KR100579340B1 - Soot removing method for mcvd-method and apparatus thereof - Google Patents

Soot removing method for mcvd-method and apparatus thereof Download PDF

Info

Publication number
KR100579340B1
KR100579340B1 KR1020040019002A KR20040019002A KR100579340B1 KR 100579340 B1 KR100579340 B1 KR 100579340B1 KR 1020040019002 A KR1020040019002 A KR 1020040019002A KR 20040019002 A KR20040019002 A KR 20040019002A KR 100579340 B1 KR100579340 B1 KR 100579340B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
soot
rod
tube
heat source
inner tube
Prior art date
Application number
KR1020040019002A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20050093525A (en
Inventor
손순일
박지상
박래혁
Original Assignee
엘에스전선 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘에스전선 주식회사 filed Critical 엘에스전선 주식회사
Priority to KR1020040019002A priority Critical patent/KR100579340B1/en
Publication of KR20050093525A publication Critical patent/KR20050093525A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100579340B1 publication Critical patent/KR100579340B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F21/00—Mobile visual advertising
    • G09F21/04—Mobile visual advertising by land vehicles
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F13/00—Illuminated signs; Luminous advertising
    • G09F13/20—Illuminated signs; Luminous advertising with luminescent surfaces or parts
    • G09F13/22—Illuminated signs; Luminous advertising with luminescent surfaces or parts electroluminescent
    • G09F2013/222—Illuminated signs; Luminous advertising with luminescent surfaces or parts electroluminescent with LEDs
    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
    • G09F13/00—Illuminated signs; Luminous advertising
    • G09F13/20—Illuminated signs; Luminous advertising with luminescent surfaces or parts
    • G09F13/22—Illuminated signs; Luminous advertising with luminescent surfaces or parts electroluminescent
    • G09F2013/227—Electroluminescent displays for vehicles
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N5/00—Details of television systems
    • H04N5/74—Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor
    • H04N5/7416—Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor involving the use of a spatial light modulator, e.g. a light valve, controlled by a video signal
    • H04N5/7441—Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor involving the use of a spatial light modulator, e.g. a light valve, controlled by a video signal the modulator being an array of liquid crystal cells

Landscapes

  • Business, Economics & Management (AREA)
  • Accounting & Taxation (AREA)
  • Marketing (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)

Abstract

본 발명은 모재 석영튜브에 접합되는 배기튜브 및 그 내부의 이너튜브와, 상기 이너튜브에 삽입되어 실리카 수트를 긁어내는 수트 제거봉을 구비한 제거장치를 통해 수행되는 수정화학기상증착(MCVD) 공법의 수트 제거방법에 관한 것으로서, 이너튜브 내벽에 적층되는 수트를 긁어내도록 수트 제거봉을 회전시키는 단계; 증착용 열원이 상기 석영튜브와 배기튜브의 접합부에 일정거리 근접한 상태에서, 수트 제거봉을 상기 열원으로부터 후퇴시키는 단계; 및 상기 증착용 열원이 석영튜브와 배기튜브의 접합부로부터 멀어질 때 상기 수트 제거봉을 원위치로 전진시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention is a crystal chemical vapor deposition (MCVD) method carried out through a removal apparatus having an exhaust tube and an inner tube therein and a soot removal rod inserted into the inner tube to scrape the silica soot. A method of removing a soot, the method comprising: rotating a soot removing rod to scrape off a soot stacked on an inner wall of the inner tube; Retracting the soot removing rod from the heat source while the deposition heat source is a predetermined distance from the junction of the quartz tube and the exhaust tube; And advancing the soot removing rod to its original position when the deposition heat source is separated from the junction of the quartz tube and the exhaust tube.

또한, 본 발명에 따른 수트 제거장치는, 모재 석영튜브에 접합되는 배기튜브 및 그 내부의 이너튜브와; 상기 이너튜브에 삽입되되, 축방향으로 전후진 가능하게 설치되는 수트 제거봉과; 상기 수트 제거봉이 축을 중심으로 회전하도록 회전력을 제공하는 회전수단과; 증착용 열원이 상기 석영튜브와 배기튜브의 접합부에 근접한 상태에서, 선택적으로 수트 제거봉을 상기 열원으로부터 후퇴시키는 가동수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the apparatus for removing soot according to the present invention includes: an exhaust tube and an inner tube therein bonded to the base quartz tube; A soot removal rod inserted into the inner tube and installed to be able to move forward and backward in the axial direction; Rotation means for providing a rotational force to rotate the soot removal rod about an axis; And moving means for selectively retracting the soot removing rod from the heat source in a state in which the heat source for deposition is close to the junction between the quartz tube and the exhaust tube.

본 발명은 증착용 열원의 복사열로부터 수트 제거봉을 보호하여 안정적으로 수트 제거작용을 수행할 수 있다.The present invention can protect the soot removal rod from the radiant heat of the heat source for deposition can perform a soot removal action stably.

MCVD, 로, 수트 제거봉, 에어실린더MCVD, furnaces, soot strippers, air cylinders

Description

ＭＣＶＤ 공법의 수트 제거방법 및 그 장치{SOOT REMOVING METHOD FOR MCVD-METHOD AND APPARATUS THEREOF}SOFT REMOVING METHOD FOR MCVD-METHOD AND APPARATUS THEREOF

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 후술하는 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.The following drawings attached to this specification are illustrative of preferred embodiments of the present invention, and together with the detailed description of the invention to serve to further understand the technical spirit of the present invention, the present invention is a matter described in such drawings It should not be construed as limited to

도 1은 종래기술에 따른 수트 제거장치의 구성도.1 is a block diagram of a soot removal apparatus according to the prior art.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 수트 제거장치의 구성도.2 is a block diagram of a soot removing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 도 2에서 수트 제거봉이 후퇴된 상태를 도시하는 구성도.3 is a configuration diagram showing a state in which the soot removal rod is retracted in FIG.

<도면의 주요 참조부호에 대한 설명><Description of main reference numerals in the drawings>

10...석영튜브 15...열원10 Quartz tube 15 Heat source

100...배기튜브 101...이너튜브100 ... Exhaust tube 101 ... Inner tube

102...수트 제거봉 103...회전수단102.Suite removal rod 103

104...가동수단 105...속도제어부104 Driving means 105 Speed control unit

본 발명은 수정화학기상증착(Modified Chemical Vaper Deposition; MCVD) 공법의 수트 제거방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 광섬유 프리폼 제조를 위한 MCVD 공법의 증착공정시 증착용 열원의 복사열에 의해 수트 제거봉이 열변형되는 것을 방지하여 원활한 수트 제거작용이 이루어지도록 하는 수트 제거방법 및 그 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method and apparatus for removing soot of a modified chemical vapor deposition (MCVD) method, and more particularly, to a soot by radiant heat of a deposition heat source during a deposition process of an MCVD method for fabricating an optical fiber preform. The present invention relates to a soot removing method and apparatus for preventing a deformed rod from being thermally deformed to achieve a smooth soot removing action.

MCVD 공법을 수행함에 있어서, 모재 석영튜브 내에 클래드 및 코어의 증착층을 형성하기 위한 열원으로는 일반적으로 토치나 로(Furnace) 등이 널리 사용되는데, 그 중에서도 특히 로와 같이 복사효율이 높은 발열수단이 열원으로 사용될 경우에는 복사열에 의해 주변장치들이 열변형될 수 있는 우려가 있으며, 한편으로는 활발한 산화반응에 의해 SiO2나 GeO2, P2O5 등과 같은 산화물 입자, 즉 수트(Soot)의 생성량이 상대적으로 많아지게 되므로 증착이 이루어지지 않은 수트를 높은 효율로 배출할 수 있는 수트 제거장치가 요구된다.In performing the MCVD method, a heat source for forming a deposited layer of clad and core in the base quartz tube is generally used. Torch or furnace is widely used. When used as a heat source, the peripheral devices may be thermally deformed by radiant heat, and on the other hand, oxide particles such as SiO 2 , GeO 2 , P 2 O 5, or the like may be formed by active oxidation. Since the amount of production is relatively large, there is a need for a soot removal apparatus capable of discharging a non-deposited soot with high efficiency.

MCVD 공법의 증착공정시 산화반응에 따라 생성되는 상기의 수트들은 열영동(Thermophoresis)에 의해 모재 석영튜브 내벽에 증착되는데, 그 증착효율은 보통 40 ~ 50% 정도에 불과하므로 미처 증착되지 못한 다량의 나머지 수트들은 기체의 흐름을 따라 석영튜브 외부로 배출되어야 한다.The suits produced by the oxidation reaction during the deposition process of the MCVD method are deposited on the inner wall of the base quartz tube by thermophoresis, and the deposition efficiency is usually about 40 to 50%. The remaining suits must be discharged out of the quartz tube along the gas stream.

수트의 원활한 배출을 위해 일반적인 MCVD 공법용 선반에는 도 1에 도시된 바와 같은 수트 제거장치가 구비된다. 도면을 참조하면, 통상의 수트 제거장치에는 모재 석영튜브(10)와 접합되는 배기튜브(11) 및 그 내부의 이너튜브(12)와, 상기 이너튜브(12) 내에 삽입되되 그 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되는 수트 제거봉(13)과, 상기 수트 제거봉(13)에 회전력을 제공하는 회전수단(14)이 포함된다.In order to smoothly discharge the soot, a general MCVD method shelf is equipped with a soot removing apparatus as shown in FIG. 1. Referring to the drawings, a conventional soot removing apparatus includes an exhaust tube 11 and an inner tube 12 inside thereof, which are joined to the base quartz tube 10, and are inserted into the inner tube 12 and rotate about an axis thereof. The soot removal rod 13 which is installed as possible, and the rotation means 14 which provides a rotational force to the soot removal rod 13 are included.

상기와 같은 구성에 의하면, 수트 제거봉(13)을 회전시켜 이너튜브(12) 내벽에 부착된 수트를 기계적으로 긁어냄으로써 배출경로가 막히는 현상을 방지할 수 있다.According to the configuration as described above, it is possible to prevent the phenomenon that the discharge path is blocked by mechanically scraping the soot attached to the inner wall of the inner tube 12 by rotating the soot removal rod (13).

그러나, 종래의 수트 제거장치에는 고온의 증착용 열원(15)으로부터 수트 제거봉(13)을 보호할 수 있는 별도의 수단이 구비되지 않아, 증착공정에 따라 석영튜브(10)와 이너튜브(11)의 접합부에 상응하는 지점까지 증착용 열원(15)의 고온부(Hot zone)가 이송될 경우 금속재질의 수트 제거봉(13)이 쉽게 용융되고, 그에 따른 용융물질이 이너튜브(11)의 내벽에 달라붙어 수트의 흐름을 방해함은 물론 이너튜브(11)를 변형시키는 취약점이 있다.However, the conventional soot removing apparatus is not provided with a separate means for protecting the soot removing rod 13 from the high temperature deposition heat source 15, the quartz tube 10 and the inner tube 11 in accordance with the deposition process When the hot zone of the heat source 15 for deposition is transferred to a point corresponding to the junction of), the soot removing rod 13 made of metal is easily melted, and the molten material is thus formed on the inner wall of the inner tube 11. There is a vulnerability to deform the inner tube 11 as well as to interfere with the flow of the suit to stick to.

이와 같은 문제의 대안으로, 내열성과 내구성이 상대적으로 우수한 세라믹 재질로 수트 제거봉(13)을 구성하는 기술도 사용되고 있으나, 세라믹 수트 제거봉은 금속재질의 수트 제거봉에 비해 그 선단에 수트가 쉽게 부착되는 단점이 있어 증착용 열원(15)의 복사열에 의해 수트 제거봉(13)의 선단에서 유리화 과정이 반복되면서 수트 덩어리가 성장하게 되는 문제가 있다. 이렇게 수트 제거봉(13)의 선단에서 성장하는 수트 덩어리는 결국 수트 및 기체의 배출흐름을 방해하여 석영튜브의 내압이나 외경의 불균형을 초래하고, 상기 수트 덩어리가 수트 제거봉(13)으로부터 분리되면서 석영튜브(10) 내로 침투하여 광섬유 프리폼 제조공정을 방해하는 문제를 발생시킨다.As an alternative to this problem, a technique of constituting the soot removal rod 13 with a ceramic material having excellent heat resistance and durability is also used, but the soot removal rod is more easily attached to the tip of the ceramic soot removal rod than the metal soot removal rod. There is a disadvantage in that the vitrification process is repeated at the tip of the soot removal rod 13 by the radiant heat of the heat source for deposition 15, there is a problem that the soot mass grows. The soot lumps growing at the tip of the soot removing rod 13 eventually disturb the discharge flow of the soot and gas, resulting in an imbalance in the internal pressure or outer diameter of the quartz tube, and the soot lump is separated from the soot removing rod 13. Penetration into the quartz tube 10 causes a problem that interferes with the optical fiber preform manufacturing process.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 광섬유 프리폼 제조를 위한 MCVD 공법의 증착공정시 선택적으로 수트 제거봉을 이동시켜 증착용 열원의 복사열에 의한 수트 제거봉의 열변형을 방지하고, 나아가서는 수트 제거작용이 원활히 이루어지도록 하는 수트 제거방법 및 그 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention was devised to solve the above problems, and by selectively moving the soot removal rod during the deposition process of the MCVD method for manufacturing the optical fiber preform to prevent thermal deformation of the soot removal rod by the radiant heat of the heat source for deposition, Furthermore, it is an object of the present invention to provide a soot removal method and apparatus for smooth soot removal.

본 발명의 다른 목적은 수트 제거봉의 선단에 부착되는 수트를 떨어냄으로써 수트 덩어리의 성장을 방지할 수 있는 수트 제거방법 및 그 장치를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a soot removing method and apparatus for preventing the growth of soot mass by dropping the soot attached to the tip of the soot removing rod.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 수트 제거방법은, 모재 석영튜브에 접합되는 배기튜브 및 그 내부의 이너튜브와, 상기 이너튜브에 삽입되어 실리카 수트를 긁어내는 수트 제거봉을 구비한 제거장치을 통해 수행되는 수정화학기상증착(MCVD) 공법의 수트 제거방법에 있어서, (a) 상기 이너튜브 내벽에 적층되는 수트를 긁어내도록 수트 제거봉을 회전시키는 단계; (b) 증착용 열원이 상기 석영튜브와 배기튜브의 접합부에 일정거리 근접한 상태에서, 수트 제거봉을 상기 열원으로부터 후퇴시키는 단계; 및 (c) 상기 증착용 열원이 석영튜브와 배기튜브의 접합부로부터 멀어질 때 상기 수트 제거봉을 원위치로 전진시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the soot removing method according to the present invention includes an exhaust tube and an inner tube inside thereof bonded to the base quartz tube, and a soot removing rod inserted into the inner tube to scrape the silica soot. Claims [1] A method for removing a soot of a crystal chemical vapor deposition (MCVD) method performed by a removing device, the method comprising the steps of: (a) rotating a soot removing rod to scrape off a soot deposited on an inner wall of the inner tube; (b) withdrawing a soot removing rod from said heat source while the deposition heat source is a predetermined distance from the junction of said quartz tube and said exhaust tube; And (c) advancing the soot removing rod to its original position when the deposition heat source is separated from the junction of the quartz tube and the exhaust tube.

바람직하게 상기 단계(b)에는, 상기 수트 제거봉을 열원으로부터 후퇴시킨 후, 상기 이너튜브 내벽의 수트를 긁어낼 때의 수트 제거봉 회전속도에 비해 상대적으로 빠른 속도로 수트 제거봉을 회전시켜 상기 수트 제거봉의 선단에 부착된 수트를 제거하는 단계;가 더 포함될 수 있다.Preferably, in the step (b), after retreating the soot removal rods from the heat source, the soot removal rods are rotated at a relatively high speed compared to the soot removal rod rotational speed when scraping the soot of the inner tube inner wall, thereby Removing the soot attached to the tip of the soot removal rod; may be further included.

상기 단계 (a)에서는 60rpm 보다 느린 속도로 수트 제거봉을 회전시키다가 상기 단계 (b) 이후에는 60rpm에 비해 같거나 빠른 속도로 전환하여 수트 제거봉을 회전시키는 것이 바람직하다.In step (a), the soot removal rod is rotated at a slower speed than 60 rpm, and after step (b), the soot removal rod is preferably rotated by switching to the same or faster speed than the 60 rpm.

또한, 상기 수트 제거봉과 이너튜브가 상호 반대방향으로 회전하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the soot removal rod and the inner tube rotate in opposite directions.

본 발명의 다른 측면에 의하면, 모재 석영튜브에 접합되는 배기튜브 및 그 내부의 이너튜브와; 상기 이너튜브에 삽입되되, 축방향으로 전후진 가능하게 설치되는 수트 제거봉과; 상기 수트 제거봉이 축을 중심으로 회전하도록 회전력을 제공하는 회전수단과; 증착용 열원이 상기 석영튜브와 배기튜브의 접합부에 근접한 상태에서, 선택적으로 수트 제거봉을 상기 열원으로부터 후퇴시키는 가동수단;을 포함하는 수트 제거장치가 제공된다.According to another aspect of the invention, the exhaust tube and the inner tube therein bonded to the base quartz tube; A soot removal rod inserted into the inner tube and installed to be able to move forward and backward in the axial direction; Rotation means for providing a rotational force to rotate the soot removal rod about an axis; And a movable means for selectively retracting the soot removing rod from the heat source while the deposition heat source is close to the junction of the quartz tube and the exhaust tube.

바람직하게 본 발명에는 상기 수트 제거봉의 단부에 부착된 수트의 제거를 위해, 수트 제거봉이 후퇴되었을 때 상기 후퇴 전보다 상대적으로 빠른 속도로 회전하도록 상기 회전수단을 제어하는 속도제어부;가 더 포함될 수 있다.Preferably, the present invention may further include a speed control unit for controlling the rotating means to rotate at a relatively higher speed than before the retreat when the soot removing rod is retracted to remove the soot attached to the end of the soot removing rod.

상기 속도제어부는, 상기 수트 제거봉의 후퇴 전에 60rpm 보다 느린 속도로 수트 제거봉을 회전시키다가 후퇴 후에는 60rpm에 비해 같거나 빠른 속도로 전환하여 수트 제거봉을 회전시키는 것이 바람직하다.Preferably, the speed control unit rotates the soot removal rod at a speed slower than 60 rpm before the retreat of the soot removal rod, and then rotates the soot removal rod after retreating to the same or faster speed than the 60 rpm.

상기 수트 제거봉과 이너튜브는 상호 반대방향으로 회전하도록 설치되는 것이 바람직하다.The soot removal rod and the inner tube is preferably installed to rotate in opposite directions.

또한, 상기 수트 제거봉의 선단은 탐침형태 또는 반구형태로 라운딩 처리되 는 것이 바람직하다.In addition, the tip of the soot removing rod is preferably rounded in the form of a probe or hemisphere.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Prior to this, terms or words used in the specification and claims should not be construed as having a conventional or dictionary meaning, and the inventors should properly explain the concept of terms in order to best explain their own invention. Based on the principle that can be defined, it should be interpreted as meaning and concept corresponding to the technical idea of the present invention. Therefore, the embodiments described in the specification and the drawings shown in the drawings are only the most preferred embodiment of the present invention and do not represent all of the technical idea of the present invention, various modifications that can be replaced at the time of the present application It should be understood that there may be equivalents and variations.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 수트 제거장치의 구성도이다.2 is a block diagram of a soot removing apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명은 모재 석영튜브(10)에 접합되는 배기튜브(100) 및 그 내부의 이너튜브(101)와, 상기 이너튜브(101)에 삽입되는 수트 제거봉(102)과, 상기 수트 제거봉(102)에 회전력을 제공하는 회전수단(103)과, 상기 수트 제거봉(102)을 선택적으로 축방향으로 전후진시키는 가동수단(104)을 포함한다.Referring to FIG. 2, the present invention provides an exhaust tube 100 bonded to a base quartz tube 10, an inner tube 101 therein, and a soot removal rod 102 inserted into the inner tube 101. And rotation means 103 for providing rotational force to the soot removal rod 102 and movable means 104 for selectively advancing the soot removal rod 102 in the axial direction.

배기튜브(100)는 모재 석영튜브(10)의 수트 배출단에 접합되고, 상기 배기튜브(100)의 내부에는 실질적인 수트 배출통로가 되는 이너튜브(101)가 종입된다. 여기서, 상기 배기튜브(100)와 이너튜브(101) 사이에는, 이너튜브(101) 내부로 수트 및 기체의 흐름을 유도하도록 퍼징가스(화살표 참조)가 부가적으로 주입될 수 있다.The exhaust tube 100 is joined to the soot discharge end of the base quartz tube 10, and the inner tube 101 serving as a substantial soot discharge passage is inserted into the exhaust tube 100. Here, a purging gas (see arrow) may be additionally injected between the exhaust tube 100 and the inner tube 101 to induce the flow of soot and gas into the inner tube 101.

수트 제거봉(102)은 이너튜브(101) 내에서 그 축방향을 중심으로 회전 가능하게 설치되되, 회전시 적층된 수트를 긁어내도록 이너튜브(101) 내벽과 기계적으로 접촉 가능하게 설치된다. 수트 제거효율의 향상을 위해, 상기 수트 제거봉(102)의 회전방향은 배기튜브(100) 및 이너튜브(101)의 회전방향과 반대가 되도록 설정되는 것이 바람직하다.The soot removal rod 102 is rotatably installed in the inner tube 101 about its axial direction, and is installed in mechanical contact with the inner wall of the inner tube 101 to scrape off the stacked soot during rotation. In order to improve the soot removal efficiency, it is preferable that the rotation direction of the soot removal rod 102 is set to be opposite to the rotation direction of the exhaust tube 100 and the inner tube 101.

상기 수트 제거봉(102)에 회전력을 제공하는 회전수단(103)으로는 바람직하게 소정의 커플러를 통해 상기 수트 제거봉(102)과 연결되는 통상의 모터장치가 사용될 수 있으며 그밖에 다양한 회전력 발생원이 사용될 수 있다. 바람직하게 본 발명에는 상기 회전수단(103)을 제어하여 수트 제거봉(102)의 회전속도를 조절하는 속도제어부(105)가 더 구비될 수 있다. 이러한 구성에 의하면 일정 시점에 선택적으로 상기 수트 제거봉(102)을 바람직하게 60rpm 이상으로 고속회전시킴으로써 원심력 및 마찰력에 의해 수트 제거봉(102)의 선단에 부착된 수트를 떨어내는 것이 가능하여, 내열성과 내구성이 우수한 세라믹 재질의 수트 제거봉을 수트의 성장 문제없이 사용할 수 있다.As the rotation means 103 for providing the rotational force to the soot removal rod 102, a conventional motor device, which is preferably connected to the soot removal rod 102 through a predetermined coupler, may be used. Can be. Preferably, the speed control unit 105 for controlling the rotation means 103 to control the rotational speed of the soot removal rod 102 may be further provided. According to this configuration, it is possible to drop the soot attached to the tip of the soot removal rod 102 by centrifugal force and frictional force by selectively rotating the soot removal rod 102 at a predetermined time at a high speed, preferably 60 rpm or more, and thus, the heat resistance. The ceramic soot removal rod, which is durable and durable, can be used without problems of soot growth.

상기 수트 제거봉(102)은 SUS(Steel Use Stainless)와 같은 금속재질은 물론, 세라믹 재질로 형성될 수 있다. 여기서, 상기 수트 제거봉(102)의 선단은 수트의 적층 및 성장을 억제하도록 탐침형태 또는 반구형태로 라운딩 처리되는 것이 바람직하다.The soot removal rod 102 may be formed of a ceramic material as well as a metal material such as stainless steel (SUS). Here, the tip of the soot removing rod 102 is preferably rounded in the form of a probe or hemisphere to suppress stacking and growth of the soot.

가동수단(104)은 상기 수트 제거봉(102)을 선택적으로 축방향으로 전후진시키는 것으로서, 바람직하게는 상기 회전수단(103) 자체를 선택적으로 직선 슬라이 딩시켜 실질적으로 수트 제거봉(102)을 후퇴 혹은 전진시키는 통상의 에어실린더 형태로 구성될 수 있으며, 그밖에 다양한 구조의 전후진 구동력 발생원이 사용될 수 있다.The movable means 104 is to move the soot removing rod 102 back and forth selectively in the axial direction. Preferably, the rotating means 103 itself is selectively linearly slid to substantially remove the soot removing rod 102. It may be configured in the form of a conventional air cylinder for retracting or advancing, and other sources of forward and backward driving force may be used.

그러면, 이상과 같은 수트 제거장치를 통해 수행되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 수트 제거방법을 설명하기로 한다.Then, the soot removing method according to a preferred embodiment of the present invention carried out through the soot removing apparatus as described above will be described.

MCVD 공법의 증착공정에 따라 석영튜브(10)의 내벽에는 클래드 및 코어의 증착층이 형성되고, 미처 증착되지 못한 수트들은 배기튜브(100) 내의 이너튜브(101)를 거쳐서 외부로 배출된다.According to the deposition process of the MCVD method, a deposition layer of a clad and a core is formed on an inner wall of the quartz tube 10, and the soot that is not deposited is discharged to the outside through the inner tube 101 in the exhaust tube 100.

이와 같은 수트 배출작용시 이너튜브(101) 내벽에 적층되는 수트의 제거를 위해, 회전수단(103)을 구동하면 보통 5 ~ 8mm의 두께와 약 1m 정도의 길이를 갖는 수트 제거봉(102)이 그 축을 중심으로 예컨대, 6rpm 정도의 저속으로 회전하여 이너튜브(101) 내벽과 마찰되면서 수트를 긁어낸다.In order to remove the soot stacked on the inner wall of the inner tube 101 during the soot discharging operation, when the rotating means 103 is driven, the soot removing rod 102 having a thickness of about 5 to 8 mm and a length of about 1 m is usually used. The suit is rotated at a low speed of about 6 rpm, for example, to rub against the inner wall of the inner tube 101 while scraping the soot.

계속해서, MCVD 공법의 증착공정에 따라 석영튜브(10)와 배기튜브(100)의 접합부(지시선Ⅰ 참조)로부터 일정거리, 예컨대 100mm 정도의 지점에 열원(15)의 고온부 중심(지시선Ⅱ 참조)이 근접하게 되면, 복사열이 미치는 고온영역으로부터 수트 제거봉(102)이 벗어나도록 도 3에 도시된 바와 같이 상기 수트 제거봉(102)을 열원(15)으로부터 후퇴시키는 공정이 수행된다. 여기서, 수트 제거봉(102)의 후퇴동작을 위한 임계값이 되는, 상기 접합부에 대한 열원(15)의 근접거리는 열원(15)의 고온부 길이 이상으로 설정되는 것이 바람직하다.Subsequently, according to the deposition process of the MCVD method, the center of the hot part of the heat source 15 at a point of a certain distance, for example, about 100 mm, from the junction (see leader line I) of the quartz tube 10 and the exhaust tube 100 (see leader line II). In this proximity, the soot removing rod 102 is retracted from the heat source 15 as shown in FIG. 3 so that the soot removing rod 102 is deviated from the high temperature region exposed to the radiant heat. Here, the proximity distance of the heat source 15 to the junction, which is a threshold value for the retraction operation of the soot removal rod 102, is preferably set to be equal to or greater than the length of the hot portion of the heat source 15.

보다 상세하게, 가동수단(104)을 이용해 상기 회전수단(103)을 열원(15)과 반대방향으로 직선 슬라이딩시키면 그에 연동하여 수트 제거봉(102)이 상기 열원(15)으로부터 멀어지는 방향으로 후퇴하게 된다. 이때, 수트 제거봉(102)의 후퇴변위는 상기 석영튜브(10)와 배기튜브(100)의 접합부로부터 예컨대, 100mm 정도 이상이 될 수 있다. 상기 열원(15)에 대한 수트 제거봉(102)의 후퇴거리는 열원(15)의 고온부 길이 이상으로 설정되는 것이 바람직하다.In more detail, linearly sliding the rotary means 103 in the opposite direction to the heat source 15 using the movable means 104 causes the soot removal rod 102 to retreat in a direction away from the heat source 15. do. In this case, the retreat displacement of the soot removal rod 102 may be, for example, about 100 mm or more from the junction of the quartz tube 10 and the exhaust tube 100. The retraction distance of the soot removal rod 102 with respect to the heat source 15 is preferably set to the length of the hot portion of the heat source 15 or more.

상기와 같은 수트 제거봉(102)의 후퇴동작과 아울러 열원(15)은 그 고온부 중심이 상기 석영튜브(10)와 배기튜브(100)의 접합부에 이를 때까지 이송되어 수트에 대한 유리화 작용을 수행하게 된다.In addition to the retraction operation of the soot removal rod 102 as described above, the heat source 15 is transferred until the center of the hot portion reaches the junction between the quartz tube 10 and the exhaust tube 100 to perform vitrification of the soot. Done.

후퇴상태에서, 상기 수트 제거봉(102)은 원심력 및 이너튜브(101) 내벽과의 마찰력에 의해 그 선단의 수트가 떨어져 나가도록 속도제어부(105)에 의해 그 회전속도가 소정 시간동안 바람직하게 60rpm 이상으로 고속전환되는 과정을 거치게 된다.In the retracted state, the soot removal rod 102 is preferably rotated at a speed of 60 rpm for a predetermined time by the speed controller 105 so that the soot at its tip is separated by the centrifugal force and the frictional force with the inner wall of the inner tube 101. This is the process of high speed conversion.

한편, 상기 열원(15)이 다시 반대로 이송되어 석영튜브(10)와 배기튜브(100)의 접합부로부터 예컨대, 100mm 정도까지 멀어지게 되면, 상기 가동수단(104)이 다시 반대로 직선 슬라이딩되어 수트 제거봉(102)을 원위치로 전진시키고, 최초의 저속 회전동작으로 수트 제거봉(102)이 이너튜브(101) 내벽의 수트를 긁어내는 작용을 수행한다.On the other hand, when the heat source 15 is again conveyed in the opposite direction away from the junction between the quartz tube 10 and the exhaust tube 100, for example about 100mm, the movable means 104 is again linearly sliding in the opposite direction so that the soot removal rod Advance the 102 to the original position, the soot removal rod 102 performs the action of scraping the soot of the inner wall 101 in the first low-speed rotational motion.

상기와 같은 수트 제거봉(102)의 저속회전, 후퇴, 고속회전 및 전진 동작의 사이클은 클래드 및 코어의 증착층 형성을 위한 열원(15)의 이송운동에 상응하여 반복된다.The cycles of low speed rotation, retraction, high speed rotation and forward operation of the soot removal rod 102 as described above are repeated corresponding to the transfer movement of the heat source 15 to form the deposition layer of the clad and core.

이상에서 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.Although the present invention has been described above by means of limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto and will be described below by the person skilled in the art to which the present invention pertains. Of course, various modifications and variations are possible within the scope of the claims.

상술한 바와 같이 본 발명은 로와 같이 복사효율이 높은 증착용 열원에 의해 수트 제거봉이 열변형되는 것을 방지할 수 있으므로 수트 제거봉의 재질에 관계없이 안정적인 수트 제거 및 배출작용을 수행할 수 있다.As described above, the present invention can prevent the soot removing rod from being thermally deformed by the heat source for deposition having high radiation efficiency, such as a furnace, so that the soot removing rod can be stably removed and discharged regardless of the material of the soot removing rod.

또한, 본 발명에 의하면 별도의 고속 회전동작을 통해 수트 제거봉 선단의 수트를 떨어낼 수 있으므로 수트 제거봉에서의 수트 성장을 방지할 수 있는 장점이 있다.Further, according to the present invention, since the soot at the tip of the soot removing rod can be dropped through a separate high-speed rotating operation, there is an advantage of preventing soot growth in the soot removing rod.

Claims (9)

모재 석영튜브에 접합되는 배기튜브 및 그 내부의 이너튜브와, 상기 이너튜브에 삽입되어 실리카 수트를 긁어내는 수트 제거봉을 구비한 제거장치을 통해 수행되는 수정화학기상증착(MCVD) 공법의 수트 제거방법에 있어서,Soot removal method of a crystal chemical vapor deposition (MCVD) process performed through a removal apparatus having an exhaust tube bonded to a base quartz tube and an inner tube therein, and a soot removal rod inserted into the inner tube to scrape the silica soot. To (a) 상기 이너튜브 내벽에 적층되는 수트를 긁어내도록 수트 제거봉을 회전시키는 단계;(a) rotating the soot removing rod to scrape away the soot laminated to the inner wall of the inner tube; (b) 증착용 열원이 상기 석영튜브와 배기튜브의 접합부에 일정거리 근접한 상태에서, 수트 제거봉을 상기 열원으로부터 후퇴시키는 단계; 및(b) withdrawing a soot removing rod from said heat source while the deposition heat source is a predetermined distance from the junction of said quartz tube and said exhaust tube; And (c) 상기 증착용 열원이 석영튜브와 배기튜브의 접합부로부터 멀어질 때 상기 수트 제거봉을 원위치로 전진시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 수트 제거방법.and (c) advancing the soot removing rod to its original position when the heat source for deposition is moved away from the junction of the quartz tube and the exhaust tube. 제 1항에 있어서, 상기 단계(b)에서,The method of claim 1, wherein in step (b), 상기 수트 제거봉을 열원으로부터 후퇴시킨 후, 상기 이너튜브 내벽의 수트를 긁어낼 때의 수트 제거봉 회전속도에 비해 상대적으로 빠른 속도로 수트 제거봉을 회전시켜 상기 수트 제거봉의 선단에 부착된 수트를 제거하는 단계;를 수행하는 것을 특징으로 하는 수트 제거방법.After retreating the soot removal rod from the heat source, the soot removal rod is rotated at a relatively high speed compared to the soot removal rod rotational speed when scraping the soot of the inner tube inner wall. Removing a soot; characterized in that for performing. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 단계 (a)에서 60rpm 보다 느린 속도로 수트 제거봉을 회전시키다가 단계 (b) 이후에는 60rpm에 비해 같거나 빠른 속도로 전환하여 수트 제거봉을 회전시키는 것을 특징으로 하는 수트 제거방법.Rotating the soot removal rod at a slower speed than 60rpm in step (a) and after the step (b) to switch to the same or faster than the 60rpm soot removal method characterized in that for rotating the soot removal rod. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 수트 제거봉과 이너튜브가 상호 반대방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 수트 제거방법.The suit removal method, characterized in that the soot removal rod and the inner tube is rotated in the opposite direction. 모재 석영튜브에 접합되는 배기튜브 및 그 내부의 이너튜브와;An exhaust tube bonded to the base quartz tube and an inner tube therein; 상기 이너튜브에 삽입되되, 축방향으로 전후진 가능하게 설치되는 수트 제거봉과;A soot removal rod inserted into the inner tube and installed to be able to move forward and backward in the axial direction; 상기 수트 제거봉이 축을 중심으로 회전하도록 회전력을 제공하는 회전수단과;Rotation means for providing a rotational force to rotate the soot removal rod about an axis; 증착용 열원이 상기 석영튜브와 배기튜브의 접합부에 근접할 때 선택적으로 수트 제거봉을 상기 열원으로부터 후퇴시키고, 상기 증착용 열원이 멀어질 때 수트 제거봉을 다시 원위치로 전진시키는 가동수단;을 포함하는 수트 제거장치.And moving means for selectively retracting the soot removing rod from the heat source when the deposition heat source is close to the junction of the quartz tube and the exhaust tube, and advancing the soot removal rod back to its original position when the deposition heat source is away. Suit remover. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 수트 제거봉의 단부에 부착된 수트의 제거를 위해, 수트 제거봉이 후퇴되었을 때 상기 후퇴 전보다 상대적으로 빠른 속도로 회전하도록 상기 회전수단을 제어하는 속도제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수트 제거장치.And a speed control unit for controlling the rotating means to rotate at a relatively higher speed than before the retreat when the soot removing rod is retracted to remove the soot attached to the end of the soot removing rod. . 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 속도제어부는, 상기 수트 제거봉의 후퇴 전에 60rpm 보다 느린 속도로 수트 제거봉을 회전시키다가 후퇴 후에는 60rpm에 비해 같거나 빠른 속도로 전환하여 수트 제거봉을 회전시키는 것을 특징으로 하는 수트 제거장치.And the speed control unit rotates the soot removal rod at a slower speed than 60 rpm before the soot removal rod retracts, and then rotates the soot removal rod by switching to the same or faster speed than the 60 rpm after the retraction. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 수트 제거봉과 이너튜브가 상호 반대방향으로 회전하도록 설치된 것을 특징으로 하는 수트 제거장치.And the soot removing rod and the inner tube rotate in opposite directions to each other. 제 5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 수트 제거봉의 선단이 탐침형태 또는 반구형태로 라운딩 처리된 것을 특징으로 하는 수트 제거장치.Soot removal device characterized in that the tip of the soot removal rod is rounded in the form of a probe or hemisphere.
KR1020040019002A 2004-03-19 2004-03-19 Soot removing method for mcvd-method and apparatus thereof KR100579340B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040019002A KR100579340B1 (en) 2004-03-19 2004-03-19 Soot removing method for mcvd-method and apparatus thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040019002A KR100579340B1 (en) 2004-03-19 2004-03-19 Soot removing method for mcvd-method and apparatus thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050093525A KR20050093525A (en) 2005-09-23
KR100579340B1 true KR100579340B1 (en) 2006-05-12

Family

ID=37274626

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040019002A KR100579340B1 (en) 2004-03-19 2004-03-19 Soot removing method for mcvd-method and apparatus thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100579340B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL1030749C2 (en) * 2005-12-22 2007-06-25 Draka Comteq Bv Device and method for manufacturing an optical preform.

Also Published As

Publication number Publication date
KR20050093525A (en) 2005-09-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100579340B1 (en) Soot removing method for mcvd-method and apparatus thereof
CN109320063A (en) A kind of production method of preform
CN109133607A (en) A kind of method of tiretube process manufacture special optical fiber prefabricated rods surrounding layer
CN106348584B (en) Method for producing a primary preform by etching and collapsing a deposition tube
JP2019534811A (en) Hollow cylinder made of ceramic material, method for its production and use thereof
JP3744350B2 (en) Porous glass base material synthesis burner and method for producing porous glass base material
JP5519145B2 (en) Optical fiber manufacturing method using isothermal, low pressure plasma deposition technology
JP2009228984A (en) Automatic coating removal device of combustion gas bleeding probe
JP4389849B2 (en) Method for producing glass particulate deposit
KR100456125B1 (en) Apparatus for efficiently removing shoot, for the preparation of optical fiber preform
KR100538847B1 (en) Soot removing rod for MCVD process during fabrication of optical fiber preform and Soot removing apparatus using the same
CN208071567U (en) Cover board removing tool
JP4801282B2 (en) Converter tuyere opening method and apparatus
KR100557149B1 (en) Fabrication method for porus optical fiber preform and device thereof
EP2947056B1 (en) A method and a device for manufacturing an optical preform by means of an internal vapour deposition process, as well as corresponding substrate tube assembly
JP2002541045A (en) Method and apparatus for heat treatment of objects such as optical fiber preforms
JP5933390B2 (en) Optical fiber preform manufacturing method
RU2712998C1 (en) Device for removal of powder wastes during fabrication of light guides
CN109399909A (en) A kind of method that PCVD technique makes low hydroxyl optical fiber prefabricated rod mandrel
JPS6110038A (en) Production of parent material for optical fiber
JP2004083353A (en) Method and apparatus for manufacturing glass member
JPS59217633A (en) Apparatus for manufacturing optical fiber preform
JP2004175663A (en) Optical fiber and its fabrication method
CN205443393U (en) Heat treating converter
JP2000211935A (en) Device for processing glass rod for optical fiber

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee