KR100585573B1 - Wafer transfer equipment - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 스크래치(Scratch)가 많이 발생하는 원인인 블레이드(Blade)의 처지는 현상을 방지하기 위하여 블레이드 피봇 어셈블리(Pivot Assembly)의 빈 공간에 캡 와셔(Cap Washer)를 삽입함으로써 블레이드의 처짐을 방지하는 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다.The present invention prevents the drooping of the blade by inserting a cap washer in the empty space of the blade pivot assembly in order to prevent the drooping of the blade (Blade), which causes a lot of wafer scratches It relates to a wafer transfer device.

본 발명의 웨이퍼 이송 장치는 피봇 하부의 하부 베어링; 상기 피봇의 빈 공간에 삽입된 캡 와셔; 상기 피봇 및 캡 와셔 상부의 상부 베어링(Bearing); 상기 상부 베어링 상부의 커버(Cover) 및 상기 커버, 상부 베어링, 피봇, 캡 와셔 및 하부 베어링을 고정하기 위한 조인트 스크루(Joint Screw)를 포함하여 이루어짐에 기술적 특징이 있다.The wafer transfer device of the present invention comprises: a lower bearing under the pivot; A cap washer inserted into the empty space of the pivot; An upper bearing on the pivot and cap washer; Technical features include a cover (Cover) of the upper bearing and the cover, the upper bearing, the pivot, the cap washer and a joint screw for fixing the lower bearing.

따라서, 본 발명의 웨이퍼 이송 장치는 장시간의 회전 운동에 의한 조인트 스크루의 풀림 현상을 방지하고, 피봇의 회전 운동을 원활하게 할 수 있을 뿐만 아니라 블레이드의 처짐 현상을 방지하고 피봇 베어링의 수명을 연장하는 장점이 있다.Accordingly, the wafer transfer device of the present invention prevents loosening of the joint screw due to prolonged rotational movement, facilitates rotational movement of the pivot, and prevents sagging of the blade and extends the life of the pivot bearing. There is an advantage.

블레이드, 캡 와셔, 피봇Blade, Cap Washer, Pivot

Description

웨이퍼 이송 장치{Wafer transfer equipment} Wafer Transfer Equipment             

도 1a는 종래기술에 의한 블레이드 어셈블리의 실제 사진.Figure 1a is a real picture of the blade assembly according to the prior art.

도 1b는 종래기술에 의한 블레이드 어셈블리의 단면도.Figure 1b is a cross-sectional view of the blade assembly according to the prior art.

도 1c는 종래기술에 의한 스크래치가 발생한 웨이퍼의 사진.Figure 1c is a photograph of the wafer is scratched according to the prior art.

도 2a는 본 발명에 의한 블레이드 어셈블리의 실제 사진.Figure 2a is a real picture of the blade assembly according to the present invention.

도 2b는 본 발명에 의한 블레이드 어셈블리의 단면도.Figure 2b is a cross-sectional view of the blade assembly according to the present invention.

도 2c는 본 발명에 의한 블레이드 피봇의 실제 사진.Figure 2c is a real picture of the blade pivot according to the present invention.

도 2d는 본 발명에 의한 캡 와셔의 단면도.2d is a cross sectional view of the cap washer according to the present invention;

도 2e는 본 발명에 의한 캡 와셔의 실제 사진.2E is an actual photograph of a cap washer according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

11 : 피봇 어셈블리 12 : 블레이드 피봇11: Pivot Assembly 12: Blade Pivot

14 : 상부 베어링 15 : 하부 베어링14: upper bearing 15: lower bearing

16 : 조인트 스크루 18 : 캡 와셔16: joint screw 18: cap washer

본 발명은 웨이퍼 이송 장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 피봇(Pivot) 하부에 장착된 하부 베어링, 피봇의 빈 공간에 삽입된 캡 와셔(Cap Washer), 피봇 상부에 장착된 상부 베어링, 커버 및 조인트 스크루(Joint Screw)로 구성된 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a wafer transfer apparatus, and more particularly, a lower bearing mounted under a pivot, a cap washer inserted into an empty space of a pivot, an upper bearing mounted on a pivot, a cover, and a joint screw. It relates to a wafer transfer device composed of (Joint Screw).

미합중국 등록특허 제6,481,951호는 다중면 로봇 블레이드의 2 이상의 면 상에 기판을 지지할 수 있는 다중면 로봇 블레이드를 포함하는 로봇 조립체를 구비하는 처리 시스템과, 처리 시스템에 하나 이상의 기판을 이송하기 위한 관련된 발명을 제공하고 있다.US 6,481,951 relates to a processing system having a robotic assembly comprising a multi-sided robot blade capable of supporting a substrate on two or more sides of the multi-sided robot blade, and to an associated system for transferring one or more substrates to the processing system. It provides an invention.

먼저, 도 1a는 종래기술에 의한 블레이드 어셈블리의 실제 사진이다. 블레이드 어셈블리는 블레이드 어셈블리 몸체(1) 상에 블레이드 피봇(2), 상부 베어링, 하부 베어링 및 조인트 스크루로 구성되어 있다.First, Figure 1a is a real picture of the blade assembly according to the prior art. The blade assembly consists of a blade pivot 2, an upper bearing, a lower bearing and a joint screw on the blade assembly body 1.

다음, 도 1b는 종래기술에 의한 피봇 에셈블리의 단면도로 블레이드 피봇(2), 상부 베어링(3), 하부 베어링(4), 커버(5) 및 조인트 스크루(6)로 구성되어 있다. 상기 상부 베어링과 하부 베어링 사이(즉, 피봇의 중심 영역)에 빈 공간(7)이 존재하고 있다. 이러한 빈 공간에 의해 조인트 스크루의 조임의 상태에 따라, 즉, 너무 강하게 조여 있으면 블레이드의 움직임이 원활하지 못하게 되고, 너무 느슨하게 조여져 있으면 블레이드가 앞으로 쳐져서 보정 데이터(Calibration Data)와 다른 위치로 놓여지는 경우가 발생하고 이로 인해 도 1c에서 보는 바와 같 이 웨이퍼에 스크래치(8)를 유발하게 된다.1B is a cross sectional view of a pivot assembly according to the prior art, which is composed of a blade pivot 2, an upper bearing 3, a lower bearing 4, a cover 5, and a joint screw 6. There is an empty space 7 between the upper and lower bearings (ie the central region of the pivot). When the space is tightened due to such empty space, that is, if the screw is tightened too tight, the movement of the blade is not smooth. If the screw is too loose, the blade is struck forward and placed in a position different from the calibration data. And this causes scratches 8 on the wafer as shown in FIG. 1C.

즉, 상기와 같은 종래의 이송 장치는 조인트 스크루가 너무 강하게 조이게 되면 피봇의 운동이 원활하지 못하게 되고, 로봇 동작에도 부담을 주게 되고, 조인트 스크루를 너무 느슨하게 조이게 되면, 블레이드의 회전 운동은 원활하지만, 장시간의 회전운동으로 인해 조인트 스크루가 풀리는 현상, 블레이드의 처짐 현상 및 보정 데이터 값의 변화 등에 의해 웨이퍼 표면에 스크래치가 발생하는 문제점이 있다.That is, in the conventional transfer device as described above, if the joint screw is too tightly tightened, the movement of the pivot is not smooth, and the robot motion is burdened. If the joint screw is too loosely tightened, the rotational motion of the blade is smooth. There is a problem in that a scratch occurs on the wafer surface due to loosening of the joint screw, deflection of the blade, change of the correction data value, etc. due to a long rotational motion.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 상부 베어링과 하부 베어링 사이의 빈 공간에 와셔를 삽입하여 조인트 스크루를 강하게 조임으로써, 장시간의 회전 운동에 의한 조인트 스크루의 풀림 현상을 방지하고, 피봇의 회전 운동을 원활하게 할 수 있을 뿐만 아니라 블레이드의 처짐 현상을 방지하고 피봇 베어링의 수명을 연장되도록 하는 웨이퍼 이송 장치를 제공함에 본 발명의 목적이 있다.
Accordingly, the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, by inserting a washer in the empty space between the upper bearing and the lower bearing to tighten the joint screw strongly, the loosening phenomenon of the joint screw by the long time rotational movement It is an object of the present invention to provide a wafer transfer device that can prevent the, and to facilitate the rotational movement of the pivot, as well as to prevent the deflection of the blade and to extend the life of the pivot bearing.

본 발명의 상기 목적은 피봇 하부의 하부 베어링; 상기 피봇의 빈 공간에 삽입된 캡 와셔; 상기 피봇 및 캡 와셔 상부의 상부 베어링; 상기 상부 베어링 상부의 커버(Cover) 및 상기 커버, 상부 베어링, 피봇, 캡 와셔 및 하부 베어링을 고정 하기 위한 조인트 스크루(Joint Screw)로 이루어진 웨이퍼 이송 장치에 의해 달성된다.The object of the present invention is a lower bearing of the lower pivot; A cap washer inserted into the empty space of the pivot; An upper bearing above the pivot and cap washer; It is achieved by a wafer transfer device consisting of a cover (Cover) above the upper bearing and a joint screw for securing the cover, the upper bearing, the pivot, the cap washer and the lower bearing.

본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다.Details of the above object and technical configuration of the present invention and the effects thereof according to the present invention will be more clearly understood by the following detailed description with reference to the drawings showing preferred embodiments of the present invention.

먼저, 도 2a는 본 발명에 의해 제조된 블레이드 어셈블리의 실제 사진이다. 도에서 보는 바와 같이 블레이드 어셈블리(11) 상에 로봇 암(도시 안함)과 연결되는 두 개의 블레이드 피봇(12)이 형성되어 있다. 도면 번호 13은 피봇, 상부 베어링, 하부 베어링 및 커버로 구성된 피봇 어셈블리의 일부분을 가리키는 것으로 본 발명의 특징부에 해당하는 부분이다.First, FIG. 2A is an actual photograph of a blade assembly manufactured by the present invention. As shown in the figure, two blade pivots 12 are formed on the blade assembly 11 that are connected to a robot arm (not shown). Reference numeral 13 denotes a portion of a pivot assembly consisting of a pivot, an upper bearing, a lower bearing, and a cover, corresponding to features of the present invention.

다음, 도 2b는 상기 도 2a의 도면 번호 13에 해당하는 부분의 단면도이다. 피봇 어셈블리(11)에 로봇 암과 연결되는 블레이드 피봇(12), 블레이드 피봇의 상·하에서 상기 피봇이 원활하게 움직일 수 있도록 하는 상부 베어링(14) 및 하부 베어링(15)이 장착되어 있다. 상기 상부 베어링 및 하부 베어링은 블레이드가 회전할 수 있도록 하는 중요한 장치이다. 상기 상부 베어링, 피봇, 하부 베어링 및 블레이드(이 때 상기 블레이드는 웨이퍼가 안착되는 몸체 부분을 가리킨다.)를 고정하는 조인트 스크루(16)가 커버(17)를 통해 조여져 있다. 보통 조인트 스크루가 상부 베어링, 블레이드 피봇, 하부 베어링 및 블레이드를 고정할 때, 조인트 스크루를 강하게 조이게 되면 피봇의 회전운동이 원활하지 못하게 될 뿐만 아니라 로봇 동작에 많은 부담을 주고, 반대로 너무 느슨하게 조이게 되면 피봇의 회전운동은 원활하지만, 장시간의 회전운동에 의해 조인트 스크루가 풀리게 되어 블레이드의 처짐 현상과 보정 데이터(Calibration Data)가 변경되어 웨이퍼에 스크래치를 유발하게 된다. Next, FIG. 2B is a cross-sectional view of a part corresponding to reference numeral 13 of FIG. 2A. The pivot assembly 11 is equipped with a blade pivot 12 connected to the robot arm, and an upper bearing 14 and a lower bearing 15 for allowing the pivot to move smoothly above and below the blade pivot. The upper and lower bearings are important devices that allow the blades to rotate. A joint screw 16 is fastened through the cover 17 which secures the upper bearing, pivot, lower bearing and blade (where the blade refers to the body portion on which the wafer is seated). Normally, when the joint screw secures the upper bearing, the blade pivot, the lower bearing and the blade, a strong tightening of the joint screw will not only make the pivot's rotation not smooth, but also put a heavy burden on the robot's movement. Although the rotational movement of is smooth, the joint screw is loosened by a long rotational movement, and the blade sag and the calibration data are changed to cause scratches on the wafer.

상기와 같은 부작용을 막기 위해서 본 발명에서는 조인트 스크루를 강하게 조여도 피봇의 회전운동이 원활하게 할 수 있도록 상부 베어링과 하부 베어링 사이의 빈 공간에 캡 와셔(Cap Washer)(18)를 삽입하였다. 또한 블레이드 피봇의 안쪽 내경 부분도 제거하여 캡 와셔가 삽입되기 쉽도록 하였다. 따라서 캡 와셔가 삽입된 피봇 어셈블리가 웨이퍼 이송 장치에 부착되어 작동하게 되면 웨이퍼의 처짐 현상 및 보정 데이터 변경이 없을 뿐만 아니라, 조이트 스크루를 강하게 조여도 회전 운동이 원활한 웨이퍼 이송 장치를 얻을 수 있다. 또한 캡 와셔에 의해서 베어링에 가해지는 힘을 분산할 수 있어 베어링의 수명을 연장할 수 있다.In order to prevent the side effects as described above, in the present invention, a cap washer 18 is inserted into an empty space between the upper bearing and the lower bearing so as to smoothly rotate the joint even when the joint screw is tightened. The inner diameter of the blade pivot was also removed to make it easier to insert the cap washer. Therefore, when the pivot assembly with the cap washer attached to the wafer transfer device is attached and operated, there is no wafer deflection and correction data change, and a wafer transfer device with smooth rotational movement can be obtained even by tightening the tightening screw. In addition, the cap washer can distribute the force exerted on the bearing, thereby extending the life of the bearing.

다음, 도 2c는 본 발명에 의한 블레이드 피봇의 내경 부분(19)이 제거된 실제 사진이다. 도의 좌측의 사진은 일반적인 블레이드 피봇으로 내경 부분이 두껍게 형성되어 있는 것을 보여 주고 있고, 우측의 사진은 본 발명에서 사용되는 블레이드 피봇으로 내경 부분이 제거되어 있는 것을 볼 수 있다. 이러한 내경 부분이 제거된 블레이드 피봇은 상기에서 설명한 바와 같이 캡 와셔가 쉽게 삽입되어 효율적인 작동이 가능하다.Next, FIG. 2C is an actual picture of the inner diameter portion 19 of the blade pivot according to the present invention. The picture on the left side of the figure shows that the inner diameter portion is formed thick with a general blade pivot, the picture on the right side can be seen that the inner diameter portion is removed by the blade pivot used in the present invention. As described above, the blade pivot from which the inner diameter portion has been removed can be easily inserted into the cap washer to enable efficient operation.

다음, 도 2d는 상부 베어링 및 하부 베어링 사이의 빈 공간에 삽입되는 와셔의 측면도이다. 2d is a side view of the washer inserted into the void space between the upper bearing and the lower bearing.

다음, 도 2e는 상기 도 2d의 설계도에 의해 실제로 제작된 와셔의 사진이다. 상기 와셔의 재료는 알루미늄이다.Next, FIG. 2E is a photograph of a washer actually produced by the schematic of FIG. 2D. The material of the washer is aluminum.

상세히 설명된 본 발명에 의하여 본 발명의 특징부를 포함하는 변화들 및 변형들이 당해 기술 분야에서 숙련된 보통의 사람들에게 명백히 쉬워질 것임이 자명하다. 본 발명의 그러한 변형들의 범위는 본 발명의 특징부를 포함하는 당해 기술 분야에 숙련된 통상의 지식을 가진 자들의 범위 내에 있으며, 그러한 변형들은 본 발명의 청구항의 범위 내에 있는 것으로 간주된다.It will be apparent that changes and modifications incorporating features of the invention will be readily apparent to those skilled in the art by the invention described in detail. It is intended that the scope of such modifications of the invention be within the scope of those of ordinary skill in the art including the features of the invention, and such modifications are considered to be within the scope of the claims of the invention.

따라서, 본 발명의 웨이퍼 이송 장치는 상부 베어링 및 하부 베어링 사이의 빈 공간에 와셔를 삽입하여 조인트 스크루를 강하게 조임으로써, 장시간의 회전 운동에 의한 조인트 스크루의 풀림 현상을 방지하고, 피봇의 회전 운동을 원활하게 할 수 있을 뿐만 아니라 블레이드의 처짐현상을 방지하고 피봇 베어링의 수명을 연장할 수 있는 효과가 있다.Therefore, the wafer transfer device of the present invention inserts a washer in the empty space between the upper bearing and the lower bearing to tighten the joint screw so as to prevent loosening of the joint screw due to a long rotational movement and to prevent the pivoting movement of the pivot. Not only can it be smooth, it also prevents the blade from sagging and extends the life of the pivot bearing.

Claims (5)

내경 부분이 제거된 피봇;A pivot with an inner diameter portion removed; 상기 피봇 하부의 하부 베어링;A lower bearing below the pivot; 상기 피봇의 빈 공간에 삽입된 캡 와셔;A cap washer inserted into the empty space of the pivot; 상기 피봇 및 캡 와셔 상부의 상부 베어링;An upper bearing above the pivot and cap washer; 상기 상부 베어링 상부의 커버; 및 A cover over the upper bearing; And 상기 커버, 상부 베어링, 피봇, 캡 와셔 및 하부 베어링을 고정하기 위한 조인트 스크루Joint screw to secure the cover, upper bearing, pivot, cap washer and lower bearing 를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.Wafer transfer apparatus comprising a. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 캡 와셔의 재질은 알루미늄임을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.Wafer transfer apparatus characterized in that the material of the cap washer is aluminum. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 캡 와셔는 상부 베어링과 하부 베어링 사이에 있는 빈 공간에 삽입되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.And the cap washer is inserted into an empty space between the upper bearing and the lower bearing. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 캡 와셔에 의해 상부 베어링 및 하부 베어링에 가해지는 압력이 감소될 수 있음을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.And the pressure exerted on the upper bearing and the lower bearing by the cap washer can be reduced. 삭제delete
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