KR100781594B1 - an active matrix organic electroluminescence display and a manufacturing method of the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 박막 트랜지스터를 이용한 능동행렬 유기전기발광소자에 관한 것이다.The present invention relates to an active matrix organic electroluminescent device using a thin film transistor.

본 발명에 따른 유기전기발광소자에서는 빛이 나오는 방향에 확산필름을 배치하여 균일한 휘도를 얻을 수 있으며, 이때 프리즘 시트를 더 사용함으로써 정면 방향의 휘도를 높일 수도 있다. 이러한 확산 필름 및 프리즘 시트는 전면 발광 및 후면 발광 방식에 모두 이용할 수 있는데, 전면 발광 방식을 이용할 경우 개구율이 높으며, 수명이 긴 소자를 얻을 수 있다. In the organic electroluminescent device according to the present invention, it is possible to obtain a uniform brightness by arranging a diffusion film in a direction in which light is emitted. In this case, the brightness of the front direction may be increased by further using a prism sheet. The diffusion film and the prism sheet can be used for both top emission and back emission methods, and when the top emission method is used, a device having a high aperture ratio and a long lifetime can be obtained.

한편, 전면 발광 방식을 이용할 경우에는 유기 발광층을 보호하기 위해 보호층을 형성하는데, 이때, 일정 두께의 보호층과 요철을 가지는 보호층을 각각 형성하여 정면 방향에서의 휘도를 향상시키고, 발광효율이 높여 소비 전력을 감소시킬 수도 있다.
On the other hand, in the case of using the top emission method to form a protective layer to protect the organic light emitting layer, at this time, by forming a protective layer having a predetermined thickness protective layer and irregularities, respectively, to improve the brightness in the front direction, luminous efficiency is improved It can also increase power consumption.

유기전기발광소자, 개구율, 휘도, 전면 발광, 후면 발광, 요철Organic electroluminescent element, aperture ratio, luminance, front emission, back emission, irregularities

Description

능동행렬 유기전기발광소자 및 그의 제조 방법{an active matrix organic electroluminescence display and a manufacturing method of the same} Active matrix organic electroluminescence display and a manufacturing method of the same             

도 1은 종래의 능동행렬 유기전기발광소자의 한 화소에 대한 회로도.1 is a circuit diagram of one pixel of a conventional active matrix organic electroluminescent device.

도 2는 종래의 능동행렬 유기전기발광소자에 대한 단면도.2 is a cross-sectional view of a conventional active matrix organic electroluminescent device.

도 3은 종래의 능동행렬 유기전기발광소자에서의 휘도를 도시한 도면.3 is a diagram showing luminance in a conventional active matrix organic electroluminescent device.

도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 능동행렬 유기전기발광소자에 대한 단면도.4 is a cross-sectional view of an active matrix organic electroluminescent device according to a first embodiment of the present invention.

도 5a 내지 도 5j는 본 발명에 따른 능동행렬 유기전기발광소자의 제조 과정을 도시한 단면도.5A to 5J are cross-sectional views illustrating a manufacturing process of an active matrix organic electroluminescent device according to the present invention.

도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 능동행렬 유기전기발광소자에 대한 단면도.6 is a cross-sectional view of an active matrix organic electroluminescent device according to a second embodiment of the present invention.

도 7 내지 도 10은 각각 본 발명의 제 3 내지 제 6 실시예에 따른 능동행렬 유기전기발광소자에 대한 단면도.
7 to 10 are cross-sectional views of active matrix organic electroluminescent devices according to third to sixth embodiments, respectively.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

100 : 기판 110 : 버퍼층 100 substrate 110 buffer layer                 

121 : 액티브층 122 : 드레인 영역121: active layer 122: drain region

123 : 소스 영역 125 : 커패시터 전극123: source region 125: capacitor electrode

130 : 게이트 절연막 131 : 게이트 전극130: gate insulating film 131: gate electrode

140 : 제 1 층간 절연막 151 : 파워라인140: first interlayer insulating film 151: power line

160 : 제 2 층간 절연막 161, 162, 163 : 콘택홀160: second interlayer insulating film 161, 162, 163: contact hole

171 : 소스 전극 172 : 드레인 전극171: source electrode 172: drain electrode

180 : 제 1 보호층 181 : 제 4 콘택홀180: first protective layer 181: fourth contact hole

190 : 제 1 전극 200 : 제 2 보호층190: first electrode 200: second protective layer

201 : 뱅크 210 : 유기 발광층201: bank 210: organic light emitting layer

220 : 제 2 전극 230 : 제 3 보호층220: second electrode 230: third protective layer

240 : 제 4 보호층
240: fourth protective layer

본 발명은 유기전기발광소자에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 박막 트랜지스터를 이용한 능동행렬 유기전기발광소자에 관한 것이다.The present invention relates to an organic electroluminescent device, and more particularly, to an active matrix organic electroluminescent device using a thin film transistor.

현재 텔레비전이나 모니터와 같은 디스플레이 장치에는 음극선관(cathode ray tube : CRT)이 주된 장치로 이용되고 있으나, 이는 무게와 부피가 크고 구동전압이 높은 문제가 있다. 이에 따라, 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 가지는 평판 표시 장치(flat panel display)의 필요성이 대두되었으며, 액정 표시 장치(liquid crystal display)와 플라즈마 표시 장치(plasma display panel), 전계 방출 표시 장치(field emission display), 그리고 전기 발광 표시 장치(또는 전기발광소자라고도 함 : electroluminescence display(ELD))와 같은 다양한 평판 표시 장치가 연구 및 개발되고 있다.Currently, a cathode ray tube (CRT) is used as a main device in a display device such as a television or a monitor, but this has a problem of weight and volume and high driving voltage. Accordingly, there is a need for a flat panel display having excellent characteristics such as thinness, light weight, and low power consumption, and has emerged, such as a liquid crystal display, a plasma display panel, and an electric field emission. Various flat panel display devices such as a field emission display and an electroluminescent display (or electroluminescence display (ELD)) have been researched and developed.

이중 전기발광소자는 형광체에 일정 이상의 전기장이 걸리면 빛이 발생하는 전기발광(electroluminescence : EL) 현상을 이용한 표시 소자로서, 캐리어들의 여기를 일으키는 소스에 따라 무기(inorganic) 전기발광소자와 유기전기발광소자(organic electroluminescence display : OELD 또는 유기 ELD)로 나눌 수 있다.The dual electroluminescent device is a display device using an electroluminescence (EL) phenomenon in which light is generated when a certain electric field is applied to a phosphor, and an inorganic electroluminescent device and an organic electroluminescent device depending on a source causing excitation of carriers. (organic electroluminescence display: OELD or organic ELD).

이중, 유기전기발광소자가 청색을 비롯한 가시광선의 모든 영역의 빛이 나오므로 천연색 표시 소자로서 주목받고 있으며, 높은 휘도와 낮은 동작 전압 특성을 가진다. 또한 자체 발광이므로 명암대비(contrast ratio)가 크고, 초박형 디스플레이의 구현이 가능하며, 공정이 간단하여 환경 오염이 비교적 적다. 한편, 응답시간이 수 마이크로초(㎲) 정도로 동화상 구현이 쉽고, 시야각의 제한이 없으며 저온에서도 안정적이고, 직류 5V 내지 15V의 낮은 전압으로 구동하므로 구동회로의 제작 및 설계가 용이하다.Among them, the organic electroluminescent device is attracting attention as a natural color display device because it emits light in all regions of visible light including blue, and has high luminance and low operating voltage characteristics. In addition, because of self-luminous, the contrast ratio is high, the ultra-thin display can be realized, and the process is simple, so that environmental pollution is relatively low. On the other hand, the response time is easy to implement a moving picture with a few microseconds, there is no restriction on the viewing angle, it is stable even at low temperatures, it is easy to manufacture and design a drive circuit because it is driven at a low voltage of DC 5V to 15V.

이러한 유기전기발광소자는 구조가 무기전기발광소자와 비슷하나, 발광원리는 전자와 정공의 재결합에 의한 발광으로 이루어지므로 유기 LED(organic light emitting diode : OLED)라고 부르기도 한다. The organic electroluminescent device has a structure similar to that of an inorganic electroluminescent device, but the light emitting principle is called organic light emitting diode (OLED) because the light emission is achieved by recombination of electrons and holes.                         

다수의 화소를 매트릭스 형태로 배열하고 각 화소에 박막 트랜지스터를 연결한 능동행렬(active matrix) 형태가 평판 표시 장치에 널리 이용되는데, 이를 유기전기발광소자에 적용한 능동행렬(active matrix) 유기전기발광소자에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.An active matrix type in which a plurality of pixels are arranged in a matrix form and thin film transistors are connected to each pixel is widely used in a flat panel display device, and an active matrix organic electroluminescent device is applied to an organic electroluminescent device. It will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 능동행렬 유기전기발광소자의 한 화소에 대한 회로 구조를 도시한 것으로서, 도시한 바와 같이 능동행렬 유기전기발광소자의 한 화소는 스위칭(switching) 박막 트랜지스터(4)와 드라이빙(driving) 박막 트랜지스터(5), 스토리지 커패시터(6), 그리고 발광 다이오드(7)로 이루어진다. FIG. 1 illustrates a circuit structure of one pixel of an active matrix organic electroluminescent device, and as illustrated, one pixel of the active matrix organic electroluminescent device includes a switching thin film transistor 4 and a driving thin film. It consists of a transistor 5, a storage capacitor 6, and a light emitting diode 7.

여기서, 스위칭 박막 트랜지스터(4)의 게이트 전극은 게이트 배선(1)과 연결되고, 소스 전극은 데이터 배선(2)과 연결되어 있다. 스위칭 박막 트랜지스터(4)의 드레인 전극은 드라이빙 박막 트랜지스터(5)의 게이트 전극과 연결되어 있고, 드라이빙 박막 트랜지스터(5)의 드레인 전극은 발광 다이오드(7)의 애노드(anode) 전극과 연결되어 있다. 드라이빙 박막 트랜지스터(5)의 소스 전극은 파워라인(3)과 연결되어 있고, 발광 다이오드(7)의 캐소드(cathode) 전극은 접지되어 있다. 다음, 스토리지 커패시터(6)가 드라이빙 박막 트랜지스터(5)의 게이트 전극 및 소스 전극과 연결되어 있다.Here, the gate electrode of the switching thin film transistor 4 is connected to the gate wiring 1, and the source electrode is connected to the data wiring 2. The drain electrode of the switching thin film transistor 4 is connected to the gate electrode of the driving thin film transistor 5, and the drain electrode of the driving thin film transistor 5 is connected to the anode electrode of the light emitting diode 7. The source electrode of the driving thin film transistor 5 is connected to the power line 3, and the cathode electrode of the light emitting diode 7 is grounded. Next, the storage capacitor 6 is connected to the gate electrode and the source electrode of the driving thin film transistor 5.

따라서, 게이트 배선(1)을 통해 신호가 인가되면 스위칭 박막 트랜지스터(4)가 온(on) 되고, 데이터 배선(2)으로부터의 화상 신호가 스위칭 박막 트랜지스터(4)를 통해 스토리지 커패시터(6)에 저장된다. 이 화상 신호는 드라이빙 박막 트랜지스터(5)의 게이트 전극에 전달되어 드라이빙 박막 트랜지스터(5)를 작 동시켜 발광 다이오드(7)를 통해 빛이 출력되는데, 이때 발광 다이오드(7)에 흐르는 전류를 제어함으로써 휘도를 조절한다. 여기서, 스위칭 박막 트랜지스터(4)가 오프(off)되더라도 스토리지 커패시터(6)에 저장된 전압 값에 의해 드라이빙 박막 트랜지스터(5)를 구동하기 때문에, 다음 화면의 화상 신호가 들어올 때까지 계속적으로 전류가 발광 다이오드(7)로 흘러 빛을 발하게 된다.Therefore, when a signal is applied through the gate wiring 1, the switching thin film transistor 4 is turned on, and an image signal from the data wiring 2 is transferred to the storage capacitor 6 through the switching thin film transistor 4. Stored. The image signal is transmitted to the gate electrode of the driving thin film transistor 5 to operate the driving thin film transistor 5 to output light through the light emitting diode 7, by controlling the current flowing through the light emitting diode 7. Adjust the brightness. Here, since the driving thin film transistor 5 is driven by the voltage value stored in the storage capacitor 6 even when the switching thin film transistor 4 is turned off, the current is continuously emitted until the image signal of the next screen is input. It flows into the diode 7 and emits light.

이와 같이 박막 트랜지스터를 이용한 종래의 능동행렬 유기전기발광소자의 단면을 도 2에 도시하였는데, 도 2는 드라이빙 박막 트랜지스터와 발광 다이오드 및 스토리지 커패시터에 대한 단면도이다.As such, a cross-sectional view of a conventional active matrix organic electroluminescent device using a thin film transistor is illustrated in FIG. 2, which is a cross-sectional view of a driving thin film transistor, a light emitting diode, and a storage capacitor.

도시한 바와 같이, 기판(10) 위에 버퍼층(buffer layer)(11)이 형성되어 있고, 그 위에 아일랜드(island) 형태를 가지는 제 1 및 제 2 다결정 실리콘층(12a, 12b, 12c, 13a)이 형성되어 있다. 제 1 다결정 실리콘층(12a, 12b, 12c)은 박막 트랜지스터의 액티브층(12a)과 불순물이 도핑된 드레인 영역(12b)과 소스 영역(12c)으로 나누어지고, 제 2 다결정 실리콘층(13a)은 커패시터 전극이 된다.As shown, a buffer layer 11 is formed on the substrate 10, and the first and second polycrystalline silicon layers 12a, 12b, 12c, 13a having an island shape thereon are formed thereon. Formed. The first polycrystalline silicon layers 12a, 12b, and 12c are divided into the active layer 12a of the thin film transistor, the drain region 12b and the source region 12c doped with impurities, and the second polycrystalline silicon layer 13a is It becomes a capacitor electrode.

다음, 액티브층(12a) 상부에는 게이트 절연막(14)이 형성되어 있고, 그 위에 게이트 전극(15)이 형성되어 있다. Next, a gate insulating film 14 is formed on the active layer 12a, and a gate electrode 15 is formed thereon.

이어, 게이트 전극(15) 위에 제 1 층간 절연막(16)이 형성되어 게이트 전극(15)과 소스 및 드레인 영역(12c, 12b) 그리고 커패시터 전극(13a)을 덮고 있으며, 커패시터 전극(13a) 상부의 제 1 층간 절연막(16) 위에는 파워라인(17)이 형성되어 있다. 여기서, 파워라인(17)은 배선의 형태를 가지고 일 방향으로 길게 연장되어 있다. Subsequently, a first interlayer insulating layer 16 is formed on the gate electrode 15 to cover the gate electrode 15, the source and drain regions 12c and 12b, and the capacitor electrode 13a, and the upper portion of the capacitor electrode 13a. The power line 17 is formed on the first interlayer insulating film 16. Here, the power line 17 has a form of wiring and extends long in one direction.                         

다음, 파워라인(17) 상부에는 제 2 층간 절연막(18)이 형성되어 있는데, 제 2 층간 절연막(18)은 제 1 층간 절연막(16)과 함께 드레인 영역(12b)과 소스 영역(12c)의 일부를 각각 드러내는 제 1 및 제 2 콘택홀(18a, 18b)을 가지며, 또한 파워라인(17)을 일부 드러내는 제 3 콘택홀(18c)을 가진다.Next, a second interlayer insulating layer 18 is formed on the power line 17. The second interlayer insulating layer 18 is formed of the drain region 12b and the source region 12c together with the first interlayer insulating layer 16. The first and second contact holes 18a and 18b respectively reveal a part, and the third contact hole 18c partially exposes the power line 17.

다음, 제 2 층간 절연막(18) 상부에는 드레인 전극(19a)과 소스 전극(19b)이 형성되어 있다. 여기서, 드레인 전극(19a)은 제 1 콘택홀(18a)을 통해 드레인 영역(12b)과 연결되고, 소스 전극(19b)은 제 2 및 제 3 콘택홀(18b, 18c)을 통해 소스 영역(12c) 및 파워라인(17)과 각각 연결되어 있다. Next, a drain electrode 19a and a source electrode 19b are formed on the second interlayer insulating film 18. Here, the drain electrode 19a is connected to the drain region 12b through the first contact hole 18a, and the source electrode 19b is connected to the source region 12c through the second and third contact holes 18b and 18c. ) And power line 17, respectively.

이어, 드레인 전극(19a)과 소스 전극(19b) 상부에는 제 1 보호층(20)이 형성되어 있고, 제 1 보호층(20)은 드레인 전극(19a)을 일부 드러내는 제 4 콘택홀(20a)을 가진다. Subsequently, a first passivation layer 20 is formed on the drain electrode 19a and the source electrode 19b, and the first passivation layer 20 has a fourth contact hole 20a partially exposing the drain electrode 19a. Has

다음, 제 1 보호층(20) 상부에는 투명 도전 물질로 이루어진 제 1 전극(21)이 형성되어 있고, 그 위에 제 2 보호층(22)이 형성되어 있다. 제 2 보호층(22)은 제 1 전극(21)을 일부 드러내는 뱅크(bank)(22a)를 가진다. Next, a first electrode 21 made of a transparent conductive material is formed on the first protective layer 20, and a second protective layer 22 is formed thereon. The second protective layer 22 has a bank 22a partially exposing the first electrode 21.

다음, 제 2 보호층(22)의 뱅크(22a) 위에는 유기 발광층(23)이 형성되어 있고, 그 위에 금속과 같은 불투명 도전 물질로 이루어진 제 2 전극(24)이 형성되어 있다. 여기서, 제 2 전극(24)은 기판 전면에 형성되어 있다. Next, an organic light emitting layer 23 is formed on the bank 22a of the second protective layer 22, and a second electrode 24 made of an opaque conductive material such as metal is formed thereon. Here, the second electrode 24 is formed on the entire substrate.

도 2의 능동행렬 유기전기발광소자에서는 제 1 전극(21)이 투명 도전 물질로 이루어지고, 제 2 전극(24)은 불투명 도전 물질로 이루어지므로, 유기 발광층(23)에서의 빛은 제 1 전극(23)을 통해 하부로 방출되게 된다. 따라서, 후면 발광(bottom emission) 방식을 취하는데, 화소 영역에는 박막 트랜지스터와 스토리지 커패시터 같은 소자들이 형성되어 있어 이들을 제외한 부분으로만 빛이 통과하게 되므로, 개구율이 낮아지게 된다.In the active matrix organic electroluminescent device of FIG. 2, since the first electrode 21 is made of a transparent conductive material, and the second electrode 24 is made of an opaque conductive material, the light in the organic light emitting layer 23 is the first electrode. It is to be discharged downward through 23. Accordingly, a bottom emission method is used, and elements such as thin film transistors and storage capacitors are formed in the pixel area, and thus light passes only to portions except these, so that the aperture ratio is lowered.

최근 개구율을 높이기 위해 전면 발광(top emission) 방식을 취한 유기전기발광소자가 제시되었는데, 전면 발광형의 경우 개구율이 높아 소자의 수명은 향상시킬 수 있으나, 소자 효율이 저하되는 문제가 있다. 또한, 소비 전력은 후면 발광형과 비슷한 값을 가지게 된다.Recently, an organic electroluminescent device having a top emission method has been proposed to increase the aperture ratio. In the case of the top emission type, the aperture ratio is high, and thus the life of the device may be improved, but device efficiency may be deteriorated. In addition, the power consumption has a value similar to that of the back-emitting type.

한편, 이러한 유기전기발광소자는 전류 구동을 하므로, 배선의 저항에 의해 도 3에 도시한 바와 같이 휘도가 불균일하게 나타난다.
On the other hand, since the organic electroluminescent device performs current driving, the luminance is uneven as shown in FIG. 3 due to the resistance of the wiring.

본 발명은 상기한 목적을 해결 하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 개구율이 높고 수명이 긴 능동행렬 유기전기발광소자를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above object, and an object of the present invention is to provide an active matrix organic electroluminescent device having a high aperture ratio and a long lifetime.

본 발명의 다른 목적은 발광 효율을 향상시켜 소비 전력을 감소시킬 수 있는 능동행렬 유기전기발광소자를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an active matrix organic electroluminescent device which can reduce power consumption by improving luminous efficiency.

본 발명의 또 다른 목적은 균일한 휘도를 가지는 능동행렬 유기전기발광소자를 제공하는 것이다.
Still another object of the present invention is to provide an active matrix organic electroluminescent device having a uniform brightness.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 능동행렬 유기전기발광소자에 서는 투명한 절연 기판 하면에 박막 트랜지스터가 형성되어 있으며, 박막 트랜지스터와 연결되어 있고 투명한 제 1 전극이 형성되어 있다. 제 1 전극 하부에는 유기 발광층이 형성되어 있고, 유기 발광층 하부에 불투명한 제 2 전극이 형성되어 있다. 다음, 기판의 상면에는 제 1 확산 필름이 배치되어 있고, 그 위에 원편광자가 배치되어 있다.In the active matrix organic electroluminescent device according to the present invention for achieving the above object, a thin film transistor is formed on a lower surface of a transparent insulating substrate, is connected to the thin film transistor, and a transparent first electrode is formed. An organic emission layer is formed below the first electrode, and an opaque second electrode is formed below the organic emission layer. Next, a first diffusion film is disposed on the upper surface of the substrate, and a circular polarizer is disposed thereon.

여기서, 제 1 확산 필름과 원편광자 사이에 차례로 배치되어 있는 제 1 프리즘 시트와 제 2 프리즘 시트, 제 2 확산 필름을 더 포함할 수 있으며, 또는 유기 발광층과 제 2 전극 사이에 유기 발광층과 굴절률이 다른 절연층을 더 포함할 수도 있다.The first prism sheet, the second prism sheet, and the second diffusion film may be further disposed between the first diffusion film and the circular polarizer, or the organic emission layer and the refractive index may be interposed between the organic emission layer and the second electrode. It may further include another insulating layer.

본 발명의 다른 능동행렬 유기전기발광소자에서는 투명한 절연 기판 상부에 박막 트랜지스터가 형성되어 있으며, 박막 트랜지스터와 연결되어 있고 불투명한 제 1 전극이 형성되어 있다. 이어, 제 1 전극 상부에는 유기 발광층이 형성되어 있으며, 유기 발광층 상부에 투명한 제 2 전극이 형성되어 있다. 다음, 제 2 전극 상부에는 보호층이 형성되어 있고, 그 위에 제 1 확산 필름과 제 1 프리즘 시트, 제 2 프리즘 시트, 그리고 제 2 확산 필름이 차례로 배치되어 있다.In another active matrix organic electroluminescent device of the present invention, a thin film transistor is formed on a transparent insulating substrate, and a first electrode which is connected to the thin film transistor and is opaque is formed. Subsequently, an organic emission layer is formed on the first electrode, and a transparent second electrode is formed on the organic emission layer. Next, a protective layer is formed on the upper portion of the second electrode, and the first diffusion film, the first prism sheet, the second prism sheet, and the second diffusion film are sequentially disposed thereon.

여기서, 제 1 프리즘 시트와 제 2 프리즘 시트는 프리즘 형태가 수직을 이루도록 배치되어 있는 것이 좋다.Here, the first prism sheet and the second prism sheet are preferably arranged so that the prism shape is perpendicular to each other.

또한, 제 1 확산필름은 미립자 수지를 포함하며, 투명한 폴리카보네이트와 폴리에스테르 중의 하나로 이루어질 수 있다.In addition, the first diffusion film includes a particulate resin and may be made of one of a transparent polycarbonate and a polyester.

본 발명에 따른 또 다른 능동행렬 유기전기발광소자에서는 기판 상부에 박막 트랜지스터가 형성되어 있고, 스토리지 커패시터가 박막 트랜지스터와 연결되어 있다. 이어, 제 1 보호층이 박막 트랜지스터와 스토리지 커패시터를 덮고 있으며, 제 1 보호층 상부에 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 제 1 전극이 형성되어 있다. 다음, 제 1 전극 상부에는 제 1 전극을 드러내는 뱅크를 가지는 제 2 보호층이 형성되어 있고, 뱅크 상부에 유기 발광층이 형성되어 있다. 다음, 유기 발광층 상부에 투명한 도전 물질로 이루어진 제 2 전극이 형성되어 있으며, 제 2 전극 상부에 제 3 보호층과 제 4 보호층이 차례로 형성되어 있는데, 제 4 보호층은 표면이 요철 형태로 이루어져 있다.In another active matrix organic electroluminescent device according to the present invention, a thin film transistor is formed on a substrate, and a storage capacitor is connected to the thin film transistor. Subsequently, a first protective layer covers the thin film transistor and the storage capacitor, and a first electrode connected to the thin film transistor is formed on the first protective layer. Next, a second protective layer having a bank exposing the first electrode is formed on the first electrode, and an organic light emitting layer is formed on the bank. Next, a second electrode made of a transparent conductive material is formed on the organic light emitting layer, and a third protective layer and a fourth protective layer are sequentially formed on the second electrode, and the fourth protective layer has an uneven surface. have.

여기서, 요철은 삼각형 형태로 이루어질 수도 있고, 또는 반구 형태로 이루어질 수도 있다.Here, the unevenness may be made in the form of a triangle, or may be made in the shape of a hemisphere.

또한, 제 2 전극은 인듐-틴-옥사이드로 이루어질 수 있다.In addition, the second electrode may be made of indium tin oxide.

본 발명에 따른 능동행렬 유기전기발광소자의 제조 방법에서는 기판 상부에 박막 트랜지스터를 형성하고, 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 스토리지 커패시터를 형성한다. 이어, 박막 트랜지스터와 스토리지 커패시터 상부에 제 1 보호층을 형성한 후, 그 위에 불투명 도전 물질로 박막 트랜지스터와 연결되는 제 1 전극을 형성한다. 다음, 제 1 전극 상부에 제 1 전극을 드러내는 뱅크를 가지는 제 2 보호층을 형성하고, 뱅크 상부에 유기 발광층을 형성한다. 다음, 유기 발광층 상부에 투명한 도전 물질로 이루어진 제 2 전극을 형성하고, 그 위에 제 3 보호층 및 표면이 요철 형태로 이루어진 제 4 보호층을 각각 형성한다.In the method of manufacturing an active matrix organic electroluminescent device according to the present invention, a thin film transistor is formed on a substrate, and a storage capacitor connected to the thin film transistor is formed. Subsequently, after the first protective layer is formed on the thin film transistor and the storage capacitor, a first electrode connected to the thin film transistor using an opaque conductive material is formed thereon. Next, a second protective layer having a bank exposing the first electrode is formed on the first electrode, and an organic light emitting layer is formed on the bank. Next, a second electrode made of a transparent conductive material is formed on the organic emission layer, and a third passivation layer and a fourth passivation layer each having a concave-convex shape are formed thereon.

본 발명에서, 요철은 플라즈마 애싱을 이용하여 형성할 수 있는데, 이때 요 철은 삼각형 형태를 이룰 수 있다.In the present invention, the unevenness may be formed using plasma ashing, wherein the unevenness may form a triangular shape.

또한, 요철은 플라즈마 애싱 후 열처리함으로써 형성할 수 있는데, 이때 요철은 반구 형태로 이루어질 수 있다.In addition, the unevenness may be formed by heat treatment after plasma ashing, wherein the unevenness may be formed in a hemispherical shape.

한편, 제 2 전극은 인듐-틴-옥사이드로 이루어질 수 있다.Meanwhile, the second electrode may be made of indium tin oxide.

이와 같이, 본 발명에 따른 유기전기발광소자에서는 확산필름을 이용하여 균일한 휘도를 얻을 수 있으며, 이때 프리즘 시트를 더 사용함으로써 정면 방향의 휘도를 높일 수도 있다. 이러한 확산 필름 및 프리즘 시트는 전면 발광 및 후면 발광 방식에 모두 이용할 수 있는데, 전면 발광 방식을 이용할 경우 개구율이 높으며, 수명이 긴 소자를 얻을 수 있다. As described above, in the organic electroluminescent device according to the present invention, uniform luminance may be obtained using a diffusion film, and in this case, the luminance of the front direction may be increased by further using a prism sheet. The diffusion film and the prism sheet can be used for both top emission and back emission methods, and when the top emission method is used, a device having a high aperture ratio and a long lifetime can be obtained.

한편, 전면 발광 방식을 이용할 경우에는 유기 발광층을 보호하기 위해 보호층을 형성하는데, 이때, 일정 두께의 보호층과 요철을 가지는 보호층을 각각 형성하여 정면 방향에서의 휘도를 향상시키고, 발광효율이 높여 소비 전력을 감소시킬 수도 있다.On the other hand, in the case of using the top emission method to form a protective layer to protect the organic light emitting layer, at this time, by forming a protective layer having a predetermined thickness protective layer and irregularities, respectively, to improve the brightness in the front direction, luminous efficiency is improved It can also increase power consumption.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 능동행렬 유기전기발광소자에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, an active matrix organic electroluminescent device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 능동행렬 유기전기발광소자에 대한 단면도이다.4 is a cross-sectional view of an active matrix organic electroluminescent device according to a first embodiment of the present invention.

도시한 바와 같이, 절연 기판(100) 위에 실리콘 산화막과 같은 물질로 이루어진 버퍼층(110)이 형성되어 있고, 그 위에 아일랜드 형태를 가지는 제 1 및 제 2 다결정 실리콘층(121, 122, 123, 125)이 형성되어 있다. 제 1 다결정 실리콘층(121, 122, 123)은 박막 트랜지스터의 액티브층(121)과 불순물이 도핑된 드레인 영역(122)과 소스 영역(123)으로 나누어지고, 제 2 다결정 실리콘층(125)은 커패시터 전극이 된다.As shown, a buffer layer 110 made of a material such as a silicon oxide film is formed on the insulating substrate 100, and the first and second polycrystalline silicon layers 121, 122, 123, and 125 having an island shape thereon are formed thereon. Is formed. The first polycrystalline silicon layers 121, 122, and 123 are divided into an active layer 121 of the thin film transistor, a drain region 122 and a source region 123 doped with impurities, and the second polycrystalline silicon layer 125 is It becomes a capacitor electrode.

다음, 액티브층(121) 상부에는 실리콘 산화막과 같은 물질로 이루어진 게이트 절연막(130)이 형성되어 있고, 그 위에 게이트 전극(131)이 형성되어 있다. Next, a gate insulating layer 130 formed of a material such as a silicon oxide film is formed on the active layer 121, and a gate electrode 131 is formed thereon.

이어, 게이트 전극(131) 위에는 제 1 층간 절연막(140)이 형성되어 게이트 전극(131)과 소스 및 드레인 영역(122, 123) 그리고 커패시터 전극(125)을 덮고 있으며, 커패시터 전극(125) 상부의 제 1 층간 절연막(140) 위에는 파워라인(151)이 형성되어 있다. 여기서, 파워라인(151)은 배선의 형태를 가지고 일 방향으로 길게 연장되어 있으며, 커패시터 전극(125)과 함께 스토리지 커패시터를 이룬다.Subsequently, a first interlayer insulating layer 140 is formed on the gate electrode 131 to cover the gate electrode 131, the source and drain regions 122 and 123, and the capacitor electrode 125, and the upper portion of the capacitor electrode 125. The power line 151 is formed on the first interlayer insulating layer 140. Here, the power line 151 has a form of wiring and extends in one direction and forms a storage capacitor together with the capacitor electrode 125.

다음, 파워라인(151) 상부에는 제 2 층간 절연막(160)이 형성되어 있는데, 제 2 층간 절연막(160)은 제 1 층간 절연막(140)과 함께 제 1 및 제 2 콘택홀(161, 162)을 가지며, 또한 파워라인(151)을 일부 드러내는 제 3 콘택홀(163)을 가진다. 여기서, 제 1 콘택홀(161)은 소스 영역(123)을 드러내고, 제 2 콘택홀(162)은 드레인 영역(122)을 드러낸다.Next, a second interlayer insulating layer 160 is formed on the power line 151. The second interlayer insulating layer 160 is formed along with the first interlayer insulating layer 140 and the first and second contact holes 161 and 162. And a third contact hole 163 partially exposing the power line 151. Here, the first contact hole 161 exposes the source region 123, and the second contact hole 162 exposes the drain region 122.

다음, 제 2 층간 절연막(160) 상부에는 소스 전극(171)과 드레인 전극(172)이 형성되어 있다. 여기서, 소스 전극(171)은 제 1 콘택홀(161)을 통해 소스 영역(123)과 연결되고, 제 3 콘택홀(163)을 통해 파워라인(151)과 연결되며, 드레인 전극(172)은 제 1 콘택홀(161)을 통해 드레인 영역(122)과 연결되어 있다. Next, a source electrode 171 and a drain electrode 172 are formed on the second interlayer insulating layer 160. Here, the source electrode 171 is connected to the source region 123 through the first contact hole 161, and is connected to the power line 151 through the third contact hole 163, and the drain electrode 172 is It is connected to the drain region 122 through the first contact hole 161.

이어, 소스 및 드레인 전극(171, 172) 상부에는 제 1 보호층(180)이 형성되 어 있고, 제 1 보호층(180)은 드레인 전극(172)을 일부 드러내는 제 4 콘택홀(181)을 가진다. Subsequently, a first passivation layer 180 is formed on the source and drain electrodes 171 and 172, and the first passivation layer 180 has a fourth contact hole 181 partially exposing the drain electrode 172. .

다음, 제 1 보호층(180) 상부에는 불투명한 도전 물질로 이루어진 제 1 전극(190)이 형성되어 있고, 그 위에 제 2 보호층(200)이 형성되어 있다. 제 2 보호층(200)은 제 1 전극(190)을 드러내는 뱅크(201)를 가진다. Next, a first electrode 190 made of an opaque conductive material is formed on the first passivation layer 180, and a second passivation layer 200 is formed thereon. The second protective layer 200 has a bank 201 exposing the first electrode 190.

다음, 제 2 보호층(200)의 뱅크(201) 위에는 유기 발광층(210)이 형성되어 있고, 그 위에 투명 도전 물질로 이루어진 제 2 전극(220)이 형성되어 있다. 여기서, 제 2 전극(220)은 기판 전면에 형성되어 있으며, 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide : 이하 ITO라고 한다)와 같은 물질로 이루어질 수 있다. Next, an organic emission layer 210 is formed on the bank 201 of the second protective layer 200, and a second electrode 220 made of a transparent conductive material is formed thereon. Here, the second electrode 220 is formed on the entire surface of the substrate, and may be made of a material such as indium-tin-oxide (hereinafter referred to as ITO).

이어, 제 2 전극(220) 상부에는 제 3 보호층(230)이 형성되어 있는데, 제 3 보호층(230)은 수분에 취약한 유기 발광층(210)을 보호하는 역할을 한다. 제 3 보호층(230)은 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene)이나 포토 아크릴(photo-acryl), 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막과 같은 물질로 이루어질 수 있으며, 이러한 물질은 유기 발광층(210)과 굴절율 및 광흡수계수가 다르기 때문에 두께에 따라 발광 스펙트럼(spectrum)이 달라진다. 따라서, 색순도 및 휘도를 높일 수 있는 두께를 가지도록 하는 것이 바람직하다.Subsequently, a third passivation layer 230 is formed on the second electrode 220. The third passivation layer 230 serves to protect the organic light emitting layer 210 which is vulnerable to moisture. The third protective layer 230 may be made of a material such as benzocyclobutene, photo-acryl, silicon oxide film, or silicon nitride film. The material may be formed of the organic light emitting layer 210 and the refractive index and the light absorption coefficient. Since the light emission spectrum varies depending on the thickness. Therefore, it is desirable to have a thickness capable of increasing color purity and luminance.

다음, 제 3 보호층(230) 상부에는 제 4 보호층(240)이 형성되어 있으며, 제 4 보호층(240)은 상부면에 삼각형 모양과 같은 요철을 가진다. 이러한 요철은 유기 발광층(210)에서 방사형으로 퍼져 나온 빛을 굴절시켜 주 시야각 방향, 즉 정면 방향으로 모아주는 역할을 하여, 정면 방향에서 휘도를 높일 수 있도록 한다. Next, a fourth passivation layer 240 is formed on the third passivation layer 230, and the fourth passivation layer 240 has irregularities such as a triangular shape on the top surface. The unevenness serves to collect the light emitted radially from the organic light emitting layer 210 to collect in the main viewing angle direction, that is, the front direction, so as to increase the luminance in the front direction.                     

이와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에서는 제 1 전극(190)이 투명 도전 물질로 이루어지고 제 2 전극(220)은 불투명 도전 물질로 이루어지므로, 유기 발광층(210)에서의 빛이 제 2 전극(220)을 통해 상부로 방출하는 전면 발광을 이루게 된다. 따라서, 개구율이 높으며, 수명이 긴 소자를 얻을 수 있다. 이때, 제 2 전극(220) 상부에 일정 두께의 제 3 보호층(230)과 요철을 가지는 제 4 보호층(240)이 각각 형성되어 있어, 빛을 정면 방향으로 모아주므로 휘도가 향상되고, 발광효율이 높아져 소비 전력을 감소시킬 수 있다.As described above, in the first embodiment of the present invention, since the first electrode 190 is made of a transparent conductive material and the second electrode 220 is made of an opaque conductive material, light from the organic light emitting layer 210 is transmitted to the second electrode. Through the 220, the top emission is achieved. Therefore, an element having a high aperture ratio and a long lifetime can be obtained. At this time, a third protective layer 230 having a predetermined thickness and a fourth protective layer 240 having irregularities are formed on the second electrode 220, and the light is collected in the front direction, thereby improving luminance and emitting light. Higher efficiency can reduce power consumption.

이러한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 능동행렬 유기전기발광소자의 제조 과정을 도 5a 내지 도 5j에 도시하였다.5A to 5J illustrate the manufacturing process of the active matrix organic electroluminescent device according to the first embodiment of the present invention.

도 5a에 도시한 바와 같이, 절연 기판(100) 위에 버퍼층(110)을 형성하고 그 위에 다결정 실리콘을 형성한 후, 이를 패터닝하여 아일랜드 형태를 가지는 반도체층(126, 127)을 형성한다.As shown in FIG. 5A, after the buffer layer 110 is formed on the insulating substrate 100 and polycrystalline silicon is formed thereon, the semiconductor layers 126 and 127 having an island shape are formed by patterning the buffer layer 110.

다음, 도 5b에 도시한 바와 같이 반도체층(126, 127) 상부에 실리콘 산화막과 같은 절연막을 증착하고, 그 위에 금속과 같은 도전 물질을 증착한 후 패터닝함으로써, 게이트 절연막(130) 및 게이트 전극(131)을 형성한다. 이어, 게이트 전극(131)을 마스크로 반도체층(도 5a의 126, 127)에 이온 도핑과 같은 방법으로 불순물을 주입하여, 불순물이 주입되지 않은 액티브층(121)과 불순물이 주입된 드레인 영역(122) 및 소스 영역(123) 그리고 커패시터 전극(125)을 형성한다. 여기서, 드레인 영역(122)과 소스 영역(123)은 액티브층(121) 양측에 위치한다.Next, as illustrated in FIG. 5B, an insulating film such as a silicon oxide film is deposited on the semiconductor layers 126 and 127, and a conductive material such as a metal is deposited thereon, followed by patterning, thereby forming the gate insulating film 130 and the gate electrode ( 131). Subsequently, impurities are implanted into the semiconductor layers (126 and 127 of FIG. 5A) using the gate electrode 131 as a mask, such as by ion doping, so that the active layer 121 where the impurities are not implanted and the drain region where the impurities are implanted ( 122 and source region 123 and capacitor electrode 125 are formed. Here, the drain region 122 and the source region 123 are located at both sides of the active layer 121.

다음, 도 5c에 도시한 바와 같이 게이트 전극(131) 위에 제 1 층간 절연막(140)을 형성하고, 그 위에 금속과 같은 도전 물질을 증착한 후 패터닝하여 커패시터 전극(125) 상부에 파워라인(151)을 형성한다. 파워라인(151)은 커패시터 전극(125)과 스토리지 커패시터를 이룬다.Next, as illustrated in FIG. 5C, a first interlayer insulating layer 140 is formed on the gate electrode 131, a conductive material such as a metal is deposited on the gate electrode 131, and then patterned to form a power line 151 on the capacitor electrode 125. ). The power line 151 forms a storage capacitor with the capacitor electrode 125.

이어, 도 5d에 도시한 바와 같이 파워라인(151) 상부에 제 2 층간 절연막(160)을 형성하고 패터닝함으로써, 제 1 내지 제 3 콘택홀(161, 162, 163)을 형성한다. 제 1 콘택홀(161)은 소스 영역(123)을 드러내고, 제 2 콘택홀(162)은 드레인 영역(122)을 드러내며, 제 3 콘택홀(163)은 파워라인(125)을 각각 드러낸다. Subsequently, as illustrated in FIG. 5D, the first to third contact holes 161, 162 and 163 are formed by forming and patterning the second interlayer insulating layer 160 on the power line 151. The first contact hole 161 exposes the source region 123, the second contact hole 162 exposes the drain region 122, and the third contact hole 163 exposes the power line 125, respectively.

다음, 도 5e에 도시한 바와 같이 제 2 층간 절연막(160) 상부에 금속과 같은 도전 물질을 증착하고 패터닝하여, 드레인 전극(172)과 소스 전극(171)을 형성한다. 소스 전극(171)은 제 1 및 제 3 콘택홀(161, 163)을 통해 소스 영역(123) 및 파워라인(151)과 각각 연결되고, 드레인 전극(172)은 제 2 콘택홀(162)을 통해 드레인 영역(122)과 연결된다.Next, as illustrated in FIG. 5E, a conductive material such as a metal is deposited and patterned on the second interlayer insulating layer 160 to form a drain electrode 172 and a source electrode 171. The source electrode 171 is connected to the source region 123 and the power line 151 through the first and third contact holes 161 and 163, respectively, and the drain electrode 172 opens the second contact hole 162. It is connected to the drain region 122 through.

다음, 도 5f에 도시한 바와 같이 드레인 전극(172)과 소스 전극(171) 상부에 제 1 보호층(180)을 형성하고, 이를 패터닝하여 드레인 전극(172)을 드러내는 제 4 콘택홀(181)을 형성한다. Next, as illustrated in FIG. 5F, a fourth protective hole 181 is formed on the drain electrode 172 and the source electrode 171, and is patterned to expose the drain electrode 172. To form.

이어, 도 5g에 도시한 바와 같이 투명 도전 물질을 증착하고 패터닝함으로써, 제 4 콘택홀(181)을 통해 드레인 전극(172)과 연결되는 제 1 전극(190)을 형성한다. 여기서, 제 1 전극(190)은 금속과 같은 불투명한 도전 물질로 이루어진다.Subsequently, as illustrated in FIG. 5G, a transparent conductive material is deposited and patterned to form a first electrode 190 connected to the drain electrode 172 through the fourth contact hole 181. Here, the first electrode 190 is made of an opaque conductive material such as metal.

다음, 도 5h에 도시한 바와 같이 제 1 전극(190) 상부에 제 2 보호층(200)을 형성하고 패터닝하여, 제 1 전극(190)을 드러내는 뱅크(201)를 형성한다. Next, as shown in FIG. 5H, the second protective layer 200 is formed and patterned on the first electrode 190 to form a bank 201 exposing the first electrode 190.

다음, 도 5i에 도시한 바와 같이 제 2 보호층(200)의 뱅크(201) 상부에 유기 발광층(210)을 성막하고, 그 위에 ITO와 같은 투명 도전 물질을 증착하여 제 2 전극(220)을 형성한다. Next, as illustrated in FIG. 5I, an organic emission layer 210 is formed on the bank 201 of the second protective layer 200, and a transparent conductive material such as ITO is deposited thereon to form the second electrode 220. Form.

이어, 도 5j에 도시한 바와 같이 제 3 보호층(230)을 형성하고, 그 위에 제 4 보호층(240)을 형성한다. 이때, 제 4 보호층(240)은 표면에 요철을 가지는데, 이러한 요철의 형성은 플라즈마 애싱(plasma ahing)과 같은 방법으로 제 4 보호층(240) 표면의 일부를 제거함으로써 이루어질 수 있다. Subsequently, as shown in FIG. 5J, a third protective layer 230 is formed, and a fourth protective layer 240 is formed thereon. In this case, the fourth passivation layer 240 has irregularities on the surface. The formation of the irregularities may be performed by removing a part of the surface of the fourth passivation layer 240 by a method such as plasma ahing.

앞선 실시예에서는 상부면에 삼각형 형태의 요철을 가지도록 하였으나, 다른 모양으로 형성할 수도 있다.In the above embodiment, the upper surface has a concave-convex shape of a triangular shape, but may be formed in another shape.

이러한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 능동행렬 유기전기발광소자에 대하여 도 6에 도시하였다. 여기서, 제 4 보호층 부분을 제외하고 앞선 제 1 실시예와 동일한 구조를 가지므로 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.An active matrix organic electroluminescent device according to a second embodiment of the present invention is illustrated in FIG. 6. Here, since it has the same structure as the first embodiment except for the fourth protective layer portion, a description thereof will be omitted.

도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에서는 제 4 보호층(250)의 표면이 반구 형태의 요철을 가지는데, 이러한 반구 형태의 요철은 유기 물질로 제 4 보호층(250)을 형성하고 플라즈마 애싱과 같은 방법으로 요철을 제 4 보호층(250)의 표면을 일부 제거한 다음, 열처리를 함으로써 요철 표면이 완만하게 되도록 하여 형성할 수 있다.As shown in FIG. 6, in the second embodiment of the present invention, the surface of the fourth protective layer 250 has hemispherical irregularities, and the hemispherical irregularities are organic materials and the fourth protective layer 250 is formed. And the surface of the fourth protective layer 250 may be partially removed by a method such as plasma ashing, and then heat-treated to form the surface of the irregularities.

한편, 원편광자(circular polarizer) 이용하여 유기전기발광소자의 대비비(contrast ratio)를 향상시킴으로써, 색이 쉽게 보이는 정도인 시인성(視認性 : visibility)을 향상시킬 수 있다.On the other hand, by improving the contrast ratio of the organic electroluminescent device by using a circular polarizer (visibility: visibility, which is the degree to which the color is easily seen) can be improved.

이러한 제 3 실시예를 도 7에 도시하였는데, 도 7은 후면 발광 방식으로서 빛이 나오는 부분이 상부로 오도록 배치한 것을 도시하였다.This third embodiment is shown in FIG. 7, which shows that the light emitting part is arranged upward as a back emission method.

도시한 바와 같이, 투명한 기판(310) 하부에 다수의 박막 트랜지스터(T1)가 형성되어 있는데, 박막 트랜지스터(T1)는 게이트 전극(321)과 소스 및 드레인 전극(322, 323)으로 이루어지고, 다결정 실리콘으로 이루어진 액티브층(331)을 포함한다. 여기서, 기판(310)은 유리 기판과 같이 투명한 기판으로 이루어지는 것이 바람직하다.As illustrated, a plurality of thin film transistors T1 are formed under the transparent substrate 310. The thin film transistors T1 are formed of a gate electrode 321 and source and drain electrodes 322 and 323, and are polycrystalline. An active layer 331 made of silicon is included. Here, the substrate 310 is preferably made of a transparent substrate, such as a glass substrate.

다음, 박막 트랜지스터(T1) 하부에는 박막 트랜지스터(T1)의 드레인 전극(323)을 드러내는 콘택홀을 가지는 보호층(340)이 형성되어 있고, 보호층(340) 하부에 제 1 전극(351)이 형성되어 있다. 제 1 전극(351)은 드레인 전극(323)과 연결되어 있으며, 정공 공급층으로서 투명 도전 물질로 이루어지는 것이 바람직한데, ITO와 같은 물질로 이루어질 수 있다. Next, a protective layer 340 having a contact hole exposing the drain electrode 323 of the thin film transistor T1 is formed under the thin film transistor T1, and a first electrode 351 is formed under the protective layer 340. Formed. The first electrode 351 is connected to the drain electrode 323 and is preferably made of a transparent conductive material as the hole supply layer, and may be made of a material such as ITO.

이어, 제 1 전극(351) 하부에는 유기 발광층(360)이 형성되어 있다. 여기서는 유기 발광층(360)이 기판(310) 전면에 걸쳐 형성되어 있는 것으로 도시하였으나, 유기 발광층(360)은 제 1 전극(351)과 일대일 대응하도록 패터닝되어 있을 수도 있다. Subsequently, an organic emission layer 360 is formed under the first electrode 351. Although the organic light emitting layer 360 is illustrated as being formed over the entire surface of the substrate 310, the organic light emitting layer 360 may be patterned to correspond one-to-one with the first electrode 351.

다음, 유기 발광층(360) 하부에 금속과 같은 불투명한 도전 물질로 이루어진 제 2 전극(370)이 형성되어 있는데, 제 2 전극(370)은 유기 발광층(360)에 전자를 공급한다.Next, a second electrode 370 made of an opaque conductive material such as a metal is formed under the organic light emitting layer 360, and the second electrode 370 supplies electrons to the organic light emitting layer 360.

한편, 기판(310) 상부에는 유기 발광층(360)에서 나온 빛을 산란시켜 집광하는 확산필름(380)이 배치되어 있으며, 확산필름(380) 상부에는 유기전기발광소자의 대비비를 향상시켜 시인성을 높이기 위한 원편광자(390)가 배치되어 있다. 여기서, 확산필름(380)은 투명한 폴리카보네이트(polycarbonate)나 폴리에스테르(poly-ester) 필름 위에 광을 산란 및 집광하기 위한 미립자 수지가 코팅되어 있을 것을 이용할 수 있다.Meanwhile, a diffusion film 380 is disposed on the substrate 310 to scatter and collect light emitted from the organic light emitting layer 360. The diffusion film 380 is disposed on the diffusion film 380 to improve visibility of the organic electroluminescent device. The circularly polarized light 390 for raising is arrange | positioned. Here, the diffusion film 380 may be coated with a particulate resin for scattering and condensing light on a transparent polycarbonate or a polyester film.

따라서, 본 발명의 제 3 실시예에서는 원편광자와 기판 사이에 확산필름을 배치하여 균일한 휘도를 가지도록 할 수 있다.Therefore, in the third embodiment of the present invention, the diffusion film may be disposed between the circular polarizer and the substrate to have uniform luminance.

또한, 원편광자와 유기전기발광소자의 기판 사이에 프리즘 시트를 배치하여 빛을 더욱 집광할 수도 있는데, 이러한 본 발명의 제 4 실시예를 도 8에 도시하였다. 본 발명의 제 4 실시예는 앞선 제 3 실시예와 거의 유사한 구조를 가지므로, 동일한 부분에 대해서는 같은 부호를 사용하고 이에 대한 설명은 생략한다.In addition, a prism sheet may be disposed between the circular polarizer and the substrate of the organic electroluminescent device to further collect the light. A fourth embodiment of the present invention is illustrated in FIG. 8. Since the fourth embodiment of the present invention has a structure substantially similar to the foregoing third embodiment, the same reference numerals are used for the same parts, and description thereof will be omitted.

도시한 바와 같이, 투명한 절연 기판(310) 상부에 제 1 확산필름(410)이 배치되어 있고, 그 위에 제 1 프리즘 시트(420)와 제 2 프리즘 시트(430)가 각각 배치되어 있다. 여기서, 제 1 확산필름(410)은 프리즘 시트(420, 430)가 기판(310)과 직접 접촉하여 발생되는 스크래치(scratch)와 같은 불량을 방지하고, 유기 발광층(360)에서 나온 빛을 고르게 확산시키는 기능을 한다. 또한, 제 1 및 제 2 프리즘 시트(420, 430)는 상부면이 프리즘 모양을 하여 빛을 시트에 수직한 방향으로 모으는 역할을 하는데, 이때, 제 1 및 제 2 프리즘 시트(420, 430)는 프리즘 형태가 서로 수직을 이루도록 배치된다.As illustrated, the first diffusion film 410 is disposed on the transparent insulating substrate 310, and the first prism sheet 420 and the second prism sheet 430 are disposed thereon, respectively. Here, the first diffusion film 410 prevents defects such as scratches generated by the prism sheets 420 and 430 in direct contact with the substrate 310, and evenly diffuses the light emitted from the organic light emitting layer 360. To function. In addition, the first and second prism sheets 420 and 430 serve to collect light in a direction perpendicular to the sheet with the upper surface of the prism shape, wherein the first and second prism sheets 420 and 430 The prism shapes are arranged perpendicular to each other.

다음, 제 2 프리즘 시트(430) 상부에는 제 2 확산필름(440)과 원편광자(450)가 차례로 배치되어 있다. 제 2 확산필름(440)은 제 2 프리즘 시트(430)를 통과한 빛을 산란 및 집광시켜 균일한 휘도를 가지도록 한다. Next, the second diffusion film 440 and the circular polarizer 450 are sequentially disposed on the second prism sheet 430. The second diffusion film 440 scatters and condenses the light passing through the second prism sheet 430 to have a uniform brightness.

여기서, 상부의 원편광자(450)는 생략할 수도 있다.Here, the upper circular polarizer 450 may be omitted.

한편, 본 발명의 제 5 실시예를 도 9에 도시하였는데, 여기서는 유기 발광층(360)과 제 2 전극(370) 사이에 굴절률이 다른 절연층(510)을 삽입하여, 외부 광원에 의한 후방 휘도 증가를 없앨 수도 있다.Meanwhile, a fifth embodiment of the present invention is illustrated in FIG. 9, wherein an insulating layer 510 having a different refractive index is inserted between the organic light emitting layer 360 and the second electrode 370 to increase rear luminance by an external light source. You can also eliminate

앞선 제 3 내지 제 5 실시예에서는 후면 발광일 경우에 대하여 설명하였으나, 이를 전면 발광 방식에도 적용할 수 있다.In the above-described third to fifth embodiments, the case of the back light emission has been described, but this may also be applied to the top light emission method.

이러한 본 발명의 제 6 실시예를 도 10에 도시하였는데, 도시한 바와 같이 투명한 제 1 기판(610) 위에 다수의 박막 트랜지스터(T2)가 형성되어 있으며, 박막 트랜지스터(T2)는 게이트 전극(621)과 소스 및 드레인 전극(622, 623)으로 이루어지고, 다결정 실리콘으로 이루어진 액티브층(631)을 포함한다. 여기서, 제 1 기판(610)은 유리 기판과 같이 투명한 기판으로 이루어질 수도 있고, 불투명한 기판으로 이루어질 수도 있다.10 illustrates a sixth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 10, a plurality of thin film transistors T2 are formed on a transparent first substrate 610, and the thin film transistors T2 are formed on the gate electrode 621. And source and drain electrodes 622 and 623, and an active layer 631 made of polycrystalline silicon. Here, the first substrate 610 may be made of a transparent substrate, such as a glass substrate, or may be made of an opaque substrate.

다음, 박막 트랜지스터(T2) 상부에는 박막 트랜지스터(T2)의 드레인 전극(623)을 드러내는 콘택홀을 가지는 보호층(640)이 형성되어 있고, 보호층(640) 상부에 제 1 전극(651)이 형성되어 있다. 제 1 전극(651)은 드레인 전극(623)과 연결되어 있으며, 금속과 같이 불투명한 도전 물질로 이루어지는 것이 바람직하다.Next, a protective layer 640 having a contact hole exposing the drain electrode 623 of the thin film transistor T2 is formed on the thin film transistor T2, and the first electrode 651 is formed on the protective layer 640. Formed. The first electrode 651 is connected to the drain electrode 623 and is preferably made of an opaque conductive material such as metal.

이어, 제 1 전극(651) 상부에는 유기 발광층(660)이 형성되어 있다. 여기서는 유기 발광층(660)이 기판 전면에 걸쳐 형성되어 있는 것으로 도시하였으나, 유기 발광층(660)은 제 1 전극(651)과 일대일 대응하도록 패터닝되어 있을 수도 있 다. Next, an organic emission layer 660 is formed on the first electrode 651. Although the organic light emitting layer 660 is illustrated as being formed over the entire surface of the substrate, the organic light emitting layer 660 may be patterned to correspond one-to-one with the first electrode 651.

다음, 유기 발광층(660) 상부에 투명한 도전 물질로 이루어진 제 2 전극(670)이 형성되어 있는데, 제 2 전극(670)은 ITO와 같은 물질로 이루어질 수 있다.Next, a second electrode 670 made of a transparent conductive material is formed on the organic emission layer 660, and the second electrode 670 may be made of a material such as ITO.

다음, 제 2 전극(670) 상부에는 유기 발광층(660)을 보호하기 위한 버퍼층(680)이 형성되어 있으며, 그 위에 투명한 제 2 기판(690)이 배치되어 있는데, 이는 생략할 수도 있다.Next, a buffer layer 680 for protecting the organic emission layer 660 is formed on the second electrode 670, and a transparent second substrate 690 is disposed thereon, which may be omitted.

이어, 제 2 기판(690) 상부에 제 1 확산필름(710)이 배치되어 있고, 그 위에 제 1 프리즘 시트(720)와 제 2 프리즘 시트(730)가 각각 배치되어 있다. 여기서, 제 1 및 제 2 프리즘 시트(720, 730)는 프리즘 형태가 서로 수직을 이루도록 배치되어 있다.Subsequently, the first diffusion film 710 is disposed on the second substrate 690, and the first prism sheet 720 and the second prism sheet 730 are disposed thereon, respectively. Here, the first and second prism sheets 720 and 730 are arranged such that the prism shapes are perpendicular to each other.

다음, 제 2 프리즘 시트(730) 상부에는 제 2 확산필름(740)이 배치되어 있다. 도시하지 않았지만, 제 2 확산필름(730) 상부에는 원편광자가 더 배치되어 있을 수도 있다.Next, a second diffusion film 740 is disposed on the second prism sheet 730. Although not shown, a circular polarizer may be further disposed on the second diffusion film 730.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 이상 다양한 변화와 변형이 가능하다.
The present invention is not limited to the above embodiments, and various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

본 발명에 따른 유기전기발광소자에서는 확산필름을 이용하여 균일한 휘도를 얻을 수 있으며, 이때 프리즘 시트를 더 사용함으로써 정면 방향의 휘도를 높일 수 도 있다. In the organic electroluminescent device according to the present invention, a uniform brightness can be obtained using a diffusion film, and the brightness of the front direction can be increased by further using a prism sheet.

이러한 확산 필름 및 프리즘 시트는 전면 발광 및 후면 발광 방식에 모두 이용할 수 있는데, 전면 발광 방식을 이용할 경우 개구율이 높으며, 수명이 긴 소자를 얻을 수 있다. The diffusion film and the prism sheet can be used for both top emission and back emission methods, and when the top emission method is used, a device having a high aperture ratio and a long lifetime can be obtained.

한편, 전면 발광 방식을 이용할 경우에는 유기 발광층을 보호하기 위해 보호층을 형성하는데, 이때, 일정 두께의 보호층과 요철을 가지는 보호층을 각각 형성하여 정면 방향에서의 휘도를 향상시키고, 발광효율이 높여 소비 전력을 감소시킬 수도 있다.
On the other hand, in the case of using the top emission method to form a protective layer to protect the organic light emitting layer, at this time, by forming a protective layer having a predetermined thickness protective layer and irregularities, respectively, to improve the brightness in the front direction, luminous efficiency is improved It can also increase power consumption.

Claims (16)

투명한 절연 기판;Transparent insulating substrates; 상기 기판의 하면에 형성되어 있는 박막 트랜지스터;A thin film transistor formed on the bottom surface of the substrate; 상기 박막 트랜지스터와 연결되어 있고 투명한 제 1 전극;A first electrode connected to the thin film transistor and transparent; 상기 제 1 전극 하부의 유기 발광층;An organic emission layer below the first electrode; 상기 유기 발광층 하부에 형성되어 있으며 불투명한 제 2 전극;An opaque second electrode formed under the organic light emitting layer; 상기 기판의 상면에 배치되어 있는 제 1 확산 필름;A first diffusion film disposed on an upper surface of the substrate; 상기 제 1 확산 필름 상부에 배치되어 있는 원편광자A circular polarizer disposed on the first diffusion film 를 포함하는 능동행렬 유기전기발광소자.Active matrix organic electroluminescent device comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 확산 필름과 원편광자 사이에 차례로 배치되어 있는 제 1 프리즘 시트와 제 2 프리즘 시트, 제 2 확산 필름을 더 포함하는 능동행렬 유기전기발광소자.An active matrix organic electroluminescent device further comprising a first prism sheet, a second prism sheet, and a second diffusion film, which are sequentially disposed between the first diffusion film and the circular polarizer. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 유기 발광층과 제 2 전극 사이에 상기 유기 발광층과 굴절률이 다른 절 연층을 더 포함하는 능동행렬 유기전기발광소자.And an insulation layer having a refractive index different from that of the organic light emitting layer between the organic light emitting layer and the second electrode. 투명한 절연 기판;Transparent insulating substrates; 상기 기판의 상부에 형성되어 있는 박막 트랜지스터;A thin film transistor formed on the substrate; 상기 박막 트랜지스터와 연결되어 있고 불투명한 제 1 전극;An opaque first electrode connected to the thin film transistor; 상기 제 1 전극 상부의 유기 발광층;An organic light emitting layer on the first electrode; 상기 유기 발광층 상부에 형성되어 있으며 투명한 제 2 전극;A second electrode formed on the organic emission layer and transparent; 상기 제 2 전극 상부의 보호층;A protective layer on the second electrode; 상기 보호층 위에 배치되어 있는 제 1 확산 필름;A first diffusion film disposed on the protective layer; 상기 제 1 확산 필름 상부에 배치되어 있는 제 1 프리즘 시트;A first prism sheet disposed on the first diffusion film; 상기 제 1 프리즘 시트 상부의 제 2 프리즘 시트A second prism sheet on the first prism sheet 상기 제 2 프리즘 시트 상부에 배치되어 있는 제 2 확산 필름A second diffusion film disposed on the second prism sheet 을 포함하는 능동행렬 유기전기발광소자.Active matrix organic electroluminescent device comprising a. 제 2 항 또는 제 4 항에 있어서,The method according to claim 2 or 4, 상기 제 1 프리즘 시트와 제 2 프리즘 시트는 프리즘 형태가 수직을 이루도록 배치되어 있는 능동행렬 유기전기발광소자.And the first prism sheet and the second prism sheet are arranged such that the prism shape is perpendicular to each other. 제 2 항 또는 제 4 항에 있어서,The method according to claim 2 or 4, 상기 제 1 확산필름은 미립자 수지를 포함하며, 투명한 폴리카보네이트와 폴리에스테르 중의 하나로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자.The first diffusion film comprises a particulate resin, and an active matrix organic electroluminescent device comprising one of transparent polycarbonate and polyester. 기판;Board; 상기 기판 상부에 형성되어 있는 박막 트랜지스터;A thin film transistor formed on the substrate; 상기 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 스토리지 커패시터;A storage capacitor connected to the thin film transistor; 상기 박막 트랜지스터와 스토리지 커패시터를 덮고 있는 제 1 보호층;A first protective layer covering the thin film transistor and the storage capacitor; 상기 제 1 보호층 상부에 형성되고 상기 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 제 1 전극;A first electrode formed on the first passivation layer and connected to the thin film transistor; 상기 제 1 전극 상부에 상기 제 1 전극을 드러내는 뱅크를 가지는 제 2 보호층;A second protective layer having a bank overlying the first electrode to expose the first electrode; 상기 뱅크 상부에 형성되어 있는 유기 발광층;An organic light emitting layer formed on the bank; 상기 유기 발광층 상부에 형성되고 투명한 도전 물질로 이루어진 제 2 전극;A second electrode formed on the organic emission layer and made of a transparent conductive material; 상기 제 2 전극 상부의 제 3 보호층;A third protective layer over the second electrode; 상기 제 3 보호층 상부에 형성되어 있으며, 표면이 요철 형태로 이루어진 제 4 보호층A fourth protective layer formed on the third protective layer, the surface of the fourth protective layer 을 포함하는 능동행렬 유기전기발광소자.Active matrix organic electroluminescent device comprising a. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 요철은 삼각형 형태로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자.The irregularities are triangular active matrix organic electroluminescent device. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 요철은 반구 형태로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자.The unevenness is an active matrix organic electroluminescent device consisting of a hemisphere. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제 2 전극은 인듐-틴-옥사이드로 이루어진 능동행렬 유기전기발광소자.The second electrode is an active matrix organic electroluminescent device consisting of indium tin oxide. 기판 상부에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계;Forming a thin film transistor on the substrate; 상기 박막 트랜지스터와 연결되어 있는 스토리지 커패시터를 형성하는 단계;Forming a storage capacitor connected to the thin film transistor; 상기 박막 트랜지스터와 스토리지 커패시터 상부에 제 1 보호층을 형성하는 단계;Forming a first passivation layer on the thin film transistor and the storage capacitor; 상기 제 1 보호층 상부에 불투명 도전 물질로 상기 박막 트랜지스터와 연결되는 제 1 전극을 형성하는 단계;Forming a first electrode connected to the thin film transistor with an opaque conductive material on the first protective layer; 상기 제 1 전극 상부에 상기 제 1 전극을 드러내는 뱅크를 가지는 제 2 보호 층을 형성하는 단계;Forming a second protective layer on the first electrode, the second protective layer having a bank exposing the first electrode; 상기 뱅크 상부에 유기 발광층을 형성하는 단계;Forming an organic emission layer on the bank; 상기 유기 발광층 상부에 투명한 도전 물질로 이루어진 제 2 전극을 형성하는 단계;Forming a second electrode made of a transparent conductive material on the organic emission layer; 상기 제 2 전극 상부에 제 3 보호층을 형성하는 단계;Forming a third passivation layer on the second electrode; 상기 제 3 보호층 상부에 표면이 요철 형태로 이루어진 제 4 보호층을 형성하는 단계Forming a fourth passivation layer formed on an upper surface of the third passivation layer in an uneven shape; 를 포함하는 능동행렬 유기전기발광소자의 제조 방법.Method for manufacturing an active matrix organic electroluminescent device comprising a. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 제 4 보호층 표면의 요철은 플라즈마 애싱을 이용하여 형성하는 능동행렬 유기전기발광소자의 제조 방법.The uneven surface of the fourth protective layer is a method of manufacturing an active matrix organic electroluminescent device formed by using plasma ashing. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 요철은 삼각형 형태를 이루는 능동행렬 유기전기발광소자의 제조 방법.The irregularities are triangular shape active matrix organic electroluminescent device manufacturing method. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 제 4 보호층 표면의 요철은 플라즈마 애싱을 하는 단계와, 열처리 단계를 통해 형성하는 능동행렬 유기전기발광소자의 제조 방법.The unevenness of the surface of the fourth protective layer is plasma ashing, and the heat treatment step is formed by the active matrix organic electroluminescent device manufacturing method. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 요철은 반구 형태로 이루어지는 능동행렬 유기전기발광소자의 제조 방법.The unevenness is a manufacturing method of an active matrix organic electroluminescent device having a hemispherical shape. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 제 2 전극은 인듐-틴-옥사이드로 이루어지는 능동행렬 유기전기발광소자의 제조 방법.The second electrode is a method of manufacturing an active matrix organic electroluminescent device consisting of indium tin oxide.
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