KR100800171B1 - 마이크로 펌프 - Google Patents

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KR100800171B1 KR1020070004127A KR20070004127A KR100800171B1 KR 100800171 B1 KR100800171 B1 KR 100800171B1 KR 1020070004127 A KR1020070004127 A KR 1020070004127A KR 20070004127 A KR20070004127 A KR 20070004127A KR 100800171 B1 KR100800171 B1 KR 100800171B1
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Abstract

본 발명은 마이크로 펌프에 관한 것으로서, 유체를 유입 및 토출시키는 인렛과 아웃렛 기능을 각각 수행하는 제 1 유입공 및 제 1 토출공이 형성되어 있는 제 1 플레이트; 제 1 유입공으로부터 유입된 유체를 통과시키는 제 2 유입공과, 제 3 플레이트로부터 토출되는 유체를 통과시키는 제 2 토출공이 형성되어 있는 제 2 플레이트; 제 2 유입공으로부터 유입된 유체를 통과시키는 제 3 유입공과, 제 4 플레이트로부터 토출되는 유체를 통과시키는 제 3 토출공이 형성되어 있는 제 3 플레이트; 제 3 유입공으로부터 유입된 유체를 통과시키는 제 4 유입공과, 제 5 플레이트로부터 토출되는 유체를 통과시키는 제 4 토출공이 형성되어 있는 제 4 플레이트; PDMS 재질로 형성되어 그 중앙에 원형형태의 공간을 형성하는 관통구가 마련되되, 관통구에 삽입된 IPMC의 외주연을 지지하고 있는 제 5 플레이트; 및 그 중앙에 원형형태의 공간을 형성하는 관통구를 마련하고 있는 제 6 플레이트; 를 포함한다.
마이크로 펌프, IPMC(Ionic polymer-metal composite)

Description

마이크로 펌프{The Micropump}
도 1a 는 본 발명의 일실시예에 따른 IPMC 작동기의 구조를 나타내는 일예시도.
도 1b 는 본 발명의 일실시예에 따른 IPMC 다이아프램의 제작절차를 나타내는 일예시도.
도 1c 는 본 발명의 일실시예에 따른 IPMC 다이아프램의 실제 사진도.
도 1d 는 본 발명의 일실시예에 따른 IPMC 다이아프램 작동성능을 실험장치에 관한 구성도.
도 1e 는 본 발명의 일실시예에 따른 주파수 및 전압에 따른 IPMC 다이아프램의 작동변위를 나타내는 그래프.
도 1f 는 본 발명의 일실시예에 따른 플랩밸브의 작동변위를 나타내는 그래프.
도 2 는 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 펌프에 관한 전체 구성도.
도 3 은 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 펌프의 결합 구성도.
도 4 는 본 발명의 일실시예에 따른 IPMC 작동기를 지지하고 있는 IPMC 다이아프램을 나타내는 일예시도.
도 5 는 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 펌프의 성능을 계측하기 위한 실험장치에 관한 구성도.
도 6 은 본 발명의 일실시예에 따른 마이크로 펌프의 작동 전압 및 작동 주파수에 따른 유량의 변화를 나타내는 그래프.
본 발명은 유연한 탄성계수를 갖는 PDMS를 이용하여 IPMC 작동기를 지지함으로써 작동변위의 감소 없이 작동력을 높일 수 있으며, PDMS를 이용한 플랩밸브를 설계하여 밀폐 특성이 좋고 높은 토출압을 나타낼 수 있는 마이크로 펌프에 관한 것이다.
마이크로 펌프는 마이크로 일괄 해석(micro total analysis) 시스템, 랩온어칩(lab-on-a-chips) 및 미소 약물전달(microdosage) 시스템 등과 같은 미소유체(microfulidic) 시스템을 구성하는 핵심 요소이며, 1980년대 최초로 마이크로 펌프의 개념이 도입된 이후 마이크로 펌프의 개발과 관련된 많은 연구가 수행되어 왔다.
초기의 마이크로 펌프는 디퓨져(diffuser)를 사용한 무밸브 형식을 취하였으나 성능 개선을 위하여 일방향 체크 밸브를 사용하는 것이 일반적이며, 마이크로 펌프의 구동에는 압전(piezoelectric) 작동기, 전자기력(electromagnetic) 작동기, 열공압(thermopneumatic) 작동기 및 정전기력(electrostatic) 작동기를 사용한다.
압전 작동기는 고주파수에서의 빠른 반응 시간과 큰 작동력을 가지나 작동 전압이 크다는 단점이 있으며, 전자기력 작동기는 외부의 자기장을 필요로 하기 때문에 펌프 크기가 제한된다. 또한 열공압 작동기는 큰 작동력과 큰 변위를 가지나 열이 많이 발생하며 전력 소모가 크다는 단점이 있으며, 정전기력 작동기는 짧은 반응 시간을 가지며 신뢰성이 우수하나 작동력과 작동 변위가 작다는 단점이 있다. 즉, 마이크로 펌프의 설계에 있어, 사용 목적에 알맞은 작동 원리를 선택하는 것이 마이크로 펌프의 작동력 및 효율성에 있어 중요한 요소로 작용하고 있다.
한편, 이온성 폴리머 금속 복합재료(Ionic Polymer Metal Composite)(이하, 'IPMC') 작동기는 낮은 작동전압에 대하여 큰 작동변위를 갖음으로써 마이크로 펌프 적용에 용이하나, 효율이 낮고 작동력이 작다는 단점이 있다.
최근 이러한 단점을 극복하기 위해 S. Guo, K. Asaka, "Polymer-based New Type of Micropump for Bio-medical Application," Proceedings of the 2003 IEEE International Conference on Robotic & Automation (Taipei, Taiwan), 2003, pp. 1830-1835 및 J.J Pak, J. Kim, S.W. Oh, J.H. Son, S. H. Cho, S.K. Lee, J.Y. Park and B. Kim, "Fabrication of ionic polymer-metal composite (IPMC) micropump using a commercial Nafion," Proceeding of 2004 SPIE, Vol. 5385, pp. 272-280 등의 보고서 등에 개시된 바와 같이 마이크로 펌프에 관한 다양한 연구가 진행되고 있으며, 상기 연구보고를 비롯한 마이크로 펌프와 관련된 내용을 살펴보면, IPMC 다이아프램 주위를 완전히 고정시킨 후 전압을 인가하는 방식을 사용하였 음을 확인할 수 있다.
그러나, 이러한 고정방법은 작동력이 작으면서 유연한 IPMC 작동기의 운동을 제한하는 결과를 초래하게 되어 결과적으로 IPMC 다이아프램의 작동 성능을 최대로 발휘할 수 없는 한계를 갖는다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 아래와 같은 기술적 과제를 구현하고자 한다.
1. 유연한 탄성계수를 갖는 PDMS를 이용하여 IPMC 작동기를 지지함으로써, 작동변위의 감소 없이 작동력을 높일 수 있도록 한다.
2. PDMS를 이용한 플랩 밸브를 설계하여 제작함으로써 밀폐 특성이 좋고 높은 토출압을 나타내도록 한다.
본 발명은 마이크로 펌프에 관한 것으로서, 유체를 유입 및 토출시키는 인렛과 아웃렛 기능을 각각 수행하는 제 1 유입공 및 제 1 토출공이 형성되어 있는 제 1 플레이트; 상기 제 1 유입공으로부터 유입된 유체를 통과시키는 제 2 유입공과, 제 3 플레이트로부터 토출되는 유체를 통과시키는 제 2 토출공이 형성되어 있는 제 2 플레이트; 상기 제 2 유입공으로부터 유입된 유체를 통과시키는 제 3 유입공과, 제 4 플레이트로부터 토출되는 유체를 통과시키는 제 3 토출공이 형성되어 있는 제 3 플레이트; 상기 제 3 유입공으로부터 유입된 유체를 통과시키는 제 4 유입공과, 제 5 플레이트로부터 토출되는 유체를 통과시키는 제 4 토출공이 형성되어 있는 제 4 플레이트; PDMS 재질로 형성되어 그 중앙에 원형형태의 공간을 형성하는 관통구가 마련되되, 상기 관통구에 삽입된 IPMC의 외주연을 지지하고 있는 제 5 플레이트; 및 그 중앙에 원형형태의 공간을 형성하는 관통구를 마련하고 있는 제 6 플레이트; 를 포함한다.
구체적으로, 상기 제 3 플레이트는 PDMS 재질로 형성되되, 상기 제 3 유입공과 제 3 토출공은 '
Figure 112007003664369-pat00001
' 형상의 플랩밸브로서, 제 3 플레이트의 중심을 두고 서로 대칭되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제 2 유입공 및 제 4 토출공은, 직경 0.5mm 내지 1.5mm 의 원형형상이며, 제 4 유입공 및 제 2 토출공은, 반원형상인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제 2 유입공부터 제 4 유입공까지 그 크기가 점차적으로 크게 형성되며, 제 4 토출공부터 제 2 토출공까지 그 크기가 점차적으로 크게 형성되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 제 1 플레이트, 제 2 플레이트, 제 4 플레이트 및 제 6 플레이트는, 아크릴 재질로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적 절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 할 것이다. 또한, 본 발명에 관련된 공지 기능 및 그 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는, 그 구체적인 설명을 생략하였음에 유의해야 할 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 마이크로 펌프의 구조 설명에 앞서, IPMC 작동기의 작동특성을 살펴보고, 마이크로 펌프 구동을 위한 IPMC 다이아프램 및 플랩밸브를 설계하여 보도록 한다.
도 1a 는 다층형 IPMC 작동기의 구조에 관한 도면으로서, 도시된 바와 같이 다층형으로 나피온, 적층 실리케이트 및 전도성 물질 입자(Ag nano-powder)로 이루어진 얇은 층 사이에 있는 나피온/실리카 층으로 이루어져 있다.
[표 1]은 20×5×0.6mm의 크기로 제작된 IPMC 작동기의 작동력을 실험적으로 계측한 결과로서, 지지력(blocking force)은 로드셀(Dacell, CB1-G150)을 이용하여 계측하였으며 비접촉 레이져 센서(KEYENCE LK-80)을 사용하여 끝단 변위를 계측하였다. 작동 주파수를 1Hz로 고정시킨 채 작동 전압을 1, 2, 3V로 변화시켰을 때의 결과를 나타내었다.
[표 1] IPMC 작동기의 작동특성
작동 전압 (V) 지지력 (gf) 작동변위 (mm)
1 0.9 1.6
2 2.9 3.4
3 5.8 5.6
IPMC 작동기는 작동 변위는 크나 작동력이 상당히 작은 특징을 갖는다. 그러나, IPMC 작동기를 사용한 기존의 마이크로 펌프의 설계를 보면 IPMC 다이아프램을 완전 고정시키는 것이 구조로서, 이는 IPMC 다이아프램의 작동을 방해하는 결과를 초래하여 펌프 성능을 제대로 발휘할 수 없는 문제점이 있었다. 이를 극복하기 위하여 본 발명에서는 유연한 탄성계수를 갖는 폴리디메틸실옥산(Polydimethylsilioxane, 이하 'PDMS')를 이용하여 IPMC 작동기를 지지하도록 구현하도록 한다.
먼저, PDMS를 이용하여 IPMC 다이아프램을 제작하는 일련의 절차 및 IPMC 다이아프램의 작동 성능 평가에 관하여 도 1b 및 도 1e 를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1b 는 본 발명의 일실시예에 따른 IPMC 다이아프램의 제작절차를 나타내는 도면으로서, 직경 14mm, 두께 0.6mm의 원형형태의 IPMC를 사용하였으며, MEMS 제작법의 일종인 포토리소그라피와 PDMS 몰딩 기법을 사용하였는바, 그 제작절차를 간략히 설명하면, 먼저 실리콘 웨이퍼 위에 포토리소그라피를 사용하여 패턴이 전사된 두께 100μm의 SU-8 포토 리지스터 층을 만든다. 그 위에 PDMS 프리폴리머를 부은 후, 스핀 코팅 공정을 거친 후 성형하여 두께 50μm의 PDMS 멤브레인을 만든다. IPMC와 PDMS 멤브레인 위 IPMC를 접착하기 위하여 PDMS를 얇게 부은 후 IPMC를 밀착시킨 후 성형한다. 그리고 위아래의 PDMS 층을 제거하여 도 1c 에 나타낸 바와 같은 IPMC 다이아프램을 완성한다.
상술한 절차를 통해 제작된 IPMC 다이아프램은 유체, 바람직하게 물과 직접 접촉됨으로써 지속적인 물의 흡수가 가능한 바, 그 내구성이 향상될 수 있다.
상기와 같이 제작된 IPMC 다이아프램의 작동 성능을 평가하기 위하여 도 1d 에 도시된 바와 같은 디지털 전원 공급기(10), 비접촉 레이져 센서(KEYENCE L-G80)(20), 컴퓨터(30)와 고정 장치(40)로 이루어진 실험장치를 이용한다.
상기 IPMC에 최대 13Hz의 작동 주파수와 최대 3V의 전압을 가하면서, 도 1e 에 나타낸 바와 같은 IPMC 다이아프램의 작동변위를 계측하였다. 이를 통해 IPMC 다이아프램의 스트로크비(변위와 직경의 비)는 1.6%로 공압 다이아프램과 비견되며 보통 0.2%인 압전 다이아프램에 비하여 상당히 큰 값을 가짐을 확인할 수 있으며, 본 발명의 PDMS를 이용한 지지구조가 IPMC 다이아프램에 적합함을 확인할 수 있다.
한편, 플랩밸브는 유체의 압력 저하가 작으면서도 밸브 효율을 유지할 수 있도록 고유 주파수가 높아야 한다. 본 발명은 이러한 조건을 만족시킬 수 있도록 PDMS를 이용하여 플랩밸브를 설계하도록 한다.
전술한 바와 같이, PDMS는 강성이 750kPa로 유연하여 낮은 개방 강성을 갖는 바, 상기 플랩밸브는 포토리소그라피법으로 실리콘 웨이퍼 위에 SU-8 몰드를 만든 후, PDMS를 부어 제작된다.
도 1f 는 플랩밸브의 작동변위를 나타내는 그래프로서, 플랩밸브의 작동 변위와 고유 진동수를 계산하기 위해 시뮬레이션 툴인 MSC/NASTRAN을 사용하였다. 도 1f 에 도시된 바와 같이 500Pa의 저항 압력(drag pressure)에 대하여 112μm의 변위가 발생하였으며, 설계된 플랩밸브는 공기 중에서 302Hz의 고유진동수를 갖는다. 이는 IPMC의 동작 주파수(<20 Hz)보다 상당히 크다는 것이 확인된 것으로서, 플랩 밸브가 작은 개방 강성을 가지면서도 높은 고유 진동수를 가져 설계 요구 조건에 만족됨을 의미하는 것이다.
지금까지 전술한 과정을 통해 PDMS를 이용한 IPMC 다이아프램의 지지구조 및 PDMS로 제작된 플랩밸브가 본 발명에 적용될 수 있음을 확인하였는바, 본 발명에 따른 마이크로 펌프에 관해 설명하도록 한다.
도 2 는 본 발명의 특징적인 일양상에 따른 마이크로 펌프(100)에 관한 구성도로서, 도시된 바와 같이 전체적으로 사각판상체로 형성된 플레이트로 이루어져 있으며, 각각의 플레이트는 각각의 모서리에서 스크류를 통해 고정되며, 상기 플레이트가 결합된 마이크로 펌프는 도 3 에 나타낸 바와 같다.
구체적으로, 도 2 에 도시된 바와 같이 제 1 플레이트(110)부터 제 4 플레이트(140)까지는 유체가 유입 및 토출될 수 있도록 유입공 및 토출공이 각각 마련되어 있는 바, 제 1 플레이트(110)는 인렛(inlet)과 아웃렛(outlet) 기능을 각각 수행하는 제 1 유입공(a1) 및 제 1 토출공(b1)이 형성되어 있으며, 제 2 플레이트(120)는 제 1 유입공(a1)으로부터 유입된 유체를 통과시키는 제 2 유입공(a2)과, 제 3 플레이트로부터 토출되는 유체를 통과시키는 제 2 토출공(b2)이 형성되어 있다. 상기 제 1 유입공(a1)은 직경 0.5mm 내지 1.5mm, 바람직하게 직경 1mm 의 원형형상이며, 제 2 토출공(b2)은 반원형상을 갖는다.
제 3 플레이트(130)는 PDMS 재질로서, 제 2 유입공(a3)으로부터 유입된 유체를 통과시키는 제 3 유입공(a3)과, 제 4 플레이트로부터 토출되는 유체를 통과시키 는 제 3 토출공(b3)이 형성되어 있으며, 상기 제 3 유입공(a3)과 제 3 토출공(b3)은 '
Figure 112007003664369-pat00002
' 형상의 플랩밸브로서, 제 3 플레이트의 중심을 두고 서로 대칭되도록 형성되어 있다.
제 4 플레이트(140)는 제 3 유입공(a3)으로부터 유입된 유체를 통과시키는 제 4 유입공(a4)과, 제 5 플레이트로부터 토출되는 유체를 통과시키는 제 4 토출공(b4)이 형성되어 있다. 상기 제 4 유입공(a4)은 반원형상을 갖으며, 제 4 토출공(b4)은 직경 0.5mm 내지 1.5mm, 바람직하게 직경 1mm 의 원형형상이다.
제 5 플레이트(150)는 IPMC 다이아프램으로서, 도 4 에 도시된 바와 같이 PDMS가 IPMC 작동기를 지지하고 있는 구조를 갖는다.
구체적으로, IPMC 다이아프램은 원형형태로 형성된 IPMC 작동기의 외주연을 PDMS가 지지하고 있는 구조로서, 그 작동 성능을 최대로 발휘하도록 한다는 본 발명의 특징적인 목적을 달성하기 위해 유연한 탄성계수(705 kPa)를 갖는 PDMS를 이용한다. 즉, 기존의 완전 고정방식이 아닌, 유연한 탄성계수를 갖는 PDMS를 이용하여 IPMC를 지지함으로써 IPMC 작동기의 운동에 제한을 두지 않도록 하는 것이다.
제 6 플레이트(160)는 그 중앙에 원형형태의 공간을 형성하는 관통구를 마련하고 있다.
부연하면, 제 1 플레이트(110)의 제 1 유입공(a1)을 통해 유입된 유체는 제 2 플레이트(120)의 제 2 유입공(a2), 제 3 플레이트(130)의 제 3 유입공(a3), 제 4 플레이트(140)의 제 4 유입공(a4)을 통과하여 제 5 플레이트, 바람직하게 IPMC 다 이아프램에 접촉된 후, 제 4 플레이트(140)의 제 4 토출공(b4), 제 3 플레이트(130)의 제 3 토출공(b3), 제 2 플레이트(120)의 제 2 토출공(b2), 제 1 플레이트(110)의 제 1 토출공(b1)을 통과하여 토출된다.
제 2 유입공(a2)부터 제 4 유입공(a4)까지 그 크기가 점차적으로 크게 형성되며, 제 4 토출공(b4)부터 제 2 토출공(b2)까지 그 크기가 점차적으로 크게 형성되는 바, 유입 및 토출되는 유체의 흐름을 빠르게 할 수 있다.
도 5 는 마이크로 펌프의 성능을 계측하기 위한 실험장치를 나타내는 도면으로서, 작동 주파수를 1Hz에서 11Hz까지, 작동 전압을 1V에서 3V까지 변화시키면서 유량을 측정하였다. 또한 배압(back pressure)을 측정하기 위하여 인렛과 아웃렛 사이의 압력 차이를 고려하였다.
도 6 은 상기 실험장치를 통해 계측된 작동 전압과 작동 주파수에 따른 유량의 변화를 나타내는 그래프로서, 도시된 바와 같이 작동 전압이 1V, 2V 및 3V의 작동 전압에 대하여 공진 주파수는 각각 3Hz, 5Hz 및 3Hz를 나타내었으며, 최대 유량은 3V, 3Hz에서 760μl/min이었다.
도 7 은 마이크로 펌프의 유량과 배압사이의 관계를 나타내는 그래프로서, 도시된 바와 같이 3V의 작동 전압에 대해, 최대 유량은 760μl/min이며, 최대 배압은 1.5kPz로 두 점 사이에 이은 선이 작동 영역이 된다.
정리하면, 본 발명은 유연한 IPMC 다이아프램의 작동이 원활히 이루어 질 수 있도록 PDMS 지지구조를 도입하였다. 실험과 해석 결과로부터 IPMC 다이아프램은 1.6%의 비교적 큰 스트로크비를 가짐을 확인하였고, 플랩밸브 역시 낮은 개방 강성 과 높은 고유 주파수를 가짐을 확인하였다. 마이크로 펌프의 성능을 실험한 결과, 최대 유량은 760μl/min이었고 최대 배압은 1.5kPa로 기존에 발표된 마이크로 펌프보다 상당히 우수함을 확인하였다.
이상으로 본 발명의 기술적 사상을 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 이와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용에만 국한되는 것이 아니며, 기술적 사상의 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대해 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 기존의 고정방식이 아닌, 유연한 탄성계수를 갖는 PDMS를 이용하여 IPMC 작동기를 지지함으로써 IPMC 작동기의 운동에 제한을 두지 않게 되는 바, 작동변위의 감소 없이 작동력을 높일 수 있는 효과가 있다.
그리고 본 발명에 따르면, PDMS를 이용한 플랩밸브를 설계하여 제작함으로써 밀폐 특성이 좋고 높은 토출압을 나타낼 수 있는 효과도 있다.

Claims (6)

  1. 마이크로 펌프에 있어서,
    유체를 유입 및 토출시키는 인렛(inlet)과 아웃렛(outlet) 기능을 각각 수행하는 제 1 유입공(a1) 및 제 1 토출공(b1)이 형성되어 있는 제 1 플레이트(110);
    상기 제 1 유입공으로부터 유입된 유체를 통과시키는 제 2 유입공(a2)과, 제 3 플레이트로부터 토출되는 유체를 통과시키는 제 2 토출공(b2)이 형성되어 있는 제 2 플레이트(120);
    상기 제 2 유입공으로부터 유입된 유체를 통과시키는 제 3 유입공(a3)과, 제 4 플레이트로부터 토출되는 유체를 통과시키는 제 3 토출공(b3)이 형성되어 있는 제 3 플레이트(130);
    상기 제 3 유입공으로부터 유입된 유체를 통과시키는 제 4 유입공(a4)과, 제 5 플레이트로부터 토출되는 유체를 통과시키는 제 4 토출공(b4)이 형성되어 있는 제 4 플레이트(140);
    PDMS 재질로 형성되어 그 중앙에 원형형태의 공간을 형성하는 관통구가 마련되되, 상기 관통구에 삽입된 IPMC의 외주연을 지지하고 있는 제 5 플레이트(150); 및
    그 중앙에 원형형태의 공간을 형성하는 관통구를 마련하고 있는 제 6 플레이트(160); 를 포함하는 마이크로 펌프.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 3 플레이트(130)는 PDMS 재질로 형성되되, 상기 제 3 유입공(a3)과 제 3 토출공(b3)은 '
    Figure 112007003664369-pat00003
    ' 형상의 플랩밸브로서, 제 3 플레이트의 중심을 두고 서로 대칭되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 유입공(a2) 및 제 4 토출공(b4)은, 직경 0.5mm 내지 1.5mm 의 원형형상인 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 4 유입공(a4) 및 제 2 토출공(b2)은, 반원형상인 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 유입공(a2)부터 제 4 유입공(a4)까지 그 크기가 점차적으로 크게 형성되며, 제 4 토출공(b4)부터 제 2 토출공(b2)까지 그 크기가 점차적으로 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 플레이트(110), 제 2 플레이트(120), 제 4 플레이트(140) 및 제 6 플레이트(160)는, 아크릴 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 펌프.
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