KR100708073B1 - Apparatus for dividing optical signal - Google Patents

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KR100708073B1
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Abstract

기판과, 기판 위에 적층된 베이스와, 광신호를 반사시키거나 통과시키도록 된 마이크로 미러와, 상기 베이스와 마이크로 미러 사이에 개재되어 마이크로 미러를 탄성지지하는 비틀림 스프링과, 상기 베이스에 설치되어 마이크로 미러를 제어하는 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 광신호 분배기가 개시되어 있다.A substrate, a base stacked on the substrate, a micromirror configured to reflect or pass an optical signal, a torsion spring interposed between the base and the micromirror to elastically support the micromirror, and installed on the base and the micromirror Disclosed is an optical signal splitter comprising a stopper for controlling the control.

이 광신호 분배기는 정전력 및 자력에 의해 마이크로 미러가 기판에 대해 수직으로 직립하거나 수평 상태로 있게 하는 것으로 마이크로 미러가 수직으로 직립하는 경우 상기 스토퍼에 의해 정확하게 수직 상태를 이루도록 제어하는 것이 용이하고 이로써 정확한 광신호 분배가 이루어진다. This optical signal splitter allows the micromirror to be vertically upright or horizontal to the substrate by electrostatic force and magnetic force, which is easy to control so that the micromirror is exactly vertically upright when the micromirror is upright. Accurate optical signal distribution is achieved.

Description

광신호 분배기{Apparatus for dividing optical signal}Optical signal splitter {Apparatus for dividing optical signal}

도 1은 종래의 광신호 분배기를 도시한 사시도,1 is a perspective view showing a conventional optical signal distributor,

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 광신호 분배기의 사시도,2 is a perspective view of an optical signal distributor according to a first embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 광신호 분배기의 개략적인 단면도,3 is a schematic cross-sectional view of an optical signal splitter according to a first embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 광신호 분배기의 사시도,4 is a perspective view of an optical signal splitter according to a second embodiment of the present invention;

도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 광신호 분배기의 개략적인 단면도,5 is a schematic cross-sectional view of an optical signal splitter according to a second embodiment of the present invention;

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 광신호 분배기의 작용을 설명하기 위한 개략적인 도면.6 is a schematic view for explaining the operation of the optical signal splitter according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

20...광신호 분배기 30...마이크로 미러20 ... optical splitter 30 ... micro mirror

40...기판 42...베이스40 ... substrate 42 ... base

44...수용공 50...스토퍼44 ... Hairman 50 ... Stopper

54...비틀림스프링 55...자기 구동원54.Torsion spring 55 ... Magnetic drive source

56...자성체 60,62,64...보조 전극 56 ... magnetic substance 60,62,64 ... auxiliary electrode

68...광파이버 70,72...마이크로 렌즈68 ... optical fiber 70,72 ... micro lens

본 발명은 어느 입력 단자의 광신호를 소정의 출력 단자로 보내기 위한 광신호 분배기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 마이크로 미러가 정전력 및 자력에 의해 기판에 대해 정확하게 수직으로 직립해 있거나 수평으로 유지되도록 하여 광신호를 분배하는 광신호 분배기에 관한 것이다.The present invention relates to an optical signal splitter for sending an optical signal of an input terminal to a predetermined output terminal, and more particularly, so that the micromirror is vertically or vertically upright with respect to the substrate by electrostatic force and magnetic force. The present invention relates to an optical signal distributor for distributing optical signals.

도 1은 정전력을 이용한 종래의 광분배기를 도시한 것으로서, 다결정질 실리콘 재질의 마이크로 미러(28)를 구동하기 위한 액추에이터(32)가 베이스면(34)에 슬라이드 가능하게 장착되고, 이는 정전력에 의하여 움직이도록 되어 있으며, 마이크로 미러(28)가 상기 액추에이터(32)에 의해 연동되도록 결합되어 있다. 1 shows a conventional optical splitter using electrostatic power, in which an actuator 32 for driving the micromirror 28 made of polycrystalline silicon is slidably mounted on the base surface 34, which is electrostatic power. It is to be moved by, and the micro mirror 28 is coupled to be interlocked by the actuator (32).

그런데 정전력에 의해 구동하는 스크래치 드라이브 액추에이터(Scratch drive actuator)나 콤 드라이브 액추에이터(comb drive actuator)에 의해 상기 마이크로 미러(30)를 구동하기 위해서는 그 부피가 매우 커야 하고, 이러한 구조는 마이크로 미러(30)와 액추에이터(32)가 같은 평면에 배치되어 있으므로 광신호 분배기를 2차원 메트릭스 형태로 배열할 때 조밀하게 만들 수 없는 문제점이 제기된다. However, in order to drive the micromirror 30 by a scratch drive actuator or a comb drive actuator driven by electrostatic force, the volume of the micromirror 30 must be very large. ) And the actuator 32 are arranged in the same plane, a problem that cannot be made compact when arranging the optical signal splitter in the form of a two-dimensional matrix.

또한 정전력에 의해서만 마이크로 미러(30)를 구동하므로 전력 소모가 많고 상기 마이크로 미러(30)를 정확하게 베이스면(34)에 대해 수직으로 세우는 것이 어려울 뿐만 아니라, 마이크로 미러가 다결정질 실리콘 재질로 되어 있거나 다결정질 실리콘 위에 금속 박막을 코팅한 것이 사용되었지만 다결정 실리콘의 거칠기나 평탄도가 좋지 않기 때문에 광손실이 큰 단점이 있다.In addition, since the micromirror 30 is driven only by electrostatic power, power consumption is high, and it is difficult not only to vertically place the micromirror 30 perpendicularly to the base surface 34, but also the micromirror is made of polycrystalline silicon or The coating of a metal thin film on the polycrystalline silicon is used, but the light loss is large because the roughness or flatness of the polycrystalline silicon is not good.

본 발명은 상기한 바와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로 조밀도가 크게 2차원의 메트릭스 형태로 배열 가능하고 마이크로 미러를 정전력 및 자력에 의해 정확하게 수직으로 세울 수 있는 광신호 분배기를 제공하는 데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described points, and provides an optical signal splitter capable of arranging the matrix in a two-dimensional matrix with a large density, and allowing the micromirrors to be erected vertically precisely by electrostatic force and magnetic force. There is a purpose.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 광신호 분배기는, 기판과; 상기 기판 위에 적층되고 수용공이 형성된 베이스와; 상기 수용공에 수용되어 광신호를 통과시키거나 상기 베이스에 대해 수직으로 직립하여 광신호를 반사시키도록 된 마이크로 미러와; 상기 베이스와 상기 마이크로 미러 사이에 개재되어 상기 마이크로 미러를 탄성적으로 지지하는 비틀림 스프링과; 상기 베이스에 설치되어 상기 마이크로 미러의 직립시 상기 마이크로 미러의 직립 위치를 제어하는 스토퍼와; 상기 마이크로 미러를 자력에 의해 1차적으로 구동하기 위한 자기 구동 수단과; 상기 마이크로 미러 주위에 마련되어 상기 마이크로 미러를 정전력에 의해 2차적으로 각도 조절하여 수직으로 세우는 보조 전극; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, an optical signal distributor according to a preferred embodiment of the present invention, the substrate; A base stacked on the substrate and having a receiving hole formed therein; A micro-mirror accommodated in the accommodation hole to reflect the optical signal by passing the optical signal or standing upright with respect to the base; A torsion spring interposed between the base and the micromirror to elastically support the micromirror; A stopper installed at the base to control an upright position of the micromirror when the micromirror is upright; Magnetic driving means for primarily driving the micro mirror by magnetic force; An auxiliary electrode provided around the micromirror to vertically adjust the micromirror by an electrostatic force to stand vertically; Characterized in that it comprises a.

또한 상기 보조 전극은 상기 스토퍼에 설치되거나 또는 상기 기판 및 스토퍼에 설치되는 것을 특징으로 한다. The auxiliary electrode may be installed on the stopper or on the substrate and the stopper.

이하 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 광신호 분배기에 대해 상세히 설명한다. Hereinafter, an optical signal splitter according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2을 참조하여 본 발명의 광신호 분배기에 대하여 설명하면, 기판(40) 위 에 베이스(42)가 적층되고, 상기 베이스(42)에는 수용공(44)이 형성된다. 또한 상기 베이스(42)에 대해 수직으로 직립하여 광신호를 반사시키거나 상기 수용공(44)에 수용되어 광신호를 통과시키도록 된 마이크로 미러(30)가 구비되고, 상기 마이크로 미러(30)의 직립 상태를 제어하는 스토퍼(50)가 상기 베이스(42)에 돌출 형성된다. Referring to FIG. 2, the optical signal distributor of the present invention will be described. A base 42 is stacked on a substrate 40, and a receiving hole 44 is formed in the base 42. In addition, the micro mirror 30 is provided perpendicular to the base 42 to reflect the optical signal or to be accommodated in the receiving hole 44 to pass the optical signal, the micro mirror 30 of the A stopper 50 for controlling an upright state is formed to protrude from the base 42.

그리고 비틀림 스프링(54)이 상기 베이스(42)와 마이크로 미러(30) 사이에 개재되어 상기 마이크로 미러(30)를 탄성지지하며 상기 스토퍼(50) 둘레로 회동한다. 따라서 상기 비틀림 스프링(54)이 회동됨에 따라 상기 마이크로 미러(30)가 함께 회동하도록 되어 있다. A torsion spring 54 is interposed between the base 42 and the micromirror 30 to elastically support the micromirror 30 and rotate around the stopper 50. Therefore, as the torsion spring 54 is rotated, the micro mirror 30 is rotated together.

상기 비틀림 스프링(54)이 상기 스토퍼(50) 둘레로 회동하되 최대 상향 회동 범위가 상기 스토퍼(50)의 상부면을 넘지 않고 스토퍼의 측면과 만나는 곳까지이도록 함으로써 비틀림 스프링이 상기 스토퍼(50)에 의해 저지된다. The torsion spring 54 is rotated around the stopper 50, but the torsion spring is to the stopper 50 by the maximum upward rotation range to meet the side of the stopper without exceeding the upper surface of the stopper 50 Is prevented by

또한 상기 마이크로 미러(30)를 자력에 의해 구동하기 위한 자기 구동 수단이 구비된다. 이 자기 구동 수단은 상기 마이크로 미러(30)의 상부에 구비된 자기 구동원(55)과, 상기 마이크로 미러(30)의 일면 양측부에 부착된 자성체(56)로 이루어진다. 이때 상기 자성체(56)를 마이크로 미러(30) 전체면에 부착하지 않고 양측의 일부에만 부착한다. 이것은 자성체를 미러면 전체에 부착하면 마이크로 미러면에 빛이 반사될 때 자성체의 표면 조도 및 반사율이 불량하여 광신호 분배율이 저하되는 것을 방지하기 위한 것이다.In addition, magnetic driving means for driving the micro mirror 30 by magnetic force is provided. The magnetic drive means includes a magnetic drive source 55 provided on the micro mirror 30 and a magnetic body 56 attached to both sides of one surface of the micro mirror 30. At this time, the magnetic body 56 is attached to only a part of both sides without attaching the entire surface of the micromirror 30. This is to prevent the magnetic signal from being degraded due to poor surface roughness and reflectance of the magnetic material when the magnetic material is attached to the entire mirror surface when the light is reflected on the micro mirror surface.

한편 상기 자력에 의해 1차적으로 마이크로 미러를 회동한 후 2차적으로 상 기 마이크로 미러(30)에 정전력을 제공하여 마이크로 미러가 직립하도록 하는 보조 전극이 구비된다. On the other hand, after the primary rotation of the micromirror by the magnetic force is provided with an auxiliary electrode for providing the electrostatic power to the micromirror (30) to make the micromirror upright.

제1실시예에서는 보조 전극(60)이 상기 마이크로 미러(30)와 상호 작용하도록 상기 스토퍼(50)에만 설치되어 마이크로 미러(30)와 상기 보조 전극(60) 사이에 정전력이 작용한다. In the first embodiment, the auxiliary electrode 60 is installed only on the stopper 50 so that the auxiliary electrode 60 interacts with the micro mirror 30, and thus electrostatic force is applied between the micro mirror 30 and the auxiliary electrode 60.

다시 말하면, 도 3에 도시한 바와 같이 상기 마이크로 미러(30)와 상호 정전력이 작용하도록 하는 보조 전극(60)을 상기 스토퍼(50)에 설치하여 상기 자력에 의해 마이크로 미러면이 어느정도 스토퍼(50)에 근접했을 때 정전력을 제공하거나 제공하기 않을 수 있다.In other words, as shown in FIG. 3, an auxiliary electrode 60 is installed on the stopper 50 to allow the electrostatic force to interact with the micromirror 30. ) May or may not provide static power.

광신호를 반사시키고자 하는 마이크로 미러의 보조 전극(60)에 전원을 인가하면 상기 마이크로 미러(30)와 보조 전극(60) 사이에 정전 인력이 작용하여 상기 마이크로 미러는 스토퍼(50)에 의해 저지될 때까지 회동을 계속한 후에 상기 스토퍼에 지지되어 상기 기판(40)면에 대해 수직 상태를 유지한다. When power is applied to the auxiliary electrode 60 of the micromirror to reflect the optical signal, the electrostatic attraction acts between the micromirror 30 and the auxiliary electrode 60 and the micromirror is blocked by the stopper 50. After the rotation is continued, the stopper is supported by the stopper so as to be perpendicular to the surface of the substrate 40.

그러나 광신호를 통과시키고자 하는 마이크로 미러에 대해서는 상기 보조 전극(60)에 전원을 인가하지 않은 채 처음에 공급한 자력을 제거하면 상기 비틀림 스프링(54)의 복원력에 의해 제 위치로 돌아가 상기 수용공(44)에 수용된다. However, for the micro-mirror to pass the optical signal, if the magnetic force supplied initially without the power supply to the auxiliary electrode 60 is removed, it returns to the position by the restoring force of the torsion spring 54 and the receiving hole Is accommodated in 44.

여기에서 상기 마이크로 미러가 스토퍼(50)에 수직으로 직립하기 전에 상기 스토퍼에 걸리게 되나 그 후 정전인력에 의해 계속 상향으로 힘을 받게 되면 비틀림 스프링의 인장성으로 인해 상기 마이크로 미러는 계속 회동하여 스토퍼에 의해 정확하게 수직을 유지하도록 제어된다. 이때 상기 스토퍼(50)에 마이크로 미러(30) 가 지지되어 수직으로 직립시 마이크로 미러에 광신호가 입사될 수 있는 면이 노출되도록 하여야 한다. Here, when the micromirror is caught by the stopper before standing upright on the stopper 50, but is continuously forced upward by the electrostatic force, the micromirror is continuously rotated to the stopper due to the tension of the torsion spring. It is controlled to keep the vertical exactly. At this time, the micromirror 30 is supported by the stopper 50 so that the surface where the optical signal is incident on the micromirror may be exposed when it is vertically upright.

제2실시예에서는 도4 및 도5에 도시한 바와 같이 보조 전극이 베이스(42) 및 스토퍼(50)에 각각 제1보조 전극(62) 및 제2보조 전극(64)으로 설치되어 제1보조 전극과 마이크로 미러 사이 및 제2보조 전극과 마이크로 미러 사이에 각각 정전력이 작용할 수 있도록 된다. In the second embodiment, as shown in Figs. 4 and 5, the auxiliary electrode is installed on the base 42 and the stopper 50 as the first auxiliary electrode 62 and the second auxiliary electrode 64, respectively. Constant power may be applied between the electrode and the micromirror and between the second auxiliary electrode and the micromirror, respectively.

상기 베이스(42) 및 상기 스토퍼(50)에 각각 제 1보조 전극(62) 및 제 2보조 전극(64)을 상기 마이크로 미러면에 대향하도록 설치한다. 여기서는 1차적으로 모든 광신호 분배기에 자력을 인가함과 동시에 광신호를 반사시키고자 하는 마이크로 미러에 대해서는 상기 제 1보조 전극(62)에 전원을 인가하지 않은 채 상기 제 2보조 전극(64)에 전원을 인가함으로써 마이크로 미러를 상향으로 회동하게 하여 상기 스토퍼에 의해 지지되도록 한다.The first auxiliary electrode 62 and the second auxiliary electrode 64 are provided on the base 42 and the stopper 50 so as to face the micro mirror surface. In this case, the first and second sub-electrodes 64 are applied to the second sub-electrodes 64 without applying power to the first sub-electrodes 62 for the micro-mirror to reflect the optical signals while simultaneously applying magnetic force to all the optical signal distributors. By applying power, the micro mirror is rotated upward to be supported by the stopper.

한편 광신호를 통과시키고자 하는 곳의 마이크로 미러에는 상기 제 1 보조 전극(62)과의 관계에서 상기 자력에 상응하는 만큼의 정전력을 반대 방향으로 작용하도록 함으로써 처음부터 상기 마이크로 미러가 회동하지 않도록 한다.On the other hand, the micromirror where the optical signal is to be passed through acts as the electrostatic force corresponding to the magnetic force in the opposite direction in relation to the first auxiliary electrode 62 so that the micromirror is not rotated from the beginning. do.

더욱이 본 발명에서는 광손실을 줄이기 위해 마이크로 미러에는 경면 실리콘 웨이퍼나 반사도가 양호한 알루미늄 등의 금속을 사용한다. 실리콘 웨이퍼면을 랩핑(lapping)함으로써 표면 조도 및 편평도가 향상되고 이로써 광손실을 줄일 수 있다. 또한 마이크로 미러를 알루미늄으로 제조하는 경우는 반사용 금속막을 별도로 증착하지 않아도 되기 때문에 제조 공정이 간단해짐과 아울러 광효율이 향상된다는 점에서 유익하다. Furthermore, in the present invention, a metal such as a mirror silicon wafer or aluminum having good reflectivity is used for the micromirror to reduce light loss. By wrapping the silicon wafer surface, surface roughness and flatness can be improved, thereby reducing light loss. In addition, when the micromirror is made of aluminum, it is advantageous in that the manufacturing process is simplified and the light efficiency is improved because the reflective metal film does not need to be deposited separately.

도 6을 참조하여 본 발명에 따른 광신호 분배기를 이용한 광신호 전송 과정을 개략적으로 살펴보면 다음과 같다. Referring to FIG. 6, the optical signal transmission process using the optical signal splitter according to the present invention will be described as follows.

입력부의 광파이버(68)에서 나온 빛은 초점 거리만큼 떨어져 배치된 마이크로 렌즈(70)를 거쳐 평행광으로 변환되고 마이크로 미러(30)를 향해 입사되어 반사된 다음 출력부로 들어가 마이크로 렌즈(72)를 통과해 광파이버로 전송된다.The light from the optical fiber 68 of the input portion is converted into parallel light through the micro lens 70 disposed by the focal length, and is incident and reflected toward the micro mirror 30, and then enters the output portion and passes through the micro lens 72. The solution is sent to the fiber.

여기에서 복수개의 마이크로 미러(30)가 2차원의 메트릭스 형태로 배열되고 광신호를 반사시키고자 하는 마이크로 미러를 수직으로 세우고 나머지 마이크로 미러는 수평을 유지하도록 함으로써 광경로를 선택하여 광신호를 전송할 수 있도록 된 것이다. Here, the plurality of micromirrors 30 are arranged in the form of a two-dimensional matrix, the micromirrors to reflect the optical signal are placed vertically, and the other micromirrors are kept horizontal to select an optical path to transmit the optical signal. It is.

예컨대 1행 4열(20a), 2행 3렬(20b), 3행 1렬(20c) 및 4행 2열(20d)의 마이크로 미러가 수직으로 세워지고 나머지 마이크로 미러는 상기 수용공(44)에 수용되어 원상태를 유지하고 있어 수직으로 세워진 마이크로 미러를 통해서만 광신호가 반사되어 출력단으로 출력된다.For example, the micromirrors of 1 row 4 columns 20a, 2 rows 3 rows 20b, 3 rows 1 rows 20c, and 4 rows 2 columns 20d are erected vertically, and the remaining micro mirrors are placed in the accommodation holes 44. The optical signal is reflected to the output terminal only through the vertically mounted micromirror.

본 발명에서는 상기 마이크로 미러가 정전력 및 자력에 의해 작동된다. 우선 자기 구동원(55)에 의해 발생된 자기장(H)으로 인해 상기 마이크로 미러면에 부착된 자성체(56)가 힘을 받아 상기 비틀림 스프링(54)이 회동됨에 따라 마이크로 미러가 함께 회동된다.In the present invention, the micro mirror is operated by electrostatic force and magnetic force. First, as the torsion spring 54 is rotated by the magnetic body 56 attached to the micro mirror surface due to the magnetic field H generated by the magnetic drive source 55, the micro mirror is rotated together.

그 다음 정전력에 의해 마이크로 미러를 수직으로 세우거나 상기 수용공(44)에 수용되어 수평 상태가 되도록 선택한다. The micromirror is then placed vertically by electrostatic force or selected to be horizontally accommodated in the receiving hole 44.

본 발명에 따른 광신호 분배기는 정전력 및 자력에 의해 마이크로 미러를 기판에 대해 수직으로 세우거나 수평 상태로 있게 함으로써 광신호를 전송하는데, 마이크로 미러를 수직으로 세우는 경우 스토퍼를 구비하여 상기 마이크로 미러가 제어되도록 함으로써 정전력 및 자력을 정교하게 조절하지 않고도 마이크로 미러를 정확히 수직을 이루도록 하는 것이 용이하다.The optical signal distributor according to the present invention transmits an optical signal by vertically or horizontally placing the micromirror with respect to the substrate by electrostatic force and magnetic force. When the micromirror is vertically provided, the micromirror is provided with a stopper. By being controlled, it is easy to ensure that the micromirror is exactly vertical without precisely adjusting the electrostatic force and magnetic force.

Claims (4)

기판과;A substrate; 상기 기판 위에 적층되고 수용공이 형성된 베이스와;A base stacked on the substrate and having a receiving hole formed therein; 상기 수용공에 수용되어 광신호를 통과시키거나 상기 베이스에 대해 수직으로 직립하여 광신호를 반사시키도록 된 마이크로 미러와;A micro-mirror accommodated in the accommodation hole to reflect the optical signal by passing the optical signal or standing upright with respect to the base; 상기 베이스와 상기 마이크로 미러 사이에 개재되어 상기 마이크로 미러를 탄성적으로 지지하는 비틀림 스프링과;A torsion spring interposed between the base and the micromirror to elastically support the micromirror; 상기 베이스에 설치되어 상기 마이크로 미러의 직립시 상기 마이크로 미러의 직립 위치를 제어하는 스토퍼와;A stopper installed at the base to control an upright position of the micromirror when the micromirror is upright; 상기 마이크로 미러를 자력에 의해 1차적으로 구동하기 위한 자기 구동 수단과;Magnetic driving means for primarily driving the micro mirror by magnetic force; 상기 마이크로 미러 주위에 마련되어 상기 마이크로 미러를 정전력에 의해 2차적으로 각도 조절하여 수직으로 세우는 보조 전극; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 광신호 분배기.An auxiliary electrode provided around the micromirror to vertically adjust the micromirror by an electrostatic force to stand vertically; Optical signal distributor comprising a. 제1항에 있어서, 상기 자기 구동 수단은,The method of claim 1, wherein the magnetic drive means, 자기 구동원과, 광신호가 반사될 수 있는 면을 확보할 수 있도록 상기 마이크로 미러의 일면 양측부에 부착된 자성체를 구비한 것을 특징으로 하는 광신호 분배기.And a magnetic material attached to both sides of one surface of the micromirror to secure a magnetic drive source and a surface on which the optical signal can be reflected. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 보조 전극은,The method of claim 1 or 2, wherein the auxiliary electrode, 상기 마이크로 미러와 상호 작용하도록 스토퍼에 설치되어 상기 자기 구동 수단에 의해 마이크로 미러가 1차적으로 회동된 후에 정전력에 의해 2차적으로 직립되도록 하는 것을 특징으로 하는 광신호 분배기.And a stopper installed on the stopper so as to interact with the micromirror so that the micromirror is first upright by the electrostatic force after the micromirror is first rotated by the magnetic driving means. 제1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 보조 전극은,The method of claim 1 or 2, wherein the auxiliary electrode, 상기 마이크로 미러와 상호 작용하도록 상기 베이스에 설치되어 상기 자기 구동 수단에 의해 가해진 힘에 반대되는 힘을 가함으로써 처음부터 마이크로 미러가 회동되지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 광신호 분배기. And a base mounted on the base to interact with the micromirror to apply a force opposite to the force applied by the magnetic driving means so that the micromirror is not rotated from the beginning.
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