KR100664817B1 - Holder for accurate positioning of a workpiece - Google Patents

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Abstract

고정된 운반장치 구조체(carrier structure)에 홀더를 부착시키기 위한 부착요소(attachment element)들과 공작물(workpiece)을 고정하기 위한 고정부품들로 구성되며, 특히 연마기계(erosion machine)와 같은 기계공구의 작업영역 내에서 공작물을 정확하게 위치설정하기 위한 홀더(holder)가 본 발명에 따라서 개시되어진다. 공작물을 기계가공하는 동안 가변적인 린스 유체압력(rinse fluid pressure)에 민감하지 않은 홀더를 만들기 위해서, 홀더 또는/및 공작물들은 서로 다른 네 개의 형태로 설명된 적어도 하나이상의 진동댐퍼(vibration damper)가 제공되어진다. It consists of attachment elements for attaching the holder to a fixed carrier structure and fixing parts for securing the workpiece, in particular of a machine tool such as an erosion machine. A holder for accurately positioning a workpiece within the working area is disclosed according to the invention. To make the holder insensitive to variable rinse fluid pressure during machining of the workpiece, the holder or / and the workpieces are provided with at least one vibration damper described in four different forms. It is done.

Description

공작물을 정밀하게 위치설정하기 위한 홀더{HOLDER FOR ACCURATE POSITIONING OF A WORKPIECE}Holder for precise positioning of workpiece {HOLDER FOR ACCURATE POSITIONING OF A WORKPIECE}

도 1은 레벨링 헤드(leveling head)를 도시하는 사시도1 is a perspective view showing a leveling head

도 2는 진동댐퍼(vibration damper)를 가진, 도 1에 따른 레벨링 헤드에 대한 개략적인 평면도Figure 2 shows a schematic plan view of the leveling head according to figure 1 with a vibration damper;

도 3은 제 1 형태의 진동댐퍼의 제 1 실시예를 가지고 있는, 도 2에 따른 레벨링 헤드의 세그먼트에 대한 개략적인 모습3 shows a schematic view of a segment of the leveling head according to FIG. 2, with a first embodiment of a vibration damper of the first form;

도 4는 제 1 형태의 진동댐퍼의 제 2 실시예를 가지고 있는, 도 2에 따른 레벨링 헤드의 상세부분에 대한 개략적인 모습4 shows a schematic view of a detail of the leveling head according to FIG. 2, with a second embodiment of a vibration damper of the first form;

도 5는 제 2 형태의 진동댐퍼를 가진 레벨링 헤드의 또 다른 실시예의 개략적인 측면도5 is a schematic side view of another embodiment of a leveling head with a vibration damper of the second form;

도 6은 도 5에 따른 레벨링 헤드의 개략적인 평면도Figure 6 shows a schematic plan view of the leveling head according to figure 5;

도 7은 제 2 형태의 진동댐퍼를 가진 레벨링 헤드의 또 다른 실시예를 개략적으로 도시한 측면도7 is a schematic side view of another embodiment of a leveling head with a vibration damper of the second form;

도 8은 제 2 형태의 또 다른 진동댐퍼를 가진 레벨링 헤드의 개략적인 측면도8 is a schematic side view of a leveling head with another vibration damper of the second form;

도 9는 제 2 형태의 진동댐퍼와 공작물(workpiece)을 가진 홀더의 개략적인 측면도9 is a schematic side view of a holder having a vibration damper and a workpiece of the second type;

도 10은 제 2 형태의 진동댐퍼를 가지며 작업테이블 상에 장착되어진 기계식 척(machine chuck)을 개략적으로 도시한 측면도FIG. 10 is a schematic side view of a mechanical chuck mounted on a worktable with a vibration damper of a second form; FIG.

도 11은 점선으로 도시된 와이어 연마기계(wire erosion machine)의 중요부품을 가지는 제 3 형태의 진동댐퍼를 가진 레벨링 헤드의 개략적인 측면도FIG. 11 is a schematic side view of a leveling head with a third type of vibration damper having important parts of a wire erosion machine shown in dashed lines; FIG.

도 12는 와이어 연마 기계부품들을 가지지 않은, 도 11에 따른 레벨링 헤드의 개략적인 평면도12 is a schematic plan view of the leveling head according to FIG. 11 without wire grinding machinery parts;

도 13은 본 발명의 대안적인 실시예에 따른 레벨링 헤드를 개략적으로 도시하는 측면도13 is a side view schematically showing a leveling head according to an alternative embodiment of the present invention;

도 14는 제 2 형태의 진동댐퍼를 가진 공작물 홀더를 가진 기계식 척의 개략적인 모습14 is a schematic view of a mechanical chuck with a workpiece holder with a vibration damper of the second form;

도 15는 제 2 형태의 진동댐퍼를 가진 레벨링 헤드를 개략적으로 도시한 측면도15 is a side view schematically showing a leveling head with a vibration damper of the second form;

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1 : 레벨링헤드 2 : 상측부품1: leveling head 2: upper part

3,4 : 조정나사 5,6 : 스프링3,4 adjusting screw 5,6 spring

9,11 : 죠 13,14 : 연마기계9,11: Ja 13,14: Polishing machine

15 : 공작물 20,22 : 탭구멍15: workpiece 20,22: tapped hole

30 : 진동댐퍼 32 : 나사30: vibration damper 32: screw

33 : 하측부 34 : 막힌구멍33: lower side 34: blind hole

44 : 볼트머리 50 : 매트44: bolt head 50: mat

51,52,53 : 요홈 62 : 댐퍼51,52,53: groove 62: damper

63,67 : 블록 68 : 고정판63,67: block 68: fixed plate

92,94 : 판 102 : 척92,94: Plate 102: Chuck

109,110 : 진동댐퍼109,110 Vibration Damper

본 발명은 기계공구(machine tool), 더욱 상세하게는 연마기계(erosion machine)의 작업영역 내에서 공작물(workpiece)의 정확한 위치설정을 위한 홀더(holder)에 관한 것이다. 상기 홀더는 고정된 운반장치 구조체(carrier structure)에 부착하기 위한 부착요소(attachment element)와 공작물을 고정하기 위한 고정부품(holding part)들을 포함한다. The present invention relates to a holder for the precise positioning of a workpiece within the working area of a machine tool, more particularly an erosion machine. The holder includes an attachment element for attaching to a fixed carrier structure and holding parts for securing the workpiece.

공작물의 전자기계가공 공정(electromachining process)에 있어서, 기계가공의 요구되는 정밀도가 저하되지 않도록, 공작물로부터 제거되어진 모든 초미세입자들을 인접한 작업영역으로부터 제거하는 것이 필요하다. 입자들을 제거하기 위해서는, 일반적으로 작업영역 내의 공작물을 위한 물-기초 린스 유체(water-based rinse fluid)가 이용된다. 절삭속도(cutting speed)가 증가함에 따라서, 더 많은 양의 입자분말들이 제거되어져야만 한다. 이러한 제거는 린스 유체 압력(rinse fluid pressure)이 증가되어지는 것이 요구된다. In the electromachining process of a workpiece, it is necessary to remove all the ultrafine particles removed from the workpiece from the adjacent work area so that the required precision of the machining does not decrease. To remove the particles, water-based rinse fluid is generally used for the workpieces in the work area. As cutting speed increases, larger amounts of particle powder must be removed. This removal requires that the rinse fluid pressure be increased.

공작물(workpiece)의 위치가 영향을 받지 않도록 하기 위해서는, 예를 들어 절삭와이어(cutting wire)의 형태로 된 연마 전극봉(erosion electrode)이 공작물과 접촉하지 않기 때문에, 연마작업(erosion process) 자체는 공작물에 어떠한 힘을 가하지 못한다. 반면에, 일반적으로 정확하게 일정하지는 않지만 증가된 린스 유체압력은 공작물에 직접적으로 작용하고 홀더 내에서 공작물이 진동하며, 공작물 위치의 정확도가 저하되고 그 결과 공작물 가공상태가 저하된다. In order to ensure that the position of the workpiece is not affected, the erosion process itself is the workpiece, since the erosion electrode, for example in the form of a cutting wire, is not in contact with the workpiece. No force on it. On the other hand, increased rinse fluid pressure, which is generally not exactly constant, acts directly on the workpiece and vibrates within the holder, lowering the accuracy of the workpiece position and consequently lowering the workpiece machining.

이러한 문제점을 해결하기 위해서, 홀더의 질량이 종래의 강도요구조건을 넘어 증가되어지도록 하는 것을 고려할 수 있다. 그러나, 이러한 홀더는 다루기 곤란해지며 작업영역이 감소된다. In order to solve this problem, it is conceivable to increase the mass of the holder beyond the conventional strength requirements. However, such holders are difficult to handle and the working area is reduced.

독일특허출원 DE-A-41 39 272호는 지지요소(supporting element)를 가진 슬라이딩 블록(sliding block)을 개시하고 있는데, 이는 소음과 진동을 감쇄시키는 것이 예상되는, 비-금속재료의 팩킹재료(packing material)에 의해서 둘러싸인다. German patent application DE-A-41 39 272 discloses a sliding block with a supporting element, which is a packing material of non-metallic material, which is expected to dampen noise and vibration. surrounded by packing material.

본 발명은 린스 유체 압력(rinse fluid pressure)에 민감하지 않으며 작업영역을 제한하지 않으면서, 홀더를 개발하는 종래의 문제점을 기초로 한다. The present invention is based on the conventional problem of developing a holder without being sensitive to rinse fluid pressure and without limiting the working area.

따라서 본 발명에 따르면, 상기에서 언급된 홀더는 적어도 하나이상의 진동댐퍼(vibration damper)를 포함한다. 공작물 위치의 정확도가 더 이상 위험하게 되지 않는 정도까지 린스유체로부터 공작물로 전달되어지는 진동 에너지(vibration energy)를 상기 진동댐퍼는 흡수한다. 나아가, 진동감쇄요소는 작업영역의 외측에 부착되어질 수 있기 때문에, 작업영역은 본 발명의 홀더에 의해서 제한되지 않는다. Thus, according to the invention, the above-mentioned holder comprises at least one vibration damper. The vibration damper absorbs vibration energy transmitted from the rinse fluid to the workpiece to the extent that the accuracy of the workpiece position is no longer dangerous. Furthermore, since the vibration damping element can be attached to the outside of the work area, the work area is not limited by the holder of the present invention.

만일 서로에 대해서 진동하는 두개의 부품들에 의해 홀더가 구성된다면, 본 발명의 선호적인 실시예는 제 1 형태의 진동댐퍼(vibration damper)를 채택하는데, 상기 제 1 진동댐퍼는 양쪽 단부들 상에서 상기 부품들에 연결되어지고 서로에 대해서 부품들의 상대운동(relative movement)을 감쇄시킨다. 나아가, 감쇄특성들은 조절되어질 수 있다. 또한, 진동댐퍼는 탄성계수(spring constant)가 제공되어진다. 진동댐퍼의 진동감쇄성능이 증가함에 따라서, 탄성계수(spring constant)도 증가한다. 만일 홀더가 이러한 진동댐퍼를 가지게 된다면, 공작물이 홀더에 부착됨에 따라서 홀더의 고유 진동수(natural frequency)가 증가한다. 만일, 여기된(excited) 진동의 주파수(frequency)가 고유 진동수(natural frequency)에 근접하면, 고유진동수는 여기된 진동의 진동수로부터 더욱 멀어지도록 하는 방식으로 진동댐퍼는 조정되어진다. If the holder is constituted by two parts which vibrate with respect to each other, a preferred embodiment of the invention employs a first type of vibration damper, the first vibration damper being provided on both ends of the holder. Connected to the components and attenuating their relative movement with respect to each other. Furthermore, the attenuation characteristics can be adjusted. In addition, the vibration damper is provided with a spring constant. As the vibration damping performance of the vibration damper increases, the spring constant also increases. If the holder has such a vibration damper, the natural frequency of the holder increases as the workpiece is attached to the holder. If the frequency of the excited vibration is close to the natural frequency, the vibration damper is adjusted in such a way that the natural frequency is further away from the frequency of the excited vibration.

예를 들어, 만일 한 개의 부품이 고정상태의 벽(fixed wall)에 부착되어지고 고정벽으로부터 돌출구조를 이루며 그 자유단부는 공작물을 지지하게 된다면, 본 발명의 다른 실시예는 제 2 형태의 진동댐퍼(vibration damper)를 사용하게 된다. 여기된 진동(excited vibration)들은 상기 부품들이 인장하중 및 압축하중을 받도록 한다. 따라서, 예를 들어 고무형태와 같이, 내재된 감쇄특성을 가진 진동댐퍼가 상기 부품의 외측에 장착되어진다. 또 다른 그룹의 적절한 진동댐퍼들은, 일반적으로 크롬(chromium) 및 철합금(iron alloy)을 기초로 하고 홀더 또는 상기 부품의 표면 상에 음압(negative pressure)상태에서 편리하게 스프레이(spray)되어질 수 있는, 합금(alloy)(높은 감쇄성능 합금, High Damping Capacity Alloy, HDCM)으로 만들어진다. 합금 상에서 스프레이 되어지는 코팅(coating)의 두께는 2 mm 내지 3 mm의 범위가 될 수 있다. For example, if one component is attached to a fixed wall and protrudes from the fixed wall and its free end supports the workpiece, another embodiment of the present invention is a vibration of the second type. A damper is used. Excited vibrations cause the parts to be subjected to tensile and compressive loads. Thus, for example, a vibration damper having intrinsic damping characteristics, such as a rubber form, is mounted on the outside of the part. Another group of suitable vibration dampers are generally based on chromium and iron alloys and can be conveniently sprayed at negative pressure on the surface of the holder or the part. It is made of alloy (High Damping Capacity Alloy, HDCM). The thickness of the coating to be sprayed on the alloy can range from 2 mm to 3 mm.

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이러한 제 2 형태의 진동댐퍼들은 두개의 부품들 사이에서 배열되어질 수 있는데, 즉 클램핑 장치(clamping device)의 두개의 강판(steel plate) 사이에서 배열되어질 수 있다. 이러한 경우에 있어서, 감쇄재료(damping material)는 동적으로 변하는 전단하중(shear load)을 주로 받는다. 이러한 제 2 형태의 진동댐퍼의 적절한 실시예들은 높은 감쇄특성을 가지는 절연포일(insulating foil)들이다. 이에 대한 일 실시예는, 미국 세인트폴(Saint Paul) 소재의 Minnesota Mining and Manufacturing(3M)사에 의해서 시판되어지는 절연포일 2552(insulating foil 2552)이다. 따라서, 본 발명의 일 변형예에 따르면, 특수한 공작물 홀더로서 척(chuck) 및 작업 테이블 사이에 절연포일이 제공되어진다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 예를 들어 고무와 같은 감쇄요소(damping material)는 미국특허 제5,769,561호에서 개시되어진 바와 같이, 레벨링 헤드(levelling head)의 상측 플레이트 및 하측 플레이트 상에서 가황화(vulcanize)되어질 수 있다. This second type of vibration damper can be arranged between two parts, that is, between two steel plates of a clamping device. In this case, the damping material is primarily subjected to a dynamically changing shear load. Suitable embodiments of this second type of vibration damper are insulating foils having high damping properties. One example of this is an insulating foil 2552 sold by Minnesota Mining and Manufacturing (3M) of Saint Paul, USA. Thus, according to one variant of the invention, an insulating foil is provided between the chuck and the work table as a special workpiece holder. According to another embodiment of the invention, a damping material such as, for example, rubber is vulcanized on the upper and lower plates of the leveling head, as disclosed in US Pat. No. 5,769,561. can be vulcanized.

제 3 형태의 진동댐퍼는, 예를 들어 고무가 그 위에서 가황화되어지고 감쇄재료가 제공되어지는 강제 볼(steel ball)과 같은 구성체를 포함한다. 본 발명의 이러한 장점적인 설계에 있어서, 고무 몸체는 공작물과 근접한 위치에서 홀더 상에서 부착되어진다. 강 구성체(steel mass)는 감쇄재료가 한족 측면 상에서 부착되어지는 홀더 자체가 될 수 있다. 고무 감쇄재료의 고유 진동수(natural frequency)는 홀더의 진동수보다 훨씬 작다. 따라서, 린스유체압력으로부터 홀더에 전달되어진 진동에너지(vibration energy)는 감쇄재료에 의해서 대부분 흡수되어진다. 한편으로 만일 감쇄재료의 고유진동수가 공작물을 가진 홀더의 고유 진동수(natural frequency)들 중 하나와 거의 동일하다면, 이러한 고유진동수들은 감쇄되어지게 되며, 공작물은 반대위상으로 진동한다. 즉, 공작물은 홀더와 180도 위상차를 가지고 진동하며, 그 결과 감쇄재료로 인하여 홀더의 진동에너지가 흡수되는 작용이 개선된다. 본 발명의 일 기준에 따르면, 용이하게 조정가능한 진동댐퍼의 부착이 제공되어진다. The third type of vibration damper comprises a structure such as a steel ball, for example, in which rubber is vulcanized and a damping material is provided. In this advantageous design of the invention, the rubber body is attached on the holder in a position proximate to the workpiece. The steel mass may be the holder itself to which the damping material is attached on the Han Chinese side. The natural frequency of the rubber damping material is much smaller than that of the holder. Therefore, the vibration energy transmitted to the holder from the rinse fluid pressure is mostly absorbed by the damping material. On the one hand, if the natural frequency of the damping material is approximately equal to one of the natural frequencies of the holder with the workpiece, these natural frequencies are attenuated and the workpiece vibrates in the opposite phase. That is, the workpiece vibrates 180 degrees out of phase with the holder, and as a result, the action of absorbing the vibration energy of the holder due to the damping material is improved. According to one criterion of the present invention, attachment of an easily adjustable vibration damper is provided.

마지막으로 본 발명의 제 4 형태의 진동댐퍼를 제공하는 본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 서로 연결되어지고 진동하는 동안 전단하중을 받으며 동일한 크기로 된 두개 또는 그 이상의 플레이트(plate)들이 플레이트 팩키지(plate package)를 형성하도록 서로 나사체결 또는 시멘팅(cementing)되어지는 플레이트들 사이에서 마찰작용에 의해서 상기 진동댐퍼는 진동에너지를 흡수한다. 선택적으로 더 높은 마찰계수를 가진 또 다른 플레이트가 팩키지의 플레이트들 사이에 삽입되어질 수 있다. Finally, according to another embodiment of the present invention, which provides a vibration damper of the fourth aspect of the present invention, two or more plates of the same size which are connected to each other and subjected to shear loads during vibration are of the same size. The vibration damper absorbs vibration energy by friction between plates that are screwed or cemented together to form a plate package. Alternatively another plate with a higher coefficient of friction can be inserted between the plates of the package.

따라서, 본 발명은 홀더의 특정한 설계 또는 용도에 따라서 서로 다른 형태의 진동댐퍼들이 홀더에 제공되어진다. 이와 관련하여, 진동댐퍼는 조정가능한 탄성계수(spring constant) 및 감쇄계수(damping constant)를 장점적으로 가질 수 있다. Accordingly, the present invention provides the holder with different types of vibration dampers, depending on the specific design or use of the holder. In this regard, the vibration damper may advantageously have an adjustable spring constant and a damping constant.

본 발명이 기초로 하는 문제점들의 또 다른 해결방법은, 금속시트(metal sheet)들이 서로 영구적으로 연결되어지는, 박층구조의 홀더(laminated holder)를 제공하는 것이다. 편리하게 마찰계수가 더 큰 금속시크들의 인접면들에 제공되어진다. 홀더를 여기(exciting)시키는 진동들은 금속시트들이 서로에 대해서 움직이도록 한다. 상대운동의 에너지는 금속시크들의 마찰작용에 의해서 흡수되어진다. 결과적으로 진동작용이 감쇄된다.Another solution to the problems on which the present invention is based is to provide a laminated holder in which the metal sheets are permanently connected to one another. Conveniently, friction coefficients are provided on adjacent surfaces of the larger metal seeks. Vibrations that excite the holder cause the metal sheets to move relative to each other. The energy of the relative motion is absorbed by the friction of the metal seeks. As a result, the vibration action is attenuated.

또한, 본 발명의 선호적인 실시예들은 종속항들에 개시되어진다. 다음에서 홀더의 실례로서 레벨링 헤드(levelling head)와 관련하여 본 발명은 더욱 상세하게 설명되어진다. Furthermore, preferred embodiments of the invention are disclosed in the dependent claims. In the following the invention is described in more detail with respect to a leveling head as an example of a holder.

도 1에 따르면, 레벨링 헤드(levelling head, 1)는 미국특허 제5,769,561호에서 상세하게 기술되어지며, 본 발명을 더욱 명확하게 설명하도록 참조되어진다. 레벨링 헤드(levelling head, 1)는 상측부품(upper part, 2)을 가지고 있는데, 상기 상측부품은 조정나사(screw, 3,4)에 의해서 하측부품(lower part, 7)에 대해서 Z방향으로 레벨링(level) 되어질 수 있고, 두 세트의 스프링(spring, 5,6)에 의해서 형성되는 예비응력(prestress)에 대해서 X-Y 평면 내에서 하측부품은 이동되어지며, 상기 스프링 또는 X-Y 평면 내에서 이동되어질 수 있다. 하측부품(7)의 전방에는, 미국특허 제4,925,168호에 따르는 정밀 바이스(vise, 8)가 상측부품(2)에 부착되어진다. 바이스의 죠(jaw, 9,11)들 사이에는, (도 1에서 도시되지 않은) 공작물(workpiece)이 고정(clamp)되어질 수 있다. 본 발명에 따르면, 정밀 바이스(8)를 가진 상측부품(2)은 (도 11의) 공작물(workpiece, 15)을 위한 홀더(holder)를 형성하고, 연마 와이어(erosion wire, 12)에 의한 기계가공을 위하여 와이어 연마기계(wire erosion machine, 13,14)의 작업영역(working area, 16)의 X,Y,Z 방향으로 공작물이 정확하게 위치설정 되어진다. According to FIG. 1, the leveling head 1 is described in detail in US Pat. No. 5,769,561 and is referred to to more clearly describe the present invention. The leveling head 1 has an upper part 2 which is leveled in the Z direction with respect to the lower part 7 by adjusting screws 3 and 4. It can be leveled, and the lower part can be moved in the XY plane for the prestress formed by two sets of springs 5, 6, and can be moved in the spring or XY plane. have. In front of the lower part 7 a precision vise 8 according to US Pat. No. 4,925,168 is attached to the upper part 2. Between the jaws 9, 11 of the vise, a workpiece (not shown in FIG. 1) can be clamped. According to the invention, the upper part 2 with the precision vise 8 forms a holder for the workpiece 15 (of FIG. 11) and is machined by an erosion wire 12. The workpiece is precisely positioned in the X, Y and Z directions of the working area 16 of the wire erosion machine 13 and 14 for machining.

도시된 실시예에서, 하측부품(7)의 하부면(underside)은 X방향과 Z방향으로 정확하게 위치되어질 수 있도록 장부구멍 구조의 측면(dovetail profile, 18)이 제공되어지며, 장부구멍 대응부(dovetail counterprofile)를 가진 미국특허 제4,786,776호에서 개시된 종류의 (도시되지 않은) 고정식 운반장치 구조체(carrier structure) 상에서 상기 장부구멍 구조의 측면은 상기 X방향에 수직하고 연마와이어(12)의 방향에 평행하다. 또한, 운반장치 구조체(carrier structure)는 Y방향으로 하측부품(7)이 정확하게 위치설정되도록 하는 정지부(stop)를 가진다. In the embodiment shown, the underside of the lower part 7 is provided with a dovetail profile 18 of the tenon hole structure so that the underside of the lower part 7 can be accurately positioned in the X and Z directions. On a fixed carrier structure (not shown) of the type disclosed in U.S. Patent No. 4,786,776 with a dovetail counterprofile, the side of the tenon structure is perpendicular to the X direction and parallel to the direction of the abrasive wire 12. Do. The carrier structure also has a stop that allows the lower part 7 to be accurately positioned in the Y direction.

린스 유체(rinse fluid) 및 작업영역(16)으로의 공급구 및 유출구는 도면에서 도시되지 않는다. 어떤 경우에 있어서, 상기 린스유체는 절단부(cut, 17)를 따라서 고압상태에서 공작물(15) 둘레를 세척하며, 공작물(15)에서 연마와이어(12)는 상기 절단부에 작업을 수행한다. Rinse fluid and supply and outlet to work area 16 are not shown in the figures. In some cases, the rinse fluid washes around the workpiece 15 at high pressure along the cut 17, at which the abrasive wire 12 performs work on the cut.

본 발명에 따르면, 홀더(10)는 하나 또는 다수의 진동댐퍼(vibration damper)가 제공되어진다. 도 2에서 도시된 제 1 실시예에 있어서, 상측부품(2)은 Y방향으로 서로 이격되어진 두개의 탭구멍(taphole, 20,22)을 Z방향으로 형성한다. 상기 두개의 탭구멍(20,22) 각각은 도 3에 따른 실시예 또는 도 4에 따른 실시예 중 하나에서 제 1 형태의 진동댐퍼(vibration damper)를 가질 수 있다. According to the invention, the holder 10 is provided with one or several vibration dampers. In the first embodiment shown in FIG. 2, the upper part 2 forms two tapholes 20, 22 spaced apart from each other in the Y direction in the Z direction. Each of the two tab holes 20 and 22 may have a vibration damper of the first type in one of the embodiments according to FIG. 3 or the embodiment according to FIG. 4.

도 3에 따른 실시예에서, 제 1 형태의 진동댐퍼(vibration damper, 30)는 나사(screw, 32)를 포함하는데, 상기 나사는 그 상측부 내에 수나사(external thread) 및 내부 육각 요홈(recess, 31)이 제공되어지며, 막힌 구멍(blind hole, 34)을 형성하도록 내부 육각 요홈(31)과 마주보는 하측부(33)로부터 시작하여 상기 요홈은 드릴가공 되어진다. 원통형 볼트(36)는 상기 막힌 구멍(34) 속으로 삽입되어지며, 상기 원통형 볼트는 하측부(7)의 상부에 놓여지며 댐퍼(38)를 통해서 나사(32)와 영구적으로 연결되어진다. 상기 댐퍼(38)는 고무재료로 만들어지며, 막힌 구멍(34)의 내측표면과 원통형 볼트(36)의 외부표면 모두에 고정되어진다. 도시된 바와 같이, 나사(32)의 전체 길이는 구멍(20) 또는 구멍(22) 내부로 나사체결되어질 수 있다. 진동하는 동안 전단하중이 가해지는 댐퍼(38)는, 홀더(10)가 진동하지 못하도록 댐퍼의 탄성 덕분에, 린스유체로부터 홀더(10)로 전달되어지는 진동 에너지를 흡수할 수 있다. In the embodiment according to FIG. 3, a vibration damper 30 of the first type comprises a screw 32, which in its upper part is an external thread and an internal hexagonal recess. 31 is provided, and the recess is drilled starting from the lower side 33 facing the inner hexagonal recess 31 to form a blind hole 34. A cylindrical bolt 36 is inserted into the blind hole 34, which is placed on top of the lower part 7 and is permanently connected to the screw 32 via a damper 38. The damper 38 is made of rubber material and is fixed to both the inner surface of the blind hole 34 and the outer surface of the cylindrical bolt 36. As shown, the entire length of the screw 32 may be screwed into the hole 20 or into the hole 22. The damper 38, which is subjected to a shear load while vibrating, can absorb the vibration energy transmitted from the rinse fluid to the holder 10 due to the elasticity of the damper to prevent the holder 10 from vibrating.

도 4에 따른 실시예에 있어서, 제 1 형태의 진동댐퍼(40)는 볼트(42)의 형상을 가지며, 상기 볼트의 헤드(44)는 수나사(external thread)를 가지며, 헤드(44)에 대해서 다소 테이퍼 구조로 된 볼트의 샤프트(shaft, 46)는 길이가 다소 짧아진다. 고무재료의 댐퍼(48)는 샤프트(46)의 자유면에 고정되어진다. 응력을 받지 않은 상태에서, 댐퍼는 샤프트(46) 보다 다소 더 작은 직경을 가진다. 핀(49)은 댐퍼(48)의 자유 하부면에 고정되어진다. 핀(pin)은 샤프트와 동일한 직경을 가지며, 그 길이는 상측부품(2)의 하부면으로부터 돌출구조를 이루며 핀이 하측부품(7)의 상측부에 놓여질 수 있도록 치수가 정해진다. 댐퍼(48)는 댐퍼(38)와 동일한 에너지 흡수 특성을 가진다. 볼트의 헤드(44) 상에 위치한 내부의 육각요홈(hexagonal recess)은 도시되지 않는다. 만일 볼트(42)가 도시된 상태보다 통로구멍(passage bore, 20) 속으로 더욱 나사체결 되어진다면, 탄성계수(spring constant) 및 감쇄계수(damping coefficient)가 변하도록 댐퍼(48)의 단면은 증가된다. 따라서, 댐퍼(48)의 특성들은 볼트(42)에 의해서 조정되어질 수 있다. 진동댐퍼(vibration damper, 40)는 이러한 통로구멍(20,22)에 특히 적합하며, 상기 구멍에서는 단지 상측부분에 암나사(internal thread)가 제공되어지며, 내부의 평탄한 원통형 구멍부분(41) 내에서 하부를 향하여 암나사는 연장구성된다. In the embodiment according to FIG. 4, the vibration damper 40 of the first form has the shape of a bolt 42, the head 44 of the bolt having an external thread, with respect to the head 44. The slightly tapered shaft 46 is somewhat shorter in length. The damper 48 of rubber material is fixed to the free surface of the shaft 46. In the unstressed state, the damper has a somewhat smaller diameter than the shaft 46. The pin 49 is fixed to the free lower surface of the damper 48. The pins have the same diameter as the shaft, the length of which is protruding from the lower surface of the upper part 2 and is dimensioned so that the pins can be placed on the upper part of the lower part 7. The damper 48 has the same energy absorption characteristics as the damper 38. An internal hexagonal recess located on the head 44 of the bolt is not shown. If the bolts 42 are screwed into the passage bore 20 more than shown, the cross section of the damper 48 increases so that the spring and damping coefficients change. do. Thus, the properties of the damper 48 can be adjusted by the bolt 42. Vibration dampers 40 are particularly suitable for these passage holes 20, 22, in which only an internal thread is provided on the upper side, in the inner flat cylindrical hole 41. The female thread extends downwardly.

도 5와 도 6에 따르는 본 발명의 실시예에 있어서, 제 2 형태의 진동댐퍼(vibration damper)의 진동을 흡수하는 재료인 고무재질의 매트(mat, 50)는 상측부품(2)의 상측부(19)에 부착되어지고, 시멘팅(cementing) 또는 가황화작업(vulcanizing)에 의해서 상측부품(2)에 영구적으로 연결되어진다. 조정나사(3,4)와 스프링(5,6) 세트를 위하여, 매트(50)는 요홈(51,52,53,54)을 가진다. 상기 매트(50)는 상측부품(2)의 약 1/3 두께를 가진다. 그러나, 두께의 선택은 제한받지 않는다. 고무재료를 부착하는 것에 대한 대안으로서, HDCM 합금이 상기에서 기술되어진 바와 같이 상측부(19)에 스프레이(spray)되어질 수 있다. In the embodiment of the present invention according to Figs. 5 and 6, a rubber mat (mat) 50, which is a material that absorbs vibration of the vibration damper of the second aspect, is an upper part of the upper part (2). (19) and permanently connected to the upper part (2) by cementing or vulcanizing. For the set screw 3, 4 and the set of springs 5, 6, the mat 50 has grooves 51, 52, 53, 54. The mat 50 is about one third the thickness of the upper part 2. However, the choice of thickness is not limited. As an alternative to attaching the rubber material, an HDCM alloy can be sprayed onto the upper portion 19 as described above.

도 7은 제 2 형태의 진동댐퍼(vibration damper)의 또 다른 실시예를 도시하고 있다. 레벨링 헤드(leveling head, 1)는 공작물(16)을 가진 바이스(vise, 8)가 부착되어지는 상측부품(2)과 하측부품(7)을 가진다. 제 2 형태의 진동댐퍼(58)는 고무와 같은 절연재료(insulating material)를 포함하며, 이러한 절연재료는 편리한 방법으로 상측부품(2)의 하부 및 하측부품(7)의 상부에 가황화(vulcanize) 되어진다. 또한, 레벨링 헤드(leveling head)는 도 1에서 도시된 레벨링 헤드에 상응한다. FIG. 7 shows yet another embodiment of a vibration damper of the second type. The leveling head 1 has an upper part 2 and a lower part 7 to which a vise 8 with a workpiece 16 is attached. The vibration damper 58 of the second type comprises an insulating material such as rubber, which is vulcanized to the lower part of the upper part 2 and the upper part of the lower part 7 in a convenient manner. It becomes. In addition, the leveling head corresponds to the leveling head shown in FIG. 1.

제 2 형태의 진동댐퍼의 또 다른 실시예가 도 8에서 도시되어진다. 여기서는, 상기에서 기술되어진 실시예들에서 일 부품으로 기술되어진, 레벨링 헤드(70)의 상측부품(72)이 X-Y 평면 내에서 동일한 크기를 가진 두개의 플레이트(74,76)로 나누어지며, 상기 플레이트들은 나사(screw)에 의해서 연결되어진다. 상기 플레이트들 사이에는, 예를 들어 상기에서 언급된 절연포일 2552과 같은 절연포일(insulating foil, 75) 또는 고무가 절연재료로서 삽입되어진다. 상측부품(72)에 부착되어지고 공작물(15)을 고정하는 하측부품 및 바이스(8)들은 앞서 기술되어진 설계와 유사하다. Another embodiment of a vibration damper of the second form is shown in FIG. 8. Here, the upper part 72 of the leveling head 70, which is described as one part in the embodiments described above, is divided into two plates 74 and 76 having the same size in the XY plane. Are connected by screws. Between the plates, an insulating foil 75 or rubber, for example an insulating foil 2552 mentioned above, is inserted as the insulating material. The lower part and the vise 8 attached to the upper part 72 and securing the workpiece 15 are similar to the design described above.

제 2 형태의 진동댐퍼에 대한 두 가지 다른 실례들이 도 9와 도 10에서 도시되어진다. 도 9에 따르면, 공작물(85)은 홀더(82)에 결속되어진다. 이러한 경우에, 예를 들어 상기에서 언급된 절연포일(insulating foil, 84)들 중 하나와 같은 절연재료가 공작물(85)과 홀더(82) 사이에서 삽입되어지거나 예를 들어 시멘팅(cement)되어진다. 공작물(85)은 홀더(82)와 함께 나사체결 되어진다. 도 10은 작업 테이블(work table, 86)을 도시하며, 상기 작업 테이블 상에서, 기계식 척(machine chuck, 88)은 그 사이에 삽입된 상태로 배열되는 절연포일(insulating foil, 89) 위쪽에서 (도면에 도시되지 않은) 공작물을 위한 홀더(holder)로서 부착되어진다. Two other examples of the second type of vibration damper are shown in FIGS. 9 and 10. According to FIG. 9, the workpiece 85 is bound to the holder 82. In this case, an insulating material, for example one of the aforementioned insulating foils 84, is inserted between the workpiece 85 and the holder 82 or cemented for example. Lose. The work piece 85 is screwed together with the holder 82. FIG. 10 shows a work table 86, on which a mechanical chuck 88 is arranged above an insulating foil 89 arranged in a state inserted therebetween (FIG. It is attached as a holder for the workpiece (not shown).

도 11과 도 12는 도 1에 따른 레벨링 헤드(leveling head)를 위한 제 3 형태의 진동댐퍼(vibration damper)를 도시한다. 여기에는, 두개의 댐퍼(60,65)가 있는데, 이들 중 진동댐퍼(60)는 상측부품(2)의 측면부분(24) 상에 고정되어지고, 진동댐퍼(65)는 상측부품(2)의 반대편 측면부분(26)에 고정되어진다. 상기 진동댐퍼들 모두는 정밀 바이스(8)에 바로 근접한 위치에서 고정되어진다. 외측면이 고무재료로 만들어진 플레이트 형상의 댐퍼(62)가 제공되어지는 편평한 고정플레이트(anchoring plate, 61)는 측면부분(24)에 나사체결되어진다. 댐퍼(62)의 외측면은 솔리드 블록(solid block, 63)을 지지한다. 대안으로서, 예를 들어 솔리드 강제 볼(solid steel ball)의 형태로 된 솔리드 블록(solid block, 63)이 댐퍼의 구성재료 내부로 박혀질 수 있다. 솔리드 블록(solid block)은 상측부품(2)의 진동에너지를 흡수할 수 있도록, 상측부품(2) 내에서 여기(excited)되는 진동들에 비해서 낮은 고유 진동수(natural frequency)를 가진다. 효과적인 작업영역이 감소되지 않도록, 상측부품(2)의 측면에 고정되어진 진동댐퍼(60)는 레벨링 헤드(1)의 높이를 증가시키지 않는다. 11 and 12 show a third type of vibration damper for the leveling head according to FIG. 1. There are two dampers 60, 65, of which the vibration damper 60 is fixed on the side part 24 of the upper part 2, and the vibration damper 65 is the upper part 2. It is fixed to the side portion 26 of the opposite side. All of the vibration dampers are fixed at a position immediately adjacent to the precision vise 8. A flat anchoring plate 61, on which the outer surface is provided with a plate-shaped damper 62 made of rubber material, is screwed to the side portion 24. As shown in FIG. The outer side of the damper 62 supports a solid block 63. As an alternative, a solid block 63, for example in the form of a solid steel ball, can be embedded into the material of the damper. The solid block has a lower natural frequency than the vibrations excited in the upper part 2 so as to absorb the vibration energy of the upper part 2. The vibration damper 60 fixed to the side of the upper part 2 does not increase the height of the leveling head 1 so that the effective working area is not reduced.

진동댐퍼(vibration damper, 65)는 진동댐퍼(60)와 정확하게 동일하게 구성되어진다. 따라서, 솔리드 블록(solid block, 67)은 고정플레이트(anchoring plate, 68)의 외측부에 플레이트 형상의 댐퍼(66)에 걸쳐서 영구적으로 연결되어지고, 상기 고정플레이트의 외측부는 외측면 부분(26)에 나사체결 되어진다. 댐퍼(62,66)와 한편으로는 솔리드 블록(solid block, 63,67) 사이에 그리고 다른 한편으로는 상측부품(2) 사이에 고정플레이트(anchoring plate, 61,68)를 삽입하는 것은 진동댐퍼(60,65)들이 교체될 수 있도록 하여, 그 고유 진동수(natural frequency), 감쇄특성 및 그 치수들이 각각의 적용분야에 조절되어질 수 있도록 한다. The vibration damper 65 is configured exactly the same as the vibration damper 60. Thus, the solid block 67 is permanently connected to the outer side of the anchoring plate 68 over the plate-shaped damper 66, and the outer side of the fixing plate is connected to the outer side portion 26. It is screwed in. Inserting an anchoring plate 61, 68 between the dampers 62, 66 and the solid block 63, 67 on the one hand and the upper part 2 on the other hand is a vibration damper. Allow 60,65 to be replaced so that their natural frequency, attenuation characteristics and their dimensions can be adjusted to the respective application.

선택적으로 두개의 진동댐퍼(60,65)들은, 연마와이어(erosion wire, 12)에 의해서 기계가공되지 않고 예를 들어 정밀 바이스(8)의 죠(jaw, 9,11) 들 사이에 위치되어진 공작물(15)의 상기 부품의 상부 및 하부에서 직접적으로 연결되어질 수 있다.Optionally, the two vibration dampers 60, 65 are workpieces which are not machined by the erosion wire 12 but are located between the jaws 9, 11 of the precision vice 8, for example. Can be connected directly at the top and bottom of the part of (15).

마지막으로 도 13은 홀더의 제 4 형태의, 즉 레벨링 헤드(1)의 상측부품(2)을 위한 적용예에서의 진동댐퍼(90)를 도시한다. 진동댐퍼(90)는 동일한 크기로 된 여러개의 편평한 플레이트 팩키지, 여기서는 플레이트(92,94)를 포함하며, 상기 플레이트들은 나사체결(screwing)작업 또는 시멘팅(cementing)작업에 의해서 서로 영구적으로 연결되어지며, 나사(screw, 91,93,95)들에 의해 상측부품(2)의 상측부에 연결되어진다. 플레이트 팩키지는 상측부품(2)의 상측부와 평행하게 연장구성되며, 필수적으로 상기 상측부품과 동일한 크기를 가진다. 진동 감쇄효과는 플레이트(92,94)의 결과이며, 상측부품(2)들이 진동할 때 상기 플레이트들은 서로에 전단하중을 받으며 서로에 대해서 마찰한다. 플레이트들은 금속 또는 더 강한 플라스틱으로 만들어질 수 있다. 또한, 진동 감쇄효과는 상측부품(2)에 인접한 플레이트(92)와 상측부품의 상부면 사이에 마찰계수가 크고 두께가 얇은 다른 플레이트(96)를 삽입함으로써 더욱 증가될 수 있다. Finally, FIG. 13 shows a vibration damper 90 in an application of the fourth form of the holder, ie for the upper part 2 of the leveling head 1. The vibration damper 90 comprises several flat plate packages of the same size, here plates 92 and 94, which are permanently connected to one another by screwing or cementing operations. It is connected to the upper part of the upper part 2 by screws 91, 93 and 95. The plate package extends in parallel with the upper part of the upper part 2 and has essentially the same size as the upper part. The vibration damping effect is a result of the plates 92 and 94, and when the upper parts 2 vibrate, the plates are sheared against each other and rub against each other. The plates can be made of metal or stronger plastics. Further, the vibration damping effect can be further increased by inserting another plate 96 having a large coefficient of friction and a thin thickness between the plate 92 adjacent to the upper part 2 and the upper surface of the upper part.

또한, 본 발명은 샌드위치 구조를 가진 금속시트(metal sheet)의 팩키지에 해당하는, 플레이트(92,94)들의 팩키지로부터 상측부품이 제작되어지므로, 상측부품(2)은 그 자체는 금속시트들에 의해서 세그먼트(segment)되어질 수 있다. 마찰계수를 증가시키기 위해서 서로 마주보는 금속시트들의 상부면들은 거칠게(rough)되어질 수 있거나, 또는 플레이트(96)에 대응되는 마찰 플레이트가 삽입되어질 수 있다. In addition, since the upper part is made from the package of the plates 92 and 94, which corresponds to the package of the metal sheet having the sandwich structure, the upper part 2 itself is formed on the metal sheets. Can be segmented by The upper surfaces of the metal sheets facing each other may be roughened to increase the coefficient of friction, or a friction plate corresponding to the plate 96 may be inserted.

도 14는 본 발명의 또 다른 실시예로서 팔레트(pallet, 101)를 도시한다. 상기 팔레트는 기계식 테이블(machine table, 100) 상에 장착되어지고 기계식 척(chuck, 102)을 지지한다. 이러한 척(102)에서, 공작물(105)을 지지하는 공작물 홀더(workpiece holder, 104)는 고정되어진다. 척(102)과 공작물 홀더(104)는 미국특허 제4,855,558호에서 기술되어진 것과 동일하게 구성되어질 수 있다. 상기 문헌의 내용을 참조하라. 따라서, 고정된 상태에서 척(chuck)에 면하는 공구홀더(104)의 상측부는, 도면부호(106,108)로서 본 명세서에서 언급된 편평한 표면부분을 나타낸다. 고정되어질 때, 상기 편평한 표면부분들은 척(102)으로부터 돌출구조를 이루는 핀(103,107)의 자유전방면(축방향 기준면)에 대해서 지지된다. 본 발명에 따르면, 핀(103,107)들의 자유전방면들은 상기에서 기술된 바와 같이 HDCM 합금의 형태로 된 진동댐퍼(109,110)가 제공되어진다. 상기 합금은 축방향 기준면들이 진동하는 것을 방지하거나 진동이 최소값으로 상당히 감쇄되도록 한다. 이러한 합금은 2mm 이하의 두께로 진공상태에서 분사(spray)되어짐으로써 부착되어지고, 다음으로 기준면을 형성하도록 접지되어진다. 더욱 간단한 실시예는 연삭작업(grinding)이 필요하지 않다. 척(102)은 본 발명에 따라서 홀더(holder)로서 구성되어진다. Figure 14 shows a pallet 101 as another embodiment of the present invention. The pallet is mounted on a machine table 100 and supports a mechanical chuck 102. In this chuck 102, the workpiece holder 104 holding the workpiece 105 is fixed. The chuck 102 and the workpiece holder 104 may be constructed in the same manner as described in US Pat. No. 4,855,558. See the contents of this document. Thus, the upper portion of the toolholder 104 facing the chuck in a stationary state represents the flat surface portion referred to herein as reference numerals 106 and 108. When secured, the flat surface portions are supported with respect to the free front face (axial reference plane) of the pins 103, 107 which protrude from the chuck 102. According to the invention, the free front faces of the pins 103, 107 are provided with vibration dampers 109, 110 in the form of HDCM alloy as described above. The alloy prevents the axial reference planes from vibrating or allows the vibrations to be significantly attenuated to a minimum. These alloys are deposited by spraying in a vacuum at a thickness of 2 mm or less and then grounded to form a reference plane. Simpler embodiments do not require grinding. The chuck 102 is configured as a holder in accordance with the present invention.

마지막으로, 도 15는 제 2 형태의 진동댐퍼에 대한 또 다른 실시예가 제공된 레벨링 헤드(leveling head)의 측면도를 나타낸다. 하측부품(7) 상에 고정된 상측부품(120)은 예를 들어, 금속 주조부품(metallic cast part)과 같이 개방셀(opec cell)구조의 다공 재료로서 만들어지며, 상기 셀(cell)은 절연재료로서 거의 완전하게 충진되어진다. 또한, 마감된 주조품(casting)은 생고무(cauotchouc) 또는 고무용액 내에 담겨지게 된다. 주조품이 상기 용액으로서 포화된 이후에, 고무가 주조품(casting) 속으로 가황화되어지도록 하기 위해서, 열처리(thermal treatment)를 통해서 용제(solvent)가 이동되어진다. 상측부품(120)의 기계적 강도는 주조작업(casting)에 의해서 제공되어지며, 양생된 고무(122)는 진동을 감쇄시킨다. 대안적인 실시예에 있어서, 상측부품(120)은 솔리드(solid) 금속제 상자(metal box)로 만들어질 수 있으며, 예를 들어 양생된 고무, 고무볼(rubber ball) 또는 고무 팩키지의 형태로 된 절연재료가 그 중공 내부(hollow interior) 내에 결속되어진다. Finally, FIG. 15 shows a side view of a leveling head provided with another embodiment of a vibration damper of the second type. The upper part 120 fixed on the lower part 7 is made of a porous material of an open cell structure, for example, a metallic cast part, and the cell is insulated. It is almost completely filled as material. In addition, the finished casting is immersed in a cauotchouc or rubber solution. After the casting has been saturated as the solution, the solvent is transferred through thermal treatment to allow the rubber to be vulcanized into the casting. The mechanical strength of the upper part 120 is provided by casting, and the cured rubber 122 damps vibrations. In an alternative embodiment, the upper part 120 may be made of a solid metal box, for example an insulating material in the form of a cured rubber, rubber ball or rubber package. Is bound in its hollow interior.

실례로서 레벨링 헤드(leveling head)에 관한 본 발명의 상기 설명은 본 발명에 따라서 사용되어질 수 있으며, 기본적으로 서로 다른 네 개의 형태로 된 진동댐퍼를 설명한다. 도 2 내지 도 4에서 도시된 제 1 형태의 진동댐퍼(30,40)는 고무 또는 고무재료로 만들어진 댐퍼(damper, 38,48)가 두개의 대상물, 여기서는 나사(screw, 32) 또는 나사머리(screw head, 44)와 볼트(bolt, 36) 또는 핀(pin, 49) 사이에 삽입되어지며, 공작물(15) 상에서 작용하는 린스유체압력(rinse fluid pressure)에 의해서 나사(32) 또는 나사머리(44)는 볼트(36) 또는 핀(49)에 대해서 진동하도록 설정되어지며, 이때 상기 공작물은 상측부품(2)에 영구적으로 연결되어진다. 여기서, 댐퍼(damper, 38,48)의 감쇄능력(damping capacity) 및 탄성계수(spring constant)는, 댐퍼(38,48)와 상측부품(2) 그리고 공작물(15)로 구성된 시스템의 고유 진동수(natural frequency)가 린스유체에 의해서 여기(excited)되어지는 진동(vibration)의 고유진동수(natural frequency)로부터 멀어지도록, 재료선택 및 그 치수를 통해서 반경방향 및 축방향으로 조절되어질 수 있다. As an example the above description of the invention with respect to a leveling head can be used according to the invention and describes basically four different types of vibration dampers. The vibration dampers 30 and 40 of the first type shown in FIGS. 2 to 4 have dampers 38 and 48 made of rubber or rubber material, which are two objects, here screws 32 or heads. It is inserted between the screw head 44 and the bolt 36 or the pin 49, and by the rinse fluid pressure acting on the workpiece 15, the screw 32 or screw head ( 44 is set to vibrate with respect to the bolt 36 or the pin 49, wherein the workpiece is permanently connected to the upper part 2. Here, the damping capacity and the spring constant of the dampers 38 and 48 are the natural frequencies of the system composed of the dampers 38 and 48, the upper part 2, and the work piece 15. The natural frequency can be adjusted radially and axially through the material selection and its dimensions so as to deviate from the natural frequency of the vibration being excited by the rinse fluid.

진동댐퍼의 제 2 형태는 도 5 내지 도 10에서 도시되어지며, 여기서는 홀더(10)의 동적 특징들은 예를 들어 솔리드(solid) 보(beam)와 같은 솔리드 재료의 동적특성들로 간주될 수도 있다. 따라서, 두개의 대상물들이 서로에 대해서 상대적인 운동을 하지 않는다. 홀더(10)의 외측부 상에 예를 들어 고무와 같은 내부감쇄성능을 가진 솔리드 재료(solid material, 중실재료)로 만들어진 댐퍼(50)를 고정시키는 것으로 충분하다. The second form of the vibration damper is shown in FIGS. 5-10, wherein the dynamic characteristics of the holder 10 may be regarded as the dynamic characteristics of a solid material, for example a solid beam. . Thus, the two objects do not move relative to each other. It is sufficient to fix the damper 50 made of a solid material (solid material) having an internal damping performance such as, for example, rubber on the outer side of the holder 10.

도 11 및 도 12에 따른 제 3 형태의 진동댐퍼에서, 댐퍼(62,66)는 질량체(솔리드 블록, 63,67)에 연결되어지며, 각각의 개별적인 적용분야, 예를 들어 서로 다른 린스 유체압력들에 대해서 아주 간단한 방법으로 감쇄특성들이 조정되어질 수 있도록 한다. 이러한 점에서, 동일한 고무재료가 사용되어질 수 있다. 나아가, 진동댐퍼(60,65)는 진동이 발생하는 부위에 가능하면 가까이 설치되어질 수 있도록 하는 방식으로 치수가 설정되어질 수 있다. 도 11로부터 명확하게 알 수 있듯이, 와이어 연마기계(wire erosion machine, 13,14)에서의 공간적인 조건들은 특히 Z방향으로 상당히 제한되어진다. 진동댐퍼(60,65)의 임의적인 형상치수들은 적용분야가 Z방향으로 홀더(10)를 위한 더 많은 공간을 필요로 하지 않는다는 점에서 특히 유리하다. In the vibration damper of the third type according to FIGS. 11 and 12, the dampers 62, 66 are connected to the mass bodies (solid blocks 63, 67), and each individual application, for example different rinse fluid pressures. In this way, the attenuation characteristics can be adjusted in a very simple way. In this respect, the same rubber material can be used. Furthermore, the vibration dampers 60 and 65 can be dimensioned in such a way that they can be installed as close as possible to the site where vibrations occur. As can be clearly seen from FIG. 11, the spatial conditions in the wire erosion machine 13, 14 are particularly limited in the Z direction. Arbitrary shape dimensions of the vibration dampers 60 and 65 are particularly advantageous in that the application does not require more space for the holder 10 in the Z direction.

마지막으로, 도 13에 따른 제 4 형태의 진동댐퍼는 진동에너지(vibration energy)를 흡수하도록 플레이트들 또는 금속시트들 사이에서 마찰력을 이용한다. Finally, the vibration damper of the fourth type according to FIG. 13 uses friction force between plates or metal sheets to absorb vibration energy.

Claims (24)

기계식 척(machine chuck)을 기계식 테이블(machine table)에 부착하기 위한 부착요소(attachment element)들과 공작물 홀더(workpiece holder)를 고정하기 위한 고정요소(holding element)들을 포함하며, 기계 공구의 작업영역 내에 공작물 홀더의 정확한 위치설정을 위한 기계식 척(chuck)에 있어서, A working area of the machine tool, including attachment elements for attaching the mechanical chuck to the machine table and holding elements for securing the workpiece holder In a mechanical chuck for accurate positioning of a workpiece holder in 상기 기계식 척은 기계식 척의 편평한 표면에 면하는 진동 흡수재료의 편평한 절연포일(insulating foil)의 형태로 된 진동댐퍼(vibration damper)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기계식 척The mechanical chuck comprises a vibration damper in the form of a flat insulating foil of vibration absorbing material facing the flat surface of the mechanical chuck. 제 1 항에 있어서, 상기 진동댐퍼(vibration damper)는 상기 기계식 척(chuck) 상에 부과된 진동을 감쇄시키는데 충분히 높은 감쇄성능(damping property)을 가지는 것을 특징으로 하는 기계식 척The mechanical chuck of claim 1, wherein the vibration damper has a damping property high enough to attenuate vibrations imposed on the mechanical chuck. 제 1 항에 있어서, 상기 진동 흡수재료(vibration absorbing material)는 고무(rubber) 또는 고무와 같은 재료인 것을 특징으로 하는 기계식 척The mechanical chuck of claim 1, wherein the vibration absorbing material is a rubber or a material such as rubber. 제 3 항에 있어서, 절연포일(insulating foil)의 두께는 절연포일의 편평한 표면의 크기보다 더 작은 것을 특징으로 하는 기계식 척4. The mechanical chuck of claim 3 wherein the thickness of the insulating foil is smaller than the size of the flat surface of the insulating foil. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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