KR100605121B1 - Method and device for measuring capacitance of organic light emitting device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유기전계발광소자에 소정의 정전압 또는 정전류 직류 바이어스와 소정의 진폭과 주파수를 갖는 교류 신호를 중첩하여 인가하고 그 응답신호를 주파수의 함수로 측정하여 얻어진 교류 임피던스 특성으로부터 유기전계발광소자의 정전용량을 측정하는 방법 및 장치를 제공한다.The present invention provides an organic electroluminescent device based on an alternating current impedance characteristic obtained by superimposing and applying a predetermined constant voltage or constant current direct current bias and an AC signal having a predetermined amplitude and frequency to the organic light emitting device. Provided are a method and apparatus for measuring capacitance.

Description

유기전계발광소자의 정전용량 측정 방법 및 장치{omitted}Method and apparatus for measuring capacitance of organic light emitting device

도 1은 교류 임피던스 스펙트럼을 측정하여 유기전계발광소자의 정전용량을 측정하는 과정을 표시하는 흐름도.1 is a flowchart illustrating a process of measuring capacitance of an organic light emitting diode by measuring an AC impedance spectrum;

도 2는 직류 바이어스에 중첩된 교류 신호의 형태를 나타내는 그래프2 is a graph showing the shape of an AC signal superimposed on a DC bias

도 3은 유기발광소자의 임피던스 특성에 해당하는 등가회로.3 is an equivalent circuit corresponding to an impedance characteristic of an organic light emitting diode.

도 4는 유기발광소자의 열화 특성 측정을 위한 임피던스 측정 장치의 개략적인 구성도.4 is a schematic configuration diagram of an impedance measuring apparatus for measuring deterioration characteristics of an organic light emitting diode.

도 5는 [실시예] 에서 측정된 구동 바이어스에 따른 유기발광소자의 임피던스 스펙트럼을 나타낸 그래프 (20) 0 V, (21) 1 V, (22) 2 V, (23) 3 V, (24) 4 V5 is a graph showing the impedance spectrum of the organic light emitting device according to the driving bias measured in the [Example] (20) 0 V, (21) 1 V, (22) 2 V, (23) 3 V, (24) 4 V

본 발명은 유기전계발광소자의 구동시 발광 특성에 큰 영향을 주는 소자의 내부 특성중의 하나인 정전용량을 측정하는 방법과 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method and an apparatus for measuring capacitance, which is one of internal characteristics of a device, which greatly affects light emission characteristics when the organic light emitting device is driven.

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본 발명은 유기전계발광소자의 비선형 내부 특성중의 하나인 정전용량을 일정 바이어스 조건에서 정량적으로 측정하는 방법과, 정전용량의 측정을 통하여 구동 특성이 우수한 특성의 유기전계발광소자를 개발하기 위한 실험장치 및 유기전계발광소자 생산시 정전용량 측정에 의해 양품과 불량품을 엄밀히 선별하여 품질 확보를 위한 시험 장치를 제공함을 목적으로 한다.The present invention provides a method for quantitatively measuring capacitance, which is one of nonlinear internal characteristics of an organic light emitting device, under a predetermined bias condition, and experiments for developing an organic light emitting device having excellent driving characteristics by measuring capacitance. It is an object of the present invention to provide a test apparatus for securing quality by strictly selecting good and defective products by measuring capacitance in the production of devices and organic light emitting devices.

유기전계발광소자는 외부로부터 인가된 전위차에 의해 양극과 음극으로 주입된 전자와 정공이 소자 내부로 이동, 유기 발광층에서 재결합하여 빛을 방출하는 자체 발광소자이다. 발광 휘도와 색도와 같은 유기전계발광소자의 발광 특성은 소자를 구성하는 재료의 특성과 소자의 구조에 따라 다르다. 특히 유기전계발광소자의 발광 휘도는 구동 전압 또는 전류에 의해 직접 제어되므로 소자의 구동 전압과 전류 및 발광 휘도와의 관계는 소자의 특성을 규정하는 기본이 되며, 실제로 이 관계를 이용하여 원하는 발광 휘도를 구현하기 위해 특정 전압 또는 전류를 인가하여 소자를 구동한다.The organic light emitting device is a self-light emitting device in which electrons and holes injected into the anode and the cathode are moved into the device by the potential difference applied from the outside and recombine in the organic light emitting layer to emit light. The luminescence properties of the organic light emitting display device such as luminescence brightness and chromaticity vary depending on the properties of the material constituting the device and the structure of the device. In particular, since the light emission luminance of the organic light emitting diode is directly controlled by the driving voltage or the current, the relationship between the driving voltage, the current, and the light emission luminance of the device is the basis for defining the characteristics of the device. In order to implement a specific voltage or current to drive the device.

이와같이 상이한 전자 특성을 갖는 재료의 적층 구조로 이루어진 유기전계발광소자는 구동 바이어스 및 구동 신호의 주파수에 따라 구동 특성이 달라지는 비선형 소자이다. 즉, 동일 소자를 동일 전압 바이어스로 구동하더라도 구동 신호가 직류인 경우와 소정의 주기를 갖는 펄스 신호의 경우 정전용량의 차이에 의하여 인가되는 전류 신호의 형태는 크게 다르다.The organic light emitting display device having a laminated structure of materials having different electronic properties as described above is a nonlinear device whose driving characteristics vary depending on the driving bias and the frequency of the driving signal. In other words, even when the same device is driven with the same voltage bias, the current signal applied to the drive signal is a direct current or a pulse signal having a predetermined period due to the difference in capacitance.

따라서 유기전계발광소자의 정전용량을 측정하기 위해 종래의 LCR 측정기를 사용하는 방법은 구동 바이어스에 따른 비선형 특성을 측정하기 어렵다. 적층 구조를 갖는 유기전계발광소자의 전하 수송 인자는 접촉저항, 오옴 저항, 층간 계면에서의 전하 이동 및 축전 등 다양한 요인이 존재하므로 특정 단일 주파수에 해당하는 교류 신호에 대하여 측정한 단일 교류 저항값 역시 소자의 내부 특성을 전체적으로 표현할 수 없다.Therefore, the method using a conventional LCR measuring device for measuring the capacitance of the organic light emitting device is difficult to measure the nonlinear characteristics according to the driving bias. The charge transport factor of the organic light emitting diode having a stacked structure has various factors such as contact resistance, ohmic resistance, charge transfer and storage at the interface between layers. Therefore, a single AC resistance value measured for an AC signal corresponding to a specific single frequency is also measured. Internal characteristics of the device cannot be expressed entirely.

본 발명의 기술적 과제는 소정의 바이어스에서 측정 주파수에 상관없이 유기전계발광소자의 구동 특성을 반영하는 정전용량을 측정하기 위하여, 소정의 주파수 영역에 대하여 복수의 주파수에 대한 임피던스를 측정하여 얻어진 임피던스 스펙트럼을 저항, 축전기, 유도자 등 선형 소자로 구성된 등가회로에 대응시켜 유기전계발광소자의 정전용량을 측정하는 방법과 장치를 제공하는데 있다.The technical problem of the present invention is to measure the capacitance reflecting the driving characteristics of the organic light emitting diode regardless of the measurement frequency at a predetermined bias, the impedance spectrum obtained by measuring the impedance for a plurality of frequencies in a predetermined frequency region The present invention provides a method and apparatus for measuring the capacitance of an organic light emitting diode by corresponding to an equivalent circuit composed of linear elements such as resistors, capacitors, and inductors.

유기전계발광소자에 소정의 직류 바이어스와 함께 소정의 주파수와 진폭을 갖는 교류 전압 또는 전류 신호를 중첩하여 인가하고 전압 및 전류 응답 신호를 측정하여 소자의 임피던스를 구한다. 동일한 상태의 동일 소자의 임피던스 값은 중첩 교류 신호의 주파수에 따라 다르며 그 차이는 소자의 내부 특성에 따라 다르다. 또한 측정된 소자의 임피던스 값은 유기전계발광소자 구동 바이어스에 따라 변화한다.
일정한 전압 또는 전류 바이어스에 대하여 유기전계발광소자의 내부 특성은 주파수에 따라 변화하므로 소자의 구동 특성을 일관성 있게 반영하는 기준이 될 수 없다. 따라서 소정의 주파수 영역에 대하여 복수의 주파수에 대한 임피던스를 측정하여 얻어진 임피던스 스펙트럼을 측정하고, 저항(Resistor), 축전기(Capacitor), 유도자(Inductor) 등 복수의 선형 소자로 구성된 등가회로(Equivalent circuit)가 나타내는 임피던스 함수에 대응시켜 정전용량을 구한다. 이같이 임피던스 스펙트럼으로부터 구해진 정전용량은 측정 주파수에 따라 변하는 양이 아니므로 소자의 내부 특성을 대표하는 기준이 될 수 있다. 정전압 또는 정전류 바이어스 조건에서 복수의 교류 주파수에 대해 측정한 임피던스 스펙트럼으로부터 등가회로를 이용하여 유기전계발광소자의 정전용량을 구하는 방법을 [도 1]에 간략히 도시하였다.
유기전계발광소자의 교류 임피던스를 측정하기 위하여 [도 2]와 같이 정전압 바이어스(Vb) 또는 정전류 바이어스(Ib)에 소정의 진폭과 주파수(f)를 갖는 교류 신호를 중첩하여 인가한다. 이 때 측정된 전압 및 전류 신호는 바이어스에 교류 신호가 중첩된 같은 형태의 신호이나 소정의 교류 성분의 진폭(V0 및 I0)과 위상차((φ)를 갖는다. 소자의 임피던스 값은 복소수로 표시되며 측정된 신호의 교류 성분으로부터 임피던스(Z)를 다음과 같이 구한다.
The impedance of the device is obtained by applying an AC voltage or a current signal having a predetermined frequency and amplitude to the organic light emitting device in a superimposed manner and measuring the voltage and current response signals. The impedance value of the same device in the same state depends on the frequency of the superposition alternating signal, and the difference depends on the internal characteristics of the device. In addition, the measured impedance value of the device changes according to the organic light emitting device driving bias.
Since the internal characteristics of the organic light emitting diode change with frequency with respect to a constant voltage or current bias, it cannot be a standard that consistently reflects the driving characteristics of the device. Therefore, an equivalent circuit composed of a plurality of linear elements such as a resistor, a capacitor, and an inductor is measured by measuring an impedance spectrum obtained by measuring impedances of a plurality of frequencies in a predetermined frequency range. Calculate the capacitance corresponding to the impedance function indicated by. Since the capacitance obtained from the impedance spectrum is not an amount that varies with the measurement frequency, it can be a standard representing the internal characteristics of the device. A method of obtaining capacitance of an organic light emitting display device using an equivalent circuit from an impedance spectrum measured for a plurality of alternating frequency frequencies under constant voltage or constant current bias conditions is briefly shown in FIG. 1.
In order to measure the AC impedance of the organic light emitting diode, an AC signal having a predetermined amplitude and frequency f is applied to the constant voltage bias V b or the constant current bias I b as shown in FIG. 2. In this case, the measured voltage and current signals have the same type of signal in which the AC signal is superimposed on the bias or the amplitude (V 0 and I 0 ) and the phase difference ((φ)) of the predetermined AC component. From the AC component of the displayed and measured signal, the impedance (Z) is obtained as follows.

Figure 112003503400986-pat00001
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유기전계발광소자의 임피던스 값은 측정에 사용된 교류 신호의 주파수에 따라 차이가 발생한다. 소정의 주파수 영역의 다른 주파수에 대하여 임피던스를 연속하여 측정하면 소자의 임피던스는 주파수의 함수로 나타낸 임피던스 특성 곡선으로 표시할 수 있으며, 유기전계발광소자는 일반적으로 임피던스의 실수부를 X축으로, 허수부를 Y축으로 하는 좌표계에서 반원 모양의 랜들(Randle) 곡선을 나타낸다.The impedance value of the organic light emitting display device varies depending on the frequency of the AC signal used for the measurement. If the impedance is measured continuously at different frequencies in a given frequency range, the impedance of the device can be represented by an impedance characteristic curve expressed as a function of frequency, and the organic light emitting device generally has a real part of impedance on the X axis and an imaginary part. A semicircle Randle curve is shown in the coordinate system on the Y axis.

측정된 임피던스 특성곡선으로부터 저항 성분을 추출하기 위하여 저항(Resistor), 축전기(Capacitor), 유도자(Inductor) 등 복수의 선형 소자로 구성된 등가회로(Equivalent circuit)를 설정한다. 랜들 곡선에 대하여 직렬저항(Rs)과 병렬저항(Rp) 및 병렬축전기(Cp)의 세 개의 선형소자로 구성된 등가회로를 [도 3]에 나타내었다. In order to extract the resistance component from the measured impedance characteristic curve, an equivalent circuit composed of a plurality of linear elements such as a resistor, a capacitor, and an inductor is set. An equivalent circuit composed of three linear elements, a series resistor (R s ), a parallel resistor (R p ), and a parallel capacitor (C p ), is shown in FIG.

Figure 112003506534864-pat00008
Figure 112003506534864-pat00008

소정의 주파수 범위에서 주파수의 함수로 측정된 임피던스 스펙트럼을 [식 2]와 같이 Rs, Rp, Cp 등 부정형 성분을 갖는 임피던스 함수에 근사(fitting)하면 측정 유기전계발광소자의 정전용량 성분인 Cp를 결정할 수 있다.When the impedance spectrum measured as a function of frequency in a predetermined frequency range is approximated to an impedance function having an irregular component such as R s , R p , and C p as shown in [Equation 2], the capacitance component of the organic light emitting display device C p can be determined.

임피던스 스펙트럼을 임피던스 함수에 근사하는 방법으로 초기 Rs, Rp, Cp 를 정하여 각 주파수에 대한 임피던스를 임피던스 함수로부터 계산하여 이 값과 측정값과의 차이의 제곱을 모든 주파수에 대하여 합산한 제곱편차를 계산한 후 Rs, Rp, Cp 값을 일정한 규칙에 따라 바꾸어 가며 반복하여 최소의 제곱편차를 나타내는 Rs, Rp, Cp 값을 결정하는 최소제곱법에 의한 비선형 회귀 근사법을 사용할 수 있다.By calculating the initial R s , R p , and C p by approximating the impedance spectrum to the impedance function, the impedance for each frequency is calculated from the impedance function, and the square of the difference between this value and the measured value summed over all frequencies. After calculating the deviation, the R s , R p , and C p values are changed according to a certain rule, and then the nonlinear regression approximation method using the least squares method that determines the R s , R p , and C p values representing the minimum square deviation is repeated. Can be used.

유기전계발광소자의 내부저항을 측정하기 위한 장치는 [도 4]에서 나타낸 바와 같이 구성된다. 주 제어부인 디지털 제어부(10)에서 설정된 출력신호 가운데 정전류 또는 정전압 바이어스는 바이어스 출력부(11)에서, 소정의 진폭과 주파수를 갖는 교류 신호는 교류신호 발생부(12)에서 각기 디지털-아날로그 변환기를 거쳐 입출력단자(14)를 통해 유기전계발광소자에 출력 제어되며, 유기전계발광소자 양단의 전압과 전류의 변화는 신호검출부(13)에서 디지털 신호로 변환되어 디지털 제어부에 제공된다. 측정 신호는 임피던스 연산부(16)에서 복소 임피던스 값으로 연산되어 데이터 저장부(15)에 제공되며 또한 데이터 출력부(17)를 통해 디지털 파일, 프린터 또는 디스플레이 장치에 출력된다. 본 임피던스 측정 장치는 복수의 교류 신호 주파수에 대하여 연속적으로 임피던스를 측정하여 임피던스 스펙트럼을 데이터 저장부(15)에 저장 및 데이터 출력부(17)에 출력할 수 있다. 또한 임피던스 함수설정부(18)에서는 소정의 등가회로를 설정하여 임피던스 함수를 임피던스 연산부(16)에 제공하고, 임피던스 연산부(16)는 측정된 임피던스 스펙트럼을 임피던스 함수에 근사하여 임피던스 함수를 구성하는 인자를 추출 및 정전용량을 산출하여 이를 데이터 저장부(15)에 저장 및 데이터 출력부(17)에 출력할 수 있다.The apparatus for measuring the internal resistance of the organic light emitting display device is configured as shown in FIG. Among the output signals set by the digital control unit 10, which is the main control unit, the constant current or constant voltage bias is output by the bias output unit 11, and the AC signal having a predetermined amplitude and frequency is respectively converted by the AC signal generator 12 by the digital-analog converter. The output is controlled to the organic light emitting device through the input and output terminal 14, the change in voltage and current of both ends of the organic light emitting device is converted into a digital signal in the signal detector 13 is provided to the digital control unit. The measurement signal is calculated by the impedance calculation unit 16 as a complex impedance value and provided to the data storage unit 15, and also output to the digital file, printer or display device through the data output unit 17. The impedance measuring apparatus continuously measures impedance with respect to a plurality of AC signal frequencies, and stores an impedance spectrum in the data storage unit 15 and outputs the data to the data output unit 17. In addition, the impedance function setting unit 18 sets a predetermined equivalent circuit to provide the impedance function to the impedance calculating unit 16, and the impedance calculating unit 16 approximates the measured impedance spectrum to the impedance function to configure the impedance function. Extract and calculate the capacitance can be stored in the data storage unit 15 and output to the data output unit 17.

[실시예]EXAMPLE

인듐주석산화물(Indium tinoxide) 투명전극에 정공수송층 TDP (N,N'-diphenyl-N,N'-bis(3-methylphenyl)-1,1-biphenyl-4,4'-diamine), 유기발광층 Alq3 (Tris-8-hydroxyqinolinato Aluminum) 및 알루미늄 캐소드로 적층 구성된 유효 발광면적 2 ㎟ 의 유기발광소자의 구동 특성을 측정하였다. 정전압 구동시 소자는 전압 10V에서 120 Cd/㎡의 발광휘도를 나타내었다. 이 유기발광소자의 양단에 [도 4]와 같이 구성된 임피던스 측정 장치를 연결하여 0 ∼ 4 V 범위의 정전압 바이어스와 50 mV 진폭의 정현파 교류 신호를 인가하여 임피던스를 측정하였다. 이 때 교류 신호의 주파수 범위는 10 Hz에서 1 MHz 이었다. [도 5]는 측정된 임피던스 스펙트럼을 임피던스 실수부를 X축으로, 허수부를 Y축으로 하는 Nyquist 그래프로 출력한 결과이다. 유기발광소자의 임피던스 특성 곡선은 랜들 곡선 형태를 나타내었으며, 이를 랜들 등가회로의 복소 임피던스 함수에 최소제곱법으로 비선형 회귀 근사를 실시하여 정전용량을 추출하여 [표 1]에 나타내었다. 발광 상태인 4 V에서의 소자의 정전용량은 비발광 상태인 0 V에서의 정전용량에 비해 약 9% 증가하였다.Hole transport layer TDP (N, N'-diphenyl-N, N'-bis (3-methylphenyl) -1,1-biphenyl-4,4'-diamine) on organic indium tinoxide transparent electrode, Alq The driving characteristics of the organic light emitting device having an effective light emitting area of 2 mm 2 laminated with 3 (Tris-8-hydroxyqinolinato Aluminum) and aluminum cathode were measured. In constant voltage driving, the device showed a light emission luminance of 120 Cd / m 2 at a voltage of 10V. Impedance measuring devices configured as shown in FIG. 4 were connected to both ends of the organic light emitting diode, and the impedance was measured by applying a constant voltage bias in the range of 0 to 4 V and a sinusoidal AC signal having a amplitude of 50 mV. At this time, the frequency range of the AC signal was 10 Hz to 1 MHz. 5 is a result of outputting the measured impedance spectrum as a Nyquist graph with an impedance real part on the X axis and an imaginary part on the Y axis. The impedance characteristic curve of the organic light emitting diode showed a form of a ladle curve, and the capacitance was extracted by performing a nonlinear regression approximation by the least square method on the complex impedance function of the lance equivalent circuit. The capacitance of the device at 4 V in the luminescent state increased about 9% compared to the capacitance at 0 V in the non-luminescent state.

본 발명이 직접적인 발광휘도의 측정 없이 유기전계발광소자 구동시 주파수 특성에 따라 변하지 않는 명확한 정전용량을 정량적으로 측정할 수 있는 방법 및 장치를 제공함으로써 유기전계발광소자 제조시 내부 특성의 우수한 소자를 개발할 수 있고 장시간 구동시 소자의 열화 특성을 정량적으로 평가하여 소자의 수명 측정에 활용할 수 있으며, 양산시 정전용량 측정에 의해 양품과 불량품을 엄밀히 선별하여 효율적인 품질 확보를 위한 생산 시험 장치를 구현할 수 있다.The present invention provides a method and apparatus capable of quantitatively measuring a clear capacitance that does not change depending on frequency characteristics when driving an organic light emitting diode without directly measuring the luminance of the organic light emitting diode. It can be used to measure the lifetime of the device by quantitatively evaluating the deterioration characteristics of the device when driving for a long time, and it is possible to implement a production test apparatus for efficiently securing the quality by strictly selecting good and defective products by measuring capacitance during mass production.

Claims (10)

유기전계발광소자를 구동하는 정전압 또는 정전류 바이어스에 측정영역에 속하는 소정의 주파수를 갖는 교류 신호를 중첩하여 인가하고 측정된 전압 및 전류 응답 신호로부터 교류 임피던스를 측정하는 제 1의 과정과,A first process of superimposing and applying an alternating current signal having a predetermined frequency to the constant voltage or constant current bias for driving the organic light emitting element and measuring the alternating current impedance from the measured voltage and current response signals; 상기 측정 영역에 속하는 복수의 주파수의 교류 신호에 대하여 상기 제 1의 과정을 반복하여 상기 유기전계발광소자의 임피던스 스펙트럼을 측정하는 제 2의 과정과,A second process of measuring the impedance spectrum of the organic light emitting diode by repeating the first process with respect to an AC signal of a plurality of frequencies belonging to the measurement region; 상기 임피던스 스펙트럼을 저항기(Resistor), 축전기(Capacitor) 및 유도자(Inductor)를 포함하는 선형 소자로 구성된 등가회로에 근사하여 정전용량을 산출하는 제 3의 과정을 포함하여 A third process of calculating the capacitance by approximating the impedance spectrum to an equivalent circuit composed of a linear element including a resistor, a capacitor, and an inductor 상기 유기전계발광소자의 정전용량을 측정함으로써, 상기 유기전계발광소자의 정전용량 특성을 파악하는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자의 정전용량 측정 방법.The capacitance measurement method of the organic electroluminescent device by measuring the capacitance of the organic light emitting device. 청구항 제 1항에 있어서 상기 교류 신호는,The method according to claim 1, wherein the AC signal, 단일 주파수로 표현되는 정현파 신호임을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 정전용량 측정 방법.A capacitance measuring method of an organic light emitting display device, characterized in that the sinusoidal signal represented by a single frequency. 청구항 제 1항에 있어서 상기 교류 신호는,The method according to claim 1, wherein the AC signal, 단일 주파수 성분을 갖는 복수의 정현파를 균등 중첩한 푸리에 변환 신호임을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 정전용량 측정방법.4. A method for measuring capacitance of an organic light emitting display device, characterized in that it is a Fourier transform signal having a plurality of sinusoids having a single frequency component evenly superimposed. 청구항 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서 상기 교류 신호의 주파수는,The frequency of the said AC signal is any one of Claims 1-3. 최저 10 Hz에서 최고 1 MHz 범위인 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자의 정전용량 측정 방법.A method for measuring capacitance of an organic electroluminescent device, characterized in that it ranges from as low as 10 Hz to as high as 1 MHz. 삭제delete 삭제delete 청구항 제 1항에 있어서 상기 제 3의 과정은,The method of claim 1, wherein the third process, 상기 주파수를 독립 변수로 하고 상기 등가회로를 구성하는 상기 선형 소자를 매개변수로 하는 복소 함수를 이용하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 정전용량 측정방법.And a complex function having the frequency as an independent variable and the linear element constituting the equivalent circuit as a parameter. 청구항 제 1항에 있어서 상기 임피던스 스펙트럼의 상기 등가회로에의 근사는,The approximation of the impedance spectrum to the equivalent circuit of claim 1, 최소제곱법에 의한 비선형 회귀 근사법임을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 정전용량 측정 방법.A method for measuring capacitance of an organic light emitting device, characterized in that it is a nonlinear regression approximation by least squares method. 청구항 제 1항에 있어서 상기 임피던스 스펙트럼의 상기 등가회로에의 근사는,The approximation of the impedance spectrum to the equivalent circuit of claim 1, 복소 좌표계에서 도시된 상기 임피던스 스펙트럼의 기하학적 특징량으로부터 상기 정전용량을 산출하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 정전용량 측정 방법.A method for measuring capacitance of an organic light emitting device, characterized in that for calculating the capacitance from the geometric feature of the impedance spectrum shown in a complex coordinate system. 유기전계발광소자에 정전압 또는 정전류 직류 바이어스를 제공하는 바이어스 출력부(11)와,A bias output unit 11 for providing a constant voltage or a constant current direct current bias to the organic light emitting diode, 구동 바이어스에 중첩될 정전압 또는 정전류 교류 신호를 발생하는 교류신호 발생부(12)와,An AC signal generator 12 for generating a constant voltage or a constant current AC signal to be superimposed on the driving bias; 상기 유기전계발광소자 양단의 전압 및 전류 신호를 검출하여 디지털 신호로 변환하는 신호검출부(13)와,A signal detector 13 for detecting a voltage and a current signal at both ends of the organic light emitting diode and converting the signal into a digital signal; 상기 유기전계발광소자 양단에 접촉되어 제어 및 측정 신호를 전달하는 입출력단자(14)와,An input / output terminal 14 which contacts both ends of the organic light emitting element and transmits a control and measurement signal; 상기 신호검출부(13)에서 측정된 상기 전압 및 상기 전류 신호로부터 복소 임피던스를 구하고, 측정된 임피던스 스펙트럼을 임피던스 함수에 근사하여 정전용량을 산출하는 임피던스연산부(16)와,An impedance calculator (16) for calculating a complex impedance from the voltage and current signals measured by the signal detector (13) and approximating the measured impedance spectrum to an impedance function; 소정의 등가회로를 설정하여 상기 임피던스 함수를 제공하는 임피던스 함수설정부(18)와,An impedance function setting unit 18 for setting a predetermined equivalent circuit and providing the impedance function; 연산 결과를 저장하는 데이터 저장부(15)와,A data storage unit 15 for storing the calculation result, 상기 연산 결과를 디스플레이 장치 또는 인쇄장치에 출력하거나 디지털 데이터로 출력하는 데이터 출력부(17)와,A data output unit 17 for outputting the calculation result to a display apparatus or a printing apparatus or outputting the digital data; 상기 각 부를 총괄 제어하는 디지털 제어부(10)Digital control unit 10 for overall control of the parts 를 포함하는 유기전계발광소자의 정전용량 측정 장치.Capacitance measuring device of an organic light emitting device comprising a.
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