KR100594312B1 - Method for lapping and manufacturing head slider of hard disk drive - Google Patents

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KR100594312B1
KR100594312B1 KR1020050001126A KR20050001126A KR100594312B1 KR 100594312 B1 KR100594312 B1 KR 100594312B1 KR 1020050001126 A KR1020050001126 A KR 1020050001126A KR 20050001126 A KR20050001126 A KR 20050001126A KR 100594312 B1 KR100594312 B1 KR 100594312B1
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polishing
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김종윤
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은, 헤드슬라이더의 트레일링 에지(trailing edge) 측에서 리딩 에지(leading edge) 측으로 헤드슬라이더의 디스크 대향면을 연마하는 제1 연마 단계; 및, 상기 헤드슬라이더의 리딩 에지 측에서 트레일링 에지 측으로 헤드슬라이더의 디스크 대향면을 연마하는 제2 연마 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드슬라이더 래핑(lapping)방법을 제공한다. The present invention includes a first polishing step of polishing a disk facing surface of the head slider from the trailing edge side of the head slider to the leading edge side; And a second polishing step of polishing the disk facing surface of the head slider from the leading edge side of the head slider to the trailing edge side.

또한, 본 발명은, 복수 개의 헤드슬라이더가 일체로 형성된 헤드슬라이더 로우바(raw bar)를 제조하는 단계; 상기 헤드슬라이더 로우바의 트레일링 에지 측에서 리딩 에지 측으로 헤드슬라이더 로우바의 디스크 대향면을 연마하는 제1 연마 단계; 상기 헤드슬라이더 로우바의 리딩 에지 측에서 트레일링 에지 측으로 헤드슬라이더의 디스크 대향면을 연마하는 제2 연마 단계; 및, 상기 헤드슬라이더 로우바를 낱개의 헤드슬라이더로 슬라이스(slice)하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드슬라이더 제조방법을 제공한다. In addition, the present invention comprises the steps of manufacturing a head slider raw bar (plural head slider) is formed integrally; A first polishing step of grinding the disk facing surface of the head slider row bar from the trailing edge side of the head slider row bar to the leading edge side; A second polishing step of grinding the disk facing surface of the head slider from the leading edge side of the head slider row bar to the trailing edge side; And, slicing the head slider row bar into a single head slider to provide a method for manufacturing a head slider.

Description

하드디스크 드라이브의 헤드슬라이더 래핑방법, 및 헤드슬라이더 제조방법{Method for lapping and manufacturing head slider of hard disk drive}Method for lapping the head slider of a hard disk drive and manufacturing method of the head slider

도 1은 하드디스크 드라이브의 작동시 디스크 상에서 부상해 있는 헤드슬라이더를 도시한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing a head slider floating on a disk when the hard disk drive is operated.

도 2는 낱개로 슬라이스되지 않은 헤드슬라이더 로우바(raw bar)를 도시한 사시도이다. FIG. 2 is a perspective view of the head slider raw bar which is not sliced individually. FIG.

도 3 및 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 헤드슬라이더 래핑방법을 설명하기 위한 도면으로, 도 3은 연마 플레이트로 헤드슬라이더 로우바를 연마하는 모습을 도시한 평면도이며, 도 4는 이를 도시한 단면도이다. 3 and 4 are views for explaining a head slider wrapping method according to a preferred embodiment of the present invention, Figure 3 is a plan view showing a state of grinding the head slider row bar with a polishing plate, Figure 4 shows this It is a cross section.

도 5는 본 발명의 방법으로 제조된 헤드슬라이더를 도시한 단면도이다. 5 is a sectional view showing a head slider manufactured by the method of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

80 ...래핑 플레이트 100R ...헤드슬라이더 로우바80 ... lapping plate 100R ... headslider low bar

100 ...헤드슬라이더 101 ...슬라이더 몸체100 ... Head slider 101 ... Slider body

102 ...디스크 대향면 103, 104, 105 ...ABS102 ... disk facing surfaces 103, 104, 105 ... ABS

110 ...리딩 에지 112 ...트레일링 에지110 ... leading edge 112 ... trailing edge

120 ...자기헤드 121 ...기록부120 ... magnetic head 121 ... recording

125 ...판독부 132 ...오버코트층125 ... Reading section 132 ... Overcoat layer

본 발명은 하드디스크 드라이브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 디스크에 데이터를 기록하거나 디스크에 기록된 데이터를 판독하는 헤드슬라이더를 제조하는 방법에 관한 것이다. The present invention relates to a hard disk drive, and more particularly, to a method for manufacturing a head slider for writing data to or reading data written to a disk.

하드디스크 드라이브(HDD; hard disk drive)는 컴퓨터 등에 사용되는 보조기억장치의 일 예로서, 자기헤드에 의해 디스크에 저장된 데이터를 재생하거나, 디스크에 새로운 데이터를 기록하는 장치이다. 상기 자기헤드는 헤드슬라이더에 탑재된다. 하드디스크 드라이브의 작동중 상기 헤드슬라이더는 상기 디스크에서 일정 간격만큼 부양된 플로팅(floating) 상태를 유지하고, 상기 자기헤드는 상기 디스크에 저장된 데이터를 읽어들여 재생(read)하거나, 상기 디스크에 새로운 데이터를 써서 기록(write)하는 기능을 수행한다. A hard disk drive (HDD) is an example of an auxiliary memory device used for a computer and the like, which is a device for reproducing data stored in a disk by a magnetic head or recording new data on the disk. The magnetic head is mounted on the head slider. During operation of the hard disk drive, the head slider maintains a floating state floated at a predetermined interval on the disk, and the magnetic head reads data stored on the disk and plays new data on the disk. Write function is executed.

도 1은 하드디스크 드라이브의 작동시 디스크 상에서 부상해 있는 헤드슬라이더를 도시한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing a head slider floating on a disk when the hard disk drive is operated.

도 1 을 참조하면, 헤드슬라이더(10)는 AlTiC 로 이루어진 슬라이더 몸체(11)와, 상기 슬라이더 몸체(11)의 일측에 탑재된 자기헤드(20)를 구비한다. 상기 자기헤드(20)는 디스크(D)에 데이터를 기록하기 위한 기록부(21)와, 디스크(D)에 기록된 데이터를 읽어내기 위한 판독부(25)를 포함한다. 상기 기록부(21)는 자기헤드(20) 내부에서 결합되어 자성코어(magnetic core)를 형성하는 제1 자극(22) 및 제2 자극(23)과, 상기 자성코어에 권선된 코일(24)을 포함한다. 또한, 상기 판독부(25)는 평행 배열되는 제1 실드(shield, 26) 및 제2 실드(27)와, 상기 한 쌍의 실드(26, 27) 사이에 마련된 MR 센서(magnetroresistance sensor, 28)를 포함한다. 상기 기록부(21) 및 판독부(25)는 알루미나(Al2O3)로 이루어진 보호층(30)으로 쌓여져 있다. 상기 보호층(30) 가운데 자기헤드(20)의 외면(外麵)을 형성하는 층을 특히 오버코트층(overcoat layer, 32)이라 한다. Referring to FIG. 1, the head slider 10 includes a slider body 11 made of AlTiC and a magnetic head 20 mounted on one side of the slider body 11. The magnetic head 20 includes a recording unit 21 for recording data on the disk D, and a reading unit 25 for reading data recorded on the disk D. As shown in FIG. The recording unit 21 includes a first magnetic pole 22 and a second magnetic pole 23 coupled to the inside of the magnetic head 20 to form a magnetic core, and a coil 24 wound on the magnetic core. Include. In addition, the readout part 25 includes an MR sensor (magnetroresistance sensor 28) provided between the first shield 26 and the second shield 27 arranged in parallel and the pair of shields 26 and 27. It includes. The recording unit 21 and the reading unit 25 are stacked with a protective layer 30 made of alumina (Al 2 O 3 ). The layer forming the outer surface of the magnetic head 20 among the protective layers 30 is particularly referred to as an overcoat layer 32.

한편, 헤드슬라이더(10)의 디스크 대향면은 부식 및 디스크(미도시)와의 접촉으로 인한 손상을 억제하기 위하여 DLC(Diamond Like Carbon)로 된 코팅막(13)이 형성된다. 상기 헤드슬라이더(10)는 그 상측면이 액츄에이터의 서스펜션(미도시)에 결합된다. On the other hand, the disk facing surface of the head slider 10 is formed with a coating film 13 of DLC (Diamond Like Carbon) in order to suppress corrosion and damage due to contact with the disk (not shown). The upper side of the head slider 10 is coupled to the suspension (not shown) of the actuator.

상기 헤드슬라이더(10)는 제조의 마무리 단계에서 외면을 매끄럽게 하기 위해 외면을 연마하는데, 이를 헤드슬라이더 래핑(lapping)이라고 한다. 특히, 양력 발생을 위해 헤드슬라이더(10)의 디스크(D) 대향면의 래핑은 중요한 작업이며, 이를 통해 ABS(Air Bearing Surface, 미도시), PTR(pole Tip Recession) 등이 형성된다. 그런데, 상기 헤드슬라이더 래핑 과정에서 상기 오버코트층(32)에 디스크(D) 대향면으로 돌출된 오버코트 프로트루젼(overcoat protrusion, OCP)도 형성된다. The head slider 10 polishes the outer surface to smooth the outer surface at the finishing stage of manufacture, which is called head slider lapping. In particular, the lapping of the disk D facing surface of the head slider 10 is an important task for generating lift, through which ABS (Air Bearing Surface, not shown), PTR (pole tip recession), etc. are formed. However, an overcoat protrusion (OCP) protruding from the opposing surface of the disk D is also formed on the overcoat layer 32 during the head slider lapping process.

상기 OCP(33)는 하드디스크 드라이브(미도시)의 작동시 디스크(D)와 가장 근접하게 되므로, 디스크(D)와 헤드슬라이더(10)의 접촉 및 그로 인한 손상이나 오작동을 야기하는 주요한 원인이 되고 있다. 근래에 하드디스크 드라이브는 소형화, 대용량화되어 가고 있으며, 이에 따라 하드디스크 드라이브 작동시의 디스크(D)와 헤드슬라이더(10) 사이의 간격을 계속적으로 줄여가고 있다. 따라서, 디스크(D)와 헤드슬라이더(10)의 접촉 가능성을 줄이기 위해서 상기 OCP(33)의 돌출 정도를 줄이기 위한 노력이 요구되는 실정이다. Since the OCP 33 is closest to the disk D during the operation of a hard disk drive (not shown), the main cause of contact between the disk D and the head slider 10 and the resulting damage or malfunction is the main cause. It is becoming. In recent years, hard disk drives are becoming smaller and larger in size, and accordingly, the gap between the disk D and the head slider 10 during the hard disk drive operation is continuously reduced. Therefore, in order to reduce the possibility of contact between the disk D and the head slider 10, an effort to reduce the degree of protrusion of the OCP 33 is required.

본 발명은 헤드슬라이더의 OCP의 돌출 정도가 줄어드는 헤드슬라이더 래핑방법, 및 헤드슬라이더 제조방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다. An object of the present invention is to provide a head slider wrapping method and a head slider manufacturing method in which the degree of protrusion of the OCP of the head slider is reduced.

또한, 본 발명은 동시에 생산된 다수 개의 헤드슬라이더의 OCP의 돌출 정도가 균일하게 되는 헤드슬라이더 래핑방법, 및 헤드슬라이더 제조방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다. Another object of the present invention is to provide a head slider wrapping method and a head slider manufacturing method in which the degree of protrusion of OCP of a plurality of simultaneously produced head sliders is uniform.

상기와 같은 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명은, 헤드슬라이더의 트레일링 에지(trailing edge) 측에서 리딩 에지(leading edge) 측으로 헤드슬라이더의 디스크 대향면을 연마하는 제1 연마 단계; 및, In order to achieve the above technical problem, the present invention includes a first polishing step of polishing the disk facing surface of the head slider from the trailing edge (leading edge) side of the head slider to the leading edge side; And,

상기 헤드슬라이더의 리딩 에지 측에서 트레일링 에지 측으로 헤드슬라이더의 디스크 대향면을 연마하는 제2 연마 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드슬라이더 래핑(lapping)방법을 제공한다. And a second polishing step of polishing the disk facing surface of the head slider from the leading edge side of the head slider to the trailing edge side.

바람직하게는, 상기 제1 연마 단계의 연마 시간이 제2 연마 단계의 연마 시간보다 더 길 수 있다. Preferably, the polishing time of the first polishing step may be longer than the polishing time of the second polishing step.

바람직하게는, 상기 제1 연마 단계에 적용되는 래핑 플레이트의 표면 마찰계 수가 제2 연마 단계에 적용되는 래핑 플레이트의 표면 마찰계수보다 클 수 있다. Preferably, the surface friction coefficient of the wrapping plate applied to the first polishing step may be greater than the surface friction coefficient of the wrapping plate applied to the second polishing step.

또한, 본 발명은, 복수 개의 헤드슬라이더가 일체로 형성된 헤드슬라이더 로우바(raw bar)를 제조하는 단계;In addition, the present invention comprises the steps of manufacturing a head slider raw bar (plural head slider) is formed integrally;

상기 헤드슬라이더 로우바의 트레일링 에지 측에서 리딩 에지 측으로 헤드슬라이더 로우바의 디스크 대향면을 연마하는 제1 연마 단계;A first polishing step of grinding the disk facing surface of the head slider row bar from the trailing edge side of the head slider row bar to the leading edge side;

상기 헤드슬라이더 로우바의 리딩 에지 측에서 트레일링 에지 측으로 헤드슬라이더의 디스크 대향면을 연마하는 제2 연마 단계; 및, A second polishing step of grinding the disk facing surface of the head slider from the leading edge side of the head slider row bar to the trailing edge side; And,

상기 헤드슬라이더 로우바를 낱개의 헤드슬라이더로 슬라이스(slice)하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드슬라이더 제조방법을 제공한다. And slicing the head slider row bar into a single head slider to provide a method of manufacturing a head slider.

바람직하게는, 상기 제1 연마 단계의 연마 시간이 제2 연마 단계의 연마 시간보다 더 길 수 있다. Preferably, the polishing time of the first polishing step may be longer than the polishing time of the second polishing step.

바람직하게는, 상기 제1 연마 단계에 적용되는 래핑 플레이트의 표면 마찰계수가 제2 연마 단계에 적용되는 래핑 플레이트의 표면 마찰계수보다 클 수 있다. Preferably, the surface friction coefficient of the wrapping plate applied to the first polishing step may be greater than the surface friction coefficient of the wrapping plate applied to the second polishing step.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 헤드슬라이더 래핑방법, 및 헤드슬라이더 제조방법을 상세하게 설명한다.Hereinafter, a head slider wrapping method and a head slider manufacturing method according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 낱개로 슬라이스되지 않은 헤드슬라이더 로우바(raw bar)를 도시한 사시도이며, 도 3 내지 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 헤드슬라이더 래핑방법을 설명하기 위한 도면으로, 도 3은 연마 플레이트로 헤드슬라이더 로우바를 연마하는 모습을 도시한 평면도이며, 도 4는 이를 도시한 단면도이다. 또한, 도 5는 본 발명의 방법으로 제조된 헤드슬라이더를 도시한 단면도이다. 2 is a perspective view illustrating a head slider raw bar which is not sliced individually, and FIGS. 3 to 5 are views for explaining a head slider wrapping method according to a preferred embodiment of the present invention. 4 is a plan view illustrating the polishing of the head slider row bar with a polishing plate, and FIG. 5 is a cross-sectional view showing a head slider manufactured by the method of the present invention.

도 2를 참조하면, 헤드슬라이더(100)를 공업적으로 생산하기 위하여, 먼저 복수 개의 헤드슬라이더(100)가 일체로 형성된 헤드슬라이더 로우바(raw bar,100R)를 제조한다. 도시된 헤드슬라이더 로우바(100R)는 일렬로 배열된 6개의 헤드슬라이더(100)가 일체로 형성되어 있고, 헤드슬라이더(100) 각각에는 자기헤드(120)가 탑재된다. 한편, 하드디스크 드라이브(미도시)의 작동시 디스크(D)의 회전에 의해 유도된 공기흐름이 유입되는 측을 헤드슬라이더(100)의 리딩 에지(leading edge. 110) 측이라 칭하고, 상기 공기흐름이 유출되는 측을 헤드슬라이더(100)의 트레일링 에지(trailing edge, 112) 측이라 칭하는데, 상기 자기헤드(120)는 트레일링 에지(112) 측에 탑재된다. Referring to FIG. 2, in order to industrially produce the head slider 100, first, a head slider raw bar 100R in which a plurality of head sliders 100 are integrally manufactured is manufactured. In the illustrated head slider row bar 100R, six head sliders 100 arranged in a row are integrally formed, and the magnetic head 120 is mounted on each of the head sliders 100. On the other hand, the side in which the air flow induced by the rotation of the disk (D) during the operation of the hard disk drive (not shown) is called the leading edge (110) side of the head slider 100, the air flow This outflow side is referred to as a trailing edge (112) side of the head slider 100, the magnetic head 120 is mounted on the trailing edge (112) side.

다음으로, 상기 헤드슬라이더 로우바(100R)의 디스크 대향면(102)을 가공하여 헤드슬라이더(100) 각각에 ABS(103, 104, 105)를 형성한다. 상기 ABS(103, 104, 105)은, 후술할 크라운(crown) 형성을 위한 래핑과 별개의 래핑에 의해 형성될 수 있다. Next, the disk facing surface 102 of the head slider row bar 100R is processed to form ABS 103, 104, 105 in each of the head sliders 100. The ABS 103, 104, 105 may be formed by lapping separate from lapping for forming a crown to be described later.

헤드슬라이더(100)의 디스크 대향면(102)은 적절한 양력이 발생되도록 매끄럽게 연마되고, 디스크(D, 도 6 참조)와의 접촉 면적을 줄이기 위해 전체적으로 디스크(D)를 향해 볼록하게 연마되는데, 이를 헤드슬라이더(100)의 래핑 과정 가운데, 특히 크라운(crown) 형성을 위한 래핑이라고 한다. The disk facing surface 102 of the head slider 100 is polished smoothly so that a proper lifting force is generated, and convexly polished toward the disk D as a whole to reduce the contact area with the disk D (see FIG. 6). Among the lapping processes of the slider 100, in particular, lapping for forming a crown is referred to as lapping.

도 3을 참조하면, 상기 크라운 형성을 위한 래핑은 회전하는 래핑 플레이트(80)에 헤드슬라이더 로우바(100R)의 디스크 대향면(102)을 접촉시켜 행한다. 상기 헤드슬라이더 로우바(100R)를 래핑 플레이트(80) 상에서 방사상으로 배치하고 상기 래핑 플레이트(80)를 시계방향(1) 또는 반시계방향(2)으로 회전시키면 상기 헤드슬라이더 로우바(100R)의 디스크 대향면(102)은 트레일링 에지(112) 측에서 리딩 에지(110) 측으로, 또는 리딩 에지(110) 측에서 트레일링 에지(112) 측으로 래핑된다. 이와 달리 래핑 플레이트(80)의 회전 방향을 고정하고 헤드슬라이더 로우바(100R)를 돌려놓아도 헤드슬라이더 로우바(100R)의 래핑 방향을 전환할 수 있다. Referring to FIG. 3, the lapping for forming the crown is performed by contacting the disk facing surface 102 of the head slider row bar 100R with the rotating wrapping plate 80. When the head slider row bar 100R is disposed radially on the wrapping plate 80 and the wrapping plate 80 is rotated clockwise (1) or counterclockwise (2), the head slider row bar 100R The disc facing surface 102 is wrapped from the trailing edge 112 side to the leading edge 110 side or from the leading edge 110 side to the trailing edge 112 side. Alternatively, the lapping direction of the head slider row bar 100R may be switched even if the rotation direction of the lapping plate 80 is fixed and the head slider row bar 100R is turned.

도 4를 참조하면, 상기 래핑 과정은 먼저 디스크 대향면(102)을 트레일링 에지(112) 측에서 리딩 에지(110) 측으로 연마하는 제1 연마 단계(1)를 행하고, 다음으로 디스크 대향면(102)을 리딩 에지(110) 측에서 트레일링 에지(112) 측으로 연마하는 제2 연마 단계(2)를 행한다. Referring to FIG. 4, the lapping process first performs a first polishing step 1 of polishing the disc facing surface 102 from the trailing edge 112 side to the leading edge 110 side, and then the disc facing surface ( A second polishing step 2 is performed to polish 102 from the leading edge 110 side to the trailing edge 112 side.

상기 디스크 대향면(102)을 트레일링 에지(112) 측에서 리딩 에지(110) 측으로 연마하면 연마 방향의 특성상 가장 먼저 연마되는 트레일링 에지(112) 측의 디스크 대향면(102)의 연마 정도가 다른 부분보다 크게 될 수 있다. 그러나, 가장 먼저 래핑 플레이트(80)와 접촉하게 되므로, 상기 트레일링 에지(112) 측 디스크 대향면(112)의 래핑 정도는 하나의 헤드슬라이더 로우바(100R)에 마련된 복수 개의 헤드슬라이더(100)에서 서로 차이가 크고 균일하지 않을 수 있다. When the disc facing surface 102 is polished from the trailing edge 112 side to the leading edge 110 side, the polishing degree of the disc facing surface 102 on the trailing edge 112 side that is first polished due to the characteristics of the polishing direction is increased. It can be larger than other parts. However, since the first contact with the lapping plate 80, the lapping degree of the disk opposing surface 112 on the trailing edge 112 is a plurality of head slider 100 provided in one head slider row bar (100R) The differences between them may be large and uneven.

반면에, 상기 디스크 대향면(102)을 리딩 에지(110) 측에서 트레일링 에지(112) 측으로 연마하면 가장 나중에 연마되는 트레일링 에지(112) 측의 디스크 대향면(102)의 연마 정도가 다른 부분보다 작게 될 수 있다. 그러나, 디스크 대향면(102)과 래핑 플레이트(80)간 마찰에 의한 연마력이 안정화된 이후 가장 나중에 상기 트레일링 에지(112) 측이 접촉하게 되므로, 그 래핑 정도가 하나의 헤드슬라이 더 로우바(100R)에 마련된 복수 개의 헤드슬라이더(100)에서 서로 차이가 적고 균일하게 될 수 있다. On the other hand, when the disc facing surface 102 is polished from the leading edge 110 side to the trailing edge 112 side, the degree of polishing of the disc facing surface 102 on the trailing edge 112 side, which is polished last, is different. Can be smaller than the portion. However, since the trailing edge 112 side comes in contact with the trailing edge 112 side after the polishing force due to the friction between the disk opposing surface 102 and the wrapping plate 80 is stabilized, the degree of lapping is reduced by one headslide the lower bar ( In the plurality of head sliders 100 provided at 100R, the difference may be small and uniform.

본 발명의 실시예에서 상기 제1 연마 단계(1)는 OCP(도 5 참조)의 돌출 정도를 종래에 비해 줄이기 위해 행해지는 것으로, 상기 제2 연마 단계(2)에 비해 더 오랜 시간동안 연마하여 OCP를 줄이는 것이 바람직하다. 이에 반해, 상기 제2 연마 단계(2)는 헤드슬라이더 로우바(100R)에 형성된 각 헤드슬라이더(100)의 래핑 정도를 균일하게 하여 제품의 신뢰성을 향상하기 위한 것으로, 상기 제1 연마 단계(1)에 비해 짧은 시간동안 연마하는 것이 바람직하다. 한편, 제1 연마 단계와 제2 연마 단계의 래핑 정도를 달리 하기 위하여 래핑 시간을 달리하는 방법 외에, 래핑 플레이트(80)의 회전 속도나 표면 마찰계수를 달리 하여 제1 연마 단계와 제2 연마 단계의 래핑 강도를 서로 다르게 할 수도 있다. In the embodiment of the present invention, the first polishing step 1 is performed to reduce the degree of protrusion of the OCP (see FIG. 5) as compared with the conventional one, and is polished for a longer time than the second polishing step (2). It is desirable to reduce the OCP. In contrast, the second polishing step (2) is to improve the reliability of the product by uniformly lapping the degree of each head slider 100 formed in the head slider row bar (100R), the first polishing step (1 It is preferable to grind for a short time compared to). On the other hand, the first polishing step and the second polishing step by varying the rotational speed or surface friction coefficient of the lapping plate 80 in addition to the method of varying the lapping time in order to vary the degree of lapping between the first polishing step and the second polishing step. It is also possible to vary the wrapping strength of the.

헤드슬라이더 로우바(100R)를 래핑하고 나서 상기 디스크 대향면(102)은 부식 및 디스크와의 접촉으로 인한 손상을 억제하기 위하여 DLC(Diamond Like Carbon)가 코팅된다. 그리고 나서, 상기 헤드슬라이더 로우바(100R)를 슬라이스(slice)하여 낱개의 헤드슬라이더(100)로 분리한다. After wrapping the headslider bar 100R, the disk facing surface 102 is coated with a diamond like carbon (DLC) to suppress corrosion and damage due to contact with the disk. Then, the head slider row bar 100R is sliced and separated into individual head sliders 100.

도 5를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 제조된 헤드슬라이더(100)는 AlTiC 로 이루어진 슬라이더 몸체(101)와, 상기 슬라이더 몸체(101)에 탑재된 자기헤드(120)를 구비한다. 상기 자기헤드(120)는 디스크(D)에 데이터를 기록하기 위한 기록부(121)와, 디스크(D)에 기록된 데이터를 읽어내기 위한 판독부(125)를 포함한다. 상기 기록부(121)는 자기헤드(120) 내부에서 결합되어 자성코어 (magnetic core)를 형성하는 제1 자극(122) 및 제2 자극(123)과, 상기 자성코어에 권선된 코일(124)을 포함한다. 또한, 상기 판독부(125)는 평행 배열되는 제1 실드(shield, 126) 및 제2 실드(127)와, 상기 한 쌍의 실드(126, 127) 사이에 마련된 MR 센서(magnetroresistance sensor, 128)를 포함한다. 상기 기록부(121) 및 판독부(125)는 알루미나(Al2O3)로 이루어진 보호층(130)으로 쌓여져 있다. 그리고, 헤드슬라이더(100)의 디스크(D) 대향면은 DLC 코팅층(115)이 형성되어 있다. Referring to FIG. 5, the head slider 100 manufactured according to the preferred embodiment of the present invention includes a slider body 101 made of AlTiC and a magnetic head 120 mounted on the slider body 101. The magnetic head 120 includes a recording unit 121 for recording data on the disk D, and a reading unit 125 for reading data recorded on the disk D. As shown in FIG. The recording unit 121 includes a first magnetic pole 122 and a second magnetic pole 123 coupled to the inside of the magnetic head 120 to form a magnetic core, and a coil 124 wound around the magnetic core. Include. In addition, the reading unit 125 may include an MR sensor (magnetroresistance sensor 128) provided between the first shield 126 and the second shield 127 arranged in parallel and the pair of shields 126 and 127. It includes. The recording unit 121 and the reading unit 125 are stacked with a protective layer 130 made of alumina (Al 2 O 3 ). The DLC coating layer 115 is formed on the opposing surface of the disk D of the head slider 100.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 헤드슬라이더 래핑에 의해 자기헤드(120)의 디스크(D) 대향면에는 PTR(Pole tip recession)이 형성된다. 그러나, 가상선으로 나타낸 종래의 경우와 달리 OCP(overcoat protrusion)은 돌출되지 않거나 돌출되더라도 그 돌출 정도가 적어지게 된다. Pole tip recession (PTR) is formed on the opposing surface of the disk D of the magnetic head 120 by head slider lapping according to a preferred embodiment of the present invention. However, unlike the conventional case represented by the imaginary line, the overcoat protrusion (OCP) is less protruded even if it does not protrude or protrudes.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 예컨데, 첨부된 도면에는 헤드슬라이더 로우바를 래핑하고 이를 낱개로 분리하여 헤드슬라이더를 제조하는 것으로 설명되어 있으나, 낱개로 형성된 헤드슬라이더를 래핑하는 것도 본 발명의 보호범위에 포함된다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments shown in the drawings, this is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. For example, in the accompanying drawings, it is described that the head slider row bar is wrapped and separated into pieces to manufacture the head slider, but the wrapping of the head slider formed as a single part is also included in the protection scope of the present invention. Therefore, the true scope of protection of the present invention should be defined only by the appended claims.

본 발명의 헤드슬라이더 래핑방법, 및 헤드슬라이더 제조방법에 의해 생산된 헤드슬라이더는, OCP의 돌출 정도가 감소하여 하드디스크 드라이브 작동중 헤드슬라이더와 디스크의 접촉 가능성이 줄어든다. 따라서, 헤드슬라이더와 디스크 사이의 간격을 좁혀 소형, 대용량의 하드디스크 드라이브를 구현할 수 있다. The head slider produced by the head slider wrapping method and the head slider manufacturing method of the present invention reduces the protruding degree of the OCP, thereby reducing the possibility of contact between the head slider and the disk during hard disk drive operation. Therefore, the gap between the head slider and the disk can be narrowed to realize a small and large capacity hard disk drive.

또한, 리딩 에지 측에서 트레일링 에지 측으로 헤드슬라이더를 한번 더 래핑함에 의하여 동시에 생산된 다수 개의 헤드슬라이더의 래핑 정도(pole tip recession sigma)를 균일하게 할 수 있어, 제품의 신뢰성이 향상된다. In addition, by wrapping the head slider once more from the leading edge side to the trailing edge side, it is possible to uniform the pole tip recession sigma of a plurality of head sliders produced at the same time, thereby improving product reliability.

Claims (6)

헤드슬라이더의 트레일링 에지(trailing edge) 측에서 리딩 에지(leading edge) 측으로 헤드슬라이더의 디스크 대향면을 연마하는 제1 연마 단계; 및, A first polishing step of polishing the disk facing surface of the head slider from the trailing edge side of the head slider to the leading edge side; And, 상기 헤드슬라이더의 리딩 에지 측에서 트레일링 에지 측으로 헤드슬라이더의 디스크 대향면을 연마하는 제2 연마 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드슬라이더 래핑(lapping)방법. And a second polishing step of polishing the disk facing surface of the head slider from the leading edge side of the head slider to the trailing edge side. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 제1 연마 단계의 연마 시간이 제2 연마 단계의 연마 시간보다 더 긴 것을 특징으로 하는 헤드슬라이더 래핑방법. And the polishing time of the first polishing step is longer than the polishing time of the second polishing step. 제1 항에 있어서,According to claim 1, 상기 제1 연마 단계에 적용되는 래핑 플레이트의 표면 마찰계수가 제2 연마 단계에 적용되는 래핑 플레이트의 표면 마찰계수보다 큰 것을 특징으로 하는 헤드슬라이더 래핑방법. And the surface friction coefficient of the lapping plate applied to the first polishing step is greater than the surface friction coefficient of the lapping plate applied to the second polishing step. 복수 개의 헤드슬라이더가 일체로 형성된 헤드슬라이더 로우바(raw bar)를 제조하는 단계;Manufacturing a head slider raw bar in which a plurality of head sliders are integrally formed; 상기 헤드슬라이더 로우바의 트레일링 에지 측에서 리딩 에지 측으로 헤드슬라이더 로우바의 디스크 대향면을 연마하는 제1 연마 단계;A first polishing step of grinding the disk facing surface of the head slider row bar from the trailing edge side of the head slider row bar to the leading edge side; 상기 헤드슬라이더 로우바의 리딩 에지 측에서 트레일링 에지 측으로 헤드슬라이더의 디스크 대향면을 연마하는 제2 연마 단계; 및, A second polishing step of grinding the disk facing surface of the head slider from the leading edge side of the head slider row bar to the trailing edge side; And, 상기 헤드슬라이더 로우바를 낱개의 헤드슬라이더로 슬라이스(slice)하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤드슬라이더 제조방법. And slicing the head slider row bar into individual head sliders. 제4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제1 연마 단계의 연마 시간이 제2 연마 단계의 연마 시간보다 더 긴 것을 특징으로 하는 헤드슬라이더 제조방법.And the polishing time of the first polishing step is longer than the polishing time of the second polishing step. 제4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제1 연마 단계에 적용되는 래핑 플레이트의 표면 마찰계수가 제2 연마 단계에 적용되는 래핑 플레이트의 표면 마찰계수보다 큰 것을 특징으로 하는 헤드슬라이더 제조방법. And a surface friction coefficient of the lapping plate applied to the first polishing step is larger than a surface friction coefficient of the lapping plate applied to the second polishing step.
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