KR100813141B1 - Mass Flow Controller valve nozzle fixing structure - Google Patents

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KR100813141B1
KR100813141B1 KR1020050102902A KR20050102902A KR100813141B1 KR 100813141 B1 KR100813141 B1 KR 100813141B1 KR 1020050102902 A KR1020050102902 A KR 1020050102902A KR 20050102902 A KR20050102902 A KR 20050102902A KR 100813141 B1 KR100813141 B1 KR 100813141B1
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Abstract

본 발명은, 관로유입구(Pi)와 관로유출구(Po)로 되는 관로부(A)를 따라 유동되는 유체의 질량유량을 유량계바디측과 연결되는 노즐 및 밸브를 통하여 제어하기 위한 질량유량계 밸브 구조에 있어서, The present invention is directed to a mass flow meter valve structure for controlling a mass flow rate of fluid flowing along a pipe portion A, which is a pipe inlet Pi and a pipe outlet Po, through a nozzle and a valve connected to the flow meter body side. In

상기 관로유출구(Po)와 연통되는 유량계바디의 유체유출로 상면외주연으로 형성되는 노즐안착부로, 상방 유입구보다 넓은 직경을 갖으며 상기 유체유출로의 내경과 동일한 내경을 갖는 하방 유출구로 이루어지는 노즐 하단부가 안착되고 그 주연부를 따라 용접되는 용접부에 의해 고정되는 것을 특징으로 하여, The nozzle seat portion is formed in the outer circumference of the fluid flow of the flow meter body in communication with the pipe outlet (Po), the lower end of the nozzle consisting of a lower outlet having a diameter larger than the upper inlet and the same inner diameter of the fluid outlet passage Is seated and fixed by a weld welded along its periphery,

질량유량계의 밸브 구조에서 노즐과 유량계바디간 고정 결합을 기존의 나사 결합에서 용접고정구조로 개선함으로써 노즐의 길이를 상대적으로 짧게 형성할 수 있음은 물론, 나사결합 및 오링 등의 고정결합관계에서 발생되는 유체의 정체공간을 줄여, 신속한 유체의 유동을 유도할 수 있게 되어 밸브내 부식현상을 최대한 억제, 밸브 및 노즐의 사용수명을 현저하게 연장시킬 수 있는 효과와, By improving the fixed coupling between the nozzle and the flowmeter body in the valve structure of the mass flow meter from the conventional screw coupling to the welding fixed structure, the nozzle length can be formed relatively short, and it occurs in the fixed coupling relationship such as screw coupling and O-ring. By reducing the stagnant space of the fluid to be able to induce a rapid flow of fluid to minimize the corrosion phenomenon in the valve, and to significantly extend the service life of the valve and nozzle,

노즐 형상의 단순화와 상기 노즐과 결합되어지기 위한 유량계바디간의 형상의 단순화가 가능하여, 이에 따른 작업성 향상 및 작업공정의 개선이 가능하고, 부식현상 억제로 인한 유지보수 작업의 필요성을 감소시킬 수 있는 효과는 물론, 부식효과를 억제함으로써 작업과정에서 발생되는 유독가스 등의 누출로 인한 작업자의 안전사고 등을 방지할 수 있게 되는 효과를 기대할 수 있는 질량 유량계의 유량제어밸브 노즐 고정 구조에 관한 것이다.It is possible to simplify the shape of the nozzle and the shape between the flowmeter body to be combined with the nozzle, thereby improving workability and work process, and reducing the need for maintenance work due to suppression of corrosion. In addition, the present invention relates to a flow control valve nozzle fixing structure of a mass flow meter, which can be expected to have an effect of preventing a worker's safety accident due to leakage of toxic gas generated in a work process by suppressing a corrosion effect. .

질량유량계, 유량제어밸브, 노즐, 용접부  Mass flow meter, flow control valve, nozzle, welding part

Description

질량 유량계의 유량제어밸브 노즐 고정 구조{Mass Flow Controller valve nozzle fixing structure}Mass flow controller valve nozzle fixing structure

도 1은 본 발명의 구조를 도시한 도면이고,1 is a view showing the structure of the present invention,

도 2 내지 도 3은 종래의 질량 유량계의 유량제어밸브 노즐 고정 구조를 도시한 도면이다.2 to 3 is a view showing a flow control valve nozzle fixing structure of a conventional mass flow meter.

※ 도면 중 주요부호에 대한 간단한 설명※ Brief description of the main symbols in the drawings

10; 플런저 20; 블럭10; Plunger 20; block

30; 노즐 33; 유입구30; Nozzle 33; Inlet

34; 유출구 40; 유량계바디34; Outlet 40; Flowmeter Body

41; 유체유출로 43; 노즐안착부41; Fluid outlet 43; Nozzle Seat

50; 유량조절시트 60; 용접부50; Flow control sheet 60; Weld

본 발명은 질량유량계(MFC: Mass Flow Controller)의 유량제어 밸브에 적용 되는 노즐의 구조에 관한 것으로, 상세하게는 유량제어밸브의 기밀성 및 기능성을 향상시키기 위해 밸브 노즐부와 질량유량계 바디부간 접촉부위를 용접처리하여, 유독한 유체의 누설 및 밸브의 불량 가능성 감소, 질량 유량계의 사용수명 등을 연장시킬 수 있는 질량 유량계의 유량제어밸브 노즐 고정 구조에 관한 것이다. The present invention relates to a structure of a nozzle that is applied to a flow control valve of a mass flow controller (MFC), and in detail, a contact portion between a valve nozzle part and a mass flow meter body part to improve airtightness and functionality of the flow control valve. The present invention relates to a flow control valve nozzle fixing structure of a mass flow meter which can be welded to reduce the possibility of toxic fluid leakage and the possibility of defective valves, and to prolong the service life of the mass flow meter.

일반적으로 알려진 질량유량계(MFC)는 반도체 장치의 제조 특히 에칭 및 기상증착공정에 사용되는 인체에 유해하고 대기에 노출되었을 때 고반응성을 갖는 유독성 또는 고반응성 가스와 같은 유체의 질량 유동율을 제어하기 위한 반도체 공정의 정밀유량조절기로 주로 사용되었으나, 근래들어 각 연구소, 실험실 및 산업플랜트 등으로 확산되어 산업 전분야에 걸쳐 Air, O2 를 비롯한 모든 가스 플랜트의 유량지시 및 유량제어의 목적으로 사용되고 있는 실정이다.Generally known mass flow meters (MFC) are used to control the mass flow rate of fluids, such as toxic or highly reactive gases, that are harmful to the human body and are highly reactive when exposed to the atmosphere used in the manufacture of semiconductor devices, particularly in etching and vapor deposition processes. It was mainly used as a precision flow regulator of semiconductor process, but recently it has been spread to each research institute, laboratory, and industrial plant, and is used for the flow indication and flow control of all gas plants including air and O 2 throughout all industries. to be.

이와 같은 질량유량계(MFC)는 열선식, 코리올리스식, 차암식, 각운동량식으로 구별되는 직접식 질량유량계와, PQ2를 검출하는 유량계와 밀도계의 조합형, Q를 검출하는 유량계와 밀도계의 조합형, PQ2를 검출하는 유량계와 Q를 검출하는 유량계의 조합형, 온도, 압력보정형 또는 온도보정형 등으로 구별되는 간접식 질량유량계로 구별된다.Such a mass flow meter (MFC) is a direct mass flow meter which is classified into a hot wire type, a Coriolis type, a car arm type and an angular momentum type, a combination type of a flow meter and a density meter for detecting PQ 2 , and a combination type of flow meter and density meter for detecting Q And an indirect mass flow meter which is classified into a combination type of a flow meter for detecting PQ 2 and a flow meter for detecting Q, a temperature, a pressure compensation type, or a temperature compensation type.

이러한 종류의 종래 질량유량계는 도 3에 도시되어 있는 바와 같이 양단에 관로유입구(Pi)와 관로유출구(Po)가 설치된 가스유통로(P)를 가지는 관로부(A)와 상기 관로부(A)를 통과하는 가스유량을 감지하여 전기적량으로 변환시키는 센서부(1)와, 센서부(1)에서 감지된 유량과 설정치를 비교하여 이에 따라 제어신호를 발하는 PC제어부(4)와, 상기 관로부(A)의 가스유통로(P)의 하류측에 설치되어 PC제어부(4)로부터의 제어신호에 따라 유량을 조절하는 밸브(6)를 포함한다. Conventional mass flowmeters of this kind have a conduit part A and a conduit part A having a gas inlet P at both ends thereof with pipe inlets Pi and pipe outlets Po, as shown in FIG. A sensor unit 1 for detecting a gas flow rate passing through the sensor unit and converting the gas flow rate into an electric quantity, a PC control unit 4 which compares the flow rate detected by the sensor unit 1 with a set value, and emits a control signal accordingly; It is provided in the downstream of the gas flow path P of (A), and the valve 6 which adjusts a flow volume according to the control signal from the PC control part 4 is included.

상기 센서부(1)는 가스유통로(P)의 도중에서 상, 하류를 연결하는 U형 바이패스 튜브(3)와, 이 바이패스 튜브(3)에 설치되어 그 온도를 측정하는 저항온도계(2)를 구비한다. 이들 두 개의 저항온도계(2)는 각각 휘스톤브리지회로의 일부를 구성한다.The sensor unit 1 includes a U-type bypass tube 3 connecting upstream and downstream in the middle of the gas flow path P, and a resistance thermometer installed at the bypass tube 3 to measure the temperature ( 2) is provided. These two resistance thermometers 2 form part of the Wheatstone bridge circuit, respectively.

상기 저항온도계(2)는 도면에서 단일체로 도시되어 있으나 가스유동방향에 대하여 상, 하류측에 각각 하나씩 설치되는 것이다.The resistance thermometer (2) is shown as a single unit in the figure but is installed one each upstream and downstream with respect to the gas flow direction.

상기 PC제어부(4)는 도시되어 있지는 아니 하나 유량 설정치를 입력할 수 있는 키보드(key board) 등의 입력부를 구비하는 것으로, 입력부에 의하여 입력된 값이 원하는 유량에 상당하는 설정치로 되는 것이다.Although not shown, the PC control unit 4 includes an input unit such as a keyboard for inputting a flow rate setting value, and the value input by the input unit becomes a setting value corresponding to a desired flow rate.

상기 밸브(6)는 상기 관로부(A)의 가스유통로(P)의 하류측(유출구에 인접한 위치)에 설치되는 것으로, 가스유통로(P)의 상, 하류측을 연결하는 밸브시트(5a)와 이 밸브시트(5a)를 개폐하거나 개방량을 제어하는 밸브콘(valve cone)(5b)과 이 밸브콘(5b)를 구동하는 구동부(5c)로 구성되는 것이다.The valve 6 is installed on the downstream side (position adjacent to the outlet port) of the gas flow path P of the pipe portion A, and a valve seat for connecting the upstream and downstream sides of the gas flow path P ( 5a), a valve cone 5b for opening and closing the valve seat 5a and controlling the opening amount thereof, and a drive unit 5c for driving the valve cone 5b.

이와 같은 종래의 질량유량계에서 가스의 유동이 없을 때는 상기 두 저항온도계(2)의 온도가 동일하게 유지되어 브리지회로는 균형을 이루게 되고, 따라서 출력치는 0이 된다. 이러한 상태에서 가스가 유동하게 되면 바이패스 튜브(3)의 상류 측에 있는 저항온도계(2)는 차가워지고 하류측에 있는 저항온도계(2)는 가열된다. 이는 가스의 열팽창계수와 가스의 유량에 의존한다. 저항온도계(2)의 저항치는 온도에 따라 변화하는 특성을 가지기 때문에 이들의 구성요소로 되어 있는 브리지회로는 균형을 잃게 되어 유량에 비례하는 전압출력신호를 발하게 된다.In the conventional mass flow meter, when there is no gas flow, the temperatures of the two resistance thermometers 2 remain the same, so that the bridge circuit is balanced, and thus the output value becomes zero. When gas flows in this state, the resistance thermometer 2 on the upstream side of the bypass tube 3 becomes cold and the resistance thermometer 2 on the downstream side is heated. It depends on the coefficient of thermal expansion of the gas and the flow rate of the gas. Since the resistance value of the resistance thermometer 2 varies with temperature, the bridge circuit composed of these components loses balance and emits a voltage output signal proportional to the flow rate.

센서부(1)에서 발하여진 신호는 PC제어부(4)로 전송된다. PC제어부(4)는 이 신호를 PC제어부(4)에 이미 설정되어 있는 값과 비교하고, 이 비교의 결과에 따라 가스유량이 설정치로 될 수 있게 하는 제어신호를 발하여 전자기밸브(6)로 보내고, 전자기밸브(6)는 이 신호가 제어하는 바에 따라 구동부(5c)가 작동되어 밸브콘(5b)를 제어하는 것에 의하여 밸브시트(5a)의 개방량을 변경시키게 된다. The signal emitted from the sensor unit 1 is transmitted to the PC control unit 4. The PC controller 4 compares this signal with a value already set in the PC controller 4 and sends a control signal to the electromagnetic valve 6 to allow the gas flow to be set according to the result of the comparison. In addition, the electromagnetic valve 6 changes the opening amount of the valve seat 5a by controlling the valve cone 5b by operating the driving unit 5c according to the control of this signal.

이에 따라 관로부(A)의 가스유통로(P)의 유입구(Pi)에서 유입되어 가스유통로(P)를 통해 유동하는 가스의 유량이 밸브시트(5a)의 개방량에 따라 제어되어 그 제어된 유량이 관로유출구(Po)를 통해 유출되는 것이다. 이때 밸브시트(5a)의 개방량은 PC제어부(4)의 설정 유량에 상응하는 정도로 유지되므로 제어되는 유량은 설정치대로 일정하게 유지된다.Accordingly, the flow rate of the gas flowing from the inlet Pi of the gas flow passage P of the pipe portion A and flowing through the gas flow passage P is controlled according to the opening amount of the valve seat 5a, thereby controlling the flow thereof. The flow rate is discharged through the pipe outlet (Po). At this time, since the opening amount of the valve seat 5a is maintained to a degree corresponding to the set flow rate of the PC control unit 4, the controlled flow rate is kept constant according to the set value.

그러나 이와 같은 질량유량제어기에서는 장기간의 사용에 따라 유량제어기 자체의 노후화, 노장 등의 원인에 의해 가스유량의 제어가 오차를 가지거나 부정확하게 행하여지고 있는 경우에도 이를 확인하기가 곤란하다고 하는 문제점이 있었다. 그리고 이러한 오차 등이 확인된 경우에는 이 장치를 분해하여 센서의 교환 등으로 교정하는 문제점이 있었다.However, such a mass flow controller has a problem that it is difficult to check the control of the gas flow rate even if the gas flow control has an error or is incorrectly caused by the aging of the flow controller itself due to long-term use, or a failure of the flow controller. . And when such an error is confirmed, there was a problem in disassembling the device to correct by replacing the sensor.

또한, 도 3의 구성과는 달리 상기 밸브내에서의 가스 누출 등을 방지하기 위해 도 2와 같은 구성을 갖는 질량유량계의 구성이 제시되고 있는바, 유체의 유동량을 제어하기 위한 유량조절시트(50) 상단으로 플런저(10)를 형성하고 그 외주면으로는 블럭(20)이 구비되고, 상기 유량조절시트(50) 하단측으로 유량조절시트(50)의 상하 단락에 의해 이격되는 공간을 통하여 유체의 유입을 유도하는 노즐(30)이 구비된다. In addition, unlike the configuration of FIG. 3, in order to prevent the leakage of gas in the valve, etc., a configuration of the mass flow meter having the configuration as shown in FIG. 2 is proposed. The flow rate control sheet 50 for controlling the flow rate of the fluid A plunger 10 is formed at an upper end thereof, and a block 20 is provided at an outer circumferential surface thereof, and the inflow of fluid through a space spaced by an upper and lower paragraph of the flow regulating sheet 50 toward the lower end of the flow regulating sheet 50. It is provided with a nozzle 30 to guide.

상기 노즐(30)은 도면에서 보듯이, 상부에 유체의 유입을 유도하기 위한 유입구(33)와, 노즐(30) 외주면으로 오링홈(31)을 형성하고, 그 하단부측 외주면으로 나사부(32)를 형성하고 하방으로 관통되는 유출구(34)를 형성하는 일반적 구성을 갖는다. As shown in the drawing, the nozzle 30 has an inlet 33 for inducing the inflow of fluid in the upper portion, and an O-ring groove 31 formed on the outer circumferential surface of the nozzle 30, and the screw portion 32 on the outer circumferential surface of the lower end side thereof. And a general configuration of forming an outlet 34 penetrating downward.

이와 같은 노즐(30)을 질량유량계의 유량계바디(40)에 체결하기 위해서는 암나사가 형성되는 노즐삽입홈(42)측으로 노즐(30)을 삽입하여, 노즐(30) 하단 외주면으로 형성되는 나사부(32)를 이용하여 나사 결합하게 되는데, 그 과정에서 상기 오링홈(31)측으로 기밀성 및 수밀성을 갖도록 하기 위해 오링(O-Ring)을 삽입하여 노즐(30)의 삽입 과정을 완료할 수 있다.In order to fasten the nozzle 30 to the flowmeter body 40 of the mass flow meter, the nozzle 30 is inserted into the nozzle insertion groove 42 side where the female thread is formed, and the thread part 32 formed as the outer peripheral surface of the lower end of the nozzle 30. In the process, the screw is coupled to each other. In this process, an O-ring may be inserted to complete the insertion process of the nozzle 30 in order to have airtightness and watertightness toward the O-ring groove 31.

그러나, 이와 같은 종래의 노즐(30)의 구성 및 결합관계에서, 오링(O-Ring)의 밀폐성능이 경우에 따라 즉 유동되는 가스의 부식성 및 그 종류 등에 따라 저하될 수 있는 문제점이 있으며, 이와 같은 점을 감안하여 가스의 종류에 따라 재질을 달리하는 오링을 교체 삽입하여야 한다는 문제점이 있다.However, in the configuration and coupling relationship of the conventional nozzle 30, there is a problem that the sealing performance of the O-ring (O-Ring) may be lowered in some cases, that is, depending on the corrosiveness and the type of the flowing gas, In consideration of the same point, there is a problem in that the O-ring having a different material is inserted and replaced according to the type of gas.

또한, 상기와 같은 오링의 삽입 및 나사결합등을 고려하여 노즐(30)의 길이가 상대적으로 길어져야 하므로 적정 높이 이상을 유지하도록 제조하여야 하는 문제점이 있다.In addition, since the length of the nozzle 30 should be relatively long in consideration of the insertion and screwing of the O-ring as described above, there is a problem of manufacturing to maintain a proper height or more.

또한 부식성 가스에 적응하기 위해 밸브나 각 기타 부품을 내부식성이 강한 재료를 선택하여 제조하더라도, 가스의 정체 공간에서는 미량의 부식이 발생되므로 이에 따른 오링의 부식 및 누설 현상이 발생될 수 밖에 없다. 따라서 오링을 사용하는 이와 같은 종래의 구조에 있어서는 나사부(32)와 노즐삽입홈(42), 오링홈(31) 등에서의 부식과정에 의한 유격공간을 통해 유독성을 갖는 가스의 누출현상을 방지할 수 없게 되는 문제점이 있다.In addition, even if the valve or each component is manufactured by selecting a highly corrosion-resistant material in order to adapt to the corrosive gas, a small amount of corrosion occurs in the stagnant space of the gas, so the corrosion and leakage of the O-ring is inevitable. Therefore, in such a conventional structure using the O-ring can prevent the leakage of toxic gas through the clearance space by the corrosion process in the screw portion 32, the nozzle insertion groove 42, the O-ring groove 31 and the like. There is a problem that there is no.

따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서,  Therefore, the present invention has been made to solve the above problems,

노즐과 질량유량계바디간을 용접 체결하여 일체화 함으로써, 밸브구조를 단순화하고 부식성이 강한 가스의 유동 제어시 발생되는 유독 가스의 누출 위험을 방지하는데 그 목적이 있다.By welding and integrating the nozzle with the mass flow meter body, the purpose is to simplify the valve structure and to prevent the risk of leakage of toxic gas generated during the flow control of highly corrosive gas.

또한 본 발명은, 기밀성을 확보하기 위한 오링(O-RING)의 구성요소를 배제하여, 유동 제어하기 위한 각각의 가스 종류에 따라 오링을 선택, 질량유량계의 밸브를 분해, 조립 하는 등 작업의 번잡성 및 유지보수작업의 필요성 감소, 사용수명의 연장 가능하도록 하는데 다른 목적이 있다. In addition, the present invention eliminates O-ring components to ensure airtightness, selects the O-ring according to each gas type for flow control, and disassembles and assembles the valve of the mass flow meter. Another goal is to reduce the need for maintenance and maintenance work and to extend the service life.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은,  The present invention for achieving the above object,

관로유입구(Pi)와 관로유출구(Po)로 되는 관로부(A)를 따라 유동되는 유체의 질량유량을 유량계바디(40)측과 연결되는 노즐(30) 및 밸브를 통하여 제어하기 위한 질량유량계 밸브 구조에 있어서,Mass flow meter valve for controlling the mass flow rate of the fluid flowing along the pipe portion A, which is the pipe inlet Pi and the pipe outlet Po, through the nozzle 30 and the valve connected to the flowmeter body 40 side. In structure,

상기 관로유출구(Po)와 연통되는 유량계바디(40)의 유체유출로(41) 상면외주연으로 형성되는 노즐안착부(43)로, 상방 유입구(33)보다 넓은 직경을 갖으며 상기 유체유출로(41)의 내경과 동일한 내경을 갖는 하방 유출구(34)로 이루어지는 노즐(30) 하단부가 안착되고 그 주연부를 따라 용접되는 용접부(60)에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 질량 유량계의 유량제어밸브 노즐 고정 구조를 제공한다.The nozzle seat portion 43 is formed as an outer circumference of the fluid outlet passage 41 of the flow meter body 40 in communication with the pipe outlet outlet Po, and has a larger diameter than the upper inlet 33 and the fluid outlet passage. The lower end of the nozzle 30, which consists of a lower outlet 34 having the same inner diameter as the inner diameter of the head 41, is seated and fixed by a welding part 60 welded along the periphery thereof. Provide a fixed structure.

또한 본 발명은, 상기 노즐(30)은 유체의 유입을 유도하는 유입구(33)로부터 수평상으로 연장된 후 2단 절곡되는 형상을 이루며, 최종 절곡되는 부위는 노즐안착부(43)에 함입되어 용접처리 고정되는 것을 포함하는 질량 유량계의 유량제어밸브 노즐 고정 구조를 제공한다.In addition, the present invention, the nozzle 30 extends horizontally from the inlet port 33 to induce the inflow of the fluid to form a shape that is bent in two stages, the final bending portion is embedded in the nozzle seat 43 Provided is a flow control valve nozzle fixing structure of a mass flow meter comprising a fixed welding process.

이하 본 발명의 바람직한 일실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 첨부한 도면에서 보는바와 같이, 질량유량계(MFC)의 밸브내 노즐(30)의 구조를 단순화하면서도, 아울러 제어하고자 하는 유체의 유독성, 부식성 등 해당 유체의 성질에 상관없이 유동 제어가 가능한 구조를 갖도록 하는 질량유량계의 밸브내 노즐구조를 제공한다.The present invention, as shown in the accompanying drawings, while simplifying the structure of the nozzle 30 in the valve of the mass flow meter (MFC), it is possible to control the flow irrespective of the properties of the fluid, such as toxic, corrosiveness of the fluid to be controlled It provides a nozzle structure in a valve of a mass flow meter to have a structure.

상기한 노즐(30)은 상방으로 유체(가스)가 플런저(10)에 의해 이격되는 유량조절시트(50)의 동작에 따라 관로부(A)의 관로유입구(Pi)를 통해 유동되어지는 유체의 유입이 가능한 일정 직경의 유입구(33)와, 직하방으로 직경이 넓어지는 형태로 확관되는 유출구(34)로 이루어진다.The nozzle 30 of the fluid flowing through the pipe inlet (Pi) of the pipe portion (A) in accordance with the operation of the flow control sheet 50 in which the fluid (gas) is spaced apart by the plunger 10 upwards. It consists of an inlet (33) of a predetermined diameter that can be introduced, and an outlet (34) that is expanded in a form that the diameter widens directly below.

또한 그 외측으로는 상기 유입구(33)로부터 2단 절곡되는 형상을 이루고, 최종 절곡되는 부위면은 상기 노즐안착부(43)에 함입되어진 후 도 1에서 보는바와 같은 용접부(60)에 의해 용접처리되어 고정될 수 있도록 한다.In addition, the outer side forms a shape that is bent in two stages from the inlet 33, and the final bent part surface is welded by the welding part 60 as shown in FIG. To be fixed.

따라서 본 발명에서는 종래와 같은 형태의 노즐의 구조에서 크게 벗어나는 것으로, 예컨데 종래의 경우 노즐(30)의 직하방 외주면으로 나사부(32)를 갖으며 유량계바디(40)내 노즐삽입홈(42)으로 노즐(30)을 나사체결 하는 구성에 의해 제공되는 상기한 문제점을 해결하기 위한 구성을 제공하게 된다.Therefore, in the present invention, a large deviation from the structure of the nozzle of the conventional type, for example, in the conventional case having a screw portion 32 to the outer peripheral surface directly below the nozzle 30 and into the nozzle insertion groove 42 in the flowmeter body 40 It is to provide a configuration for solving the above problems provided by the configuration for screwing the nozzle 30.

상기 유출구(34)는 이후 설명되는 유량계바디(40)내 유체유출로(41)의 내경과 동일하게 구성하는 것이 바람직하다.The outlet 34 is preferably configured to be the same as the inner diameter of the fluid outlet passage 41 in the flow meter body 40 to be described later.

미설명부호 10은 유량조절시트(50)를 조절하기 위한 플런저이고, 미설명부호 20은 플런저(10)와 유량계바디(40)간을 고정하기 위한 블럭이다.Reference numeral 10 is a plunger for adjusting the flow rate control sheet 50, and reference numeral 20 is a block for fixing between the plunger 10 and the flowmeter body 40.

상기 유량계바디(40)는 관로부(A)의 양단을 이루는 관로유입구(Pi)측을 통해 유입되는 유체가 바이패스 튜브(3)를 거쳐 상기 노즐(30)의 하단측 유출구(34)와 그 내경이 일치되는 유체유출로(41)를 통해 관로유출구(Po)측으로 유동되는 유체의 유동성을 제어하도록 한다.The flow meter body 40 has a fluid flowing in through the pipe inlet (Pi) side forming the both ends of the pipe portion (A) through the bypass tube (3) the bottom outlet 34 of the nozzle 30 and its It is to control the fluidity of the fluid flowing to the pipe outlet (Po) side through the fluid outlet passage 41 with the inner diameter.

이와 같은 유체의 유동성 제어를 위해서 상기 유체유출로(41)와 접하게 되는 노즐(30)의 유출구(34)가 상당한 밀착성 및 기밀성을 유지하기 위해 가스의 종류나 상태 등에 상관없이 항상 일정하게 유지하여야 할 필요성이 있음은 물론이다.In order to control the fluidity of the fluid, the outlet 34 of the nozzle 30, which is in contact with the fluid outflow path 41, should always be kept constant regardless of the type or condition of the gas in order to maintain significant adhesion and airtightness. Of course there is a need.

따라서, 상기 유량계바디(40)와 상기 노즐(30)의 하단부측이 노즐안착부(43)에 당접되거나 또는 노즐안착부(43)에 함입되도록하여 노즐(30)의 하단 외주연과 노즐안착부(43)간을 용접처리하여서 되는 용접부(60)를 형성한다.Therefore, the lower end side of the flow meter body 40 and the lower end side of the nozzle 30 are in contact with the nozzle seat 43 or embedded in the nozzle seat 43 so that the outer periphery of the lower end of the nozzle 30 and the nozzle seat A weld 60 is formed by welding the sections 43 to each other.

이와 같은 밸브의 노즐(30)과 유량계바디(40)간 고정 구조에 의해, 유독성 및 부식성이 상당한 가스의 유동성을 제어하기 위한 질량유량계내로 유체의 유동시, 종래와 같은 오링 및 상기 오링을 삽입하기 위한 노즐의 오링홈 등의 구조에 있어서 발생되는 유체의 접촉공간을 현저하게 줄여 줄 수 있어 유체의 정체공간이 발생되지 않으면서 신속하게 유동될 수 있게 되므로, 강한 부식성 등을 갖는 유체로 인한 밸브 등의 내부 구조의 부식성을 최대한 억제할 수 있으며, 보다 월등한 밀폐성을 제공할 수 있게 되어, 작업의 안전성을 확보할 수 있다.By the fixed structure between the nozzle 30 of the valve and the flowmeter body 40, the conventional O-ring and the O-ring are inserted when the fluid flows into the mass flowmeter for controlling the flowability of gases with considerable toxicity and corrosiveness. It can reduce the contact space of the fluid generated in the structure of the O-ring groove of the nozzle for remarkably and can flow quickly without generating the stagnant space of the fluid, so that the valve due to the fluid with strong corrosiveness, etc. Corrosion of the internal structure can be suppressed as much as possible, and superior sealing can be provided, thereby ensuring safety of work.

따라서 본 발명에 의하면, 질량유량계의 밸브 구조에서 노즐과 유량계바디간 고정 결합을 기존의 나사 결합에서 용접고정구조로 개선함으로써 노즐의 길이를 상대적으로 짧게 형성할 수 있음은 물론, 나사결합 및 오링 등의 고정결합관계에서 발생되는 유체의 정체공간을 줄여, 신속한 유체의 유동을 유도할 수 있게 되어 밸브내 부식현상을 최대한 억제, 밸브 및 노즐의 사용수명을 현저하게 연장시킬 수 있는 효과를 기대할 수 있다. Therefore, according to the present invention, by improving the fixed coupling between the nozzle and the flowmeter body in the valve structure of the mass flow meter from the conventional screw coupling to the welding fixed structure, the length of the nozzle can be formed relatively short, as well as the screw coupling and the O-ring, etc. By reducing the stagnant space of the fluid generated in the fixed coupling relationship, it is possible to induce a rapid flow of the fluid to minimize the corrosion phenomenon in the valve, it can be expected to significantly extend the service life of the valve and nozzle. .

또한 본 발명에 의하면, 노즐 형상의 단순화와 상기 노즐과 결합되어지기 위한 유량계바디간의 형상의 단순화가 가능하여, 이에 따른 작업성 향상 및 작업공정의 개선이 가능하고, 부식현상 억제로 인한 유지보수 작업의 필요성을 감소시킬 수 있는 효과를 기대할 수 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to simplify the shape of the nozzle and the shape between the flowmeter body to be combined with the nozzle, thereby improving workability and work process, and maintenance work due to suppression of corrosion phenomenon The effect can be expected to reduce the need for

또한 본 발명에 의하면, 부식효과를 억제함으로써 작업과정에서 발생되는 유독가스 등의 누출로 인한 작업자의 안전사고 등을 방지할 수 있게 되는 효과를 기대할 수 있다.In addition, according to the present invention, by suppressing the corrosion effect can be expected to the effect that it is possible to prevent the worker's safety accidents due to leakage of toxic gases and the like generated in the working process.

Claims (2)

관로유입구(Pi)와 관로유출구(Po)로 되는 관로부(A)를 따라 유동되는 유체의 질량유량을 유량계바디(40)측과 연결되는 노즐(30) 및 밸브를 통하여 제어하기 위한 질량유량계 밸브 구조에 있어서, Mass flow meter valve for controlling the mass flow rate of the fluid flowing along the pipe portion A, which is the pipe inlet Pi and the pipe outlet Po, through the nozzle 30 and the valve connected to the flowmeter body 40 side. In structure, 상기 관로유출구(Po)와 연통되는 유량계바디(40)의 유체유출로(41) 상면외주연으로 형성되는 노즐안착부(43)로, 상방 유입구(33)에서 직하방으로 확관되어 상기 유입구(30)보다 넓은 직경을 갖으며 상기 유체유출로(41)의 내경과 동일한 내경을 갖는 하방 유출구(34)로 이루어지는 노즐(30) 하단부가 함입되고 그 주연부을 따라 용접되는 용접부(60)에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 질량 유량계의 유량제어밸브 노즐 고정 구조.The nozzle seat portion 43 is formed as an outer circumference of the fluid outlet passage 41 of the flow meter body 40 communicating with the pipe outlet outlet Po, and is extended downward from the upper inlet 33 to the inlet port 30. The lower end portion of the nozzle 30 having a larger diameter than the inner side of the fluid outflow passage 41 and having an inner diameter equal to the inner diameter of the fluid outlet passage 41 is embedded and fixed by the welding portion 60 welded along the periphery thereof. A flow control valve nozzle fixing structure for a mass flow meter. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 노즐(30)은 유체의 유입을 유도하는 유입구(33)로부터 수평상으로 연장된 후 2단 절곡되는 형상을 이루며, 최종 절곡되는 부위는 노즐안착부(43)에 함입되어 용접처리 고정되는 것을 포함하는 질량 유량계의 유량제어밸브 노즐 고정 구조.The nozzle 30 extends horizontally from the inlet 33 for inducing the inflow of the fluid and forms a shape that is bent in two stages, and the final bent portion is embedded in the nozzle seat 43 to be fixed by welding. The flow control valve nozzle fixing structure of the mass flow meter including.
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