와 같이 경사진 안착부(25a)의 하단부와 경사진 연결부(25b)의 하단부가 만나는 부분(A 부분)은 탐침 모듈(5)이 완전히 끼워진 상태에서 더 이상 하방으로 밀려 내려가지 않도록 하는 스토퍼 역할을 하게 된다. As shown in FIG. 6, the lower end of the inclined seating portion 25a and the lower end of the inclined connecting portion 25b meet each other in the process of fitting and fixing the probe module 5 (probe A). In this fully inserted state it will act as a stopper to prevent further push down.

한편, 지지판(25) 위에 고정된 탐침 모듈(5)을 사용을 위해 반대로 빼내기 위해서는 핀셋 등의 기구를 사용하여 탐침 모듈(5)의 상단부를 잡은 뒤 안착부(25a)의 경사방향으로 당겨서 빼내거나(슬라이드시켜 빼냄), 위로 살짝 들어 지지판(25)의 안착부(25a)로부터 떼어낸 뒤 잡아 빼내면 된다.On the other hand, in order to pull out the probe module 5 fixed on the support plate 25 to the contrary for use, grab the upper end of the probe module 5 using a tweezer or the like and pull it out in the inclined direction of the seating portion 25a. (Slide it out), lift it up slightly, remove it from the seating part 25a of the support plate 25, and pull it out.

본 발명에서 지지판(25)의 안착부(25a)는 탐침 모듈(5)의 용이한 탈착을 위해 탐침 모듈(5)을 상방으로 잡아 빼낼 수 있는 경사 구조로 되어 있는 바, 도 6에 나타낸 바와 같이, 안착부(25a) 하단부 표면에서 자석(24)까지의 거리와 안착부(25a) 상단부 표면에서 자석(24)까지의 거리에 차이가 있으며, 또한 이러한 거리 차이에 의해 자석(24)에 의해 작용하는 흡인력(자기력)은 안착부(25a) 아래쪽과 위쪽에서 차이가 있게 된다.In the present invention, the seating portion 25a of the support plate 25 has an inclined structure capable of pulling the probe module 5 upward for easy detachment of the probe module 5, as shown in FIG. There is a difference between the distance from the bottom surface of the seating portion 25a to the magnet 24 and the distance from the top surface of the seating portion 25a to the magnet 24. The suction force (magnetic force) is that there is a difference in the bottom and the mounting portion 25a.

도 6을 참조하면, 상기 경사진 안착부(25a)는 그 직하방에 위치된 상기 자석(24)와의 거리에 있어서 상단부에서의 거리(L2)가 하단부에서의 거리(L1)에 비해 상대적으로 크게 되어 있어 있는 바, 상기 자석(24)에 의한 자기력(흡인력)이 안착부(25a) 상단부에서 하단부에 비해 상대적으로 작게 작용하도록 되어 있다.Referring to FIG. 6, the inclined seating portion 25a has a distance L 2 at the upper end relative to the distance L 1 at the lower end in the distance to the magnet 24 positioned directly below it. Since the magnetic force (suction force) by the magnet 24 acts relatively small compared with the lower end part in the upper end part of the mounting part 25a.

결국, 고정판(27)과 지지판(25)의 안착부(25a) 사이로부터 탐침 모듈(5)을 경사방향으로 슬라이드시켜 빼낼 때, 처음에만 상대적으로 크게 힘을 준 뒤 빼내게 되면, 탐침 모듈(5)이 안착부(25a) 위쪽으로 올라면서 흡인력이 점차 줄게 되어, 이후에는 쉽게 탐침 모듈(5)을 빼낼 수 있게 된다.As a result, when the probe module 5 is slid out in the inclined direction from between the fixing plate 27 and the seating portion 25a of the support plate 25, when the probe module 5 is pulled out relatively largely at the beginning, the probe module 5 is removed. The suction force gradually decreases as the crest rises above the seating portion 25a, and then the probe module 5 can be easily removed.

또한 탐침 모듈(5)을 위로 살짝 들어 안착부(25a)로부터 떼어낸 뒤 빼낼 경우에도 탐침 모듈(5)의 상단부에는 하단부에 비해 상대적으로 적은 흡인력이 작용하는 바, 흡인력이 상대적으로 큰 탐침 모듈(5)의 하단부를 지지점으로 하여 탐침 모듈(5)의 상단부를 보다 쉽게 위로 들어올릴 수 있게 된다.In addition, even when the probe module 5 is slightly lifted up and removed from the seating portion 25a, a relatively small suction force is applied to the upper end of the probe module 5 as compared to the lower end, so that the suction module has a relatively large suction force. With the lower end of 5) as a support point, the upper end of the probe module 5 can be more easily lifted up.

이와 같이 기구를 사용하여 탐침 모듈(5)의 상단부를 잡은 뒤 빼내게 되면 쉽게 보관 장치에서 탐침 모듈(5)을 꺼낼 수 있게 된다.In this way, by holding the upper end of the probe module 5 using the instrument and pulling it out, the probe module 5 can be easily removed from the storage device.

그리고, 본 발명의 보관 장치에서 지지판(25)의 연결부(25b)를 도 6의 선 'B-B' 방향으로 수직면이 되게 할 수도 있으나, 이 경우 도 6의 'C' 공간부가 없어지고, 기구 활용 공간인 'D' 공간부가 축소되며, 또한 'D' 거리가 축소되므로, 탐침 모듈(5)을 기구를 사용해 넣고 빼는 것이 어려워질 뿐만 아니라, 탐침 모듈(5)을 넣고 빼내는 과정에서 이웃한 탐침 모듈(5)과 간섭 발생하거나 부딪히는 문제가 있을 수 있다. In the storage device of the present invention, the connecting portion 25b of the support plate 25 may be a vertical plane in the direction 'BB' of FIG. 6, but in this case, the 'C' space of FIG. Since the 'D' space portion is reduced and the 'D' distance is reduced, it becomes difficult to insert and remove the probe module 5 using the instrument, and the neighboring probe module ( There may be a problem that interferes with or collides with 5).

따라서, 본 발명의 보관 장치에서는, 탐침 모듈(5)의 정렬을 돕기 위하여, 지지판(25)의 연결부(25b)를 소정 각도로 경사지게 하여 충분한 경사각도(α)를 확보함으로써, 기구 활용 공간인 'D' 공간부를 충분히 확보하고, 또한 'D' 거리를 크게 하여 탐침 모듈(5)을 기구를 사용해 쉽게 넣고 뺄 수 있도록 하는 동시에, 탐침 모듈(5)을 넣고 빼내는 과정에서 이웃한 탐침 모듈(5) 간섭 발생하거나 부딪히는 문제를 방지할 수 있도록 한다.Therefore, in the storage device of the present invention, in order to assist the alignment of the probe module 5, the connection portion 25b of the support plate 25 is inclined at a predetermined angle to secure a sufficient inclination angle? Ensuring sufficient space for the D 'space, and increasing the' D 'distance so that the probe module 5 can be easily inserted and removed using the instrument, and the neighboring probe module 5 in the process of inserting and removing the probe module 5. Prevent interference or bumping problems.

한편, 첨부한 도 7은 본 발명에 따른 탐침 보관 장치의 다른 실시예로서, 탐침 모듈(5)이 지지되는 지지체를 달리하여 구성한 단면도를 나타낸다.Meanwhile, FIG. 7 is a cross-sectional view of another embodiment of the probe storage device according to the present invention, in which the probe module 5 is supported by different supports.

도 7에서는, 앞서 설명한 절곡된 판상의 지지판을 설치하는 대신, 상기 지지체로서 상면에 복수개의 경사진 안착부(26a) 표면을 가지는 성형체(26)를 제작한 후, 안착부(26a) 표면의 직하방으로 자석(24)가 위치되도록 상기 성형체(26) 내부에 자석(24)를 설치하여 구성한 예를 보여주고 있다.In FIG. 7, instead of providing the bent plate-shaped support plate described above, a molded body 26 having a plurality of inclined seating portions 26a surfaces on the upper surface as the support is formed, and then directly below the surface of the seating portions 26a. The magnet 24 is installed inside the molded body 26 so that the magnet 24 is positioned in the room.

상기 성형체(26)의 상면, 즉 상측 표면은 도 7의 단면상에서 볼 때 앞서 설명한 지지판의 절곡된 형상과 같은 톱니 모양으로 되어 있으며, 상측 표면이 탐침 모듈(5)이 안착된 상태로 고정되는 복수개의 안착부(26a)와, 이웃한 두 안착부(26a) 사이를 연결하는 연결부(26b)로 구성되어진다.The upper surface, i.e., the upper surface, of the molded body 26 is sawtooth-like in shape as the bent shape of the support plate described above when viewed from the cross-section of FIG. 7, and the plurality of upper surfaces are fixed while the probe module 5 is seated. Two seating portions 26a and connecting portions 26b for connecting between two adjacent seating portions 26a.

상기와 같은 성형체(지지체)(26)의 상측 표면에서 안착부(26a) 표면은 지지판(25)에서와 동일하게 탐침 모듈(5)이 안착된 상태로 고정되는 부분이 되며, 안착부(26a) 표면에 고정판(27)이 하측 자석(24)의 자기력에 의해 부착되어 고정되고, 또한 이 고정판(27)과 안착부(26a) 표면 사이에 탐침 모듈(5)이 끼워져 고정되는 것은 앞의 실시예에서와 같다.On the upper surface of the molded body (support) 26 as described above, the surface of the seating portion 26a becomes a portion to which the probe module 5 is fixed in the seated state as in the supporting plate 25, and the seating portion 26a. The fixing plate 27 is fixed to the surface by the magnetic force of the lower magnet 24, and the probe module 5 is inserted and fixed between the fixing plate 27 and the surface of the seating portion 26a. Same as in

또한 톱니 모양으로 절곡된 지지판 대신 톱니 모양으로 형성된 상측 표면을 갖는 성형체(26)가 지지체로 사용되는 점에 차이가 있을 뿐, 도 7의 실시예에서 탐침 모듈(5)이 안착부(26a) 표면에 고정되어 수납 및 보관되는 과정, 탐침 모듈(5) 을 탈착시키는 과정 등 역시 앞서 설명한 실시예에서와 모두 같으므로 그 설명은 생략하기로 한다. In addition, there is a difference in that the molded body 26 having the upper surface formed in the shape of the serrated instead of the support plate bent in the shape of the saw is used as the support. In the embodiment of FIG. 7, the probe module 5 has the surface of the seating portion 26a. The process of being fixed and stored in the storage and the process of detaching the probe module 5 is also the same as in the above-described embodiment, and a description thereof will be omitted.

그리고, 도 7의 실시예에서 자석(24)는 경사면인 성형체(26)의 안착부(26a) 표면으로부터 그 직하방으로 소정 거리를 두고 위치될 수 있게 성형체(26)의 내부에 고정 설치되는 바, 이를 위해 성형체(26)의 제작시에 자석(24)가 삽입되어 고정될 수 있는 다수개의 홀(26c)을 성형체(26) 내부 소정 위치에 각각 형성하고, 각 홀(26c)에 자석(24)를 설치하여 고정하게 된다.In addition, in the embodiment of FIG. 7, the magnet 24 is fixedly installed in the molded body 26 so that the magnet 24 may be positioned at a predetermined distance below the seat 26a surface of the molded body 26 which is an inclined surface. To this end, a plurality of holes 26c, into which the magnets 24 are inserted and fixed at the time of manufacturing the molded body 26, may be formed at predetermined positions inside the molded body 26, and the magnets 24 may be formed in the respective holes 26c. ) To be fixed.

결국, 성형체(26)의 안착부(26a) 표면과 그 상측의 고정판(27) 사이에 탐침 모듈(5)이 끼워져 수납되면, 외부 충격이 가해지거나 케이스(20)가 흔들리더라도 자석(24)의 자기력에 의해 탐침 모듈(5)이 움직이지 않고 고정될 수 있게 된다.As a result, when the probe module 5 is inserted and accommodated between the seating portion 26a surface of the molded body 26 and the fixing plate 27 on the upper side thereof, even if an external impact is applied or the case 20 is shaken, the magnet 24 may be moved. The magnetic force of the probe module 5 can be fixed without moving.

상기 성형체(26)는 충격을 흡수할 수 있는 연성 재질로 제작되는 것이 바람직한데, 예컨대 충격 흡수가 가능한 발포체 구조의 다양한 공지의 재질이 사용될 수 있고, 실리콘이나 플라스틱 등을 사출성형하여 제작될 수도 있다.The molded body 26 is preferably made of a flexible material capable of absorbing shock, for example, a variety of known materials of the foam structure capable of absorbing shock may be used, and may be produced by injection molding of silicon or plastic. .

본 발명에서 성형체의 소재나 제작방법 등은 특정한 것으로 한정하지는 않으며, 다양하게 실시가 가능하다. In the present invention, the material of the molded article, the manufacturing method, and the like are not limited to specific ones, and various implementations are possible.

이와 같이 하여, 본 발명에 따른 보관 장치에 따르면, 탐침 모듈(5)을 자석(24)의 자기력에 의해 완전 고정하게 되므로, 하부 케이스(22) 내의 탐침 모듈(5)을 정위치에서 탈락됨 없이 안전하게 고정 및 수납할 수 있게 되고, 휴대 또는 보관에 있어서 안정성을 높일 수 있게 된다. In this way, according to the storage device according to the present invention, the probe module 5 is completely fixed by the magnetic force of the magnet 24, so that the probe module 5 in the lower case 22 is not removed from its position. It can be securely fixed and stored, and stability can be increased in carrying or storing.

또한 지지판(25)의 구조가 자석(24)와의 거리에 따른 흡인력(자기력) 차이에 의하여 탐침 모듈(5)을 쉽게 탈착시킬 수 있는 구조로 되어 있는 바, 탐침 모듈(5)을 자석(24)에 의해 안전하게 고정할 수 있으면서도 사용시에는 용이하게 보관 장치에서 꺼낼 수 있게 된다. In addition, the structure of the support plate 25 is a structure that can easily detach the probe module 5 by the suction force (magnetic force) difference according to the distance to the magnet 24, the probe module 5 is a magnet 24 It can be securely fixed by, but can be easily taken out of the storage device at the time of use.

이상으로 본 발명에 따른 특정의 바람직한 실시예에 대해서 도시하고 설명하였다. In the above, certain preferred embodiments according to the present invention have been illustrated and described.

그러나, 본 발명이 상술한 실시예로 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어남이 없이 얼마든지 다양하게 변경 실시할 수 있을 것이다.However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and a person of ordinary skill in the art may vary without departing from the spirit of the technical idea of the present invention described in the claims below. Will be able to carry out the change.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치에 의하면, 탐침 모듈을 자석의 자기력에 의해 고정하므로, 케이스 내의 탐침 모듈을 정위치에서 탈락됨 없이 안전하게 고정 및 수납할 수 있고, 휴대 또는 보관에 있어서 안정성을 높일 수 있으며, 탐침이 충격에 의해 손상되는 것을 효과적으로 방지할 수 있게 된다. As described above, according to the storage device of the scanning probe microscope probe according to the present invention, since the probe module is fixed by the magnetic force of the magnet, the probe module in the case can be securely fixed and stored without falling off from the correct position In addition, it is possible to increase the stability in carrying or storing, and to effectively prevent the probe from being damaged by the impact.

또한 지지판의 구조가 자석와의 거리에 따른 흡인력(자기력) 차이에 의하여 탐침 모듈을 쉽게 탈착시킬 수 있는 구조로 되어 있는 바, 탐침 모듈을 자석에 의해 안전하게 고정할 수 있으면서도 사용시에는 용이하게 보관 장치에서 꺼낼 수 있게 된다. In addition, the structure of the support plate is such that the probe module can be easily detached due to the difference in suction force (magnetic force) according to the distance from the magnet. The probe module can be secured by the magnet and can be easily removed from the storage device during use. It becomes possible.

Claims (10)

개폐 가능한 덮개와 탐침 모듈이 수납되는 하부 케이스로 이루어진 케이스와;A case comprising an openable cover and a lower case accommodating the probe module; 상기 하부 케이스 내부에 고정 설치되는 자석와;A magnet fixedly installed in the lower case; 상기 하부 케이스 내부에 고정 설치되고, 탐침 모듈이 올려진 뒤 고정 및 지지되는 부분으로서 상기 자석의 직상방으로 위치되는 안착부를 구비한 지지체와;A support fixed to the inside of the lower case and having a seating portion positioned upwardly of the magnet as a portion which is fixed and supported after the probe module is lifted up; 자석에 부착될 수 있는 재질로 제작되어 상기 자석의 자기력에 의해 상기 지지체의 안착부에 부착되는 고정판;A fixing plate made of a material attachable to a magnet and attached to a seating part of the support by a magnetic force of the magnet; 을 포함하여 구성되고, 탐침 모듈이 상기 안착부와 고정판 사이에 끼워진 뒤 상기 자석의 자기력에 의해 고정되어 수납될 수 있게 된 것을 특징으로 하는 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치.And a probe module inserted between the seating part and the fixed plate, and fixed and accommodated by the magnetic force of the magnet. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 지지체가 상기 자석로부터 소정 거리 이격된 상태가 되도록 하여 상기 자석를 덮을 수 있게 고정 설치되는 지지판이고, A support plate fixed to cover the magnet by allowing the support to be spaced apart from the magnet by a predetermined distance; 상기 지지판은 반복적으로 절곡 형성되어 전체적으로는 그 단면상에서 볼 때 톱니 모양을 형성하는 절곡된 구조로 구비되어, 탐침 모듈이 올려진 뒤 고정 및 지지되는 복수개의 경사진 안착부와, 이웃한 두 안착부 사이를 연결하는 연결부로 구성되며, The support plate has a bent structure that is repeatedly bent to form a sawtooth shape when viewed in its cross section as a whole, a plurality of inclined seating portions fixed and supported after the probe module is raised, and two adjacent seating portions Consists of a connection that connects between 상기 지지판의 각 안착부 직하방에 상기 자석가 각각 위치되어 설치되는 것을 특징으로 하는 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치.The storage device of the scanning probe microscope probe, characterized in that the magnet is positioned and installed directly below each seating portion of the support plate. 청구항 2에 있어서, The method according to claim 2, 탐침 모듈이 접촉하게 되는 상기 안착부 표면을 포함하는 지지판 표면에는 접촉시 탐침 모듈에 가해지는 충격 및 손상을 최소화하기 위한 완충제가 코팅되는 것을 특징으로 하는 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치. A storage device for a scanning probe microscope probe, characterized in that the support plate surface including the seating surface to which the probe module is in contact is coated with a buffer to minimize the impact and damage to the probe module upon contact. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 각 안착부는 단면상에서 볼 때 그 길이를 탐침 모듈의 길이보다 짧게 하여, 탐침 모듈이 올려진 뒤 탐침 모듈의 상단부가 상기 안착부 표면과 완전 분리된 상태로 상방으로 돌출 연장될 수 있게 된 것을 특징으로 하는 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치. Each seating portion has a length shorter than that of the probe module when viewed in cross section, so that the upper end of the probe module can protrude upwardly in a completely separated state from the seating surface after the probe module is raised. Storage device for scanning probe microscope probe. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 경사진 각 안착부는 그 직하방에 위치된 상기 자석와의 거리에 있어서 상단부에서의 거리가 하단부에서의 거리에 비해 상대적으로 크게 되어 있어, 상기 자석에 의한 흡인력이 안착부 상단부에서 하단부에 비해 상대적으로 작게 작용하도록 한 것을 특징으로 하는 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치. Each of the inclined seats has a relatively large distance from the upper end to a distance from the lower end of the seat, so that the suction force of the magnet is relatively higher than the lower end of the seat. A storage device for a scanning probe microscope probe, which is designed to act small. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 지지체가 하부 케이스 내부에 설치되는 지지체 성형물질로 충전된 형태의 성형체로 되어 있고, The support is made of a shaped body filled with a support molding material installed inside the lower case, 상기 성형체의 상면은 단면상으로 볼 때 톱니 모양으로 형성되어, 탐침 모듈이 올려진 뒤 고정 및 지지되는 복수개의 경사진 안착부와, 이웃한 두 안착부 사이를 연결하는 연결부로 구성되며, The upper surface of the molded body is formed in a sawtooth shape when viewed in cross section, consisting of a plurality of inclined seating portion that is fixed and supported after the probe module is raised, and a connecting portion connecting between two neighboring seating, 상기 성형체의 각 안착부에서 그 표면으로부터 직하방으로 소정 거리를 두고 위치될 수 있게 상기 성형체의 내부 홀에 상기 자석가 각각 삽입되어 고정 설치되는 것을 특징으로 하는 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치.The storage device of the scanning probe microscope probe, characterized in that the magnet is inserted into and fixed to the inner hole of the molded body so as to be positioned at a predetermined distance directly below the surface at each seating portion of the molded body. 청구항 6에 있어서,The method according to claim 6, 상기 경사진 각 안착부는 그 직하방에 위치된 상기 자석와의 거리에 있어서 상단부에서의 거리가 하단부에서의 거리에 비해 상대적으로 크게 되어 있어, 상기 자석에 의한 흡인력이 안착부 상단부에서 하단부에 비해 상대적으로 작게 작용하도록 한 것을 특징으로 하는 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치.Each of the inclined seats has a relatively large distance from the upper end to a distance from the lower end of the seat, so that the suction force of the magnet is relatively higher than the lower end of the seat. A storage device for a scanning probe microscope probe, which is designed to act small. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 안착부와 고정판 사이로 탐침 모듈이 용이하게 끼워질 수 있도록, 상기 고정판에는 탐침 모듈이 최초 끼워지는 쪽의 상단부에 상방 절곡된 구조의 가이드부가 형성되는 것을 특징으로 하는 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치.Storage device for a scanning probe microscope probe, characterized in that the guide plate of the structure is bent upwardly formed on the upper end of the side to which the probe module is first inserted so that the probe module can be easily inserted between the seating portion and the fixed plate . 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 케이스는 내부에 설치된 상기 자석의 자기력이 외부에 영향을 주지 않거나 최소화될 수 있도록 자기 차폐 소재로 제작되는 것을 특징으로 하는 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치.The case is a storage device of the scanning probe microscope probe, characterized in that the magnetic force of the magnet installed therein is made of a magnetic shielding material so as not to affect or minimize the outside. 청구항 9에 있어서, The method according to claim 9, 상기 케이스는 자기 차폐 소재로서 퍼멀로이(permalloy) 또는 센더스트(sendust)를 소재로 하여 제작되는 것을 특징으로 하는 주사 탐침 현미경용 탐침의 보관 장치.The case is a magnetic shielding material is a storage device for a scanning probe microscope probe, characterized in that the material is made of permalloy (senmalloy) or senddust (sendust) material.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH01139379A (en) * 1987-11-25 1989-05-31 Nec Corp Storage container for semiconductor unit
JPH0680176A (en) * 1992-09-01 1994-03-22 Nec Kyushu Ltd Plastic tray
KR100688717B1 (en) 2005-12-28 2007-03-02 동부일렉트로닉스 주식회사 Cassette for loading cantilever probe tips for use in an atomic force microscope

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01139379A (en) * 1987-11-25 1989-05-31 Nec Corp Storage container for semiconductor unit
JPH0680176A (en) * 1992-09-01 1994-03-22 Nec Kyushu Ltd Plastic tray
KR100688717B1 (en) 2005-12-28 2007-03-02 동부일렉트로닉스 주식회사 Cassette for loading cantilever probe tips for use in an atomic force microscope

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