KR100749281B1 - Power supply apparatus of lithographic plate display in a surface prosecution - Google Patents

Power supply apparatus of lithographic plate display in a surface prosecution Download PDF

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Abstract

본 발명은 이동체에 설치되어 결함(Defect) 위치를 포인팅하는 레이저 좌표 포인팅 장치에 충전 가능한 배터리를 내장시켜 이동성을 보장하고, 이동체를 이송시키는 브리지에 충전장치를 장착시켜 별도의 충전 장치 구비에 따른 불편함과 충전의 불편함을 해소하며 파티클 발생을 억제하도록 한 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 장치에 관한 것으로서,The present invention has a built-in rechargeable battery in the laser coordinate pointing device installed on the moving body to point to the defect position to ensure mobility, the inconvenience of having a separate charging device by mounting a charging device in the bridge for transferring the moving body The present invention relates to a power supply of a flat panel display surface inspector that eliminates inconvenience of charging and charging and suppresses particle generation.

이러한 본 발명은, 검사 대상물인 평판 디스플레이가 올려지는 스테이지, 스테이지 상을 이동하는 브리지 등을 구비하고 평판 디스플레이 표면을 검사하는 표면검사기의 전원 공급 장치에 있어서, 내장된 배터리를 통해 구동용 전원을 공급받고, 스테이지 위에 올려진 평판 디스플레이의 결함 위치의 좌표를 인식하기 위한 광원을 제공하는 이동체와, 이동체의 이동 경로를 제공하며 스테이지의 수직 방향으로 이동하는 브리지에 고정 장착되어 이동체에 충전 전원을 공급해주는 충전 제어 수단을 구비한다.The present invention is a power supply of a surface inspection device for inspecting the surface of the flat panel display having a stage on which the flat panel display as an inspection object is placed, a bridge that moves on the stage, and the like, and supplies driving power through an internal battery. A moving object providing a light source for recognizing the coordinates of a defect position of a flat panel display mounted on the stage, and providing a moving path of the moving object and fixedly mounted to a bridge moving in the vertical direction of the stage to supply charging power to the moving object. And charging control means.

평판 디스플레이 표면검사기, 이동체, 레이저 조사기, 파티클, 전원 공급 Flat Panel Display Surface Inspector, Moving Object, Laser Irradiator, Particle, Power Supply

Description

평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 장치{POWER SUPPLY APPARATUS OF LITHOGRAPHIC PLATE DISPLAY IN A SURFACE PROSECUTION}POWER SUPPLY APPARATUS OF LITHOGRAPHIC PLATE DISPLAY IN A SURFACE PROSECUTION}

도 1은 본 발명이 적용되는 평판 디스플레이 표면검사기의 사시도.1 is a perspective view of a flat panel display surface inspector to which the present invention is applied.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 의한 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 장치의 구성을 보인 블록도.Figure 2 is a block diagram showing the configuration of the power supply of the flat panel display surface inspector according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명에 의한 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 과정을 보인 흐름도.3 is a flow chart showing a power supply process of the flat panel display surface inspector according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

100… 충전 제어 수단100... Charge control means

110… 배터리 전압 검출부110... Battery voltage detector

120… 중앙처리장치120... Central Processing Unit

130… 충전제어기130... Charge controller

200… 이동체200... Moving object

210… 레이저 조사기210... Laser irradiator

220… 배터리220... battery

230… 전원 공급 및 충전 제어기230... Power supply and charge controller

본 발명은 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 이동체에 설치되어 결함(Defect) 위치를 포인팅하는 레이저 좌표 포인팅 장치에 충전 가능한 배터리를 내장시켜 이동성을 보장하고, 이동체를 이송시키는 브리지에 충전장치를 장착시켜 별도의 충전 장치 구비에 따른 불편함과 충전의 불편함을 해소하기 위한 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a power supply for a flat panel display surface inspector, and more particularly, a rechargeable battery is installed in a laser coordinate pointing device installed at a moving object and pointing at a defect position, thereby ensuring mobility and transferring the moving object. The present invention relates to a power supply of a flat panel display surface inspector for relieving inconvenience and inconvenience of charging by mounting a charging device on a bridge.

일반적으로 LCD나 PDP등의 평판형 디스플레이 장치에 사용되는 평판 형상의 글라스패널을 검사하는 평판 디스플레이 표면검사기는, 검사자의 시력에 의존하여 그 불량을 검출하는 마크로 검사장비, 현미경을 이용하여 글라스패널의 각 부분을 확대하여 검사하는 마이크로 검사장비, 육안에 의한 1차적인 검사 후에 현미경을 이용하여 정밀 검사를 동시에 수행하는 Mac-Mic 검사장비 등이 이용되고 있다.In general, a flat panel display surface inspector that inspects a flat glass panel used in a flat panel display device such as an LCD or a PDP is a macro inspection device that detects defects depending on the vision of the inspector. Micro-inspection equipment that enlarges and inspects each part, and Mac-Mic inspection equipment that performs precise inspection simultaneously using a microscope after the primary inspection by the naked eye are used.

그 중 마크로 검사장비는 반사 거울을 이용하여 불량을 검사하는 방법, 발광다이오드(LED)를 이용하여 불량을 검사하는 방법 및 레이저를 이용하여 불량을 검사하는 방법으로 대별된다.Among them, macro inspection equipment is roughly classified into a method of inspecting defects using a reflection mirror, a method of inspecting defects using a light emitting diode (LED), and a method of inspecting defects using a laser.

반사 거울을 이용하여 불량을 검사하는 방법은, 가로세로 2m 이상에 대해서 는 절대 정밀도가 부족하고, 셋업이 매우 어려우며, 경련의 변화가 심하고, 광원(레이저)에서 멀어질수록 정밀도가 급격히 저하되는 단점이 있다.The method of inspecting defects by using a reflecting mirror has a disadvantage in that absolute accuracy is insufficient for more than 2 m in width and width, setup is very difficult, variation in spasms is severe, and accuracy decreases sharply as it moves away from the light source (laser). There is this.

발광다이오드를 이용하여 불량을 검사하는 방법은 포인팅 해상도가 LED 크기로 정해진다는 제약이 따르고, 결함을 직접 포인팅하지 못하기 때문에 정밀도가 떨어지며 수천 개의 LED 사용으로 인해 회로가 복잡하고 전류 소모가 크며 제어 방법이 복잡하다는 단점이 있으며, 포인팅 시간이 오래 걸리는 단점이 있다.The method of checking for defects using a light emitting diode is limited by the pointing resolution of the LED size, and the accuracy is low because the defect cannot be directly pointed out, and the circuit is complicated, the current consumption is high, and the control method by using thousands of LEDs. This has the disadvantage of complexity and the disadvantage of taking a long pointing time.

반사 거울을 이용하여 불량을 검사하는 방법 및 발광다이오드를 이용하여 불량을 검사하는 방법의 단점을 개선하기 위해서 종래에 제안된 것이 레이저를 직접 이동시켜 불량을 검사하는 방법이다.In order to improve the shortcomings of the defect inspection method using a reflection mirror and the defect inspection method using a light emitting diode, a conventionally proposed method is a method of inspecting a defect by directly moving a laser.

이 방법은 정밀 모터를 사용하여 레이저 좌표 포인팅 장치를 이송시키므로, 반사 거울과 발광다이오드를 사용하여 불량을 검사하는 방법에서 수반되는 해상도, 반복 재현성 등의 문제는 해결할 수 있다.Since this method transfers the laser coordinate pointing device using a precision motor, problems such as resolution and repeatability that can be solved in the method of inspecting defects using a reflection mirror and a light emitting diode can be solved.

그러나 레이저 구동용 전원을 케이블을 이용하여 별도로 공급해주게 되므로, 레이저 이송에 필요한 캐플럭스 등에 의해 파티클(Particle)이 발생하는 문제점을 발생하였다.However, since the laser driving power is separately supplied by using a cable, a particle is generated due to the flux required for the laser transfer.

이에 본 발명은 상기와 같은 종래 평판 디스플레이 표면검사기에서 발생하는 제반 문제점을 해결하기 위해서 제안된 것으로서,Accordingly, the present invention has been proposed to solve various problems occurring in the conventional flat panel display surface inspector as described above.

본 발명은 이동체에 설치되어 결함(Defect) 위치를 포인팅하는 레이저 좌표 포인팅 장치에 충전 가능한 배터리를 내장시켜 이동성을 보장하도록 한 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 장치를 제공하는 데 있다.The present invention provides a power supply for a flat panel display surface inspector to ensure mobility by embedding a rechargeable battery in a laser coordinate pointing device installed at a moving body and pointing at a defect position.

본 발명의 다른 목적은, 이동체를 이송시키는 장치(브리지)에 충전장치를 장착시킴으로써 별도의 충전 장치 구비에 따른 불편함과 충전의 불편함을 해소하기 위한 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a power supply of the flat panel display surface inspector for eliminating the inconvenience and inconvenience of charging by mounting a charging device in the device (bridge) for transferring the moving object. There is.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 "평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 장치"는,According to the present invention for achieving the above object "power supply device for a flat panel display surface inspector",

내장된 배터리를 통해 구동용 전원을 공급받고, 스테이지 위에 올려진 평판 디스플레이의 결함 위치의 좌표를 인식하기 위한 광원을 제공하는 이동체와;A moving object supplied with driving power through an internal battery and providing a light source for recognizing a coordinate of a defect position of a flat panel display mounted on a stage;

상기 이동체의 이동 경로를 제공하며 상기 스테이지의 수직 방향으로 이동하는 브리지에 고정 장착되며, 상기 이동체에 충전 전원을 공급해주는 충전 제어 수단을 구비한다.It is provided with a charge control means for providing a moving path of the movable body and fixedly mounted to the bridge moving in the vertical direction of the stage, the charging power to the movable body.

이동체는 결함 위치를 육안으로 식별하기에 용이하도록 광원을 제공하는 레이저 조사기와;The moving body includes a laser irradiator for providing a light source to facilitate visual identification of the defect location;

상기 레이저 조사기에 구동용 전원을 공급해주는 충전이 가능한 내장용 배터리와;A built-in battery that can be charged to supply driving power to the laser irradiator;

상기 내장용 배터리에서 방전된 전원으로 상기 레이저 조사기에 구동용 전원 을 공급해주고, 상기 충전 제어 수단에서 공급된 충전 전원으로 상기 내장용 배터리를 충전시키며, 온도 검출 데이터를 상기 충전 제어 수단에 제공하는 전원 공급 및 충전 제어기와;A power supply for supplying driving power to the laser irradiator with the power discharged from the internal battery, charging the internal battery with the charging power supplied from the charging control means, and providing temperature detection data to the charging control means A supply and charge controller;

상기 충전 제어 수단과 접속하여 충전 전원을 공급받고 온도 검출 데이터를 전송하며 배터리 방전 전압의 검출 경로를 제공해주는 전원 및 데이터 연결단자를 포함하여 구성된다.And a power supply and a data connection terminal connected to the charging control unit to receive charging power, to transmit temperature detection data, and to provide a path for detecting a battery discharge voltage.

또한, 이동체는 상기 내장용 배터리의 온도를 검출하여 상기 전원 공급 및 충전 제어기에 제공하는 온도 검출기를 더 포함하여 구성된다.The moving body further includes a temperature detector that detects a temperature of the internal battery and provides the power supply and charge controller.

충전 제어 수단은, 이동체와 전원 및 데이터 연결 경로를 제공하는 접속단자와;The charging control means includes: a connection terminal for providing a moving object and a power and data connection path;

상기 접속단자를 통해 이동체에 내장된 배터리의 전압을 검출하는 배터리 전압 검출부와;A battery voltage detector configured to detect a voltage of a battery built into a moving object through the connection terminal;

충전 제어 수단의 전체 동작을 제어하되, 상기 배터리 전압 검출부에서 검출한 전압 레벨에 따라 배터리의 장착 또는 탈착 여부를 판단하여 그 상태 표시 제어신호를 발생하고, 배터리 충전을 위한 제어신호를 발생하는 중앙처리장치와;Central processing for controlling the entire operation of the charging control means, determining whether the battery is mounted or detached according to the voltage level detected by the battery voltage detector, generating a status display control signal, and generating a control signal for charging the battery. An apparatus;

상기 중앙처리장치에서 발생한 충전 제어신호에 따라 충전을 위한 펄스폭 변조 신호를 발생하는 충전 제어기와;A charging controller for generating a pulse width modulated signal for charging according to a charging control signal generated by the central processing unit;

상기 중앙처리장치에서 발생한 충전 제어신호에 대응하여 소정의 직류 전압을 충전 전압으로 출력하는 직류/직류 변환기와;A DC / DC converter for outputting a predetermined DC voltage as a charging voltage in response to a charging control signal generated by the central processing unit;

상기 충전 제어기에서 발생한 펄스폭 변조 신호에 따라 상기 직류/직류 변환 기에서 출력된 충전 전압의 레벨을 제어하여 출력하는 파워 제어기와;A power controller for controlling and outputting a level of a charging voltage output from the DC / DC converter according to a pulse width modulation signal generated by the charging controller;

상기 파워 제어기에서 출력된 충전 전압을 상기 접속 단자를 통해 이동체에 공급해주고, 상기 충전 전압이 과전압일 경우 자동으로 충전 전압이 이동체에 공급되는 것을 차단하며, 배터리 온도 데이터를 수신하여 중앙처리장치에 제공하는 보호 회로와;The charging voltage output from the power controller is supplied to the moving object through the connection terminal, and when the charging voltage is overvoltage, the charging voltage is automatically blocked from being supplied to the moving object, and the battery temperature data is received and provided to the central processing unit. A protection circuit;

사용자가 기능을 선택하거나 접속을 판단하기 위한 기능 신호를 입력하기 위한 사용자 입출력부와;A user input / output unit for inputting a function signal for the user to select a function or determine a connection;

상기 중앙처리장치와 연결되어 외부의 다른 장치와 통신을 수행하기 위한 통신 인터페이스부를 구비한다.Is connected to the central processing unit and has a communication interface for performing communication with other external devices.

또한, 충전 제어 수단은 상기 중앙처리장치에서 발생한 표시 제어신호에 대응하여 배터리 장착 여부와 배터리의 전압 상태를 시각적으로 표시해주는 표시기를 더 포함한다.The charging control means may further include an indicator that visually displays whether the battery is installed and the voltage of the battery in response to the display control signal generated by the central processing unit.

그리고 파워 제어기는 상기 충전 제어기에서 발생한 펄스폭 변조 신호에 따라 구동 신호를 발생하는 드라이브 트랜지스터와;The power controller may include a drive transistor configured to generate a driving signal according to a pulse width modulation signal generated by the charge controller;

상기 드라이브 트랜지스터와 연동하여 상기 직류/직류 변환기에서 출력되는 충전 전압의 전력을 제어하는 전력제어 트랜지스터를 포함한다.It includes a power control transistor for controlling the power of the charge voltage output from the DC / DC converter in conjunction with the drive transistor.

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이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면에 의거 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명하기에 앞서 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, described in detail with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the present invention. If it is determined that the detailed description of the known function or configuration related to the present invention may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명이 적용되는 평판 디스플레이 표면검사기의 사시도이다.1 is a perspective view of a flat panel display surface inspector to which the present invention is applied.

여기서 참조부호 200은 내장된 배터리를 통해 구동용 전원을 공급받고, 스테이지(10) 위에 올려진 평판 디스플레이의 결함 위치의 좌표를 인식하기 위한 광원을 제공하는 이동체를 나타내고, 참조부호 100은 이동체(200)의 이동 경로를 제공하며 스테이지(10)의 수직 방향으로 이동하는 브리지(20)에 고정 장착되며, 이동체(200)에 충전 전원을 공급해주는 충전 제어 수단을 나타낸다.Here, reference numeral 200 denotes a moving body supplied with driving power through a built-in battery and providing a light source for recognizing coordinates of a defect position of the flat panel display mounted on the stage 10, and reference numeral 100 denotes a moving body 200. It shows a charging control means that is fixed to the bridge 20 to provide a moving path of the movement in the vertical direction of the stage 10, and supplies the charging power to the moving body (200).

도 2에 본 발명의 바람직한 실시 예에 의한 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 장치의 구성이 개시된다.2 illustrates a configuration of a power supply of a flat panel display surface inspector according to a preferred embodiment of the present invention.

이에 도시된 바와 같이, 이동체(200)는 결함 위치를 육안으로 식별하기에 용이하도록 광원을 제공하는 레이저 조사기(210)와, 레이저 조사기(210)에 구동용 전원을 공급해주는 충전이 가능한 내장용 배터리(220)와, 내장용 배터리(220)에서 방전된 전원으로 레이저 조사기(210)에 구동용 전원을 공급해주고, 충전 제어 수단(100)에서 공급된 충전 전원으로 내장용 배터리(220)를 충전시키며, 온도 검출 데이터를 충전 제어 수단(100)에 제공하는 전원 공급 및 충전 제어기(230)와, 충전 제어 수단(100)과 접속하여 충전 전원을 공급받고 온도 검출 데이터를 전송하며 배터리 방전 전압의 검출 경로를 제공해주는 전원 및 데이터 연결단자(240)와, 내장 용 배터리(220)의 온도를 검출하여 전원 공급 및 충전 제어기(230)에 제공하는 온도 검출기(250)를 구비한다.As shown therein, the movable body 200 includes a laser irradiator 210 that provides a light source to easily identify a defect location with a naked eye, and a rechargeable internal battery that supplies driving power to the laser irradiator 210. 220, the driving power is supplied to the laser irradiator 210 with the power discharged from the built-in battery 220, and the built-in battery 220 is charged with the charging power supplied from the charge control means 100. And a power supply and charge controller 230 for supplying temperature detection data to the charge control means 100 and a charge control device 100 connected with the charge control means 100 to receive charge power, transmit temperature detection data, and detect a battery discharge voltage. It is provided with a power and data connection terminal 240 for providing a, and a temperature detector 250 for detecting the temperature of the built-in battery 220 to provide to the power supply and charge controller 230.

충전 제어 수단(100)은, 이동체(200)와 전원 및 데이터 연결 경로를 제공하는 접속단자(101)와, 접속단자(101)를 통해 이동체(200)에 내장된 배터리(220)의 전압을 검출하는 배터리 전압 검출부(110)와, 충전 제어 수단(100)의 전체 동작을 제어하되, 배터리 전압 검출부(110)에서 검출한 전압 레벨에 따라 배터리의 장착 또는 탈착 여부를 판단하여 그 상태 표시 제어신호를 발생하고, 배터리 충전을 위한 제어신호를 발생하는 중앙처리장치(120)와, 중앙처리장치(120)에서 발생한 충전 제어신호에 따라 충전을 위한 펄스폭 변조 신호를 발생하는 충전 제어기(130)와, 중앙처리장치(120)에서 발생한 충전 제어신호에 대응하여 소정의 직류 전압을 충전 전압으로 출력하는 직류/직류 변환기(140)와, 충전 제어기(130)에서 발생한 펄스폭 변조 신호에 따라 직류/직류 변환기(140)에서 출력된 충전 전압의 레벨을 제어하여 출력하는 파워 제어기(150)를 구비한다.The charging control means 100 detects the voltage of the battery 220 embedded in the mobile body 200 through the connection terminal 101, which provides a power and data connection path with the mobile body 200, and the connection terminal 101. While controlling the overall operation of the battery voltage detector 110 and the charging control means 100, it is determined whether the battery is mounted or detached according to the voltage level detected by the battery voltage detector 110 to determine the state display control signal A central processing unit 120 for generating a control signal for charging the battery, a charging controller 130 for generating a pulse width modulation signal for charging according to a charging control signal generated in the central processing unit 120, The DC / DC converter 140 outputs a predetermined DC voltage as the charging voltage in response to the charging control signal generated by the central processing unit 120, and the DC / DC converter according to the pulse width modulation signal generated by the charging controller 130. To 140 And a power controller 150 for controlling and outputting the level of the output charging voltage.

아울러 충전 제어 수단(100)은 파워 제어기(150)에서 출력된 충전 전압을 접속 단자(101)를 통해 이동체(200)에 공급해주고, 충전 전압이 과전압일 경우 자동으로 충전 전압이 이동체(200)에 공급되는 것을 차단하며, 배터리 온도 데이터를 수신하여 중앙처리장치(120)에 제공하는 보호 회로(160)와, 사용자가 기능을 선택하거나 접속을 판단하기 위한 기능 신호를 입력하기 위한 사용자 입출력부(170)와, 중앙처리장치(120)와 연결되어 외부의 다른 장치와 통신을 수행하기 위한 통신 인터페이스부(180)와, 중앙처리장치(120)에서 발생한 표시 제어신호에 대응하여 배터 리 장착 여부와 배터리의 전압 상태를 시각적으로 표시해주는 표시기(190)를 더 구비한다.In addition, the charging control means 100 supplies the charging voltage output from the power controller 150 to the moving object 200 through the connection terminal 101, and when the charging voltage is an overvoltage, the charging voltage is automatically supplied to the moving object 200. A protection circuit 160 which blocks supply and receives battery temperature data and provides the battery temperature data to the CPU 120, and a user input / output unit 170 for inputting a function signal for selecting a function or determining a connection by a user. ), The communication interface unit 180 connected to the central processing unit 120 to communicate with other external devices, and whether or not the battery is installed in response to the display control signal generated by the central processing unit 120. It further includes an indicator 190 for visually displaying the voltage state of the.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 장치의 바람직한 실시 예는, 평판 디스플레이 표면 검사를 위해 브리지(20)가 수직 방향(상·하 방향)으로 이동하고, 수직 방향 이동이 완료되면 이동체(200)가 브리지(20)에 좌·우로 이동하면서 검사 대상물에 광원을 조사하게 된다.A preferred embodiment of the power supply of the flat panel display surface inspector according to the present invention configured as described above, when the bridge 20 is moved in the vertical direction (up and down direction) for the flat display surface inspection, the vertical movement is completed The movable body 200 moves to the bridge 20 to the left and right to irradiate the light source to the inspection object.

여기서 이동체(200)는 광원 생성용 레이저 조사기(210), 전원 공급 및 충전을 제어하는 전원 공급 및 충전 제어기(230), 배터리(220), 온도 검출기(250), 전원 및 데이터 연결단자(240)가 하나의 케이스에 내장되며, 별도의 전원 공급선이 없이 내장된 배터리에 의해 구동하고, 이동은 정밀 모터에 의해서 이동하므로 종래와 같이 캐플럭스 등에 의한 레이저 이송으로 인해 발생하는 파티클을 효과적으로 제거할 수 있다. 즉, 레이저 이송에 따른 파티클 발생을 억제하게 되는 것이다.Here, the movable body 200 includes a laser irradiator 210 for generating a light source, a power supply and charge controller 230 for controlling power supply and charging, a battery 220, a temperature detector 250, a power supply and a data connection terminal 240. Is embedded in one case, and is driven by a built-in battery without a separate power supply line, the movement is moved by a precision motor can effectively remove particles generated by laser transfer by the flux, etc. as in the prior art. . That is, particle generation due to laser transfer is suppressed.

이동체(200)의 동작을 간단히 살펴보면, 검사 대상물에 광원을 조사하는 경우 전원 공급 및 충전 제어기(230)에서 배터리(220)에서 방전되는 전압을 레이저 조사기(210)에 공급해주고, 그 공급되는 전원에 의해 레이저 조사기(210)가 구동하여 검사 대상물에 광원을 조사하게 된다.Looking briefly at the operation of the moving object 200, when irradiating a light source to the inspection object, the power supply and charge controller 230 supplies the voltage discharged from the battery 220 to the laser irradiator 210, the power supplied to the The laser irradiator 210 is driven to irradiate a light source to the inspection object.

한편, 이동체(200)가 검사 동작을 수행하지 않는 경우 충전을 위해서 사용자가 인위적으로 이동체(200)의 전원 데이터 연결단자(240)를 충전 제어 수단(100) 내의 접속단자(101)에 접속시키고, 사용자 입출력부(170)를 통해 충전 기능 신호를 입력하면, 중앙처리장치(120)에서 이를 인식하고 충전 동작을 제어하게 된다.On the other hand, when the moving object 200 does not perform a test operation, the user artificially connects the power data connection terminal 240 of the moving object 200 to the connection terminal 101 in the charging control means 100 for charging. When the charging function signal is input through the user input / output unit 170, the central processing unit 120 recognizes this and controls the charging operation.

충전을 위해서 배터리 전압 검출부(110)는 접속 단자(101)를 통해 배터리(220)로부터 방전된 전압을 검출하여 중앙처리장치(120)에 제공한다. 여기서 전압 검출부(110)는 전압 검출용 저항을 이용하여 배터리에서 방전되는 전압을 검출하는 것이 바람직하다.For charging, the battery voltage detector 110 detects the voltage discharged from the battery 220 through the connection terminal 101 and provides it to the CPU 120. Here, the voltage detector 110 may detect the voltage discharged from the battery by using the voltage detection resistor.

중앙처리장치(120)는 검출되는 전압 레벨을 검색하여 무 전압(0V)이면 이동체(200)에 배터리(220)가 장착되지 않은 것으로 판단을 하고, 표시기(190)를 제어하여 배터리 없음 상태가 시각적으로 표시되도록 한다. 여기서 표시기(190)는 발광다이오드를 이용하여 배터리 없음 상태를 표시해줄 수도 있으며, 다른 방법으로는 액정표시기(LCD)를 이용하여 데이터로 배터리 없음 상태를 표시해줄 수도 있으나, 경제적인 측면이나 장착 구조 등을 고려할 경우 발광다이오드를 이용하는 것이 바람직하다.The central processing unit 120 searches for the detected voltage level and determines that the battery 220 is not mounted on the moving object 200 when the voltage is zero (0V), and controls the indicator 190 to visually display the battery free state. To be displayed. In this case, the indicator 190 may display a battery-free state using a light emitting diode. Alternatively, the display 190 may display a battery-free state using data using a liquid crystal display (LCD). In consideration of this, it is preferable to use a light emitting diode.

이와는 달리 전압이 검출된 경우에는 그 검출 전압이 저전압인지 아니면 만충전 전압인지를 확인하여, 만충전 전압일 경우에는 표시기(190)를 통해 충전 완료상태임을 표시해주게 되고, 아울러 저전압일 경우에는 표시기(190)를 통해 충전중임을 알리는 상태가 표시되도록 하고, 직류/직류 변환기(140) 및 충전 제어기(130)를 제어한다.On the other hand, when a voltage is detected, the controller detects whether the detected voltage is a low voltage or a full charge voltage. When the voltage is full, the indicator 190 indicates that the charging is completed. A state indicating that the battery is being charged through 190 is displayed, and the DC / DC converter 140 and the charging controller 130 are controlled.

직류/직류 변환기(140)는 입력되는 상용 교류 전원이 전파정류되어 소정의 직류 전압으로 변환되어 입력되므로 정전압기(레귤레이터)를 이용하여 일정한 직류 전압으로 만들어 파워 제어기(150)에 제공한다.The DC / DC converter 140 converts a commercial AC power input to a predetermined DC voltage and converts the signal into a predetermined DC voltage, thereby providing the DC controller with a constant DC voltage using a constant voltage regulator (regulator).

충전 제어기(130)는 중앙처리장치(120)의 제어에 대응하여 충전 전압을 제어 하기 위한 펄스폭 변조 신호(PWM신호)를 발생하여 파워 제어기(150)를 제어하게 되고, 파워 제어기(150)는 그 PWM신호로 드라이브 트랜지스터가 구동하고, 그 드라이브 트랜지스터와 연동하는 전력제어 트랜지스터가 구동하여 직류/직류 변환기(140)에서 제공되는 충전 전압의 전력을 알맞게 제어하여 보호 회로(160)로 제공한다.The charging controller 130 generates a pulse width modulation signal (PWM signal) for controlling the charging voltage in response to the control of the central processing unit 120 to control the power controller 150, the power controller 150 is The drive transistor is driven by the PWM signal, and the power control transistor associated with the drive transistor is driven to appropriately control the power of the charging voltage provided from the DC / DC converter 140 to provide the protection circuit 160.

보호 회로(160)는 제공되는 충전 전압이 과전압이 아닐 경우 이를 접속단자(101)를 통해 이동체(200)에 공급해주게 되고, 이동체(200) 내의 전원 공급 및 충전 제어기(230)는 그 제공되는 충전 전압을 배터리(220)에 충전하게 된다.The protection circuit 160 supplies the moving object 200 through the connection terminal 101 when the provided charging voltage is not an overvoltage, and the power supply and the charging controller 230 in the moving object 200 provide the charged charge. The voltage is charged in the battery 220.

충전이 시작되면 온도 검출기(250)는 발열 온도를 검출하는 써미스터를 이용하여 배터리(220)의 온도를 검출하여 전원 공급 및 충전 제어기(230)에 온도 데이터를 전달하게 되고, 전원 공급 및 충전 제어기(230)는 이를 전원 및 데이터 연결단자(240)를 통해 충전 제어 수단(100)에 전달한다.When charging is started, the temperature detector 250 detects the temperature of the battery 220 by using a thermistor for detecting an exothermic temperature and transfers temperature data to the power supply and charge controller 230, and the power supply and charge controller ( 230 transmits it to the charge control means 100 through the power and data connection terminal 240.

충전 제어 수단(100) 내의 보호 회로(160)는 그 전달되는 온도 데이터를 중앙처리장치(120)에 제공하게 되고, 중앙처리장치(120)는 전달되는 온도 데이터를 반영하여 충전을 제어하게 된다. 여기서 중앙처리장치(120)의 충전 제어는 배터리 전압 검출부(110)에 의해 검출되는 배터리 전압, 충전 시간, 배터리 발열 온도를 종합하여 충전을 제어하게 되며, 그 중 어느 한 가지만을 이용하여 충전을 제어할 수도 있다.The protection circuit 160 in the charge control means 100 provides the transferred temperature data to the central processing unit 120, and the central processing unit 120 controls the charging by reflecting the transferred temperature data. Here, the charging control of the central processing unit 120 controls the charging by combining the battery voltage, the charging time, and the battery heating temperature detected by the battery voltage detecting unit 110, and controlling the charging using only one of them. You may.

도 3에 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 과정이 개시된다. 여기서 S는 단계(Step)를 나타낸다.3 illustrates a power supply process of a flat panel display surface inspector according to an exemplary embodiment of the present invention. Where S stands for Step.

이에 도시된 바와 같이, 대기 상태에서 이동체(200)가 접속되었는지를 확인 하여 이동체(200)가 접속된 경우 배터리의 전압을 검출하는 제1단계(S101 ~ S105)와, 검출한 전압 레벨로 배터리의 장착 여부를 판단하는 제2단계(S107)와, 판단 결과 배터리가 장착된 경우 검출한 전압 레벨에 따라 충전을 제어하는 제3단계(S111 ~ S119)와, 판단 결과 배터리가 장착되지 않은 경우 표시기를 통해 배터리 비 장착 상태를 알려주는 제4단계(S109)로 이루어진다.As shown in FIG. 1, the first step (S101 ˜ S105) of detecting the voltage of the battery when the movable body 200 is connected by checking whether the movable body 200 is connected in the standby state, and the detected voltage level of the battery A second step (S107) of determining whether it is installed, a third step (S111 to S119) of controlling charging according to the detected voltage level when the battery is installed as a result of the determination, and an indicator when the battery is not installed as a result of the determination Through a fourth step (S109) for notifying the battery non-mounting state through.

여기서 제3단계는, 배터리의 전압 레벨이 저전압인지를 판단하여 저전압이 아닐 경우 충전 대기 상태를 유지하고, 저전압 상태일 경우 충전 제어를 수행하는 단계(S111, S113)와, 충전중 충전 완료 여부를 확인하여 충전 완료된 경우 충전 완료 상태를 표시해주는 단계(S115, S117)와, 충전 완료 상태 표시 후 충전을 종료하는 단계(S119)를 포함한다.The third step may include determining whether the voltage level of the battery is a low voltage, maintaining a charge standby state when the voltage level is not low, and performing charge control when the low voltage state is reached (S111 and S113), and whether charging is completed during charging. When the charging is completed by checking, displaying the charging completion state (S115, S117), and the step of terminating the charging after displaying the charging completion state (S119).

이와 같이 이루어지는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 과정은, 충전 제어 수단(100) 내의 중앙처리장치(120)는 단계 S101에서 대기 상태를 유지하다가 단계 S103에서는 이동체(200)가 접속되었는지를 확인하게 된다. 여기서 이동체(200)의 접속 여부 확인은 사용자가 인위적으로 이동체(200)를 충전 제어 수단(100)에 접속시키고, 사용자 입출력부(170)를 통해 충전 기능 신호를 입력함으로써 이동체(200)의 접속 여부를 알 수 있게 된다.In the power supply process of the flat panel display surface inspector according to the preferred embodiment of the present invention, the central processing unit 120 in the charge control means 100 maintains the standby state in step S101, and the moving body 200 in step S103. It will check if is connected. Herein, whether the mobile 200 is connected or not is connected by the user artificially connecting the mobile 200 to the charging control means 100 and inputting a charging function signal through the user input / output unit 170 to determine whether the mobile 200 is connected. You will know.

이동체(200)가 접속된 경우 단계 S105에서 배터리의 전압을 검출하게 되고, 단계 S107에서는 그 검출되는 전압 레벨을 통해 배터리가 장착되었는지의 여부를 확인하게 된다. 즉, 검출되는 배터리의 전압 레벨이 무 전압(0V)일 경우에는 배터리가 장착되지 않은 것으로 판단을 하게 되며, 이 경우 단계 S109로 이동하여 표시 기(190)를 통해 배터리 없음을 표시하게 된다.When the movable body 200 is connected, the voltage of the battery is detected in step S105, and in step S107, whether the battery is mounted is checked through the detected voltage level. That is, when the detected voltage level of the battery is no voltage (0V), it is determined that the battery is not installed. In this case, the battery moves to step S109 to indicate that the battery is missing through the display 190.

이와는 달리 배터리의 전압이 검출되면 단계 S111에서는 배터리의 전압이 저전압인가를 확인하게 된다. 여기서 저전압 여부는 내장되는 배터리의 특성에 따라 달라질 수 있으며, 내장되는 배터리의 특성을 고려하여 미리 중앙처리장치(120) 내의 메모리에 저전압 여부를 판단하기 위한 기준 전압을 저장함으로써 용이하게 저전압 여부를 판단할 수 있게 된다.In contrast, when the voltage of the battery is detected, it is checked in step S111 whether the voltage of the battery is a low voltage. Here, whether or not the low voltage may vary according to the characteristics of the built-in battery, and in consideration of the characteristics of the built-in battery, the low voltage is easily determined by storing a reference voltage for determining whether the low voltage is previously stored in the memory in the CPU 120. You can do it.

저전압 여부를 판단한 결과 저전압 상태가 아니고 만충전 상태이면 충전을 수행하지 않게 되며, 이와는 달리 저전압 상태라고 판단이 되면 단계 S113에서 직류/직류 변환기(140) 및 충전 제어기(130)를 컨트롤하여 충전을 시작하게 된다. 여기서 충전 제어는 주지한 바와 같이 배터리 검출 전압, 충전 시간, 배터리 온도를 적절히 고려하여 충전을 제어하게 된다.If it is determined that the low voltage state is not the low voltage state and the full charge state, the charging is not performed. In contrast, if it is determined that the low voltage state, the charging is started by controlling the DC / DC converter 140 and the charge controller 130 in step S113. Done. Here, the charging control, as is well known, controls the charging in consideration of the battery detection voltage, the charging time, and the battery temperature.

단계 S115에서는 충전 완료 여부를 판단하여 충전이 완료되지 않았으면 단계 S113으로 이동하여 충전 동작을 지속적으로 수행하고, 충전이 완료된 경우에는 단계 S117로 이동하여 표시기(190)를 제어하여 충전 완료를 표시토록 하며, 이후 단계 S119에서는 충전을 종료하게 된다.In step S115, it is determined whether the charging is completed, and if the charging is not completed, go to step S113 to continuously perform the charging operation, and if the charging is completed, go to step S117 to control the indicator 190 to display the charging completion. After that, the charging is terminated in step S119.

이상에서 상술한 본 발명은, 이동체에 내장되는 레이저 조사기의 구동을 위한 전원을 내장된 배터리를 통해 공급하고, 그 내장된 배터리를 고정체에 고정된 충전 제어 수단에서 자동으로 충전을 해줌으로써, 기존과 같이 레이저 이송을 위한 캐플럭스 사용 등으로 인한 파티클 발생을 억제할 수 있게 되는 것이다.The present invention as described above, by supplying the power for driving the laser irradiator embedded in the moving object through the built-in battery, and automatically charging the built-in battery in the charge control means fixed to the fixed body, As such, it is possible to suppress particle generation due to the use of a flux for laser transfer.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위 에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.The present invention is not limited to the above-described specific preferred embodiments, and various modifications can be made by any person having ordinary skill in the art without departing from the gist of the present invention claimed in the claims. Of course, such changes will fall within the scope of the claims.

이상에서 상술한 본 발명에 따르면, 이동체에 설치되어 결함(Defect) 위치를 포인팅하는 레이저 좌표 포인팅 장치에 충전 가능한 배터리를 내장시킴으로써 이동성을 보장할 수 있는 장점이 있다.According to the present invention described above, there is an advantage that the mobility can be ensured by embedding a rechargeable battery in the laser coordinate pointing device installed on the moving object and pointing to the defect position.

또한, 레이저 포인팅 장치의 이송을 위한 캐플럭스 등을 사용하지 않기 때문에 파티클 생성을 원천적으로 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, since there is no use of a flux and the like for the transfer of the laser pointing device there is an effect that can prevent the generation of particles at the source.

또한, 이동체를 이송시키는 장치(브리지)에 충전장치를 장착시킴으로써 별도의 충전 장치 구비에 따른 불편함과 충전의 불편함을 해소할 수 있는 효과가 있다.In addition, by mounting the charging device to the device for transferring the moving object (bridge) there is an effect that can eliminate the inconvenience and inconvenience of charging according to the separate charging device provided.

Claims (12)

검사 대상물인 평판 디스플레이가 올려지는 스테이지, 스테이지 상을 이동하는 브리지 등을 구비하고 평판 디스플레이 표면을 검사하는 표면검사기의 전원 공급 장치에 있어서,In the power supply of the surface inspector for inspecting the surface of the flat panel display having a stage on which the flat panel display to be inspected is placed, a bridge moving on the stage, etc., 자체 내장된 배터리를 통해 구동용 전원을 공급받고, 상기 스테이지 위에 올려진 평판 디스플레이의 결함 위치의 좌표를 인식하기 위한 광원을 제공하는 이동체와;A moving object supplied with driving power through a built-in battery and providing a light source for recognizing a coordinate of a defect position of the flat panel display mounted on the stage; 상기 이동체의 이동 경로를 제공하며 상기 스테이지의 수직 방향으로 이동하는 브리지에 고정 장착되어 상기 이동체에 충전 전원을 공급해주는 충전 제어 수단을 포함하여 구성되며,It includes a charge control means for providing a moving path of the mobile body and fixedly mounted to the bridge moving in the vertical direction of the stage to supply charging power to the mobile body, 상기 이동체는, 상기 결함 위치를 육안으로 식별하기에 용이하도록 광원을 제공하는 레이저 조사기와, 상기 레이저 조사기에 구동용 전원을 공급해주는 충전이 가능한 내장용 배터리와, 상기 내장용 배터리에서 방전된 전원으로 상기 레이저 조사기에 구동용 전원을 공급해주고, 상기 충전 제어 수단에서 공급된 충전 전원으로 상기 내장용 배터리를 충전시키며, 온도 검출 데이터를 상기 충전 제어 수단에 제공하는 전원 공급 및 충전 제어기와, 상기 충전 제어 수단과 접속하여 충전 전원을 공급받고 온도 검출 데이터를 전송하며 배터리 방전 전압의 검출 경로를 제공해주는 전원 및 데이터 연결단자를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 장치.The movable body includes a laser irradiator for providing a light source to easily identify the defect position, a rechargeable internal battery for supplying driving power to the laser irradiator, and a power discharged from the internal battery. A power supply and charge controller which supplies driving power to the laser irradiator, charges the built-in battery with charging power supplied from the charge control means, and provides temperature detection data to the charge control means; And a power supply and a data connection terminal connected to the means to receive charging power, to transmit temperature detection data, and to provide a path for detecting a battery discharge voltage. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 이동체는 상기 내장용 배터리의 온도를 검출하여 상기 전원 공급 및 충전 제어기에 제공하는 온도 검출기를 더 포함하여 구성된 것을 하는 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 장치.The power supply device of claim 1, wherein the moving body further comprises a temperature detector configured to detect a temperature of the internal battery and provide the power supply and charge controller to the power supply and charge controller. 제1항에 있어서, 상기 충전 제어 수단은, The method of claim 1, wherein the charge control means, 상기 이동체와 전원 및 데이터 연결 경로를 제공하는 접속단자와;A connection terminal for providing a power and data connection path with the mobile body; 상기 접속단자를 통해 이동체에 내장된 배터리의 전압을 검출하는 배터리 전압 검출부와;A battery voltage detector configured to detect a voltage of a battery built into a moving object through the connection terminal; 충전 제어 수단의 전체 동작을 제어하되, 상기 배터리 전압 검출부에서 검출한 전압 레벨에 따라 배터리의 장착 또는 탈착 여부를 판단하여 그 상태 표시 제어신호를 발생하고, 배터리 충전을 위한 제어신호를 발생하는 중앙처리장치와;Central processing for controlling the entire operation of the charging control means, determining whether the battery is mounted or detached according to the voltage level detected by the battery voltage detector, generating a status display control signal, and generating a control signal for charging the battery. An apparatus; 상기 중앙처리장치에서 발생한 충전 제어신호에 따라 충전을 위한 펄스폭 변조 신호를 발생하는 충전 제어기와;A charging controller for generating a pulse width modulated signal for charging according to a charging control signal generated by the central processing unit; 상기 중앙처리장치에서 발생한 충전 제어신호에 대응하여 소정의 직류 전압을 충전 전압으로 출력하는 직류/직류 변환기와;A DC / DC converter for outputting a predetermined DC voltage as a charging voltage in response to a charging control signal generated by the central processing unit; 상기 충전 제어기에서 발생한 펄스폭 변조 신호에 따라 상기 직류/직류 변환기에서 출력된 충전 전압의 레벨을 제어하여 출력하는 파워 제어기와;A power controller for controlling and outputting a level of a charging voltage output from the DC / DC converter according to a pulse width modulation signal generated by the charging controller; 상기 파워 제어기에서 출력된 충전 전압을 상기 접속 단자를 통해 이동체에 공급해주고, 상기 충전 전압이 과전압일 경우 자동으로 충전 전압이 이동체에 공급되는 것을 차단하며, 배터리 온도 데이터를 수신하여 중앙처리장치에 제공하는 보호 회로와;The charging voltage output from the power controller is supplied to the moving object through the connection terminal, and when the charging voltage is overvoltage, the charging voltage is automatically blocked from being supplied to the moving object, and the battery temperature data is received and provided to the CPU A protection circuit; 사용자가 기능을 선택하거나 접속을 판단하기 위한 기능 신호를 입력하기 위한 사용자 입출력부와;A user input / output unit for inputting a function signal for the user to select a function or determine a connection; 상기 중앙처리장치와 연결되어 외부의 다른 장치와 통신을 수행하기 위한 통신 인터페이스부를 구비한 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 장치.And a communication interface unit connected to the central processing unit to communicate with another external device. 제4항에 있어서, 상기 충전 제어 수단은,The method of claim 4, wherein the charge control means, 상기 중앙처리장치에서 발생한 표시 제어신호에 대응하여 배터리 장착 여부와 배터리의 전압 상태를 시각적으로 표시해주는 표시기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 장치.And a display for visually displaying whether the battery is installed and the voltage of the battery in response to the display control signal generated by the central processing unit. 제4항에 있어서, 상기 파워 제어기는,The method of claim 4, wherein the power controller, 상기 충전 제어기에서 발생한 펄스폭 변조 신호에 따라 구동 신호를 발생하는 드라이브 트랜지스터와;A drive transistor for generating a drive signal according to the pulse width modulation signal generated by the charge controller; 상기 드라이브 트랜지스터와 연동하여 상기 직류/직류 변환기에서 출력되는 충전 전압의 전력을 제어하는 전력제어 트랜지스터를 구비한 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 장치.And a power control transistor for controlling the power of the charging voltage output from the DC / DC converter in conjunction with the drive transistor. 제5항에 있어서, 상기 표시기는,The method of claim 5, wherein the indicator, 배터리의 없음 상태, 상기 배터리의 저전압 상태, 상기 배터리의 충전상태 등을 시각적으로 표시해주는 발광다이오드(LED) 또는 액정표시기(LCD)로 구현되는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 장치.And a light emitting diode (LED) or a liquid crystal display (LCD) for visually displaying a no battery state, a low voltage state of the battery, and a charging state of the battery. 제4항에 있어서, 상기 중앙처리장치는 충전 제어시 배터리 검출 전압, 충전 시간, 배터리 발열 온도를 조합하거나 택일하여 충전을 제어하는 것을 특징으로 하는 평판 디스플레이 표면검사기의 전원 공급 장치.The power supply apparatus of claim 4, wherein the central processing unit controls charging by combining or alternatively combining a battery detection voltage, a charging time, and a battery heating temperature during charging control. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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