KR100663353B1 - output coupler of laser apparatus for exposure - Google Patents

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KR100663353B1 KR1020050005965A KR20050005965A KR100663353B1 KR 100663353 B1 KR100663353 B1 KR 100663353B1 KR 1020050005965 A KR1020050005965 A KR 1020050005965A KR 20050005965 A KR20050005965 A KR 20050005965A KR 100663353 B1 KR100663353 B1 KR 100663353B1
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Abstract

본 발명은 반도체 제조설비에 관한 것으로 노광용 레이저설비의 아웃풋 커플러에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은, 노광설비용 레이저광원이 방출되는 레이저 방전챔버와, 상기 레이저 방전챔버에서 방출되는 레이저광이 통과되어 출력되는 부분 반사미러가 고정되는 미러회전링과, 상기 부분 반사미러의 중심이 상기 레이저광에 대하여 편심되도록 지지하고, 상기 미러회전링을 회전 가능하게 지지하는 장착링과, 상기 미러회전링을 회전시키는 구동수단이 구비되며, 이에 따라, 부분 반사미러의 집중적인 열화를 방지함과 동시에 부분 반사미러의 수명을 연장시켜 부분 반사미러의 사용 효율을 증가시킬 수 있는 효과가 있으며, 부분 반사미러의 교체에 따른 노광설비의 가동 중단시간을 감소시켜 노광설비의 작업효율을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor manufacturing equipment and to an output coupler for an exposure laser equipment. To this end, the present invention, the laser discharge chamber for emitting the laser light source for the exposure equipment, the mirror rotation ring is fixed to the partial reflection mirror through which the laser light emitted from the laser discharge chamber is passed, and the center of the partial reflection mirror A mounting ring for eccentrically supporting the laser beam, rotatably supporting the mirror rotation ring, and driving means for rotating the mirror rotation ring are provided, thereby preventing intensive deterioration of the partial reflection mirror. At the same time, the service life of the partial reflection mirror can be extended to increase the efficiency of use of the partial reflection mirror, and the downtime of the exposure equipment due to the replacement of the partial reflection mirror can be reduced to increase the working efficiency of the exposure equipment. It can be effective.

Description

노광용 레이저설비의 아웃풋 커플러{output coupler of laser apparatus for exposure} Output coupler of laser apparatus for exposure             

도 1은 일반적인 노광용 레이저설비의 레이저 방전 챔버 부분의 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a laser discharge chamber portion of a general exposure laser equipment.

도 2는 종래 기술에 따른 아웃풋 커플러를 간략히 나타낸 측단면도이다.2 is a side cross-sectional view briefly showing an output coupler according to the prior art.

도 3은 본 발명에 따른 부분 아웃풋 커플러를 간략히 나타낸 측단면도이다.Figure 3 is a simplified side sectional view of a partial output coupler in accordance with the present invention.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 아웃풋 커플러를 간략히 나타낸 측면도이다.4 is a side view briefly showing an output coupler according to another embodiment of the present invention.

**도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

12 : 레이저 방전챔버12: laser discharge chamber

13 : 전면창13: front window

14 : 후면창14: rear window

30 : 라인 제한모듈30: line limit module

100 : 아웃풋 커플러100: output coupler

110 : 플레이트110: plate

120 : 장착링 120: mounting ring                 

130 : 미러회전링130: mirror rotation ring

140 : 부분 반사미러140: partial reflection mirror

150 : 구동모터
150: drive motor

본 발명은 반도체 제조설비에 관한 것으로서, 더 구체적으로 노광관원으로서 불활성 할로겐가스 엑시머 레이저장치 또는 F2레이저장치 등의 가스레이저장치를 사용하는 노광용 레이저설비의 아웃풋 커플러에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor manufacturing equipment, and more particularly to an output coupler of an exposure laser facility using a gas ray storage value such as an inert halogen gas excimer laser device or an F2 laser device as an exposure tube source.

반도체소자의 생산분야 또는 기타 분야에서는, 가스레이저중의 하나인 불화성 할로겐가스엑시머 레이저(이하, '엑시머 레이저'라 함)가 고전력 레이저로서 상당히 주목을 받고 있다.In the production field of semiconductor devices or other fields, fluorinated halogen gas excimer laser (hereinafter, referred to as 'excimer laser'), which is one of gas lasers, has attracted considerable attention as a high power laser.

이와 같은 엑시머 레이저로는, 예를 들면, 염화크세논엑시머 레이저(308㎚파장), 불화크립톤엑시머 레이저(248㎚파장) 및 불화아르곤엑시머 레이저(193㎚파장)가 있다. 마찬가지로, F2레이저(158㎚파장)도 고전력 레이저로서 상당히 주목을 받고 있다. 또한, 노광광원으로서 불화크립톤엑시머 레이저(248㎚파장)를 가지는 스텝 앤드 리피트형(step-and-repeat type) 또는 스텝 앤드 스캔형(step-and-scan type) 반도체소자제조 노광장치는 실제로 이미 사용하고 있다.Such excimer lasers include, for example, xenon chloride excimer laser (308 nm wavelength), krypton fluoride excimer laser (248 nm wavelength), and argon fluoride excimer laser (193 nm wavelength). Similarly, the F2 laser (158 nm wavelength) has attracted considerable attention as a high power laser. In addition, a step-and-repeat type or step-and-scan type semiconductor device manufacturing exposure apparatus having a krypton fluoride excimer laser (248 nm wavelength) as an exposure light source is actually used. Doing.

엑시머 레이저에 의하면, 불활성가스와 할로겐가스를 함유하는 레이저가스는 챔버 내에 밀봉하여 저장하고, 챔버 내에 설치된 전극으로부터 전기방전에 의해 레이저가스를 일단 여기시킴으로써 레이저광을 생성한다. 또한, F2레이저에 의하면, F2가스를 챔버 내에 밀봉하여 저장하고, 챔버 내에 설치된 전극으로부터 전기방전에 의해 레이저가스를 일단 여기시킴으로써 레이저광을 생성한다.According to the excimer laser, a laser gas containing an inert gas and a halogen gas is sealed and stored in a chamber, and laser light is generated by exciting the laser gas once by an electric discharge from an electrode provided in the chamber. In addition, according to the F2 laser, the F2 gas is sealed and stored in the chamber, and the laser light is generated by exciting the laser gas once by an electric discharge from an electrode provided in the chamber.

도 1은 일반적인 노광용 레이저설비의 레이저 방전 챔버 부분의 개략적인 구성도이다. 1 is a schematic configuration diagram of a laser discharge chamber portion of a general exposure laser equipment.

도시된 바와 같이 노광용 레이저설비(10)는 레이저광(1)이 생성되는 방전챔버(12)와, 방전챔버(12)의 전면 및 후면에 마련되어 방전챔버(12)내에서 생성되는 레이저광(1)이 투과되는 전면창(13) 및 후면창(14)과, 후면창(14)을 통과하는 레이저광(1)을 증폭시키는 전반사 미러(미도시)와, 전반사 미러에 연결되어 레이저광(1)의 파장을 결정하는 라인 제한 모듈(30)과, 전면창(13)을 통과하는 레이저광(1)을 부분 반사시켜 레이저광(1)을 출력시키는 부분 반사미러(23)가 구비된 아웃풋 커플러(20)가 마련된다.As shown, the exposure laser facility 10 includes a discharge chamber 12 in which the laser light 1 is generated, and a laser light 1 generated in the discharge chamber 12 in front and rear surfaces of the discharge chamber 12. ) Is a front reflection 13 and rear window 14 through which the transmission is transmitted, a total reflection mirror (not shown) that amplifies the laser light 1 passing through the rear window 14, and a laser light (1) connected to the total reflection mirror. Output coupler with a line limiting module 30 for determining the wavelength of the light beam) and a partial reflection mirror 23 for partially reflecting the laser light 1 passing through the front window 13 to output the laser light 1. 20 is provided.

도 2는 종래 기술에 따른 아웃풋 커플러를 간략히 나타낸 측면도이다.Figure 2 is a simplified side view of the output coupler according to the prior art.

여기서, 아웃풋 커플러(20)의 구조를 간략히 설명하면, 아웃풋 커플러(20)가 고정되며 전면창(13)을 통과한 레이저광(1)이 통과하는 투사공(22)이 형성되는 플레이트(21)와, 플레이트(21)에 고정되고 투사공(22)을 통과하는 레이저광(1)의 일부가 반사되는 부분 반사미러(23)가 장착되는 미러클램프(26)가 마련된다. 여기서, 부분 반사미러(23)는 외측면에 입사되는 레이저광(1)이 표면에서 반사되지 않고 투과되도록 ARC(anti-reflection coating)(25)이 형성된 경사면(24)이 형성된다. Here, the structure of the output coupler 20 will be briefly described. The output coupler 20 is fixed and the plate 21 in which the projection hole 22 through which the laser light 1 passed through the front window 13 is formed is formed. And a mirror clamp 26 fixed to the plate 21 and mounted with a partial reflection mirror 23 through which a part of the laser light 1 passing through the projection hole 22 is reflected. Here, the partial reflection mirror 23 is formed with an inclined surface 24 formed with an anti-reflection coating (ARC) 25 so that the laser light 1 incident on the outer surface is transmitted without being reflected from the surface.                         

그러나, 상술한 바와 같은 아웃풋 커플러(20)의 부분 반사미러(23)는 일정 기간 사용을 하게 되면 빛이 통과하는 특정부분이 열화되어 레이저광(1)의 출력 품질이 떨어지게 되며, 부분 반사미러(23)의 열화가 심할 경우에는 미러 자체를 교환하여 사용하고 있는 실정이다.However, when the partial reflection mirror 23 of the output coupler 20 as described above is used for a certain period of time, a specific portion through which light passes is deteriorated, so that the output quality of the laser light 1 is deteriorated, and the partial reflection mirror ( If the deterioration of 23) is severe, the mirror itself is replaced.

이에 따라, 레이저광(1)이 통과하는 특정부분만이 열화된 부분 반사미러(23) 전체를 교체해야 함으로 부분 반사미러(23)의 부품 활용적이 측면에서 불합리한 문제점이 있으며, 부분 반사미러(23)의 교체에 노광설비의 가동중단으로 인한 작업효율이 떨어지는 문제점이 있었다.
Accordingly, there is a problem that the parts utilization of the partial reflection mirror 23 is unreasonable in terms of the partial reflection mirror 23 because only the specific portion through which the laser light 1 passes has to be replaced with the entire deteriorated partial reflection mirror 23. ), There was a problem that the work efficiency is reduced due to the shutdown of the exposure equipment.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 레이저 방전챔버의 출력포트에 마련되는 부분 반사미러를 의 형상을 개선하고, 회전 가능하게 형성하여 부분 반사미러의 집중적인 열화를 방지함과 동시에 부분 반사미러의 수명을 연장시킬 수 있어, 부분 반사미러의 사용 효율을 증가시킬 수 있으며, 부분 반사미러의 교체에 따른 노광설비의 가동 중단시간을 감소시킬 수 있는 노광용 레이저설비의 아웃풋 커플러를 제공함에 그 목적이 있다.
The present invention has been made to solve the above problems, and to improve the shape of the partial reflection mirror provided in the output port of the laser discharge chamber and to be rotatable to prevent intensive deterioration of the partial reflection mirror and At the same time, the life of the partial reflection mirror can be extended, thereby increasing the efficiency of use of the partial reflection mirror, and providing an output coupler of the exposure laser equipment for reducing downtime of the exposure equipment due to the replacement of the partial reflection mirror. Has its purpose.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 노광용 레이저설비의 아웃풋 커플러는, 노광설비용 레이저광원이 방출되는 레이저 방전챔버와; 상기 레이저 방 전챔버에서 방출되는 레이저광이 통과되어 출력되는 부분 반사미러가 고정되는 미러회전링과; 상기 부분 반사미러의 중심이 상기 레이저광에 대하여 편심되도록 지지하고, 상기 미러회전링을 회전 가능하게 지지하는 장착링과; 상기 미러회전링을 회전시키는 구동수단이 구비된다. The output coupler of the laser equipment for exposure according to the present invention for achieving the above object comprises a laser discharge chamber for emitting a laser light source for the exposure equipment; A mirror rotation ring to which a partial reflection mirror, which is output through the laser light emitted from the laser discharge chamber, is fixed; A mounting ring supporting the center of the partial reflection mirror so as to be eccentric with respect to the laser light and rotatably supporting the mirror rotation ring; Driving means for rotating the mirror rotation ring is provided.

또한, 상기 장착링은, 중공이 형성된 링형상으로 내주면에 중심측으로 지지턱이 형성되고, 상기 미러회전링은, 중공이 형성된 링형상으로 외주면에 상기 지지턱이 삽입되도록 함입되는 걸림턱 형성되며, 내주면에 상기 부분 반사미러가 안착되는 미러안착부 형성되는 것이 바람직하다. In addition, the mounting ring, the support jaw is formed to the center side on the inner circumferential surface in the shape of a hollow ring, the mirror rotation ring, the locking jaw is formed to be inserted so that the support jaw is inserted into the outer circumferential surface in the form of a hollow ring, Preferably, a mirror seating portion on which the partial reflection mirror is seated is formed on an inner circumferential surface thereof.

또한, 상기 구동수단은, 구동모터와; 상기 구동모터의 회전축에 결합된 주동풀리와; 상기 미러회전링의 외주면에 형성되는 종동풀리와; 상기 주동풀리와 상기 종동풀리가 연동되도록 연결하는 벨트가 마련되는 것이 바람직하다. In addition, the drive means, the drive motor; A main pulley coupled to the rotation shaft of the drive motor; A driven pulley formed on an outer circumferential surface of the mirror rotating ring; It is preferable that a belt is provided to connect the main pulley and the driven pulley to interlock.

또한, 상기 구동수단은, 구동모터와; 상기 구동모터의 회전축에 결합된 주동기어와; 상기 미러회전링의 외주면에 상기 주동기어에 치합되는 종동기어가 형성되는 것이 바람직하다. In addition, the drive means, the drive motor; A main gear coupled to the rotation shaft of the drive motor; Preferably, a driven gear meshed with the main gear is formed on the outer circumferential surface of the mirror rotation ring.

또한, 상기 부분 반사미러는, 상기 미러회전링의 내측에 고정되며, 외측면이 외측면의 중심에서 돌출되는 다수의 경사면에 의해 다각뿔형상으로 형성되며, 각 경사면의 표면에는 ARC(anti-reflection coating)면이 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the partial reflection mirror is fixed to the inside of the mirror rotation ring, the outer surface is formed in a polygonal shape by a plurality of inclined surfaces protruding from the center of the outer surface, the surface of each inclined surface ARC (anti-reflection coating It is preferable that a) face is formed.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 노광용 레이저설비의 아웃풋 커플러를 상세히 설명한다. Hereinafter, an output coupler of an exposure laser apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명을 설명함에 있어서, 정의되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려 하여 정의 내려진 것으로, 이는 당 분야에 종사하는 기술자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있으므로, 본 발명의 기술적 구성요소를 한정하는 의미로 이해되어서는 아니 될 것이다.In the description of the present invention, terms defined are defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to the intention or custom of a person skilled in the art, and thus, limit the technical components of the present invention. It should not be understood as.

도 3은 본 발명에 따른 아웃풋 커플러를 간략히 나타낸 측면도이이다. Figure 3 is a simplified side view of the output coupler according to the present invention.

도시한 바와 같이 본 발명에 따른 아웃풋 커플러(100)는, 레이저 방전챔버(12)의 전면창(13)의 일측에 전면창(13)을 통해 출력되는 레이저광(1)이 통과하는 투사공(112)이 형성되는 플레이트(110)가 마련되며, 투사공(112)의 일측에는 부분반사미러(140)가 안착되는 미러회전링(130)과, 미러회전링(130)이 회전 가능하게 결합되는 장착링(120)과, 장착링(120)에 회전 가능하게 결합된 미러회전링(130)을 회전시키는 구동모터(150)가 마련된다.As shown, the output coupler 100 according to the present invention includes a projection hole through which the laser light 1 output through the front window 13 passes through one side of the front window 13 of the laser discharge chamber 12. A plate 110 having a 112 formed therein is provided, and on one side of the projection hole 112, the mirror rotation ring 130 on which the partial reflection mirror 140 is seated, and the mirror rotation ring 130 are rotatably coupled. The mounting ring 120 and a drive motor 150 for rotating the mirror rotation ring 130 rotatably coupled to the mounting ring 120 is provided.

여기서, 장착링(120)은, 중공이 형성된 원형의 링형상으로 일단부의 내주면에는 장착링(120)의 중심측으로 돌출되어 미러회전링(130)을 회전 가능하게 지지하는 지지턱(122)이 형성되며, 장착링(120)의 타단부는 장착링(120)의 중심부가 플레이트(110)에 형성된 투사공(112)의 중심에 대하여 편심되도록 플레이트(110)에 고정된다. 즉, 레이저 방전챔버(12)의 전면창(13)을 통하여 출력되는 레이저광(1)에 대하여 편심되도록 고정된다. Here, the mounting ring 120 is formed in a circular ring shape with a hollow, protruding toward the center of the mounting ring 120 at the inner peripheral surface of the support jaw 122 for rotatably supporting the mirror rotation ring 130 is formed The other end of the mounting ring 120 is fixed to the plate 110 so that the center of the mounting ring 120 is eccentric with respect to the center of the projection hole 112 formed in the plate 110. That is, it is fixed to be eccentric with respect to the laser light 1 output through the front window 13 of the laser discharge chamber 12.

그리고, 미러회전링(130)은, 중공이 형성된 원형의 링형상으로 타단부의 외주면에는 장착링(120)에 형성된 지지턱(122)이 대응되어 미러회전링(130)이 회전 가능하게 지지되도록 걸림턱(136)이 함입되어 형성되며, 일단부의 내주면에는 후술할 부분 반사미러(140)가 안착 고정되는 미러안착부(132)가 함입되어 형성되고, 일단부의 외주면에는 구동모터(150)에 마련되는 주동풀리(154a)와 벨트(156)에 의해 연동되도록 종동풀리(134a)가 형성된다. The mirror rotation ring 130 has a circular ring shape in which a hollow is formed, and the support jaw 122 formed on the mounting ring 120 corresponds to the outer circumferential surface of the other end such that the mirror rotation ring 130 is rotatably supported. The locking jaw 136 is formed to be recessed, and a mirror seating portion 132 to which the partial reflection mirror 140 to be described below is seated is formed on the inner circumferential surface of one end, and is provided on the driving motor 150 on the outer circumferential surface of the one end. The driven pulley 154a and the driven pulley 134a are formed to be interlocked by the belt 156.

여기서, 미러회전링(130)의 미러안착부(132)에 고정되는 부분 반사미러(140)는, 외주면이 미러회전링(130)에 형성된 미러안착부(132)에 대응되는 원판형상으로 형성되며, 일면에는 일면의 중심에서 돌출되는 다각뿔형상을 형성하도록 다수의 경사면(142)이 형성되며, 각 경사면(142)의 표면에는 전면창(13)을 통하여 출력되는 레이저광(1)의 반사를 방지하기 위한 ARC면(144)이 형성된다.Here, the partial reflection mirror 140 fixed to the mirror seating portion 132 of the mirror rotation ring 130, the outer peripheral surface is formed in a disk shape corresponding to the mirror seating portion 132 formed on the mirror rotation ring 130. In one surface, a plurality of inclined surfaces 142 are formed to form a polygonal pyramid protruding from the center of one surface, and the reflection of the laser light 1 output through the front window 13 is prevented on the surface of each inclined surface 142. An ARC surface 144 is formed.

그리고, 구동모터(150)는 플레이트(110)의 소정부에 고정되는 브래킷(152)에 의해 고정되며, 구동모터(150)의 회전축 단부에는 미러회전링(130)의 외주면에 형성된 종동풀리(134a)를 벨트(156)에 의해 연동시키기 위한 주동풀리(154a)가 마련된다.Then, the drive motor 150 is fixed by a bracket 152 fixed to a predetermined portion of the plate 110, the driven pulley 134a formed on the outer peripheral surface of the mirror rotation ring 130 at the end of the rotation shaft of the drive motor 150 ) Is provided with a coarse pulley 154a for interlocking by the belt 156.

이러한, 아웃풋 커플러(100)는, 레이저 방전챔버(12)에서 방출되는 레이저광(1)이 장착링(120)에 회전 가능하게 결합된 미러회전링(130)의 부분 반사미러(140)에 형성된 다수의 경사면(142)중에 특정 경사면을 통과하여 출력되도록 마련된다. The output coupler 100 is formed on the partial reflection mirror 140 of the mirror rotation ring 130 rotatably coupled to the mounting ring 120 with the laser light 1 emitted from the laser discharge chamber 12. A plurality of inclined surfaces 142 are provided to pass through a specific inclined surface.

여기서, 부분 반사미러(140)의 특정 경사면에 일정기간 레이저광(1)이 통과하면서 부분 반사미러(140)의 레이저광(1)이 통과하는 특정 경사면이 열화되거나, 노후되는 경우가 발생한다. Here, when the laser beam 1 passes through the specific inclined surface of the partial reflection mirror 140 for a certain period of time, the specific inclined surface through which the laser light 1 of the partial reflection mirror 140 passes or deteriorates or ages.

이때, 사용자 또는 미도시된 제어부에서 구동모터(150)를 작동시켜 구동모터(150)의 회전축 단부에 결합된 주동풀리(154a)를 회전시키고, 주동풀리(154a)에 벨트(156)에 의해 연동 가능하도록 연결된 미러회전링(130)을 회전시켜 미러회전링 (130)에 안착된 부분 반사미러(140)를 회전시킨다.At this time, the user or a control unit not shown to operate the drive motor 150 to rotate the coarse pulley 154a coupled to the end of the rotation shaft of the drive motor 150, and linked to the coarse pulley 154a by the belt 156 Rotating the mirror rotation ring 130 is connected so as to rotate the partial reflection mirror 140 seated on the mirror rotation ring (130).

여기서, 회전되는 부분 반사미러(140)는 방전챔버(12)에서 방출되는 레이저광(1)에 대하여 그 회전축의 중심이 편심되도록 설치된다. 이에 따라, 미러회전링(130)이 회전됨에 따라 부분 반사미러(140)의 특정 경사면 또한 회전된다. 그 결과, 특정 경사면은 다른 위치로 이동되고, 특정 경사면이 제공되었던 위치에는 부분 반사미러(140)의 다른 경사면이 이동되어 배치된다. 따라서, 상기 다른 경사면을 통해 레이저 광(1)이 출력될 수 있기 때문에, 부분 반사미러(140)의 국부적인 열화를 방지할 수 있다.Here, the partially reflected mirror 140 is rotated so that the center of the rotation axis is eccentric with respect to the laser light 1 emitted from the discharge chamber 12. Accordingly, as the mirror rotation ring 130 is rotated, a specific inclined surface of the partial reflection mirror 140 is also rotated. As a result, the specific inclined surface is moved to another position, and the other inclined surface of the partial reflection mirror 140 is moved and disposed at the position where the specific inclined surface was provided. Therefore, since the laser light 1 can be output through the other inclined surface, it is possible to prevent local deterioration of the partial reflection mirror 140.

이하, 본 발명에 따른 아웃풋 커플러의 다른 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. 여기서 본 발명의 다른 실시예는 상술한 실시예에서 미러회전링을 회전시키는 구동부분에 대한 것으로 나머지 부분에 대하여는 그 상세한 설명을 생략한다. Hereinafter, another embodiment of an output coupler according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Herein, another embodiment of the present invention relates to a driving part for rotating the mirror rotation ring in the above-described embodiment, and a detailed description thereof will be omitted for the remaining parts.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 아웃풋 커플러를 간략히 나타낸 측면도이다. 4 is a side view briefly showing an output coupler according to another embodiment of the present invention.

도시한 바와 같이 본 발명의 다른 실시예에 따른 아웃풋 커플러는 상술한 플레이트(110), 장착링(120), 미러회전링(130), 부분 반사미러(140), 구동모터(150)가 마련되며, 구동모터(150)의 회전축에는 주동기어(154b)가 마련되고, 미러회전링(130)의 외주면에는 구동모터(150)에 마련된 주동기어(154b)에 치합되는 종동기어(134b)가 형성된다.As shown, the output coupler according to another embodiment of the present invention is provided with the plate 110, the mounting ring 120, the mirror rotation ring 130, the partial reflection mirror 140, and the driving motor 150. The main shaft gear 154b is provided on the rotation shaft of the driving motor 150, and the driven gear 134b meshes with the main gear gear 154b provided on the driving motor 150 on the outer circumferential surface of the mirror rotation ring 130. .

이러한, 미러회전링(130)은 미러회전링(130)에 마련된 부분 반사미러(140)의 특정 경사면에 레이저 광(1)에 의해 열화현상 또는 노후현상이 발생된 경우 구동모터(150)를 작동시키며 구동모터(150)에 마련된 주동기어(154b)에 의해 회전되어, 부분 반사미러(140)의 특정 경사면이 다른 위치로 이동될 수 있다. 또한, 특정 경사면이 제공되었던 위치에는 부분 반사미러(140)의 다른 경사면이 이동되어 배치된다. 이에 따라, 상기 다른 경사면을 통해 레이저 광(1)이 출력될 수 있기 때문에, 부분 반사미러(140)의 국부적인 열화를 방지할 수 있다.The mirror rotation ring 130 operates the driving motor 150 when deterioration or deterioration is caused by the laser light 1 on a specific inclined surface of the partial reflection mirror 140 provided in the mirror rotation ring 130. And rotated by the main gear 154b provided in the drive motor 150, the specific inclined surface of the partial reflection mirror 140 can be moved to another position. In addition, the other inclined surface of the partial reflection mirror 140 is moved and disposed at the position where the specific inclined surface was provided. Accordingly, since the laser light 1 may be output through the other inclined surface, local degradation of the partial reflection mirror 140 may be prevented.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 기술되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 사람이라면, 첨부된 청구 범위에 정의된 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 본 발명을 여러 가지로 변형하여 실시할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 앞으로의 실시예들의 변경은 본 발명의 기술을 벗어날 수 없을 것이다.
Although described in detail with respect to preferred embodiments of the present invention as described above, those of ordinary skill in the art, without departing from the spirit and scope of the invention as defined in the appended claims Various modifications may be made to the invention. Therefore, changes in the future embodiments of the present invention will not be able to escape the technology of the present invention.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 노광용 레이저설비의 아웃풋 커플러에 따르면, 레이저 방전챔버의 출력포트에 마련되는 부분 반사미러의 형상을 개선하고, 회전 가능하게 형성하여 부분 반사미러의 집중적인 열화를 방지함과 동시에 부분 반사미러의 수명을 연장시켜 부분 반사미러의 사용 효율을 증가시킬 수 있는 효과가 있으며, 부분 반사미러의 교체에 따른 노광설비의 가동 중단시간을 감소시켜 노광설비의 작업효율을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the output coupler of the laser apparatus for exposure of the present invention, the shape of the partial reflection mirror provided at the output port of the laser discharge chamber is improved and rotatably formed to prevent intensive deterioration of the partial reflection mirror. At the same time, the service life of the partial reflection mirror can be extended to increase the efficiency of use of the partial reflection mirror, and the downtime of the exposure equipment due to the replacement of the partial reflection mirror can be reduced to increase the working efficiency of the exposure equipment. It can be effective.

Claims (6)

노광설비용 레이저광원이 방출되는 레이저 방전챔버와;A laser discharge chamber in which a laser light source for exposure equipment is emitted; 상기 레이저 방전챔버에서 방출되는 레이저광이 통과되어 출력되는 부분 반사미러가 고정되는 미러회전링과;A mirror rotation ring to which a partial reflection mirror which is passed through and outputted from the laser light emitted from the laser discharge chamber is fixed; 상기 부분 반사미러의 중심이 상기 레이저광에 대하여 편심되도록 지지하고, 상기 미러회전링을 회전 가능하게 지지하는 장착링과;A mounting ring supporting the center of the partial reflection mirror so as to be eccentric with respect to the laser light and rotatably supporting the mirror rotation ring; 상기 미러회전링을 회전시키는 구동수단이 마련되는 것을 특징으로 하는 노광용 레이저설비의 아웃풋 커플러.Output coupler of the laser equipment for exposure, characterized in that the drive means for rotating the mirror rotation ring is provided. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 장착링은, 중공이 형성된 링형상으로 내주면에 중심측으로 지지턱이 형성되고, 상기 미러회전링은, 중공이 형성된 링형상으로 외주면에 상기 지지턱이 삽입되도록 함입되는 걸림턱 형성되며, 내주면에 상기 부분 반사미러가 안착되는 미러안착부 형성되는 것을 특징으로 하는 노광용 레이저설비의 아웃풋 커플러.The mounting ring is formed in a ring shape with a hollow support jaw is formed on the inner circumferential surface to the center side, the mirror rotation ring is a ring formed with a hollow is formed in the locking jaw is formed so that the support jaw is inserted into the outer peripheral surface, The output coupler of the laser equipment for exposure, characterized in that the mirror mounting portion is formed is seated on the partial reflection mirror. 제 2항에 있어서, 상기 구동수단은,The method of claim 2, wherein the driving means, 구동모터와;A drive motor; 상기 구동모터의 회전축에 결합된 주동풀리와;A main pulley coupled to the rotation shaft of the drive motor; 상기 미러회전링의 외주면에 형성되는 종동풀리와;A driven pulley formed on an outer circumferential surface of the mirror rotating ring; 상기 주동풀리와 상기 종동풀리가 연동되도록 연결하는 벨트가 마련되는 것을 특징으로 하는 노광용 레이저설비의 아웃풋 커플러.The output coupler of the laser equipment for exposure, characterized in that the belt is provided to connect the main pulley and the driven pulley. 제 2항에 있어서, 상기 구동수단은,The method of claim 2, wherein the driving means, 구동모터와;A drive motor; 상기 구동모터의 회전축에 결합된 주동기어와;A main gear coupled to the rotation shaft of the drive motor; 상기 미러회전링의 외주면에 상기 주동기어에 치합되는 종동기어가 형성되는 것을 특징으로 하는 노광용 레이저설비의 아웃풋 커플러.An output coupler for exposure laser equipment, characterized in that a driven gear is formed on the outer circumferential surface of the mirror rotation ring to be engaged with the main gear. 제 1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 부분 반사미러는, 상기 미러회전링의 내측에 고정되며, 외측면이 외측면의 중심에서 돌출되는 다수의 경사면에 의해 다각뿔형상으로 형성되며, 각 경사면의 표면에는 ARC(anti-reflection coating)면이 형성되는 것을 특징으로 하는 노광용 레이저설비의 아웃풋 커플러.The partial reflection mirror is fixed to the inside of the mirror rotation ring, the outer surface is formed in a polygonal shape by a plurality of inclined surfaces protruding from the center of the outer surface, the surface of each inclined surface ARC (anti-reflection coating) surface Output coupler of the laser equipment for exposure, characterized in that formed. 일면이 ARC(anti-reflection coating)면이 형성되는 다수의 경사면에 의해 중심이 돌출되는 다각뿔형상으로 형성되어, 상기 다수의 경사면 중 어느 한 경사면에 상기 다각뿔형상의 중심에서 편심되는 위치로 레이저광이 통과되도록 마련되는 것을 특징으로 하는 노광용 레이저설비의 부분 반사미러.One surface is formed in a polygonal pyramid shape, the center of which protrudes by a plurality of inclined surfaces on which an anti-reflection coating (ARC) surface is formed, and the laser light is eccentrically positioned at one of the plurality of inclined surfaces at the center of the polygonal pyramid shape. Partial reflection mirror of the laser equipment for exposure, characterized in that it is provided to pass.
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