KR100701093B1 - Apparatus for orientating carbon nanotube, method of orientating carbon nanotube and method of fabricating field emission display - Google Patents

Apparatus for orientating carbon nanotube, method of orientating carbon nanotube and method of fabricating field emission display Download PDF

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Abstract

본 발명은 탄소 나노튜브의 배향 방법 및 이를 포함하는 전계방출 표시장치의 제조 방법에 관한 것이다. 또한, 탄소 나노튜브의 배향 장치도 개시한다. 본 발명에 따른 탄소 나노튜브의 배향 장치는 절연성 기판 상에 형성된 극성이 서로 반대인 적어도 둘 이상의 전극들 및 상기 전극들을 덮는 절연층을 포함한다. 상기 전극들에 의해 형성되는 전계에 의해 상기 전극들에 인접하여 배치된 탄소 나노튜브가 배향된다. 본 발명에 의하면, 탄소 나노튜브를 일정 방향으로 배향시킬 수 있어 고휘도의 균일한 발광을 일으킬 수 있고, 장시간 사용할 수 있다.The present invention relates to an orientation method of carbon nanotubes and a method of manufacturing a field emission display device including the same. Also disclosed is an orientation device for carbon nanotubes. The alignment device for carbon nanotubes according to the present invention includes at least two electrodes having opposite polarities formed on an insulating substrate and an insulating layer covering the electrodes. The carbon nanotubes disposed adjacent to the electrodes are oriented by the electric field formed by the electrodes. According to the present invention, the carbon nanotubes can be oriented in a predetermined direction, which can cause high luminance and uniform light emission, and can be used for a long time.

탄소 나노튜브, 전계방출 표시장치, 배향 장치 Carbon Nanotubes, Field Emission Display, Orientation Device

Description

탄소 나노튜브의 배향 장치, 탄소 나노튜브의 배향 방법 및 전계방출 표시장치의 제조 방법{APPARATUS FOR ORIENTATING CARBON NANOTUBE, METHOD OF ORIENTATING CARBON NANOTUBE AND METHOD OF FABRICATING FIELD EMISSION DISPLAY}Carbon nanotube alignment device, carbon nanotube orientation method, and field emission display device manufacturing method {APPARATUS FOR ORIENTATING CARBON NANOTUBE

도 1은 탄소 나노튜브의 배향 장치를 개략적으로 도시한 도면,1 schematically shows an orientation device for carbon nanotubes,

도 2는 탄소 나노튜브의 배향 방법을 설명하기 위한 도면,2 is a view for explaining the alignment method of carbon nanotubes,

도 3a 및 도 3b는 전계방출 표시장치의 제조 방법을 설명하기 위한 공정단면도이다.3A and 3B are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a field emission display device.

♧ 도면의 주요부분에 대한 참조부호의 설명 ♧♧ explanation of the reference numerals for the main parts of the drawing.

10 : 배향 장치 12 : 배향장치의 절연성 기판10: alignment device 12: insulating substrate of the alignment device

15a : 배향 장치의 애노드 전극 15c : 배향 장치의 캐소드 전극15a: anode electrode of alignment device 15c: cathode electrode of alignment device

18 : 절연층 18: insulation layer

20 : 전계방출 표시장치의 기판20: substrate of the field emission display device

25c : 전계방출 표시장치의 캐소드 전극25c: cathode of field emission display device

25g : 전계방출 표시장치의 게이트 전극25g: gate electrode of field emission display

30 : 에미터 30p : 페이스트30 emitter 30p

EF : 전계(electric field)EF: electric field

본 발명은 표시 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전계방출 표시장치의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a display device, and more particularly, to a method of manufacturing a field emission display device.

종래의 정보전달매체의 중요 부분인 표시장치의 대표적인 활용 분야로는 개인용 컴퓨터의 모니터와 텔레비젼 수상기 등을 들 수 있다. 이러한 표시장치는 고속 열전자 방출을 이용하는 음극선관(CRT:cathode ray tube)과, 최근에 급속도로 발전하고 있는 액정표시장치(LCD:liquid crystal display), 플라즈마 표시장치(PDP:plasma display panel) 및 전계방출 표시장치(FED:field emission display) 등과 같은 평판 표시장치(Flat Panel Display)로 크게 분류될 수 있다.Typical applications of the display device, which is an important part of the conventional information transmission medium, include a personal computer monitor and a television receiver. Such display devices include cathode ray tubes (CRTs) using high-speed hot electron emission, liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), and electric fields that are rapidly developing in recent years. The display panel may be broadly classified into a flat panel display such as a field emission display (FED).

이중에서 전계방출 표시장치는 다른 평판 표시장치들의 단점을 극복할 수 있는 차세대 정보 통신용 평판 표시장치로 주목을 받고 있다. 전계방출 표시장치는 전극 구조가 간단하고, CRT와 같은 원리로 고속동작이 가능하며, 소비전력, 효율, 휘도 등의 면에서 뛰어나다.Among them, the field emission display device is attracting attention as a next-generation flat panel display device for overcoming the disadvantages of other flat panel display devices. The field emission display device has a simple electrode structure, high-speed operation on the same principle as a CRT, and is excellent in terms of power consumption, efficiency, brightness, and the like.

이러한 전계방출 표시장치는 캐소드 전극 위에 일정한 간격으로 배열된 에미터에 강한 전계를 인가함으로써 에미터로부터 전자를 방출시키고, 이 전자를 애노드 전극의 표면에 도포된 형광체에 충돌시켜 발광되도록 한다. 즉, 진공 속의 에 미터에 강한 전계가 인가될 때 전자들이 에미터로부터 진공 밖으로 나오는 양자역학적 터널링 현상을 이용한 것이다. 이때, 전계방출 표시장치는 파울러-노드하임(Fowler-Nordheim) 법칙에 의하여 전류-전압 특성을 나타내게 된다.The field emission display device emits electrons from the emitter by applying a strong electric field to the emitters arranged at regular intervals on the cathode electrode, and impinges the electrons on the phosphor coated on the surface of the anode to emit light. In other words, when a strong electric field is applied to the emitter in the vacuum, electrons are taken out of the vacuum from the emitter using quantum mechanical tunneling. In this case, the field emission display device exhibits current-voltage characteristics according to a Fowler-Nordheim law.

초기의 전계방출 표시장치의 에미터는 주로 몰리브덴(Mo)을 주 재질로 하여 스핀트(Spindt) 타입의 금속 팁(또는 마이크로 팁)이 사용되었다. 그런데, 이러한 금속 팁 형상의 에미터를 갖는 전계방출 표시장치에 있어서는 에미터를 배치하기 위한 극미세한 홀이 형성되어야 하고, 몰리브덴을 증착하여 화면 전영역에서 균일한 금속 마이크로 팁이 형성되어야 하기 때문에 제조 공정이 복잡하고 고난도의 기술을 필요로 한다. 뿐만 아니라, 고가의 장비를 사용하여야 하므로 제품 제조 단가가 상승하는 문제점이 있다. 따라서, 금속 팁 형상의 에미터를 갖는 전계방출 표시장치는 대화면화하는데 제약이 있는 것으로 지적되고 있다. 이에 따라, 저전압의 구동 조건에서도 양질의 전자방출을 얻을 수 있고, 에미터를 평탄한 형상으로 형성시켜 제조 공정을 간략하게 할 수 있는 기술이 연구 개발되고 있다. 최근 들어 탄소 나노튜브가 기계적으로 강하고, 화학적으로 상당히 안정하여 비교적 낮은 진공도에서 전자방출특성이 우수하여, 이를 이용한 전계방출 표시장치의 중요성이 인식되고 있다. Early emitters of field emission displays were mainly made of molybdenum (Mo) as a spint type metal tip (or micro tip). However, in the field emission display device having an emitter in the form of a metal tip, an extremely fine hole for disposing an emitter should be formed, and a uniform metal micro tip should be formed in the entire area of the screen by depositing molybdenum. The process is complex and requires advanced technology. In addition, there is a problem in that the manufacturing cost of the product rises because expensive equipment must be used. Therefore, it is pointed out that the field emission display device having the emitter in the shape of a metal tip has a limitation in large screen. As a result, high-quality electron emission can be obtained even under low voltage driving conditions, and a technology for simplifying the manufacturing process by forming the emitter in a flat shape has been researched and developed. In recent years, carbon nanotubes are mechanically strong and chemically stable, and have excellent electron emission characteristics at relatively low vacuums. Therefore, the importance of field emission displays using the same has been recognized.

탄소 나노튜브 에미터를 제조하는 방법으로는 금속, 유기고분자 및 나노튜브로 이루어진 페이스트를 프린팅한 후 에칭공정을 통해 나노튜브가 돌출되게 하는 방법, 나노튜브를 유기용제에 분산시켜 도전판 위에서 유기용제를 증발시켜 나노튜 브막을 형성시키는 방법, 및 나노튜브를 대전체와 함께 용매에 분산시켜 전기 영동법에 의해 에미터를 형성시키는 방법 등이 있다. 그러나, 이와 같은 방법으로 제조된 나노튜브 에미터는 전자방출에 유효한 나노튜브의 분포가 균일하지 못하고, 특히 전극 기판 위의 나노튜브가 전자방출을 쉽게 일으킬 수 있도록 수직으로 배열되어 있지 않기 때문에 고휘도의 균일한 발광을 일으킬 수 없다. 또한, 장시간 사용할 수 없는 단점이 있다.Carbon nanotube emitters can be prepared by printing pastes consisting of metals, organic polymers and nanotubes, and then protruding nanotubes through etching, and dispersing nanotubes in organic solvents on organic plates. And a method of forming an emitter by electrophoresis by dispersing the nanotube film to form a nanotube film, and dispersing the nanotube in a solvent together with the charged material. However, nanotube emitters prepared in this way are not uniform in the distribution of nanotubes effective for electron emission, and in particular, since the nanotubes on the electrode substrate are not vertically arranged to easily cause electron emission, uniformity of high brightness is achieved. It can't cause a glow. In addition, there is a disadvantage that can not be used for a long time.

본 발명은 이상에서 언급한 상황을 고려하여 제안된 것으로, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 고휘도의 균일한 발광을 일으킬 수 있도록 탄소 나노튜브를 배향하는 방법 및 이를 포함하는 전계방출 표시장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been proposed in consideration of the above-mentioned situation, and a technical problem to be achieved by the present invention is a method of orienting carbon nanotubes to cause uniform luminance of high brightness and a method of manufacturing a field emission display device including the same. To provide.

본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 탄소 나노튜브를 일정 방향으로 배향할 수 있는 탄소 나노튜브의 배향 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an alignment device for carbon nanotubes capable of orientating carbon nanotubes in a predetermined direction.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 탄소 나노튜브의 배향 장치는 절연성 기판 상에 형성된 극성이 서로 반대인 적어도 둘 이상의 전극들, 및 상기 전극들을 덮는 절연층을 포함한다. 상기 전극들에 의해 형성되는 전계에 의해 상기 전극들에 인접하여 배치된 탄소 나노튜브가 배향된다.According to one aspect of the present invention, an alignment device for carbon nanotubes includes at least two electrodes having opposite polarities formed on an insulating substrate, and an insulating layer covering the electrodes. The carbon nanotubes disposed adjacent to the electrodes are oriented by the electric field formed by the electrodes.

상기 한 쌍의 전극들은 크기가 동일한 스트라이프형일 수 있다.The pair of electrodes may be stripe-like in size.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 탄소 나노튜브의 배향 방법은 상기 탄소 나노튜브의 배향 장치를 사용한다. 이 방법은 상기 탄소 나노튜브가 배치된 기판을 상기 배향 장치에 근접하게 위치시키고, 상기 배향 장치의 전극에 전압을 인가하여 전계를 형성하는 것을 포함한다.According to another aspect of the present invention for achieving the above technical problem, the alignment method of the carbon nanotubes uses the alignment device of the carbon nanotubes. The method includes placing the substrate on which the carbon nanotubes are disposed in proximity to the alignment device and applying an electric voltage to an electrode of the alignment device to form an electric field.

상기 전압을 인가하기 위해 사용되는 전류는 교류 또는 펄스형 직류일 수 있다.The current used to apply the voltage may be alternating current or pulsed direct current.

상기 전계의 세기는 0.1 ~ 10V/㎛일 수 있다.The strength of the electric field may be 0.1 ~ 10V / ㎛.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 또 다른 측면에 따른 전계방출 표시장치의 제조 방법은 캐소드 전극 및 게이트 전극이 형성된 절연성 기판 상에 탄소 나노튜브를 배치하고, 상기 탄소 나노튜브를 전계에 노출시켜 상기 탄소 나노튜브를 배향시키는 것을 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a field emission display device, wherein carbon nanotubes are disposed on an insulating substrate on which a cathode electrode and a gate electrode are formed, and the carbon nanotubes are exposed to an electric field. To orientate the carbon nanotubes.

상기 탄소 나노튜브를 배치하는 것은 상기 캐소드 전극 및 게이트 전극 상에 상기 탄소 나노튜브를 포함하는 페이스트를 스크린 프린팅하는 것에 의해 수행되거나, 상기 기판 상에 상기 탄소 나노튜브를 포함하는 페이스트를 프린팅한 후 패터닝하는 것에 의해 수행될 수 있다.Placing the carbon nanotubes is performed by screen printing a paste comprising the carbon nanotubes on the cathode electrode and the gate electrode, or by printing a paste comprising the carbon nanotubes on the substrate and then patterning the paste. It can be done by doing.

상기 전계는 제 1 항의 전계 인가 장치에 의해 형성될 수 있다.The electric field may be formed by the electric field applying apparatus of claim 1.

상기 전계의 세기는 0.1 ~ 10V/㎛일 수 있다.The strength of the electric field may be 0.1 ~ 10V / ㎛.

본 발명에 의하면, 탄소 나노튜브를 일정 방향으로 배향시킬 수 있어, 고휘도의 균일한 발광을 일으킬 수 있다.According to the present invention, the carbon nanotubes can be oriented in a predetermined direction, thereby generating uniform luminance of high brightness.

이하에서는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the technical idea of the present invention. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein and may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided to ensure that the disclosed subject matter is thorough and complete, and that the spirit of the present invention to those skilled in the art will fully convey.

도면들에 있어서, 층(막) 또는 영역들의 두께 등은 명확성을 기하기 위하여 과장되게 표현될 수 있다. 또한, 층(막)이 다른 층(막) 또는 기판 상(위)에 있다고 언급되어지는 경우에 그것은 다른 층(막) 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 층(막)이 개재될 수도 있다. In the drawings, the thickness of a layer (film) or regions may be exaggerated for clarity. Also, if it is mentioned that a layer (film) is on or above another layer (film) or it can be formed directly on another layer (film) or substrate or between them a third layer (film) ) May be intervened.

명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조부호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.The same reference numerals throughout the specification represent the same components.

도 1은 탄소 나노튜브의 배향 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a view schematically showing an alignment device of carbon nanotubes.

도 1을 참조하면, 탄소 나노튜브의 배향 장치(10)는 절연성 기판(12), 전계를 형성하기 위한 전극들(15a,15c), 및 절연층(18)을 포함한다. 절연성 기판(12) 상에 극성이 서로 반대인 전극들(15a,15c)이 위치한다. 도시되지 않았지만, 전극들(15a,15c)은 스트라이프(stripe)형일 수 있다. 극성이 서로 반대인 전극들(15a,15c)은 애노드 전극(15a)과 캐소드 전극(15c)으로 구성되며, 애노드 전극(15a)과 캐소드 전극(15c)은 일정 간격을 두고 하나씩 교대로 배치된다. 애노드 전극(15a)과 캐소드 전극(15c)은 두께와 폭이 서로 동일할 수 있다. 또한, 탄소 나노튜브의 배향 장치에서의 애노드 전극(15a) 및 캐소드 전극(15c)은 후술되는 전계방출 표시장치에서의 애노드 전극 및 캐소드 전극과 구별되어야 한다.Referring to FIG. 1, the alignment device 10 of carbon nanotubes includes an insulating substrate 12, electrodes 15a and 15c for forming an electric field, and an insulating layer 18. Electrodes 15a and 15c with opposite polarities are positioned on the insulating substrate 12. Although not shown, the electrodes 15a and 15c may be striped. The electrodes 15a and 15c having opposite polarities are composed of an anode electrode 15a and a cathode electrode 15c, and the anode electrodes 15a and the cathode electrodes 15c are alternately arranged one by one at a predetermined interval. The anode electrode 15a and the cathode electrode 15c may have the same thickness and width. In addition, the anode electrode 15a and the cathode electrode 15c in the alignment device of the carbon nanotubes should be distinguished from the anode electrode and the cathode electrode in the field emission display device described later.

기판(12) 상에 전극들(15a,15c)을 덮는 절연층(18)이 위치할 수 있다. 절연층(18)이 없이 애노드 전극(15a)에 전압이 인가되면 전계(EF)는 애노드 전극(15a)과 캐소드 전극(15c)간의 최단거리로 형성되지만, 절연층(18)이 도포되면 전계(EF)는 애노드 전극(15a)과 캐소드 전극(15c)간에 포물선을 그리며 형성된다.An insulating layer 18 may be disposed on the substrate 12 to cover the electrodes 15a and 15c. If voltage is applied to the anode electrode 15a without the insulating layer 18, the electric field EF is formed at the shortest distance between the anode electrode 15a and the cathode electrode 15c, but if the insulating layer 18 is applied, the electric field ( EF is formed by drawing a parabola between the anode electrode 15a and the cathode electrode 15c.

도 2는 탄소 나노튜브의 배향 방법을 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for explaining the alignment method of carbon nanotubes.

도 2를 참조하면, 탄소 나노튜브를 포함하는 페이스트(30p)를 도 1의 배향 장치에 의해서 형성된 전계(EF)에 근접하게 위치시키면, 페이스트(30p) 내의 탄소 나노튜브가 전계(EF) 방향으로 배향된다. 이때, 배향 장치(10)의 전극들(15a,15c)의 배치와 인가되는 전압 그리고, 전계방출 표시장치의 에미터 기판(20)의 위치를 적절하게 조절하면, 수직 방향뿐만 아니라 원하는 어느 방향으로도 탄소 나노튜브를 배향시킬 수 있다.Referring to FIG. 2, when the paste 30p including the carbon nanotubes is placed close to the electric field EF formed by the alignment device of FIG. 1, the carbon nanotubes in the paste 30p move in the direction of the electric field EF. Oriented. At this time, if the arrangement of the electrodes 15a and 15c of the alignment device 10 and the applied voltage and the position of the emitter substrate 20 of the field emission display device are appropriately adjusted, not only in the vertical direction but also in any desired direction Carbon nanotubes can also be oriented.

전압인가에 사용되는 전원은 교류, 직류, 및 펄스형 직류 중 어느 것이나 가 능하나 탄소 나노튜브의 배향시 충격효과 등의 관점에서 교류나 펄스형 직류를 사용하는 것이 바람직하다. 탄소 나노튜브의 배향에 필요한 전계(EF)의 세기는 0.1~ 10V/㎛가 적당하다.The power source used for voltage application may be any of AC, DC, and pulsed DC, but AC or pulsed DC is preferable from the viewpoint of impact effect when the carbon nanotubes are aligned. The strength of the electric field (EF) required for the orientation of the carbon nanotubes is suitably 0.1 to 10 V / µm.

본 발명의 일 실시예에서는 탄소 나노튜브를 포함하는 페이스트(30p)가 에미터 기판(20)의 게이트 전극(25g) 및 캐소드 전극(25c)에 모두 형성되어 있으나, 어떠한 형태로도 가능하다. 페이스트(30p)는 캐소드 전극(25c) 상에만 형성될 수 있다. 또한, 게이트 전극(25g)이 캐소드 전극(25c) 측면에 위치하는 래터럴 게이트 방식뿐만 아니라, 게이트 전극(25g)이 캐소드 전극(25c) 아래에 위치하는 언더(under) 게이트 방식이나 게이트 전극(25g)이 캐소드 전극(25c)과 애노드 전극(미도시) 사이에 구멍이 뚫린 형태로 위치하는 그리드(grid)형 게이트 방식 등에서도 본 발명에 따른 배향 방법이 적용될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the paste 30p including carbon nanotubes is formed on both the gate electrode 25g and the cathode electrode 25c of the emitter substrate 20, but may be in any form. The paste 30p may be formed only on the cathode electrode 25c. In addition to the lateral gate method in which the gate electrode 25g is located on the side of the cathode electrode 25c, the under gate method or the gate electrode 25g in which the gate electrode 25g is positioned below the cathode electrode 25c. The orientation method according to the present invention can also be applied to a grid-type gate method or the like, which is formed in a hole formed between the cathode electrode 25c and the anode electrode (not shown).

도 3a 및 도 3c는 전계방출 표시장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.3A and 3C illustrate a method of manufacturing a field emission display device.

도 3a를 참조하면, 에미터 기판(20) 상에 캐소드 전극(25c) 및 게이트 전극(25g)이 형성된다. 본 발명의 일 실시예와 같이 게이트 전극(25g)이 캐소드 전극(25c) 측면에 위치하는 래터럴 게이트 방식의 전계방출 표시장치에서는 캐소드 전극(25c) 및 게이트 전극(25g)이 한번의 사진 및 식각 공정에 의해 동시에 형성된다. 캐소드 전극(25c) 및 게이트 전극(25g)은 같은 크기의 스트라이프형으로, 각각 하나씩 교대가 되도록 형성된다. 다만, 본 발명에 있어서 전계방출 표시장치는 래터럴 게이트 방식이 아니어도 무방하다.Referring to FIG. 3A, a cathode electrode 25c and a gate electrode 25g are formed on the emitter substrate 20. In the lateral gate type field emission display device in which the gate electrode 25g is positioned on the side of the cathode electrode 25c as in an exemplary embodiment of the present invention, the cathode electrode 25c and the gate electrode 25g are photographed and etched once. Are formed simultaneously. The cathode electrode 25c and the gate electrode 25g are stripe-shaped with the same size and are formed so as to be alternated one by one. However, in the present invention, the field emission display device may not be a lateral gate method.

에미터 기판(20)은 유리, 알루미나, 석영, 실리콘 등이 사용될 수 있으나, 전계방출 표시장치의 공정 및 대면적화를 고려하면 유리 기판을 사용하는 것이 바람직하다. 캐소드 전극(25c) 및 게이트 전극(25g)은 Ag, Cr, Al, Ni, Co, Pt, Au, Ti, W, Zn, ITO, 및 이들의 합금으로 구성되는 그룹에서 선택된 어느 하나로 이루어질 수 있다.  The emitter substrate 20 may be glass, alumina, quartz, silicon, or the like. However, in consideration of the process and the large area of the field emission display device, it is preferable to use a glass substrate. The cathode electrode 25c and the gate electrode 25g may be made of any one selected from the group consisting of Ag, Cr, Al, Ni, Co, Pt, Au, Ti, W, Zn, ITO, and alloys thereof.

도 3b를 참조하면, 캐소드 전극(25c) 및 게이트 전극(25g) 상에 탄소 나토튜브를 포함하는 페이스트(30p)가 스크린 프린팅된다. 이때, 페이스트(30p)는 캐소드 전극(25c) 및 게이트 전극(25g)처럼 스트라이프형으로 형성된다. 물론, 스트라이프형이 아닌 다른 형태로 형성될 수도 있다. 또한, 본 발명은 탄소 나토튜브 페이스트(30p)의 형성 방법이나 형성 위치에 제한을 받지 않는다. Referring to FIG. 3B, a paste 30p including carbon natotubes is screen printed on the cathode electrode 25c and the gate electrode 25g. At this time, the paste 30p is formed in a stripe like the cathode electrode 25c and the gate electrode 25g. Of course, it may be formed in a shape other than stripe. In addition, the present invention is not limited to the formation method and the formation position of the carbon natotube paste 30p.

페이스트(30p)는 질산과 황산이 혼합된 산성용액에서 탄소 나노튜브를 8시간 이상 산화시켜 직경(d)이 1~30nm, 길이(L)가 1~10㎛, 길이과 직경의 비(L/d)가 500 ~10000이 되도록 한 후, 터피네올(terpineol)에 에틸셀룰로오스(ethylcellulose)를 10wt%녹인 용액과 혼합하여 제조된다.The paste 30p is oxidized carbon nanotubes in an acid solution mixed with nitric acid and sulfuric acid for at least 8 hours, and the diameter (d) is 1-30 nm, the length (L) is 1-10 μm, and the ratio of length and diameter (L / d ) 500 to 10000, and then prepared by mixing with 10% by weight solution of ethyl cellulose (ethylcellulose) in terpineol (terpineol).

다시 도 3b와 도 2를 참조하면, 탄소 나노튜브 페이스트(30p)가 형성된 에미터 기판(20)이 배향 장치(10)에 근접하게 배치된다. 배향 장치의 전극들(15a,15c)에 의해 형성된 전계(EF)에 의해 페이스트(30p) 내의 탄소 나노튜브가 수직 방향으로 배향된다. 상술한 바와 같이, 수직 방향이 아닌 다른 방향으로 배향시킬 수도 있다. Referring again to FIGS. 3B and 2, the emitter substrate 20 on which the carbon nanotube paste 30p is formed is disposed in proximity to the alignment device 10. The carbon nanotubes in the paste 30p are oriented in the vertical direction by the electric field EF formed by the electrodes 15a and 15c of the alignment device. As described above, it may be oriented in a direction other than the vertical direction.

도 3c를 참조하면, 페이스트(30p)를 건조시키면 배향된 탄소 나노튜브에 의해 에미터(30)가 형성된다. 에미터 기판(20) 상에 애노드 기판(40)이 배치된다. 애노드 기판(40) 상에 형광체(50)가 도포된 애노드 전극(45)이 위치한다.Referring to FIG. 3C, when the paste 30p is dried, the emitter 30 is formed by oriented carbon nanotubes. An anode substrate 40 is disposed on the emitter substrate 20. An anode electrode 45 having the phosphor 50 coated thereon is positioned on the anode substrate 40.

이하에서는 본 발명에 따라 제조된 에미터의 발광 특성을 실험한 결과가 기술된다. 다시 도 3c를 참조하면, 에미터(30)의 선폭이 100㎛, 두께가 10㎛이고, 2V/㎛크기의 전계에 의해 약 3분간 수직 배향되었다. 에미터 기판(20) 상에 5mm 간격을 두고 애노드 기판(40)을 배치한 후 게이트 전극(25g)에는 250V의 양방향형 펄스 직류 전압을 인가하고, 애노드 전극(45)에는 6kV의 직류 전압을 인가하였더니, 12000cd/㎡의 휘도와 11500K의 색온도를 나타내는 등 전자방출 특성이 전계 처리에 의해 향상되었음을 보여주었다.Hereinafter, the results of experimenting with the emission characteristics of the emitter prepared according to the present invention are described. Referring again to FIG. 3C, the emitter 30 has a line width of 100 μm, a thickness of 10 μm, and is vertically oriented for about 3 minutes by an electric field having a size of 2 V / μm. After the anode substrate 40 is disposed on the emitter substrate 20 at a distance of 5 mm, a 250 V bidirectional pulse DC voltage is applied to the gate electrode 25 g, and a 6 kV DC voltage is applied to the anode electrode 45. As a result, electron emission characteristics such as brightness of 12000 cd / m 2 and color temperature of 11500K were shown to be improved by the electric field treatment.

한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. On the other hand, in the detailed description of the present invention has been described with respect to specific embodiments, various modifications are of course possible without departing from the scope of the invention.

그러므로, 본 발명의 범위는 상술한 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 발명의 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the above-described embodiments, but should be defined not only by the claims below but also by the equivalents of the claims of the present invention.

상술한 본 발명에 의하면, 탄소 나노튜브를 일정 방향으로 배향시킬 수 있어 고휘도의 균일한 발광을 일으킬 수 있고, 장시간 사용할 수 있다.According to the present invention described above, the carbon nanotubes can be oriented in a predetermined direction to cause uniform luminance of high brightness, and can be used for a long time.

Claims (10)

절연성 기판 상에 형성된 극성이 서로 반대인 적어도 둘 이상의 전극들; 및At least two electrodes with opposite polarities formed on the insulating substrate; And 상기 전극들을 덮는 절연층을 포함하되,Including an insulating layer covering the electrodes, 상기 전극들에 의해 형성되는 전계에 의해 상기 전극들에 인접하여 배치된 탄소 나노튜브를 배향시키는 탄소 나노튜브의 배향 장치.Orienting the carbon nanotubes disposed adjacent to the electrodes by an electric field formed by the electrodes. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 전극들은 크기가 동일한 스트라이프형인 탄소 나노튜브의 배향 장치.And the electrodes are stripe-shaped carbon nanotube alignment devices of the same size. 제 1 항의 배향 장치를 사용하여 탄소 나노튜브를 배향하는 방법에 있어서,In the method of orienting carbon nanotubes using the alignment device of claim 1, 상기 탄소 나노튜브가 배치된 기판을 상기 배향 장치에 근접하게 위치시키고,Placing the substrate on which the carbon nanotubes are placed in proximity to the alignment device, 상기 배향 장치의 전극에 전압을 인가하여 전계를 형성하는 것을 포함하는 탄소 나노튜브의 배향 방법.Forming an electric field by applying a voltage to an electrode of the alignment device to form an electric field. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 전압을 인가하기 위해 사용되는 전류는 교류 또는 펄스형 직류인 탄소 나노튜브의 배향 방법.And the current used to apply the voltage is alternating current or pulsed direct current. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 전계의 세기는 0.1 ~ 10V/㎛인 탄소 나노튜브의 배향 방법.The strength of the electric field is 0.1 ~ 10V / ㎛ method of orientation of carbon nanotubes. 절연성 기판 상에 캐소드 전극 및 게이트 전극을 형성하고,Forming a cathode electrode and a gate electrode on the insulating substrate, 상기 캐소드 전극 및 상기 게이트 전극 중 적어도 어느 하나 위에 탄소 나노튜브를 배치하고,Disposing a carbon nanotube on at least one of the cathode electrode and the gate electrode; 청구항 1의 탄소 나노튜브 배향 장치를 이용하여 전계를 형성하고,By using the carbon nanotube alignment device of claim 1 to form an electric field, 상기 탄소 나노튜브와 상기 전계를 가깝게 하여 상기 탄소 나노튜브를 배향시키는 것을 포함하는 전계방출 표시장치의 제조 방법.And aligning the carbon nanotubes by bringing the carbon nanotubes and the electric field closer to each other. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 탄소 나노튜브를 배치하는 것은 상기 캐소드 전극 및 게이트 전극 상에 상기 탄소 나노튜브를 포함하는 페이스트를 스크린 프린팅하는 것에 의해 수행되는 전계방출 표시장치의 제조 방법.Disposing the carbon nanotubes by screen printing a paste including the carbon nanotubes on the cathode electrode and the gate electrode. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 탄소 나노튜브를 배치하는 것은 상기 기판 상에 상기 탄소 나노튜브를 포함하는 페이스트를 프린팅한 후 패터닝하는 것에 의해 수행되는 전계방출 표시장치의 제조 방법.And disposing the carbon nanotubes by printing a paste including the carbon nanotubes on the substrate and then patterning the paste. 삭제delete 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 전계의 세기는 0.1 ~ 10V/㎛인 전계방출 표시장치의 제조 방법.The intensity of the electric field is 0.1 ~ 10V / ㎛ manufacturing method of the field emission display device.
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