KR100636348B1 - Scanning Micro-mirror - Google Patents

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Abstract

본 발명은 입력광을 소정의 방향으로 반사시키는 마이크로미러를 가동시킴으로써, 반사광의 방향을 변조하는 광 스캐닝 소자에 관한 것이다.The present invention relates to an optical scanning element for modulating the direction of reflected light by operating a micromirror for reflecting input light in a predetermined direction.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 마이크로미러는 입력광을 반사시키는 반사면이 형성된 미러판 박막과 상기 미러판 박막을 지지하는 프레임 구조물 및 이들을 기판과 연결하는 탄성 굴신 구조물을 포함한다.In order to achieve the above object, the micromirror of the present invention includes a mirror plate thin film having a reflective surface for reflecting input light, a frame structure for supporting the mirror plate thin film, and an elastic flexural structure connecting them with a substrate.

이러한 스캐닝 마이크로미러를 마이크로머시닝 기술 및 반도체 일관 공정 등을 사용하여 제작함으로써 광학적, 기계적 성능이 현저히 향상된 소형의 경량화 된 형태로 구현할 수 있고, 부품 단가를 절감할 수 있으며, 동작 중 구동 전력을 현저히 낮출 수 있다. By manufacturing these scanning micromirrors using micromachining technology and semiconductor integrated process, it is possible to realize a compact and lightweight form with remarkably improved optical and mechanical performance, reduce component cost, and significantly reduce driving power during operation. Can be.

마이크로미러, 탄성, 프레임, 광변환Micromirror, elastic, frame, light conversion

Description

스캐닝 마이크로미러{Scanning Micro-mirror}Scanning Micro-mirror

도 1은 폴리곤 미러를 사용한 종래 기술의 스캐너의 사시도이다.1 is a perspective view of a prior art scanner using a polygon mirror.

도 2a는 종래의 마이크로미러를 사용한 스캐너의 주사원리를 나타낸 도면이다.Figure 2a is a view showing the scanning principle of a conventional scanner using a micromirror.

도 2b는 종래의 마이크로미러의 동적 변형 현상을 나타낸 것이다.Figure 2b shows the dynamic deformation of the conventional micromirror.

도 3a는 사각형의 마이크로미러의 사시도이다.3A is a perspective view of a rectangular micromirror.

도 3b는 원형의 마이크로미러의 사시도이다.3B is a perspective view of a circular micromirror.

도 3c는 마름모형의 마이크로미러의 사시도이다.3C is a perspective view of a rhombic micromirror.

도 3d는 다른 종류의 사각형 마이크로미러의 사시도이다.3D is a perspective view of another type of rectangular micromirror.

도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막과 강화프레임 구조를 이용한 마이크로미러의 뒷면이다.Figure 4a is a rear surface of the micromirror using a thin film and the reinforced frame structure according to an embodiment of the present invention.

도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막과 강화프레임 구조를 이용한 마이크로미러의 앞면이다.Figure 4b is a front surface of the micromirror using a thin film and the reinforcement frame structure according to an embodiment of the present invention.

도 4c는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막과 변형된 강화프레임 구조를 이용한 마이크로미러의 뒷면이다.4C is a rear view of the micromirror using the thin film and the modified reinforcement frame structure according to an embodiment of the present invention.

도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이아몬드 어레이형 프레임을 사용한 마이크로미러이다.Figure 5a is a micromirror using a diamond array frame according to an embodiment of the present invention.

도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 속이 빈 다이아몬드 어레이형 프레임을 사용한 마이크로미러이다.5B is a micromirror using a hollow diamond array frame according to an embodiment of the present invention.

도 5c는 본 발명의 일 실시예에 따른 미러 끝단으로 갈수록 두께가 얇아지는 다이아몬드 어레이형 프레임을 사용한 마이크로미러이다.5C is a micromirror using a diamond array frame having a thickness thinner toward the mirror end according to an embodiment of the present invention.

{도면의 주요부호에 대한 설명}{Description of major symbols in the drawing}

51 : 다이아몬드형 강화프레임 52 : 미러판 박막51: diamond-shaped reinforcement frame 52: mirror plate thin film

53 : 토션 빔 53: torsion beam

54 : 다이아몬드 어레이형 프레임54: diamond array frame

55 : 속이 빈 다이아몬드 어레이형 프레임 56 : 식각 구멍55: hollow diamond array frame 56: etching hole

57 : 미러 끝단으로 갈수록 두께가 얇아지는 다이아몬드 어레이형 프레임57: diamond array frame becomes thinner toward mirror end

본 발명은 입력광을 소정의 방향으로 반사시키는 마이크로미러를 가동시킴으로써 반사광의 방향을 변조하는 광 스캐닝 소자에 관한 것이다. 본 발명에 의한 스캐닝 마이크로미러는 광원으로부터 출사된 빔을 1차원(선) 또는 2차원(면)의 소정의 영역에 주사(scan)하여 화상 등의 정보를 결상하거나 위치, 화상 등의 데이터를 읽어들이는 레이저 프린터, 공초점 현미경(confocal microscope), 바코드 스캐너, 스캐닝 디스플레이 및 각종 센서 등에 적용 가능하다. 또한 스캐닝 외에도 반사광의 정적인 방향 변조를 필요로 하는 광 스위치 소자 등에도 적용이 가능하다.The present invention relates to an optical scanning device for modulating the direction of reflected light by operating a micromirror for reflecting input light in a predetermined direction. The scanning micromirror according to the present invention scans a beam emitted from a light source to a predetermined area in one dimension (line) or two dimensions (plane) to form an image such as an image or read data such as a position or an image. It can be applied to laser printers, confocal microscopes, bar code scanners, scanning displays and various sensors. In addition to scanning, the present invention can be applied to an optical switch device requiring static direction modulation of reflected light.

최근 광 소자 기술의 발전과 더불어 각종 정보의 입출력단 및 정보 전달의 매개체로 광을 사용하는 다양한 기술들이 대두되고 있다. 광원에서 나오는 빔을 주사하여 사용하는 방법도 이들 중 하나로 바코드 스캐너나 기초적인 수준의 스캐닝 레이저 디스플레이 등을 이러한 기술의 전통적인 응용 사례로 꼽을 수 있다. 이러한 빔 스캐닝 기술은 적용 사례에 따라 다양한 주사 속도와 주사 범위를 요구하게 되는데, 기존의 빔 스캐닝 기술로는 갈바닉 미러나 회전형 다면체 미러를 사용하는 방법이 주류를 이루고 있다. 갈바닉 미러의 경우 수십 헤르쯔(Hz) 정도의 주사 속도를 요구하는 응용에 적합하며, 폴리곤 미러의 경우 수 킬로헤르쯔(kHz) 정도의 주사 속도를 구현하는 것이 가능하다. Recently, with the development of optical device technology, various technologies using optical as an input / output terminal and information transfer medium of various information have emerged. Scanning and using beams from light sources is one of the traditional applications of this technology, such as barcode scanners and basic scanning laser displays. The beam scanning technology requires various scanning speeds and scanning ranges according to the application cases, and the conventional beam scanning technology mainly uses a galvanic mirror or a rotating polyhedral mirror. Galvanic mirrors are suitable for applications requiring scan rates of several tens of hertz (Hz), and polygon mirrors can achieve scan rates of several kilohertz (kHz).

제반 기술의 발달과 더불어 최근에는 빔 스캐닝 기술을 새로운 디바이스에 적용하거나, 이러한 기술을 채용하고 있는 기존의 적용 사례에서 성능을 더욱 향상시키려는 노력이 계속되고 있는데, 레이저 스캐닝을 사용한 고해상도의 프로젝션 디스플레이 시스템이나 두부 장착형 디스플레이, 레이저 프린터 등이 그 좋은 예이다. 이러한 고사양의 빔 스캐닝을 필요로 하는 시스템에서는 통상적으로 빠른 주사 속도와 큰 각 변위를 구현할 수 있는 스캐너가 요구되는데, 종래의 폴리곤 미러를 사용하는 방법의 경우 고속으로 회전하는 모터에 폴리곤 미러가 장착되어 있는 형태를 취하기 때문에 주사 속도를 증가시키는 데 한계가 있으며, 전체 시스템의 부피와 전력 소모를 감소시키기 어려운 단점이 있다. 또한 모터부의 소음을 근본적으 로 해결하여야 하며, 복잡한 구조로 인해 원가 절감을 기대하기 어렵다.With the development of various technologies, efforts have recently been made to apply beam scanning technology to new devices, or to further improve performance in existing application cases employing such technology, such as high resolution projection display systems using laser scanning. Head mounted displays and laser printers are good examples. In systems requiring high beam beam scanning, scanners capable of high scan speeds and large angular displacements are typically required. In the case of using a conventional polygon mirror, a polygon mirror is mounted on a motor rotating at high speed. Because of its shape, there is a limit to increasing the scanning speed, and it is difficult to reduce the volume and power consumption of the entire system. In addition, the noise of the motor unit must be fundamentally solved, and it is difficult to expect cost reduction due to the complicated structure.

도 1은 종래 기술에 의한 폴리곤 미러를 사용한 주사 장치의 개략도이다. 1 is a schematic view of a scanning device using a polygon mirror according to the prior art.

종래의 주사 장치는 광원, 광학계, 폴리곤 미러, 모터를 포함한다.Conventional scanning apparatus includes a light source, an optical system, a polygon mirror, and a motor.

도 1을 참조하면, 광원(1)에서 토출된 입력광(11)은 각종 렌즈 등의 광학계(2)를 통과하여 폴리곤 미러(3)에 의해 반사된다. 따라서 하부의 모터(4)를 사용하여 폴리곤 미러(3)를 회전시킴으로써 반사광(12)을 폴리곤 미러의 회전 방향(13)에 의해 정의되는 방향(14)으로 주사시킬 수 있다. 폴리곤 미러를 사용한 주사 장치의 경우 단 방향의 비교적 빠른 스캐닝을 구현할 수 있으나, 고해상도의 디스플레이 등에 적용하는 데에는 한계가 있다.Referring to FIG. 1, the input light 11 emitted from the light source 1 passes through optical systems 2 such as various lenses and is reflected by the polygon mirror 3. Therefore, by rotating the polygon mirror 3 using the lower motor 4, the reflected light 12 can be scanned in the direction 14 defined by the rotation direction 13 of the polygon mirror. In the case of a scanning device using a polygon mirror, relatively fast scanning in a single direction can be realized, but there is a limit to application to a high resolution display.

도 2는 종래 기술에 의한 마이크로미러를 사용한 주사 장치의 개략도이다.2 is a schematic view of an injection device using a micromirror according to the prior art.

스캐닝 마이크로미러의 경우 그 응용에 따라 반사 면의 크기가 결정되며, 크기에 따라 마이크로머시닝 공정 또는 일반적인 기계 가공에 의해 제작이 가능하다. 그림 2(a)에서 보는 바와 같이 마이크로미러(21)가 양쪽에 형성된 토션 빔(torsion beam, 22)을 축으로 회전함에 따라 반사 광(32)의 경로가 변경되어 빔 스캐닝을 구현하게 된다. 마이크로미러를 사용한 주사 장치의 경우 양 방향 주사가 가능하고, 수십 kHz에 이르는 빠른 주사 속도를 구현할 수 있으나, 이러한 가혹 조건에서 구동할 경우 구동 원리상 그림 2(b)에서 보는 바와 같이 마이크로미러가 펄럭이는 이른바 동적 변형 현상이 발생하여 반사면 및 반사 광(32)의 형상 및 특성을 왜곡시 키는 원인이 된다.In the case of a scanning micromirror, the size of the reflective surface is determined according to its application, and the size can be manufactured by a micromachining process or general machining. As shown in FIG. 2 (a), as the micromirror 21 rotates the torsion beams 22 formed on both sides thereof, the path of the reflected light 32 is changed to implement beam scanning. In the case of a scanning device using a micromirror, bidirectional scanning is possible, and a high scanning speed of several tens of kHz can be realized. However, when driving under such severe conditions, the micromirror flutters as shown in Fig. This causes a so-called dynamic deformation phenomenon to distort the shape and characteristics of the reflective surface and the reflected light 32.

도 3은 각종 형태의 마이크로미러의 사시도이다.3 is a perspective view of various types of micromirrors.

도 3a와 같이 길이 L, 폭 W이고 길이 방향의 중심부에 형성된 토션빔(42)을 축으로 회전하는 균일한 두께의 사각형 마이크로미러(41)의 경우 구동시 동적 변형 현상에 의한 반사면의 전체 변형량은 미러의 재질 및 형상에 의해 결정되며, 그 크기는 회전축으로부터 미러 끝단까지의 길이의 5승(도 3(a)의 경우 (L/2)5)에 비례하고 두께의 제곱(t2)에 반비례하게 된다. 여기서 마이크로미러의 크기는 최소한 반사면의 크기보다 크거나 같아야 하므로 적용하려는 광학 시스템에 의해 결정되는 값이다. 따라서 동적 변형을 억제하기 위해서는 마이크로미러의 재질, 두께, 또는 형상을 조절하여야 한다.In the case of a rectangular micromirror 41 having a uniform thickness that rotates a torsion beam 42 formed in a central portion in the longitudinal direction with a length L and a width W as shown in FIG. Is determined by the material and shape of the mirror, the size of which is proportional to the power of 5 from the axis of rotation to the end of the mirror ((L / 2) 5 in FIG. 3 (a)) and is the square of the thickness (t 2 ) Inversely proportional. The size of the micromirror here must be at least equal to or larger than the size of the reflecting surface, which is determined by the optical system to be applied. Therefore, the material, thickness, or shape of the micromirror must be adjusted to suppress dynamic deformation.

마이크로미러의 형상이 도 3a와 같이 두께가 균일한 사각형이 아니고 도 3b의 원형(43)이나 도 3c의 다이아몬드형(44), 또는 도 3d 와 같이 미러 끝단으로 갈수록 두께가 얇아지는 사각형(45)인 경우 회전축에서 미러의 끝단으로 갈수록 미러의 질량이 작아지기 때문에 구동시 동적 변형이 감소하는 효과를 얻을 수 있다. 그러나 원형(43)이나 다이아몬드형(44) 마이크로미러의 경우 회전축에서 미러 끝단까지의 거리가 동일한 사각형(41) 마이크로미러에 비해 광효율이 낮은 단점이 있고, 미러 끝단으로 갈수록 두께가 얇아지는 형상의 사각형(45) 마이크로미러의 경우 마이크로머시닝 공정에 의해 구현하기 어려운 단점이 있다.The shape of the micromirror is not a rectangular shape having a uniform thickness as shown in FIG. 3A, but the circular shape 43 as shown in FIG. 3B, the diamond shape 44 as shown in FIG. In the case of, the mass of the mirror decreases as it goes from the rotation axis to the end of the mirror, thereby reducing the dynamic deformation during driving. However, in the case of the circular 43 or diamond 44 micromirror, the optical efficiency is lower than that of the micro41 mirror having the same distance from the rotation axis to the end of the mirror. The square of the thinner shape becomes thinner toward the mirror end. (45) The micromirror has a disadvantage in that it is difficult to realize by the micromachining process.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하고자 마이크로미러에 박막과 프레임 구조를 적용하여 구동 중 반사면의 변형을 억제하고, 큰 스캐닝 각도와 빠른 스캐닝 속도를 지니는 스캐닝 마이크로미러를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide a scanning micromirror by applying a thin film and a frame structure to the micromirror to suppress the deformation of the reflective surface during driving, and has a large scanning angle and a fast scanning speed to solve the above problems.

본 발명의 다른 목적은 반도체 일관 공정 및 마이크로머시닝 기술을 적용하여 제작되는 광 스캐닝 소자의 경량화 및 소형화 방법을 제공하는 데 있다.
Another object of the present invention is to provide a method for lightening and miniaturizing an optical scanning device manufactured by applying a semiconductor integrated process and micromachining technology.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 스캐닝 마이크로미러는 입력광을 반사시키는 반사면이 형성된 미러판 박막과 상기 미러판 박막을 지지하는 프레임 구조물 및 이들을 기판과 연결하는 탄성 굴신 구조물을 포함한다.In order to achieve the above object, the scanning micromirror of the present invention includes a mirror plate thin film having a reflective surface for reflecting input light, a frame structure for supporting the mirror plate thin film, and an elastic flexural structure connecting them with a substrate.

본 발명에서 상기 탄성 굴신 구조물은 외팔보 또는 비틀림 보에서 선택되는 1종 이상인 것이 바람직하다.In the present invention, the elastic flexural structure is preferably one or more selected from cantilever beams or torsion beams.

본 발명에서 상기 프레임 구조물은 적어도 하나 이상이 구비되는 것이 바람직하다.In the present invention, the frame structure is preferably provided with at least one or more.

본 발명에서 상기 프레임 구조물은 다이아몬드형 프레임을 사용하는 것이 바람직하다.In the present invention, the frame structure preferably uses a diamond-shaped frame.

본 발명에서 상기 프레임 구조물은 다이아몬드 어레이형 프레임을 사용하는 것이 바람직하다.In the present invention, the frame structure preferably uses a diamond array frame.

본 발명에서 상기 프레임 구조물은 속이 빈 다이아몬드 어레이형 프레임을 사용하는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the frame structure uses a hollow diamond array frame.

본 발명에서 상기 프레임 구조물은 미러 끝단으로 갈수록 두께가 얇아지는 다이아몬드 어레이형 프레임을 사용하는 것이 바람직하다.In the present invention, it is preferable that the frame structure uses a diamond array frame that becomes thinner toward the mirror end.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 하기의 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하며, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In adding reference numerals to components of the following drawings, it is determined that the same components have the same reference numerals as much as possible even if displayed on different drawings, and it is determined that they may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention. Detailed descriptions of well-known functions and configurations will be omitted.

도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 일 실시예에 따른 다이아몬드형 프레임이 장착된 스캐닝 마이크로미러의 사시도이다.4A to 4C are perspective views of a scanning micromirror equipped with a diamond-shaped frame according to an embodiment of the present invention.

상기 실시예에서, 스캐닝 마이크로미러는 미러판 박막, 프레임 구조물 및 토션 빔을 포함한다.In this embodiment, the scanning micromirror comprises a mirror plate thin film, a frame structure and a torsion beam.

상기 실시예는, 미러판 박막과 다이아몬드형의 강화 프레임 구조를 사용한 스케닝 마이크로미러를 개략적으로 나타낸 것이다.The above embodiment schematically shows a scanning micromirror using a mirror plate thin film and a diamond-shaped reinforcement frame structure.

도 4a 내지 도 4c를 참조하면, 마이크로미러는 두 개의 토션빔(torsion beam, 53)에 의해 지지되며, 토션빔을 축으로 회전 운동을 하게 된다. 미러판(52)의 두께는 프레임의 두께(51)에 비해 상대적으로 작은 값을 갖기 때문에 미러의 구동시 동적 변형의 크기는 하부의 프레임 구조물에 의해 결정되며, 프레임보다 큰 사각형의 미러판을 사용하였으므로 최적의 광 효율을 얻을 수 있다. 마이크로미러를 지지하는 스프링 구조물로는 마이크로미러의 구동 방향 또는 방법에 따라 토션빔 이외에 외팔보(cantilever) 또는 변형된 형태의 다양한 종류의 탄성 구조물이 적용 가능하다. 또한 미러판(52)을 지지하는 프레임 구조물로는 회전축으로부터 미러 끝단으로 갈수록 질량이 작아지는 모든 형태의 구조가 적용 가능하다. 4A to 4C, the micromirror is supported by two torsion beams 53 and rotates about the torsion beam. Since the thickness of the mirror plate 52 has a relatively small value compared with the thickness 51 of the frame, the size of the dynamic deformation during driving of the mirror is determined by the lower frame structure, and a rectangular mirror plate larger than the frame is used. As a result, optimum light efficiency can be obtained. As the spring structure for supporting the micromirror, various kinds of elastic structures cantilevered or deformed in addition to the torsion beam may be applied according to the driving direction or method of the micromirror. In addition, as a frame structure for supporting the mirror plate 52, any type of structure in which the mass decreases from the rotation axis to the mirror end is applicable.

도 4c는 외곽선이 소정의 곡선으로 구현된 변형된 형태의 다이아몬드형 프레임(51-2)을 사용한 경우를 나타낸 일례이다.4C illustrates an example of using a diamond-shaped frame 51-2 having a modified shape having an outline formed by a predetermined curve.

도 5a 내지 5c는 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 형태의 프레임을 포함하는 마이크로미러의 사시도이다.5A to 5C are perspective views of a micromirror including another frame according to an embodiment of the present invention.

상기 실시예에서, 마이크로미러는 미러판 박막과 개선된 프레임의 구조를 사용한다.In this embodiment, the micromirror uses a mirror plate thin film and an improved frame structure.

도 5a와 같이 단위 프레임 구조물을 어레이로 배치할 경우 도 4a와 같이 하나의 프레임을 사용하는 경우와 비교할 때, 동일한 동적 변형 감소 효과를 얻으면서 미러판 박막의 전체적인 강성을 증가시킬 수 있다. 또한 도 5b와 같이 어레이 형태의 프레임 구조물(55)에 식각 구멍(56)을 형성할 경우 프레임 부분의 질량과 관성을 추가적으로 감소시키는 효과를 얻을 수 있다. 상기 식각 구멍의 형상은 당업자의 수준에 맞추어 다양하게 형성되는 것이 가능하나 본 발명에서는 벌집형태의 육각형 모양으로 형성되는 것이 바람직하다.When the unit frame structures are arranged in an array as illustrated in FIG. 5A, the overall rigidity of the mirror plate thin film may be increased while obtaining the same dynamic deformation reduction effect as compared to using one frame as illustrated in FIG. 4A. In addition, when forming the etching hole 56 in the frame structure 55 of the array form as shown in Figure 5b it can be obtained to further reduce the mass and inertia of the frame portion. The etching hole may be formed in various ways according to the level of those skilled in the art.

도 5c는 도 5a의 다이아몬드 어레이형 프레임(54)과 도 3d의 미러 끝단으로 갈수록 두께가 얇아지는 사각형(45) 마이크로미러 구조를 결합한 경우로, 다이아몬드 어레이형 프레임(54)만을 사용한 경우보다 프레임의 질량과 관성을 현저히 감소시킬 수 있다. 5C is a combination of the diamond array frame 54 of FIG. 5A and the square 45 micromirror structure that becomes thinner toward the mirror end of FIG. 3D. Mass and inertia can be significantly reduced.

도 5a 내지 5c에서 보는 바와 같이 다양한 형태의 프레임 구조물에 식각 구멍을 더하거나 프레임의 위치에 따라 두께를 달리하여 동적 변형 억제 효과를 증가시킬 수 있다.As shown in FIGS. 5A to 5C, an effect of suppressing dynamic deformation may be increased by adding an etching hole to various types of frame structures or by varying the thickness according to the position of the frame.

상기와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, it has been described with reference to the preferred embodiment of the present invention, but those skilled in the art various modifications and changes of the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below I can understand that you can.

상술한 바와 같이, 본 발명의 스캐닝 마이크로미러는 광원으로부터 출사된 빔을 소정의 영역에 주사하여 화상 등의 정보를 결상하거나 위치, 화상 등의 데이터를 읽어 들이는데 사용 가능한 소자이다. 이러한 스캐닝 마이크로미러를 마이크로머시닝 기술 및 반도체 일관 공정 등을 사용하여 제작함으로써 광학적, 기계적 성능이 현저히 향상된 소형의 경량화 된 형태로 구현할 수 있고, 부품 단가를 절감할 수 있으며, 동작 중 구동 전력을 현저히 낮출 수 있다. As described above, the scanning micromirror of the present invention is an element that can be used to image information such as an image or to read data such as a position or an image by scanning a beam emitted from a light source to a predetermined region. By manufacturing these scanning micromirrors using micromachining technology and semiconductor integrated process, it is possible to realize a compact and lightweight form with remarkably improved optical and mechanical performance, reduce component cost, and significantly reduce driving power during operation. Can be.

Claims (8)

삭제delete 입력광을 반사시키는 반사면이 형성된 미러판 박막과 상기 미러판 박막을 지지하는 프레임 구조물 및 이들을 기판과 연결하는 탄성 굴신 구조물을 포함하고,A mirror plate thin film having a reflecting surface for reflecting input light, a frame structure for supporting the mirror plate thin film, and an elastic flexural structure connecting them with a substrate, 상기 탄성 굴신 구조물은 외팔보 또는 비틀림 보에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러.The elastic flexural structure is a scanning micromirror, characterized in that at least one selected from cantilever beam or torsion beam. 제 2항에 있어서, 상기 프레임 구조물은 적어도 하나 이상이 구비되는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러.The scanning micromirror of claim 2, wherein the frame structure is provided with at least one. 제 2항 또는 제 3항에 있어서, 상기 프레임 구조물은 다이아몬드형 프레임을 사용하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러.4. The scanning micromirror according to claim 2 or 3, wherein the frame structure uses a diamond frame. 제 2항 또는 제 3항에 있어서, 상기 프레임 구조물은 다이아몬드 어레이형 프레임을 사용하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러.4. The scanning micromirror of claim 2 or 3, wherein the frame structure uses a diamond array frame. 제 5항에 있어서, 상기 프레임 구조물은 속이 빈 다이아몬드 어레이형 프레임을 사용하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러.6. The scanning micromirror of claim 5, wherein the frame structure uses a hollow diamond array frame. 제 6항에 있어서, 상기 공간은 벌집형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러.The scanning micromirror of claim 6, wherein the space is formed in a honeycomb form. 제 2항 또는 제 3항에 있어서, 상기 프레임 구조물은 미러 끝단으로 갈수록 두께가 얇아지는 다이아몬드 어레이형 프레임을 사용하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러.4. The scanning micromirror according to claim 2 or 3, wherein the frame structure uses a diamond array frame that becomes thinner toward the mirror end.
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