KR100592795B1

KR100592795B1 - Switching Mode Power Supply Circuit for Circulator

Info

Publication number: KR100592795B1
Application number: KR1020040084020A
Authority: KR
Inventors: 안현구
Original assignee: (주)이케이테크놀로지
Priority date: 2004-10-20
Filing date: 2004-10-20
Publication date: 2006-06-26
Also published as: KR20060034966A

Abstract

본 발명은 서큘레이터용 SMPS에 관한 것으로, 제1 노이즈필터(10)와, 제1 노이즈 필터로부터 릴레이를 개재하여 연결되고 1차 직류전압을 출력하는 제1 직렬레귤레이터(20)와, 이 출력을 인가받는 스위칭 레귤레이터(30)와, 그 출력을 인가받는 PWM(40) 장치와, 이 PWM 장치의 출력을 인가받아 구동용 전압을 발생하는 드라이버와, 이 드라이버의 출력을 인가받아 스위칭모드 파워 서플라이로서 동작하여 제공되는 전압을 출력하는 제2 직렬레귤레이터를 구비하여 된 서큘레이터용 SMPS(100)로서, 상기 제1 직렬레귤레이터(20)의 출력단과 상기 스위칭 레귤레이터(30)의 입력단 사이에 라인의 노이즈를 추가로 제거하기 위해 연결하는 제2 노이즈 필터(25)와, 상기 PWM(40) 장치의 일 입력단에는 대전류를 제어하기 위해 연결하는 인터페이스(50)와, 상기 인터페이스(50)의 후단에 부가 연결하는 싱글 엔디드 드라이브( Single Ended Drive) 방식의 드라이버부(60) 및, 상기 PWM(40) 장치의 타 입력단에 제2 직렬레귤레이터(70)의 출력값의 오차를 감지하여 PWM(40)의 오차 보정을 하도록 제어함과 동시에 장치의 가동 및 고장상태를 점검하고 표시하기 위한 마이크로 컨트롤러(80)를 부가하여 이루어진다. The present invention relates to a circulator SMPS, comprising: a first noise filter (10), a first series regulator (20) connected from a first noise filter via a relay and outputting a primary DC voltage, and the output The switching regulator 30 to be applied, the PWM device to which the output is applied, the driver to receive the output of the PWM device to generate a driving voltage, and the output of the driver to be applied as a switching mode power supply A circulator SMPS (100) having a second series regulator for outputting a voltage provided by operation, the noise of the line between the output terminal of the first series regulator 20 and the input terminal of the switching regulator 30 A second noise filter 25 connected for further removal, an interface 50 connected to one input terminal of the PWM device for controlling a large current, and after the interface 50 A single-ended drive type driver unit 60 additionally connected to the stage, and the PWM 40 by sensing an error in the output value of the second serial regulator 70 at the other input terminal of the PWM 40 device. It is made by adding a microcontroller 80 for checking and displaying the operation and failure state of the device while controlling to correct the error of.

PWM, 서큘레이터, 레귤레이터, 싱글엔디드 드라이브, 전류센싱부 PWM, Circulator, Regulator, Single-Ended Drive, Current Sensing

Description

Switching Mode Power Supply Circuit for Circulators

도 1은 종래의 서큘레이터용 SMPS 회로부를 도시한 블럭도,1 is a block diagram showing a conventional SMPS circuit portion for a circulator,

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 서큘레이터용 SMPS 회로부를 도시한 블럭도,2 is a block diagram showing an SMPS circuit unit for a circulator according to a preferred embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 싱글 엔디드 회로도,3 is a single ended circuit diagram according to a preferred embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전류센싱부를 도시한 회로도.4 is a circuit diagram illustrating a current sensing unit according to a preferred embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 제1 노이즈 필터 20 : 제1 직렬레귤레이터10: first noise filter 20: first series regulator

25 : 제2 노이즈 필터 30 : 스위칭 레귤레이터25 second noise filter 30 switching regulator

40 : PWM 50 : 인터페이스40: PWM 50: interface

60 :드라이버부 60: driver part

64 :에러 센싱장치(Error Sensing Circuit) 64: Error Sensing Circuit

70 : 제2 직렬레귤레이터 80 : 마이크로 컨트롤러70: second series regulator 80: microcontroller

90 : 전류센싱부(Current Sensing Curcuit) 90: Current Sensing Curcuit

100 : SMPS (Switching Mode Power Supply)100: SMPS (Switching Mode Power Supply)

본 발명은 반도체 생산공정에서 웨이퍼 세척 및 코팅공정에 사용되는 약액 온도의 온도보상을 위한 서큘레이터용 SMPS(Switching Mode Power Supply)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 대전류 트랜스를 드라이버함에 있어 일정한 전압과 운용에 필요한 충분한 전류를 안정적으로 얻기 위하여 싱글 엔디드 드라이브(single ended Drive) 회로를 채택하고, 출력전압의 미소한 오차를 검출하는 전류센서부를 구비한 서큘레이터용 SMPS 회로에 관한 것이다. The present invention relates to a switching mode power supply (SMPS) for circulators for temperature compensation of chemical temperature used in wafer cleaning and coating processes in semiconductor production processes. More particularly, the present invention relates to a constant voltage and operation in driving a large current transformer. The present invention relates to a SMPS circuit for a circulator, which adopts a single ended drive circuit to stably obtain sufficient current required for the circuit, and has a current sensor unit for detecting a small error in the output voltage.

도 1은 종래의 서큘레이터용 SMPS 회로부를 도시한 블럭도를 게시하였다. 도 1에서 부호 10은 라인 노이즈 필터인 제1 노이즈필터, 20은 제1 직렬레귤레이터(1st Series Regulator), 30은 기동용의 스위칭 레귤레이터(Switching Regulator), 40은 PWM 장치, 62는 싱글엔디드 드라이브 방식의 드라이버, 64는 에러 센싱장치(Error Sensing Circuit), 70은 제2 직렬레귤레이터(2nd Series Regulator)를 각각 도시한다. 1 shows a block diagram showing a conventional SMPS circuit section for a circulator. In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a first noise filter which is a line noise filter, 20 denotes a first series regulator, 30 denotes a switching regulator for starting, 40 denotes a PWM device, and 62 denotes a single-ended drive system. Driver, 64 denotes an error sensing circuit, and 70 denotes a second series regulator.

이하, 도 1을 참조하면서 종래의 서큘레이터용 SMPS 회로부의 작용을 설명하기로 한다. Hereinafter, the operation of the conventional circulator SMPS circuit unit will be described with reference to FIG. 1.

먼저 제1 노이즈 필터(10)인 라인 노이즈 필터는 보통 EMI 필터라고도 하는데, 상기 제1 노이즈 필터(10)는 SMPS 내부에서 고주파 스위칭을 행하면서 발생되는 수백KHz∼수십MHz 사이의 불요 전자파가 복사되는 것을 방지하기 위하여 삽입되 는 회로부이다. 즉 전력선에 존재하는 노이즈를 제거해 주는 것이다. 상기 제1 노이즈 필터(10)에서 출력되는 출력값은 릴레이 스위치를 개재하여 제1 직렬레귤레이터(1st series regulator)(20)로 입력되어, 연결된 메인 변압기(main transformer)구동용 직류 전압으로 정류하게 된다. First, the line noise filter, which is the first noise filter 10, is also commonly referred to as an EMI filter. The first noise filter 10 radiates unwanted electromagnetic waves between hundreds of KHz and several tens of MHz generated during high frequency switching inside the SMPS. It is a circuit part inserted to prevent it. In other words, it removes the noise present in the power line. The output value output from the first noise filter 10 is input to the first series regulator 20 through a relay switch, and rectified to a connected DC voltage for driving a main transformer.

상기 제1 직렬레귤레이터(20)에 의해서 출력된 직류 전압은 기동용 스위칭 레귤레이터(switching regulator)(30)와 메인 변압기로 전달된다. The DC voltage output by the first series regulator 20 is transferred to the switching regulator 30 for startup and the main transformer.

상기 기동용 스위칭 레귤레이터(30)는 상기 제1 직렬레귤레이터(20)로부터 출력값을 받아 들여, 서큘레이터용 SMPS(100) 내부회로 구동 전압으로 동작되기 위하여 제공한다. The starting switching regulator 30 receives an output value from the first series regulator 20 and provides the operating switching regulator 30 to operate with an internal circuit driving voltage of the circulator SMPS 100.

다음으로 PWM(40) 장치는 듀티 사이클(duty cycle)을 제어함에 있어서 계속적으로 안정적인 전원을 공급하는 장치이다. 상기 PWM(40)에서 출력되는 신호는 드라이버(62)에 입력되어 대전력을 제어하여 서큘레이터용 전원을 얻는다. Next, the PWM 40 device is a device that continuously supplies stable power in controlling a duty cycle. The signal output from the PWM 40 is input to the driver 62 to control the large power to obtain a circulator power.

이러한 전원은 고주파 성분의 교류로서, 상기 드라이버(62)로부터 출력되어 제2 직렬레귤레이터(70)에 제공되어 서큘레이터용 SMPS(100)의 전압과 전류를 추출하는 것이다.Such a power source is an alternating current of high frequency components and is output from the driver 62 and supplied to the second series regulator 70 to extract the voltage and current of the circulator SMPS 100.

한편 에러 센싱장치(Error sensing circuit)(64)는 부하 및 제어이상(ERROR)을 검출 하도록 하여 에러를 검출하는 장치로서, 상기 PWM(40) 장치와 상기 드라이버(62) 사이에 개재되고 있다. An error sensing circuit 64 detects an error by detecting a load and a control error, and is interposed between the PWM 40 device and the driver 62.

그런데, 상기 종래의 기술은 대전류 트랜스를 드라이브하여야 함에 있어서 회로 구조상 출력 전력이 부족한 문제점이 있었다. However, the conventional technology has a problem in that the output power is insufficient due to the circuit structure in driving a large current transformer.

따라서 본 발명의 목적은 상기 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명은 종래의 서큘레이터용 SMPS 회로부에 싱글 엔디드 드라이브 회로를 부가함으로써, 구동에 필요한 충분한 전류와 이로 인한 안정된 전압을 제공하는 서큘레이터용 SMPS 회로를 제공함에 있다.
Accordingly, an object of the present invention is to solve the above problems, the present invention is to add a single-ended drive circuit to the conventional SMPS circuit for the circulator, thereby providing a sufficient current required for driving and the resulting circulator The present invention provides an SMPS circuit.

상기 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 제1 노이즈필터(10)와, 제1 노이즈 필터로부터 초기전원 투입시 완충을 위한 릴레이를 개재하여 연결되고 1차 직류전압을 출력하는 제1 직렬레귤레이터(20)와, 이 제1 직렬레귤레이터의 출력을 인가받는 기동용 스위칭 레귤레이터(30)와, 이 스위칭 레귤레이터로부터 출력을 인가받는 PWM(40) 장치와, 이 PWM 장치의 출력을 인가받아 구동용 전압을 발생하는 드라이버와, 이 드라이버의 출력을 메인 변압기를 통하여 인가받는 스위칭모드 파워 서플라이 전압을 출력하는 제2 직렬레귤레이터를 구비하여 된 서큘레이터용 SMPS(100)로서, 상기 제1 직렬레귤레이터(20)의 출력단과 상기 스위칭 레귤레이터(30)의 입력단 사이에 라인의 노이즈를 추가로 제거하기 위해 연결하는 제2 노이즈 필터(25)와, 상기 PWM(40) 장치의 일 입력단에는 대전류를 제어하기 위해 연결하는 인터페이스(50)와, 상기 인터페이스(50)의 후단에 부가 연결하는 싱글 엔디드 드라이브( Single Ended Drive) 방식의 드라이버부(60) 및, 상기 PWM(40) 장치의 타 입 력단에 제2 직렬레귤레이터(70)의 출력값의 오차를 감지하여 PWM(40)의 오차 보정을 하도록 제어함과 동시에 장치의 가동 및 고장상태를 점검하고 표시하기 위한 마이크로 컨트롤러(80)를 부가하여 함으로써 달성할 수 있다. The present invention for achieving the object of the present invention, the first noise filter 10, and a first series connected to the first power supply from the first noise filter via a relay for buffering when the initial power is turned on and outputs a primary DC voltage A regulator 20, a start-up switching regulator 30 to which the output of the first series regulator is applied, a PWM device to which the output is applied from the switching regulator, and a drive for receiving the output of the PWM device A circulator SMPS (100) comprising a driver for generating a voltage and a second series regulator for outputting a switching mode power supply voltage applied to the output of the driver through a main transformer, the first series regulator (20). And a second noise filter 25 connected between the output terminal of the control unit and the input terminal of the switching regulator 30 to further remove noise of the line, and one of the PWM 40 devices. An input terminal of the interface 50 for controlling a large current, a driver unit 60 of a single-ended drive type connected to the rear end of the interface 50, and the PWM 40 of the device A microcontroller 80 is added to the input terminal to detect the error of the output value of the second series regulator 70 and to correct the error of the PWM 40, and to check and display the operation and failure state of the device. It can be achieved by doing so.

이때, 상기 드라이버부(60)는, FET1의 게이트에 직렬로 R1, 병렬로 R2, DZ1, DZ2,가 연결되고, 상기 FET1의 소스와 드레인 사이에 스냅 역할을 하는 R3, C1과 댐핑 역할을 하는 D1이 구성된 싱글 엔디드 드라이브 회로와, 상기 FET1과 동일한 구조로 구성된 싱글 엔디드 드라이브 회로를 병렬로 하여 푸쉬풀 방식으로 드라이브(Push-Full Drive)하는 구성과 직렬정류 회로가 아이솔레이션 연결된 싱글 엔디드 드라이브 회로로 구성되는 것이 바람직하다. At this time, the driver unit 60, R1 in series with the gate of the FET1, R2, DZ1, DZ2, is connected in parallel, and acts as a damping R3, C1, which serves as a snap between the source and drain of the FET1 A single-ended drive circuit in which D1 is configured, a single-ended drive circuit having the same structure as the FET1, and a push-full drive in parallel, and a single-ended drive circuit in which a series rectifier circuit is isolated. It is desirable to be.

또한, 상기 PWM(40) 장치는, 전압오차 및 전류오차를 제어하기 위한 전류센싱부(90)를 추가로 연결하여 이루어지는 것이 바람직하다. In addition, the PWM 40 device is preferably made by further connecting the current sensing unit 90 for controlling the voltage error and current error.

(실시예)(Example)

이하, 본 발명의 구성을 바람직한 실시예를 들어 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 여기에서 종래와 동일한 구성부에 대해서는 동일한 부호를 붙임으로써 번잡함을 방지하고자 한다. Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings for a preferred embodiment. Here, the same components as in the related art are denoted by the same reference numerals to prevent the complexity.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 서큘레이터용 SMPS 회로부를 도시한 블록도이다. 2 is a block diagram illustrating a SMPS circuit unit for a circulator according to a preferred embodiment of the present invention.

먼저, 본 발명에 의한 서큘레이터용 SMPS 회로부(100)는, 상기 설명한 도 1의 서큘레이터용 SMPS 회로부의 구성에 있어서, 제1 직렬레귤레이터(20)의 출력단 에 제2 노이즈 필터(25)를 부가 연결하고, 이 제2 노이즈 필터(25)의 출력을 기동용의 스위칭 레귤레이터(30)로 공급하도록 구성하였다. 이와 같이 제2 노이즈 필터(25)를 부가함으로써, 대전류의 발생에 따라 증대되는 라인 노이즈를 효과적으로 감쇄시킨 후 후단의 스위칭 레귤레이터(30) 안정된 전원을 공급하게 된다. First, the circulator SMPS circuit unit 100 according to the present invention, in the configuration of the circulator SMPS circuit unit of FIG. 1 described above, adds a second noise filter 25 to the output terminal of the first series regulator 20. It connected so that the output of this 2nd noise filter 25 may be supplied to the switching regulator 30 for starting. By adding the second noise filter 25 in this way, the line noise, which is increased due to the generation of the large current, is effectively attenuated, and then the switching regulator 30 in the rear stage is supplied with stable power.

또 본 발명에 의한 서큘레이터용 SMPS 회로부(100)는, 상기 스위칭 레귤레이터(30)의 후단에 연결된 PWM(40) 장치로부터 출력신호를 인출하여 인터페이스부(50)를 거쳐 구동전원을 생성하는 드라이버부(60)에 신호를 공급하게 된다. 이때 상기 인터페이스부(50)는 후술하는 드라이버부(60)에서 사용되는 대전류를 제어하기 위한 용도로 사용되는 완충장치인 것이다. In addition, the circulator SMPS circuit unit 100 according to the present invention, the driver unit for extracting the output signal from the PWM (40) device connected to the rear end of the switching regulator 30 to generate the drive power via the interface unit 50 Signal 60 is supplied. At this time, the interface unit 50 is a buffer device used for the purpose of controlling the large current used in the driver unit 60 to be described later.

또한 본 발명에 의한 서큘레이터용 SMPS 회로부(100)는, 상기 인터페이스(50)에서 출력된 신호를 대용량의 전류를 생성하기 위한 구동부인 드라이버부(60)에 제공하는 구성적인 특징을 갖는다. In addition, the circulator SMPS circuit unit 100 according to the present invention has a structural feature of providing a signal output from the interface 50 to the driver unit 60 which is a driving unit for generating a large current.

상기 드라이버부(60)의 구성 및 작용에 대해 도면을 참조하면서 보다 구체적으로 설명하기로 한다. The configuration and operation of the driver unit 60 will be described in more detail with reference to the drawings.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 싱글 엔디드 드라이브 회로도를 도시한다. 본 발명의 실시예에 적용한 드라이버부(60)에는, 이른바 싱글 엔디드 드라이브( Single Ended Drive)방식의 회로를 적용하였다. 3 shows a single ended drive circuit diagram in accordance with a preferred embodiment of the present invention. In the driver unit 60 applied to the embodiment of the present invention, a so-called single-ended drive circuit is employed.

도시한 바와 같이, 드라이브 방식의 회로에 FET1과 FET2를 병렬로 2개 연결하여 드라이브 능력을 배가 시키도록 유도하는 구성으로 하였다. 즉, 회로에 적용되고 있는 MOS FET 드라이버측 권선비와 본 발명 회로의 권선비를 맞추고, 아이솔 레이션(Isolation)되어 설치된 FET1 측의 구성소자(R1, R2, DZ1, DZ2) 및 FET2 측의 구성소자(R4, R5, DZ1, DZ2)를 이용하여 2차측 전류를 효율적으로 발생시켜 대용량 부하시에도 전압을 안정화시키도록 하였다. As shown in the drawing, two FET1 and FET2 are connected to the drive circuit in parallel to induce a double drive capability. That is, the MOS FET driver side winding ratio applied to the circuit and the winding ratio of the circuit of the present invention are matched, and the components (R1, R2, DZ1, DZ2) on the FET1 side and isolated and installed (the components on the FET2 side) R4, R5, DZ1, and DZ2) are used to efficiently generate the secondary side current to stabilize the voltage even under large loads.

또 상기 PWM(40) 장치로부터 인터페이스(50)를 통하여 상기 드라이버부(60)로 출력신호가 전달되면, 드라이버부(60)의 트랜스 2차측에는 상기 병렬로 구성된 FET1과 FET2가 동시에 ON이 되어야 한다. 이에 따라서, 상기 드라이버부(60)의 FET1과, FET2에서는 동일한 파형이 입력되고, 도시된 FET1과 FET2의 드레인과 소오스에 연결되어 있는 소자 R3, C1, C2, R6은 각각 스냅 역할을 행하고, D1, D2는 댐퍼 역할을 행하며, 후단에 부착된 메인 변압기(MAIN transformer)의 입력측에 연결되는 다이오드 D3, D4는 역기전압에 의한 타 회로의 파손을 방지하기 위한 역할을 행하게 된다. 또 메인 변압기의 2차측에는 정류다이오드인 D5와, 상기의 FET1, FET2가 OFF 상태일 때 트랜스 코일 내부에 축적된 에너지의 방전로를 제공하는 D6 으로 하여 출력전류의 량을 배가 시키는 회로 구성과, 평활회로(filter), C3이 구비된 것이다. In addition, when an output signal is transmitted from the PWM device 40 to the driver unit 60 via the interface 50, the parallel secondary FET1 and FET2 must be turned on at the same time on the transformer secondary side of the driver unit 60. . Accordingly, the same waveforms are input from the FET1 and the FET2 of the driver unit 60, and the elements R3, C1, C2, and R6 connected to the drains and the sources of the FET1 and FET2 shown in FIG. 1 each play a snap role, and D1. , D2 acts as a damper, and diodes D3 and D4 connected to the input side of the main transformer (MAIN transformer) attached to the rear stage serve to prevent damage to other circuits caused by counter voltage. On the secondary side of the main transformer, a circuit configuration for doubling the amount of output current is provided by a rectifying diode D5 and D6 providing a discharge path for the energy stored in the transformer coil when the FET1 and FET2 are in the OFF state. It is equipped with a filter, C3.

다음으로 상기 PWM(40) 장치에는 마이크로 컨트롤러(80)를 연결하여 각종 에러 신호를 검출하여 통지하고, 상기 마이크로 컨트롤러(80) 측에는 가동 및 고장 상태(Run & Fail)를 나타내기 위한 램프를 설치하고 있다. Next, the PWM 40 device is connected to the microcontroller 80 to detect and notify various error signals, and the microcontroller 80 is provided with lamps for indicating run and fail states. have.

또한 상기 PWM(40) 장치로부터 출력전압의 이상 상승이 발생되는 경우에 사용하기 위하여, 과대 전류를 감지하고 제한하기 위한 전류센싱부(Current Sensing Circuit)(90)를 설치하고 있다. In addition, a current sensing unit 90 is installed to detect and limit excessive current for use in the case where an abnormal rise in output voltage occurs from the PWM 40 device.

이와 같이 전류센싱부(90)를 설치함으로써 상기 드라이버부(60) 의 소자 파손을 방지하며 출력전압의 안정을 꾀할 수 있게 된다. 본 발명에 의한 전류센싱부(90)의 구성 및 작용에 대해서는 후술하기로 한다. By providing the current sensing unit 90 as described above, it is possible to prevent device damage of the driver unit 60 and stabilize the output voltage. The configuration and operation of the current sensing unit 90 according to the present invention will be described later.

따라서, 공지된 기술을 제외한 본 발명에 의한 서큘레이터용 SMPS는 그 요구조건이 냉,온 제어모듈(예를 들어, '펠티어 소자')을 목적에 맞게 다수개를 병렬제어하는 대전류이어야 한다. 이때 전압은 일정범위의 오차로 정밀하여야 하며, 생산 현장에서의 양산의 목적을 달성하기 위해서는 자동제어 장치의 제어신호를 받아 급속한 냉,온 제어를 할 수 있어야 할 뿐만 아니라, 종래의 국내외 제품과 비교하여 동일하거나 그 이상의 사양 및 규모를 유지하면서도 같은 신호값을 제어 할 수 있어야 하는 요구조건이 필요함으로, 싱글 엔디드 드라이브 회로를 채택한 본 발명에 의한 서큘레이터용 SMPS는 효과적으로 운용될 수 있다. Therefore, the SMPS for the circulator according to the present invention except for the known technology should be a large current whose parallel requirements are controlled in parallel for the purpose of the cold / hot control module (for example, the Peltier device). At this time, the voltage should be precise with a certain range of error, and in order to achieve the purpose of mass production at the production site, not only should it be able to perform rapid cold and hot control by receiving the control signal of the automatic control device, but also compare with conventional domestic and foreign products Therefore, the requirement to be able to control the same signal value while maintaining the same or more specifications and scale, the SMPS for the circulator according to the present invention employing a single-ended drive circuit can be effectively operated.

다음으로 본 발명에 의한 전류센싱부(90)를 도 4를 참조하여 설명하기로 한다. 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전류센싱부를 도시한 회로도이다. Next, the current sensing unit 90 according to the present invention will be described with reference to FIG. 4. 4 is a circuit diagram illustrating a current sensing unit according to a preferred embodiment of the present invention.

본 발명에 의한 전류센싱부(90)는 상기 PWM(40) 장치의 입력단에 연결되어 출력전압이 일정전압이 될 수 있도록 하는 것과 함께 상기 드라이버부(60) 등의 소자의 파손을 방지하기 위한 것이다. 그 구성은 저항 R1과 R2를 직렬연결하고, 그 사이에 가변저항 VR을 연결하여 조정하여 전압을 분배하고, 적분연산기(op-amp, R4, C)를 설치하여 전류변환 된 출력된 값을 버퍼를 통해 로우패스 필터(Low Pass Filter)와 리미트(Limmit) 회로 R7, C3, D1을 통하는 회로로 구성된 것이다.The current sensing unit 90 according to the present invention is connected to the input terminal of the PWM 40 device so that the output voltage can be a constant voltage, and to prevent damage to devices such as the driver unit 60. . Its configuration is to connect resistors R1 and R2 in series, adjust the variable resistor VR in between, adjust the voltage distribution, and install the integrating operators (op-amp, R4, C) to buffer the current-converted output values. It consists of a low pass filter and a circuit through the limit circuits R7, C3, and D1.

이러한 회로구성을 통해, 상기 PWM(40) 장치는 과대 전압 및 전류가 공급될 때 조절이 가능하고, 이로 인하여 안정된 전압을 얻음과 동시에 과대 구동전압의 생성에 따른 각종 소자의 파손 내지는 손실을 방지할 수 있다. Through such a circuit configuration, the PWM device can be adjusted when an excessive voltage and current are supplied, thereby obtaining a stable voltage and preventing damage or loss of various elements due to generation of an excessive driving voltage. Can be.

이상에서는 본 고안을 특정의 바람직한 실시예에 대해 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 고안은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 고안의 개요를 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다. In the above, the present invention has been illustrated and described with respect to specific preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments, and the present invention is not limited to the scope of the present invention. Many changes and modifications will be possible to those skilled in the art.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 서큘레이터의 구동에 필요한 대전류의 출력을 안정적으로 제공하는 서큘레이터용 SMPS 회로를 달성하는 효과가 있다. As described above, according to the present invention, there is an effect of achieving a circulator SMPS circuit which stably provides an output of a large current required for driving the circulator.

또한 본 발명에 의하면 서큘레이터용 SMPS 자체의 이상전압 발생 등의 오류가 발생할 때 이를 표시하여 작업자에게 통지하고, 발생된 대전류를 조절할 수 있는 서큘레이터용 SMPS 회로를 제공하는 효과가 있다. In addition, according to the present invention, when an error such as an abnormal voltage generation of the circulator SMPS itself occurs, it is displayed and notified to the operator, it is effective to provide a circulator SMPS circuit that can adjust the generated large current.

이와 같이 본 발명에 의한 서큘레이터용 SMPS의 회로에 의하면, 반도체 생산공정에서 웨이퍼 세척 및 코팅공정에 사용되는 서큘레이터용 SMPS의 회로를 보완함으로써 효율과 정밀도를 높이고 타 기종과 호환성을 유지할 수 있음으로 전자산업상 매우 뛰어난 발명인 것이다.
Thus, according to the circuit of the SMPS for circulator according to the present invention, by improving the circuit of the circulator SMPS used in the wafer cleaning and coating process in the semiconductor production process, it is possible to increase the efficiency and precision and maintain compatibility with other models It is an excellent invention in the electronics industry.

Claims

The first noise filter 10, a first series regulator 20 connected via a relay from the first noise filter and outputting a primary DC voltage, and a switching regulator 30 to which an output of the first series regulator is applied. ), A PWM (40) device receiving an output from the switching regulator, a driver receiving the output of this PWM device to generate a driving voltage, and a switching mode power supply receiving the output of the driver through a main transformer. In the SMPS 100 for circulator provided with the 2nd series regulator which outputs the voltage provided by operating as a

A second noise filter 25 connected between the output terminal of the first series regulator 20 and the input terminal of the switching regulator 30 to further remove noise of a line;

An interface 50 connected to one input terminal of the PWM device to control a large current;

A driver unit 60 of a single ended drive type to be additionally connected to a rear end of the interface 50;

Micro for detecting and displaying the operation and failure status of the device while controlling the error correction of the PWM 40 by detecting the error of the output value of the second series regulator 70 at the other input terminal of the PWM 40 device. SMPS for circulators characterized by adding a controller (80).

The method of claim 1,

The driver unit 60,

A single-ended drive circuit in which R1 and R1 are connected in series to the gate of FET1 and R2, DZ1 and DZ2 in parallel, and D1 is configured as a damper between the source and the drain of the FET1;

And a single-ended drive circuit in which a rectifying circuit is isolated in series with the single-ended drive circuit having the same structure as the FET1.

The method of claim 1,

The PWM (40) device, SMPS for circulator, characterized in that made by further connecting the current sensing unit 90 for controlling the voltage error and current error.