KR100697764B1 - Surface acoustic wave device - Google Patents

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KR100697764B1
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acoustic wave
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도시오 니시자와
고이찌 하따노
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후지쓰 메디아 데바이스 가부시키가이샤
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Abstract

A surface acoustic wave device is provided to reduce coupling capacitance between an input and an output of a package, by installing a ground GND pattern between an input pattern and an output pattern. A surface acoustic wave device includes a surface acoustic wave filter where a comb type electrode pattern is formed on a piezoelectric device. An input/output electrode port of the surface acoustic wave filter is connected to a corresponding electrode pattern of a package through a bump. The comb type electrode pattern has a pair of reflection electrodes, and an input comb type electrode and an output comb type electrode arranged between the pair of the reflection electrodes. One electrode port of the input comb type electrode and the output comb type electrode is located at an opposite position to an electrode of another comb type electrode by intervening a ground electrode.

Description

탄성 표면파 장치{SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICE}Surface acoustic wave device {SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICE}

도 1은 종래의 다중 모드 SAW 필터의 빗형 전극(IDT:Interdigital Transducer) 패턴의 일례를 도시하는 도면. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a diagram showing an example of a comb-shaped electrode (IDT: interdigital transducer) pattern of a conventional multi-mode SAW filter.

도 2는 도 1에 도시하는 IDT 패턴을 단위로 하여, 3병렬 캐스케이드 접속한 2중 모드 SAW 필터(DMS)의 평면도를 도시하는 도면. FIG. 2 is a diagram showing a plan view of a dual mode SAW filter (DMS) connected in three parallel cascades on the basis of the IDT pattern shown in FIG. 1; FIG.

도 3은 도 2에 도시하는 IDT 패턴의 2중 모드 SAW 필터(DMS)를 패키지에 수용하여 탄성 표면파(SAW) 장치를 형성했을 때의 단면도. Fig. 3 is a cross-sectional view when a SAW device is formed by accommodating a dual mode SAW filter (DMS) of the IDT pattern shown in Fig. 2 into a package.

도 4는 도 2에 도시하는 IDT 패턴의 2중 모드 SAW 필터를, 플립 칩 접속에 의해 세라믹 패키지에 실장하는 경우의 상정되는 구성예의 단면도. FIG. 4 is a cross-sectional view of an example of the configuration where a double mode SAW filter of the IDT pattern shown in FIG. 2 is mounted on a ceramic package by flip chip connection. FIG.

도 5는 와이어 본딩에 의해 세라믹 패키지에 수용했을 때의 특성과, 플립 칩 본딩에 의해 세라믹 패키지에 수용했을 때의 특성을 비교하여 도시하는 도면. FIG. 5 is a diagram showing a comparison of characteristics when accommodated in a ceramic package by wire bonding and characteristics when accommodated in a ceramic package by flip chip bonding. FIG.

도 6은 IDT 패턴의 IN 단자와 OUT 단자 사이에 대응하도록, 세라믹 패키지의 표면층이나 내층에 한정하지 않고 GND 패턴을 설치하는 경우를 설명하는 도면. FIG. 6 is a view for explaining the case where a GND pattern is provided without being limited to the surface layer or inner layer of the ceramic package so as to correspond between the IN terminal and the OUT terminal of the IDT pattern.

도 7은 도 6의 IDT 패턴에 대응하는 세라믹 패키지측의 단자 패턴을 도시하는 도면. FIG. 7 shows a terminal pattern on the ceramic package side corresponding to the IDT pattern in FIG. 6; FIG.

도 8은 GND 패턴에 의한 입출력간 결합 용량 저감의 효과를 도시하는 통과 대역 특성도. 8 is a passband characteristic diagram showing an effect of reducing coupling capacity between input and output by a GND pattern.

도 9a는 제1 실시예의 IDT 패턴을 도시하는 도면. Fig. 9A is a diagram showing an IDT pattern in the first embodiment.

도 9b는 제1 실시예의 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 도시하는 도면. Fig. 9B is a diagram showing an electrode arrangement on the ceramic package side to be flip chip mounted in the first embodiment.

도 10a는 제2 실시예의 IDT 패턴을 도시하는 도면. Fig. 10A is a diagram showing an IDT pattern of the second embodiment.

도 10b는 제2 실시예의 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 도시하는 도면. Fig. 10B is a diagram showing an electrode arrangement on the ceramic package side to be flip chip mounted in the second embodiment.

도 11a는 제3 실시예의 IDT 패턴을 도시하는 도면. Fig. 11A is a diagram showing the IDT pattern of the third embodiment.

도 11b는 제3 실시예의 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 도시하는 도면. Fig. 11B is a diagram showing the electrode arrangement on the ceramic package side to be flip chip mounted in the third embodiment.

도 12a는 제4 실시예의 IDT 패턴을 도시하는 도면. Fig. 12A is a diagram showing an IDT pattern in the fourth embodiment.

도 12b는 제4 실시예의 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 도시하는 도면. Fig. 12B is a diagram showing the electrode arrangement on the ceramic package side to be flip chip mounted in the fourth embodiment.

도 13a는 제5 실시예의 IDT 패턴을 도시하는 도면. Fig. 13A is a diagram showing an IDT pattern of the fifth embodiment.

도 13b는 제5 실시예의 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 도시하는 도면. Fig. 13B is a diagram showing an electrode arrangement on the ceramic package side to be flip chip mounted in the fifth embodiment.

도 14a는 제6 실시예의 IDT 패턴을 도시하는 도면. Fig. 14A is a diagram showing an IDT pattern in the sixth embodiment.

도 14b는 제6 실시예의 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 도시하는 도면. Fig. 14B is a diagram showing an electrode arrangement on the ceramic package side to be flip chip mounted in the sixth embodiment.

도 15a는 제7 실시예의 IDT 패턴을 도시하는 도면. Fig. 15A is a diagram showing an IDT pattern in the seventh embodiment.

도 15b는 제7 실시예의 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 도 시하는 도면. Fig. 15B is a diagram showing an electrode arrangement on the side of a ceramic package on which flip chips are mounted in the seventh embodiment.

도 16a는 제8 실시예의 IDT 패턴을 도시하는 도면. Fig. 16A is a diagram showing an IDT pattern in the eighth embodiment.

도 16b는 제8 실시예의 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 도시하는 도면. Fig. 16B is a diagram showing an electrode arrangement on the ceramic package side to be flip chip mounted in the eighth embodiment.

도 17a는 도 14a, 도 14b에 도시한 제6 실시예에 대응하며, 후단의 다중 모드 SAW 필터(F2)에 본 발명을 적용하고 있지 않는 종래 구성예의 IDT 패턴을 도시하는 도면. 17A corresponds to the sixth embodiment shown in FIGS. 14A and 14B, and shows an IDT pattern of a conventional configuration example in which the present invention is not applied to a multi-mode SAW filter F2 at a later stage.

도 17b는 도 14a, 도 14b에 도시한 제6 실시예에 대응하며, 후단의 다중 모드 SAW 필터(F2)에 본 발명을 적용하고 있지 않는 종래 구성예의 세라믹 패키지측의 전극 배치를 도시하는 도면. FIG. 17B is a diagram showing an electrode arrangement on the ceramic package side of a conventional configuration corresponding to the sixth embodiment shown in FIGS. 14A and 14B and in which the present invention is not applied to a multi-mode SAW filter F2 at a later stage.

도 18a는 듀플렉서의 구성예를 도시하는 도면. 18A is a diagram illustrating a configuration example of a duplexer.

도 18b는 본 발명에 따른 제6 실시예와 도 17a, 도 17b의 비교예를 PCS 듀플렉서의 수신(Rx) 필터로서 사용했을 때의 송수신간 아이솔레이션 특성을 도시하는 도면. Fig. 18B is a diagram showing isolation characteristics between transmission and reception when the sixth embodiment according to the present invention and the comparative example of Figs. 17A and 17B are used as a reception (Rx) filter of a PCS duplexer.

도 19a는 PCS 수신 필터의 구성예 블록도. 19A is a block diagram of a configuration example of a PCS reception filter.

도 19b는 도 14a, 도 14b에 도시하는 제6 실시예에서의 세라믹 패키지(10)의 접지 GND 인덕턴스 L1∼L5의 값을 변화시킨 특성(Korean PCS 수신 필터)을 도시하는 도면. 19B is a diagram showing characteristics (Korean PCS receiving filter) in which the values of the ground GND inductance L 1 to L 5 of the ceramic package 10 in the sixth embodiment shown in FIGS. 14A and 14B are changed.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

IN : 입력 단자 IN: input terminal

OUT : 출력 단자 OUT: Output terminal

GND : 접지 단자GND: Ground Terminal

5 : 주회 배선5: winding

10 : 압전 소자10: piezoelectric element

11 : 세라믹 패키지11: ceramic package

14 : 메탈 캡14 metal cap

15 : 범프15: bump

20 : 송신(Tx) 필터20: Tx filter

30 : 수신(Rx) 필터30: Rx filter

[특허 문헌 1] 일본 특개 2004-194269호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-194269

본 발명은, 소형화를 가능하게 한 플립 칩 실장된 탄성 표면파 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a flip chip mounted surface acoustic wave device that can be miniaturized.

최근, 휴대 전화 등의 무선 장치가 급속한 소형화·고기능화가 진행되고 있다. 그 고주파 회로에는 필터가 사용되고 있고, 중요한 역활을 하고 있다. 이러한 필터는, 소형화를 위해 일반적으로 탄성 표면파(SAW:Surface Acoustic Wave) 장 치를 이용하여 구성되는 경우가 많다. In recent years, wireless devices such as mobile phones are rapidly miniaturized and highly functionalized. A filter is used for the high frequency circuit and plays an important role. Such filters are often constructed using surface acoustic wave (SAW) devices for miniaturization.

예를 들면, PCS(Personal Communications System) 휴대 전화 등의 무선 장치에서, 송신(Tx:1850∼1910㎒) 신호 및 수신(Rx:1930∼1990㎒) 신호를 분리하는 역할을 갖는 안테나 듀플렉서의 기능을 구성하는 송신(Tx) 필터 및, 수신(Rx) 필터를 탄성 표면파 장치로 구성한다. For example, in a wireless device such as a personal communications system (PCS) cellular phone, the function of an antenna duplexer having a role of separating a transmission (Tx: 1850 to 1910 MHz) signal and a reception (Rx: 1930 to 1990 MHz) signal is provided. The transmission (Tx) filter and the reception (Rx) filter which are comprised are comprised by a surface acoustic wave device.

그리고, 이러한 송신(Tx) 필터 및, 수신(Rx) 필터는, 밴드 패스 필터로서, 예를 들면, 특허 문헌 1에 기재되어 바와 같이, 반사 전극 사이에 발생한 복수(2개)의 정재파를 이용하여 복수(2개)의 공진 모드를 갖는 다중(2중) 모드 SAW 필터(DMS)를 조합해서 구성된다. The transmission (Tx) filter and the reception (Rx) filter are band pass filters, for example, using a plurality of (two) standing waves generated between reflective electrodes as described in Patent Document 1, for example. It is comprised by combining the multiple (dual) mode SAW filter (DMS) which has several (two) resonance modes.

2중 모드 SAW 필터는, 일례로서 특허 문헌 1에 개시되고, 도 1에 도시하는 바와 같은 빗형 전극(IDT:Interdigital Transducer) 패턴이, LiTa03, LiNb03, Li2B407, 수정 등의 도시하지 않은 압전 소자(압전 기판) 상에 형성되어 있다. Dual-mode SAW filter, an example comb-like electrodes as shown in Figure 1 is disclosed, in Patent Document 1 (IDT: Interdigital Transducer) pattern, LiTa0 3, LiNb0 3, Li 2 B 4 0 7, modified, etc. It is formed on the piezoelectric element (piezoelectric substrate) which is not shown in figure.

압전 소자에 형성된 IDT 패턴은, 도 1에 도시하는 예에서는, 1개의 입력(출력) IDT(1)와, 2개의 출력(입력) IDT(2a, 2b)가 교대로 배열되고, 또한 이들 양측에 탄성 표면파의 전파 방향에 위치하는 그레이팅형의 반사기(3a, 3b)를 갖고 있다. In the IDT pattern formed in the piezoelectric element, in the example shown in FIG. 1, one input (output) IDT 1 and two output (input) IDTs 2a and 2b are alternately arranged, and on both sides thereof. The grating reflectors 3a and 3b are located in the propagation direction of the surface acoustic wave.

도 1에 도시하는 IDT 패턴의 특징은, 입력(출력) IDT(1)의 단자 IN(OUT)과, 2개의 출력(입력) IDT(2a, 2b)의 공통 접속된 단자 OUT(IN)가 동일한 측에 배치되어 있는 것이다.The characteristic of the IDT pattern shown in FIG. 1 is that the terminal IN (OUT) of the input (output) IDT 1 and the common terminal connected OUT (IN) of the two output (input) IDTs 2a, 2b are the same. It is arranged on the side.

또한, 도 1에 도시하는 IDT 패턴을 단위로 하여, 목적으로 하는 원하는 필터 특성에 대응하여, 복수의 IDT 패턴을 병렬로 혹은, 또한 직렬(캐스케이드)로 접속하여 필터를 구성한다. In addition, the IDT pattern shown in FIG. 1 is used as a unit, and a plurality of IDT patterns are connected in parallel or in series (cascade) to correspond to the desired filter characteristics as desired.

도 2는, 이러한 도 1에 도시하는 IDT 패턴을 단위로 하여, 3병렬 캐스케이드 접속한 2중 모드 SAW 필터(DMS)의 평면도로서, 압전 소자(10) 상에 도 1의 단위 IDT 패턴이 3병렬 캐스케이드로 접속되어 있다. FIG. 2 is a plan view of a dual mode SAW filter (DMS) cascaded in three parallel cascades on the basis of the IDT pattern shown in FIG. 1, wherein the unit IDT pattern of FIG. 1 is three parallel on the piezoelectric element 10. It is connected by cascade.

도 3은, 이러한 도 2에 도시하는 IDT 패턴의 2중 모드 SAW 필터(DMS)를 패키지에 수용하여 탄성 표면파(SAW) 장치를 형성했을 때의 단면도이다. 이 탄성 표면파(SAW) 장치에서는, 세라믹 패키지(11)의 내측 저면에 도전성 페이스트(12)에 의해 2중 모드 SAW 필터(DMS)를 접착하고 있다. 2중 모드 SAW 필터(DMS)는, 압전 소자(10) 상에 IDT 패턴이 형성되고, 입력 단자 IN, 출력 단자 OUT 및 GND 단자가, 본딩 와이어(13)에 의해, 세라믹 패키지(11)측의 단자에 접속되어 있다. 또한, 메탈 캡(14)이, IDT 패턴과 소정 이상의 공간 간격을 가지고, 세라믹 패키지(11)의 내측을 피복하도록 접착된다.FIG. 3 is a cross-sectional view when a surface acoustic wave (SAW) device is formed by accommodating such a double mode SAW filter (DMS) of the IDT pattern shown in FIG. 2 in a package. In this SAW device, the double mode SAW filter DMS is attached to the inner bottom surface of the ceramic package 11 by the conductive paste 12. In the dual mode SAW filter DMS, an IDT pattern is formed on the piezoelectric element 10, and the input terminal IN, the output terminal OUT, and the GND terminal are formed on the ceramic package 11 side by the bonding wire 13. It is connected to the terminal. In addition, the metal cap 14 is bonded to cover the inside of the ceramic package 11 with a space interval of at least a predetermined distance from the IDT pattern.

여기서, 탄성 표면파 장치는, 본딩 와이어(13)가, 메탈 캡(14) 및 IDT 패턴과 소정 이상의 공간 간격을 필요로 하기 때문에, 소형화에 한계를 갖는다. 따라서, 본딩 와이어(13)에 의해 2중 모드 SAW 필터(DMS)를 세라믹 패키지측의 단자에 접속하는 구성 대신에, 플립 칩 접속에 의해 세라믹 패키지의 단자에 접속하는 구성이 고려된다. Here, the surface acoustic wave device has a limitation in miniaturization because the bonding wire 13 requires a predetermined space or more with the metal cap 14 and the IDT pattern. Therefore, instead of the structure which connects the double mode SAW filter DMS to the terminal of the ceramic package side by the bonding wire 13, the structure which connects to the terminal of a ceramic package by flip chip connection is considered.

도 4는, 도 2에 도시하는 IDT 패턴의 2중 모드 SAW 필터를, 플립 칩 접속에 의해 세라믹 패키지에 실장하는 경우의 상정되는 구성예의 단면도이다. FIG. 4 is a cross-sectional view of an example of a configuration where a double mode SAW filter of the IDT pattern shown in FIG. 2 is mounted on a ceramic package by flip chip connection.

세라믹 패키지(11)측에 접지 단자 GND, 입력 단자 IN 및 출력 단자 OUT가 형성되어 있다. The ground terminal GND, the input terminal IN, and the output terminal OUT are formed on the ceramic package 11 side.

2중 모드 SAW 필터(DMS)의 압전 소자(10) 상에 형성된 IDT 패턴측을 하향으로 하여, IDT 패턴측의 IDT 패턴의 접지 단자 GND, 입력 단자 IN 및 출력 단자 OUT를 세라믹 패키지(11)측의 접지 단자 GND, 입력 단자 IN 및 출력 단자 OUT에 대응시켜 범프(15)에 의해 접속한다. 이에 의해, 세라믹 패키지(11)에 2중 모드 SAW 필터(DMS)를 수용할 때의 면적 및 높이 방향의 저감화가 도모된다. The IDT pattern side formed on the piezoelectric element 10 of the dual mode SAW filter DMS is turned downward, and the ground terminal GND, the input terminal IN, and the output terminal OUT of the IDT pattern on the IDT pattern side are placed on the ceramic package 11 side. The bump 15 is connected in correspondence with the ground terminal GND, the input terminal IN, and the output terminal OUT. As a result, reduction in the area and height direction when accommodating the double mode SAW filter DMS in the ceramic package 11 can be achieved.

그러나, 도 4에 도시하는 바와 같이 플립 칩 접속에 의해 세라믹 패키지에 2중 모드 SAW 필터를 수용하는 경우, 특성상의 열화가 인식되었다. 도 5는, 동일한 구성의, 즉 도 1에 도시하는 입력(출력) IDT(1)의 단자 IN(OUT)과 2개의 출력(입력) IDT(2a, 2b)의 공통 접속된 단자 OUT(IN)가 동일한 측에 배치되어 있는 IDT 패턴을 갖는 2중 모드 SAW 필터(DMS)를, 와이어 본딩에 의해 세라믹 패키지에 수용했을 때의 특성과, 플립 칩 본딩에 의해 세라믹 패키지에 수용했을 때의 특성을 비교하여 도시하는 도면이다. However, when the dual mode SAW filter is accommodated in the ceramic package by flip chip connection as shown in Fig. 4, deterioration in characteristics has been recognized. Fig. 5 shows a terminal IN (OUT) of the same configuration, that is, the terminal IN (OUT) of the input (output) IDT 1 shown in Fig. 1 and the common connection terminal OUT (IN) of the two output (input) IDTs 2a, 2b. Compares the characteristics of a dual mode SAW filter (DMS) having an IDT pattern disposed on the same side with the ceramic package by wire bonding and the characteristics when the ceramic package is accommodated by flip chip bonding. The figure shows.

즉, 도 5에서, 그래프 도 5의 (a)는, 듀플렉서에서의 수신 신호를 안테나로부터 수신 회로로 유도하기 위한 수신 필터의 통과 특성에 대하여 나타내고 있다. 또한, 그래프 도 5의 (b)는, 듀플렉서에서의 송신측으로부터 수신측으로의 아이솔레이션 특성을 나타내고 있다. That is, in FIG. 5, graph (a) of FIG. 5 has shown the passage characteristic of the reception filter for inducing the reception signal in a duplexer from an antenna to a reception circuit. 5B shows the isolation characteristics from the transmitting side to the receiving side in the duplexer.

일반적으로, PCS 듀플렉서에서의 수신 안테나 필터로서는 송신 대역에서 50 ㏈ 이상의 감쇠량이 요구된다. 또한, 송신 대역의 아이솔레이션에 대한 규격값은 55㏈이 요구된다. In general, an attenuation amount of 50 dB or more in the transmission band is required as the reception antenna filter in the PCS duplexer. In addition, the standard value for the isolation of the transmission band is required 55 kHz.

도 5의 (a)에 도시하는 바와 같이, 플립 칩 본딩에 의해 세라믹 패키지에 수용했을 때의 수신 안테나 필터의 통과 대역 밖의 감쇠 특성 Ⅱ는, 와이어 본딩에 의한 경우 I과 비교하여 열화되어, 50㏈ 이상의 감쇠량을 만족시키지 않는 영역을 갖고 있다. As shown in Fig. 5A, the attenuation characteristic II outside the pass band of the receiving antenna filter when accommodated in the ceramic package by flip chip bonding deteriorates as compared with the case I by wire bonding, and is 50 kHz. It has an area which does not satisfy the above attenuation amount.

또한, 도 5의 (b)에 도시하는 바와 같이, 플립 칩 본딩에 의해 세라믹 패키지에 수용했을 때의 수신 안테나 필터의 송신측으로부터 수신측으로의 아이솔레이션 특성 Ⅱ는, 와이어 본딩에 의한 경우 I과 비교하여, 아이솔레이션에 대한 규격값 55㏈을 만족시키지 않는 영역이 발생하고 있다. In addition, as shown in Fig. 5B, the isolation characteristics II from the transmitting side to the receiving side of the receiving antenna filter when accommodated in the ceramic package by flip chip bonding are compared with the case I by wire bonding. However, there is an area that does not satisfy the standard value 55㏈ for isolation.

이러한 플립 칩 본딩에 의한 경우의 특성 열화의 원인은, 플립 칩 본딩에 의해 세라믹 패키지에 수용했을 때의 세라믹 패키지에서의 입출력 단자 사이가 가까워지고, 이것에 의한 입출력간 용량이 커지게 되기 때문으로 추정된다. The reason for the deterioration of characteristics due to the flip chip bonding is that the flip chip bonding causes the input / output terminals of the ceramic package to be close to each other when accommodated in the ceramic package, thereby increasing the input / output capacity. do.

이러한 추정에 기초하여, 본 발명자들은, 도 1에서의 IDT 패턴에 대하여, 도 6에 도시하는 바와 같이, IN(OUT) 단자와 OUT(IN) 단자 사이를 넓히고, IDT 패턴의 IN(OUT) 단자와 OUT(IN) 단자 사이에 대응하도록, 세라믹 패키지의 표면층이나 내층에 한하지 않고 GND 패턴(4)을 설치하여, 통과 대역 특성을 측정했다. Based on this estimation, the present inventors widen the IN (OUT) terminal and the OUT (IN) terminal as shown in FIG. 6 with respect to the IDT pattern in FIG. 1, and the IN (OUT) terminal of the IDT pattern. The GND pattern 4 was provided not only in the surface layer or the inner layer of the ceramic package, but the passband characteristic was measured so that it might correspond between and OUT (IN) terminal.

도 7은, 도 6의 IDT 패턴에 대응하는 세라믹 패키지측의 단자 패턴을 도시하는 도면이다. 접지 GND선(Line)이 형성 가능하도록 IN(OUT) 단자와 OUT(IN) 단자 사이가 넓혀져 있다. FIG. 7 is a diagram illustrating a terminal pattern on the ceramic package side corresponding to the IDT pattern of FIG. 6. The ground between the IN (OUT) terminal and the OUT (IN) terminal is widened to form a ground GND line.

이와 같이, 도 6의 구성에 의해, GND 패턴(4)에 의해 IN(OUT) 단자와 OUT(IN) 단자 사이가 분단되기 때문에, 대응하는 입출력간 결합 용량을 저감할 수 있다. Thus, since the structure of FIG. 6 divides between an IN (OUT) terminal and an OUT (IN) terminal by the GND pattern 4, the coupling capacity between corresponding input / outputs can be reduced.

도 8은, 이러한 GND 패턴(4)에 의한 입출력간 결합 용량 저감의 효과를 나타내는 통과 대역 특성도이다. FIG. 8 is a passband characteristic diagram showing the effect of reducing the coupling capacitance between the input and output by the GND pattern 4.

도 8에 도시하는 바와 같이, 입출력간 결합 용량 저감에 의해, 통과 대역 밖 감쇠량을 화살표 방향으로 크게 할 수 있다는 것을 이해할 수 있다. As shown in Fig. 8, it can be understood that the amount of out-of-band attenuation can be increased in the direction of the arrow by reducing the coupling capacitance between input and output.

그러나, 이러한 구성에서는 도 6, 도 7에 도시하는 바와 같이 GND 패턴(4)의 형성을 위해, 입출력 단자 사이를 넓힐 필요가 발생하고, 이 때문에, 평면상에 장치 구성이 확대되어, 소형화의 달성에 폐해로 된다. However, in such a configuration, it is necessary to widen the input / output terminals to form the GND pattern 4, as shown in Figs. 6 and 7, and thus the device configuration is enlarged on the plane, thereby achieving miniaturization. To be harmful.

이러한 점으로부터, 본원 발명의 목적은, 양호한 필터 특성을 얻기 위한 상기 폐해를 회피하고, 또한 평면적으로도 장치 구성이 커지지 않는, 입출력 단자 배치의 레이아웃에 특징을 갖는 탄성 표면파 장치를 제공하는 것에 있다. In view of this, it is an object of the present invention to provide a surface acoustic wave device which is characterized by the layout of the input / output terminal arrangement, which avoids the above-mentioned disadvantages to obtain good filter characteristics and which does not increase in device configuration even in plan view.

상기 본 발명의 목적을 달성하는, 본 발명의 제1 측면은, 압전 소자 상에 빗형 전극 패턴이 형성된 탄성 표면파 필터를 갖고, 상기 탄성 표면파 필터의 입출력용의 전극 단자가, 범프를 통하여 패키지의 대응하는 전극 패턴에 접속되어 있는 탄성 표면파 장치로서, 상기 빗형 전극 패턴은, 1쌍의 반사 전극과, 상기 1쌍의 반사 전극 사이에 배치된 입력용의 빗형 전극과 출력용의 빗형 전극을 갖고, 상기 입 력용의 빗형 전극과 출력용의 빗형 전극 중 어느 한쪽의 전극 단자가, 주회 배선에 의해, 접지 전극을 사이에 두고 다른쪽의 전극 단자와 반대측에 위치하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 한다. A first aspect of the present invention, which achieves the object of the present invention, has a surface acoustic wave filter having a comb-shaped electrode pattern formed on a piezoelectric element, and electrode terminals for input / output of the surface acoustic wave filter correspond to packages through bumps. A surface acoustic wave device connected to an electrode pattern, wherein the comb-shaped electrode pattern has a pair of reflection electrodes, an input comb electrode and an output comb electrode disposed between the pair of reflection electrodes. The electrode terminal of any one of the comb-shaped electrode for output and the comb-shaped electrode for output is arrange | positioned so that it may be located on the opposite side to the other electrode terminal with a ground electrode interposed by winding wiring.

또한, 상기 탄성 표면파 필터는, 상기 반사 전극 사이에 여진된 탄성 표면파를 사용하고, 상기 반사 전극 사이에 발생한 복수의 정상파를 이용하는 다중 모드 탄성 표면파 필터인 것을 특징으로 한다.The surface acoustic wave filter may be a multi-mode surface acoustic wave filter using surface acoustic waves excited between the reflective electrodes and using a plurality of standing waves generated between the reflective electrodes.

상기 본 발명의 목적을 달성하는, 본 발명의 제2 측면은, 압전 소자 상에 빗형 전극 패턴이 형성되고, 캐스케이드 접속된 제1 및 제2 탄성 표면파 필터를 갖고, 상기 탄성 표면파 필터의 입출력용의 전극 단자가, 범프를 통하여 패키지의 대응하는 전극 패턴에 접속되어 있는 탄성 표면파 장치로서, 상기 제1 및 제2 탄성 표면파 필터의 빗형 전극 패턴은, 각각 1쌍의 반사 전극과, 상기 1쌍의 반사 전극 사이에 배치된 입력용의 빗형 전극과 출력용의 빗형 전극을 갖고, 상기 제1 및 제2 탄성 표면파 필터의 각각에 대하여, 상기 입력용 및 출력용의 빗형 전극의 전극 단자가 동일한 측으로부터 인출되고, 상기 제1 탄성 표면파 필터의 출력(또는 입력)용의 빗형 전극의 전극 단자가, 상기 제2 탄성 표면파 필터의 입력(또는 출력)용의 빗형 전극의 전극 단자와 주회 배선에 의해 접속되고, 또한 상기 제2 탄성 표면파 필터의 접지 단자를 사이에 두고, 상기 제1 탄성 표면파 필터의 입력용 및 출력용의 빗형 전극의 전극 단자가 상기 제2 탄성 표면파 필터에 대향하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다. A second aspect of the present invention, which achieves the above object of the present invention, has a comb-shaped electrode pattern formed on a piezoelectric element, and has cascaded first and second surface acoustic wave filters for input / output of the surface acoustic wave filter. A surface acoustic wave device in which an electrode terminal is connected to a corresponding electrode pattern of a package through a bump, wherein the comb-shaped electrode patterns of the first and second surface acoustic wave filters each have a pair of reflective electrodes and the pair of reflections. A comb-shaped electrode for input and an comb-shaped electrode for output disposed between the electrodes, for each of the first and second surface acoustic wave filters, electrode terminals of the comb-shaped electrode for input and output are drawn out from the same side; Electrode terminals of the comb-shaped electrodes for the output (or input) of the first surface acoustic wave filter are rounded with electrode terminals of the comb-shaped electrodes for the input (or output) of the second surface acoustic wave filter. It is connected by wiring, and the electrode terminal of the comb-shaped electrodes for input and output of the said 1st surface acoustic wave filter is opposed to the said 2nd surface acoustic wave filter, between the ground terminals of the said 2nd surface acoustic wave filter. It is characterized by being.

또한, 상기 본 발명의 목적을 달성하는, 본 발명의 제3 측면은, 압전 소자 상에 빗형 전극 패턴이 형성되고, 캐스케이드 접속된 제1 및 제2 탄성 표면파 필터를 갖고, 상기 탄성 표면파 필터의 입출력용의 전극 단자가, 범프를 통하여 패키지의 대응하는 전극 패턴에 접속되어 있는 탄성 표면파 장치로서, 상기 제1 및 제2 탄성 표면파 필터의 빗형 전극 패턴은, 각각 1쌍의 반사 전극과, 상기 1쌍의 반사 전극 사이에 배치된 입력용의 빗형 전극과 출력용의 빗형 전극을 갖고, 상기 제1 및 제2 탄성 표면파 필터의 각각에 대하여, 상기 입력용 및 출력용의 빗형 전극의 전극 단자가 동일한 측으로부터 인출되고, 상기 제1 탄성 표면파 필터의 출력(또는 입력)용의 빗형 전극의 전극 단자가, 상기 제2 탄성 표면파 필터의 입력(또는 출력)용의 빗형 전극의 전극 단자와 주회 배선에 의해 접속되고, 또한 상기 제1 탄성 표면파 필터의 접지 단자와 상기 제2 탄성 표면파 필터의 접지 단자가 대향하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다. In addition, the third aspect of the present invention, which achieves the above object of the present invention, has a comb-shaped electrode pattern formed on a piezoelectric element and has cascaded first and second surface acoustic wave filters, and input and output of the surface acoustic wave filter. A surface acoustic wave device in which an electrode terminal for a dragon is connected to a corresponding electrode pattern of a package through a bump, wherein the comb-shaped electrode patterns of the first and second surface acoustic wave filters each include a pair of reflective electrodes and the pair A comb-shaped electrode for input and a comb-shaped electrode for output disposed between the reflective electrodes of the electrodes, and for each of the first and second surface acoustic wave filters, electrode terminals of the comb-shaped electrode for input and output are drawn out from the same side. And the electrode terminal of the comb-shaped electrode for the output (or input) of the first surface acoustic wave filter is an electrode terminal of the comb-shaped electrode for the input (or output) of the second surface acoustic wave filter. Connected by a main line and, further characterized in that comprises the first ground terminal of the surface acoustic wave filter and the grounding terminal of the second surface acoustic wave filter it has to be opposed.

상기 제1 측면에서, 상기 빗형 전극 패턴은, 원하는 합성 임피던스를 얻도록, 2분할된 필터를 직렬 접속하는 구성으로 해도 된다. In the first aspect, the comb-shaped electrode pattern may be configured to connect two divided filters in series so as to obtain a desired synthesized impedance.

또한, 상기 제1 및 제2 탄성 표면파 필터 중 적어도 하나의 탄성 표면파 필터의 전극 패턴은, 원하는 합성 임피던스를 얻도록, 2분할된 필터를 직렬 접속하는 구성으로 하는 것도 가능하다. The electrode pattern of at least one surface acoustic wave filter of the first and second surface acoustic wave filters may be configured such that two divided filters are connected in series so as to obtain a desired synthesized impedance.

또한, 상기 탄성 표면파 필터가, 복수 병렬 접속되는 구성으로 하는 것도 가능하다. Moreover, it is also possible to set it as the structure with which the said surface acoustic wave filter is connected in parallel in multiple numbers.

또한, 상기 탄성 표면파 필터가, 상기 입력(또는 출력) 단자가, 밸런스 입력(또는 출력)인 것으로 하는 것도 가능하다. The surface acoustic wave filter may be such that the input (or output) terminal is a balance input (or output).

또한, 상기 패키지의 전극 패턴을, 필터를 구성하는 인덕턴스 성분으로 해도 된다. In addition, the electrode pattern of the said package may be used as an inductance component which comprises a filter.

상기 본 발명의 목적을 달성하는, 본 발명의 제4 측면은 안테나 듀플렉서로서, 상기 탄성 표면파 장치가, 송신 및 또는 수신 필터로서 구성되어 있는 것을 특징으로 한다. A fourth aspect of the present invention, which achieves the above object of the present invention, is an antenna duplexer, wherein the surface acoustic wave device is configured as a transmission and / or reception filter.

상기 제4 측면에서, 패키지 내에서, 상기 송신 필터에 접속하는 송신(Tx) 신호용 전극 패턴과, 상기 수신 필터에 접속하는 수신(Rx) 신호용 전극 패턴 사이에 접지 패턴이 형성되어 있도록 해도 된다. In the fourth aspect, a ground pattern may be formed in the package between the transmission (Tx) signal electrode pattern connected to the transmission filter and the reception (Rx) signal electrode pattern connected to the reception filter.

<실시예><Example>

이하에, 도면에 따라, 본 발명의 실시 형태의 예를 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Below, the example of embodiment of this invention is described according to drawing.

도 9a, 도 9b는, 본 발명에 따른 2중 모드 SAW 필터의 기본 IDT 패턴의 제1 실시예를 도시하는 도면이다. 앞에서 설명한 바와 같이, 이러한 IDT 패턴이 압전 소자 상에 형성되어, 필터가 구성된다. 또한, 필터는, 세라믹 패키지 내에 수용되어 탄성 표면파 장치가 형성된다. 도 9a는 제1 실시예의 IDT 패턴을, 도 9b는 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 나타낸다. 9A and 9B are diagrams showing a first embodiment of the basic IDT pattern of the dual mode SAW filter according to the present invention. As described above, this IDT pattern is formed on the piezoelectric element, so that the filter is constructed. In addition, the filter is accommodated in a ceramic package to form a surface acoustic wave device. FIG. 9A shows the IDT pattern of the first embodiment, and FIG. 9B shows the electrode arrangement on the ceramic package side on which flip chips are mounted.

도 9a에 도시하는 2중 모드 SAW 필터의 기본 IDT 패턴의 특징은, 도 1의 IDT 패턴과 비교하여, 입력 IN(또는 출력 OUT) 단자와 출력 OUT(또는 입력) 단자가 접지 GND 단자를 사이에 두고, 반대측에 배치되어 있는 것이다. 이것에 대응하는 세라믹 패키지측의 단자 배치가 도 9b에 도시된다. The characteristic of the basic IDT pattern of the dual mode SAW filter shown in FIG. 9A is that the input IN (or output OUT) terminal and the output OUT (or input) terminal are connected between the ground GND terminal in comparison with the IDT pattern of FIG. 1. It is placed on the opposite side. The terminal arrangement on the ceramic package side corresponding to this is shown in Fig. 9B.

이와 같이, 입력 IN 단자와 출력 OUT 단자가 접지 GND 단자에 의해 분리됨으 로써, 앞서 도 8에 도시한 바와 같이 입출력간 결합 용량 저감에 의해, 통과 대역 밖 감쇠량의 개선이 가능하다. 또한, 입력 IN 단자와 출력 OUT 단자를 분리하는 접지 GND 단자는, 기본 IDT 패턴 자신의 GND 단자로서 추가의 GND 단자를 설치할 스페이스는 불필요하기 때문에 평면적으로 장치 구성이 커지는 것을 회피할 수 있다. As described above, since the input IN terminal and the output OUT terminal are separated by the ground GND terminal, as shown in FIG. 8, the amount of out-of-pass band attenuation can be improved by reducing the coupling capacitance between the input and output. In addition, since the ground GND terminal separating the input IN terminal and the output OUT terminal does not need a space in which an additional GND terminal is provided as the GND terminal of the basic IDT pattern itself, it is possible to avoid an increase in the device configuration in plan.

여기서, 도 9a, 도 9b에 도시되는 IDT 패턴에서는, 입력 IN 단자를, 접지 GND 단자를 사이에 두고 출력 OUT 단자와 반대측에 배치하기 위해, 주회 배선(5)의 형성이 필요하다. 이 때 주회 배선(5)의 길이에 의해, 신호 전송에서 저항값이 커지므로, 적어도 주회 배선(5)을 후막으로 형성하여 저항값을 저감하는 것이 바람직하다. Here, in the IDT patterns shown in Figs. 9A and 9B, in order to arrange the input IN terminal on the side opposite to the output OUT terminal with the ground GND terminal interposed, it is necessary to form the circumferential wiring 5. At this time, since the resistance value increases in signal transmission due to the length of the winding wire 5, it is preferable to form the winding wire 5 at a thick film to reduce the resistance value.

또한, 도 9a, 도 9b에 도시하는 2중 모드 SAW 필터의 기본 IDT 패턴을 이용하여, 확장된 2중 모드 SAW 필터를 이용하는 본 발명에 따른 탄성 표면파 장치의 실시예를 이하에 설명한다. In addition, an embodiment of the surface acoustic wave device according to the present invention using the extended double mode SAW filter using the basic IDT pattern of the double mode SAW filter shown in Figs. 9A and 9B will be described below.

도 10a, 도 10b는, 제2 실시예이며, 도 10a는 IDT 패턴을, 도 10b는 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 나타낸다. 10A and 10B show a second embodiment, FIG. 10A shows an IDT pattern, and FIG. 10B shows an electrode arrangement on the ceramic package side on which flip chips are mounted.

도 10a, 도 10b에 도시하는 제2 실시예에서는, 전단의 다중 모드 SAW 필터(F1)와 후단의 다중 모드 SAW 필터(F2)가, 캐스케이드 접속되어 있다. 전단의 다중 모드 SAW 필터(F1)의 출력 단자가, 후단의 다중 모드 SAW 필터(F2)의 입력 단자에 주회 배선(5)에 의해 접속되어 있다. 이 때, 후단의 다중 모드 SAW 필터(F2)에 대하여, 입력 단자와 출력 단자의 배치가, 도 9의 제1 실시예와 역의 관계로 되 어 있다. In the second embodiment shown in Figs. 10A and 10B, the multimode SAW filter F1 at the front end and the multimode SAW filter F2 at the rear end are cascaded. The output terminal of the multimode SAW filter F1 at the front end is connected to the input terminal of the multimode SAW filter F2 at the rear end by the circumferential wiring 5. At this time, the arrangement of the input terminal and the output terminal is inversely related to the first embodiment of FIG. 9 with respect to the multi-mode SAW filter F2 at the rear stage.

이러한 제2 실시예에서는, 도 10b의 패키지에서의 전극 배치 패턴으로 나타내는 바와 같이, 전단의 다중 모드 SAW 필터(F1)의 입력 IN 단자와 후단의 다중 모드 SAW 필터(F2)의 출력 OUT 단자 사이에, 후단의 다중 모드 SAW 필터(F2)의 접지 GND 단자가 배치되기 때문에, 평면 스페이스를 확대하지 않고 탄성 표면파 장치에서의 입출력 단자 사이에 접지 GND 단자를 배치하는 것이 가능하다. In this second embodiment, as shown by the electrode arrangement pattern in the package of Fig. 10B, between the input IN terminal of the front-end multi-mode SAW filter F1 and the output OUT terminal of the rear-end multi-mode SAW filter F2. Since the ground GND terminal of the rear multi-mode SAW filter F2 is disposed, it is possible to arrange the ground GND terminal between input / output terminals in the surface acoustic wave device without expanding the planar space.

도 11a, 도 11b는, 제3 실시예이며, 도 11a는 IDT 패턴을, 도 11b는 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 나타낸다.11A and 11B show a third embodiment, FIG. 11A shows an IDT pattern, and FIG. 11B shows an electrode arrangement on the ceramic package side on which flip chips are mounted.

도 11a, 도 11b에 도시하는 실시예는, 전단의 다중 모드 SAW 필터(F1)와 후단의 다중 모드 SAW 필터(F2)의 IDT 패턴은, 각각 도 9의 실시예와 마찬가지이지만, 한쪽을 반전하여 접지 단자 GND1, GND2를 표리 관계로 배치하고, 주회 배선(5)에 의해 캐스케이드 접속되어 있다. 11A and 11B, the IDT patterns of the multi-mode SAW filter F1 at the front stage and the multi-mode SAW filter F2 at the rear stage are the same as those in the embodiment of FIG. 9, respectively. The ground terminals GND1 and GND2 are arranged in front and back relationship and are cascaded by the circumferential wiring 5.

이에 따라, 전단의 다중 모드 SAW 필터(F1)의 입력 IN 단자와 후단의 다중 모드 SAW 필터(F2)의 출력 OUT 단자가, 제1 접지 단자 GND1 및 제2 접지 단자 GND2에 의해 보다 강고하게 분리되기 때문에, 입출력간 용량에 의한 필터 특성의 열화를 충분히 회피하는 것이 가능하다. Accordingly, the input IN terminal of the front-end multi-mode SAW filter F1 and the output OUT terminal of the rear-end multi-mode SAW filter F2 are more firmly separated by the first ground terminal GND1 and the second ground terminal GND2. Therefore, it is possible to sufficiently avoid deterioration of the filter characteristic due to the capacity between input and output.

도 12a, 도 12b는, 또한 제4 실시예이며, 도 12a는 IDT 패턴을, 도 12b는 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 나타낸다. 12A and 12B show a fourth embodiment, FIG. 12A shows an IDT pattern, and FIG. 12B shows an electrode arrangement on the ceramic package side on which flip chips are mounted.

이 실시예에서는, 원하는 임피던스(예를 들면 50Ω)가 제1 필터(Fa)와 제2 필터(Fb)의 합성 임피던스로 되도록, 다중 모드 SAW 필터 Fa와 Fb를 직렬 접속한 구성이다. In this embodiment, the multimode SAW filter Fa and Fb are connected in series so that the desired impedance (for example, 50 Ω) becomes the combined impedance of the first filter Fa and the second filter Fb.

도 9a에 도시한 제1 실시예와 마찬가지로, 주회 배선(5)에 의해 출력 OUT 단자가 입력 IN 단자와 반대측에 배치되어 있다. 이것에 의해 탄성 표면파 장치의 입출력간 결합 용량을 감소시킬 수 있다. Similarly to the first embodiment shown in FIG. 9A, the output OUT terminal is arranged on the side opposite to the input IN terminal by the circumferential wiring 5. As a result, the coupling capacity between the input and output of the surface acoustic wave device can be reduced.

또한 본 실시예에서는, 듀플렉서나 안테나 필터의 수신 필터로서 적용된 경우, 일본 특원 2004-252644나 일본 특원 2005-130988에 개시되어 있는 바와 같이 복수단의 직렬 접속에 의해 IDT에 걸리는 전압이 분산되어, IDT 면적의 확대에 의해 단위 면적당의 탄성 표면파의 여진 강도가 작아져, 혼변조 레벨의 억제가 가능하다. 또한 IDT에 걸리는 전압의 분산에 의해, 정전 내압(ESD)이나 내전력의 향상도 가능하다. In the present embodiment, when applied as a reception filter of a duplexer or an antenna filter, as shown in Japanese Patent Application No. 2004-252644 or Japanese Patent Application No. 2005-130988, the voltage applied to the IDT is distributed by multiple stages of serial connection. As the area is enlarged, the excitation intensity of the surface acoustic wave per unit area becomes small, and the intermodulation level can be suppressed. In addition, due to the dispersion of the voltage applied to the IDT, the electrostatic breakdown voltage (ESD) and the electric power resistance can be improved.

도 13a, 도 13b는, 제5 실시예이며, 도 13a는 IDT 패턴을, 도 13b는 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 나타낸다. 13A and 13B show a fifth embodiment, FIG. 13A shows an IDT pattern, and FIG. 13B shows an electrode arrangement on the ceramic package side on which flip chips are mounted.

이 실시예는, 제2 실시예에서의 전단의 다중 모드 SAW 필터(F1)로서 제4 실시예를 적용한 것이다. 이 때 전단의 다중 모드 SAW 필터(F1)의 출력을, 후단의 다중 모드 SAW 필터(F2)의 주회 배선(5)에 접속하고 있다.This embodiment applies the fourth embodiment as a multi-mode SAW filter F1 at the front end in the second embodiment. At this time, the output of the front-end multi-mode SAW filter F1 is connected to the circumferential wiring 5 of the rear-end multi-mode SAW filter F2.

이 실시예에서도, 도 13b에 도시하는 바와 같이, 입력 IN 단자와 출력 OUT 단자 사이에 후단의 다중 모드 SAW 필터(F2)의 접지 GND 단자를 배치하여, 입출력간 용량을 감소시킬 수 있다. 또한, 전단의 다중 모드 SAW 필터(F1)에 관하여, 제4 실시예와 마찬가지이므로, IDT 면적의 확대에 의해 단위 면적당의 탄성 표면파의 여진 강도가 작아져, 혼변조 레벨의 억제가 가능하다는 효과가 얻어진다. Also in this embodiment, as shown in Fig. 13B, the ground GND terminal of the rear-end multi-mode SAW filter F2 can be arranged between the input IN terminal and the output OUT terminal, thereby reducing the capacity between input and output. In addition, with respect to the front-end multi-mode SAW filter F1, as in the fourth embodiment, the excitation intensity of the surface acoustic wave per unit area is reduced by the expansion of the IDT area, and the effect of suppressing the intermodulation level is possible. Obtained.

도 14a, 도 14b는, 제6 실시예이며, 도 14a는 IDT 패턴을, 도 14b는 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 나타낸다. 14A and 14B show a sixth embodiment, FIG. 14A shows an IDT pattern, and FIG. 14B shows an electrode arrangement on the ceramic package side on which flip chips are mounted.

이 실시예는, 제5 실시예에서 나타낸 구조를 병렬 접속한 구성이다. 다른 실시예와 마찬가지로, 탄성 표면파 장치의 입출력간 결합 용량을 감소시킬 수 있는 것 외에, 병렬 접속에 의해 전류의 분산이 가능하다. 이에 의해 내전력의 향상을 기대할 수 있다. 도 14a에는, 실시예로서 전단의 다중 모드 SAW 필터(F1)를 4병렬, 후단의 다중 모드 SAW 필터(F2)를 3병렬로 서로 다르게 구성하고 있지만, 병렬 수는 동일해도 된다. This embodiment has a configuration in which the structure shown in the fifth embodiment is connected in parallel. As in the other embodiment, the coupling capacity between the input and output of the surface acoustic wave device can be reduced, and the current can be distributed by parallel connection. As a result, an improvement in the power resistance can be expected. In FIG. 14A, although the front multi-mode SAW filter F1 is comprised in 4 parallel, and the rear multi-mode SAW filter F2 is comprised in 3 parallel, different numbers may be the same.

또한, 도 14b에 도시하는 바와 같이, 세라믹 패키지측의 전극 배치를 도시하는 도 14b는, 제5 실시예에서의 세라믹 패키지측의 전극 배치를 도시하는 도 13b와 마찬가지이다. As shown in FIG. 14B, FIG. 14B showing the electrode arrangement on the ceramic package side is the same as FIG. 13B showing the electrode arrangement on the ceramic package side in the fifth embodiment.

도 15a, 도 15b는, 제7 실시예이며, 도 15a는 IDT 패턴을, 도 15b는 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 나타낸다. 15A and 15B show a seventh embodiment, FIG. 15A shows an IDT pattern, and FIG. 15B shows an electrode arrangement on the ceramic package side on which flip chips are mounted.

이 실시예는, 다중 모드 SAW 필터(F1, F2)를 캐스케이드 접속한 구성의 일례이다. 후단의 다중 모드 SAW 필터(F2)를 미러 대칭으로 배치하고, 캐스케이드 접속해도 세라믹 패키지의 입력 IN 단자 및 출력 OUT 단자 패턴(도 15b 참조) 사이에 접지 GND 패턴(GND2)을 설치할 수 있다. 그러나, 상기한 특허 문헌 1(일본 특개 2004-194269호 공보)에서도 기재되어 있는 바와 같이, 삽입 손실이나 송신측 Tx 대역과 수신측 Rx 대역간의 상승의 급준성(각형)이 대폭적으로 열화되게 된다. This embodiment is an example of a configuration in which the multi-mode SAW filters F1 and F2 are cascaded. The rear multi-mode SAW filter F2 is arranged in mirror symmetry, and even if cascaded, the ground GND pattern GND2 can be provided between the input IN terminal and the output OUT terminal pattern (see FIG. 15B) of the ceramic package. However, as described in Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2004-194269), however, the insertion loss and the steepness (square) of rise between the transmitting side Tx band and the receiving side Rx band are greatly degraded.

따라서 전단의 다중 모드 SAW 필터(F1)와 같이 입출력 IDT를 동일 방향으로 부터 인출하도록 구성한다. 이것에 의해, 삽입 손실과 각형의 열화를 방지하고, 또한 탄성 표면파 장치의 입출력간의 결합 용량을 저감할 수 있다. Therefore, like the multi-mode SAW filter F1 at the front end, the input / output IDT is configured to be drawn from the same direction. As a result, insertion loss and square deterioration can be prevented, and the coupling capacitance between the input and output of the surface acoustic wave device can be reduced.

또한, 다른 실시예로서, 도 16a, 도 16b는, 제8 실시예이며, 도 16a는 IDT 패턴을, 도 16b는 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 나타낸다. 16A and 16B show an eighth embodiment, FIG. 16A shows an IDT pattern, and FIG. 16B shows an electrode arrangement on the ceramic package side for flip chip mounting.

이 제8 실시예는, 제7 실시예에서, 후단의 다중 모드 SAW 필터(F2)에 대하여, 밸런스 출력 OUT 단자를 갖도록 구성한 것이다. 이 밸런스 출력 OUT 단자와, 전단의 다중 모드 SAW 필터(F1)의 입력 IN 단자 사이에 접지 GND 단자 GND2가 배치되기 때문에, 탄성 표면파 장치의 입출력간 결합 용량을 감소시킬 수 있다. This eighth embodiment is configured to have a balanced output OUT terminal for the multi-mode SAW filter F2 on the rear stage in the seventh embodiment. Since the ground GND terminal GND2 is disposed between the balanced output OUT terminal and the input IN terminal of the multi-mode SAW filter F1 at the front end, the coupling capacitance between the input and output of the surface acoustic wave device can be reduced.

다음으로 본 발명을 적용한 탄성 표면파 장치의 적용예에서의 효과를 종래 구성과 비교하여 설명한다. Next, the effect in the application example of the surface acoustic wave device which applied this invention is demonstrated compared with a conventional structure.

도 17a, 도 17b는, 도 14a, 도 14b에 도시한 제6 실시예에 대응하며, 후단의 다중 모드 SAW 필터(F2)에 본 발명을 적용하고 있지 않는 종래 구성예이다. 그리고, 도 17a는 IDT 패턴을, 도 17b는 플립 칩 실장하는 세라믹 패키지측의 전극 배치를 나타낸다. 17A and 17B correspond to the sixth embodiment shown in FIGS. 14A and 14B, and show a conventional configuration example in which the present invention is not applied to a multi-mode SAW filter F2 at a later stage. 17A shows an IDT pattern, and FIG. 17B shows an electrode arrangement on the ceramic package side on which flip chips are mounted.

따라서, 도 14a, 도 14b에 도시한 제6 실시예와, 도 17a, 도 17b에 도시하는 본 발명을 적용하지 않는 구성과의 사이에서 특성을 비교한다. Therefore, characteristics are compared between the sixth embodiment shown in FIGS. 14A and 14B and the configuration to which the present invention shown in FIGS. 17A and 17B is not applied.

도 18a에 듀플렉서의 구성예를 도시한다. 도 18b에, 본 발명에 따른 제6 실시예와 도 17a, 도 17b의 비교예를 PCS 듀플렉서의 수신(Rx) 필터로서 사용했을 때의 송수신간 아이솔레이션 특성을 나타낸다. 18A shows a configuration example of the duplexer. Fig. 18B shows the isolation characteristics between transmission and reception when the sixth embodiment according to the present invention and the comparative example of Figs. 17A and 17B are used as the reception (Rx) filter of the PCS duplexer.

송신 필터(20)와 수신 필터(30)를 개별 패키지로 구성하는 안테나 필터의 경 우에는, 본 발명에 따른 수신 SAW 필터(Rx)의 CAR의 감소에 의해서, 수신 SAW 필터의 송신(Tx) 대역 감쇠량을 개선하는 것이, 송신(Tx) 대역 아이솔레이션 특성의 개선으로 이어진다. In the case of the antenna filter constituting the transmit filter 20 and the receive filter 30 in separate packages, the transmit Tx of the receive SAW filter is reduced by reducing the C AR of the receive SAW filter Rx according to the present invention. Improving the amount of band attenuation leads to improvement of transmission (Tx) band isolation characteristics.

송신 Tx 및 수신 Rx 필터(20, 30)를 동일 패키지 내에 구성하는 듀플렉서에서는, CAR의 억제 외에, CTR의 억제가 송신(Tx) 대역 아이솔레이션 특성에 효과가 있다. 이 때문에, 패키지 내의 송신 Tx-수신 Rx 사이에 접지 GND 패턴을 설치하는 것이 바람직하다. In the duplexer configured in the same package, the transmission Tx and reception Rx filter 20 and 30, in addition to inhibition of AR C, a suppression effect on the transmission (Tx) band isolation characteristic C TR. For this reason, it is desirable to provide a ground GND pattern between transmit Tx-receive Rx in the package.

이상의 점으로부터, 도 18b에 도시하는 바와 같이, 본 발명에 의해 PCS 듀플렉서의 송신 Tx 대역 아이솔레이션에 요구되는 55㏈을 만족시킬 수 있었다. As described above, as shown in Fig. 18B, the present invention was able to satisfy 55 kHz required for transmission Tx band isolation of the PCS duplexer.

제6 실시예에서, CAR 감소에 효과가 있는 접지 GND 패턴은, 수신(Rx) 필터(30)용의 접지 GND 패턴으로서 이용하고 있다. 물론 송신(Tx) 필터(20)용으로서 이용하는 것도 가능하지만, 공용화는 시키고 있지 않다. In the sixth embodiment, the ground GND pattern effective for reducing the C AR is used as the ground GND pattern for the reception (Rx) filter 30. Of course, it is also possible to use it for the transmission (Tx) filter 20, but it does not make it common.

CTR의 감소에 효과가 있는 송신(Tx) 필터(20)용 패턴과 수신(Rx) 필터용 패턴 사이에 설치한 접지 GND 패턴은, 수신(Rx) 필터(30)용의 접지 GND 패턴과 송신(Tx) 필터(20)용의 접지 GND 패턴을 설치하고 있어, 이들도 또한 공유화는 하고 있지 않다. The ground GND pattern provided between the pattern for the transmission (Tx) filter 20 and the pattern for the reception (Rx) filter effective for reducing the C TR is the ground GND pattern for the reception (Rx) filter 30 and the transmission. The ground GND pattern for the (Tx) filter 20 is provided, and these are not shared.

단 접지 GND 인덕턴스의 조정 등을 위해서 공유화(도통)되는 경우도 있다. 도 19a는, PCS 수신 필터의 구성예 블록도이다. 도 19b는, 도 14a, 도 14b에 도시 하는 제6 실시예에서의 세라믹 패키지(10)의 접지 GND 인덕턴스 L1∼L5의 값을 변화시킨 특성(Korean PCS 수신 필터)이다. 접지 GND 인덕턴스를 변화시킴으로써, 감쇠 대역을 변화시킬 수 있기 때문에, 송신 Tx- 수신 Rx 간격이 변화되어도(시스템이 변경되어도), 감쇠량을 확보할 수 있다.However, it may be shared (conducted) in order to adjust the ground GND inductance. 19A is a block diagram of a configuration example of a PCS reception filter. Figure 19b is a view 14a, also in the sixth embodiment in which the characteristic variation value of ground GND inductances L 1 ~L 5 of the ceramic package 10 in the example shown in 14b (Korean PCS receiving filter). Since the attenuation band can be changed by changing the ground GND inductance, the attenuation amount can be secured even if the transmission Tx-receive Rx interval is changed (even if the system is changed).

본 발명에 따라, 패키지의 표면층이나 내층에 한하지 않고, 입출력 패턴 사이에 접지 GND 패턴을 설치함으로써, 패키지의 입출력간 결합 용량을 감소, 즉 탄성 표면파 장치 자신의 입출력간 결합 용량을 감소시킬 수 있다. According to the present invention, by providing the ground GND pattern between the input and output patterns, not only the surface layer or the inner layer of the package, the coupling capacity between the input and output of the package can be reduced, that is, the coupling capacity between the input and output of the surface acoustic wave device itself can be reduced. .

이 효과에 의해, 플립 칩 실장에서의 특성 열화를 회피할 수 있어, 본 발명의 적용에 의해 플립 칩 실장 시에도 저손실·고감쇠의 특성을 갖는 탄성 표면파 장치를 제공할 수 있다. By this effect, deterioration of characteristics in flip chip mounting can be avoided, and the surface acoustic wave device having low loss and high attenuation characteristics can be provided even when flip chip mounting by the application of the present invention.

Claims (20)

압전 소자 상에 빗형 전극 패턴이 형성된 탄성 표면파 필터를 포함하고, 상기 탄성 표면파 필터의 입출력용 전극 단자가, 범프를 통하여 패키지의 대응하는 전극 패턴에 접속되어 있는 탄성 표면파 장치로서, A surface acoustic wave device comprising a surface acoustic wave filter having a comb-shaped electrode pattern formed on a piezoelectric element, wherein an electrode terminal for input / output of the surface acoustic wave filter is connected to a corresponding electrode pattern of a package through bumps, 상기 빗형 전극 패턴은, 1쌍의 반사 전극과, 상기 1쌍의 반사 전극 사이에 배치된 입력용 빗형 전극과 출력용 빗형 전극을 갖고, The comb-shaped electrode pattern has a pair of reflective electrodes, an input comb-shaped electrode and an output comb-shaped electrode disposed between the pair of reflective electrodes, 상기 입력용 빗형 전극과 상기 출력용 빗형 전극 중 어느 한쪽의 전극 단자는, 주회 배선을 이용하여, 접지 전극을 사이에 두고 다른쪽의 빗형 전극의 전극 단자와 반대측에 위치하도록 배치되어 있는 탄성 표면파 장치. The surface acoustic wave device of any one of the said comb-shaped electrode and the said output comb-shaped electrode is arrange | positioned so that it may be located on the opposite side to the electrode terminal of the other comb-shaped electrode with the ground electrode interposed using circumferential wiring. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 탄성 표면파 필터는, 상기 반사 전극 사이에 여진된 탄성 표면파를 사용하고, 상기 반사 전극 사이에 발생한 복수의 정재파를 이용하는 다중 모드 탄성 표면파 필터인 탄성 표면파 장치. The surface acoustic wave device is a surface acoustic wave device which is a multi-mode surface acoustic wave filter using surface acoustic waves excited between the reflective electrodes and using a plurality of standing waves generated between the reflective electrodes. 압전 소자 상에 빗형 전극 패턴이 형성되고 상호간에 캐스케이드 접속된 제1 및 제2 탄성 표면파 필터를 포함하며, 상기 탄성 표면파 필터의 입출력용 전극 단자가, 범프를 통하여 패키지의 대응하는 전극 패턴에 접속되어 있는 탄성 표면파 장치로서, A first electrode and a second surface acoustic wave filter formed on the piezoelectric element and cascaded to each other, and the electrode terminals for input and output of the surface acoustic wave filter are connected to corresponding electrode patterns of the package through bumps. Surface acoustic wave device, 상기 제1 및 제2 탄성 표면파 필터의 빗형 전극 패턴은, 각각 1쌍의 반사 전극과, 상기 1쌍의 반사 전극 사이에 배치된 입력용 빗형 전극과 출력용 빗형 전극을 갖고, The comb-shaped electrode patterns of the first and second surface acoustic wave filters each have a pair of reflection electrodes, an input comb electrode and an output comb electrode disposed between the pair of reflection electrodes, 상기 제1 및 제2 탄성 표면파 필터의 각각에 대하여, 상기 입력용 및 출력용 빗형 전극의 전극 단자들이 동일한 측으로부터 인출되고, For each of the first and second surface acoustic wave filters, electrode terminals of the input and output comb-shaped electrodes are drawn out from the same side, 상기 제1 탄성 표면파 필터의 출력(또는 입력)용 빗형 전극의 전극 단자는, 주회 배선을 이용하여, 상기 제2 탄성 표면파 필터의 입력(또는 출력)용 빗형 전극의 전극 단자와 접속되고, 상기 제1 탄성 표면파 필터의 입력용 및 출력용 빗형 전극의 전극 단자는, 상기 제2 탄성 표면파 필터의 접지 단자를 사이에 두고 상기 제2 탄성 표면파 필터에 대향하도록 구성되어 있는 탄성 표면파 장치. The electrode terminal of the comb-shaped electrode for output (or input) of the first surface acoustic wave filter is connected to the electrode terminal of the comb-shaped electrode for input (or output) of the second surface acoustic wave filter using a circumferential wiring, 1. The surface acoustic wave device of the surface acoustic wave filter, wherein the electrode terminals of the input and output comb-shaped electrodes face the second surface acoustic wave filter with the ground terminal of the second surface acoustic wave filter interposed therebetween. 상호간에 캐스케이드 접속된 제1 및 제2 탄성 표면파 필터를 포함하며, 상기 탄성 표면파 필터의 입출력용 전극 단자는, 범프를 통하여 패키지의 대응하는 전극 패턴에 접속되어 있는 탄성 표면파 장치로서, A surface acoustic wave device comprising first and second surface acoustic wave filters cascaded to each other, wherein the electrode terminals for input and output of the surface acoustic wave filters are connected to corresponding electrode patterns of a package through bumps, 상기 제1 및 제2 탄성 표면파 필터의 빗형 전극 패턴은, 각각 1쌍의 반사 전극과, 상기 1쌍의 반사 전극 사이에 배치된 입력용 빗형 전극과 출력용 빗형 전극을 갖고, The comb-shaped electrode patterns of the first and second surface acoustic wave filters each have a pair of reflection electrodes, an input comb electrode and an output comb electrode disposed between the pair of reflection electrodes, 상기 제1 및 제2 탄성 표면파 필터의 각각에 대하여, 상기 입력용 및 출력용 빗형 전극의 전극 단자가 동일한 측으로부터 인출되고, For each of the first and second surface acoustic wave filters, electrode terminals of the input and output comb-shaped electrodes are drawn out from the same side, 상기 제1 탄성 표면파 필터의 출력 또는 입력용 빗형 전극의 전극 단자는, 주회 배선을 이용하여, 상기 제2 탄성 표면파 필터의 입력 또는 출력용 빗형 전극의 전극 단자와 접속되고, 상기 제1 탄성 표면파 필터의 접지 단자와 상기 제2 탄성 표면파 필터의 접지 단자가 대향하도록 구성되어 있는 탄성 표면파 장치. The electrode terminal of the output of the first surface acoustic wave filter or the comb-shaped electrode for input is connected to the electrode terminal of the comb-shaped electrode of the input or output of the second surface acoustic wave filter using a circumferential wiring, A surface acoustic wave device configured to face a ground terminal and a ground terminal of the second surface acoustic wave filter. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 빗형 전극 패턴은, 원하는 임피던스를 얻을 수 있도록, 2분할된 필터들을 직렬 접속하여 구성되는 탄성 표면파 장치. And the comb-shaped electrode pattern is formed by connecting two divided filters in series so as to obtain a desired impedance. 제3항에 있어서, The method of claim 3, 상기 제1 및 제2 탄성 표면파 필터 중 적어도 하나의 탄성 표면파 필터의 전극 패턴은, 원하는 임피던스를 얻을 수 있도록, 2분할된 필터들을 직렬 접속하여 구성되는 탄성 표면파 장치. And an electrode pattern of at least one surface acoustic wave filter of the first and second surface acoustic wave filters is configured by connecting two divided filters in series so as to obtain a desired impedance. 제4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 제1 및 제2 탄성 표면파 필터 중 적어도 하나의 탄성 표면파 필터의 전극 패턴은, 원하는 임피던스를 얻을 수 있도록, 2분할된 필터들을 직렬 접속하여 구성되는 탄성 표면파 장치. And an electrode pattern of at least one surface acoustic wave filter of the first and second surface acoustic wave filters is configured by connecting two divided filters in series so as to obtain a desired impedance. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 병렬로 접속된 복수의 탄성 표면파 필터를 더 포함하는 탄성 표면파 장치. The surface acoustic wave device further comprising a plurality of surface acoustic wave filters connected in parallel. 제3항에 있어서, The method of claim 3, 병렬로 접속된 복수의 탄성 표면파 필터를 더 포함하는 탄성 표면파 장치. The surface acoustic wave device further comprising a plurality of surface acoustic wave filters connected in parallel. 제4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 병렬로 접속된 복수의 탄성 표면파 필터를 더 포함하는 탄성 표면파 장치. The surface acoustic wave device further comprising a plurality of surface acoustic wave filters connected in parallel. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 탄성 표면파 필터의 입력 (또는 출력) 단자는 밸런스 입력 (또는 출력)인 탄성 표면파 장치. A surface acoustic wave device as an input (or output) terminal of the surface acoustic wave filter is a balance input (or output). 제3항에 있어서, The method of claim 3, 상기 탄성 표면파 필터의 입력 (또는 출력) 단자는 밸런스 입력 (또는 출력)인 탄성 표면파 장치. A surface acoustic wave device as an input (or output) terminal of the surface acoustic wave filter is a balance input (or output). 제4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 탄성 표면파 필터의 입력 (또는 출력) 단자는 밸런스 입력 (또는 출력)인 탄성 표면파 장치. A surface acoustic wave device as an input (or output) terminal of the surface acoustic wave filter is a balance input (or output). 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 패키지의 전극 패턴은, 상기 필터를 구성하는 인덕턴스 성분인 탄성 표면파 장치. The surface acoustic wave device of which the electrode pattern of the said package is an inductance component which comprises the said filter. 제3항에 있어서, The method of claim 3, 상기 패키지의 전극 패턴은, 상기 필터를 구성하는 인덕턴스 성분인 탄성 표면파 장치. The surface acoustic wave device of which the electrode pattern of the said package is an inductance component which comprises the said filter. 제4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 패키지의 전극 패턴은, 상기 필터를 구성하는 인덕턴스 성분인 탄성 표면파 장치. The surface acoustic wave device of which the electrode pattern of the said package is an inductance component which comprises the said filter. 송신 필터 및/또는 수신 필터로서 제1항의 탄성 표면파 장치를 포함하는 안테나 듀플렉서. An antenna duplexer comprising the surface acoustic wave device of claim 1 as a transmission filter and / or a reception filter. 송신 필터 및/또는 수신 필터로서 제3항의 탄성 표면파 장치를 포함하는 안테나 듀플렉서. An antenna duplexer comprising the surface acoustic wave device of claim 3 as a transmission filter and / or a reception filter. 송신 필터 및/또는 수신 필터로서 제4항의 탄성 표면파 장치를 포함하는 안테나 듀플렉서. An antenna duplexer comprising the surface acoustic wave device of claim 4 as a transmission filter and / or a reception filter. 제17항에 있어서, The method of claim 17, 상기 패키지 내에서, 상기 송신 필터에 접속된 송신(Tx) 신호용 전극 패턴과 상기 수신 필터에 접속된 수신(Rx) 신호용 전극 패턴 사이에 접지 패턴이 형성되어 있는 안테나 듀플렉서. And a ground pattern formed in the package between a transmission (Tx) signal electrode pattern connected to the transmission filter and a reception (Rx) signal electrode pattern connected to the reception filter.
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