KR100715240B1 - VOC absorbing and recovering apparatus using microwave and method at the same of - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마이크로파에 의한 제어를 통해 대기중의 VOC 혼합 가스에서 VOC를 분리 회수할 수 있고 흡탈착 효율이 우수한 VOC 흡착회수장치 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a VOC adsorption recovery apparatus and method capable of separating and recovering VOC from VOC mixed gas in the atmosphere through control by microwaves and having excellent adsorption and desorption efficiency.

이를 위해, 본 발명은, VOC 혼합 가스에서 VOC의 흡착 및 분리회수가 이루어지는 흡착제를 구비한 흡착 회수부와, 상기 흡착 회수부에 마이크로파를 발생시키는 마이크로파 발진과, 상기 마이크로파 발진관을 통해 발생된 마이크로파를 상기 흡착회수부에 전달하는 도파관을 구비하는 마이크로파 조사부와, 상기 흡착제의 내부 온도를 측정하는 광화이버 온도계와, 상기 흡착제의 방전 여부를 측정하는 마이크로파 방전 감지부와, 상기 흡착제를 통과하여 배출되는 출구 가스의 VOC 농도를 측정하는 VOC 흡착회수 검사부와, 상기 측정된 내부 온도, 방전 여부, VOC 농도를 기준치와 비교하여, 상기 흡착제의 방전 및 VOC 농도의 피드백 제어를 행하는 마이크로파 제어부를 포함하는 VOC 흡착회수장치 및 방법을 제안한다.To this end, the present invention, the adsorption recovery unit having an adsorbent for adsorption and separation of the VOC in the VOC mixed gas, the microwave oscillation for generating microwaves in the adsorption recovery unit, and the microwaves generated through the microwave oscillation tube The microwave irradiator having a waveguide for transmitting to the adsorption recovery unit, an optical fiber thermometer for measuring the internal temperature of the adsorbent, a microwave discharge detector for measuring the discharge of the adsorbent, and discharged through the adsorbent VOC adsorption including a VOC adsorption recovery inspection unit for measuring the VOC concentration of the outlet gas, and a microwave control unit for controlling the discharge of the adsorbent and feedback control of the VOC concentration by comparing the measured internal temperature, discharge or VOC concentration with a reference value We propose a recovery device and method.

VOC, 흡착, 흡착제, 마이크로파 VOC, adsorption, adsorbent, microwave

Description

마이크로파를 이용한 VOC 흡착회수장치 및 그 방법{VOC absorbing and recovering apparatus using microwave and method at the same of}VOC absorbing and recovering apparatus using microwave and method at the same of

도 1은 종래의 VOC 흡착회수장치에서의 흡착회수 과정을 나타낸 것이다.Figure 1 shows the adsorption recovery process in the conventional VOC adsorption recovery apparatus.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 VOC 흡착회수장치를 통한 VOC의 흡착 회수 과정을 나타낸 도면이다.2 is a view showing the adsorption recovery process of VOC through the VOC adsorption recovery apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마이크로파를 이용한 VOC 흡착회수장치의 구성을 나타낸 블럭도이다.Figure 3 is a block diagram showing the configuration of the VOC adsorption recovery apparatus using a microwave according to another embodiment of the present invention.

도 4는 도 2 및 도 3에 도시된 본 발명에 따른 마이크로파를 이용한 VOC 흡착 회수 장치에서의 VOC 흡착 회수 과정을 나타낸 순서도이다.FIG. 4 is a flowchart illustrating a VOC adsorption recovery process in the VOC adsorption recovery apparatus using microwaves according to the present invention shown in FIGS. 2 and 3.

<도면의 주요 부호에 대한 설명><Description of Major Symbols in Drawing>

100, 200, 300: VOC 흡착회수장치100, 200, 300: VOC adsorption recovery device

110: 흡착탑 210; 흡착 회수부110: adsorption tower 210; Adsorption recovery part

112, 212; 흡착제 122: 흡착질112, 212; Adsorbent 122: Adsorbate

120: 냉각회수탑 220: 마이크로파 조사부120: cooling recovery tower 220: microwave irradiation unit

[산업상 이용 분야][Industrial use]

본 발명은 VOC 흡착회수장치 및 그 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 마이크로파에 의한 제어를 통해 대기중의 VOC 혼합 가스에서 VOC를 분리 회수할 수 있고 흡탈착 효율이 우수한 VOC 흡착회수장치 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a VOC adsorption recovery apparatus and method, and more particularly, to a VOC adsorption recovery apparatus and method capable of separating and recovering VOC from a VOC mixed gas in the atmosphere through control by microwaves and having excellent adsorption and desorption efficiency. It is about.

[종래 기술][Prior art]

오존층 파괴물질로 알려진 할로카본 (Halocarbons)과 결부된 대기 중 휘발성유기화합물(Volatile Organic Compounds, 이하 'VOC'라함)에 대한 최근 국제적 인식은 미량의 휘발성 유기물질이 대기 중에 존재하여 인체에 독성을 나타내고, 광화학 스모그를 발생시키는 매개체로 작용하는 점 등으로 인해 점차 관심이 고조되어 가고 있다. VOC의 대표적 물질로는 지방족탄화수소(Alipathic HC), 방향족 탄화수소(Aromatic HC), 할로겐화 탄화수소(Halogenated HC), 케톤(Ketones), 알데히드(Aldehydes), 글리콜(Glycols), 에테르(Ethers), 에폭시드(Epoxides), 페놀(Phenols) 등이 있으며, 현재 배출원에서 배출되고 있는 VOC 중 지방족 탄화수소, 방향족 탄화수소, 할로겐화 탄화수소가 주종을 이루며 전체 VOC의 70%를 차지하고 있다.Recent international recognition of Volatile Organic Compounds (VOCs) associated with halocarbons, known as ozone depleting substances, is toxic to humans due to the presence of trace volatile organics in the atmosphere. Increasingly, attention is increasing due to the fact that it acts as a medium for generating photochemical smog. Typical substances of VOC include aliphatic hydrocarbons, aromatic hydrocarbons, halogenated hydrocarbons, ketones, aldehydes, glycols, ethers, and epoxides. Epoxides, phenols, etc. are the major VOC emissions from the current sources, including aliphatic hydrocarbons, aromatic hydrocarbons and halogenated hydrocarbons, accounting for 70% of the total VOC.

VOC는 여러 경로를 통해서 대기로 방출되는데, 각종 산업공정에서 유기용매로 사용되어 그 과정 중에서 주로 방출되며, 이외에 자동차 배출가스, 소각로, 쓰레기, 폐수처리시설, 일반 가정의 연소과정에서 유출된다. 인체에 직접적 유해성은 크지 않으나 대기 중에서 질소산화물의 광분해반응에 직접 관여하여 오존과 알데히드류와 같은 이차적인 산화성 물질(Oxidants)의 생성을 유발하는 광화학스모그의 기인자(Photochemical Smog Precusor)로서의 환경오염 문제를 안고 있다.VOCs are released into the atmosphere through various paths, which are used as organic solvents in various industrial processes, and are mainly released during the process. In addition, they are emitted during the combustion process of automobile emissions, incinerators, waste, wastewater treatment facilities, and general households. Although not directly harmful to the human body, environmental pollution as Photochemical Smog Precusor, which is directly involved in the photolysis reaction of nitrogen oxides in the air, causing the generation of secondary Oxidants such as ozone and aldehydes. Is holding.

이같이 환경오염 문제를 안고 있는 VOC 제거를 위한 기술적 대책으로는 분리회수, 무해화처리(분해) 및 대체물질개발로 집약된다. 이들 중에서 무해화처리(분해)의 경우에는 분해 시설비 및 운영비 등의 비용 부담이 높고, 열소각 등의 경우 2차 연소 생성물에 의한 재오염 등의 문제가 발생할 수 있고, 대체물질개발은 현재상태에서 한계를 지니고 있으므로, 분리 회수(흡착회수를 이용한 재이용) 방법이 유용한 해결방안의 하나로 제시되고 있다. 특히, VOC가 단일 배출구에서 비교적 높은 농도로 배출되고 경제성이 있는 경우에는 회수시설을 설치하여 흡착 회수하는 방법이 바람직하다.The technical measures to remove VOCs with environmental pollution are concentrated in recovery, harmless treatment (decomposition) and development of alternative materials. Among these, the harmless treatment (decomposition) has a high cost of decomposition facilities and operating costs, and incineration may cause problems such as recontamination due to secondary combustion products. Because of its limitations, separation recovery (reuse with adsorption) is one of the useful solutions. In particular, when the VOC is discharged at a relatively high concentration from a single outlet and economical, a method of adsorbing and recovering by installing a recovery facility is preferable.

흡착 회수 방법은 배출되는 VOC 농도와 배출가스의 유량에 따라 흡착, 흡수, 냉각응축, 응축회수 등의 방법이 이용되고 있으며, 경우에 따라 이들 방법을 서로 혼합하여 사용할 수도 있다.Adsorption and recovery methods include adsorption, absorption, cooling condensation, and recovery of condensation depending on the discharged VOC concentration and the flow rate of the discharged gas, and these methods may be mixed with each other in some cases.

도 1은 종래의 VOC 흡착회수장치(100)에서의 흡착 회수 과정을 나타낸 것이다.Figure 1 shows the adsorption recovery process in the conventional VOC adsorption recovery apparatus 100.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 흡착회수장치(100)에서는 흡착탑(110) 및 냉각회수탑(120)의 두개의 흡착탑이 병렬로 구성되어 VOC의 흡탈착 과정이 행해지는데, 흡착제(112)를 통해 흡착된 흡착질(122)의 탈리 회수에 수증기를 열원으로 사용하므로, 사용한 열원(수증기)의 폐수처리가 필요하다.As shown in FIG. 1, in the conventional adsorption and recovery device 100, two adsorption towers of the adsorption tower 110 and the cooling recovery tower 120 are configured in parallel to perform an adsorption and desorption process of the VOC. Since water vapor is used as a heat source for the desorption recovery of the adsorbate 122 adsorbed through, wastewater treatment of the used heat source (steam) is necessary.

또한, 수증기를 이용하여 가스 혼합물의 가열과 냉각시에는 장시간의 작업이 소요되는 문제가 있었다.In addition, there is a problem that takes a long time when heating and cooling the gas mixture using water vapor.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여, 마이크로파를 이용한 제어를 통해 흡탈착의 효율적 전환은 물론, 가동시간을 단축할 수 있는 마이크로파를 이용한 VOC 흡착회수장치 및 그 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a VOC adsorption recovery apparatus and a method using microwaves, which can efficiently switch the adsorption and desorption through the control using microwaves, and shorten the operating time.

또한, 폐수처리를 필요로 하지 않으며, 간소하고 조작이 간단하고 비용을 절감할 수 있는 VOC 흡착회수장치 및 그 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, it is an object of the present invention to provide a VOC adsorption recovery apparatus and a method which does not require waste water treatment, which is simple, simple in operation, and which can reduce costs.

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일측면에 따르면, VOC 혼합 가스에서 VOC의 흡착 및 분리회수가 이루어지는 흡착제를 구비한 흡착 회수부; 상기 흡착 회수부에 마이크로파를 발생시키는 마이크로파 발진과, 상기 마이크로파 발진관을 통해 발생된 마이크로파를 상기 흡착회수부에 전달하는 도파관을 구비하는 마이크로파 조사부; 상기 흡착제의 내부 온도를 측정하는 광화이버 온도계; 상기 흡착제의 방전 여부를 측정하는 마이크로파 방전 감지부; 상기 흡착제를 통과하여 배출되는 출구 가스의 VOC 농도를 측정하는 VOC 흡착회수 검사부; 상기 측정된 내부 온도, 방전 여부, VOC 농도를 기준치와 비교하여, 상기 흡착제의 방전 및 VOC 농도의 피드백 제어를 행하는 마이크로파 제어부; 포함하는 VOC 흡착회수장치를 제공한다.
또한, 상기 마이크로파의 외부 노출을 방지하기 위해, 상기 흡착 회수부가 상기 도파관 상에 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 마이크로파 방전 감지부는 상기 흡착제의 방전 피크를 감지하는 포토멀티플라이어와, 상기 포토멀티플라이어와 연결되어 상기 포토멀티플라이어를 통해 감지된 방전 피크가 미약할 경우 이를 증폭하는 증폭기와, 상기 증폭기를 통해 증폭된 방전 피크를 확인하는 오실로스코프를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 도파관의 양 측면에 물을 흘려주는 수로를 형성하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, VOC 혼합 가스에서 VOC를 흡착회수하는 장치에 있어서, 흡착제가 상기 혼합가스를 흡착하는 단계; 상기 흡착제에 소정 시간 동안 마이크로파를 조사하는 단계; 상기 마이크로파 조사된 흡착제의 방전 여부를 측정하는 단계; 상기 방전 여부에 따라 마이크로파 조사량을 조절하여, 상기 흡착된 VOC 혼합가스에서 VOC와 상기 VOC를 제외한 가스가 분리되어 탈착되는 단계; 상기 흡착제의 출구단에서 출구 가스의 VOC 농도를 측정하고, 상치 측정된 VOC 농도에 따라 마이크로파 조사량을 조절하는 VOC 탈착 회수의 피드백 단계를 포함하는 VOC 흡착회수방법을 제공한다.
또한, 상기 소정 시간은 탈착 온도에 도달한 후 상기 탈착 온도를 지속적으로 유지하여 탈착이 완전히 이루어질 때까지 걸리는 시간인 것을 특징으로 한다.
In order to achieve the above object, according to an aspect of the present invention, the adsorption recovery unit having an adsorbent for adsorption and separation recovery of VOC in the VOC mixed gas; A microwave irradiation unit including a microwave oscillation for generating microwaves in the adsorption recovery unit, and a waveguide for transmitting microwaves generated through the microwave oscillation tube to the adsorption recovery unit; An optical fiber thermometer measuring an internal temperature of the adsorbent; A microwave discharge detector for measuring discharge of the adsorbent; VOC adsorption recovery inspection unit for measuring the VOC concentration of the outlet gas discharged through the adsorbent; A microwave controller configured to perform feedback control of the discharge and the VOC concentration of the adsorbent by comparing the measured internal temperature, discharge status, and VOC concentration with a reference value; It provides a VOC adsorption recovery device comprising.
In addition, in order to prevent the external exposure of the microwave, the adsorption recovery portion is characterized in that installed on the waveguide.
The microwave discharge detector may further include a photo multiplier for detecting a discharge peak of the adsorbent, an amplifier connected to the photo multiplier to amplify the discharge peak detected through the photo multiplier, and amplifying the discharge peak. It characterized in that it comprises an oscilloscope to identify the discharge peak amplified through.
In addition, it characterized in that to form a channel for flowing water on both sides of the waveguide.
According to another aspect of the present invention, an apparatus for adsorbing and recovering VOC in a VOC mixed gas, comprising: adsorbing the adsorbed gas; Irradiating the adsorbent with microwaves for a predetermined time; Measuring whether the microwave irradiated adsorbent is discharged; Adjusting the microwave irradiation amount according to whether the discharge is performed, and separating and desorbing the VOC and the gas excluding the VOC from the adsorbed VOC mixed gas; It provides a VOC adsorption recovery method comprising the step of measuring the VOC concentration of the outlet gas at the outlet end of the adsorbent, the feedback step of the VOC desorption recovery to adjust the amount of microwave radiation according to the phase measured VOC concentration.
In addition, the predetermined time is characterized in that it takes time until the desorption is completed by maintaining the desorption temperature continuously after reaching the desorption temperature.

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이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 VOC 흡착 회수 장치(200)를 통한 VOC의 흡착 회수 과정을 나타낸 도면이다.2 is a view showing the adsorption recovery process of the VOC through the VOC adsorption recovery apparatus 200 according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 VOC 흡착 회수 장치(200)는 대기에서 방출되는 VOC를 포함하는 오염 공기(이하, VOC 혼합 가스)에서 VOC를 흡착하여 청정 공기(오염 공기에서 VOC 제거된 공기)만 배출하는 흡착 회수부(210)와, 상기 흡착 회수부(210)를 통해 흡착된 VOC가 탈착 회수 되도록 마이크로파를 조사하는 마이크로파 조사부(220)를 구비한다.As shown in FIG. 2, the VOC adsorption recovery apparatus 200 according to the present invention adsorbs VOCs in polluted air (hereinafter, VOC mixed gas) including VOCs emitted from the atmosphere to remove VOCs from clean air (polluted air). Adsorption recovery unit 210 for discharging only the air) and a microwave irradiation unit 220 for irradiating microwaves so that the VOC adsorbed through the adsorption recovery unit 210 is desorbed and recovered.

여기서, 마이크로파 조사부(220)는 마이크로파를 발생시키는 마이크로파 발진관(Microwave Generator)(미도시)과, 상기 마이크로파 발진관을 통해 발생된 마이크로파를 흡착 회수부(210)에 전달하는 도파관(Wave Guide)(미도시)을 포함한다.Here, the microwave irradiation unit 220 is a microwave generator (Microwave Generator) (not shown) for generating a microwave, and a waveguide (Wave Guide) for delivering the microwave generated through the microwave oscillation tube to the adsorption recovery unit 210 ( Not shown).

또한, 마이크로파 조사부(220)를 통해 흡착 회수부(210)에 마이크로파 조사시 외부로 마이크로파가 누출되는 것을 방지하기 위해 마이크로파 차폐시설(미도시) 설치되는데, 상기 흡착 회수부(210)가 도파관 상에 설치되어 마이크로파의 외부 누출을 방지할 수 있다.In addition, a microwave shielding facility (not shown) is installed to prevent the leakage of microwaves to the outside during microwave irradiation to the adsorption recovery unit 210 through the microwave irradiation unit 220, the adsorption recovery unit 210 on the waveguide It can be installed to prevent external leakage of microwaves.

또한, 마이크로파 조사부(220)에서 사용되는 마이크로파는 공업 용도로 사용되는 ISM(Industrial Scientific Medical) 주파수대로서, 이 주파수대는 915±25MHz, 2450±50 MHz, 5800±70 MHz, 24125±125 MHz 가 해당될 수 있으며, 주로 마이크로파 가열시에는 2450±50 MHz 주파수대가 이용된다.In addition, the microwave used in the microwave irradiation unit 220 is an Industrial Scientific Medical (ISM) frequency band used for industrial purposes, and this frequency band may correspond to 915 ± 25MHz, 2450 ± 50 MHz, 5800 ± 70 MHz, and 24125 ± 125 MHz. For microwave heating, the 2450 ± 50 MHz frequency band is used.

또한, 흡착 회수부(210)는 원통형 또는 U자형 등의 다양한 형태의 흡착관 또는 흡착탑으로 구성될 수 있으며, 흡착 회수부(210)의 내부에는 VOC 흡착을 위한 흡착제(212)가 형성되어 있다.In addition, the adsorption recovery unit 210 may be composed of various types of adsorption tubes or adsorption towers, such as cylindrical or U-shaped, and the adsorption agent 212 for VOC adsorption is formed inside the adsorption recovery unit 210.

또한, 흡착제(212)로는 흡착제의 상용 담체로 사용되는 활성탄(activated carbon) 또는 메조포러스 탄소(Mesoporous Carbon) 등(이하, 활성탄 등)이 사용될 수 있다.In addition, as the adsorbent 212, activated carbon, mesoporous carbon, or the like (hereinafter, activated carbon) used as a commercial carrier of the adsorbent may be used.

특히, 메조포러스 탄소는, 기존의 제올라이트와 같이, Å 단위의 기공을 갖는 물질에 비하여, 상대적으로 2~10nm의 기공을 가지면서도, 균일한 기공 크기 분포를 보이기 때문에 유용하다.In particular, mesoporous carbon is useful because it exhibits a uniform pore size distribution while having a pore of 2 to 10 nm relative to a material having pores in the unit of 같이 like conventional zeolites.

또한, VOC는 일반적으로 활성탄 등에 잘 흡착되지만, 활성탄 등의 경우 VOC 탈착시 마이크로파를 조사하면, 방전과 급격한 온도상승을 일으키므로, 이로부터 흡착물질이 반응에 의해 2차 오염물질을 발생시킬 수 있다.In addition, VOC is generally adsorbed well on activated carbon, but in the case of activated carbon, irradiation with microwaves during VOC desorption causes rapid temperature rise with discharge, whereby adsorbents can generate secondary pollutants by reaction. .

따라서, 본 발명에서는 마이크로파 방전을 방지하고 탈착에 필요한 온도를 지속적으로 유지할 수 있게 활성탄 등의 표면을 자성체로 코팅함으로써, VOC에 대한 흡탈착 효율이 우수할 뿐아니라 마이크로파에 의한 제어가 용이하게 할 수 있다.Therefore, in the present invention, by coating a surface such as activated carbon with a magnetic material to prevent microwave discharge and maintain the temperature required for desorption, it is possible to facilitate the control by microwave as well as the adsorption and desorption efficiency to VOC. have.

즉, 본 발명의 흡착제(212)는 활성탄 등과, 상기 활성탄 등의 표면에 형성된 자성체 코팅층을 포함하며, 상기 자성체 코팅층의 두께는 10mm 이하가 바람직하며, 상기 자성체는 페라이트계 화합물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 한다.That is, the adsorbent 212 of the present invention includes activated carbon and the like, and a magnetic coating layer formed on the surface of the activated carbon, the thickness of the magnetic coating layer is preferably 10mm or less, and the magnetic body is selected from the group consisting of ferrite compounds It is characterized by one or more.

보다 바람직하게는 상기 자성체로는 Ni-Zn-페라이트, Mn-Zn-페라이트, γ-Fe2O3 및 Fe3O4 로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 것을 사용할 수 있다.More preferably, the magnetic material may be one or more selected from the group consisting of Ni-Zn-ferrite, Mn-Zn-ferrite, γ-Fe 2 O 3, and Fe 3 O 4 .

또한, 본 발명의 흡착제(212)는 상기 자성체로 코팅된 활성탄 이외에 실리카(SiO2), Talc(활석) 및 붕소로 이루어진 군에서 선택된 1종의 화합물로 코팅된 활성탄 또는 메조포러스 탄소를 함께 사용할 수도 있다.In addition, the adsorbent 212 of the present invention may be used together with activated carbon or mesoporous carbon coated with one compound selected from the group consisting of silica (SiO 2 ), Talc (talc) and boron in addition to the activated carbon coated with the magnetic material. have.

이때 실리카는 통상적인 졸-겔 방법에 의해 활성탄 등의 표면에 코팅될 수 있으며, 보다 상세하게는 TEOS(Si(OC2H5)4)를 용매에 용해시킨 후 아세트산과 물을 혼합하여 침척시키고, 실온에서 2일간 가수분해 및 충축합시키고, 이후 얻어진 결과물을 110℃에서 5시간 건조한 후 300℃에서 소성함으로써 실리카로 코팅된 흡착제(Si/AC)를 제조할 수 있다.In this case, silica may be coated on the surface of activated carbon by a conventional sol-gel method, and more specifically, after dissolving TEOS (Si (OC 2 H 5 ) 4 ) in a solvent, acetic acid and water are mixed and infiltrated. Silica-coated adsorbents (Si / AC) can be prepared by hydrolysis and charge condensation at room temperature for 2 days, and then drying the resultant at 110 ° C. for 5 hours and calcining at 300 ° C.

붕소로 코팅한 활성탄은 질화붕소(Boron Nitride)를 스프레이 방법으로 활성탄에 코팅하여 흡착제(Boron/AC)를 제조할 수 있다.Activated carbon coated with boron may be coated with boron nitride (Boron Nitride) on the activated carbon by a spray method to prepare an adsorbent (Boron / AC).

활석으로 코팅된 활성탄(Talc/AC)은 Mg3(Si4O10)(OH)2에 바인더를 첨가하여 물리적인 방법으로 활성탄에 코팅하여 흡착제(Talc/AC)를 제조할 수 있다.Talc-coated activated carbon (Talc / AC) may be coated with activated carbon by physical method by adding a binder to Mg 3 (Si 4 O 10 ) (OH) 2 to prepare an adsorbent (Talc / AC).

또한, Talc의 성분은 MgO, SiO2, Fe2O3로 구성될 수 있다.In addition, the components of Talc may be composed of MgO, SiO 2 , Fe 2 O 3 .

또한, 붕소로 코팅된 활성탄 등의 경우 질화붕소(Boron Nitrate), 바인더 및 용매로 혼합하여 코팅액 조성물을 제조한 후 활성탄 등을 코팅하여 제조될 수 있다.In addition, the activated carbon coated with boron may be prepared by mixing boron nitride (Boron Nitrate), a binder, and a solvent to prepare a coating solution composition and then coating activated carbon.

이와 같이, 흡착제(212)는 흡탈착 효율이 우수하면서도 마이크로파에 의한 제어가 용이하여야 하므로, 마이크로파 유전율이 우수하여 전기화학적으로 안정된 흡착제여야 한다.As described above, the adsorbent 212 should be easy to be controlled by microwaves while having excellent adsorption and desorption efficiency, and therefore, should be an electrochemically stable adsorbent having excellent microwave dielectric constant.

또한, 흡착 회수부(210)는 기존의 두개의 흡착탑이 병렬로 구성되는 것과 달리, 하나의 흡착관 또는 흡착탑(이하, 단일탑)으로 구성될 수 있다.In addition, the adsorption recovery unit 210 may be configured as one adsorption tube or adsorption tower (hereinafter, single tower), unlike two conventional adsorption towers configured in parallel.

즉, 흡착 회수부(210)에 마이크로파 조사부(220)에 의한 소정시간의 마이크로파 조사가 이루어지면, 흡착제(212)를 통해 흡착된 흡착질(VOC)이 탈착되는데, 청정 공기는 외부로 배출되고, 유해 성분만 남아 회수된다.That is, when a microwave irradiation of the predetermined time by the microwave irradiation unit 220 to the adsorption recovery unit 210, the adsorbent (VOC) adsorbed through the adsorbent 212 is desorbed, clean air is discharged to the outside, harmful Only the ingredients remain and are recovered.

또한, 마이크로파 조사의 경우에는 단시간에 탈착 온도에 도달 할 수 있고, 흡착제(212)와 VOC 사이의 결합을 끊을 수 있을 정도로 탈착에 필요한 온도를 충분유지하여, 짧은 시간에 VOC를 재생시킬 수 있으므로, 단일탑 연속 공정을 통해 VOC의 분리 회수가 가능하다.In addition, in the case of microwave irradiation, the desorption temperature can be reached in a short time, and the temperature necessary for desorption can be sufficiently maintained to break the bond between the adsorbent 212 and the VOC, so that the VOC can be regenerated in a short time. The single-column continuous process allows the separation and recovery of VOCs.

이와 같이, 마이크로파를 이용한 VOC 흡착 회수 장치는, 기존의 수증기 가열과 달리 열전도를 필요로 하지 않고, 내부에서부터 단시간에 가열할 수 있으며, 균일한 가열이 가능하여, 온도의 상승이 단시간에 일어나므로, 건조 시간이 대폭 단 축되어 생산성이 향상된다.Thus, unlike conventional steam heating, the VOC adsorption recovery apparatus using microwaves can be heated within a short time without requiring heat conduction, and uniform heating is possible, so that the temperature rises in a short time, Significantly shorter drying time improves productivity.

또한, 흡탈착의 효율적 전환은 물론, 가동 시간의 단축으로 에너지 절감효과 등 장치의 운영면에서도 경제적이다.In addition, it is economical in terms of the operation of the device, such as the energy conversion effect, as well as the efficient conversion of the desorption and desorption.

또한, 단일탑 연속 공정으로 짧은 시간내에 VOC의 분리 회수가 가능하므로, 마이크로파 흡착회수 과정이 간단하며 VOC 흡착 회수 장치도 소형화 시킬 수 있다.In addition, since the single-column continuous process can separate and recover the VOC within a short time, the microwave adsorption recovery process is simple and the VOC adsorption recovery apparatus can be miniaturized.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마이크로파를 이용한 VOC 흡착 회수 장치(300)의 구성을 나타낸 블럭도이다.3 is a block diagram showing the configuration of a VOC adsorption recovery apparatus 300 using microwaves according to another embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마이크로파를 이용한 VOC 흡착 회수 장치(300)는, 마이크로파를 발생시키는 마이크로파 발진관(Microwave Generator)(310)과, 상기 마이크로파 발진관(310)을 통해 발생된 마이크로파를 흡착관(320)에 전달하는 도파관(Wave Guide)(312)을 포함한다.As shown in FIG. 3, the VOC adsorption recovery apparatus 300 using microwaves according to another embodiment of the present invention includes a microwave generator 310 for generating microwaves, and the microwave oscillation tube 310. Waveguides (Wave Guide) 312 for transmitting the microwaves generated through the to the adsorption tube (320).

또한, 마이크로파 발진관(310)에서 사용되는 마이크로파는 2455 MHz± 20MHz 대이다.In addition, the microwave used in the microwave oscillation tube 310 is in the 2455 MHz ± 20 MHz band.

또한, 가스 공급 장치(370)에서 공급되는 시료인 VOC 혼합 가스는 흡착관(320)에 충진되는데, 본 발명의 다른 실시예에 따른 마이크로파를 이용한 VOC 흡착 회수 장치(300)는 흡착관(320)에 마이크로파 조사장치를 부착한 형태이다.In addition, the VOC mixed gas which is a sample supplied from the gas supply device 370 is filled in the adsorption tube 320, the VOC adsorption recovery apparatus 300 using the microwave according to another embodiment of the present invention is the adsorption tube 320 It is a form attached to the microwave irradiation device.

또한, 흡착관(320)은 석영제의 내경 8㎜의 U자관 또는 원통형의 탑으로 구성될 수 있으며, 흡착관(320)에서는 VOC의 흡착 및 분리 회수가 연속 공정으로 이루어진다.In addition, the adsorption tube 320 may be composed of a U-shaped tube or a cylindrical tower having an inner diameter of 8 mm made of quartz. In the adsorption tube 320, the adsorption and separation recovery of VOC is performed in a continuous process.

또한, 가스 공급 장치(370)는 통상적으로 VOC 유출 환경하에서의 오염된 대 기이므로, 실험예로서 필요한 것이고 따로 공급 장치를 구성할 필요는 없다 할 것이다.In addition, since the gas supply device 370 is typically contaminated atmosphere under a VOC effluent environment, it is necessary as an experimental example and there is no need to configure a supply device separately.

또한, 마이크로파 발진관(310)은 2.45GHz, 최대출력 1.2kW의 마그네트론 관을 사용하였고, 마이크로파는 발진관(310)으로부터 도파관(312)을 통하여 도입된다.In addition, the microwave oscillation tube 310 uses a magnetron tube of 2.45 GHz and a maximum output of 1.2 kW, and microwaves are introduced from the oscillation tube 310 through the waveguide 312.

또한, 도파관(312) 중간에 흡착관(320)을 설치하여, 마이크로파 조사시 도파관(312) 외부로 마이크로파가 누출되는 것을 방지한다.In addition, an adsorption tube 320 is installed in the middle of the waveguide 312 to prevent the microwave from leaking out of the waveguide 312 during microwave irradiation.

또한, 흡착관(320)내의 흡착제가 형성된 영역(흡착층)(321)의 내부 온도 조절 및 흡착층(321)의 방전 여부를 조절하는 마이크로파 제어부(Microwave Power Controller)를 형성한다.In addition, a microwave control unit (Microwave Power Controller) for controlling the internal temperature of the region (adsorbent layer) 321 in which the adsorbent is formed in the adsorption tube 320 and the discharge of the adsorption layer 321 is formed.

또한, 흡착관(320)의 중앙에 설치되어 흡착층(321)의 내부 온도를 측정하는 광화이버 온도계(Fiberoptic thermometer)(340)를 구비한다.In addition, a fiber optic thermometer 340 is installed at the center of the adsorption tube 320 to measure the internal temperature of the adsorption layer 321.

또한, 흡착층(321)의 방전 여부를 확인하는 마이크로파 방전 감지부(330)를 포함하는데, 마이크로파 방전 감지부(330)는 흡착관(320)에 부착되어 흡착층(321)의 방전 피크를 감지하는 포토멀티플라이어(photomultiplier)(331)와, 포토멀티플라이어(331)와 연결되어 상기 포토멀티플라이어(331)를 통해 감지된 방전 피크가 미약할 경우 이를 증폭하는 증폭기(Amplifier)(332)와, 상기 증폭기(332)를 통해 증폭된 방전 피크를 확인하는 오실로스코프(Digital real time Oscilloscope)(333)를 포함한다.The apparatus may further include a microwave discharge detector 330 for checking whether the adsorption layer 321 is discharged. The microwave discharge detector 330 is attached to the adsorption tube 320 to detect a discharge peak of the adsorption layer 321. A photomultiplier 331 and an amplifier 332 connected to the photomultiplier 331 to amplify the discharge peak detected by the photomultiplier 331 when the discharge peak is weak; A digital real time oscilloscope (333) for identifying the discharge peak amplified by the amplifier 332 is included.

또한, 가스 공급 장치(370)를 통해 공급된 VOC 혼합 가스가 흡착관(320)를 통과하여 VOC의 탈착 회수가 이루어진 후 배출되는 출구 가스의 농도을 연속적으로 측정하는 VOC 흡착 회수 검사부(380)를 포함한다.In addition, the VOC mixed gas supplied through the gas supply device 370 is passed through the adsorption tube 320 includes a VOC adsorption recovery inspection unit 380 for continuously measuring the concentration of the outlet gas discharged after the desorption recovery of VOC do.

또한, 마이크로파 방전 감지부(330)를 통해 흡착층(321)의 방전 여부를 확인하여 흡착제의 방전 현상이 발생하는 경우, 광화이버 온도계(340)를 통해 흡착층(321)의 내부 온도를 측정하여 과도한 온도 상승이 있는 경우와 같이, 급속 가열 또는 국부 이상 발열(run way)이 있는 경우에는, 마이크로파 발진관(310)을 제어하여 마이크로파 전력을 간헐적으로 조사한다든지, 저레벨의 마이크로파를 조사하여 급속 가열 및 국부 이상 발열을 제거하는 마이크로파 제어부(미도시)를 포함한다.In addition, when the discharge phenomenon of the adsorbent occurs by checking whether the adsorption layer 321 is discharged through the microwave discharge detector 330, by measuring the internal temperature of the adsorption layer 321 through the optical fiber thermometer 340. When there is rapid heating or local run way, such as when there is an excessive temperature rise, the microwave oscillating tube 310 is controlled to intermittently irradiate microwave power or by irradiating low-level microwave to rapidly heat and And a microwave controller (not shown) for removing local abnormal heat generation.

또한, 마이크로파 제어부는 VOC 흡착 회수 검사부(380)를 통해 출구 가스의 농도를 측정하여 VOC의 탈착 회수율을 체크하며, 탈착에 필요한 온도를 지속적으로 유지하도록 마이크로파 발진관(310)을 제어하여 VOC 탈착 회수율을 향상시킨다.In addition, the microwave control unit checks the desorption recovery rate of the VOC by measuring the concentration of the outlet gas through the VOC adsorption recovery inspection unit 380, and controls the microwave oscillation tube 310 to continuously maintain the temperature required for desorption, and thus the VOC desorption recovery rate. To improve.

또한, 마이크로파 발진관(310)으로부터 흡착관(320)에 도입되는 마이크로파의 입사력과 반사력을 측정하기 위해 흡착관(320)의 좌우 도파관(312)에 형성되는 결합기(Coupler)(351)와 연결되는 마이크로파 파워 미터기(Microwave Power Meter)(350)를 구비한다.In addition, a coupler (Coupler) 351 formed in the left and right waveguides 312 of the adsorption tube 320 to measure the incident force and the reflecting force of the microwaves introduced from the microwave oscillation tube 310 to the adsorption tube 320; A microwave power meter 350 is connected.

또한, 도파관(312)에서 마이크로파의 반사량을 없애기 위하여 도파관(312)의 양 측면에 물을 흘려주는 수로(Water load)(360)가 형성된다.In addition, a water load 360 for flowing water on both sides of the waveguide 312 is formed in order to remove the amount of reflection of the microwaves in the waveguide 312.

이 경우 시료를 지나간 마이크로파는 물에 의해 전부 흡수되어 반사되는 마이크로파는 없다.In this case, all the microwaves passing through the sample are not absorbed and reflected by water.

또한, 흡착제로는 흡착제의 상용 담체로 사용되는 활성탄(activated carbon) 또는 메조포러스 탄소(Mesoporous Carbon) 등(이하, 활성탄 등)이 사용될 수 있다.As the adsorbent, activated carbon or mesoporous carbon or the like (hereinafter, activated carbon) used as a commercial carrier of the adsorbent may be used.

본 발명의 흡착제는 활성탄 등과, 상기 활성탄 등의 표면에 형성된 자성체 코팅층을 포함하며, 상기 자성체는 페라이트계 화합물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 한다.The adsorbent of the present invention includes activated carbon and the like, and a magnetic coating layer formed on the surface of the activated carbon, wherein the magnetic material is at least one selected from the group consisting of ferrite compounds.

보다 바람직하게는 상기 자성체로는 Ni-Zn-페라이트, Mn-Zn-페라이트, γ-Fe2O3 및 Fe3O4 로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 것을 사용할 수 있다.More preferably, the magnetic material may be one or more selected from the group consisting of Ni-Zn-ferrite, Mn-Zn-ferrite, γ-Fe 2 O 3, and Fe 3 O 4 .

또한, 본 발명의 흡착제는 상기 자성체로 코팅된 활성탄 이외에 실리카(SiO2), Talc(활석) 및 붕소로 이루어진 군에서 선택된 1종의 화합물로 코팅된 활성탄 또는 메조포러스 탄소를 함께 사용할 수도 있다.In addition, the adsorbent of the present invention may be used together with activated carbon or mesoporous carbon coated with one compound selected from the group consisting of silica (SiO 2 ), Talc (talc) and boron in addition to the activated carbon coated with the magnetic material.

도 4는 도 2 및 도 3에 도시된 본 발명에 따른 마이크로파를 이용한 VOC 흡착 회수 장치에서의 VOC 흡착 회수 과정을 나타낸 순서도이다.FIG. 4 is a flowchart illustrating a VOC adsorption recovery process in the VOC adsorption recovery apparatus using microwaves according to the present invention shown in FIGS. 2 and 3.

도 4에 도시된 바와 같이, 먼저 흡착제가 충전된 흡착탑에서 대기 중에서 방출되는 VOC 혼합 가스를 흡착한다(S410).As shown in Figure 4, first adsorb the VOC mixed gas discharged from the atmosphere in the adsorption tower filled with the adsorbent (S410).

이후, 흡착탑에 소정 시간 동안 마이크로파를 조사하면(S420), 흡착된 VOC 혼합 가스에서 VOC와 상기 VOC를 제외한 가스가 분리되어 탈착된다(S430).
이때, 상기 마이크로파 조사된 흡착제의 방전 여부를 기준치와 비교하고, 기준치 이상으로 상기 방전 여부를 판단하면, 마이크로파 조사량을 낮추는 과정을 행한다.
여기서, 소정 시간은 마이크로파의 조사시 흡착된 VOC와 상기 VOC를 제외한 가스가 분리되는 온도, 즉 탈착 온도에 도달한 후 상기 탈착 온도를 지속적으로 유지하여 탈착이 완전히 이루어질 때까지 걸리는 시간을 의미한다.
Then, when irradiated with microwaves in the adsorption tower for a predetermined time (S420), the VOC and gas except for the VOC is separated from the adsorbed VOC mixed gas is desorbed (S430).
At this time, the discharge of the microwave irradiated adsorbent is compared with a reference value, and if the discharge is determined above the reference value, the process of lowering the amount of microwave irradiation is performed.
Here, the predetermined time means a time taken until the desorption is completed by continuously maintaining the desorption temperature after reaching the temperature at which the adsorbed VOC and the gas excluding the VOC are separated, that is, the desorption temperature when the microwave is irradiated.

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이후, 흡착탑의 출구단에서 VOC의 분리 착탈 후 배출되는 출구가스의 농도를 측정하고, 출구 가스의 VOC 함유 농도에 따라 마이크로파 조사의 양을 조절하여 VOC 회수량을 향상시키는 VOC 탈착 회수의 피드백 과정을 행한다(440).Thereafter, the concentration of the outlet gas discharged after separation and detachment of the VOC at the outlet of the adsorption tower was measured, and the feedback process of the VOC desorption recovery to improve the VOC recovery by adjusting the amount of microwave irradiation according to the concentration of VOC in the outlet gas was performed. 440.

이상에서, 마이크로파를 이용한 VOC 흡착회수장치 및 그 과정을 살펴보았지만, VOC 흡착회수를 위해 조사하는 전자파는 마이크로파에 한정되는 것은 아니며, 단시간에 균등 가열을 할 수 있는 마이크로파 이외의 전자파에도 적용할 수 있을 것이며, 또한, 단일 흡착탑이외의 흡착탑과 회수탑을 분리하는 병렬 형태도 적용가능 할 것이다.In the above, the VOC adsorption recovery apparatus using microwaves and the process thereof have been described, but the electromagnetic waves irradiated for VOC adsorption recovery are not limited to microwaves, and can be applied to electromagnetic waves other than microwaves that can be uniformly heated in a short time. In addition, a parallel form for separating the adsorption tower and the recovery column other than a single adsorption tower may be applicable.

또한, 본 발명은 상기의 실시예에 국한되는 것은 아니며 당해 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진자가 본 발명의 기술적 사상의 범위를 벗어나지 않는 범위내에서 설계 변경이나 회피설계를 한다 하여도 본 발명의 범위 안에 있다 할 것이다.In addition, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and even if a person of ordinary skill in the art makes a design change or avoidance design within a range not departing from the scope of the technical idea of the present invention. Will be in range.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 VOC 흡착 회수 장치 및 그 방법은 마이크로파를 이용하여 조사하므로, 기존의 수증기 가열과 달리 열전도를 필요로 하지 않고, 내부에서부터 균일한 가열이 가능하여, 단시간에 탈착온도에 도달하고 소정시간 동안 탈착 온도를 유지하여, 탈착에 따른 소요 시간이 대폭 단축되어 생산성을 향상시킬 수 있다.As described above, since the VOC adsorption recovery apparatus and method according to the present invention are irradiated using microwaves, unlike conventional steam heating, it does not require heat conduction and can be uniformly heated from the inside, and thus desorption in a short time. By reaching the temperature and maintaining the desorption temperature for a predetermined time, the time required for desorption can be significantly shortened to improve productivity.

또한, 흡탈착의 효율적 전환은 물론, 가동 시간의 단축으로 에너지 절감효과 등 장치의 운영면에서도 경제적이다.In addition, it is economical in terms of the operation of the device, such as the energy conversion effect, as well as the efficient conversion of the desorption and desorption.

또한, 단일탑 연속 공정으로 짧은 시간내에 VOC의 분리 회수가 가능하고 마 이크로파 흡착회수 과정을 간단히 할 수 있으며, VOC 흡착 회수 장치도 소형화 시킬 수 있다.In addition, it is possible to separate and recover VOC within a short time by a single column continuous process, simplify the microwave adsorption recovery process, and miniaturize the VOC adsorption recovery apparatus.

또한, 마이크로파를 이용하므로, VOC 흡착 회수에 폐수처리를 필요로 하지 않고, 회수물의 제2차 오염의 문제가 없어 재생된 VOC의 신뢰성을 높일 수 있다.In addition, since microwaves are used, the wastewater treatment is not required for the recovery of VOC adsorption, and there is no problem of secondary contamination of the recovered products, thereby improving the reliability of the regenerated VOC.

Claims (10)

VOC 혼합 가스에서 VOC의 흡착 및 분리회수가 이루어지는 흡착제를 구비한 흡착 회수부;An adsorption recovery section including an adsorbent for adsorbing and separating the VOCs from the VOC mixed gas; 상기 흡착 회수부에 마이크로파를 발생시키는 마이크로파 발진과, 상기 마이크로파 발진관을 통해 발생된 마이크로파를 상기 흡착회수부에 전달하는 도파관을 구비하는 마이크로파 조사부;A microwave irradiation unit including a microwave oscillation for generating microwaves in the adsorption recovery unit, and a waveguide for transmitting microwaves generated through the microwave oscillation tube to the adsorption recovery unit; 상기 흡착제의 내부 온도를 측정하는 광화이버 온도계;An optical fiber thermometer measuring an internal temperature of the adsorbent; 상기 흡착제의 방전 여부를 측정하는 마이크로파 방전 감지부;A microwave discharge detector for measuring discharge of the adsorbent; 상기 흡착제를 통과하여 배출되는 출구 가스의 VOC 농도를 측정하는 VOC 흡착회수 검사부;VOC adsorption recovery inspection unit for measuring the VOC concentration of the outlet gas discharged through the adsorbent; 상기 측정된 내부 온도, 방전 여부, VOC 농도를 기준치와 비교하여, 상기 흡착제의 방전 및 VOC 농도의 피드백 제어를 행하는 마이크로파 제어부; 포함하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치.A microwave controller configured to perform feedback control of the discharge and the VOC concentration of the adsorbent by comparing the measured internal temperature, discharge status, and VOC concentration with a reference value; VOC adsorption recovery device comprising a. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 마이크로파의 외부 노출을 방지하기 위해, 상기 흡착 회수부가 상기 도파관 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치.In order to prevent the external exposure of the microwaves, the adsorption recovery portion is installed on the waveguide, VOC adsorption recovery apparatus. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 마이크로파 방전 감지부는 상기 흡착제의 방전 피크를 감지하는 포토멀티플라이어와, 상기 포토멀티플라이어와 연결되어 상기 포토멀티플라이어를 통해 감지된 방전 피크가 미약할 경우 이를 증폭하는 증폭기와, 상기 증폭기를 통해 증폭된 방전 피크를 확인하는 오실로스코프를 포함하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치.The microwave discharge detector includes a photo multiplier for detecting a discharge peak of the adsorbent, an amplifier connected to the photo multiplier to amplify the discharge peak detected by the photo multiplier when the discharge peak is weak, and amplified by the amplifier. VOC adsorption recovery device comprising an oscilloscope for checking the discharge peak. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 도파관의 양 측면에 물을 흘려주는 수로를 형성하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수장치.VOC adsorption recovery device characterized in that to form a water channel for flowing water on both sides of the waveguide. VOC 혼합 가스에서 VOC를 흡착회수하는 장치에 있어서,In the apparatus for adsorbing and recovering VOC in the VOC mixed gas, 흡착제가 상기 혼합가스를 흡착하는 단계;Adsorbent adsorbing the mixed gas; 상기 흡착제에 소정 시간 동안 마이크로파를 조사하는 단계;Irradiating the adsorbent with microwaves for a predetermined time; 상기 마이크로파 조사된 흡착제의 방전 여부를 측정하는 단계;Measuring whether the microwave irradiated adsorbent is discharged; 상기 방전 여부에 따라 마이크로파 조사량을 조절하여, 상기 흡착된 VOC 혼합가스에서 VOC와 상기 VOC를 제외한 가스가 분리되어 탈착되는 단계;Adjusting the microwave irradiation amount according to whether the discharge is performed, and separating and desorbing the VOC and the gas excluding the VOC from the adsorbed VOC mixed gas; 상기 흡착제의 출구단에서 출구 가스의 VOC 농도를 측정하고, 상치 측정된 VOC 농도에 따라 마이크로파 조사량을 조절하는 VOC 탈착 회수의 피드백 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수방법.And measuring the VOC concentration of the outlet gas at the outlet end of the adsorbent, and feedbacking the VOC desorption number of times to adjust the microwave irradiation amount according to the measured phase VOC concentration. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 소정 시간은 탈착 온도에 도달한 후 상기 탈착 온도를 지속적으로 유지하여 탈착이 완전히 이루어질 때까지 걸리는 시간인 것을 특징으로 하는 VOC 흡착회수방법.The predetermined time is a VOC adsorption recovery method characterized in that it takes a time until the desorption is completed by maintaining the desorption temperature continuously after reaching the desorption temperature. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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