KR100677540B1 - A sectional linear motor stage and fixing jigs used for it - Google Patents

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정훈택
박홍원
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Abstract

An assembled linear motor stage and a fixing jig used for the same are provided to allow a worker to easily feed a base by dividing the base into a plurality of light base members. An assembled linear motor stage includes at least two base members(12a,12b), a connection unit(30), a stator(50), and a slider. The base member includes a rail on its upper surface. The connection unit is formed in seam sections of the base members to form one linear member by seaming the base members. The stator is installed at upper portions of the base members. A plurality of magnets is alternately disposed in the stator. The slider is disposed on the stator and includes a coil unit for generating forces by a mutual reaction with a magnet of the stator. The slider slides on the rail. The linear motor stage includes a plurality of key grooves and a plurality of key blocks(34a).

Description

조립형 리니어 모터 스테이지 및 이에 사용되는 고정 지그{A Sectional Linear Motor Stage and Fixing Jigs Used for It}Prefabricated Linear Motor Stage and Fixing Jigs {A Sectional Linear Motor Stage and Fixing Jigs Used for It}

제 1도는 종래의 기술에 따른 일체형 리니어 모터 스테이지를 도시한 사시도;1 is a perspective view showing an integrated linear motor stage according to the prior art;

제 2도는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표준형 스테이지 타입의 리니어 모터 스테이지의 중요 부분을 도시한 분해 사시도.2 is an exploded perspective view showing an important part of the linear stage of the standard stage type according to an embodiment of the present invention.

제 3도는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표준형 스테이지 타입의 리니어 모터 스테이지의 외관 사시도.3 is an external perspective view of a standard stage type linear motor stage according to an embodiment of the present invention.

제 4도는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표준형 스테이지 타입의 리니어 모터 스테이지의 측 단면도.4 is a side cross-sectional view of a linear stage of a standard stage type according to an embodiment of the present invention.

제 5도는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 빔 스테이지형 리니어 모터 스테이지의 외관 사시도.5 is an external perspective view of a beam stage type linear motor stage according to another embodiment of the present invention.

제 6도는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 빔 스테이지형 리니어 모터 스테이지의 중요 부분을 도시한 분해 사시도. 6 is an exploded perspective view showing an important part of a beam stage type linear motor stage according to another embodiment of the present invention.

제 7도는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 빔 스테이지형 리니어 모터 스테이지에 구비된 측면 고정 지그를 상세히 도시한 분해 사시도.7 is an exploded perspective view showing in detail the side fixing jig provided in the beam stage type linear motor stage according to another embodiment of the present invention.

제 8도는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 빔 스테이지형 리니어 모터 스테이지에서 상부면 고정 지그와 측면 고정 지그를 도시한 외관 사시도.8 is an external perspective view illustrating an upper surface fixing jig and a side fixing jig in a beam stage type linear motor stage according to another exemplary embodiment of the present disclosure.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>       <Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

1,100.... 본 발명에 따른 조립형 리니어 모터 스테이지1,100 .... Prefabricated linear motor stage according to the invention

12a,12b,12c,112a,112b,112c... 베이스 부재12a, 12b, 12c, 112a, 112b, 112c ... base member

22a,22b,122a,122b.... 이음 부 30,130.... 연결 수단22a, 22b, 122a, 122b .... Joints 30,130 .... Connecting means

32a,32b.... 키 홈 34a,34b.... 키 블록32a, 32b .... Keyway 34a, 34b .... Key Block

36.... 나사 구멍 38.... 고정 나사36 .... screw hole 38 .... fixing screw

39.... 나사 구멍 50.... 고정자39 .... screw hole 50 .... stator

52.... 자석 56,156.... 레일52 .... Magnets 56,156 .... Rails

60,160... 가동자(Slide) 62a,62b.... 나사구멍60,160 ... Slide 62a, 62b .... Screw holes

70,170.... 고정 지그 72.... 제1 블록70,170 .... Fixed jig 72 .... First block

74.... 제2 블록 80.... 조임 수단74 .... 2nd block 80 .... Fastening means

110.... 베이스 124a,124b... 수직 모서리110 ... base 124a, 124b vertical edges

126a,126b... 수평 모서리 130.... 연결 수단126a, 126b ... horizontal corner 130 .... means of connection

132.... 고정판 134.... 볼트132 .... mounting plate 134 .... bolts

138.... 폭 방향 관통 구멍 180.... 측면 고정 지그138 .... Width through hole 180 .... Side fixing jig

182,184.... 제1 및 제2 블록 190.... 조임 수단 182,184 .... First and second block 190 .... Tightening means

200.... 종래의 리니어 모터 스테이지 210.... 베이스200 .... conventional linear motor stage 210 ... base

220.... 고정자 222.... 자석220 .... Stator 222 .... Magnet

224.... 레일 230.... 가동자224 .... rail 230 .... mover

240.... 정반 240 ...

본 발명은 자동화 기기에 사용되는 리니어 모터 스테이지에 관한 것으로서, 보다 상세히는 베이스를 분할 식으로 분리하여 이송이 가능하고 현장에 조립식으로 재설치할 수 있음으로써 사용상의 편리함을 이룰 수 있도록 개선된 조립형 리니어 모터 스테이지와 이에 사용되는 고정 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a linear motor stage used in an automation device, and more particularly, the assembled linear can be improved to achieve convenience in use by separating and dismounting the base and being prefabricated and reinstalled in the field. A motor stage and a fixing jig used therein.

일반적으로 리니어 모터 스테이지는 비교적 단순한 구성으로 정밀한 위치 제어를 할 수 있으며, 자동화 기기, XY 테이블 등에 많이 이용된다.In general, the linear motor stage is capable of precise position control with a relatively simple configuration, and is widely used in automation equipment, XY tables, and the like.

종래의 리니어 모터 스테이지(200)는 도 1에 도시한 바와 같이, 베이스(210) 상에 배치된 고정자(220)의 상부 면에 다수의 자석(222)이 순차 교번(N, S, N, S....) 배열되고, 그 위에 레일(224)이 설치되며, 상기 레일(224) 상에서 슬라이드 이동이 가능함과 아울러 자석(222)과 소정 거리 이격되도록 저면에 코일 유니트(미 도시)가 설치된 가동자(230)를 구비한다. In the conventional linear motor stage 200, as shown in FIG. 1, a plurality of magnets 222 are alternately arranged on the upper surface of the stator 220 disposed on the base 210 (N, S, N, S). ....) arranged, and a rail 224 is installed thereon, the slide unit is movable on the rail 224 and a coil unit (not shown) is installed on the bottom so as to be spaced apart from the magnet 222 by a predetermined distance. Chair 230 is provided.

이와 같은 종래의 리니어 모터 스테이지(200)는 베이스(210)의 높이가 200mm 이하인 표준형의 경우, 또는 200mm 이상의 빔(beam) 스테이지의 경우, 모두 정반(240) 또는 철 프레임 상에 설치되어 동작되고 있다. 그렇지만, 이와 같은 종래의 리니어 모터 스테이지(200)는 현장의 특성상, 길게 설치되는 것이 요구되는 경우, 그 진직 도 및 평탄 도를 정확하게 유지하여야 하기 때문에 보통 단일 베이스(210)를 갖는 구조이다.The conventional linear motor stage 200 is installed on the surface plate 240 or the iron frame in the case of the standard type having a height of the base 210 of 200 mm or less, or a beam stage of 200 mm or more. . However, such a conventional linear motor stage 200 is usually of a structure having a single base 210 because it is necessary to maintain the straightness and flatness when it is required to be installed long, because of the nature of the field.

그렇지만, 이와 같은 단일 구조의 베이스(210)는 그 중량이 대략 50-60Kg/M의 구조이므로 만일 베이스(210)가 5-6M 의 길이를 갖는다면, 적에도 300Kg의 중량을 넘어서게 되고, 이와 같은 중량은 작업자들이 쉽게 취급할 수 없는 무게이다.However, such a single structure base 210 has a weight of approximately 50-60Kg / M, so if the base 210 has a length of 5-6M, the weight of the base 210 will be more than 300Kg at least. Weight is weight that workers cannot handle easily.

따라서 종래의 리니어 모터 스테이지(200)는 그 길이를 원하는 만큼 할 수 없는 사용상의 문제점을 갖는 것이다.Therefore, the conventional linear motor stage 200 has a problem in use that the length can not be as long as desired.

이와 같은 문제점을 해소하기 위하여 종래의 리니어 모터 스테이지(200)를 분할하고 이를 현장에서 재조립하여 직선형으로 유지하려는 시도는 있었지만, 이러한 분해 조립방식에서는 재조립과정에서 베이스(210)의 진직 도와 평탄 도를 정확하게 유지하는 기술이 개발되지 못한 것이었다.In order to solve such a problem, attempts have been made to divide the conventional linear motor stage 200 and reassemble it in the field to keep it straight. However, in this disassembly and assembly method, the straightness and flatness of the base 210 during the reassembly process. The technology to keep it accurate was not developed.

따라서 재설치 현장에서 사용하게 되면 설비의 정밀도가 저하되고, 설비의 품질이 저하되므로 이와 같은 분할 식의 구조는 널리 사용되지 못하는 실정이다.Therefore, when used in the re-installation site, the accuracy of the installation is degraded, the quality of the facility is degraded, such a structure of the split type is not widely used.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 그 목적은 베이스를 분할 식으로 분리하여 작업자들이 손쉽게 이송이 가능하고 사용 현장에서 재 조립식으로 진직 도와 평탄 도를 정밀하게 유지하면서 설치할 수 있음으로써 사용상의 편리함을 이룰 수 있음은 물론, 설비 품질을 우수하게 재현할 수 있도록 개선된 조립형 리니어 모터 스테이지와 이에 사용되는 고정 지그를 제공하고자 하는 것이다.The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, the object is that the base can be separated by split type, the worker can be easily transported and can be installed while maintaining the straightness and flatness precisely by reassembly in the use site The present invention aims to provide convenience in use as well as an improved assembled linear motor stage and a fixing jig used for improving the quality of equipment.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 자동화 기기에 사용되는 리니어 모터 스테이지에 있어서,In order to achieve the above object, the present invention provides a linear motor stage for use in an automated device,

상부 면에 레일을 구비한 적어도 2개 또는 그 이상의 베이스 부재;At least two or more base members with rails on their top surfaces;

상기 베이스 부재들을 서로 이어서 하나의 직선형 부재를 형성하도록 상기 베이스 부재들의 각각의 이음 부에 형성된 연결 수단;Connecting means formed at each joint of said base members to form one straight member next to said base members;

상기 베이스 부재들 상부에 설치되고, 다수의 자석들이 순차 교번으로 배열된 고정자; 및A stator provided on the base members and having a plurality of magnets sequentially arranged; And

상기 고정자 상에 배치되고, 상기 고정자의 자석과 상호작용하여 전,후 진력을 발생시키는 코일 유니트들을 구비하여 상기 레일 상에서 슬라이드 이동을 이루는 가동자;를 포함하고, 상기 연결 수단은 상기 베이스 부재들의 진직 도와 평탄 도를 유지하면서 상기 베이스 부재들을 연결시키는 것임을 특징으로 하는 조립형 리니어 모터 스테이지를 제공한다.And a mover disposed on the stator, the movable part having a coil unit for interacting with the magnet of the stator to generate forward and backward force to make a slide movement on the rail, wherein the connecting means is a straight line of the base members. An assembled linear motor stage is provided for connecting the base members while maintaining the degree and flatness.

그리고 본 발명은 리니어 모터 스테이지의 베이스 부재들을 조립하기 위한 지그에 있어서,And the present invention is a jig for assembling the base members of the linear motor stage,

상기 베이스 부재들 중의 어느 하나에 하부 면이 고정되고, 상부 측으로 적어도 하나의 관통 구멍을 수평으로 형성한 제1 블록; 및A first block having a lower surface fixed to one of the base members and horizontally forming at least one through hole toward an upper side; And

상기 베이스 부재들 중의 다른 하나에 하부 면이 고정되고, 상부 측으로는 상기 제1 블록의 관통 구멍에 일치하는 적어도 하나의 나사 구멍들을 수평으로 형성한 제2 블록; 및A second block having a lower surface fixed to the other one of the base members and horizontally forming at least one screw hole corresponding to the through hole of the first block at an upper side thereof; And

상기 제1 블록의 관통 구멍으로 각각 끼워져서 상기 제2 블록의 나사 구멍들에 나사 결합하여 제1 블록과 제2 블록들을 서로 당기는 적어도 하나의 조임 수단;을 포함하여 상기 제1 및 제2 블록들에 연결된 베이스 부재들을 인접하게 밀착시키는 것임을 특징으로 하는 조립형 리니어 모터 스테이지용 고정 지그를 제공한다.At least one fastening means inserted into the through-holes of the first block and screwed into the screw holes of the second block to pull the first block and the second blocks from each other; It provides a fixed jig for an assembled linear motor stage, characterized in that the base members connected to the adjacent close contact.

또한 본 발명은 리니어 모터 스테이지의 베이스 부재들을 조립하기 위한 지그에 있어서,The present invention also provides a jig for assembling the base members of the linear motor stage,

상기 베이스 부재들 중의 어느 하나의 측면에 고정되고, 중앙에는 상기 베이스 부재의 폭 방향의 관통구멍을 형성하며, 일측으로는 적어도 하나의 관통 구멍을 형성한 제1 블록; 및A first block fixed to one side of the base members, having a through hole in a width direction of the base member at a center thereof, and having at least one through hole at one side thereof; And

상기 베이스 부재들 중의 다른 하나의 측면에 고정되고, 중앙에는 상기 베이 스 부재의 폭 방향의 관통구멍을 형성하며, 상기 제1 블록에 마주하여 상기 제1 블록의 관통 구멍에 일치하는 적어도 하나의 나사 구멍들을 형성한 제2 블록; 및At least one screw that is fixed to a side of the other of the base members, and has a through-hole in the width direction of the base member at the center thereof, and coincides with the through-hole of the first block facing the first block; A second block forming holes; And

상기 제1 블록의 관통 구멍으로 각각 끼워져서 상기 제2 블록의 나사 구멍들에 나사 결합하여 제1 블록과 제2 블록들을 서로 당기는 적어도 하나의 조임 수단;을 포함하여 상기 제1 및 제2 블록들에 연결된 베이스 부재들을 인접하게 밀착시키는 것임을 특징으로 하는 조립형 리니어 모터 스테이지용 고정 지그를 제공한다.At least one fastening means inserted into the through-holes of the first block and screwed into the screw holes of the second block to pull the first block and the second blocks from each other; It provides a fixed jig for an assembled linear motor stage, characterized in that the base members connected to the adjacent close contact.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

본 발명에 따른 조립형 리니어 모터 스테이지(1)는 도 2에 도시된 바와 같이, 베이스(10)의 높이가 200mm 이하인 표준형의 경우에 적용된다. 본 발명에 따른 조립형 리니어 모터 스테이지(1)는 상부 면에 레일(56)을 구비한 적어도 2개의 베이스 부재(12a)(12b)를 포함한다.The assembled linear motor stage 1 according to the present invention is applied to the case of the standard type in which the height of the base 10 is 200 mm or less, as shown in FIG. 2. The assembled linear motor stage 1 according to the invention comprises at least two base members 12a and 12b having rails 56 on their upper surfaces.

상기 베이스 부재(12a)(12b)들은 2개, 3개 또는 그 이상으로 구성될 수 있으며, 이하에서는 설명의 편의상 제1 베이스 부재(12a)와 제2 베이스 부재(12b)들로 명칭을 구분하여 설명하기로 하지만, 이와 같은 제1 베이스 부재(12a) 및 제2 베이스 부재(12b)들의 연결 구조는 제2 베이스 부재(12b) 및 제3 베이스 부재(12c), 또는 제3 베이스 부재(12c) 및 제4 베이스 부재(미 도시)들의 연결 구조에 대응될 수 있으며, 설명의 간략화를 위하여, 보다 상세한 설명은 생략하기로 한다. The base members 12a and 12b may be configured as two, three, or more. Hereinafter, for convenience of description, the base members 12a and 12b may be divided into first and second base members 12a and 12b. As will be described, the connection structure of the first base member 12a and the second base member 12b is the second base member 12b and the third base member 12c, or the third base member 12c. And it may correspond to the connection structure of the fourth base member (not shown), for the sake of simplicity, a more detailed description will be omitted.

이와 같은 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b)들은 그 하부 면이 각각 정반(240) 또는 철 프레임 상에 밀착되어 고정되는 것으로서, 상기 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b)들을 서로 이어서 하나의 직선형 부재를 형성하도록 상기 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b)의 이음 부(22a)(22b)에 형성된 연결 수단(30)을 구비한다.The first and second base members 12a and 12b are fixed to the lower surface of the first and second base members 12a and 12b in close contact with the surface plate 240 or the iron frame, respectively. Connecting means 30 formed on the joint portions 22a and 22b of the first and second base members 12a and 12b so as to form one straight member next to each other.

상기 연결 수단(30)은 상기 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b)들의 이음 부(22a)(22b)에 인접하여 형성된 복수의 키 홈(32a)(32b)과, 상기 키 홈(32a)(32b)에 끼워져서 나사결합되는 키 블록(34a)(34b)을 포함하는 것으로서, 상기 키 홈(32a)(32b)과 키 블록(34a)(34b)들은 서로 접촉하는 3면에서 상기 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b)들의 진직 도와 평탄 도를 유지하는 구조이다.The connecting means 30 includes a plurality of key grooves 32a and 32b formed adjacent to the joint portions 22a and 22b of the first and second base members 12a and 12b, and the key groove ( And key blocks 34a and 34b which are fitted into and screwed to 32a and 32b, wherein the key grooves 32a and 32b and the key blocks 34a and 34b are in contact with each other. The structure maintains the straightness and flatness of the first and second base members 12a and 12b.

즉 상기와 같은 연결 수단(30)은 상기 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b)의 양측에 각각 형성됨으로써 키 블록(34a)(34b)에 형성된 나사 구멍(36)을 관통하여 고정 나사(38)들이 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b)의 키 홈(32a)(32b)에 형성된 나사 구멍(39)에 결합 되면, 도 3에 도시된 바와 같이, 서로 인접한 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b)들을 연결시킨다.That is, the connecting means 30 as described above are formed on both sides of the first and second base members 12a and 12b, respectively, so as to penetrate through the screw holes 36 formed in the key blocks 34a and 34b. When the 38 are engaged with the screw holes 39 formed in the key grooves 32a and 32b of the first and second base members 12a and 12b, as shown in FIG. The second base members 12a and 12b are connected.

상기 키 블록(34a)(34b)과 키 홈(32a)(32b)들은 각각 정밀 기계가공되는 것 들이어서 상기 키 홈(32a)(32b)에 키 블록(34a)(34b)들이 나사 결합하면 도3에 확대도로 도시된 바와 같이, 키 블록(34a)(34b)과 키 홈(32a)(32b)들이 접촉하는 3면에서 상기 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b)들의 진직 도 및 평탄 도를 유지할 수 있는 것이다.The key blocks 34a and 34b and the key grooves 32a and 32b are each precision machined, so that the key blocks 34a and 34b are screwed into the key grooves 32a and 32b. As shown in an enlarged view at 3, the straightness of the first and second base members 12a, 12b at three sides where the key blocks 34a, 34b and the key grooves 32a, 32b are in contact; Flatness can be maintained.

그리고, 상기 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b)들의 상부에는 다수의 자석(52)들이 순차적으로 교번으로 배열된 고정자(50)가 배치되고, 상기 고정자(50) 위에는 상기 고정자(50)의 자석(52)과 상호작용하여 전,후 진력을 발생시키는 코일 유니트(미 도시)를 구비하여 레일(56) 상에서 슬라이드 이동을 이루는 가동자(60)가 위치된다.In addition, a stator 50 having a plurality of magnets 52 sequentially arranged on the first and second base members 12a and 12b is disposed, and the stator 50 is disposed on the stator 50. The mover 60 is positioned to make a slide movement on the rail 56 with a coil unit (not shown) that interacts with the magnet 52 of the crankshaft to generate front and back stresses.

상기 가동자(Slide)(60)는 다수 개가 레일(56) 상에서 이동가능한 것으로서, 도 3에 도시된 바와 같이 하나의 베이스(10) 상에서 예를 들면 4대가 영역을 할당받아 직선이동하도록 장착될 수 있다. A plurality of the slides 60 are movable on the rails 56, and as shown in FIG. 3, four slides 60 may be mounted on the base 10 to move linearly. have.

또한 본 발명은 상기 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b)의 상부에 각각 고정 지그 장착용 나사구멍(62a)(62b)들이 형성된 구조이다.In addition, the present invention has a structure in which fixing jig mounting screw holes 62a and 62b are formed on the first and second base members 12a and 12b, respectively.

상기 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b)에 장착되는 고정 지그(70)는 도 2에서 확대도로 도시된 바와 같이, 상기 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b)들 중의 어느 하나에 하부 면이 고정되고, 상부 측으로 적어도 하나의 관통 구멍(72c)을 수평으로 형성한 제1 블록(72)과 상기 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b)들 중의 다른 하나에 하부 면이 고정되고, 상부 측으로는 상기 제1 블록(72)의 관통 구멍(72c)에 일치하는 적어도 하나의 나사 구멍(74c)들을 수평으로 형성한 제2 블록(74)을 포함한다.The fixing jig 70 mounted to the first and second base members 12a and 12b may have any one of the first and second base members 12a and 12b as shown in an enlarged view in FIG. 2. The lower surface is fixed to one of the first block 72 and at least one of the first and second base members 12a and 12b horizontally formed with at least one through hole 72c on the upper side. The surface is fixed, and the upper side includes a second block 74 formed horizontally with at least one screw hole 74c corresponding to the through hole 72c of the first block 72.

상기 제1 블록(72)은 개략적으로 그 단면이 ┛형의 구조를 갖는 것으로서, 상기 제1 베이스 부재(12a)에 하부 면이 고정되기 위한 다수의 나사 구멍들을 제1 바닥 판(72a)에 형성하고, 이러한 나사 구멍들은 상기 제1 베이스 부재(12a)의 상부에 형성된 고정 지그 장착용 나사 구멍(62a)에 일치하며, 고정 나사(72b)들을 통하여 제1 블록(72)은 제1 베이스 부재(12a)에 장착된다.The first block 72 has a roughly cross-sectional shape, and forms a plurality of screw holes in the first bottom plate 72a for fixing a lower surface to the first base member 12a. The screw holes correspond to the fixing jig mounting screw holes 62a formed in the upper portion of the first base member 12a, and the first block 72 is fixed to the first base member through the fixing screws 72b. 12a).

그리고 상기 제1 블록(72)은 제1 바닥 판(72a)의 상부 측으로 적어도 하나의 관통 구멍(72c)을 수평으로 형성한 직립된 제1 수직 판(72d)을 구비한 것이다.The first block 72 includes an upright first vertical plate 72d formed horizontally with at least one through hole 72c toward the upper side of the first bottom plate 72a.

한편, 상기 제2 블록(74)은 상기 제1 블록(72)에 대향 배치된 것으로서, 상기 제1 블록(72)이 제1 베이스 부재(12a)에 장착된다면, 제2 블록(74)은 나머지 제2 베이스 부재(12b)에 하부 면이 고정되는 것으로서, 그 상부 측으로는 상기 제1 블록(72)의 관통 구멍(72c)에 일치하는 적어도 하나의 나사 구멍(74c)들을 수평으로 형성한 구조이다.On the other hand, the second block 74 is disposed opposite to the first block 72, if the first block 72 is mounted to the first base member 12a, the second block 74 is the remaining The lower surface is fixed to the second base member 12b, and the upper side thereof has a structure in which at least one screw hole 74c corresponding to the through hole 72c of the first block 72 is formed horizontally. .

상기 제2 블록(74)도 제1 블록(72)에 유사하게 ┖ 형의 단면을 갖는 것으로서, 상기 제1 블록(72)이 고정된 제1 베이스 부재(12a)에 인접하여 배치된 제2 베이스 부재(12b)에 하부 면이 고정되기 위한 다수의 나사 구멍들을 제2 바닥 판 (74a)에 형성하고, 이러한 나사 구멍들은 제2 베이스 부재(12b)의 상부에 형성된 고정 지그 장착용 나사 구멍(62b)에 일치하며 고정 나사(74b)들을 통하여 제2 블록(74)은 제2 베이스 부재(12b)에 장착된다.Similarly to the first block 72, the second block 74 also has an X-shaped cross section, and a second base disposed adjacent to the first base member 12a to which the first block 72 is fixed. A plurality of screw holes are formed in the second bottom plate 74a for fixing the lower surface to the member 12b, and these screw holes are fixed jig mounting screw holes 62b formed in the upper portion of the second base member 12b. ), And the second block 74 is mounted to the second base member 12b through fixing screws 74b.

그리고 상기 제2 블록(74)은 제2 바닥 판(74a)의 상부 측으로 적어도 하나의 나사 구멍(74c)을 수평으로 형성한 직립된 제2 수직 판(74d)을 구비한 것이다.The second block 74 has an upright second vertical plate 74d formed horizontally with at least one screw hole 74c on the upper side of the second bottom plate 74a.

그리고 본 발명에 의한 고정 지그(70)는 상기 제1 블록(72)의 관통 구멍(72c)으로 각각 끼워져서 상기 제2 블록(74)의 나사 구멍(74c)들에 나사 결합하여 제1 블록(72)과 제2 블록(74)들을 서로 당기는 적어도 하나의 조임 수단(80)을 포함하여 상기 제1 및 제2 블록(72)(74)들에 연결된 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b)들을 인접하게 밀착시키는 구조이다. In addition, the fixing jig 70 according to the present invention is fitted into the through holes 72c of the first block 72, respectively, and is screwed into the screw holes 74c of the second block 74 so that the first block ( First and second base members 12a (12a) connected to the first and second blocks 72, 74, including at least one fastening means 80 for pulling 72 and second blocks 74 together. 12b) are in close contact with each other.

상기 조임 수단(80)은 각각 나사 부재로 이루어지는 것으로서, 상기 관통 구멍을 통하여 나사 구멍에 나사 결합하는 구조이다.Each of the fastening means 80 is made of a screw member, and has a structure of screwing into a screw hole through the through hole.

또한, 상기 고정 지그(70)의 제1 블록(72)과 제2 블록(74)들은 제1 및 제2 수직 판(72d)(74d)의 상부 측에 진직 도 및 평탄 도를 맞추기 위한 위치 정렬 수단을 구비한다.Further, the first block 72 and the second block 74 of the fixing jig 70 are aligned in order to match the straightness and flatness to the upper side of the first and second vertical plates 72d and 74d. Means.

상기 위치 정렬 수단은 제1 블록(72)의 제1 수직 판(72d) 상단에 형성된 오목 홈(72e)과, 제2 블록(74)의 제2 수직 판(74d) 상단에 형성된 단 턱(74e)을 포함한다.The position aligning means includes a concave groove 72e formed at an upper end of the first vertical plate 72d of the first block 72 and a stepped jaw 74e formed at an upper end of the second vertical plate 74d of the second block 74. ).

이와 같은 오목 홈(72e)과 단 턱(74e)은 서로 일치하여 맞춰지는 경우, 그 단차 구조로 인하여 제1 블록(72)과 제2 블록(74)의 진직 도 및 평탄 도가 유지될 수 있다.When the concave groove 72e and the step tuck 74e are matched with each other, the straightness and flatness of the first block 72 and the second block 74 may be maintained due to the stepped structure.

이와 같은 고정 지그(70)의 구조는 서로 분할된 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b), 또는 제2 및 제3 베이스 부재(12b)(12c), 또는 제3 베이스 부재(12c)와 제4 베이스 부재(미 도시)들과 같이 서로 인접한 베이스 부재들을 서로 당겨서 이들 베이스 부재들에 형성된 키 홈(32a)(32b)에 키 블록(34a)(34b)을 서로 연결시키기 위한 것이다.The structure of the fixing jig 70 is divided into the first and second base members 12a and 12b, or the second and third base members 12b and 12c or the third base member 12c. And key blocks 34a and 34b to be connected to key grooves 32a and 32b formed in these base members by pulling base members adjacent to each other such as and fourth base members (not shown).

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 조립형 리니어 모터 스테이지(1)는 도 3에 도시된 바와 같이, 베이스(10)의 높이가 150mm 이하인 표준형의 경우에 하나의 직선형 베이스(10)를 형성하기 위하여 다수 개로 분할된 제1 내지 제3 베이스 부재(12a)(12c)들이 서로 분리된 상태로 운반되고, 사용 현장에서 정반(240) 또는 철 프레임 상에 진직 도와 평탄 도를 유지하면서 재조립된다.As shown in FIG. 3, the assembled linear motor stage 1 according to the present invention configured as described above includes a plurality of linear bases 10 to form one straight base 10 in the case of a standard type having a height of 150 mm or less. The first to third base members 12a and 12c divided into two pieces are transported in a state of being separated from each other and reassembled while maintaining the straightness and flatness on the surface plate 240 or the iron frame at the use site.

이와 같은 경우, 정반(240) 또는 철 프레임 상에는 제1 내지 제3 베이스 부재(12a)(12c)들이 서로 일직선으로 배치된 상태에서 이들을 키 블록(34a)(34b)과 키 홈(32a)(32b)을 이용하여 고정시키게 되며, 이와 같은 과정에서 서로 인접한 베이스 부재(12a)(12b)들을 당겨서 이음 부(22a)(22b) 부분에서 밀착시키기 위해 고정 지그(70)를 사용한다.In such a case, the key blocks 34a and 34b and the key grooves 32a and 32b are placed on the surface plate 240 or the iron frame in a state where the first to third base members 12a and 12c are arranged in a straight line with each other. In this process, the fixing jig 70 is used to pull the base members 12a and 12b adjacent to each other and close the joints 22a and 22b.

따라서, 제1 베이스 부재(12a)의 상부 면에는 제1 블록(72)을 장착하고, 이에 인접한 제2 베이스 부재(12b)에는 제2 블록(74)을 장착하며, 제1 블록(72)의 적어도 하나의 관통 구멍(72c)으로는 각각 조임 수단(80)의 나사 부재가 삽입되어 제2 블록(74)의 나사 구멍(74c)에 결합한다.Accordingly, the first block 72 is mounted on the upper surface of the first base member 12a, and the second block 74 is mounted on the second base member 12b adjacent thereto. The screw members of the fastening means 80 are respectively inserted into the at least one through hole 72c to engage with the screw holes 74c of the second block 74.

이와 같은 상태에서 조임 수단(80)을 회전시키게 되면 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 블록(72)과 제2 블록(74)들이 당겨지게 되고, 이와 같이 당겨지게 되면, 제1 베이스 부재(12a)와 제2 베이스 부재(12b)들은 그 이음 부(22a)(22b) 부분에서 서로 접촉하게 되며, 키 홈(32a)(32b)들이 각각 서로 대응하여 접촉된다.When the tightening means 80 is rotated in this state, as shown in FIG. 4, the first block 72 and the second block 74 are pulled, and when pulled in this manner, the first base member ( 12a and the second base members 12b are in contact with each other at portions of the joint portions 22a and 22b, and the key grooves 32a and 32b are in contact with each other.

그리고 이와 같은 상태에서 상기 서로 일치된 키 홈(32a)(32b)으로는 키 블록(34a)(34b)을 삽입하고, 다수의 고정 나사(38)들로 키 홈(32a)(32b)에 키 블록(34a)(34b)을 고정시키면 제1 베이스 부재(12a)와 제2 베이스 부재(12b)의 연결이 완료된다.In such a state, the key blocks 34a and 34b are inserted into the key grooves 32a and 32b which are matched with each other, and the key is inserted into the key grooves 32a and 32b with a plurality of fixing screws 38. When the blocks 34a and 34b are fixed, the connection between the first base member 12a and the second base member 12b is completed.

이와 같이 제1 베이스 부재(12a)와 제2 베이스 부재(12b)들의 연결을 완료한 다음에는, 상기 제1 및 제2 베이스 부재(12a)(12b)들로부터 제1 및 제2 블록(72)(74)들을 해체하여 분리하고, 제2 베이스 부재(12b)와 제3 베이스 부재(12c)에 각각 제1 및 제2 블록(72)(74)들을 고정하고 이들을 밀착시켜서 별도의 키 블록(34a)(34b)으로 고정시킨다.After completing the connection between the first base member 12a and the second base member 12b as described above, the first and second blocks 72 are separated from the first and second base members 12a and 12b. Separate the 74 blocks by disassembling, fixing the first and second blocks 72 and 74 to the second base member 12b and the third base member 12c, respectively, and bringing them into close contact to separate key blocks 34a. ) 34b).

이와 같은 과정을 통하여 다수의 베이스 부재들은 정반(240) 또는 철 프레임 상에서 진직 도 및 평탄 도를 유지하면서 서로 하나의 직선형 베이스(10)로 연결되는 것이다. Through this process, the plurality of base members are connected to each other with one straight base 10 while maintaining straightness and flatness on the surface plate 240 or the iron frame.

상기에서 베이스 부재들의 이음 부(22a)(22b) 위치는 상기 베이스(10) 상부에 위치되는 레일(56)의 이음 부 부분과는 다른 위치에 형성됨으로써 그 위치들이 서로 어긋나게 형성되어 진직 도와 평탄 도를 더욱 우수하게 유지할 수 있는 것이다.In the above, the position of the joint parts 22a and 22b of the base members is formed at a position different from that of the joint part of the rail 56 positioned on the base 10 so that the positions thereof are shifted from each other so that the straightness and the flatness are made. It can be maintained better.

도 5는 본 발명의 변형 실시 예로서, 베이스(110)의 높이가 200mm 이상인 빔 스테이지 타입의 경우에 본 발명에 따른 조립형 리니어 모터 스테이지(100)가 적용된 구조가 도시되어 있다. 이와 같은 경우에도 본 발명에 따른 조립형 리니어 모터 스테이지(100)는 상부 면에 레일(156)을 구비한 적어도 2개의 베이스 부재들을 포함한다.5 is a modified embodiment of the present invention, in the case of the beam stage type of the height of the base 110 is 200mm or more is shown the structure to which the assembled linear motor stage 100 according to the present invention is applied. Even in this case, the assembled linear motor stage 100 according to the present invention includes at least two base members having a rail 156 on an upper surface thereof.

상기 적어도 2개의 베이스 부재, 예를 들면 제1 베이스 부재(112a) 및 제2 베이스 부재(112b)들은 서로 마주한 이음 부(122a)(122b)의 측면이 도 6에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 수직 모서리(124a)(124b) 및 수평 모서리(126a)(126b)를 포함하도록 굽어진 단차 구조로 이루어진 것이다.The at least two base members, for example, the first base member 112a and the second base member 112b may have at least one side surface of the joint portions 122a and 122b facing each other, as shown in FIG. 6. It has a stepped structure bent to include vertical edges 124a and 124b and horizontal edges 126a and 126b.

이와 같은 단차 구조는 대략 ┎┛형의 형태를 이루는 2단 단차의 구조로 이루어지는 것으로서, 그 수직 모서리(124a)(124b)들이 서로 마주하여 일치됨으로써 제1 및 제2 베이스 부재(112a)(112b)의 진직 도를 유지하고, 그 수평 모서리(126a)(126b)들이 서로 마주하여 일치됨으로써 평탄 도를 유지하는 것이다. Such a stepped structure is composed of a two-stepped stepped structure having an approximate shape, and the vertical edges 124a and 124b face each other to coincide with each other so that the first and second base members 112a and 112b are aligned. The straightness is maintained, and the horizontal edges 126a and 126b face each other to coincide with each other to maintain flatness.

또한 본 발명은 상기 제1 베이스 부재(112a)와 제2 베이스 부재(112b)의 이음 부(122a)(122b) 들을 연결하기 위한 연결 수단(130)은 상기 베이스 부재(112a)(112b)들의 이음 부(122a)(122b)에 중첩하여 나사 결합하는 고정판(132)을 포함하는 구조이다.In addition, in the present invention, the connecting means 130 for connecting the joint portions 122a and 122b of the first base member 112a and the second base member 112b is a joint of the base members 112a and 112b. It is a structure including a fixing plate 132 for screwing overlapping parts 122a and 122b.

이와 같은 고정판(132)은 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 베이스 부재(112a)(112b)의 내부 양 측면에 다수의 볼트(134)들을 통하여 고정된 판재 부재로 이루어지는 것이다.As shown in FIG. 6, the fixing plate 132 is formed of a plate member fixed through a plurality of bolts 134 on both inner sides of the base members 112a and 112b.

이를 위하여 상기 고정판(132)은 다수의 암나사 구멍(132a)들을 형성하며, 이러한 암나사 구멍(132a)들은 상기 제1 베이스 부재(112a)와 제2 베이스 부재(112b)의 측판에 형성된 이음 부(122a)(122b) 주위의 다수의 폭 방향 관통 구멍(138)들에 일치한다. To this end, the fixing plate 132 forms a plurality of female threaded holes 132a, and the female threaded holes 132a are formed in the side plates of the first base member 112a and the second base member 112b. Coincide with the plurality of widthwise through holes 138 around the 122b.

따라서, 상기 제1 베이스 부재(112a)와 제2 베이스 부재(112b)의 이음 부(122a)(122b)들이 일치하고, 고정 나사들이 상기 제1 베이스 부재(112a)와 제2 베이스 부재(112b)의 측판에 형성된 폭 방향 관통 구멍(138)들을 통하여 고정판(132)의 나사 구멍(136)들에 각각 결합되면, 상기 제1 베이스 부재(112a)와 제2 베이스 부재(112b)들은 그 진직 도와 평탄 도를 유지하면서 하나의 빔 스테이지형 베이스(110)로 연결된다.Accordingly, the joint portions 122a and 122b of the first base member 112a and the second base member 112b coincide with each other, and the fixing screws are arranged in the first base member 112a and the second base member 112b. When the first base member 112a and the second base member 112b are respectively coupled to the screw holes 136 of the fixing plate 132 through the widthwise through holes 138 formed in the side plates of It is connected to one beam stage type base 110 while maintaining the figure.

또한 본 발명에 따른 조립형 리니어 모터 스테이지(100)는 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 제1 및 제2 베이스 부재(112a)(112b)들의 상부 면에는 고정 지그 장착용 나사구멍(미 도시)들이 형성된 구조이다.In addition, the assembled linear motor stage 100 according to the present invention, as shown in Figure 7, the upper surface of the first and second base members (112a, 112b) fixing jig mounting screw holes (not shown) Is a structure formed.

따라서 상기 제1 및 제2 베이스 부재(112a)(112b)들의 상부 면에 고정 지그(170)가 장착되며, 이와 같은 고정 지그(170)는 도2 및 도 4에 관련하여 설명한 것과 동일한 것이기 때문에 이에 대한 보다 상세한 설명은 생략하기로 한다.Therefore, the fixing jig 170 is mounted on the upper surfaces of the first and second base members 112a and 112b, and the fixing jig 170 is the same as that described with reference to FIGS. 2 and 4. Detailed description thereof will be omitted.

한편, 본 발명이 적용되는 도 5에 도시된 바와 같은 빔 스테이지형 리니어 모터 스테이지(100)는 그 베이스(110)의 두께가 200mm이상으로 형성된 것이기 때문에 상부 면에 장착된 고정 지그(170) 만으로는 제1 및 제2 베이스 부재(112a)(112b)들의 하부면 까지 정확하게 진직 도 및 평탄 도를 유지하면서 당길 수 없다. On the other hand, the beam stage type linear motor stage 100 as shown in Figure 5 to which the present invention is applied, since the base 110 is formed to have a thickness of 200 mm or more, only the fixing jig 170 mounted on the upper surface may be used. The lower surfaces of the first and second base members 112a and 112b cannot be pulled accurately while maintaining the straightness and flatness.

따라서 본 발명이 적용되는 빔 스테이지형 리니어 모터 스테이지(100)는 도 7에 도시된 바와 같은 또 다른 고정 지그(180)(이하, 측면 고정 지그라 한다.)를 추가 포함한다.Therefore, the beam stage type linear motor stage 100 to which the present invention is applied further includes another fixing jig 180 (hereinafter, referred to as a side fixing jig) as shown in FIG. 7.

상기 측면 고정 지그(180)는 상기 베이스 부재들 중의 어느 하나, 예를 들면 제1 베이스 부재(112a)의 측면에 고정되고, 중앙에는 상기 제1 베이스 부재(112a)의 폭 방향 관통구멍(138)에 일치하는 관통구멍(182a)을 형성하며, 일측으로는 적어도 하나의 관통 구멍(182b)을 형성한 제1 블록(182)을 구비한다.The side fixing jig 180 is fixed to one of the base members, for example, the side of the first base member 112a, and in the center thereof, the widthwise through hole 138 of the first base member 112a. The through hole 182a is formed to correspond to the first block, and the first block 182 having at least one through hole 182b is formed on one side thereof.

상기 제1 블록(182)은 개략적으로 그 단면이 ┖ 형의 구조를 갖는 것으로서, 상기 제1 베이스 부재(112a)의 측면이 고정되기 위한 다수의 나사 구멍들을 제1 바닥 판(182c)에 형성하고, 이러한 나사 구멍들은 상기 제1 베이스 부재(112a)의 측면에 형성된 나사 구멍에 일치하며 고정 나사(182d) 들을 통하여 제1 블록(182)은 제1 베이스 부재(112a)의 측면에 장착된다.The first block 182 has a roughly cross-sectional structure, and forms a plurality of screw holes in the first bottom plate 182c for fixing the side surface of the first base member 112a. These screw holes correspond to the screw holes formed in the side surface of the first base member 112a, and the first block 182 is mounted to the side surface of the first base member 112a through the fixing screws 182d.

그리고, 상기 제2 블록(184)은 상기 제1 블록(182)에 대향 배치된 것으로서, 상기 제1 블록(182)이 제1 베이스 부재(112a)에 장착된다면, 제2 블록(184)은 제2 베이스 부재(112b)의 측면에 고정되는 것으로서, 그 상부 측으로는 상기 제1 블록(182)의 관통 구멍(182b)에 일치하는 적어도 하나의 나사 구멍(184b)들을 수평으로 형성한 구조이다.The second block 184 is disposed to face the first block 182. If the first block 182 is mounted on the first base member 112a, the second block 184 may be formed. It is fixed to the side of the second base member 112b, and the upper side thereof has a structure in which at least one screw hole 184b corresponding to the through hole 182b of the first block 182 is formed horizontally.

또한 상기 제2 블록(184)은 제2 베이스 부재(112b)의 폭 방향 관통 구멍(138)에 일치하는 중앙 구멍(184a)이 형성되며, 상기 제2 블록(184)의 높이는 제1 블록(182)의 높이에 대략적으로 일치한다.In addition, the second block 184 is formed with a central hole 184a coinciding with the widthwise through hole 138 of the second base member 112b, and the height of the second block 184 is the first block 182. Approximately corresponds to the height of).

그리고 상기 제1 블록(182)의 관통 구멍(182b)으로 각각 끼워져서 상기 제2 블록(184)의 나사 구멍(184b)들에 나사 결합하여 제1 블록(182)과 제2 블록(184)들을 서로 당기는 적어도 하나의 조임 수단(190)을 포함하는 것이다.The first block 182 and the second block 184 are inserted into the through holes 182b of the first block 182 and screwed into the screw holes 184b of the second block 184. It includes at least one tightening means 190 pulling each other.

상기 조임 수단(190)은 나사 부재로 이루어지는 것으로서, 상기 관통 구멍(182b)을 통하여 나사 구멍(184b)에 나사 결합하면 상기 제1 및 제2 블록(182)(184)들에 연결된 제1 및 제2 베이스 부재(112a)(112b)들의 측면을 서로 당겨서 인접하게 밀착시키는 것이다.The fastening means 190 is made of a screw member, and when screwed into the screw hole 184b through the through hole 182b, the first and second blocks 182 and 184 are connected to the first and second blocks 182 and 184. The sides of the two base members 112a and 112b are pulled to closely contact each other.

이와 같은 측면 고정 지그(180)의 구조는 서로 분할된 제1 및 제2 베이스 부재(112a)(112b), 또는 제2 및 제3 베이스 부재(112b)(112c), 또는 제3 및 제4 베이스 부재들과 같이 서로 인접한 베이스 부재들의 측면을 서로 당겨서 이들 베이스 부재들의 양 측면이 진직 도와 평탄 도를 유지하면서 밀착될 수 있도록 한다.The structure of the side fixing jig 180 is divided into the first and second base members 112a and 112b, or the second and third base members 112b and 112c, or the third and fourth bases. The sides of the base members adjacent to each other, such as the members, are pulled together so that both sides of these base members can be in close contact while maintaining straightness and flatness.

상기와 같이 구성된 본 발명의 변형 예에 따른 조립형 리니어 모터 스테이지(100)는 도 7에 도시된 바와 같이, 베이스(110)의 높이가 200mm 이상인 빔 스테이지형의 경우에 하나의 직선형 베이스(110)를 형성하기 위하여 다수 개로 분할된 제1 내지 제3 베이스 부재(112a)(112c)들이 서로 분리된 상태로 운반되고, 사용 현장에서 정반(240) 또는 철 프레임 상에 진직 도와 평탄 도를 유지하면서 재조립된다.As shown in FIG. 7, the linear linear motor stage 100 according to the modified example of the present invention configured as described above has one straight base 110 when the height of the base 110 is 200 mm or more. The first to third base members 112a and 112c, which are divided into a plurality of parts, are conveyed in a state of being separated from each other, and the straightness and flatness are maintained on the surface plate 240 or the iron frame at the site of use. Are assembled.

이와 같은 경우, 정반(240) 또는 철 프레임 상에는 제1 내지 제3 베이스 부재(112a)(112c)들이 서로 일직선으로 배치된 상태에서 이들을 고정판(132)과 고정 나사(134)들을 이용하여 고정시키게 된다.In this case, the first to third base members 112a and 112c are fixed on the surface plate 240 or the iron frame by using the fixing plate 132 and the fixing screws 134. .

먼저 제1 및 제2 베이스 부재(112a)(112b)들을 서로 연결시키고자 하는 경 우, 서로 인접한 제1 및 제2 베이스 부재(112a)(112b)들을 당겨서 이음 부(122a)(122b) 부분에서 밀착시키기 위해 상부 면에는 고정 지그(170)를 장착하고, 그 양 측면에는 각각 복수의 측면 고정 지그(180)들을 장착한다. First, when the first and second base members 112a and 112b are to be connected to each other, the first and second base members 112a and 112b adjacent to each other are pulled to form the joint portions 122a and 122b. Fixing jig 170 is mounted on the upper surface to adhere to each other, and a plurality of side fixing jig 180 is mounted on both sides thereof.

이와 같은 경우, 제1 및 제2 베이스 부재(112a)(112b)들의 양 측면에는 각각 도 8에 도시된 바와 같이, 이음 부(122a)(122b)의 수직 모서리(124a)들을 사이에 두고 각각 측면 고정 지그(180)의 복수의 제1 블록(182)과 제2 블록(184)들이 고정된다. In this case, both sides of the first and second base members 112a and 112b are respectively disposed on both sides thereof with the vertical edges 124a of the joint portions 122a and 122b interposed therebetween, respectively. The plurality of first blocks 182 and the second blocks 184 of the fixing jig 180 are fixed.

그리고, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 베이스 부재(112a)의 양 측면 내측에는 각각 고정판(132)을 위치시키고, 제1 베이스 부재(112a)의 측면에 마련된 폭 방향 관통 구멍(138)으로는 고정 나사(134)들을 끼워서 고정판(132)의 나사 구멍(136)에 나사결합시켜 가 조립(Pre-fabrication) 한다.As shown in FIG. 6, fixing plates 132 are positioned at both inner sides of the first base member 112a, and the widthwise through holes 138 are provided at the side surfaces of the first base member 112a. The pre-fabrication is performed by inserting the fixing screws 134 and screwing into the screw holes 136 of the fixing plate 132.

이와 같은 경우 제1 베이스 부재(112a)의 이음 부(122a) 부분에는 고정판(132)의 일측이 가 조립 상태로 매달리게 되며, 이 상태에서 제2 베이스 부재(112b)와 결합한다. In this case, one side of the fixing plate 132 is suspended in the assembled portion 122a of the first base member 112a in the assembled state, and in this state is coupled to the second base member 112b.

따라서, 제1 베이스 부재(112a)의 상부 면에는 장착된 고정 지그(170)의 제1 블록(172)에 마련된 적어도 하나의 관통 구멍으로는 각각 조임 수단(179)의 나사 부재가 삽입되어 제2 블록(174)의 나사 구멍에 결합한다.Therefore, the screw members of the fastening means 179 are respectively inserted into at least one through-hole provided in the first block 172 of the fixing jig 170 mounted on the upper surface of the first base member 112a. Engage in the screw holes in block 174.

또한 상기 제1 및 제2 베이스 부재(112a)(112b)들의 양 측면에 장착된 측면 고정 지그(180)의 복수의 제1 블록(182)과 제2 블록(184)들에도 조임 수단(190)이 결합된다. Fastening means 190 are also provided on the plurality of first blocks 182 and second blocks 184 of the side fixing jig 180 mounted to both sides of the first and second base members 112a and 112b. Is combined.

이와 같은 상태에서 조임 수단(179)(190)들을 회전시키게 되면 도 8에 도시된 바와 같이, 고정 지그(170)의 제1 블록(172)과 제2 블록(174)들이 당겨지게 되고, 이와 동시에 측면 고정 지그(180)들의 제1 블록(182)들과 제2 블록(184)들이 당겨지며, 이와 같이 당겨지게 되면, 제1 베이스 부재(112a)와 제2 베이스 부재(112b)들은 그 이음 부(122a)(122b) 부분에서 서로 접촉하게 되며, 고정판(132)은 상기 제1 및 제2 베이스 부재(112a)(112b)들의 양 측면 내측에서 정 위치한다.In this state, when the tightening means 179 and 190 are rotated, as shown in FIG. 8, the first block 172 and the second block 174 of the fixing jig 170 are pulled, and at the same time, The first blocks 182 and the second blocks 184 of the side fixing jigs 180 are pulled, and when pulled in this way, the first base member 112a and the second base member 112b are connected to their joints. In contact with each other at portions 122a and 122b, the fixing plate 132 is positioned at both sides of the first and second base members 112a and 112b.

이와 같은 경우 제1 베이스 부재(112a)에 가 조립된 고정판(132)들은 그 나사 구멍(136)들이 제2 베이스 부재(112a)(112b)의 폭 방향 관통 구멍(138)에 각각 일치하게 되고, 이와 같이 일치하게 되면 고정 나사(134)들을 통하여 제2 베이스 부재(112b)와 고정판(132)들을 결합시키는 것이다. 동시에 제1 베이스 부재(112a)에 나사결합된 고정 나사(134) 들을 더욱 조여서 가 조립된 상태의 고정판(132)을 제1 베이스 부재(112a)에 고정시킨다. In such a case, the fixing plates 132 assembled to the first base member 112a have their screw holes 136 coinciding with the widthwise through holes 138 of the second base members 112a and 112b, respectively. In this case, the second base member 112b and the fixing plate 132 are coupled to each other through the fixing screws 134. At the same time, fixing screws 134 screwed to the first base member 112a are further tightened to fix the fixing plate 132 in the assembled state to the first base member 112a.

이와 같이 제1 베이스 부재(112a)와 제2 베이스 부재(112b)들의 연결을 완료하게 되면, 상기 제1 베이스 부재(112a)와 제2 베이스 부재(112b)들은 그 진직 도와 평탄 도가 정렬된 상태로 서로 하나의 직선형 베이스(110)로 연결되는 것이다. When the first base member 112a and the second base member 112b are connected as described above, the first base member 112a and the second base member 112b are aligned with their straightness and flatness. It is connected to one straight base 110 with each other.

이와 같이 제1 베이스 부재(112a)와 제2 베이스 부재(112b)들을 연결한 다음에는, 상기 제1 및 제2 베이스 부재(112a)(112b)들로부터 고정 지그(170)와 측면 고정 지그(180)들을 해체하여 분리하고, 제2 베이스 부재(112b)와 제3 베이스 부재(112c)에 각각 다시 장착하고 이들을 밀착시켜서 별도의 고정판(132)으로 서로 연결시킨다.After connecting the first base member 112a and the second base member 112b in this manner, the fixing jig 170 and the side fixing jig 180 are formed from the first and second base members 112a and 112b. ) Are removed by disassembly, and are reattached to the second base member 112b and the third base member 112c, respectively, and are connected to each other by a separate fixing plate 132.

이와 같은 과정을 통하여 다수의 베이스 부재(112a)(112b)들은 정반(240) 또는 철 프레임 상에서 진직 도 및 평탄 도를 유지하면서 서로 하나의 직선형 베이스(110)로 연결되고, 이와 같이 연결된 상태에서 정반(240) 또는 철 프레임에 고정시켜 사용하는 것이다. Through this process, the plurality of base members 112a and 112b are connected to one straight base 110 while maintaining the straightness and the flatness on the surface plate 240 or the iron frame, and the surface plate in such a state. 240 or fixed to the iron frame is to be used.

그리고 베이스(110)의 레일(156) 상에는 가동자(160) 들이 배치되어 이동 가능한 것이다.The movers 160 are disposed on the rails 156 of the base 110 and are movable.

한편, 상기에서 베이스 부재들의 이음 부(122a)(122b) 위치는 상기 베이스(110) 상부에 위치되는 레일(156)의 이음 부 부분과는 다른 위치에 형성됨으로써 그 위치들이 서로 어긋나게 형성되어 진직 도와 평탄 도를 더욱 우수하게 유지할 수 있는 것이다.Meanwhile, the positions of the joint parts 122a and 122b of the base members are formed at positions different from those of the joint part of the rail 156 positioned above the base 110, so that the positions thereof are shifted from each other to form a straight line. The flatness can be maintained even better.

상기에서와 같이 본 발명에 의하면, 베이스를 분리하여 중량이 가벼운 다수 의 베이스 부재들로 나눔으로써 작업자들이 손쉽게 이송이 가능하고 사용 현장에서 재조립하여 편리하게 사용할 수 있다.According to the present invention as described above, by separating the base into a plurality of light weight base members can be easily transported by workers and can be conveniently reassembled at the site of use.

이와 같은 과정에서 베이스 부재들을 재조립하는 경우, 고정 지그들을 이용하여 베이스 부재들의 진직 도와 평탄 도를 정밀하게 유지하면서 재설치할 수 있음으로써 정밀도를 우수하게 유지할 수 있고, 그에 따른 설비 품질을 우수하게 유지할 수 있는 것이다.In the case of reassembling the base members in this process, it can be reinstalled while maintaining the straightness and flatness of the base members precisely by using the fixing jig to maintain excellent precision, thereby maintaining excellent equipment quality It can be.

상기에서 본 발명은 특정한 실시 예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 이는 단지 예시적으로 본 발명을 설명하기 위하여 기재된 것이며, 본 발명을 이와 같은 특정 구조로 제한하려는 것은 아니다. 당 업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.While the invention has been shown and described with respect to specific embodiments thereof, it has been described by way of example only to illustrate the invention, and is not intended to limit the invention to this particular structure. Those skilled in the art will appreciate that various modifications and changes of the present invention can be made without departing from the spirit and scope of the invention as set forth in the claims below. Nevertheless, it will be clearly understood that all such modifications and variations are included within the scope of the present invention.

Claims (13)

자동화 기기에 사용되는 리니어 모터 스테이지에 있어서,In the linear motor stage used for automation equipment, 상부 면에 레일을 구비한 적어도 2개 또는 그 이상의 베이스 부재;At least two or more base members with rails on their top surfaces; 상기 베이스 부재들을 서로 이어서 하나의 직선형 부재를 형성하도록 상기 베이스 부재들의 각각의 이음 부에 형성된 연결 수단;Connecting means formed at each joint of said base members to form one straight member next to said base members; 상기 베이스 부재들 상부에 설치되고, 다수의 자석들이 순차 교번으로 배열된 고정자; 및A stator provided on the base members and having a plurality of magnets sequentially arranged; And 상기 고정자 상에 배치되고, 상기 고정자의 자석과 상호작용하여 전,후 진력을 발생시키는 코일 유니트들을 구비하여 상기 레일 상에서 슬라이드 이동을 이루는 가동자;를 포함하고,And a mover disposed on the stator and configured to move on the rail by having coil units interacting with the magnet of the stator to generate forward and backward force. 상기 베이스 부재들의 이음 부에 인접하여 형성된 복수의 키 홈과, 상기 키 홈에 끼워져서 나사결합되는 키 블록을 포함하는 것임을 특징으로 하는 조립형 리니어 모터 스테이지.And a plurality of key grooves formed adjacent to the joints of the base members, and a key block fitted into the key grooves and screwed thereto. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 키 홈과 키 블록들은 서로 접촉하는 3면에서 상기 베이스 부재들의 진직 도와 평탄 도를 유지하는 것임을 특징으로 하는 조립형 리니어 모터 스테이지.2. The assembled linear motor stage of claim 1, wherein the key groove and the key blocks maintain the straightness and flatness of the base members at three surfaces in contact with each other. 제1항에 있어서, 상기 베이스 부재의 상부에는 고정 지그 장착용 나사구멍들이 형성된 것임을 특징으로 하는 조립형 리니어 모터 스테이지.2. The assembled linear motor stage of claim 1, wherein fixing jig mounting screw holes are formed on an upper portion of the base member. 제1항에 있어서, 상기 연결 수단은 상기 베이스 부재들의 이음 부의 측면에 중첩하여 나사 결합하는 고정판을 포함하는 것임을 특징으로 하는 조립형 리니어 모터 스테이지.2. The assembled linear motor stage of claim 1, wherein the connecting means includes a fixing plate overlapping and screwing on side surfaces of the joints of the base members. 제5항에 있어서, 상기 이음 부은 적어도 하나의 수직 모서리 및 수평 모서리를 포함하도록 굽어진 단차 구조로 이루어진 것임을 특징으로 하는 조립형 리니어 모터 스테이지.6. The assembled linear motor stage of claim 5, wherein the joint portion has a stepped structure bent to include at least one vertical edge and a horizontal edge. 제5항에 있어서, 상기 베이스 부재의 상부 면과 양 측면에는 고정 지그 장착 용 나사구멍들이 형성된 것임을 특징으로 하는 조립형 리니어 모터 스테이지.6. The assembled linear motor stage of claim 5, wherein the fixing jig mounting screw holes are formed on the upper surface and both side surfaces of the base member. 제1항, 제3항 내지 제7항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 베이스 부재들의 이음 부 위치는 상기 베이스 상부에 위치되는 레일의 이음 부 부분과는 다른 위치에 형성된 것임을 특징으로 하는 조립형 리니어 모터 스테이지.8. A prefabricated linear according to any one of claims 1 to 3, wherein the joint position of the base members is formed at a position different from the joint portion of the rail located on the base. Motor stage. 리니어 모터 스테이지의 베이스 부재들을 조립하기 위한 지그에 있어서,In the jig for assembling the base members of the linear motor stage, 상기 베이스 부재들 중의 어느 하나에 하부 면이 고정되고, 상부 측으로 적어도 하나의 관통 구멍을 수평으로 형성한 제1 블록;A first block having a lower surface fixed to one of the base members and horizontally forming at least one through hole toward an upper side; 상기 베이스 부재들 중의 다른 하나에 하부 면이 고정되고, 상부 측으로는 상기 제1 블록의 관통 구멍에 일치하는 적어도 하나의 나사 구멍들을 수평으로 형성한 제2 블록; 및A second block having a lower surface fixed to the other one of the base members and horizontally forming at least one screw hole corresponding to the through hole of the first block at an upper side thereof; And 상기 제1 블록의 관통 구멍으로 각각 끼워져서 상기 제2 블록의 나사 구멍들에 나사 결합하여 제1 블록과 제2 블록들을 서로 당기는 적어도 하나의 조임 수단;을 포함하여 상기 제1 및 제2 블록들에 연결된 베이스 부재들을 인접하게 밀착시키도록 구성되며,At least one fastening means inserted into the through-holes of the first block and screwed into the screw holes of the second block to pull the first block and the second blocks from each other; Is configured to closely contact the base members connected to the 상기 제1 블록과 제2 블록들은 진직 도와 평탄 도를 유지시키기 위한 위치 정렬수단이 마련되는 것을 특징으로 하는 조립형 리니어 모터 스테이지용 고정 지그.The first jig and the second block jig for the assembled linear motor stage, characterized in that the position alignment means for maintaining the straightness and flatness is provided. 삭제delete 제9항에 있어서, 상기 위치 정렬수단은 제1 블록의 제1 수직 판 상단에 형성된 오목 홈과, 제2 블록의 제2 수직 판 상단에 형성된 단 턱을 포함하는 것임을 특징으로 하는 조립형 리니어 모터 스테이지용 고정 지그.10. The assembled linear motor of claim 9, wherein the position aligning means includes a concave groove formed on an upper end of the first vertical plate of the first block and a step jaw formed on an upper end of the second vertical plate of the second block. Fixed jig for the stage. 리니어 모터 스테이지의 베이스 부재들을 조립하기 위한 지그에 있어서,In the jig for assembling the base members of the linear motor stage, 상기 베이스 부재들 중의 어느 하나의 측면에 고정되고, 중앙에는 상기 베이스 부재의 폭 방향의 관통구멍을 형성하며, 일측으로는 적어도 하나의 관통 구멍을 형성한 제1 블록;A first block fixed to one side of the base members, having a through hole in a width direction of the base member at a center thereof, and having at least one through hole at one side thereof; 상기 베이스 부재들 중의 다른 하나의 측면에 고정되고, 중앙에는 상기 베이스 부재의 폭 방향의 관통구멍을 형성하며, 상기 제1 블록에 마주하여 상기 제1 블록의 관통 구멍에 일치하는 적어도 하나의 나사 구멍들을 형성한 제2 블록; 및At least one screw hole fixed to a side of the other of the base members, and having a through hole in a width direction of the base member at a center thereof, and corresponding to the through hole of the first block facing the first block; A second block which forms the edges; And 상기 제1 블록의 관통 구멍으로 각각 끼워져서 상기 제2 블록의 나사 구멍들에 나사 결합하여 제1 블록과 제2 블록들을 서로 당기는 적어도 하나의 조임 수단;을 포함하여 상기 제1 및 제2 블록들에 연결된 베이스 부재들을 인접하게 밀착시키도록 구성되며,At least one fastening means inserted into the through-holes of the first block and screwed into the screw holes of the second block to pull the first block and the second blocks from each other; Is configured to closely contact the base members connected to the 상기 제1 및 제2 블록들은 그 중앙 구멍들이 상기 베이스 부재들의 측면에 각각 형성된 폭 방향 관통 구멍들에 일치하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 조립형 리니어 모터 스테이지용 고정 지그.And the first and second blocks are formed such that their central holes coincide with the widthwise through holes formed in the side surfaces of the base members, respectively. 삭제delete
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