KR100794761B1 - Laser Etching Device Of Ink Jet Print Head And Method For Manufacture Thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 잉크제트 프린트헤드의 레이저식각장치 및 그를 이용한 헤드제조방법에 관한 것으로서, 특히, 잉크제트 프린트헤드에서 잉크를 분사하는 판부재를 판고정테이블에 다수 안치하고, 레이저발생부에서 조사된 레이저를 레이저분배수단에서 다수의 가닥으로 분배하여 다수의 판부재에 조사함과 동시에 제어부에 의하여 제어되는 테이블구동수단으로 판고정테이블을 원하는 방향으로 작동하여 판부재에 필요한 챔버, 유로 및 구멍등을 정확하고 균일한 깊이, 폭 및 너비로 식각을 수행하도록 하는 매우 유용하고 효과적인 발명에 관한 것이다.The present invention relates to a laser etching apparatus of an ink jet print head and a head manufacturing method using the same. In particular, a plurality of plate members for ejecting ink from an ink jet print head are placed in a plate fixing table and irradiated from a laser generating unit. The laser is distributed to a plurality of strands from the laser distribution means to irradiate a plurality of plate members, and at the same time, the table fixing means is controlled by a control unit to operate the plate fixing table in a desired direction, so that chambers, flow paths and holes necessary for the plate members are removed. A very useful and effective invention for allowing etching to be performed with precise and uniform depth, width and width.

잉크제트 프린트헤드 레이저발생부 판부재 레이저분배수단Inkjet Printhead Laser Generator Plate Member Laser Distribution Means

Description

잉크제트 프린트헤드의 레이저 식각장치 및 그를 이용한 헤드 제조방법 { Laser Etching Device Of Ink Jet Print Head And Method For Manufacture Thereof } Laser Etching Device of Inkjet Printhead and Head Manufacturing Method Using Them {Laser Etching Device Of Ink Jet Print Head And Method For Manufacture Thereof}             

도 1은 종래 디지털 프린팅 머신의 요부 사시도,1 is a perspective view of main parts of a conventional digital printing machine,

도 2는 도 1의 헤드부를 도시한 분해사시도,2 is an exploded perspective view showing the head of FIG. 1;

도 3은 일반적인 잉크제트 프린팅헤드를 구성하는 판부재의 분해사시도이고,3 is an exploded perspective view of a plate member constituting a general ink jet printing head,

도 4는 일반적인 잉크제트 프린팅헤드를 구성하는 판부재의 조립사시도이고,4 is an assembled perspective view of a plate member constituting a general ink jet printing head,

도 5는 본 발명에 따른 잉크제트 프린트헤드의 레이저 식각장치를 보인 사시도이고,5 is a perspective view showing a laser etching apparatus of the ink jet printhead according to the present invention;

도 6은 본 발명에 따른 레이저식각장치의 구성 블럭도이고,6 is a block diagram of a laser etching apparatus according to the present invention;

도 7은 본 발명에 따른 레이저식각장치로 잉크제트 프린트헤드를 식각하는 공정 흐름을 보인 도면이다.7 is a view illustrating a process flow of etching an inkjet printhead with a laser etching apparatus according to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

7 : 헤드부 26 : 헤드7: head portion 26: head

40 : 판부재 50 : 제1판부재40: plate member 50: first plate member

52 : 잉크공급구멍 54 : 제1저장챔버52 ink supply hole 54 first storage chamber

58 : 제1공급챔버 60 : 중심판부재58: first supply chamber 60: center plate member

64 : 중심구멍 70 : 제2판부재64 center hole 70 second plate member

72 : 제2저장챔버 76 : 제2공급챔버 72: second storage chamber 76: second supply chamber

80 : 레이저발생부 82 : 레이저조사부재80: laser generating unit 82: laser irradiation member

90 : 레이저분배수단 92 : 케이스부재90: laser distribution means 92: case member

100 : 판고정테이블부재 110 : 테이블구동수단100: plate fixing table member 110: table driving means

120 : 제어부 130 : 키입력부120: control unit 130: key input unit

140 : 전원공급부 150 : 표시부140: power supply unit 150: display unit

본 발명은 디지털 프린팅 머신의 잉크제트 프린트헤드에 관한 것으로, 특히, 레이저발생부에서 조사된 레이저를 레이저분배수단에서 다수의 가닥으로 분배하여 다수의 판부재에 조사함과 동시에 제어부에 의하여 제어되는 테이블구동수단으로 판고정테이블을 원하는 방향으로 작동하여 판부재에 필요한 챔버, 유로 및 구멍등을 정확하고 균일한 깊이, 폭 및 너비로 식각을 수행하도록 하는 잉크제트 프린트헤드의 레이저식각장치 및 그를 이용한 헤드제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to an inkjet printhead of a digital printing machine, and more particularly, a table controlled by a control unit while simultaneously distributing a laser beam emitted from a laser generating unit into a plurality of strands by a laser distribution means and irradiating a plurality of plate members. Laser etching device of ink jet print head and head using the plate fixing table by driving means to etch chamber, flow path and hole necessary for plate member with precise and uniform depth, width and width It relates to a manufacturing method.

일반적으로 디지털 프린팅 머신(Digital Printing Machine)은 디지털 제어 부에서 원하는 출력신호를 디지털화하여 잉크를 분사하는 헤드(Head)에 자주(마젠타,M), 노랑(엘로우,Y), 청록(시안,C)이라는 삼원색을 공급하여 색을 프린팅용지(메시아)에 덧칠하여 여러 가지 색상을 창출하는 감산혼합기법을 이용하여 사용자가 원하는 도안을 그려내도록 하는 최신의 프린팅장치이다. In general, a digital printing machine is frequently (magenta, M), yellow (yellow, Y), cyan (cyan, C) on a head for ejecting ink by digitizing a desired output signal from a digital control unit. It is a modern printing device that draws a pattern desired by a user by using a subtractive mixing technique that supplies three primary colors, and colors the printing paper (messia) to create various colors.

상기한 감산혼합기법을 사용하기 위해서는 각각의 색상을 갖는 잉크가 개별적으로 수용되어 각각의 색상을 주사하는 헤드로 공급되어 각각의 헤드에서 주사되는 색상의 잉크가 덧칠해짐으로써 새로운 색이 시현된다.In order to use the above-described subtractive mixing technique, ink having each color is individually received and supplied to a head for scanning each color, so that ink of the color scanned from each head is overlaid so that a new color is exhibited.

도 1은 종래 디지털 프린팅 머신의 요부 사시도로서, 이를 참조하여 종래 디지털 프린팅 머신의 일반적인 구조를 간략하게 살펴보도록 한다.1 is a perspective view illustrating main parts of a conventional digital printing machine, and a brief description will be made of a general structure of a conventional digital printing machine with reference to the drawing.

종래 디지털 프린팅 머신은 바닥면에 접촉된 양측 레그(1)에 의하여 지지되는 베이스(3) 상부에 레일형상의 이송대(5)를 설치하고, 상기 이송대(5)에는 헤드부(7)를 일측에 고정시킨 카트리지(9)가 이송 가능하게 결합되어 있다.In the conventional digital printing machine, a rail-shaped transfer table 5 is installed on an upper portion of the base 3 supported by both legs 1 contacting the bottom surface, and the head portion 7 is attached to the transfer table 5. The cartridge 9 fixed to one side is coupled to be transportable.

상기 카트리지(9)는 이송대(5)의 좌우 양끝단부에 구비된 안내롤러(10a) (10b)에 끼워져 모터(11)의 구동에 의해 좌우로 이동하는 캐리지 벨트(20)에 결합되어 좌우로 이송될 수 있도록 이루어진다.The cartridge 9 is coupled to the carriage belt 20 which is fitted to the guide rollers 10a and 10b provided at the left and right ends of the conveying table 5 and moves from side to side by driving of the motor 11. It is made to be transported.

그리고, 상기 베이스(3)의 상면으로는 디지털 프린팅 머신의 배면에 설치된 급지롤러(미도시)로 부터 프린팅용지인 메디아(Media)가 공급되는 바, 상기 메디아의 상면에서 캐리지 벨트(20)의 이동에 의해 카트리지(9)가 좌우왕복 이송하게 되면, 이와 연동하여 헤드부(7)에서 소정 색상의 잉크가 주사되어 인쇄작업이 이루어지게 되고, 상기 급지롤러의 반대측에 감이롤러(12)에 인쇄된 메디아가 감겨지게 된다.In addition, a media, which is printing paper, is supplied from a paper feed roller (not shown) installed on the rear surface of the digital printing machine to the upper surface of the base 3, and the carriage belt 20 moves from the upper surface of the media. When the cartridge 9 is reciprocated to the left and right, the ink of the predetermined color is scanned from the head portion 7 in association with this, and a printing operation is performed, and the printing is carried out on the wind roller 12 on the opposite side of the paper feed roller. The media will be rolled up.

상기 메디아는 당업계에서 공지된 용어로서, 종이나 천 등에 상기 헤드부(7)에 의해 분사되는 잉크가 출력되기 위한 대상물을 가리킨다.The media is a term known in the art, and refers to an object for outputting the ink ejected by the head portion 7 to paper or cloth.

상기 베이스(3)의 일측 상부에는 커버(15)에 의하여 덮여지는 작동패널(16)이 형성되어져 있어서 사용자가 원하는 신호를 입력하여 메디아를 원하는 상태로 프린팅할 수 있게 된다.An operating panel 16 covered by the cover 15 is formed on one side of the base 3 so that the user can input a desired signal to print the media in a desired state.

또한, 상기 레그(1)의 일측에는 복수개의 메인잉크통(18)이 잉크케이스(14)에 보관된 상태로 설치되고, 상기 카트리지(9)의 헤드부(7) 반대측에는 보조잉크통(17)이 설치되어져서 상기 메인잉크통(18)으로 부터 잉크를 공급받아 헤드부(7)에 잉크를 공급하게 된다.In addition, a plurality of main ink bottles 18 are installed on one side of the leg 1 in a state of being stored in the ink case 14, and an auxiliary ink bottle 17 is provided on the opposite side of the head portion 7 of the cartridge 9. It is installed to receive the ink from the main ink container 18 to supply the ink to the head (7).

상기 헤드부(7)의 구조는 도 2에 도시된 바와 같이, 하부케이스(22)와 상부케이스(24)에 의하여 외관을 이루며, 상기 상부케이스의 일부분이 절개되어 배선의 통로가 되는 배선홀(25)이 형성되어 있다.As shown in FIG. 2, the structure of the head part 7 is formed by the lower case 22 and the upper case 24, and a part of the upper case is cut off to form a wiring hole that becomes a passage for wiring. 25) is formed.

상기 하부케이스(22)에는 서로 다른 색상의 잉크를 분사하는 잉크제트 프린트헤드(26)가 일정간격을 가지며 대각선 방향으로 헤드베이스(28)에 고정된다.The lower case 22 has an ink jet print head 26 for ejecting ink of different colors and is fixed to the head base 28 in a diagonal direction.

상기 잉크제트 프린트헤드(26)는 상측에 잉크공급선(30)이 연결되어 외측 탱크에 저장된 잉크를 상기 잉크제트 프린트헤드(26)에 공급하게 되며, 상기 잉크제트 프린트헤드(26) 하측에는 분사구(32)가 설치되어 잉크를 상기 헤드부(7) 하측으로 분사하게 된다.The ink jet print head 26 is connected to an ink supply line 30 at an upper side thereof to supply ink stored in an outer tank to the ink jet print head 26, and an injection hole at a lower side of the ink jet print head 26. 32) is installed to eject the ink to the lower portion of the head (7).

상기 헤드부(7)는 이송대(5)를 따라 좌우 이동하며 상기 각 잉크제트 프린트 헤드(26)를 통하여 분사된 잉크가 상기 메디아에 분사되어 원하는 출력물을 얻게 된다.The head portion 7 moves left and right along the conveyer 5 and the ink ejected through each ink jet print head 26 is sprayed onto the media to obtain a desired output.

한편, 미국특허등록 제 5,592,203호에 잉크제트 프린트헤드(26)에서 잉크를 메디아에 직접 분사하는 판부재(40)에 관한 구성을 청구하였으며, 이 판부재(Plate Element)는, 글라스(Glass)와 같은 세라믹재질로 이루어지며, 표면이 식각되어져 잉크를 공급하는 제1판부재(50), 중심판부재(60) 및 제2판부재(70)가 서로 접착제등으로 접합되어져서 구성 된다.On the other hand, US Patent No. 5,592,203 has been claimed for the configuration of the plate member 40 for injecting ink directly to the media from the inkjet printhead 26, the plate element (Glass) and The first plate member 50, the center plate member 60, and the second plate member 70, which are made of the same ceramic material and are etched to supply ink, are bonded to each other with an adhesive or the like.

상기 제1판부재(50)는, 잉크가 주입되도록 관통되는 잉크공급구멍(52)를 형성하고, 잉크가 일시적으로 흡입되어 저장되는 제1저장챔버(54)와, 잉크가 이동하는 제1유로(56)와, 상기 제1유로(56)로 이동한 잉크가 공급되기 전에 일시적으로 모여지는 제1공급챔버(58)를 일측면에 함몰 형성한다.The first plate member 50 forms an ink supply hole 52 through which ink is injected, a first storage chamber 54 through which ink is temporarily sucked and stored, and a first flow path through which ink moves. And a first supply chamber 58 temporarily gathered before supplying the ink moved to the first flow passage 56 on one side.

그리고, 상기 중심판부재(60)는, 상기 제1판부재(50)의 일측면에 본드에 의하여 접착되어지고, 상기 제1판부재(50)의 잉크공급구멍(52)으로 공급되는 잉크를 반대측으로 이동시키는 잉크통과구멍(62)과, 상기 제1판부재(50)의 제1공급챔버(58)에 저장되는 잉크가 이동하는 중심구멍(64)을 관통 형성하고, 상기 중심구멍(64)의 잉크를 메디아 직접 분사하는 노즐홈부(64)를 일측면에 함몰 형성한다.The center plate member 60 is bonded to one side of the first plate member 50 by a bond and supplies ink supplied to the ink supply hole 52 of the first plate member 50. An ink through hole 62 which moves to the opposite side, and a center hole 64 through which ink stored in the first supply chamber 58 of the first plate member 50 moves; The nozzle groove 64 for directly spraying the media of ink) is recessed on one side.

그리고, 상기 제2판부재(70)는, 상기 중심판부재(60)의 반대측에 접착되어지고 상기 중심판부재(60)의 잉크통과구멍(62)으로 통과된 잉크가 일시적으로 흡입되어 저장되는 제2저장챔버(72)와, 잉크가 이동하는 제2유로(74)와, 상기 제2유로(74)로 이동한 잉크가 공급되기 전에 일시적으로 모여지는 제2공급챔버(76)를 일측면에 함몰 형성한다.In addition, the second plate member 70 is bonded to the opposite side of the center plate member 60 and the ink passed through the ink through hole 62 of the center plate member 60 is temporarily sucked in and stored. One side of the second storage chamber 72, the second flow path 74 through which ink moves, and the second supply chamber 76 temporarily gathered before the ink moved to the second flow path 74 is supplied. To form a depression.

이와 같이, 상기 판부재(40)의 구성요소인 제1판부재(50), 중심판부재(60) 및 제2판부재(70)에 일정 깊이, 폭 및 너비를 갖는 여러 가지 홈부를 산으로 이루어진 식각용액을 이용하여 식각하여 형성한후, 접착제를 이용하여 접착하여 구성하게 된다.As such, various grooves having a predetermined depth, width, and width in the first plate member 50, the center plate member 60, and the second plate member 70, which are components of the plate member 40, are picked up. After forming by etching using the etching solution made, it is configured to adhere using an adhesive.

그런데, 상기한 바와 같이, 상기 판부재(40)의 구성요소인 제1판부재(50), 중심판부재(60) 및 제2판부재(70)의 여러 홈부를 형성하기 위하여서는 정확한 깊이, 폭 및 너비를 mm단위 혹은 ㎛단위로 정밀하고 균일하게 식각공정을 진행하여야 하지만 식각용액의 산성도와 판부재(40)의 재질의 균일성이 보장되지 않으므로 정밀하지 못한 식각이 종종 이루어지고 그로 인하여 잉크제트 프린트헤드의 잉크공급에 불량을 초래하는 문제점을 지닌다.However, as described above, in order to form various grooves of the first plate member 50, the center plate member 60, and the second plate member 70, which are the components of the plate member 40, The width and width must be precisely and uniformly etched in mm or μm. However, since the acidity of the etching solution and the uniformity of the material of the plate member 40 are not ensured, inaccurate etching is often performed, resulting in ink There is a problem that causes a poor ink supply of the jet printhead.

즉, 상기 판부재(40)에 형성되는 제1,제2저장챔버(54)(72), 제1,제2공급챔버(58)(76) 및 제1,제2유로(56)(74)를 이동하는 잉크용액이 정밀한지 못한 식각부위로 인하여 마찰이 저항이 커서 정밀한 이동이 이루어지지 못할 뿐만아니라 중심판재(60)의 중심구멍(64)을 거쳐 노즐홈부(66)로 분사되는 잉크의 분사가 정확한 방향과 분사범위를 유지하지 못하는 문제점을 지닌다That is, the first and second storage chambers 54 and 72, the first and second supply chambers 58 and 76, and the first and second flow paths 56 and 74 formed in the plate member 40. Because of the high resistance to the etching solution that moves the ink solution), the friction cannot be precisely moved, and the ink sprayed through the center hole 64 of the center plate 60 to the nozzle groove 66 is prevented. The problem is that spraying does not maintain the correct direction and spraying range

본 발명은, 상기한 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로서, 잉크제트 프린 트헤드에서 잉크를 분사하는 판부재를 판고정테이블에 다수 안치하고, 레이저발생부에서 조사된 레이저를 레이저분배수단에서 다수의 가닥으로 분배하여 다수의 판부재에 조사함과 동시에 제어부에 의하여 제어되는 테이블구동수단으로 판고정테이블을 원하는 방향으로 작동하여 판부재에 필요한 챔버, 유로 및 구멍등을 정확하고 균일한 깊이, 폭 및 너비로 식각을 수행하는 것이 목적이다.
The present invention has been made to solve the above problems, a number of plate members for ejecting ink from the ink jet print head is placed in the plate fixing table, and a plurality of lasers irradiated from the laser generating unit in the laser distribution means The plate driving means controlled by the control unit while distributing it into strands and irradiating a plurality of plate members simultaneously operates the plate fixing table in a desired direction to precisely and uniformly control the chamber, flow path and holes required for the plate members. The purpose is to perform etching by width.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 잉크제트 프린트헤드의 레이저식각장치는, 잉크를 공급하는 제1판부재, 중심판부재 및 제2판부재가 서로 접착제에 의해 접합되어져 이루어진 판부재를 구비한 잉크제트 프린터헤드에 있어서, 가공전의 판부재를 안치하여 위치를 고정하도록 하는 판고정 테이블부재와; 상기 판고정 테이블부재에 안치된 판부재의 표면에 레이저조사부재에서 조사된 레이저를 분배 및 투과하고 집적하여 식각부위를 형성하는 레이저발생부와; 상기 판고정 테이블부재에 인접하게 설치되어져서 안치된 상기 판부재의 표면에 원하는 깊이, 폭 및 너비를 갖는 식각부위를 식각하기 위하여 X축, Y축, Z축방향으로 선택적으로 동작하도록 하는 테이블구동수단과; 상기 레이저발생부에서 레이저를 조사함과 동시에 테이블구동수단의 구동을 제어하도록 하는 제어부로 이루어진다.The laser etching apparatus of the ink jet printhead according to the present invention for achieving the above object comprises a plate member formed by bonding a first plate member, a center plate member and a second plate member for supplying ink to each other by an adhesive. An ink jet printer head, comprising: a plate fixing table member for placing a plate member before processing to fix a position; A laser generator for distributing, transmitting, and integrating a laser beam irradiated from a laser irradiation member on a surface of the plate member placed in the plate fixing table member to form an etching portion; Table drive to be installed adjacent to the plate fixing table member to selectively operate in the X-axis, Y-axis, Z-axis direction to etch the etching portion having the desired depth, width and width on the surface of the plate member placed Means; And a control unit for controlling the driving of the table driving means while irradiating the laser from the laser generation unit.

그리고, 상기 레이저발생부의 레이저조사부재에서 조사된 레이저를 다수의 레이저분배판에서 반사 및 투과에 의해 레이저를 다수의 가닥으로 분배하고, 상기 판고정 테이블부재에 안치되는 다수 개의 판부재를 동시에 가공하도록 포커싱렌즈 로 레이저를 집적하는 레이저분배수단을 구비하도록 한다.Then, the laser is irradiated from the laser irradiation member of the laser generating unit to distribute the laser to a plurality of strands by reflection and transmission in a plurality of laser distribution plate, and to simultaneously process a plurality of plate members placed on the plate fixing table member Laser distribution means for integrating the laser into the focusing lens.

그리고, 상기 레이저분배판은, 상기 조사된 레이저를 반사 및 투과하는 빔 스플리터(Beam Splliter)인 것이 바람직 하다.The laser distribution plate is preferably a beam splitter that reflects and transmits the irradiated laser beam.

그리고, 상기 레이저분배판과 상기 포커싱렌즈 사이에는, 상기 판부재에 조사되는 레이저가 식각부위의 깊이가 다른 경사진 부분을 정밀하게 식각하도록 하는 중성필터를 더 구비하는 것이 바람직하다.Further, it is preferable that a neutral filter is further provided between the laser distribution plate and the focusing lens to precisely etch the inclined portion having different depths of the etched portion of the laser beam.

또한, 상기 제어부에 접속되는 키입력부를 구비하여, 상기 판고정 테이블부재에 안치된 판부재를 식각하기 위한 제어신호를 입력하도록 한다.In addition, a key input unit connected to the control unit is provided to input a control signal for etching the plate member placed in the plate fixing table member.

그리고, 상기 제어부에 접속되는 표시부를 구비하여, 상기 테이블구동수단의 동작상태와, 상기 레이저발생부의 레이저조사상태와, 상기 키입력부의 신호입력상태와, 전원공급부의 전원입력상태를 표시하는 것이 바람직하다.And a display portion connected to the control portion to display an operation state of the table driving means, a laser irradiation state of the laser generation portion, a signal input state of the key input portion, and a power input state of the power supply portion. Do.

상기 레이저분배수단인 레이저분배판에서 반사된 레이저의 세기를 감지하는 파워감지부를 구비하여 제어부에서 레이저조사부재에서 조사되는 레이저의 파워를 제어하는 것이 바람직하다.It is preferable to include a power detection unit for detecting the intensity of the laser reflected from the laser distribution plate as the laser distribution means to control the power of the laser irradiated from the laser irradiation member in the control unit.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 레이저식각장치를 이용한 잉크제트 프린트헤드 제조방법은, 가공전의 판부재를 판고정 테이블부재에 안치하여 위치를 고정하도록 하는 단계와; 상기 단계 후에 키입력부에서 판부재의 식각부위에 대한 깊이, 폭 및 너비등의 정보를 제어부에 입력하는 단계와; 상기 단계 후에 제어부의 제어신호에 따라 레이저발생부의 레이조사부재에서 레이저를 조사하도록 하는 단계와; 상기 단계 후에 조사된 레이저를 레이저분배수단 내에 설치된 다수의 레이 저분배판에서 다수 가닥의 레이저로 분배하는 단계와; 상기 단계 후에 제어부에 입력된 정보를 따라서 판고정 테이블부재에 설치된 테이블구동수단을 X축,Y축,Z축방향으로 동작하여 다수의 판부재에 다수 가닥으로 분배된 레이저를 포커싱렌즈로 집적하여 식각부위를 형성하는 단계로 이루어진다.In order to achieve the above object, the inkjet printhead manufacturing method using the laser etching apparatus of the present invention includes the steps of placing a plate member before processing on a plate fixing table member to fix a position; Inputting information, such as depth, width, and width, of the etched portion of the plate member, into the controller by the key input unit after the step; Irradiating a laser beam from the ray irradiation member of the laser generation unit after the step; Distributing the irradiated laser after the step into a plurality of strands of lasers in a plurality of laser distribution plates installed in the laser distribution means; After the above step, the table driving means installed in the plate fixing table member is operated in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions according to the information input to the control unit to integrate lasers distributed in multiple strands on a plurality of plate members by focusing lenses. Forming a site.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 5는 본 발명에 따른 잉크제트 프린트헤드의 레이저 식각장치를 보인 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 레이저식각장치의 구성 블록도이고, 도 7은 본 발명에 따른 레이저식각장치로 잉크제트 프린트헤드를 식각하는 공정을 보인 도면이다.5 is a perspective view showing a laser etching apparatus of the ink jet printhead according to the present invention, FIG. 6 is a block diagram of a laser etching apparatus according to the present invention, and FIG. 7 is an inkjet print using the laser etching apparatus according to the present invention. A diagram showing a process of etching a head.

본 발명의 구성은, 글라스(Glass)와 같은 세라믹재질이고, 표면이 식각되어져 잉크를 공급하는 제1판부재(50), 중심판부재(60) 및 제2판부재(70)가 서로 접착제에 의해 접합되어져 이루어진 판부재(40)를 구비한 잉크제트 프린터헤드(26)에 있어서, 가공전의 판부재(40)를 안치하여 위치를 고정하도록 하는 판고정 테이블부재(100)와; 상기 판고정 테이블부재(100)에 안치된 판부재(40)의 표면에 레이저조사부재(82)에서 조사된 레이저(84)(96)를 분배 및 반사하고 집적하여 식각부위(42)를 형성하는 레이저발생부(80)와; 상기 판고정 테이블부재(100)에 인접하여 설치되어져서 안치된 상기 판부재(40)의 표면에 원하는 깊이, 폭 및 너비를 갖는 식각부위(42)를 식각하기 위하여 X축,Y축,Z축방향으로 동작하도록 하는 테이블구동수단(110)과; 상기 레이저발생부(80)에서 레이저(84)(96)를 조사함과 동시에 테이블구동수단(110)을 구동을 제어하도록 하는 제어부(120)로 구성된다.According to the present invention, the first plate member 50, the center plate member 60, and the second plate member 70, which are made of a ceramic material such as glass and whose surface is etched to supply ink, are bonded to each other. An ink jet printer head (26) having a plate member (40) formed by being joined to each other, comprising: a plate fixing table member (100) for placing a plate member (40) before processing to fix a position; Distributing, reflecting and integrating the lasers 84, 96 irradiated from the laser irradiation member 82 on the surface of the plate member 40 placed on the plate fixing table member 100 to form an etching portion 42 A laser generator 80; X-axis, Y-axis, Z-axis to etch the etching portion 42 having a desired depth, width and width on the surface of the plate member 40 is installed adjacent to the plate fixing table member 100 Table driving means 110 to operate in the direction; The laser generating unit 80 is irradiated with the laser 84, 96 and at the same time the control unit 120 to control the driving of the table driving means 110.

그리고, 상기 레이저발생부(80)의 레이저조사부재(82)에서 조사된 레이저(84)를 다수의 레이저분배판(94)에서 반사 및 투과에 의해 레이저(96)를 다수의 가닥으로 분배하여 상기 판고정 테이블부재(100)에 안치되는 다수 개의 판부재(40)에 동시에 포커싱렌즈(98)로 집적하여 가공하도록 하는 레이저분배수단(90)을 더 구비하도록 한다.In addition, the laser 84 irradiated from the laser irradiation member 82 of the laser generator 80 distributes the laser 96 into a plurality of strands by reflection and transmission on the plurality of laser distribution plates 94. It is to be further provided with a laser distribution means 90 to be integrated into the plurality of plate members 40, which are settled in the plate fixing table member 100 to the focusing lens 98 to process.

그리고, 상기 레이저분배수단(90)은, 입사된 레이저를 특정 세기(Intensity)비율로 나누어 각각 다른 경로로 보내는 빔 스플리터(Beam Splliter)라는 장치를 사용하도록 한다.In addition, the laser distribution means 90 uses a device called a beam splitter, which splits the incident laser into specific intensity ratios and sends them to different paths.

상기 빔스플리터의 반사 및 투과 비율은, 필요에 따라 적절하게 조절하는 것이 가능하지만, 50:50으로 하는 것이 가장 바람직 하다.Although the reflection and transmission ratio of the beam splitter can be appropriately adjusted as necessary, it is most preferable to set it as 50:50.

그리고, 상기 레이저분배판(94)과 상기 포커싱렌즈(98) 사이에는, 상기 판부재(40)에 조사되는 레이저(96)가 식각부위(42)의 깊이가 다른 경사진 부분을 정밀하게 식각하도록 하는 중성필터(97)(Neutral Density Filter;ND Filter)를 더 구비하도록 한다.In addition, between the laser distribution plate 94 and the focusing lens 98, the laser 96 irradiated to the plate member 40 precisely etches inclined portions having different depths of the etching portion 42. A neutral filter (Neutral Density Filter; ND Filter) is further provided.

그리고, 상기 레이저분배판(94)은, 입사되는 레이저(84)를 반투과시키는 다수의 빔스플리터를 적절한 위치에 설치하여 투과되는 레이저(96)를 다수의 가닥으로 분배하도록 한다.In addition, the laser distribution plate 94 installs a plurality of beam splitters that transflect the incident laser 84 at an appropriate position to distribute the transmitted laser 96 into a plurality of strands.

그리고, 상기 제어부(120)에 접속되는 키입력부(130)를 구비하여, 상기 판고정 테이블부재(100)에 안치된 판부재(40)를 식각하기 위한 제어신호를 입력하도록 한다.In addition, a key input unit 130 connected to the control unit 120 is provided to input a control signal for etching the plate member 40 placed in the plate fixing table member 100.

또한, 상기 제어부(120)에 접속되는 표시부(150)를 구비하여, 상기 테이블구동수단(110)의 동작상태와, 상기 레이저발생부(80)의 레이저조사상태와, 상기 키입력부(130)의 신호입력상태와, 전원공급부(140)의 전원입력상태를 표시하도록 한다.In addition, the display unit 150 is connected to the control unit 120, the operating state of the table driving means 110, the laser irradiation state of the laser generating unit 80, and the key input unit 130 The signal input state and the power input state of the power supply unit 140 are displayed.

그리고, 상기 레이저분배수단(90)인 레이저분배판(94)에서 반사된 레이저의 세기를 감지하는 파워감지부(160)를 구비하여 제어부(120)에서 레이저조사부재(82)에서 조사되는 레이저의 파워를 제어하도록 한다.Then, the power distribution unit 160 for detecting the intensity of the laser reflected from the laser distribution plate 94, the laser distribution means 90 of the laser irradiation from the laser irradiation member 82 in the control unit 120 Control the power.

그리고, 상기 테이블구동수단(110)은, 모터 혹은 실린더등을 이용하여 X축, Y축, Z축방향으로 선택적으로 이동하도록 하는 통상적으로 알려진 구동장치를 적용하도록 한다.The table driving means 110 applies a conventionally known driving device to selectively move in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions using a motor or a cylinder.

이하, 본 발명에 따른 레이저식각장치를 이용하여 잉크제트 프린트헤드를 제조하는 방법을 상세하게 살펴 보도록 한다.Hereinafter, a method of manufacturing an inkjet printhead using a laser etching apparatus according to the present invention will be described in detail.

도 5와 도 7에 도시된 바와 같이, 식각이 이루어지지 않은 다수의 판부재(40)를 판고정 테이블부재(100)에 안치하여 위치를 고정하도록 한다.(S10)5 and 7, a plurality of plate members 40 not etched is placed in the plate fixing table member 100 to fix the position. (S10)

이 때, 상기 판부재(40)는, 제1판부재(50), 중심판부재(60)와 제2판부재(70)로 이루어진 것으로서, 제1판부재(50)를 레이저로 식각가공하는 경우에는 제1판부재(50)만을 안치하도록 하고, 중심판부재(60)는 중심판부재(60)들 끼리 안치하고, 제2판부재(70)는 제2판부재(70) 끼리 안치하도록 한다.At this time, the plate member 40, which consists of the first plate member 50, the center plate member 60 and the second plate member 70, the first plate member 50 by laser etching In this case, only the first plate member 50 is settled, the center plate member 60 is placed between the center plate members 60, and the second plate member 70 is placed between the second plate members 70. do.

즉, 상기 테이블구동수단(110)이 동일한 궤적으로 동작하여 식각이 이루어지므로 서로 다른 판부재(40)가 안치되는 경우, 식각부위(42)가 다르게 형성되어져서 사용하지 못하기 때문이다.That is, since the table driving means 110 is operated by the same trajectory and the etching is performed, when the different plate members 40 are placed, the etching portions 42 are formed differently and thus cannot be used.

이 때, 상기 판부재(40)의 위치고정은, 판고정테이블부재(100)내에 진공장치(Vacuum Device)를 구비하여 진공 압력으로 저면에서 흡착하여 고정하거나 그립퍼(Gripper)를 사용하여 측면에서 가압하여 고정하도록 구성할 수 있다.At this time, the position fixing of the plate member 40 is provided with a vacuum device (Vacuum Device) in the plate fixing table member 100 by suction at the bottom by a vacuum pressure fixed or pressurized from the side using a gripper (Gripper) Can be configured to be fixed.

그리고, 상기 단계 후에 키입력부(130)에서 판부재(40)의 식각부위(42)에 대한 깊이, 폭 및 너비등의 정보를 제어부(120)에 입력하도록 한다.(S20)In addition, after the step, the key input unit 130 inputs information such as depth, width, and width of the etching portion 42 of the plate member 40 to the controller 120. (S20)

그리고, 상기 단계 후에 제어부(120)의 제어신호에 따라 레이저발생부(80)의 레이저조사부재(82)에서 레이저(84)를 조사하도록 한다.(S30)Then, after the step, according to the control signal of the control unit 120 to irradiate the laser 84 from the laser irradiation member 82 of the laser generating unit 80. (S30)

그리고, 상기 단계 후에 조사된 레이저(84)를 빔 스플리터와 같은 레이저분배수단(90) 내에 설치된 다수의 레이저분배판(94)에서 다수 가닥의 레이저(96)로 분배하도록 한다.Then, the laser 84 irradiated after the above step is distributed from the plurality of laser distribution plates 94 installed in the laser distribution means 90 such as the beam splitter to the plurality of strands of the laser 96.

예를 들어서, 상기 레이저발생부(80)에서 발생되는 레이저(84)의 출력이 30W라 하고, 한 개의 판부재(40)의 식각부위(40)를 가공하는 레이저(96)의 출력이 1W라고 한다면, 레이저분배수단(94)인 레이저분배판(94)에서 분배되는 레이저(96)는 30가닥이 되므로 판고정 테이블부재(100)에서 식각할 수 있는 판부재(40)의 개수(1W×30개=30W)는 모두 30개가 된다. 상기 식각되는 판부재(40)의 개수는 레이저발생부(80)에서 발생되는 레이저(84)의 출력에 따라 적절하게 조절하도록 한다,For example, the output of the laser 84 generated by the laser generating unit 80 is 30W, the output of the laser 96 for processing the etching portion 40 of one plate member 40 is 1W. If so, since the laser 96 distributed from the laser distribution plate 94, which is the laser distribution means 94, becomes 30 strands, the number of plate members 40 that can be etched by the plate fixing table member 100 (1 W x 30). Dog = 30W) is a total of 30. The number of the plate member 40 to be etched is appropriately adjusted according to the output of the laser 84 generated from the laser generating unit 80,

상기 레이저분배판(94)에 반사되는 레이저 중에 하나의 가닥을 파워감지부(160)에서 감지하여 제어부(120)에서 레이저발생부(80)에서 발생되는 레이저의 세기를 제어하도록 한다.One of the strands of the laser reflected by the laser distribution plate 94 is detected by the power detecting unit 160 to control the intensity of the laser generated by the laser generating unit 80 in the control unit 120.

상기 레이저분배판(94)을 투과한 레이저는 중성필터(97)를 통과하는 것으로서, 상기 판부재(40)의 식각부위(42)에서 챔버와 유로(노즐)등과 같이 깊이가 서로 다른 부위를 식각할 때, 정밀하게 가공하기 위하여 사용되어진다.The laser beam penetrating the laser distribution plate 94 passes through the neutral filter 97 and etches portions having different depths, such as chambers and flow paths (nozzles), from the etching portions 42 of the plate member 40. When used, it is used for precise processing.

그리고, 상기 단계 후에 제어부(120)에 입력된 정보를 따라서 판고정 테이블부재(100)에 설치된 테이블구동수단(110)을 X축, Y축, Z축방향으로 선택적으로 동작하여 다수의 판부재(40)에 다수 가닥으로 분배된 레이저(96)를 포커싱렌즈(98)로 집적하여 식각부위(42)를 형성하도록 한다.In addition, after the step, the table driving means 110 installed in the plate fixing table member 100 is selectively operated in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions according to the information input to the controller 120, thereby providing a plurality of plate members ( The laser 96 distributed in multiple strands 40 is integrated into the focusing lens 98 to form an etching portion 42.

따라서, 상기한 바와 같이, 본 발명의 잉크제트 프린트헤드의 레이저식각장치를 이용하여 헤드를 제조하면, 잉크제트 프린트헤드에서 잉크를 분사하는 판부재를 판고정테이블에 다수 안치하고, 레이저발생부에서 조사된 레이저를 레이저분배수단에서 다수의 가닥으로 분배하여 다수의 판부재에 조사함과 동시에 제어부에 의하여 제어되는 테이블구동수단으로 판고정테이블을 원하는 방향으로 작동하여 판부재에 필요한 챔버, 유로 및 구멍등을 정확하고 균일한 깊이, 폭 및 너비로 식각을 수행하도록 하는 매우 유용하고 효과적인 발명이다.Therefore, as described above, when the head is manufactured using the laser etching apparatus of the ink jet print head of the present invention, a large number of plate members for ejecting ink from the ink jet print head are placed in the plate fixing table, The irradiated laser is distributed to the plurality of strands by the laser distribution means to irradiate a plurality of plate members, and at the same time, the table fixing means controlled by the control unit operates the plate fixing table in a desired direction, thereby requiring chambers, flow paths, and holes. It is a very useful and effective invention that allows etching etc. to be carried out with precise and uniform depth, width and width.

Claims (8)

가공전의 판부재를 안치하여 위치를 고정하도록 하는 판고정 테이블부재와; 상기 판고정 테이블부재에 안치된 판부재의 표면에 레이저조사부재에서 조사된 레이저를 분배 및 투과하고 집적하여 식각부위를 형성하는 레이저발생부와; 상기 판고정 테이블부재에 인접하게 설치되어져서 안치된 상기 판부재의 표면에 원하는 깊이, 폭 및 너비를 갖는 식각부위를 식각하기 위하여 X축, Y축, Z축방향으로 선택적으로 동작하도록 하는 테이블구동수단과; 상기 레이저발생부에서 레이저를 조사함과 동시에 테이블구동수단의 구동을 제어하도록 하는 제어부를 이용하여 제조된 잉크를 공급하는 제1판부재, 중심판부재 및 제2판부재가 서로 접착제에 의해 접합되어진 판부재로 이루어진 잉크제트 프린터헤드에 있어서,A plate fixing table member for fixing the position by placing the plate member before processing; A laser generator for distributing, transmitting, and integrating a laser beam irradiated from a laser irradiation member on a surface of the plate member placed in the plate fixing table member to form an etching portion; Table drive to be installed adjacent to the plate fixing table member to selectively operate in the X-axis, Y-axis, Z-axis direction to etch the etching portion having the desired depth, width and width on the surface of the plate member placed Means; The first plate member, the center plate member, and the second plate member for supplying the ink manufactured by using the control unit for controlling the driving of the table driving means while irradiating the laser from the laser generating unit are bonded to each other by an adhesive agent. An ink jet print head comprising a plate member, 상기 레이저발생부의 레이저조사부재에서 조사된 레이저를 다수의 레이저분배판에서 반사 및 투과에 의해 레이저를 다수의 가닥으로 분배하고, 상기 판고정 테이블부재에 안치되는 다수 개의 판부재를 동시에 가공하도록 포커싱렌즈로 레이저를 집적하는 레이저분배수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 레이저식각장치.Focusing lens to distribute the laser irradiated from the laser irradiation member of the laser generating unit into a plurality of strands by reflection and transmission in a plurality of laser distribution plate, and simultaneously processing a plurality of plate members placed on the plate fixing table member And a laser distribution means for integrating the laser into the laserjet printhead of the ink jet printhead. 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 레이저분배판은, 상기 조사된 레이저를 반사 및 투과하는 빔 스플리터(Beam Splitter)인 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 레이저식각장치.The laser etching apparatus of claim 1, wherein the laser splitter is a beam splitter for reflecting and transmitting the irradiated laser. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 레이저분배판과 상기 포커싱렌즈 사이에는, 상기 판부재에 조사되는 레이저가 식각부위의 깊이가 다른 경사진 부분을 정밀하게 식각하도록 하는 중성필터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 레이저식각장치.The neutral filter of claim 1 or 3, further comprising a neutral filter between the laser distribution plate and the focusing lens to precisely etch inclined portions having different depths of etching portions from the laser irradiated to the plate member. Laser etching apparatus of the ink jet printhead, characterized in that. 제 1 항에 있어서, 상기 제어부에 접속되는 키입력부를 구비하여, 상기 판고정 테이블부재에 안치된 판부재를 식각하기 위한 제어신호를 입력하고, 상기 제어부에 접속되는 표시부를 구비하여, 상기 테이블구동수단의 동작상태와, 상기 레이저발생부의 레이저조사상태와, 상기 키입력부의 신호입력상태와, 전원공급부의 전원입력상태를 표시하는 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 레이저식각장치.The table driving apparatus of claim 1, further comprising a key input unit connected to the control unit, a control signal for etching a plate member placed on the plate fixing table member, and a display unit connected to the control unit. And an operation state of the means, a laser irradiation state of the laser generation unit, a signal input state of the key input unit, and a power input state of the power supply unit. 삭제delete 제 1 항에 있어서, 상기 레이저분배수단인 레이저분배판에서 반사된 레이저의 세기를 감지하는 파워감지부를 구비하여 제어부에서 레이저조사부재에서 조사되는 레이저의 파워를 제어하는 것을 특징으로 하는 잉크제트 프린트헤드의 레이저식각장치.The inkjet printhead of claim 1, further comprising a power detector configured to detect the intensity of the laser reflected by the laser distribution plate, the laser distribution means. Laser etching device. 가공전의 판부재를 판고정 테이블부재에 안치하여 위치를 고정하도록 하는 단계와;Placing the plate member before the processing in the plate fixing table member to fix the position; 상기 판부재 위치고정 단계 후에 키입력부에서 판부재의 식각부위에 대한 깊이, 폭 및 너비등의 정보를 제어부에 입력하는 단계와;Inputting information, such as depth, width, and width, of the etched portion of the plate member, into the controller by the key input unit after the plate member position fixing step; 상기 제어부 입력 단계 후에 제어부의 제어신호에 따라 레이저발생부의 레이조사부재에서 레이저를 조사하도록 하는 단계와;Irradiating a laser beam from the ray irradiation member of the laser generation unit according to a control signal of the controller after the inputting of the controller; 상기 레이저 조사 단계 후에 조사된 레이저를 레이저분배수단 내에 설치된 다수의 레이저분배판에서 다수 가닥의 레이저로 분배하는 단계와;Distributing the irradiated laser after the laser irradiation step into a plurality of strands of lasers in a plurality of laser distribution plates installed in the laser distribution means; 상기 레이저 분배 단계 후에 제어부에 입력된 정보를 따라서 판고정 테이블부재에 설치된 테이블구동수단을 X축,Y축,Z축방향으로 동작하여 다수의 판부재에 다수 가닥으로 분배된 레이저를 포커싱렌즈로 집적하여 식각부위를 형성하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저식각장치를 이용한 잉크제트 프린트헤드 제조방법.After the laser dispensing step, the table driving means installed in the plate fixing table member is operated in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions according to the information input to the control unit to integrate the laser distributed in multiple strands into a plurality of plate members into a focusing lens. Inkjet printhead manufacturing method using a laser etching device comprising the step of forming an etching portion by.
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