KR100646102B1 - Apparatus for testing substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 피검사체를 촬영하여 촬상 신호를 제공하는 검사부; 상기 검사부의 촬상 신호를 신호 처리하는 비젼보드; 상기 검사부와 비젼 보드의 전원 보드에 외부 전원을 공급하는 주 전원 공급부; 상기 검사부의 촬상 신호를 일시적으로 저장하는 메모리부; 상기 주 전원 공급부에서 공급되는 높은 전압의 전원을 낮은 전압의 전원으로 변압하여 상기 메모리부에 공급하는 전원 보드; 상기 주 전원 공급부의 전원이 차단되는 경우, 상기 메모리부에 전원을 공급하여 저장된 촬상 신호를 보호하는 보조 전원 공급부;를 포함한 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치를 제공한다.According to the present invention, there is provided an image processing apparatus comprising: an inspection unit that photographs an object to be inspected and provides an imaging signal; A vision board for signal processing an image pickup signal of the inspection unit; A main power supply unit for supplying external power to the power board of the inspection unit and the vision board; A memory unit for temporarily storing an image pickup signal of the inspection unit; A power board for transforming the high voltage power supplied from the main power supply unit into a low voltage power supply and supplying the power to the memory unit; And an auxiliary power supply unit for supplying power to the memory unit and protecting the stored image signal when the power of the main power supply unit is shut off.

기판 검사 장치, 보조 전원 공급부, 비젼 보드, 메모리부, 전원보드 감지센서Substrate inspection device, auxiliary power supply part, vision board, memory part, power board detection sensor

Description

기판 검사 장치{Apparatus for testing substrate}[0001] Apparatus for testing substrate [0002]

도 1은 종래의 기판 검사 장치를 도시한 개략도이다.1 is a schematic view showing a conventional substrate inspection apparatus.

도 2는 종래의 기판 검사 장치에 적용되는 개략적인 전원 공급 블록도이다.2 is a schematic power supply block diagram applied to a conventional substrate inspection apparatus.

도 3은 본 발명에 따른 일실시예의 기판 검사 장치를 도시한 개략도이다.3 is a schematic view showing a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 기판 검사 장치에 적용되는 개략적인 전원 공급 블록도이다.4A and 4B are schematic power supply block diagrams applied to the substrate inspection apparatus of the present invention.

도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 기판 검사 장치의 메모리부를 구동시키는 회로도이다.5A and 5B are circuit diagrams for driving a memory unit of a substrate inspection apparatus according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>Description of the Related Art

110 : 기판 검사 장치 112 : 기판 거치대110: substrate inspection apparatus 112: substrate holder

114 : 검사부 118 : 기판114: Inspection section 118:

120 : 주 전원 공급부 130 : 비젼 보드(Vision Board)120: main power supply unit 130: vision board (Vision Board)

132 : 메모리부(Memory) 134 : 전원 보드132: Memory 134: Power board

136, 140 : 보조 전원 공급부 138 : 전원 보드 감지센서136, 140: Auxiliary power supply unit 138: Power board detection sensor

본 발명은 기판 검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 본체 내부로 반입시킨 기판의 결함 여부를 검사하여 출력된 촬상 신호를 임시로 저장하는 메모리부(RAM)가 마련된 기판 검사 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate inspection apparatus, and more particularly, to a substrate inspection apparatus provided with a memory unit (RAM) for temporarily storing an image pickup signal outputted from an inspection unit.

일반적으로, 기판 검사 장치는 외부에서 반입되는 기판의 이물질 또는 파손 여부를 촬상부에 의해 촬상하여 얻은 촬상 신호를 통해 기판의 이물질 여부와 기판의 파손여부를 판별하는 장치이다.2. Description of the Related Art In general, a substrate inspection apparatus is an apparatus for discriminating whether or not a substrate is foreign matter and whether or not a substrate is broken through an image pickup signal obtained by picking up an image of an object or damage of a substrate brought in from the outside by an image pickup section.

여기서, 촬상한 결과값으로 기판의 상태를 판별하기 위한 제어부가 마련되며 상술한 제어부에는 기판 상태의 결과값을 임시적으로 저장할 수 있는 메모리부(Memory)가 마련된다.Here, a control unit for determining the state of the substrate is provided as a result of imaging, and a memory unit is provided in the control unit to temporarily store the result of the substrate state.

상술한 메모리부는 휘발성으로 전원이 차단되면 내부의 촬상 신호를 모두 잃어버리게 되며, 점진적인 기판의 사이즈 증가에 따라 검사 장치의 고속처리가 요구되고 있는 실정으로, 그에 따라 프로세서의 빠른 촬상 신호 처리를 위해 SRAM, SDRAM, DDR 등의 고속 휘발성 메모리를 사용한다.In the memory unit described above, when the power supply is shut off due to volatility, all the internal imaging signals are lost, and high-speed processing of the inspection apparatus is required according to an increase in the size of a progressive substrate. , SDRAM, DDR, and other high-speed volatile memories.

종래의 기판 검사 장치(10)는 도 1에 도시된 바와 같이 기판(18)의 결함 검사가 내부에서 이루어지며 상부에 기판(18)이 거치되는 기판 거치대(12)와, 상술한 기판 거치대(12)의 상측에 위치되며 기판(18)의 결함 여부를 촬상하는 광원 조사부와 반사 검사용 카메라로 이루어진 검사부(14)로 구성된다. 여기서, 상술한 기판 검사 장치(10)의 입구에 기판(18)을 반입 및 반출시키는 운송 로봇(16)이 마련된다.The conventional substrate inspecting apparatus 10 includes a substrate holder 12 on which a defect inspection of the substrate 18 is performed inside and on which a substrate 18 is mounted as shown in FIG. 1, a substrate holder 12 And an inspection unit 14 composed of a light source irradiating unit for imaging the defect of the substrate 18 and a camera for reflection inspection. Here, a transfer robot 16 is provided for loading and unloading the substrate 18 at the entrance of the substrate inspecting apparatus 10 described above.

상술한 기판 거치대(12)의 상부 영역에 기판(18)을 적재하여 검사부(14)중 광원을 기판에 조사하는 광원 조사부와, 상술한 광원 조사부에 조사된 광원이 기판(18)에 의하여 반사된 것을 촬영하는 반사 검사용 카메라에 의해 검사하게 된다.A light source irradiating section for irradiating the substrate with the light source on the inspection section 14 by mounting the substrate 18 on the upper region of the substrate holder 12 as described above and a light source irradiating section for irradiating the light source irradiated on the light source irradiating section The camera is inspected by a reflection inspection camera which photographs the reflection.

상술한 기판 검사 장치(10)에 외부의 인가 전원이 공급되는 과정은 도 2에 도시된 바와 같이 기판 검사 장치(10)내에 외부 전원이 인가되는 주 전원 공급부(20)가 마련되고 상술한 주 전원 공급부(20)의 전원이 검사부(14)와 비젼 처리 전문용 보드인 비젼 보드(30)의 전원 보드(34)로 전원이 공급되어 상술한 검사부(14)와 비젼 보드(30)를 구동시킨다. 상술한 전원 보드(34)는 주 전원 공급부(20)으로부터의 높은 전압을 상술한 검사부(14)와 비젼 보드(30)가 구동되는 적정 전압으로 낮추어 각각의 부품에 공급하는 기능을 갖는다.As shown in FIG. 2, a process of supplying external power to the substrate inspection apparatus 10 is performed by providing a main power supply unit 20 to which external power is applied in the substrate inspection apparatus 10, The power of the power supply unit 20 is supplied to the inspection unit 14 and the power supply board 34 of the vision board 30 as the vision processing professional board to drive the inspection unit 14 and the vision board 30 described above. The power supply board 34 has a function of supplying a high voltage from the main power supply unit 20 to each of the components by lowering the voltage to the appropriate voltage at which the inspection unit 14 and the vision board 30 are driven.

그러나, 종래에는 외부 전원이 공급된 주 전원 공급부(20)로부터 전원이 인가되지 않을 경우, 전원 보드(34) 쪽으로 전원이 차단되어 그로 인해 메모리부(32)에도 전원이 차단되어 상술한 메모리부(32)에 일시적으로 저장된 모든 촬상 신호가 손실되며, 상술한 주 전원 공급부(20)의 전원이 다시 인가되더라도 기판 검사 장치(10)는 정지된 부분부터 기판(18)의 결함 검사를 진행하지 않고 처음부터 다시 진행해야 하므로 검사 시간이 상승되는 문제점이 있었다.However, when power is not applied from the main power supply unit 20 supplied with the external power, the power supply to the power supply board 34 is cut off and the power is also cut off to the memory unit 32, All the imaging signals temporarily stored in the main power supply unit 32 are lost and even if the power supply of the main power supply unit 20 is applied again, the substrate inspection apparatus 10 does not proceed to defect inspection of the substrate 18 from the stopped portion So that the inspection time is increased.

본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 주 전원 공급부에 전원이 차단되거나, 그 밖의 문제로 전원이 주 전원 공급부로부터 비젼 보드에 인가되지 않을 경우, 보조 전원 공급부의 보조 전원으로 비젼 보드의 메모리부를 작동시켜 전원 차단으로 인해 촬상 신호가 손실되는 것을 방지할 수 있게 한 기판 검사 장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide an auxiliary power supply unit, a main power supply unit, And it is an object of the present invention to provide a substrate inspection apparatus capable of preventing a loss of an image pickup signal due to power cut-off by operating a memory unit of the vision board with a power supply.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 피검사체를 촬영하여 촬상 신호를 제공하는 검사부; 상기 검사부의 촬상 신호를 신호 처리하는 비젼보드; 상기 검사부와 비젼 보드의 전원 보드에 외부 전원을 공급하는 주 전원 공급부; 상기 검사부의 촬상 신호를 일시적으로 저장하는 메모리부; 상기 주 전원 공급부에서 공급되는 높은 전압의 전원을 낮은 전압의 전원으로 변압하여 상기 메모리부에 공급하는 전원 보드; 상기 주 전원 공급부의 전원이 차단되는 경우, 상기 메모리부에 전원을 공급하여 저장된 촬상 신호를 보호하는 보조 전원 공급부;를 포함함으로써, 기판 검사 장치에서 기판의 결함 여부를 검사부에 의해 검사하여 출력된 촬상 신호를 일시적으로 저장하는 메모리부에 전원을 공급하는 주 전원 공급부의 전원이 차단되는 경우 상술한 메모리부에 전원을 공급하는 보조 전원 공급부를 마련하여 검사 장치의 주 전원 공급부의 전원이 차단되어도 보조 전원 공급부에서 공급하는 전원으로 비젼 보드의 메모리부에 공급하므로 바람직하다.According to an aspect of the present invention, there is provided an image processing apparatus including: an inspection unit that photographs an object to be inspected and provides an imaging signal; A vision board for signal processing an image pickup signal of the inspection unit; A main power supply unit for supplying external power to the power board of the inspection unit and the vision board; A memory unit for temporarily storing an image pickup signal of the inspection unit; A power board for transforming the high voltage power supplied from the main power supply unit into a low voltage power supply and supplying the power to the memory unit; And an auxiliary power supply unit for supplying power to the memory unit to protect the stored image signal when the power of the main power supply unit is shut off. The substrate inspection apparatus checks whether the substrate is defective by the inspection unit, When the power of the main power supply unit for supplying power to the memory unit for temporarily storing signals is shut off, an auxiliary power supply unit for supplying power to the memory unit is provided so that even when the power of the main power supply unit of the testing apparatus is shut off, And is supplied to the memory unit of the vision board with the power supplied from the supply unit.

또한, 본 발명에서의 보조 전원 공급부는, 상기 주 전원 공급부의 전원이 저장되었다가 주 전원 공급부의 전원이 차단되는 동시에 전원을 공급하는 캐패시터(Capacitor)인 것이 바람직하다.In addition, the auxiliary power supply unit of the present invention is preferably a capacitor that stores power of the main power supply unit and supplies power while the main power supply unit is powered off.

또한, 본 발명에서의 보조 전원 공급부는, 상기 주 전원 공급부의 전원이 차 단되는 동시에 자체적으로 전원이 저장된 전원을 공급하는 배터리(battery)인 것이 바람직하다.In addition, the auxiliary power supply unit in the present invention is preferably a battery that supplies power to the main power supply unit while the power supply thereof is shut off.

또한, 본 발명에서는 보조 전원 공급부를 평상시에는 차단하다가 상기 주 전원 공급부가 차단되면 보조 전원 공급부를 연결하는 보조전원 연결 스위치를 더 마련함으로써, 상술한 보조전원 연결 스위치의 작동에 의해 주 전원 공급부의 전원 공급이 차단되면 보조 전원 공급부로 연결되어 그 보조 전원 공급부의 전원이 메모리에 공급되므로 바람직하다.According to the present invention, there is further provided an auxiliary power connection switch for interrupting the auxiliary power supply unit at normal times and for connecting the auxiliary power supply unit when the main power supply unit is interrupted. By the above operation of the auxiliary power supply connection switch, If the supply is interrupted, it is preferable that the auxiliary power supply is connected to the auxiliary power supply and the power of the auxiliary power supply is supplied to the memory.

또한, 본 발명에서는 전원 보드의 이상 여부를 감지하는 전원 보드 감지센서가 더 마련됨으로써, 주 전원 공급부와 전원 보드에 개입되어 상술한 주 전원 공급부에서는 정상적으로 전원을 공급하되 그 전원을 공급받는 전원 보드의 문제가 발생되면 상술한 전원 보드 감지센서가 이를 감지하므로 바람직하다.According to the present invention, there is further provided a power supply board detection sensor for detecting an abnormality of the power supply board, so that the power supply board detects the abnormality of the power supply board by controlling the main power supply unit and the power supply board, If a problem occurs, the above-described power supply board detection sensor senses it and is preferable.

또한, 본 발명에서의 전원 보드 감지센서가 감지된 신호를 출력하면 검사부로 공급하는 주 전원 공급부의 전원을 차단하는 인터록크 스위치(Interlock Switch)가 더 마련함으로써, 상술한 전원 보드에 문제가 발생되어 상술한 전원 보드 감지센서가 작동하면 인터록크 스위치에 의해 검사기로 공급하는 전원을 차단하여 검사 장치가 오작동하는 것을 방지하므로 바람직하다.In addition, when the power board detection sensor of the present invention outputs a detected signal, an interlock switch for interrupting the power of the main power supply unit supplied to the inspection unit is further provided, thereby causing a problem in the power supply board When the power supply board detection sensor is operated, it is preferable that the power supply to the inspection device is cut off by the interlock switch to prevent the inspection device from malfunctioning.

또한, 본 발명에서의 인터록크 스위치가 작동하면 주 전원 공급부의 전원이 차단됨과 동시에 음성으로 상황을 출력하는 음성 출력부를 더 포함함으로써, 작업자는 검사 장치가 오작동하는 것임을 청각적으로 인지할 수 있으므로 바람직하다.Further, when the interlock switch according to the present invention is operated, the power supply of the main power supply unit is shut off, and at the same time, an audio output unit for outputting a situation by voice is further included, so that the operator can perceive audibly that the testing apparatus is malfunctioning. Do.

이하, 본 발명의 기판 검사 장치를 첨부도면을 참조하여 실시예들을 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 바람직한 일실시예의 기판 검사 장치는 도 3에 도시한 바와 같이 외부 전원이 공급되는 기판 검사 장치(110)와, 기판(118)이 적재되는 기판 거치대(112)와, 광원 조사부와 반사 검사용 카메라로 이루어지되 피검사체를 촬영하여 촬상 신호를 제공하는 검사부(114)로 구성된다. 그리고, 상술한 기판 검사 장치(110)로 공급되는 외부 전원은 이 기판 검사 장치(110)의 내부에 구비된 주 전원 공급부(120)를 거쳐 검사부(114)와, 상술한 검사부(114)의 촬상 신호를 신호 처리하는 비젼 보드(130)의 전원 보드(134)를 구동시키며, 상술한 전원 보드(134)의 회로상에 보조 전원 공급부(136)가 마련된다.As shown in FIG. 3, the substrate inspection apparatus of the preferred embodiment of the present invention includes a substrate inspection apparatus 110 to which external power is supplied, a substrate holder 112 on which the substrate 118 is mounted, And an inspection unit 114 for taking an image of the subject and providing an imaging signal. The external power supplied to the substrate inspection apparatus 110 described above is passed through the main power supply unit 120 provided in the substrate inspection apparatus 110 to the inspection unit 114 and the above- The auxiliary power supply unit 136 is provided on the circuit of the power supply board 134 which drives the power supply board 134 of the vision board 130 that processes signals.

상술한 기판 거치대(112)는 본체(10)의 내부 하측 영역에 마련되며, 상술한 본체(110)의 입구부에 마련된 운송 로봇(116)에 의해 기판(120)이 그 상부 영역에 적재된다.The substrate holder 112 described above is provided in the lower region inside the main body 10 and the substrate 120 is stacked on the upper region by the transfer robot 116 provided at the inlet of the main body 110.

이때, 상술한 기판 거치대(112)는 소정 간격으로 공기 분사 노즐(도면에 미도시)이 형성되어 그 분사 노즐에 의하여 상방으로 분사되는 공기의 부양력에 의해 기판(120)을 들어올리고 이송할 수도 있으며, 다른 방법으로는 소정 간격으로 마련 된 롤러(도면에 미도시)의 회전에 의하여 기판(118)을 이송할 수도 있으며, 그 밖에 다양한 방법에 의하여 기판(118)을 이송시킬 수 있다. 도 3에서는 기판 거치대(112)에 기판 검사 장치의 입구측에 마련된 운송 로봇(116)에 의해 기판(118)을 안착시키는 방법을 도시한다.At this time, the above-described substrate holder 112 may have an air injection nozzle (not shown) formed at a predetermined interval, and the substrate 120 may be lifted and conveyed by the lifting force of the air injected upward by the injection nozzle Alternatively, the substrate 118 may be transferred by a rotation of a roller (not shown) provided at a predetermined interval, or the substrate 118 may be transferred by various other methods. 3 shows a method of placing the substrate 118 on the substrate holder 112 by the transfer robot 116 provided at the entrance side of the substrate inspection apparatus.

상술한 검사부(114)중 기판 검사 장치(110)내 상측에 마련된 광원 조사부는, 기판 검사 장치(114)의 상측 소정 부분에 마련되어 기판(118) 표면에 검사용 광원을 조사한다. 그리고, 상술한 기판 검사 장치(110)의 광원 조사부와 소정 거리 이격된 상태로 마련된 반사 검사용 카메라는 광원 조사부에 의하여 조사된 광원이 기판(118)에 의하여 반사된 빛을 촬상하며, 상술한 반사 검사용 카메라에 의하여 촬상 정보를 받아 기판(120)의 결함에 따른 불량 여부를 판단하여 출력된 촬상 신호를 비젼 보드(130)의 메모리부(132)에 임시적으로 저장한다.The light source irradiating unit provided on the upper side of the substrate inspecting apparatus 110 among the inspection units 114 described above is provided at a predetermined upper portion of the substrate inspecting apparatus 114 to irradiate the surface of the substrate 118 with a light source for inspection. The reflection inspection camera provided at a predetermined distance from the light source irradiating unit of the above-described substrate inspecting apparatus 110 images the light reflected by the substrate 118 by the light source irradiated by the light source irradiating unit, The inspection camera receives the imaging information and determines whether or not a defect is caused by the defect of the substrate 120 and temporarily stores the output imaging signal in the memory unit 132 of the vision board 130.

여기서, 상술한 메모리부(132)에 저장된 촬상 신호에 따라 기판(118)의 파손 여부를 판단하는 제어부(도면에 미도시)가 더 마련된다.Here, a control unit (not shown) for determining whether the substrate 118 is damaged or not is further provided in accordance with the image pickup signal stored in the memory unit 132 described above.

또한, 상술한 반사 검사용 카메라는, 기판(118) 상에 파티클 등 이물질이 존재하는지 여부, 얼룩이 존재하는지의 여부, 돌기 부분이 정상적으로 형성되었는지의 여부 및 핀 홀(pin hole)이 제대로 형성되어 있는지 여부를 광원 조사부의 검사용 광원을 조사하여 검사한다.In addition, the above-described inspection camera for reflection inspection has a function of checking whether or not foreign substances such as particles are present on the substrate 118, whether or not there are smudges, whether or not protrusion portions are normally formed, and whether pin holes are properly formed The inspection light source of the light source irradiating unit is inspected for inspection.

상술한 비젼 보드(Vision Board : 130)는 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이 주 전원 공급부(120)의 전원을 공급받으며, 검사부(114)에서 기판(118)의 상태를 검사한 촬상 신호가 저장되는 메모리부(132)와 전원 보드(134)와 보조 전원 공 급부(136) 등의 각종 회로소자 등이 마련된다.The vision board 130 receives power from the main power supply unit 120 as shown in FIG. 4A and FIG. 4B. When the inspection unit 114 detects the state of the board 118, And various circuit elements such as a power supply board 134 and an auxiliary power supply 136 are provided.

여기서, 상술한 메모리부(132)는 검사부(114)에서 기판(118)의 결함 여부를 촬상한 촬상 신호가 임시적으로 저장되는 공간으로 전원 보드(134)에서 공급하는 전원에 의해 작동된다.The memory unit 132 described above is operated by a power source supplied from the power supply board 134 into a space in which an image pickup signal for picking up a defect of the board 118 in the inspection unit 114 is temporarily stored.

상술한 전원 보드(134)는 주 전원 공급부(120)에서 공급되는 높은 전압의 전원을 낮은 전압의 전압으로 하강시켜 비젼 보드(130)의 각 요소들에 공급하여 작동할 수 있도록 한다.The power supply board 134 may supply the main power supply unit 120 with a low voltage to supply power to the components of the vision board 130 so that the power supply board 134 can operate.

상술한 보조 전원 공급부(136)는 캐패시터(Capacitor)로 전원 보드(134)의 앞단에 마련되어 평상시에는 주 전원 공급부(120)의 전원을 저장하였다가, 상술한 주 전원 공급부(120)의 전원이 차단되는 동시에 상술한 메모리부(132)에 전원을 공급하여 저장된 촬상 신호를 보호하는 보조 전원 공급부그에 대체하여 메모리부(132)에 전원을 공급한다.The auxiliary power supply unit 136 is a capacitor that is provided at a front end of the power supply board 134 to store the power of the main power supply unit 120 in the normal state and the power of the main power supply unit 120 is cut off And supplies power to the memory unit 132 in place of the auxiliary power supply unit that supplies power to the memory unit 132 to protect the stored image pickup signal.

여기서, 상술한 비젼 보드(130)내에 전원 보드(134)의 전원 공급 여부를 체킹(Checking)하는 전원 보드 감지센서(138)를 마련하여 이 전원 보드 감지센서(138)에 의해 주 전원 공급부(120)의 공급 전원은 정상으로 공급되지만 전원 보드(134)에 이상이 발생되어 메모리부(132)에 공급되는 전원 공급 문제가 발생하면 검사부(114)로 공급되는 주 전원 공급부(120)의 전원 공급을 차단하여 기판 검사 장치(110)가 오작동하는 것을 방지한다.The power board detection sensor 138 for checking whether the power board 134 is powered on is provided in the vision board 130 and the power board detection sensor 138 detects the presence or absence of the power board 134 When an abnormality occurs in the power supply board 134 and a power supply problem to be supplied to the memory unit 132 occurs, the power supply of the main power supply unit 120, which is supplied to the inspection unit 114, Thereby preventing the substrate inspection apparatus 110 from malfunctioning.

그리고, 상술한 전원 보드 감지센서(138)가 감지된 신호를 출력하면 검사부(114)로 공급하는 주 전원 공급부(120)의 전원을 차단하는 인터록크 스위치 (Interlock Switch : S)가 더 마련된다. An interlock switch S for shutting off the power of the main power supply unit 120 to be supplied to the inspection unit 114 is further provided when the power supply board detection sensor 138 outputs a sensed signal.

한편, 상술한 전원 보드 감지센서(138)에 주 전원 공급부(120)의 전원 공급을 인터록크 스위치(S)에 의해 상술한 검사부(114)로 공급되는 전원을 차단함과 동시에 음성으로 출력되어 청각적으로 작업자가 인지할 수 있게 음성 출력부(도면에 미도시)가 더 마련된다.Meanwhile, the power supply of the main power supply unit 120 to the power supply board detection sensor 138 is interrupted by the interlock switch S to cut off the power supplied to the inspection unit 114, A voice output unit (not shown in the figure) is further provided so that the operator can recognize the voice output unit.

여기서, 상술한 메모리부(132)를 작동시키는 전원 공급 회로의 구성은 도 5a에 도시된 바와 같이 주 전원 공급부(120)와 전기적으로 연결된 메모리부(132)의 도중에 상술한 주 전원 공급부(120)와 병렬로 연결된 보조 전원 공급부(136)가 마련된다.The configuration of the power supply circuit for operating the memory unit 132 is the same as that of the main power supply unit 120 described above in the middle of the memory unit 132 electrically connected to the main power supply unit 120, And an auxiliary power supply unit 136 connected in parallel.

즉, 평상시에는 상술한 주 전원 공급부(120)의 공급 전원이 메모리부(132)를 작동시키며, 이때 전원이 공급되고 있는 동안에는 보조 전원 공급부(136)에 상술한 주 전원 공급부(120)와 동일한 전원이 충전되며, 이 주 전원 공급부(120)의 전원 공급 이상으로 이 주 전원 공급부(120)의 전원이 차단되면 전원이 충전된 보조 전원 공급부(136)가 전원 공급원이 되어 상술한 보조 전원 공급부(136)의 전원이 메모리부(132)를 작동시킨다.That is, normally, the power supply of the main power supply unit 120 operates the memory unit 132. At this time, while the power supply is being supplied to the main power supply unit 120, When the power of the main power supply unit 120 is disconnected from the power supply of the main power supply unit 120, the auxiliary power supply unit 136 charged with the power becomes the power supply source and the auxiliary power supply unit 136 (Not shown) operate the memory unit 132. [

또한, 상술한 메모리부(132)를 작동시키는 회로의 다른 구성은 도 5b에 도시된 바와 같이 주 전원 공급부(120)와 전기적으로 연결된 메모리부(132)의 도중에 배터리(Battery)인 보조 전원 공급부(140)를 병렬로 연결시키되 상술한 주 전원 공급부(120)의 전원 차단시 보조전원 연결 스위치(142)를 작동시킴에 따라 주 전원 공급부(120)의 회로는 차단되고 보조 전원 공급부(140)의 회로와 연결하여 상술한 보조 전원 공급부(140)에서 공급하는 전원으로 메모리부(132)를 작동시킬 수 있도록 하는 것이다.The other structure of the circuit for operating the memory unit 132 is the auxiliary power supply unit (battery) 130 in the middle of the memory unit 132 electrically connected to the main power supply unit 120 The circuit of the main power supply unit 120 is cut off and the circuit of the auxiliary power supply unit 140 is turned off by turning on the auxiliary power connection switch 142 when the power of the main power supply unit 120 is cut off, So that the memory unit 132 can be operated by the power supplied from the auxiliary power supply unit 140 described above.

여기서, 상술한 보조 전원 공급부(140)는 상기 주 전원 공급부(120)의 전원이 차단되는 동시에 자체적으로 저장된 전원을 공급한다.Here, the auxiliary power supply 140 supplies power stored in the main power supply 120 to the main power supply 120 while the auxiliary power supply 140 is turned off.

즉, 평상시에는 상술한 주 전원 공급부(120)의 전원이 메모리부(132)를 작동시키며, 전원 공급의 이상으로 주 전원 공급부(120)의 전원이 차단되면 코일에 플레밍의 왼손 법칙이 적용되어 전류가 역방향으로 흐르며 자기장 또한 역방향으로 작용하여 평상시에 주 전원 공급부(120)에 연결된 보조전원 연결 스위치(142)가 보조 전원 공급부(140)쪽으로 연결되면서 이 보조 전원 공급부(136)의 전원으로 메모리부(132)를 작동시킬 수 있도록 하는 것이다.That is, the power of the main power supply unit 120 operates the memory unit 132, and when the power of the main power supply unit 120 is cut off due to abnormality of the power supply, the left hand rule of the fleming is applied to the coil, The magnetic field also flows in the reverse direction and the auxiliary power connecting switch 142 connected to the main power supplying unit 120 is normally connected to the auxiliary power supplying unit 140 while the magnetic field is also acting in the reverse direction, 132 to operate.

그러므로, 본 발명의 기판 검사 장치는 도 3 및 도 4a와 도 4b에 도시된 바와 같이 운송 로봇(116)에 의해 기판(118)을 외부의 인가 전원에 의해 작동하는 기판 검사 장치(110)의 거치대(112)에 거치시켜 검사하는 과정에서 검사부(114)에 의해 촬상된 검사 촬상 신호가 비젼 보드(130)의 메모리부(132)에 임시적으로 저장되고 상술한 비젼 보드(130)에서 비교 연산하여 기판(118)의 결함 여부를 판단함에 있어, 외부 전원이 주 전원 공급부(120)에서 검사부(114)와 메모리부(132) 등을 구동시키는 비젼 보드(130)의 전원 보드(134)로 공급되어야 하지만 상술한 주 전원 공급부(120)에 문제가 발생되어 전원 공급이 차단되면 보조 전원 공급부(136)의 전원이 비젼 보드(130)의 메모리부(132)에 공급되어 기판(118)의 결함 검사에 따른 촬상 신호의 손실없이 상술한 메모리부(132)에 저장된다.3 and 4A and 4B, the substrate inspection apparatus according to the present invention is configured such that the transfer robot 116 transfers the substrate 118 to the substrate holder 110 of the substrate inspection apparatus 110, The inspecting image signals picked up by the inspecting unit 114 are temporarily stored in the memory unit 132 of the vision board 130 and are compared with each other by the vision board 130 described above, The external power supply must be supplied from the main power supply unit 120 to the power supply board 134 of the vision board 130 that drives the inspection unit 114 and the memory unit 132 and the like The power supply of the auxiliary power supply unit 136 is supplied to the memory unit 132 of the vision board 130 to perform a defect inspection of the substrate 118 And is stored in the memory section 132 without loss of the imaging signal .

여기서, 상술한 전원 보드(134)에 마련된 전원 보드 감지센서(138)에 의해 주 전원 공급부(120)의 전원은 전원 보드(134)에 정상으로 공급되지만 상술한 전원 보드(134)가 정상적으로 작동하지 않을 때 상술한 전원 보드 감지센서(138)가 이를 감지하여 검사부(114)에 전원을 공급하는 주 전원 공급부(120)의 전원을 차단하므로 검사부(114)의 오작동을 방지한다.Although the power of the main power supply unit 120 is normally supplied to the power supply board 134 by the power supply board detection sensor 138 provided in the power supply board 134 described above, The power board detection sensor 138 detects the presence of the main power supply unit 120 and cuts off the power of the main power supply unit 120 that supplies power to the test unit 114 to prevent the malfunction of the test unit 114.

다른 방법으로는, 상술한 주 전원 공급부(120)의 전원 공급이 차단되면 코일에 전류가 역방향으로 흐르고 자기장도 역방향으로 작용하여 주 전원 공급부(120)에 연결된 보조전원 연결 스위치(142)가 배터리인 보조 전원 공급부(136)쪽으로 연결되면서 이 보조 전원 공급부(136)의 전원으로 메모리부(132)를 작동시켜 이 메모리부(132)의 촬상 신호를 지워지지 않게 한다.Alternatively, when the power supply to the main power supply unit 120 is interrupted, the coil flows in the reverse direction and the magnetic field also acts in a reverse direction, so that the auxiliary power connection switch 142, which is connected to the main power supply unit 120, The auxiliary power supply unit 136 is connected to the auxiliary power supply unit 136 and the memory unit 132 is operated by the power of the auxiliary power supply unit 136 so that the imaging signal of the memory unit 132 is not erased.

그리고, 상술한 전원 보드 감지센서(138)가 작동하면 작업자가 비상 상태임을 쉽게 인지할 수 있게 음성으로 출력되는 음성 출력부가 마련된다. 그러므로, 기판 검사 장치(110)의 기판(118) 검사 작업 도중에 주 전원 공급부(120)의 전원이 차단되면 작업자는 처음부터 기판(118)을 다시 검사하거나, 기존에 멈추었던 곳부터 계속해서 검사하게 될 것인지를 결정하게 된다.When the power board detection sensor 138 is operated, a voice output unit is provided for outputting voice so that the operator can easily recognize the emergency state. Therefore, when the power of the main power supply unit 120 is cut off during the operation of inspecting the substrate 118 of the substrate inspection apparatus 110, the operator checks the substrate 118 again from the beginning or continuously checks the substrate 118 Will be determined.

그러므로, 상술한 주 전원 공급부(120)의 공급 전원이 차단되거나, 상술한 주 전원 공급부(120)에서 전원은 공급하지만 전원 보드(134)에 문제가 발생되어 메모리부(132)에 전원이 공급되지 않을 경우, 기판(118)을 검사한 검사 촬상 신호가 임시적으로 저장된 메모리부(132)의 정보가 손실되는 것을 방지할 수 있게 축전지 또는 배터리 역할을 하는 보조 전원 공급부(136)를 부가하여 주 전원 공급부(120) 의 전원이 차단되어도 상술한 메모리부(132)에 보조 전원 공급부(136)의 전원을 공급할 수 있으므로 검사 촬상 신호의 손실을 방지할 수 있다.Therefore, when the supply voltage of the main power supply unit 120 is cut off or the main power supply unit 120 supplies power, a problem occurs in the power supply board 134 and power is not supplied to the memory unit 132 An auxiliary power supply unit 136 serving as a battery or a battery is added to prevent loss of information stored in the memory unit 132 temporarily stored in the inspection image pickup signal inspecting the substrate 118, The power of the auxiliary power supply unit 136 can be supplied to the memory unit 132 even if the power supply of the inspection image pickup unit 120 is cut off.

이와 같은 본 발명의 기판 검사 장치는 비젼 보드에 마련된 전원 보드의 앞단에 축전지인 보조 전원 공급부를 구비하여 기판을 검사하는 과정에서 평상시에는 주 전원 공급부의 전원을 보조 전원 공급부에 저장하였다가 주 전원 공급부로부터 전원 보드에 전원이 공급되지 않을 경우 상술한 보조 전원 공급부로부터 전원을 메모리부가 공급받아 기판의 검사값인 촬상 신호가 단전에 의해 손실되는 것을 방지하는 효과가 있다.In the substrate inspecting apparatus of the present invention, the auxiliary power supply unit, which is a storage battery, is provided at the front end of the power supply board provided on the vision board. In the process of inspecting the substrate, the power of the main power supply unit is normally stored in the auxiliary power supply unit, It is possible to prevent an image pickup signal, which is an inspection value of the board, from being lost due to a power failure when the memory unit is supplied with power from the auxiliary power supply unit described above.

또한, 상술한 비젼 보드 내에 주 전원 공급부에서 전원 보드로 전원 공급하는 공급 여부를 검출하는 전원 보드 감지센서를 마련하여 주 전원 공급부에서의 전원 공급이 정상적으로 이루어지되 전원 보드의 전원 공급에 이상이 발생할 때 상술한 전원 보드 감지센서가 이를 감지하여 검사부로 공급되는 주 전원 공급부의 전원을 차단하여 기판 검사 장치가 오작동하는 것을 방지하는 효과가 있다.In addition, a power board detection sensor for detecting power supply from the main power supply unit to the power supply board may be provided in the vision board, so that power supply from the main power supply unit is normally performed, The power supply board detection sensor detects the power supply board detection sensor and cuts off the power of the main power supply unit supplied to the inspection unit, thereby preventing malfunction of the board inspection apparatus.

Claims (8)

피검사체를 촬영하여 촬상 신호를 제공하는 검사부 ;An inspection unit which photographs an object to be inspected and provides an imaging signal; 상기 검사부의 촬상신호를 신호 처리하는 비젼보드 ;A vision board for signal processing an image pickup signal of the inspection unit; 상기 검사부와 비젼 보드의 전원 보드에 외부 전원을 공급하는 주 전원 공급부 ;A main power supply unit for supplying external power to the power board of the inspection unit and the vision board; 상기 검사부의 촬상신호를 일시적으로 저장하는 메모리부 ;A memory unit for temporarily storing an image pickup signal of the inspection unit; 상기 주 전원 공급부에서 공급되는 높은 전압의 전원을 낮은 전압의 전원으로 변압하여 상기 메모리부에 공급하는 전원 보드 ;A power board for transforming the high voltage power supplied from the main power supply unit into a low voltage power supply and supplying the power to the memory unit; 상기 주 전원 공급부의 전원이 차단되는 경우, 상기 메모리부에 전원을 공급하여 저장된 촬상신호를 보호하는 보조 전원 공급부 ;An auxiliary power supply unit for supplying power to the memory unit to protect the stored image signal when the main power supply unit is powered off; 상기 전원 보드의 이상 여부를 감지하고 이상이 있는 경우 상기 검사부로 공급되는 주 전원 공급부의 전원 공급을 차단하도록 하는 전원 보드 감지 센서 ;A power board detection sensor for detecting an abnormality of the power supply board and for interrupting a power supply to the main power supply unit supplied to the checking unit if there is an abnormality; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.Wherein the substrate inspection apparatus comprises: 제 1항에 있어서, 상기 보조 전원 공급부는,The plasma display apparatus of claim 1, 상기 주 전원 공급부의 전원이 저장되었다가 주 전원 공급부의 전원이 차단되는 동시에 전원을 공급하는 캐패시터(Capacitor)인 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.Wherein the capacitor is a capacitor for storing power of the main power supply unit and supplying power to the main power supply unit while being cut off. 제 1항에 있어서, 상기 보조 전원 공급부는,The plasma display apparatus of claim 1, 상기 주 전원 공급부의 전원이 차단되는 동시에 자체적으로 저장된 전원을 공급하는 배터리(battery)인 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.Wherein the main power supply unit is a battery for supplying power stored in the main power supply unit when the main power supply unit is turned off. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 보조 전원 공급부를 평상시에는 차단하다가 상기 주 전원 공급부가 차단되면 보조 전원 공급부를 연결하는 보조전원 연결 스위치를 더 마련하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.Further comprising an auxiliary power connection switch for disconnecting the auxiliary power supply unit at normal times and for connecting the auxiliary power supply unit when the main power supply unit is disconnected. 제 4항에 있어서,5. The method of claim 4, 상기 보조전원 연결 스위치는 솔레노이드 스위치(solenoid switch)인 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.Wherein the auxiliary power connection switch is a solenoid switch. 삭제delete 제 1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 전원 보드 감지센서가 감지된 신호를 출력하면 검사부로 공급하는 주 전원 공급부의 전원을 차단하는 인터록크 스위치(Interlock Switch)가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.Further comprising an interlock switch for shutting off the power of a main power supply unit supplied to the inspection unit when the power supply board detection sensor outputs a detected signal. 제 7항에 있어서,8. The method of claim 7, 상기 인터록크 스위치가 작동하면 주 전원 공급부의 전원이 차단됨과 동시에 음성으로 상황을 출력하는 음성 출력부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.Further comprising an audio output unit for outputting a situation by voice when the main power supply unit is powered off when the interlock switch is operated.
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