KR100734321B1 - Semiconductor memory device and driving method thereof - Google Patents

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김현기
김치욱
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삼성전자주식회사
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Abstract

A semiconductor memory device and a driving method thereof are provided to perform a stable equalizing operation at a lower external voltage, by driving a low level of a bit line equalizing signal controlling a bit line equalizer circuit with a body bias voltage having a negative voltage value. A first and a second memory block(510,520) include a number of memory cells storing data. A sense amplifier is shared between the first and the second memory block, and writes or reads data to or from the memory cell through a bit line pair. A bit line equalizing signal generation part(530) generates a bit line equalizing signal. A bit line equalizer circuit(512,522) precharges the bit line pair with a bit line precharge voltage in response to the bit line equalizing signal. The bit line equalizer circuit includes PMOS transistors and the bit line equalizing signal has a negative voltage value.

Description

반도체 메모리 장치 및 이의 구동방법{Semiconductor memory device and driving method thereof}Semiconductor memory device and driving method thereof

본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS In order to better understand the drawings cited in the detailed description of the invention, a brief description of each drawing is provided.

도 1은 일반적인 공유 센스 앰프 구조를 갖는 메모리 장치를 나타내는 도면이다.1 is a diagram illustrating a memory device having a general shared sense amplifier structure.

도 2는 종래의 저전압 반도체 메모리 장치의 동작 파형도이다.2 is an operation waveform diagram of a conventional low voltage semiconductor memory device.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 메모리장치에서의 비트라인 이퀄라이징 회로를 나타내는 회로도이다.3 is a circuit diagram illustrating a bit line equalizing circuit in a semiconductor memory device according to the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 비트라인 이퀄라이징 회로를 구비하는 본 발명의 반도체 메모리 장치의 동작 파형도이다.FIG. 4 is an operational waveform diagram of the semiconductor memory device of the present invention having the bit line equalizing circuit shown in FIG. 3.

도 5는 본 발명의 반도체 메모리 장치를 나타내는 도면이다.5 is a diagram illustrating a semiconductor memory device of the present invention.

본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로서, 특히 비트라인과 상보비트라인 쌍을 효율적으로 이퀄라이징(equalizing)하기 위한 구동 방법 및 이를 이용하 는 메모리 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly, to a driving method for efficiently equalizing a pair of bit lines and complementary bit lines, and a memory device using the same.

반도체 메모리 장치 중에서 DRAM은 센스 앰프를 이용하여 메모리 셀에 저장된 데이터를 감지 증폭한다. 센스 앰프는 메모리 셀의 비트라인과 연결되어 비트라인으로 차아지 셰어링(charge sharing)되는 전압 레벨과 비트라인 프리차아지 전압을 비교하여 메모리 셀 데이터를 판별한다. 센스 앰프 블럭은 하나의 메모리 블럭에 연결되어 그 메모리 블럭 내 메모리 셀들을 센싱할 수도 있지만, 2개의 메모리 블럭들에 공유되어 선택적으로 하나의 메모리 블럭과 연결되어 선택된 메모리 블럭 내 메모리 셀들을 센싱할 수 있다.Among semiconductor memory devices, a DRAM senses and amplifies data stored in a memory cell using a sense amplifier. The sense amplifier is connected to the bit line of the memory cell to determine the memory cell data by comparing the bit level precharge voltage with the voltage level charged to the bit line. The sense amplifier block may be connected to one memory block to sense memory cells in the memory block, but may be shared to two memory blocks and selectively connected to one memory block to sense memory cells in the selected memory block. have.

도 1은 일반적인 공유 센스 앰프 구조를 갖는 메모리 장치를 나타내는 도면이다. 이를 참조하면, 공유 센스 앰프 구조는 2개의 메모리 블럭(110, 120) 사이에, 비트라인 이퀄라이저 회로들(112, 122), 비트라인 아이소레이션(isolation) 회로들(116, 126), 센스 앰프 회로(129), 그리고 칼럼 선택 회로(140)가 배열된다. 비트라인 이퀄라이저 회로(112, 122)는 메모리 셀 데이터의 센싱 동작 이전에, 제1 메모리 블럭(110)과 제2 메모리 블럭(120) 내의 비트라인들(BL,/BL)을 비트라인 프리차아지 전압(VBL)으로 프리차아지시킨다. 제1 비트라인 아이소레이션 회로(116)는 제1 메모리 블럭(110) 내 메모리 셀 데이터를 센싱할 때 제1 메모리 블럭(110)의 비트라인들(BL, /BL)을 센스 앰프 회로(129)와 연결시킨다. 이 때, 제2 비트라인 아이소레이션 회로(126)는 센스 앰프 회로(129)와 제2 메모리 블럭(120)의 비트라인들(BL, /BL)과의 연결을 차단한다. 반대로, 제2 비트라인 아이소레이션 회로(126)가 제2 메모리 블럭(120)의 비트라인들(BL, /BL)과 센스 앰프 회로(129)를 연결시키면, 제1 비트라인 아이소레이션 회로(116)는 제1 메모리 블럭(110)의 비트라인들(BL, /BL)과 센스 앰프 회로(129)와의 연결을 차단한다. 칼럼 선택 회로(140)는 센스 앰프 회로(129)에 의해 센싱되는 제1 또는 제2 메모리 블럭(110, 120) 내 메모리 셀 데이터를 데이터 입출력 라인(IO, IOB)으로 전달한다.1 is a diagram illustrating a memory device having a general shared sense amplifier structure. Referring to this, the shared sense amplifier structure includes a bit line equalizer circuits 112 and 122, bit line isolation circuits 116 and 126, a sense amplifier circuit between two memory blocks 110 and 120. 129, and the column select circuit 140 is arranged. The bit line equalizer circuits 112 and 122 perform bit line precharge on the bit lines BL and / BL in the first memory block 110 and the second memory block 120 before the sensing operation of the memory cell data. Precharge to voltage VBL. When the first bit line isolation circuit 116 senses memory cell data in the first memory block 110, the first bit line isolation circuit 116 detects the bit lines BL and / BL of the first memory block 110. Connect with In this case, the second bit line isolation circuit 126 cuts off the connection between the sense amplifier circuit 129 and the bit lines BL and / BL of the second memory block 120. On the contrary, when the second bit line isolation circuit 126 connects the bit lines BL and / BL of the second memory block 120 and the sense amplifier circuit 129, the first bit line isolation circuit 116 may be used. ) Disconnects the bit lines BL and / BL of the first memory block 110 from the sense amplifier circuit 129. The column select circuit 140 transfers memory cell data in the first or second memory blocks 110 and 120 sensed by the sense amplifier circuit 129 to the data input / output lines IO and IOB.

이러한 공유 센스 앰프 구조에서 제1 메모리 블럭(110) 내 메모리 셀(MC0) 데이터를 센싱한 후 제2 메모리 블럭(120) 내 메모리 셀(MC1)을 센싱하는 과정을 살펴보면 다음과 같다. 먼저, 신호 제어부(131)는 어드레스 신호 및 비트라인 이퀄라이저 인에이블 신호를 입력받아 제 1 또는 제 2 메모리 블록(110,120)을 선택하도록 제어 신호를 제1노드(N1)를 통해 신호 유지부(133)로 출력하고 신호 유지부(133)에서는 입력받은 제어 신호가 원형대로 전달되도록 짝수개의 인버터를 통해 제어 신호를 레벨 쉬프터(137)로 출력한다. 레벨 쉬프터(137)를 통해 하이, 로우 판별 기준을 설정한 후 신호 구동부(135)로 입력된 레벨 쉬프터(137)의 출력신호는 제 2 노드(N2)를 거쳐 제 1 및 제 2 비트라인 이퀄라이징 신호(PEQi, PEQj)로써 인가된다. In the shared sense amplifier structure, a process of sensing the memory cell MC0 data in the first memory block 110 and sensing the memory cell MC1 in the second memory block 120 will be described below. First, the signal controller 131 receives an address signal and a bit line equalizer enable signal and receives a control signal through the first node N1 to select the first or second memory blocks 110 and 120. The signal holding unit 133 outputs the control signal to the level shifter 137 through an even number of inverters so that the received control signal is transferred in a circular manner. After setting the high and low discrimination criteria through the level shifter 137, the output signal of the level shifter 137 input to the signal driver 135 passes through the second node N2, and then the first and second bit line equalizing signals. It is applied as (PEQi, PEQj).

제1 및 제2 비트라인 이퀄라이징 신호들(PEQi, PEQj)이 외부 전압(VEXT) 레벨인 하이레벨이면 비트라인(BL)과 상보 비트라인(/BL)은 비트라인 프리차아지 전압(VBL) 레벨로 프리차아지된다. 이 후, 제1 메모리 블럭(110) 내 메모리 셀(MC0)을 센싱하기 위하여, 제1 비트라인 이퀄라이징 신호(PEQi)가 접지 전압(VSS) 레벨인 로우레벨이 되고, 제1 비트라인 아이소레이션 신호(PISOi)가 승압 전압(VPP) 레벨의 하이레벨이 되고, 메모리 셀(MC0)의 워드라인(WLn-1)이 승압 전압(VPP) 레벨 로 인에이블되어, 메모리 셀(MC0) 데이터는 비트라인(BL)을 통해 차아지 셰어링되면서 센스 앰프 회로(129)로 전달된다. 센스 앰프 회로(129)는 차아지 셰어링된 비트라인(BL)의 전압 레벨과 상보 비트라인(/BL)의 비트라인 프리차아지 전압(VBL)을 비교하여 메모리 셀 데이터를 판단한다.If the first and second bit line equalizing signals PEQi and PEQj are at a high level of the external voltage VEXT level, the bit line BL and the complementary bit line / BL are at the bit line precharge voltage VBL level. To be precharged. Thereafter, in order to sense the memory cell MC0 in the first memory block 110, the first bit line equalizing signal PEQi becomes a low level at the ground voltage VSS level and the first bit line isolation signal. PISOi becomes the high level of the boosted voltage VPP level, word line WLn-1 of the memory cell MC0 is enabled to the boosted voltage VPP level, and the memory cell MC0 data becomes the bit line. Charge sharing is performed through the BL to the sense amplifier circuit 129. The sense amplifier circuit 129 compares the voltage level of the charged share bit line BL with the bit line precharge voltage VBL of the complementary bit line / BL to determine memory cell data.

다음으로, 제2 메모리 블럭(120) 내 메모리 셀(MC1)을 센싱하기 위하여, 제2 비트라인 이퀄라이징 신호(PEQj)가 접지 전압(VSS) 레벨의 로우레벨이 되고, 워드라인(WL1)이 승압 전압(VPP) 레벨로 인에이블되고, 제2 비트라인 아이소레이션 신호(PISOj)가 승압 전압(VPP) 레벨의 하이레벨이 되어, 메모리 셀(MC1) 데이터는 비트라인(BL)을 통해 차아지 셰어링되면서 센스 앰프 회로(129)로 전달된다. 이 때, 제1 비트라인 이퀄라이징 신호(PEQi)는 외부 전압(VEXT) 레벨의 하이레벨이 되어 제1 메모리 블럭(110) 내 비트라인들(BL, /BL)을 비트라인 프리차아지 전압(VBL)으로 프리차아지시킨다. Next, in order to sense the memory cell MC1 in the second memory block 120, the second bit line equalizing signal PEQj becomes a low level of the ground voltage VSS level, and the word line WL1 is boosted. Enabled to the voltage VPP level, the second bit line isolation signal PISOj becomes the high level of the boosted voltage VPP level, so that memory cell MC1 data is charged share via the bit line BL. The ring is transmitted to the sense amplifier circuit 129. At this time, the first bit line equalizing signal PEQi is at the high level of the external voltage VEXT level, thereby converting the bit lines BL and / BL in the first memory block 110 into the bit line precharge voltage VBL. Precharge with).

여기에서, 제1 비트라인 이퀄라이징 신호(PEQi)를 접지 전압(VSS) 레벨의 로우레벨에서 외부 전압(VEXT) 레벨의 하이레벨로 상승시켜 비트라인들(BL, /BL)을 비트라인 프리차아지 전압(VBL)으로 프리차아지시키는 속도는 제1 이퀄라이저 트랜지스터(113)와 제2 이퀄라이저 트랜지스터(114)의 게이트-소스 전압(Vgs)과 관련이 있다. 제1 이퀄라이저 트랜지스터(113)와 제2 이퀄라이저 트랜지스터(114)는 엔모스 트랜지스터로 구성된다.Here, the first bit line equalizing signal PEQi is raised from the low level of the ground voltage VSS level to the high level of the external voltage VEXT level so that the bit lines BL and / BL are bit line precharged. The rate of precharging with the voltage VBL is related to the gate-source voltage Vgs of the first equalizer transistor 113 and the second equalizer transistor 114. The first equalizer transistor 113 and the second equalizer transistor 114 are composed of NMOS transistors.

DRAM의 저전압 동작을 만족하기 위하여, 외부 전압(VEXT) 레벨이 점점 낮아져 예컨대, 1.0V 정도로 낮아지고 내부 전압(VINT) 레벨이 외부 전압(VEXT) 레벨을 따라서 1.0V 정도가 되고 비트라인 프리차아지 전압(VBL)은 내부 전압(VINT) 레벨의 반(half)에 해당하는 0.5V 정도로 설정된다고 가정하자. 그러면, 제1 및 제2 이퀄라이저 트랜지스터들(113, 114)의 게이트-소스 전압(Vgs)은 0.5V 정도 된다. 만약 제1 및 제2 이퀄라이저 트랜지스터들(113, 114)의 문턱 전압(threshold voltage)이 0.5V 이상일 경우, 제1 및 제2 이퀄라이저 트랜지스터들(113, 114)은 충분히 턴온되지 않기 때문에, 도 2에서처럼 프리차아지 영역에서 비트라인들(BL, /BL)은 동일 레벨로 프리차아지되지 않는다. 그러므로, 제1 및 제2 이퀄라이저 트랜지스터들(113, 114)의 게이트에 인가되는 비트라인 이퀄라이저 신호들(PEQi, PEQj)은 외부 전압(VEXT) 이상의 전압 레벨이 인가되어야 한다. In order to satisfy the low voltage operation of the DRAM, the external voltage VEXT level is gradually lowered, for example, about 1.0V, and the internal voltage VINT level is about 1.0V along the external voltage VEXT level, and bit line precharge is performed. Assume that the voltage VBL is set to about 0.5V corresponding to half the level of the internal voltage VINT. Then, the gate-source voltage Vgs of the first and second equalizer transistors 113 and 114 is about 0.5V. If the threshold voltages of the first and second equalizer transistors 113 and 114 are 0.5 V or more, the first and second equalizer transistors 113 and 114 are not sufficiently turned on, as shown in FIG. 2. In the precharge region, the bit lines BL and / BL are not precharged to the same level. Therefore, the bit line equalizer signals PEQi and PEQj applied to the gates of the first and second equalizer transistors 113 and 114 should have a voltage level greater than or equal to the external voltage VEXT.

이와 같은 문제를 해결하기 위하여, 비트라인 이퀄라이저 신호들(PEQi, PEQj)은 DRAM이 저전압 동작일 때 외부 전압(VEXT) 레벨 이상으로 펌핑해 주는 방법이 제공되었다. 이 경우, DRAM이 저소비 전력을 만족하기 위한 저전압 동작 모드임에도 불구하고, DRAM은 펌핑 전류의 증가로 인하여 많은 전류가 소모되는 문제점을 지닌다.In order to solve this problem, a method of pumping the bit line equalizer signals PEQi and PEQj above the external voltage VEXT level when the DRAM is in a low voltage operation has been provided. In this case, although the DRAM is in a low voltage operation mode for satisfying low power consumption, the DRAM has a problem in that a large current is consumed due to an increase in pumping current.

또한, 엔모스 트랜지스터의 문턱 전압을 낮추는 방법이 제안되었다. 문턱 전압을 낮추면 트랜지스터가 턴오프되었을 때 전류가 증가하는 경향이 나타나게 되어 프리차아지 동작이 잘되기 때문이다. 하지만, 프리차아지 동작은 잘되는 반면 셀 캐패시터와 비트 라인이 차아지 쉐어링 동작을 하거나 비트 라인 센싱 동작을 할 때 제 1 이퀄라이저 트랜지스터(113)에 오프 커런트(off current)가 흐르게 되어, 비트 라인 센싱 페일(fail)이 발생하게 되고 혹시 센싱에 성공하더라도 그라운드 노드와 DC 패스가 생겨 다량의 커런트가 발생하게 된다. 특히 이퀄라이저 트랜지스터는 일반적으로 레이아웃 면적 문제로 좁은 폭을 사용하는데 이 경우 낮은 문턱전압 공정으로 사용하면 오프 커런트는 더욱 증가하는 경향이 보이게 된다.In addition, a method of lowering the threshold voltage of the NMOS transistor has been proposed. This is because lowering the threshold voltage tends to increase the current when the transistor is turned off, resulting in better precharge operation. However, while the precharge operation is well performed, an off current flows to the first equalizer transistor 113 when the cell capacitor and the bit line perform the charge sharing operation or the bit line sensing operation, thereby causing the bit line sensing fail. A failure occurs and even if the sensing is successful, a ground node and a DC path are generated, and a large amount of current is generated. In particular, equalizer transistors generally use a narrow width for layout area problems. In this case, the low current process tends to increase the off current.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 저소비 전력에서도 안정적으로 이퀄라이징 동작을 수행할 수 있는 이퀄라이저를 구비하는 반도체 메모리 장치를 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a semiconductor memory device having an equalizer capable of stably performing an equalizing operation even at low power consumption.

본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 저소비 전력에서도 안정적으로 이퀄라이징 동작을 수행할 수 있도록 하는 반도체 메모리 장치의 구동방법을 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a method of driving a semiconductor memory device capable of stably performing an equalizing operation even at low power consumption.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은 기존의 엔모스형 비트라인 이퀄라이저 회로 대신에 피모스형 이퀄라이저 회로를 제공하고 상기 피모스형 이퀄라이저 회로를 보다 효율적으로 제어할 수 있는 이퀄라이징 신호 발생부를 제공한다. In order to achieve the above technical problem, the present invention provides a PMOS type equalizer circuit in place of the existing NMOS type bit line equalizer circuit, and provides an equalizing signal generator capable of controlling the PMOS type equalizer circuit more efficiently. .

보다 상세하게는, 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치는, 데이터를 저장하는 다수의 메모리 셀을 포함하는 제1 및 제2 메모리 블록, 상기 제1 및 제2 메모리 블럭 사이에 공유되어 있으며 비트라인 쌍을 통해 상기 메모리 셀에 데이터를 기입하거나 독출하는 센스 앰프, 비트라인 이퀄라이징 신호를 발생시키는 비트라인 이퀄라이징 신호 발생부, 및 상기 비트라인 이퀄라 이징 신호에 응답하여 상기 비트라인 쌍을 비트라인 프리차아지 전압으로 프리차아지 시키는 비트라인 이퀄라이저 회로를 구비하며, 특히 상기 비트라인 이퀄라이저 회로는 피모스 트랜지스터들을 포함하여 구성되고 상기 비트라인 이퀄라이징 신호는 음의 전압값을 갖는 것을 특징으로 한다.More specifically, the semiconductor memory device according to the present invention for achieving the above technical problem, the first and second memory blocks including a plurality of memory cells for storing data, between the first and second memory blocks A sense amplifier that writes and reads data into and reads data from the memory cells through a pair of bit lines, a bit line equalizing signal generator for generating a bit line equalizing signal, and the bit line in response to the bit line equalizing signal And a bit line equalizer circuit for precharging the pair to a bit line precharge voltage, in particular said bit line equalizer circuit comprising PMOS transistors and said bit line equalizing signal having a negative voltage value. It is done.

바람직한 일실시예에 따르면 상기 비트라인 이퀄라이징 신호 발생부는, 어드레스 신호와 이퀄라이징 인에이블 신호를 입력받아 소정의 제어신호를 발생하는 신호 제어부, 상기 제어신호를 입력받아 손실없이 전달하기 위하여 상기 제어신호를 유지시켜 주는 신호 유지부, 상기 신호 유지부의 출력신호의 로우 레벨을 상기 음의 전압값으로 쉬프트하는 레벨쉬프터; 및 상기 레벨쉬프터의 출력신호를 입력받아 상기 비트라인 이퀄라이징 신호를 상기 이퀄라이저 회로에 제공하는 신호 구동부를 구비한다.According to a preferred embodiment, the bit line equalizing signal generator is a signal controller for receiving an address signal and an equalizing enable signal and generating a predetermined control signal, and maintaining the control signal for receiving and transmitting the control signal without loss. A level shifter for shifting a low level of an output signal of the signal retainer to the negative voltage value; And a signal driver configured to receive an output signal of the level shifter and provide the bit line equalizing signal to the equalizer circuit.

상기 비트라인 이퀄라이징 신호 발생부는, 상기 신호 유지부와 상기 레벨쉬프터 사이에 연결되고, 상기 신호 유지부의 출력신호의 위상을 반전시켜 상기 레벨쉬트터로 출력하는 반전부를 더 구비할 수 있다. The bit line equalizing signal generating unit may further include an inverting unit connected between the signal holding unit and the level shifter and inverting a phase of an output signal of the signal holding unit and outputting the inverted phase to the level shifter.

상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 구동방법은, 어드레스 신호와 이퀄라이징 인에이블 신호를 입력받아 제어 신호를 발생하는 단계, 짝수개의 인버터를 이용하여 상기 제어 신호의 레벨을 유지시키는 단계, 상기 유지된 제어 신호의 로우 레벨을 음의 전압값을 갖는 바디 바이어스 전압으로 조정하는 단계, 및 상기 조정된 제어 신호를 비트라인 이퀄라이징 신호로서 비트라인 이퀄라이저 회로에 제공하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of driving a semiconductor memory device, the method comprising: generating a control signal by receiving an address signal and an equalizing enable signal, and maintaining the level of the control signal using an even number of inverters Adjusting the low level of the held control signal to a body bias voltage having a negative voltage value, and providing the adjusted control signal to the bit line equalizer circuit as a bit line equalizing signal. It features.

상기 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 구동방법은, 상기 조정하는 단계 전에, 상기 유지된 제어 신호의 위상을 반전시키는 단계를 더 구비할 수 있다.The driving method of the semiconductor memory device according to the present invention may further include inverting a phase of the held control signal before the adjusting.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 메모리장치에서의 비트라인 이퀄라이징 회로를 나타내는 회로도이다. 도 3에 도시된 비트라인 이퀄라이징 회로는 피모스형 비트라인 이퀄라이저이며 제 1, 제 2, 제 3 피모스 이퀄라이저 트랜지스터(310, 320, 330)을 포함하여 구성된다. 상기 피모스형 비트라인 이퀄라이저에 이퀄라이징 신호(PEQi)를 센싱 동작 중일 때는 하이레벨, 프리차아지 동작 중일 때는 로우레벨로 인가하면, 제 1, 제 2, 제 3 피모스 이퀄라이저 트랜지스터(310, 320, 330) 중에서 게이트-소스간 전압 Vgs가 가장 낮은 트랜지스터는 제 3 피모스 트랜지스터(330)가 된다. 예를 들어, 피모스 트랜지스터의 문턱 전압(VTH)을 0.7V라 했을 때, 센싱중에 비트라인 이퀄라이징 신호(PEQi)로 1.5V를 인가하고, 프리차아지 동작 중에는 음의 전압값, 즉 VBB(-0.7V)를 인가하면 Vgs가 가장 낮은 제 3 피모스 트랜지스터(330)의 Vgs값은 1.3V로 턴온되기에 충분한 전압이다. 3 is a circuit diagram illustrating a bit line equalizing circuit in a semiconductor memory device according to the present invention. The bit line equalizing circuit shown in FIG. 3 is a PMOS type bit line equalizer and includes first, second, and third PMOS equalizer transistors 310, 320, and 330. When the equalizing signal PEQi is applied to the PMOS bit line equalizer at a high level during a sensing operation and a low level during a precharge operation, the first, second, and third PMOS equalizer transistors 310, 320, The transistor having the lowest gate-source voltage Vgs among the 330 becomes the third PMOS transistor 330. For example, when the threshold voltage VTH of the PMOS transistor is 0.7 V, 1.5 V is applied as the bit line equalizing signal PEQi during sensing, and a negative voltage value, that is, VBB (−) during precharge operation, is applied. 0.7V), the Vgs value of the third PMOS transistor 330 having the lowest Vgs is a voltage sufficient to turn on to 1.3V.

도 4는 도 3에 도시된 비트라인 이퀄라이징 회로를 구비하는 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 동작 파형도이다. 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치에서는 이퀄라이징 신호(PEQi)가 하이 레벨, 즉 외부에서 인가되는 전원전압(VEXT) 레벨일 때 센싱동작이 수행되고 로우 레벨, 즉 음의 전압값(VBB)일 때 프리차아지 동작이 수행된다.4 is an operation waveform diagram of a semiconductor memory device according to the present invention having the bit line equalizing circuit shown in FIG. 3. Referring to FIG. 4, in the semiconductor memory device according to the present invention, a sensing operation is performed when the equalizing signal PEQi is at a high level, that is, a power voltage VEXT level applied from the outside, and a low level, that is, a negative voltage value VBB), the precharge operation is performed.

도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 메모리 장치를 상세히 나타내는 도면이다.5 is a diagram illustrating a semiconductor memory device in detail according to an embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 메모리 장치는 2개의 메모리 블럭(510, 520) 사이에, 비트라인 이퀄라이저 회로들(512, 522), 비트라인 아이소레이션 회로들(516, 526), 센스 앰프 회로(529), 그리고 칼럼 선택 회로(540), 비트라인 이퀄라이징 신호 발생부(530)가 배열된다. 비트라인 이퀄라이저 회로(512, 522)는 메모리 셀 데이터의 센싱 동작 이전에, 비트라인 이퀄라이징 신호 발생부(530)로부터 입력받은 신호(PEQi, PEQj)에 응답하여 제1 메모리 블럭(510)과 제2 메모리 블럭(520) 내의 비트라인들(BL,/BL)을 비트라인 프리차아지 전압(VBL)으로 프리차아지시킨다. Referring to FIG. 5, a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention may include bit line equalizer circuits 512 and 522 and bit line isolation circuits 516 between two memory blocks 510 and 520. 526, a sense amplifier circuit 529, a column select circuit 540, and a bit line equalizing signal generator 530 are arranged. The bit line equalizer circuits 512 and 522 may respond to the signals PEQi and PEQj received from the bit line equalizing signal generator 530 before the sensing operation of the memory cell data. The bit lines BL and / BL in the memory block 520 are precharged to the bit line precharge voltage VBL.

제1 비트라인 아이소레이션 회로(516)는 제1 메모리 블럭(510) 내 메모리 셀 데이터를 센싱할 때 제1 메모리 블럭(510)의 비트라인들(BL, /BL)을 센스 앰프 회로(529)와 연결시킨다. 이 때, 제2 비트라인 아이소레이션 회로(526)는 센스 앰프 회로(529)와 제2 메모리 블럭(520)의 비트라인들(BL, /BL)과의 연결을 차단한다. 반대로, 제2 비트라인 아이소레이션 회로(526)가 제2 메모리 블럭(520)의 비트라인들(BL, /BL)과 센스 앰프 회로(529)를 연결시키면, 제1 비트라인 아이소레이션 회로(516)는 제1 메모리 블럭(510)의 비트라인들(BL, /BL)과 센스 앰프 회로(529)와의 연결을 차단한다. 칼럼 선택 회로(540)는 센스 앰프 회로(529)에 의해 센싱되는 제1 또는 제2 메모리 블럭(510, 520) 내 메모리 셀 데이터를 데이터 입출력 라인(IO, IOB)으로 전달한다.When the first bit line isolation circuit 516 senses memory cell data in the first memory block 510, the first bit line isolation circuit 516 senses the bit lines BL and / BL of the first memory block 510. Connect with In this case, the second bit line isolation circuit 526 cuts off the connection between the sense amplifier circuit 529 and the bit lines BL and / BL of the second memory block 520. Conversely, when the second bit line isolation circuit 526 connects the bit lines BL and / BL of the second memory block 520 and the sense amplifier circuit 529, the first bit line isolation circuit 516 may be used. ) Disconnects the bit lines BL and / BL of the first memory block 510 from the sense amplifier circuit 529. The column select circuit 540 transfers memory cell data in the first or second memory blocks 510 and 520 sensed by the sense amplifier circuit 529 to the data input / output lines IO and IOB.

구체적으로, 비트라인 아이소레이션 회로들(516, 526)은 제 1 및 제 2 비트라인 아이소레이션 신호(PISOi, PISOj)에 각각 응답하여 제 1 및 제 2 메모리 블록들(510, 520)을 공유 센스 앰프와 선택적으로 연결시킨다. 피모스 트랜지스터들(513-515)로 구성된 비트라인 이퀄라이저 회로들(512, 522)은 제 1 및 제 2 메모리 블록(510, 520) 내 비트라인들(BL, /BL)을 제 1 및 제 2 비트라인 이퀄라이징 신호(PEQi, PEQj)에 응답하여 비트라인 프리차아지 전압(VBL)으로 각각 프리차아지시킨다.Specifically, the bit line isolation circuits 516 and 526 share the first and second memory blocks 510 and 520 in response to the first and second bit line isolation signals PISOi and PISOj, respectively. Selective connection with amplifier The bit line equalizer circuits 512 and 522 composed of the PMOS transistors 513 to 515 block the bit lines BL and / BL in the first and second memory blocks 510 and 520. Each of the bit line precharge voltages VBL is precharged in response to the bit line equalizing signals PEQi and PEQj.

이퀄라이징 신호 발생부(530)는 신호 제어부(531), 신호유지부(533), 신호 반전부(534), 레벨 쉬프터(537), 신호 구동부(535)를 구비하고 있다. 신호 제어부(531), 신호유지부(533), 및 신호 반전부(534)는 하이 레벨 전원으로서 메모리 장치 내부에서 발생되는 내부전압(VINT)을 사용하고 로우 레벨 전원으로서 접지전압(VSS)을 사용한다. 반면에, 레벨 쉬프터(537)와 신호 구동부(535)는 하이 레벨 전원으로서 외부에서 인가되는 외부전압(VEXT)을 사용하고 로우 레벨 전원으로서 음의 전압값, 즉 바디 바이어스 전압(VBB) 생성부(539)에서 생성되는 바디 바이어스 전압(VBB)을 사용한다.The equalizing signal generator 530 includes a signal controller 531, a signal holding unit 533, a signal inverting unit 534, a level shifter 537, and a signal driver 535. The signal controller 531, the signal holding unit 533, and the signal inverting unit 534 use the internal voltage VINT generated inside the memory device as the high level power supply and the ground voltage VSS as the low level power supply. do. On the other hand, the level shifter 537 and the signal driver 535 use an external voltage VEXT applied from the outside as a high level power source, and a negative voltage value, that is, a body bias voltage VBB generator, as the low level power source ( The body bias voltage VBB generated at 539 is used.

신호 제어부(531)는 어드레스 신호와 이퀄라이징 인에이블 신호를 입력받아 소정의 제어신호를 신호 유지부(533)로 출력한다. 신호 유지부(533)는 입력받은 상기 제어신호를 손실없이 전달하기 위하여 짝수개의 인버터를 구비하며 상기 제어신호를 유지시켜 준다. 반전부(534)는 신호 유지부(533)의 출력신호의 위상을 반전시 켜 레벨쉬트터(537)로 출력하며, 레벨 쉬프터(537)는 로우 레벨의 전압을 음의 전압값, 즉 바디 바이어스 전압(VBB)으로 낮추어 주는 역할을 한다.The signal controller 531 receives an address signal and an equalizing enable signal and outputs a predetermined control signal to the signal holding unit 533. The signal holding unit 533 is provided with an even number of inverters to transfer the received control signal without loss and maintains the control signal. The inverting unit 534 inverts the phase of the output signal of the signal holding unit 533 and outputs it to the level shifter 537. The level shifter 537 applies a low level voltage to a negative voltage value, that is, body bias. It serves to lower the voltage (VBB).

바디 바이어스 전압(VBB)은 메모리 어레이의 엔모스 벌크 바이어스를 잡아 주기 위해 바디 바이어스 전압(VBB) 생성부(539)에서 생성되는 바디 바이어스 전압(VBB)을 그대로 사용할 수 있기 때문에 별도의 추가적인 바디 바이어스 전압(VBB) 생성회로를 필요로 하지 않는다. 신호 구동부(535)는 레벨 쉬프터(537)의 출력신호를 입력받아 제 1 또는 제 2 피모스 비트라인 이퀄라이징 신호(PEQi, PEQj)를 발생하여 제 1 또는 제 2 비트라인 이퀄라이저 회로부(512, 522)로 인가한다. 제 1 또는 제 2 피모스 비트라인 이퀄라이징 신호(PEQi, PEQj)의 로우레벨은 음의 전압값, 즉 바디 바이어스 전압(VBB)을 갖는다.Since the body bias voltage VBB may use the body bias voltage VBB generated by the body bias voltage VBB generator 539 to hold the NMOS bulk bias of the memory array, an additional additional body bias voltage may be used. It does not require a (VBB) generation circuit. The signal driver 535 receives the output signal of the level shifter 537 and generates the first or second PMOS bit line equalizing signals PEQi and PEQj to generate the first or second bit line equalizer circuits 512 and 522. Is applied. The low level of the first or second PMOS bit line equalizing signals PEQi and PEQj has a negative voltage value, that is, the body bias voltage VBB.

다시 설명하면, 신호 제어부(531)는 어드레스 신호 및 비트라인 이퀄라이저 인에이블 신호를 입력받아 제 1 또는 제 2 메모리 블록을 선택하도록 제어 신호를 출력하고 신호 유지부(533)에서는 입력받은 제어신호가 원형대로 전달되도록 짝수개의 인버터를 통해 신호를 레벨 쉬프터(537)로 출력한다. 레벨 쉬프터를 통해 하이, 로우 판별 기준을 설정한 후 신호 구동부(535)로 입력된 신호는 제 4 노드(N4)를 거쳐 제 1 및 제 2 비트라인 이퀄라이징 신호(PEQi, PEQj)로써 인가되며, 제 3 노드(N3)에서의 신호의 위상과 제 4 노드(N4)에서의 비트라인 이퀄라이징 신호(PEQi)의 위상은 서로 반대이다.In other words, the signal controller 531 receives an address signal and a bit line equalizer enable signal, outputs a control signal to select the first or second memory block, and the signal controller 533 receives a circular control signal. The signal is output to the level shifter 537 through an even number of inverters so as to be transmitted as it is. After setting the high and low discrimination criteria through the level shifter, the signal input to the signal driver 535 is applied as the first and second bit line equalizing signals PEQi and PEQj through the fourth node N4. The phase of the signal at the third node N3 and the phase of the bit line equalizing signal PEQi at the fourth node N4 are opposite to each other.

제1 및 제2 비트라인 이퀄라이징 신호들(PEQi, PEQj)이 외부 전압(VEXT) 레벨인 하이레벨이면 비트라인(BL)과 상보 비트라인(/BL)은 비트라인 프리차아지 전 압(VBL) 레벨로 프리차아지된다. 이 후, 제1 메모리 블럭(510) 내 메모리 셀(MC0)을 센싱하기 위하여, 제1 비트라인 이퀄라이징 신호(PEQi)가 외부인가 전압(VEXT) 레벨인 하이레벨이 되어 비트라인 이퀄라이저의 피모스 트랜지스터들(513-515)을 턴오프 시킨다. 제1 비트라인 아이소레이션 신호(PISOi)가 승압 전압(VPP) 레벨의 하이레벨이 되고, 메모리 셀(MC0)의 워드라인(WLn-1)이 승압 전압(VPP) 레벨로 인에이블되어, 메모리 셀(MC0) 데이터는 비트라인(BL)을 통해 차아지 셰어링되면서 센스 앰프 회로(529)로 전달된다. 센스 앰프 회로(529)는 차아지 셰어링된 비트라인(BL)의 전압 레벨과 상보 비트라인(/BL)의 비트라인 프리차아지 전압(VBL)을 비교하여 메모리 셀 데이터를 판단한다.When the first and second bit line equalizing signals PEQi and PEQj are at a high level of the external voltage VEXT level, the bit line BL and the complementary bit line / BL are bit line precharge voltages VBL. Precharged to level. Thereafter, in order to sense the memory cell MC0 in the first memory block 510, the first bit line equalizing signal PEQi becomes a high level, which is an externally applied voltage VEXT level, so that the PMOS transistor of the bit line equalizer is provided. Turn off fields 513-515. The first bit line isolation signal PISOi becomes the high level of the boosted voltage VPP level, the word line WLn-1 of the memory cell MC0 is enabled to the boosted voltage VPP level, and thus the memory cell. The data MC0 is charged to the sense amplifier circuit 529 while being charged and shared through the bit line BL. The sense amplifier circuit 529 compares the voltage level of the charged share bit line BL with the bit line precharge voltage VBL of the complementary bit line / BL to determine memory cell data.

다음으로, 제2 메모리 블럭(520) 내 메모리 셀(MC1)을 센싱하기 위하여, 제2 비트라인 이퀄라이징 신호(PEQj)가 외부인가 전압(VEXT) 레벨의 하이레벨이 되고, 워드라인(WL1)이 승압 전압(VPP) 레벨로 인에이블되고, 제2 비트라인 아이소레이션 신호(PISOj)가 승압 전압(VPP) 레벨의 하이레벨이 되어, 메모리 셀(MC1) 데이터는 비트라인(BL)을 통해 차아지 셰어링되면서 센스 앰프 회로(529)로 전달된다. 이 때, 제1 비트라인 이퀄라이징 신호(PEQi)는 바디 바이어스 전압(VBB) 레벨의 로우레벨이 되어 비트라인 이퀄라이저의 피모스 트랜지스터들(513-515)을 턴온시켜 제1 메모리 블럭(510) 내 비트라인들(BL, /BL)을 비트라인 프리차아지 전압(VBL)으로 프리차아지시킨다. Next, in order to sense the memory cell MC1 in the second memory block 520, the second bit line equalizing signal PEQj becomes a high level of the externally applied voltage VEXT level, and the word line WL1 is formed. Enabled to the boosted voltage VPP level, the second bit line isolation signal PISOj becomes the high level of the boosted voltage VPP level, and the memory cell MC1 data is charged through the bit line BL. As it is shared, it is transferred to the sense amplifier circuit 529. At this time, the first bit line equalizing signal PEQi becomes a low level of the body bias voltage VBB level, thereby turning on the PMOS transistors 513-515 of the bit line equalizer to turn on the bits in the first memory block 510. The lines BL and / BL are precharged to the bit line precharge voltage VBL.

이상에서 도면과 명세서에서 최적의 실시예들이 기재되었다. 여기서, 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이 지 의미 한정이나 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위해 사용된 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 권리 범위는 첨부된 특허 청구 범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.In the above description and the best embodiments have been described in the specification. Herein, specific terms have been used, but they are used only for the purpose of illustrating the present invention and are not used to limit the scope of the present invention as defined in the meaning or claims. Therefore, the scope of the present invention should be defined by the technical spirit of the appended claims.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 메모리 장치에서는 비트라인 이퀄라이저 회로가 피모스 트랜지스터들로 구성되고 비트라인 이퀄라이저 회로를 제어하는 비트라인 이퀄라이징 신호의 로우 레벨을 음의 전압값인 바디 바이어스 전압(VBB)으로 구동한다. 따라서 보다 낮은 외부인가 전압(VEXT)에서도 안정적으로 이퀄라이징 동작을 수행할 수 있다.As described above, in the semiconductor memory device according to the present invention, a body bias voltage (VBB) in which the bit line equalizer circuit is composed of PMOS transistors and the low level of the bit line equalizing signal controlling the bit line equalizer circuit is a negative voltage value. To drive. Therefore, the equalizing operation can be stably performed even at a lower external applied voltage VEXT.

Claims (11)

데이터를 저장하는 다수의 메모리 셀을 포함하는 제1 및 제2 메모리 블럭;First and second memory blocks including a plurality of memory cells for storing data; 상기 제1 및 제2 메모리 블럭 사이에 공유되어 있으며 비트라인 쌍을 통해 상기 메모리 셀에 데이터를 기입하거나 독출하는 센스 앰프;A sense amplifier which is shared between the first and second memory blocks and writes data to or reads data from the memory cells through pairs of bit lines; 비트라인 이퀄라이징 신호를 발생시키는 비트라인 이퀄라이징 신호 발생부; 및A bit line equalizing signal generator for generating a bit line equalizing signal; And 상기 비트라인 이퀄라이징 신호에 응답하여 상기 비트라인 쌍을 비트라인 프리차아지 전압으로 프리차아지 시키는 비트라인 이퀄라이저 회로를 구비하며,And a bit line equalizer circuit for precharging the pair of bit lines to a bit line precharge voltage in response to the bit line equalizing signal, 상기 비트라인 이퀄라이저 회로는 피모스 트랜지스터들을 포함하고 상기 비트라인 이퀄라이징 신호는 음의 전압값을 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And the bit line equalizer circuit comprises PMOS transistors and the bit line equalizing signal has a negative voltage value. 제 1 항에 있어서, 상기 비트라인 이퀄라이징 신호 발생부는,The method of claim 1, wherein the bit line equalizing signal generator, 어드레스 신호와 이퀄라이징 인에이블 신호를 입력받아 소정의 제어신호를 발생하는 신호 제어부;A signal controller configured to receive an address signal and an equalizing enable signal and generate a predetermined control signal; 상기 제어신호를 입력받아 손실없이 전달하기 위하여 상기 제어신호를 유지시켜 주는 신호 유지부; 및A signal holding unit for holding the control signal in order to receive the control signal and transmit the same without loss; And 상기 신호 유지부의 출력신호의 로우 레벨을 상기 음의 전압값으로 쉬프트하는 레벨쉬프터를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And a level shifter for shifting the low level of the output signal of the signal holding portion to the negative voltage value. 제 2 항에 있어서, 상기 비트라인 이퀄라이징 신호 발생부는,The method of claim 2, wherein the bit line equalizing signal generator, 상기 신호 유지부와 상기 레벨쉬프터 사이에 연결되고, 상기 신호 유지부의 출력신호의 위상을 반전시켜 상기 레벨쉬트터로 출력하는 반전부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And an inverting portion connected between the signal holding portion and the level shifter and inverting a phase of an output signal of the signal holding portion and outputting the inverted phase to the level shifter. 제 2 항에 있어서, 상기 비트라인 이퀄라이징 신호 발생부는,The method of claim 2, wherein the bit line equalizing signal generator, 상기 레벨쉬프터의 출력신호를 입력받아 상기 비트라인 이퀄라이징 신호를 상기 이퀄라이저 회로에 제공하는 신호 구동부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And a signal driver configured to receive the output signal of the level shifter and provide the bit line equalizing signal to the equalizer circuit. 제 4 항에 있어서, 상기 레벨쉬프터와 상기 신호 구동부는 하이 레벨 전원으로서 외부에서 인가되는 외부전압을 사용하고 로우 레벨 전원으로서 상기 음의 전압값을 사용하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.The semiconductor memory device according to claim 4, wherein the level shifter and the signal driver use an external voltage applied from the outside as a high level power source and use the negative voltage value as a low level power source. 제 5 항에 있어서, 상기 음의 전압값으로서 상기 메모리 블록들에서 엔모스 벌크 바이어스를 잡아주기 위해 생성되는 바디 바이어스 전압이 사용되는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.6. The semiconductor memory device of claim 5, wherein a body bias voltage generated to hold an NMOS bulk bias in the memory blocks is used as the negative voltage value. 제 1 항에 있어서, 상기 비트라인 이퀄라이저 회로는 상기 비트라인 이퀄라 이징 신호가 하이일 때 디스에이블되고 로우일 때 인에이블되는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.2. The semiconductor memory device of claim 1, wherein the bit line equalizer circuit is disabled when the bit line equalizing signal is high and enabled when low. 비트라인 이퀄라이징 신호에 응답하여 비트라인 쌍을 프리차아지 시키는 비트라인 이퀄라이저 회로를 구비하는 반도체 메모리 장치의 구동 방법에 있어서,A method of driving a semiconductor memory device having a bit line equalizer circuit for precharging a pair of bit lines in response to a bit line equalizing signal, the method comprising: 어드레스 신호와 이퀄라이징 인에이블 신호를 입력받아 제어 신호를 발생하는 단계;Generating a control signal by receiving an address signal and an equalizing enable signal; 상기 제어 신호의 레벨을 유지시키는 단계;Maintaining a level of the control signal; 상기 유지된 제어 신호의 로우 레벨을 음의 전압값을 갖는 바디 바이어스 전압으로 조정하는 단계; 및Adjusting the low level of the maintained control signal to a body bias voltage having a negative voltage value; And 상기 조정된 제어 신호를 상기 비트라인 이퀄라이징 신호로서 상기 비트라인 이퀄라이저 회로에 제공하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 구동 방법.And providing the adjusted control signal to the bit line equalizer circuit as the bit line equalizing signal. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 조정하는 단계 전에, 상기 유지된 제어 신호의 위상을 반전시키는 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 구동 방법.And inverting the phase of the held control signal prior to the adjusting step. 제 8 항에 있어서, 상기 유지시키는 단계는,The method of claim 8, wherein the maintaining step, 짝수개의 인버터를 이용하여 상기 제어 신호의 레벨을 유지시키는 것을 특징 으로 하는 반도체 메모리 장치의 구동 방법.A method of driving a semiconductor memory device, characterized by maintaining the level of the control signal by using an even number of inverters. 제 8 항에 있어서, 상기 음의 전압값을 갖는 바디 바이어스 전압은 상기 반도체 메모리 장치 내의 메모리 블록들에서 벌크 바이어스를 잡아주기 위해 생성되는 전압인 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 구동 방법.10. The method of claim 8, wherein the body bias voltage having the negative voltage value is a voltage generated to hold a bulk bias in the memory blocks in the semiconductor memory device.
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