KR100788994B1 - A particle dispersioner for waste slurry use of supersonic waves - Google Patents

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김성신
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Abstract

An article dispersion apparatus for waste slurry using supersonic waves is provided to disperse waste slurry to be discharged to an outlet by installing a lower vibrator at a lower part of a storage tank. A storage tank(10) includes an inlet(11) formed at an upper side to receive waste slurry, a groove(13) formed at a lower surface, an outlet(12) for discharging dispersed waste slurry, and a level sensor for sensing a level of the stored waste slurry. An ultrasonic generation unit(20) is installed at the storage tank in order to generate ultrasonic waves to the stored waste slurry. The ultrasonic generation unit includes lateral vibrators(21) installed on both sides of the inside of the storage tank, lower vibrators(22) installed at the groove, and oscillators(23) connected to the lateral vibrators and the lower vibrators. A control unit(30) controls the ultrasonic generation unit. Further, the article dispersion apparatus contains an agitator for agitating the waste slurry stored in the storage tank.

Description

초음파를 이용한 폐슬러리용 입자 분산기{A particle dispersioner for waste slurry use of Supersonic waves}A particle dispersioner for waste slurry use of Supersonic waves

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예를 나타낸 초음파를 이용한 폐슬러리용 입자 분산기의 정단면도.1 is a front sectional view of a particle slurry for waste slurry using ultrasonic waves showing a preferred embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예를 나타낸 초음파를 이용한 폐슬러리용 입자 분산기의 측단면도.Figure 2 is a side cross-sectional view of the particle slurry for waste slurry using ultrasonic waves showing a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예를 나타낸 초음파를 이용한 폐슬러리용 입자 분산기의 평단면도.Figure 3 is a cross-sectional plan view of a particle slurry for waste slurry using ultrasonic waves showing a preferred embodiment of the present invention.

[주요부분에 대한 도면의 부호에 대한 설명][Description of Symbols on Drawings for Main Parts]

1 : 입자 분산기1: particle disperser

10 : 저장탱크10: storage tank

11 : 투입구 12 : 배출구11: inlet 12: outlet

20 : 초음파발생장치20: ultrasonic generator

21 : 측면 진동자 22 : 하부 진동자21: side vibrator 22: lower vibrator

23 : 발진기23: oscillator

30 : 제어부 40 : 교반장치30: control unit 40: stirring device

50 : 레벨센서 60 : 온도센서50: level sensor 60: temperature sensor

본 발명은 반도체 웨이퍼 등 각종 웨이퍼 제조공정에서 발생하는 폐슬러리 재생시스템의 교반기와 원심분리기 사이에 설치되어 폐슬러리를 분산시키는 초음파를 이용한 입자 분산기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 교반기에서 교반된 폐슬러리를 공급받아 초음파를 이용하여 연삭재와 절삭분 등을 분산시키되, 초음파발생장치의 진동자를 저장탱크의 측면과 하부면에 설치하여 분산된 폐슬러리가 저장탱크를 빠져나가는 순간까지 초음파장치의 초음파에 의하여 분산되어 배출되도록 형성된 초음파를 이용한 폐슬러리용 입자 분산기에 관한 것이다.The present invention relates to a particle disperser using ultrasonic waves, which is disposed between a stirrer and a centrifuge of a waste slurry recycling system generated in various wafer manufacturing processes such as a semiconductor wafer, to disperse waste slurry, and more particularly, to a waste slurry that is stirred in an agitator. Disperse grinding materials and cutting powder using ultrasonic waves, and install the vibrator of the ultrasonic generator on the side and lower surface of the storage tank until the dispersed waste slurry exits the storage tank. It relates to a particle slurry for waste slurry using ultrasonic waves formed to be dispersed and discharged by.

일반적으로 반도체 웨이퍼 제조공정에 있어서 잉곳(ingot) 형태의 반도체 웨이퍼 소재를 절단장치를 이용하여 절단하는 절단공정에서는 소재의 절단효율을 높이기 위한 연마재(SiC)가 포함된 슬러리가 사용되며, 절단효율을 높이기 위하여 사용되는 상기 슬러리는 주기적으로 교환해주어야 함으로써 폐슬러리가 발생한다. 이러한 상기 폐슬러리는 연마재(탄화규소; SiC)와 절삭분(실리콘; Si), 절삭류(oil) 등으로 이루어지고, 발생한 상기 폐슬러리를 종래에는 소각이나 매립 등의 방법으로 전량 폐기 처리되어 왔다. In general, in the semiconductor wafer manufacturing process, a slurry containing an abrasive (SiC) is used to cut an ingot-shaped semiconductor wafer material using a cutting device. The slurry used to increase the waste slurry is to be replaced periodically. The waste slurry is composed of abrasive (silicon carbide; SiC), cutting powder (silicon; Si), cutting oil, and the like, and the waste slurry produced in the past has been entirely disposed of by incineration or landfilling. .

상기 소각이나 매립 등의 방법으로 폐슬러리를 처리함으로써 보통 슬러리를 구성하고 있는 연마재(SiC)는 절삭과정에 사용되는 10~15% 만이 절삭에 사용되고 나머지는 절삭에 사용되지 않으며, 폐슬러리를 폐기함으로써 고가의 연마재(SiC)가 폐기되고 있는 실정이다.By treating the waste slurry by incineration or landfilling, the abrasive (SiC), which usually comprises slurry, is used for cutting only 10 to 15% of the slurry, and the rest is not used for cutting. Expensive abrasive (SiC) is being discarded.

이와 같이 반도체 웨이퍼 등 각종 웨이퍼 제조공정 등에서 발생하는 폐슬러리 처리방식은 전량 수입에만 의존하는 고가의 연마재(SiC)가 포함된 슬러리를 단 1 회만 사용하고 폐기처리하기 때문에 슬러리 소비량을 증대시키고 폐기처리에도 막대한 비용이 들어 반도체 웨이퍼의 생산 단가를 상승시키는 요인이 되어 왔을 뿐만 아니라, 산업폐기물로 분류되는 폐슬러리를 소각이나 매립등의 방식으로 처리하기 때문에 환경오염의 요인이 되어왔다.As such, the waste slurry processing method generated in various wafer manufacturing processes, such as semiconductor wafers, uses only one time a slurry containing expensive abrasives (SiC), which depends solely on imports, and uses the waste slurry only once. The enormous cost has not only increased the production cost of semiconductor wafers, but also caused environmental pollution because waste sludge classified as industrial waste is disposed of by incineration or landfilling.

이러한 단점을 해결하고자 최근에 와서는 폐슬러리를 재생시키고자 국내특허등록 제393007호 (명칭 : 반도체 웨이퍼 제조공정에서 발생하는 폐슬러리 재생방법 및 재생시스템), 국내공개특허 제10-2004-0055218호 (명칭 : 폐 반도체 슬러리로부터 고순도 탄화규소를 제조하는 방법)등 다양한 반도체 폐슬러리의 재생시스템이 제시되고 있는 실정이다.In order to solve these drawbacks, recently, in order to reclaim waste slurry, Korean Patent Registration No. 393007 (Name: Waste Slurry Recycling Method and Regeneration System in Semiconductor Wafer Manufacturing Process), and Korean Patent Publication No. 10-2004-0055218 Various types of semiconductor waste slurry recycling systems have been proposed, such as (name: method for producing high purity silicon carbide from waste semiconductor slurry).

본 발명은 이러한 반도체 폐슬러리의 재생시스템에서 사용되며, 교반기에서 교반된 폐슬러리를 초음파에 의하여 분산시켜 원심분리기에 공급하여 상기 원심분리기에서 추출되는 연마재 고형물의 순도를 높이기 위한 초음파를 이용한 입자 분산기에 관한 것이다.The present invention is used in the regeneration system of the semiconductor waste slurry, the waste slurry was stirred by the stirrer and supplied to the centrifuge by supplying to the centrifuge to increase the purity of the abrasive solids extracted from the centrifuge in the particle disperser using the ultrasonic wave It is about.

일반적으로 반도체 제조과정에서 발생하는 폐슬러리는 짧게는 몇 개월, 길게는 1~2년을 보관하고 있다가 재생을 하고 있어, 약 10㎛ 의 크기를 가지는 연마재 (탄화규소; SiC)는 침강을 하고, 폐슬러리는 거의 고형화되어 있어 교반기를 통하여 산개시켜 원심분리기를 이용하여 폐슬러리로부터 연마재인 탄화규소(SiC)를 추출하게 된다.In general, waste slurries generated during semiconductor manufacturing process are stored for a few months and one to two years, and then recycled, and the abrasive (silicon carbide; SiC) having a size of about 10 μm is precipitated. The waste slurry is almost solid, so it is spread out through a stirrer to extract silicon carbide (SiC), which is an abrasive, from the waste slurry using a centrifuge.

그러나 상기 교반기를 이용한 교반과정에서 교반된 폐슬러리가 제대로 분산되지 않을 경우에는 원심분리기를 이용하여 추출되는 연마재 고형물의 순도는 낮아지는 단점이 있으며, 고순도의 연마제 고형물을 획득하기 위해서는 많은 단계를 거쳐야 하는 단점이 발생한다.However, when the agitated waste slurry is not properly dispersed in the stirring process using the stirrer, the purity of the abrasive solids extracted using the centrifuge is lowered, and in order to obtain a high-purity abrasive solid, it is necessary to go through many steps. Disadvantages arise.

상기 단점을 해결하고자 발명된 본 발명은, 교반기에서 교반된 폐슬러리를 보다 골고루 분산되도록 교반기에서 교반된 폐슬러리를 초음파를 이용하여 폐슬러리용 입자 분산기를 이용하여 폐슬러리를 분산시키고, 분산된 폐슬러리를 원심분리기에 공급하여 순도 높은 연마재 고형물을 추출하는데 목적이 있다.The present invention invented to solve the above shortcomings is to disperse the waste slurry by using a particle disperser for waste slurry using ultrasonic wave to the waste slurry stirred in the stirrer to more evenly disperse the waste slurry stirred in the stirrer, the dispersed waste The slurry is fed to a centrifuge to extract high-purity abrasive solids.

또한, 상기 폐슬러리용 입자 분산기에 공급된 폐슬러리가 배출되는 순간까지도 초음파에 의하여 분산될 수 있도록 하여 잘 분산된 폐슬러리가 원심분리기에 공급되도록 하는데 목적이 있다. In addition, an object of the present invention is to allow a well-dispersed waste slurry to be supplied to the centrifuge by allowing the waste slurry supplied to the waste slurry particle disperser to be dispersed by ultrasonic waves even when the waste slurry is discharged.

또한, 폐슬러리가 저장되는 저장탱크에 폐슬러리의 수위를 감지하는 레벨센서를 설치하고, 상기 레벨센서에서 감지되는 신호에 의하여 제어부가 저장탱크의 설치되어 있는 진동자들을 제어함으로써 진동자들을 보호할 수 있도록 하는데 목적이 있다.In addition, a level sensor for detecting the level of waste slurry is installed in the storage tank in which the waste slurry is stored, and the control unit controls the vibrators installed in the storage tank by the signal detected by the level sensor so as to protect the vibrators. The purpose is to.

또한, 상기 저장탱크에 교반장치를 설치하여 폐슬러리가 교반되어 진동자로부터 발생되는 초음파와 함께 골고루 분산되도록 하는데 목적이 있다. In addition, it is an object to install a stirring device in the storage tank so that the waste slurry is stirred and evenly distributed together with the ultrasonic waves generated from the vibrator.

이하, 상기 목적을 달성하고자 초음파를 이용한 폐슬러리용 입자 분산기인 본 발명은, Hereinafter, the present invention is a particle disperser for waste slurry using ultrasonic waves to achieve the above object,

폐슬러리를 분산시키는 초음파를 이용한 입자 분산기에 있어서,In the particle disperser using ultrasonic waves to disperse the waste slurry,

공급되는 폐슬러리를 저장할 수 있도록 형성되되, 상측에 폐슬러리가 유입되는 투입구(11)가 형성되고, 하측에 분산된 폐슬러리가 배출되도록 배출구(12)가 형성된 저장탱크(10)와; 상기 저장탱크(10)에 저장된 폐슬러리에 초음파를 발생시켜 분산시키기는 초음파발생장치(20)가 설치되되, 상기 초음파발생장치(20)는 저장탱크(10) 내부의 양측면에 설치된 측면진동자(21)와 하부면에 설치된 하부진동자(22)와, 상기 측면진동자(21)와 하부진동자(22)들과 각각 연설된 발진기(23)들로 이루어지고, 상기 초음파발생장치(20)를 제어하는 제어부(30)를 포함하도록 구성된다.A storage tank 10 formed to store the supplied waste slurry, an inlet 11 through which waste slurry is introduced, and a discharge port 12 formed so that the waste slurry dispersed in the lower side is discharged; An ultrasonic generator 20 is installed to generate and disperse ultrasonic waves in the waste slurry stored in the storage tank 10, and the ultrasonic generator 20 is side vibrators 21 installed on both sides of the storage tank 10. And a lower oscillator 22 installed on the lower surface, and oscillators 23 which are addressed with the side vibrators 21 and the lower oscillators 22, respectively, and a control unit for controlling the ultrasonic wave generator 20. And 30.

상기 저장탱크(10)에 저장된 폐슬러리를 교반시킬 수 있도록 교반장치(40)가 설치될 수도 있으며, Stirring device 40 may be installed to agitate the waste slurry stored in the storage tank 10,

상기 저장탱크(10) 내의 폐슬러리 수위를 감지하는 레벨센서(50)가 더 설치될 수도 있다.A level sensor 50 for detecting the level of waste slurry in the storage tank 10 may be further installed.

또한, 상기 저장탱크(10) 내의 폐슬러리의 온도를 측정하는 온도센서(60)가 더 설치될 수도 있다.In addition, a temperature sensor 60 for measuring the temperature of the waste slurry in the storage tank 10 may be further installed.

또한, 상기 저장탱크(10)의 일측에 폐슬러리를 공급할 수 있도록 폐슬러리 공급용 펌프(70)가 더 설치될 수도 있다.In addition, a waste slurry supply pump 70 may be further installed to supply waste slurry to one side of the storage tank 10.

또한 저장탱크(10)의 하부에 홈(13)을 형성하고, 상기 홈(13)에 하부진동자(22)와 폐슬러리 배출구(12)를 설치할 수도 있다.In addition, the groove 13 may be formed in the lower portion of the storage tank 10, and the lower oscillator 22 and the waste slurry outlet 12 may be installed in the groove 13.

이하, 첨부된 본 발명의 바람직한 실시예를 나타낸 초음파를 이용한 폐슬러리용 입자 분산기를 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the particle dispersing machine for waste slurry using ultrasonic waves showing a preferred embodiment of the present invention will be described in detail.

그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below but will be implemented in various different forms, only to make the disclosure of the present invention complete, and to fully inform those skilled in the art to the scope of the invention. It is provided.

첨부된 도 1 내지 도 3에서 보는 바와 같이 본 발명의 초음파를 이용한 폐슬러리용 입자 분산기(1)는 크게 폐슬러리를 저장하는 저장탱크(10)와, 상기 저장탱크에 저장된 폐슬러리를 분산시키는 초음파발생장치(20)와, 상기 저장탱크에 저장된 폐슬러리가 초음파에 의하여 골고루 분산될 수 있도록 폐슬러리를 교반시키는 교반장치(40)와, 상기 각각의 구성요소를 제어하는 제어부(30)로 구성되며, 상기 구성요소는 프레임(80)에 설치된다.As shown in Figures 1 to 3 attached to the waste slurry slurry disperser 1 using the ultrasonic wave of the present invention is a storage tank 10 for largely storing the waste slurry, and ultrasonic waves for dispersing the waste slurry stored in the storage tank It is composed of a generator 20, a stirring device 40 for stirring the waste slurry so that the waste slurry stored in the storage tank is evenly dispersed by ultrasonic waves, and a control unit 30 for controlling each of the components , The component is installed in the frame (80).

상기 저장탱크(10)에는 폐슬러리가 공급되는 투입구(11)가 상측에 설치되고, 분산된 폐슬러리가 용이하게 배출되도록 배출구(12)가 하측에 설치된다. 상기 투입구(11)로는 교반기로부터 산개된 폐슬러리가 공급되는 것으로 원할한 폐슬러리가 공급될 수 있도록 폐슬러리 공급용 펌프(70)를 설치하여 교반기로 교반된 폐슬러리 를 공급할 수도 있다.In the storage tank 10, an inlet 11 through which waste slurry is supplied is installed at an upper side, and an outlet 12 is installed at a lower side so that the dispersed waste slurry is easily discharged. The inlet 11 may be supplied with the waste slurry, which is spread from the stirrer, so that the waste slurry supplied pump 70 may be supplied to supply the waste slurry to be fed with the stirrer.

상기 초음파발생장치(20)는 저장탱크(10)의 측면에 설치되는 측면 진동자(21)와 하부면에 설치되는 하부 진동자(22)와 상기 진동자(21, 22)들과 각각 연결되는 발진기(23)들로 이루어진다.The ultrasonic wave generator 20 has a side vibrator 21 installed on the side of the storage tank 10, a lower vibrator 22 installed on the lower surface and an oscillator 23 connected to the vibrators 21, 22, respectively. )

상기 진동자들과 발진기들을 각각 연결되어 각각 구동되도록 설치하는 것이 바람직하다.It is preferable to install the vibrators and oscillators so as to be connected to each other.

상기 진동자(21, 22)들은 저장탱크(10) 내에 있는 폐슬러리에 초음파를 발생시켜 탄화규소(SiC)와 실리콘(Si) 등을 분산시키는 것으로, 상기 하부 진동자(22)는 저장탱크(10)의 가장 하부면에 설치되는 것이 바람직하다. 이는 폐슬러리가 저장탱크(10)로부터 배출될 때까지 초음파에 의하여 분사시킬 수 있도록 하기 위함이며, 도 2에서와 같이 저장탱크(10)의 하부면에 홈(13)을 형성하고, 상기 홈(13)에 하부 진동자(22)을 설치하고 상기 홈(13)에 배출구(12)가 형성되는 것이 가장 바람직하다.The vibrators 21 and 22 generate ultrasonic waves in the waste slurry in the storage tank 10 to disperse silicon carbide (SiC), silicon (Si), etc., and the lower vibrator 22 stores the storage tank 10. It is preferable to be installed at the bottom of the. This is to allow the waste slurry to be sprayed by ultrasonic waves until it is discharged from the storage tank 10, as shown in Figure 2 to form a groove 13 in the lower surface of the storage tank 10, the groove ( It is most preferred that the lower vibrator 22 is installed in the 13 and the outlet 12 is formed in the groove 13.

상기 측면 진동자(21)는 첨부된 도면에서와 같이 저장탱크(10)의 양측면에 대응되게 다수개로 설치되는 것이 바람직하며, 또한 양측면에 설치된 측면 진동자(22)간에 거리가 멀지 않도록 저장탱크(10)의 길이방향으로 설치하는 것이 바람직하다. 이는 가운데에 있는 폐슬러리에 초음파가 잘 전달되지 않는 것을 방지할 수도 있다. As shown in the accompanying drawings, the side vibrator 21 is preferably provided in plurality in correspondence to both sides of the storage tank 10, and also the storage tank 10 so that the distance between the side vibrators 22 provided on both sides is not far. It is preferable to install in the longitudinal direction of. This may prevent the ultrasound from being delivered to the waste slurry in the middle.

상기 교반장치(40)는 저장탱크(10)에 저장되어 있는 폐슬러리를 교반시키는 것으로 크게 모터(41)와 교반날개(42)로 이루지는 것으로, 저장탱크(10) 내의 폐슬러리를 교반시킴으로써 상기 폐슬러리에 초음파가 골고루 전달되도록 하여 폐슬러 리가 잘 분산되도록 한다.The stirring device 40 is composed of a motor 41 and a stirring blade 42 to stir the waste slurry stored in the storage tank 10, by stirring the waste slurry in the storage tank 10 Ultrasonic waves are evenly distributed to the waste slurry so that the waste slurry is well dispersed.

상기 모터(41)와 교반날개(42)로 이루어지는 교반장치(40)는 저장탱크(10)의 크기에 따라 1개 또는 다수개로 설치될 수도 있다.The stirring device 40 consisting of the motor 41 and the stirring blade 42 may be installed in one or a plurality depending on the size of the storage tank (10).

상기 저장탱크(10) 측면의 일측에는 폐슬러리의 수위를 감지하는 레벨센서(50)와 폐슬러리의 온도를 측정하는 온도센서(60)가 설치되는 것도 가능하다.One side of the side of the storage tank 10 may be provided with a level sensor 50 for detecting the water level of the waste slurry and a temperature sensor 60 for measuring the temperature of the waste slurry.

상기 레벨센서(50)는 저장탱크(10) 내의 폐슬러리 수위를 감지하여 후설되는 제어부(30)에 신호를 보내어 초음파발생장치(20)의 진동자(21, 22)들을 제어하도록 하는 것으로, 이는 분산된 폐슬러리가 배출구(12)를 통하여 배출됨으로써 폐슬러리의 수위가 낮아지고, 낮아진 수위의 변화에 진동자(21, 22)들을 정지시킴으로써 보호하게 된다. 만일, 낮아지는 수위에 상관없이 진동자(21, 22)들이 계속하여 작동하게 되면, 진동자(21, 22)들은 공기에 노출된 상태에서 작동하여 쉽게 고장이 나는 원인이 된다.The level sensor 50 detects the level of waste sludge in the storage tank 10 and sends a signal to the control unit 30 to be settled to control the vibrators 21 and 22 of the ultrasonic generator 20, which is distributed. As the waste slurry is discharged through the discharge port 12, the level of waste slurry is lowered, thereby protecting the vibrators 21 and 22 by stopping the change of the level. If the vibrators 21 and 22 continue to operate regardless of the water level being lowered, the vibrators 21 and 22 operate in the state exposed to air, which causes easy breakdown.

즉, 첨부된 도면에서와 같이 저장탱크(10) 내의 폐슬러리의 수위를 측정하도로 설치된 다수개의 레벨센서(50)는 측면진동자(21)를 제어하도록 상부에 설치되는 측면진동자용 레벨센서(51)와, 하부진동자(22)를 제어하도록 하부에 설치되는 하부진동자용 레벨센서(52)로 이루어지며, 상기 레벨센서들에 의하여 진동자(21, 22)들을 제어하도록 한다.That is, as shown in the accompanying drawings, a plurality of level sensors 50 installed to measure the level of waste sludge in the storage tank 10 are level sensors 51 for side vibrators installed on the upper side to control the side vibrators 21. And a lower level vibrator level sensor 52 installed at a lower portion of the lower vibrator 22 to control the vibrators 21 and 22 by the level sensors.

상기 온도센서(60)는 저장탱크(10) 내의 폐슬러리 온도를 측정하기 위한 것으로 저장탱크(10) 내의 폐슬러리 온도를 정확하게 측정하기 위하여 다수개의 온도센서(60)가 설치될 수 있다.The temperature sensor 60 is to measure the waste slurry temperature in the storage tank 10, a plurality of temperature sensors 60 may be installed to accurately measure the waste slurry temperature in the storage tank (10).

상기 온도센서(60)에서 측정되는 온도에 의하여 폐슬러리의 분산상태 및 점도와 같은 특성을 파악하게 된다. By the temperature measured by the temperature sensor 60 to determine the characteristics such as the dispersion state and viscosity of the waste slurry.

즉, 상기 저장탱크(10) 내에 저장된 폐슬러리에 초음파발생장치(20)를 이용하여 초음파를 발생하게 되면, 폐슬러리는 초음파에 의하여 분산되는 동시에 온도가 상승하게 된다. 이 상승되는 온도를 측정하여 저장탱크(10) 내의 폐슬러리의 분산상태를 파악하여, 분산이 완료되면 저장탱크(10)의 배출구(12)를 개방하여 배출시킨다.That is, when the ultrasonic wave is generated using the ultrasonic generator 20 in the waste slurry stored in the storage tank 10, the waste slurry is dispersed by the ultrasonic wave and the temperature is increased. The rising temperature is measured to determine the dispersion state of the waste slurry in the storage tank 10, and when the dispersion is completed, the outlet 12 of the storage tank 10 is opened and discharged.

상기 제어부(30)는 상기에 제시되어 있는 구성요소와 전기적으로 연결되어 제어하게 된다.The controller 30 is electrically connected to and controls the components shown above.

상기와 같이 이루어진 본 발명의 초음파를 이용한 폐슬러리용 입자 분산기의 작동상태를 설명하면, Referring to the operating state of the waste slurry particle slurry using the ultrasonic wave of the present invention made as described above,

교반기에서 교반된 폐슬러리는 폐슬러리 공급펌프(70)에 의하여 저장탱크(10)의 투입구(11)를 통해 저장되고, 상기 저장탱크(10)의 용량만큼 폐슬러리가 저장탱크(10)에 유입되면, 공급펌프(70)를 멈추어 공급되는 폐슬러리를 중단하고, 초음파발생장치(20)를 이용하여 초음파를 발생시켜 폐슬러리를 분산시킨다. The waste slurry stirred in the stirrer is stored through the inlet 11 of the storage tank 10 by the waste slurry supply pump 70, and the waste slurry enters the storage tank 10 by the capacity of the storage tank 10. When the supply pump 70 is stopped, the waste slurry to be supplied is stopped and ultrasonic waves are generated using the ultrasonic generator 20 to disperse the waste slurry.

이때 가운데에 위치한 폐슬러리에 초음파가 전달되지 않아 분산이 이루어지지 않거나 늦게 분산되는 것을 방지하기 위하여 교반장치(40)를 이용하여 폐슬러리를 교반시켜, 교반과 함께 초음파에 의하여 공급된 폐슬러리를 분산시킨다.At this time, the ultrasonic wave is not delivered to the waste slurry located in the center, so that the dispersion is not made or the dispersion is delayed by agitating the waste slurry using the stirring device 40 to disperse the waste slurry supplied by the ultrasonic wave with stirring. Let's do it.

초음파발생장치(20)에서 발생하는 초음파에 의하여 분산되는 폐슬러리는 온 도가 상승하고, 상승되는 온도를 온도센서(60)가 측정하고 측정된 온도에 의하여 제어부(30)는 배출구(12)를 통하여 분산된 폐슬러리를 배출한다.The waste slurry dispersed by the ultrasonic wave generated by the ultrasonic wave generator 20 rises in temperature, the temperature sensor 60 measures the elevated temperature, and the controller 30 controls the discharge temperature through the outlet 12. Drain the waste slurry.

상기 배출구(12)를 통하여 분산된 폐슬러리가 배출되면 저장탱크(10)의 폐슬러리의 수위가 낮아지며 이를 레벨센서(50)인 측면진동자용 레벨센서(51)와 하부진동자용 레벨센서(52)가 낮아지는 수위를 감지하여 레벨센서(50)로부터 전해지는 신호에 의하여 제어부(30)는 초음파발생장치(20)의 진동자(21, 22)들을 차례로 정시시킨다. When the waste slurry dispersed through the discharge port 12 is discharged, the level of waste slurry in the storage tank 10 is lowered, which is the level sensor 50 for the side vibrator level sensor 51 and the lower vibrator level sensor 52. The controller 30 sequentially detects the vibrators 21 and 22 of the ultrasonic wave generator 20 in response to a signal transmitted from the level sensor 50 by detecting the water level lowering.

상기 저장탱크(10)는 원심분리기의 용량에 따라 저장탱크(10)의 폐슬러리를 저장할 수 있는 크기가 정해진다. 즉, 원심분리기에 공급되는 폐슬러리는 정량공급되어야 한다. 만일, 불규칙적으로 폐슬러리가 원심분리기에 공급되면 효율성 저하와 품질이 저하되는 단점이 있다. The storage tank 10 is sized to store the waste slurry of the storage tank 10 according to the capacity of the centrifuge. In other words, the waste slurries supplied to the centrifuge must be quantitatively supplied. If the waste slurry is irregularly supplied to the centrifuge, there is a disadvantage in that efficiency and quality are reduced.

보통 저장탱크(10) 용량은 400~600ℓ크기가 사용된다.Usually the storage tank 10 capacity is used 400 ~ 600ℓ size.

이와 같이 이루어져 작동되는 초음파를 이용한 폐슬러리용 입자 분산기는,Particle disperser for waste slurry using ultrasonic wave operated in this way,

저장탱크의 하부에 설치된 하부진동자에 의하여 저장탱크의 배출구로 배출되는 폐슬러리가 배출되는 순간까지 초음파에 분산되도록 하는 효과가 있다.The lower vibrator installed in the lower portion of the storage tank has the effect of being dispersed in the ultrasonic wave until the discharged waste slurry discharged to the outlet of the storage tank.

또한, 폐슬러리의 수위를 감지하여 측면진동자의 작동을 제어함으로써 과부하에 의한 진동자의 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, by detecting the level of the waste slurry to control the operation of the side vibrator has an effect that can prevent the damage of the vibrator due to overload.

또한, 저장탱크 내의 폐슬러리를 교반시킬 수 있는 교반장치를 설치함으로써 폐슬러리를 교반시켜 초음파에 의하여 빠른 폐슬러리의 분산이 이루어지는 효과가 있다.In addition, by providing an agitator capable of stirring the waste slurry in the storage tank, there is an effect that the waste slurry is agitated to quickly disperse the waste slurry by ultrasonic waves.

Claims (6)

반도체 폐슬러리를 분산시키는 초음파를 이용한 입자 분산기에 있어서,In the particle disperser using the ultrasonic wave to disperse the semiconductor waste slurry, 공급되는 폐슬러리를 저장할 수 있도록 형성되되, 상측에 폐슬러리가 유입되는 투입구(11)가 형성되고, 하부면에 홈(13)을 형성하고, 상기 홈(13)에 분산된 폐슬러리가 배출되도록 배출구(12)가 형성되고, 저장된 폐슬러리 수위를 감지하는 레벨센서(50)가 설치된 저장탱크(10)와;Is formed so as to store the supplied waste slurry, the inlet opening 11 is formed in which waste slurry is introduced, the groove 13 is formed on the lower surface, so that the waste slurry dispersed in the groove 13 is discharged A storage tank 10 in which an outlet 12 is formed and a level sensor 50 for sensing the stored waste slurry level is installed; 상기 저장탱크(10)에 저장된 폐슬러리에 초음파를 발생시켜 분산시키기는 초음파발생장치(20)가 설치되되, 상기 초음파발생장치(20)는 저장탱크(10) 내부의 양측면에 설치된 측면진동자(21)와, 하부면에 형성된 홈(13)에 설치된 하부진동자(22)와, 상기 측면진동자(21)와 하부진동자(22)들과 각각 연설된 발진기(23)들로 이루어지고,An ultrasonic generator 20 is installed to generate and disperse ultrasonic waves in the waste slurry stored in the storage tank 10, and the ultrasonic generator 20 is side vibrators 21 installed on both sides of the storage tank 10. ), The lower oscillator 22 installed in the groove 13 formed on the lower surface, and the oscillator 23 spoken with the side oscillator 21 and the lower oscillator 22, respectively, 상기 초음파발생장치(20)를 제어하는 제어부(30)를 포함하도록 구성됨을 특징으로 하는 초음파를 이용한 폐슬러리용 입자 분산기.Particle disperser for waste slurry using ultrasonic waves, characterized in that configured to include a control unit 30 for controlling the ultrasonic generator 20. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 저장탱크(10)에 저장된 폐슬러리를 교반시킬 수 있도록 교반장치(40)가 설치됨을 특징으로 하는 초음파를 이용한 폐슬러리용 입자 분산기.Particle disperser for waste slurry using ultrasonic waves, characterized in that the stirring device 40 is installed to stir the waste slurry stored in the storage tank (10). 제 1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 저장탱크(10) 내의 폐슬러리 온도를 측정하는 온도센서(60)가 더 설치됨을 특징으로 하는 초음파를 이용한 폐슬러리용 입자 분산기.Particle disperser for waste slurry using ultrasonic waves, characterized in that the temperature sensor 60 for measuring the waste slurry temperature in the storage tank 10 is further installed. 제 1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 저장탱크(10)의 일측에 폐슬러리를 공급할 수 있도록 폐슬러리 공급용 펌프(70)가 더 설치됨을 특징으로 하는 초음파를 이용한 폐슬러리용 입자 분산기.Waste slurry for the slurry using ultrasonic, characterized in that the waste slurry supply pump 70 is further installed to supply waste slurry to one side of the storage tank (10). 삭제delete 삭제delete
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