KR100571354B1 - Multipurpose adsorption stage table and its manufacturing method - Google Patents

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Abstract

LCD 디스플레이 패널 자동화 장비에서 이송, 세정, 면취 또는 박리를 위해 연속 투입되는 패널을 흡착하여 패널의 흔들림 없이 안정성 있게 이송하면서 충격을 흡수할 수 있는 고무기지 다목적 흡착 스테이지 테이블 및 그 제조방법이 개시된다. 상기와 같은 본 발명은 100%의 니트리얼 고무로 된 고무기지와; 4~5중량%의 액상고무(C/R), 0.6~1중량%의 용매유기 합성제, 1.8~2.8중량%의 고무탈취제 및 1~1.2중량%의 가스착취제로 이루어지는 촉진제와; 5~7중량%의 아연금속산화물(ZnO), 2.5~2.8중량%의 노화방지제(S/TA), 8~10중량%의 가황제(S), 25~30중량%의 점성증가제, 6.6~8.6중량%의 가소제(DEG), 4~6중량%의 대전방지제(SN), 5~6중량%의 안정제, 8.5~9.5중량%의 산화방지제, 11~13중량%의 경화억제제 및 12~15중량%의 보강충전제로 이루어지는 합금베이스(Base)로 구성되는 다목적 흡착 스테이지 테이블이 제공됨으로서 그 목적이 달성된다.Disclosed are a rubber base multi-purpose adsorption stage table capable of absorbing shock while stably transporting a panel continuously fed for transport, cleaning, chamfering or peeling in an LCD display panel automation equipment and stably without shaking the panel. The present invention as described above is a rubber base made of 100% of the natural rubber; An accelerator comprising 4 to 5% by weight of liquid rubber (C / R), 0.6 to 1% by weight of solvent organic synthetic agent, 1.8 to 2.8% by weight of rubber deodorant and 1 to 1.2% by weight of gas deodorant; 5-7 wt% zinc metal oxide (ZnO), 2.5-2.8 wt% antioxidant (S / TA), 8-10 wt% vulcanizing agent (S), 25-30 wt% viscous increasing agent, 6.6 ~ 8.6 wt% plasticizer (DEG), 4-6 wt% antistatic agent (SN), 5-6 wt% stabilizer, 8.5-9.5 wt% antioxidant, 11-13 wt% hardening inhibitor and 12- The object is achieved by providing a multipurpose adsorption stage table consisting of an alloy base consisting of 15% by weight of reinforcing filler.

Description

다목적 흡착 스테이지 테이블 및 그 제조방법{An absorption stage table for multipurpose and a method thereof}An absorption stage table for multipurpose and a method according to the present invention

본 발명은 LCD 패널 가공장비용 진공흡착 스테이지 테이블에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 고무기지로 제조되는 스테이지 테이블과 이를 제조하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a vacuum adsorption stage table for an LCD panel processing equipment, and more particularly, to a stage table made of a rubber base and a method of manufacturing the same.

일반적으로, LCD 패널(셀)의 가장자리 및 모서리 부분을 전용툴(tool)을 이용하여 매끄럽게 연마(grinding)하는 시스템, 또는 LCD 제조공정에서 부착된 편광필름이 이물질 삽입, 미스 얼라인(mis-align), 들뜸 또는 스크래치 등으로 인해 불량인 겨우 셀(cell)에 손상을 주지 않고 편광필름을 셀의 표면에서 비닐을 제거하는 장치에 기본이 되는 것이 다목적 진공 테이블-스테이지 또는 진공 스테이지-테이블이다.In general, a system for smoothly grinding the edges and corners of an LCD panel (cell) using a dedicated tool, or a polarizing film attached in an LCD manufacturing process, inserts or misaligns foreign materials. It is a versatile vacuum table-stage or vacuum stage-table which is the basis for a device which removes vinyl from the surface of a cell without damaging the cell only if it is defective due to lifting, scratching or the like.

그러나 상기와 같은 종래의 스테이지 테이블에 있어서는 재질이 금속이어서 디스플레이 패널의 흔들림 때문에 안전한 이송을 담보할 수 없었고, 패널 얼리인시 금속제로 테이블이 이루어져 있어서 패널 충격을 흡수할 수 없다는 문제점을 갖고 있었다.However, in the conventional stage table as described above, since the material is made of metal, it is not possible to ensure safe transport due to the shaking of the display panel, and the panel is made of metal at the time of panel early-in, and thus the panel shock cannot be absorbed.

본 발명의 목적은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 LCD 디스플레이 패널 자동화 장비에서 이송, 세정, 면취 또는 박리를 위해 연속적으로 투입되는 디스플레이 패널을 진공흡착 하여 패널의 흔들림이 없이 그리고 안정성 있게 이송할 수 있을 뿐 아니라 고무자체의 쿠션역할을 통해 패널 얼라인시 패널 충격을 흡수할 수 있는 고무기지 다목적 흡착 스테이지 테이블을 제공함에 있다.An object of the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, the present invention is a vacuum panel of the display panel which is continuously input for transport, cleaning, chamfering or peeling in the LCD display panel automation equipment is shaken of the panel It provides a rubber base multi-purpose adsorption stage table that can absorb the impact of the panel during panel alignment through its cushioning function.

본 발명의 또 다른 목적은 종래의 Al제 진공흡착 스테이지 테이블에 압착하여 사용할 수 있는, 또는 알루미늄 기판 상에 고무기지 다목적 흡착 스테이지 테이블을 제조하는 방법을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a rubber base multi-purpose adsorption stage table that can be used by pressing on a conventional Al vacuum adsorption stage table or on an aluminum substrate.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위해 본 발명은,In order to achieve the object of the present invention as described above,

100%의 니트리얼 고무로 된 고무기지와; 4~5중량%의 액상 고무(C/R), 0.6~1중량%의 용매유기 합성제, 1.8~2.8중량%의 고무탈취제 및 1~1.2중량%의 가스착취제로 이루어지는 촉진제와; 5~7중량%의 아연금속산화물(ZnO), 2.5~2.8중량%의 노화방지제(S/TA), 8~10중량%의 가황제(S), 25~30중량%의 점성증가제, 6.6~8.6중량%의 가소제(DEG), 4~6중량%의 대전방지제(SN), 5~6중량%의 안정제, 8.5~9.5중량%의 산화방지제, 11~13중량%의 경화억제제 및 12~15중량%의 보강충전제로 이루어지는 합금베이스(Base)로 구성되는 다목적 흡착 스테이지 테이블을 제공한다.Rubber base made of 100% natural rubber; An accelerator comprising 4 to 5% by weight of liquid rubber (C / R), 0.6 to 1% by weight of solvent organic synthetic agent, 1.8 to 2.8% by weight of rubber deodorant and 1 to 1.2% by weight of gas deodorant; 5-7 wt% zinc metal oxide (ZnO), 2.5-2.8 wt% antioxidant (S / TA), 8-10 wt% vulcanizing agent (S), 25-30 wt% viscous increasing agent, 6.6 ~ 8.6 wt% plasticizer (DEG), 4-6 wt% antistatic agent (SN), 5-6 wt% stabilizer, 8.5-9.5 wt% antioxidant, 11-13 wt% hardening inhibitor and 12- Provided is a multi-purpose adsorption stage table consisting of an alloy base consisting of 15% by weight reinforcing filler.

상기에서, 유기용매 합성제는 시클로 헥실 벤조 티아졸(Cyclohexyl-benzothiazole)을, 고무탈취제로는 디벤조티아질디설파이드 (Dibenzotiazyldisulf-ide)를, 상기 가스 착취제로는 메르캅토벤조티아졸(Mercaptobenzothiazole)을 사용함이 바람직하다.In the above, the organic solvent synthesis agent is cyclohexyl benzothiazole (Cyclohexyl-benzothiazole), the rubber deodorant is dibenzotiazyldisulfide (dibenzotiazyldisulf-ide), the gas scavenger is mercaptobenzothiazole (Mercaptobenzothiazole) It is preferable to use.

또한 상기 가황제(S)로는 술펜아마이드(Sulfennamide)를 사용하고 점성증가제로는 규소산화물(ZEDSIL)을, 대전방지제(SN)로는 스티아라미드오프로필(Steraramidopop-ropyl)를, 안정로(SB)로는 스태빌라이저(stabilizer) 산화방지제(AD)로는 앤티옥시덴트를, 경화억제제(R)로는 리타르더(retarder)를, 보강충전제로는 경탄소가 바람직하다.In addition, Sulfenamide is used as the vulcanizing agent (Sulfennamide), and silicon oxide (ZEDSIL) is used as the viscosity increasing agent, and stiaramidopop-ropyl is used as the antistatic agent (SN), Antioxidant (AD) as an stabilizer (antioxidant), retarder (retarder) as a hardening inhibitor (R), light carbon is preferable as a reinforcing filler.

또한 상기 촉진제는 화학 반응시간을 단축하기 위하여 사용되고, 합금베이스중 아연금속산화물(ZnO)은 활성을 촉진하고 고무에 내열성을 부여하며 전기 도전성을 향상시키기 위해 사용하는 것으로 5중량%이하가 되면 내열성이 급격히 감소하고 도전성이 상실되며 7중량%이상이 되면 활성촉진이 너무 빨라 고무본질을 상실하게 되므로 상기의 범위로 한다.In addition, the accelerator is used to shorten the chemical reaction time, and zinc metal oxide (ZnO) in the alloy base is used to promote the activity, give heat resistance to the rubber and improve the electrical conductivity. If it decreases sharply and the conductivity is lost and becomes more than 7% by weight, the promotion of the activity is so fast that the rubber essence is lost.

노화방지제(S/TA)는 자연산소에 의해 산화되는 연쇄반응을 정지시키기 위한 것으로서 상기 조건에서 최상의 효과를 나타내었다.Anti-aging agent (S / TA) is intended to stop the chain reaction oxidized by natural oxygen and showed the best effect under these conditions.

가황제(S)는 고무에 탄성을 부여하기 위한 고무물성 영향에 필수적인 것으로 8중량% 이하이면 고무의 물성치를 저하시켜 탄성에 영향을 주고, 10중량%이상이 되면 가교작용을 상실하기 때문에 상기와 같은 범위로 한다.The vulcanizing agent (S) is essential for the influence of rubber properties to impart elasticity to the rubber. If it is 8 wt% or less, the physical properties of the rubber are lowered to affect the elasticity, and if it is 10 wt% or more, the crosslinking action is lost. The same range.

점성증가제로 사용되는 규소산화물은 25중량%이하가 첨가되면 끈적한 점성이 상실 되어 탄성이 급격히 저하되고, 30중량%이상이 되면 고무분자와 첨가제간의 반응시간에 악영향을 주게되므로 상기와 같이 한정한다.Silicon oxide used as a viscosity increasing agent is less than 25% by weight, the sticky viscosity is lost, the elasticity is sharply lowered, when more than 30% by weight adversely affect the reaction time between the rubber molecule and the additive is limited as described above.

가소제(DEG)는 가공성을 개선하며 제품에 유연성을 부여하기 위한 것으로서 6.6중량%미만이 되면 공정시간상의 문제가 발생하고 8.6중량% 이상이 되면 유연성이 상실되기 때문에 이와 같이 한정한다.Plasticizers (DEGs) are intended to improve processability and give flexibility to products. If less than 6.6% by weight, problems occur in the process time, and if the amount is more than 8.6% by weight, the flexibility is limited.

대전방지유지를 위한 대전방지제(SN)는 4중량%이하로 첨가하면 대전방지효과가 없어 정전기가 발생하게 되고 6중량%이상을 첨가하게 되면 재질의 경화능이 커지게 되는 문제가 발생하므로 이와 같은 범위가 바람직하다.Antistatic agent (SN) for antistatic maintenance does not have an antistatic effect when added to less than 4% by weight, the static electricity is generated, when the addition of more than 6% by weight causes a problem that the hardenability of the material increases Is preferred.

또한 합성고무시의 성분 안정제(SB)와 산화방지제(AD)의 범위 한정 또한 상기와 같은 범위에서 성분안정 및 산화방지효과가 최적으로 밝혀져 상기와 같이 정한다.In addition, the range limitation of the component stabilizer (SB) and antioxidant (AD) in the synthetic rubber is also found in the above range, the component stability and the antioxidant effect is found to be optimal as described above.

경화억제제(R)는 11중량%이하 첨가시 경화억제능력이 저하되고 13중량% 이상이 되면 고무의 물성중 경도가 상승되어 고무로서의 역할에 문제가 생기고, 내마모성을 향상시키고 인장강도를 증가시키기 위한 보강충전제는 12중량% 이하를 첨가하면 대전방지능력과 인장강도가 저하되고, 15중량%이상으로 첨가하게 되면 고무의 물성중 경도가 필요 이상 증가하게 되므로 이와 같이 한정하여 사용한다.When the hardening inhibitor (R) is added in an amount of 11 wt% or less, the hardening inhibitory ability is lowered, and when it is 13 wt% or more, the hardness of the rubber is increased, which causes a problem in the role of rubber, improving wear resistance and increasing tensile strength. If the reinforcing filler is added less than 12% by weight, the antistatic ability and tensile strength is lowered, when added to 15% by weight or more is used in this way because the hardness in the physical properties of the rubber increases more than necessary.

본 발명은 또한 상기와 같은 다목적 흡착 스테이지 테이블의 제조방법을 달성하기 위해;The present invention also provides a method of manufacturing a multipurpose adsorption stage table as described above;

알루미늄을 사이즈 별로 절단하는 단계(S1);Cutting aluminum by size (S1);

상기 단계(S1)에서의 절단 알루미늄의 고무코팅면을 표면처리하는 단계(S2);Surface-treating the rubber coated surface of the cut aluminum in the step (S1) (S2);

단계(S2)에서의 표면처리면에 접착제를 도포하는 단계(S3);Applying an adhesive to the surface treatment surface at step S2 (S3);

합성고무를 제조하는 단계(S4);Preparing a synthetic rubber (S4);

사이즈별로 몰드에 상기 단계(S1)에서의 절단된 알루미늄을 안착시키는 단계(S5);Seating the cut aluminum in the step (S1) to the mold according to the size (S5);

합성고무를 사이즈 별로 재단하여 상기 단계(S5) 위의 절단 알루미늄 위에 놓고 상부금형으로 합성고무를 알루미늄판 위에 열압착 하는 단계(S6); 그리고Cutting the synthetic rubber by size and placing the synthetic rubber on the cut aluminum above the step (S5) and thermo-compressing the synthetic rubber on the aluminum plate (S6); And

냉각후 가공하는 단계(S7)로 구성되는 다목적 흡착스테이지 테이블의 제조방법을 제공한다.It provides a method for producing a multi-purpose adsorption stage table consisting of a step (S7) after cooling.

상기에서, 단계(S2)에서의 표면처리는 샌딩 또는 그라이딩 처리 후 약산으로 세착함이 좋다. 강산으로 세척하면 부식이 발생한다.In the above, the surface treatment in step (S2) is preferably washed with a weak acid after sanding or grinding treatment. Washing with strong acid causes corrosion.

단계(S3)에서의 접착제 도포는 금속과 고무용 접착제, 바람직하게는 TH/XON사의 제품을 사용함이 좋고, 도포후 20~30분간 건조시킨다.Adhesive coating in step (S3) is preferably a metal and rubber adhesive, preferably TH / XON's products, and dried for 20 to 30 minutes after application.

단계(S4)에서의 합성고무제조는 상기 제1목적에서의 촉진제, 합금베이스 성분으로 구성되는 조성범위내의 것을 100% 니트리얼 고무기지에 첨가하여 혼합후 진공용탕에서 180℃~200℃로 5~6시간 합성한 후 18~20 시간정도 5℃~10℃에서 숙성시켜 기포를 제거하고 성분을 안정화시킨다.Synthetic rubber production in step (S4) is added to the 100% nitride rubber base in the composition range consisting of the accelerator and the alloy base component in the first purpose and mixed 5 ~ 180 ~ 200 ℃ in vacuum molten metal after mixing After 6 hours of synthesis, it is aged at 5 ℃ ~ 10 ℃ for 18 ~ 20 hours to remove bubbles and stabilize the components.

상기 단계(S6)에서의 열압착은 상기 단계(S4)에서 제조된 겔형태의 고무판 형재를 제품에 맞게 재단하여 알루미늄 위에 놓고 130℃~170℃의 온도로 30분~1시간 압착하는데 압착시의 접착기능을 고려하여 최소 30t의 압력으로 행하며, 기포발생의 원인이 되는 130℃이하와, 충분한 평면상태가 불가(용융점이 낮아)한 170℃이 상의 온도는 피하는 것이 좋다.The thermocompression in the step (S6) is cut to fit the product in a gel-shaped rubber sheet shape prepared in the step (S4) on aluminum and pressed for 30 minutes to 1 hour at a temperature of 130 ℃ ~ 170 ℃ when pressing In consideration of the adhesive function, it should be carried out at a pressure of at least 30t, and it is better to avoid the temperature of 130 ° C or lower, which causes bubbles, and 170 ° C or higher, in which a sufficient planar state is impossible (low melting point).

또한 단계(S7)에서의 냉각은 금형내에서 5~6시간 서냉한다. 왜냐하면 알루미늄과 고무의 냉각속도가 다르므로 접착력 저하의 문제를 피하기 위함이다.In addition, the cooling in step S7 is slow cooling 5 to 6 hours in a metal mold | die. This is because the cooling speed of aluminum and rubber is different to avoid the problem of deterioration of adhesion.

이후 정밀가공 즉, 건드릴이나 성형연마로 마무리 한다.After that, precision machining, that is, finish with a gun drill or shaping.

이하에서는 바람직한 실시 예를 통하여 본 발명을 보다 상세히 기술한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to preferred embodiments.

본 발명에서는 먼저 100% 니트리얼 고무로된 NBR기지를 준비한다. 여기에 화학반응 시간을 단축시키기 위해 4~5중량%의 C/R, 0.6~1중량%의 CZ, 1.8~2.8중량%의 DM 및 1~1.2중량%의 M을 촉진제로 준비하고, 활성을 촉진시키며 니트리얼 고무기지에 내열성을 부여하고 전기도전성 영향을 위해 5~7중량%의 아연금속화물인 ZnO와, 자연산소에 의해 산화되는 연쇄 반응을 정지시키기 위해 노화방지제로서 2.5~2.8중량%의 S/TA와, 니트리얼 고무 기지에 탄성을 부여하며 고무 물성 영향에 필수성분인 가황제로 8~10중량%의 S와, 점성증가제로서 25~30중량%의 규소산화물인 ZEOSIL과, 가공성을 개선하고 제품의 유연성을 부여하기 위해 가소제로서 6.6~8.6중량%의 DEG와, 대전방지 유지성분으로서 4~6중량%의 SN과, 내마모성과 인장강도를 증가시키기 위해 12~15중량%의 경탄소, 11~13중량%의 경화억제제, 8.5~9.5중량%의 ND 및 5~6중량%의 SB를 마련한다.In the present invention, first prepare an NBR base made of 100% nitride rubber. In order to shorten the chemical reaction time, 4-5 wt% C / R, 0.6-1 wt% CZ, 1.8-2.8 wt% DM, and 1-1.2 wt% M are prepared as promoters, and 2.5% to 2.8% by weight of anti-aging agent to stop the chain reaction oxidized by ZnO, which is 5-7% by weight of zinc metallization, to give heat resistance to nitrile rubber base and to influence the electrical conductivity. S / TA, 8-10% by weight of S as a vulcanizing agent which imparts elasticity to the natural rubber base and is essential to the influence of rubber properties, ZEOSIL, 25-30% by weight of silicon oxide as a viscosity increasing agent, and processability 6.6-8.6% by weight of DEG as a plasticizer to improve and give product flexibility, 4-6% by weight of SN as antistatic fat and oil and 12-15% by weight of light carbon to increase the wear resistance and tensile strength 11 to 13 weight% hardening inhibitor, 8.5 to 9.5 weight% ND, and 5 to 6 weight% SB.

상기와 같은 함량의 성분들을 준비하고, 기판으로 사용되어질 알루미늄은 열변형적이고 시효 처리한 재질로 선택하여 인치별 디스플레이 패널의 크기가 모두 다르므로 사이즈별로 절단한 다음 사이즈별 금형에 절단한 알루미늄 기판재료와 NBR기지에 상기 조성물을 상기와 같이 합성하여 숙성한 후 가열한 고무기판을 세팅 한 후 상기 조건으로 열융착한다. 이때 열융착을 잘못하면 알루미늄과 고무사이에 틈이 생겨 면취전 얼라인 흡착이나 폴리무브(Pol Remove)시 갭(Gap) 불량이나 진공흡착이 이루어지지 않아 패널 모서리 부분에 치핑현상이 발생하여 공정중 막대한 손실을 가져올 수 있으므로 주의를 요한다. 그 다음 상부금형으로 압착한 후 금형틀을 서냉한 후 꺼내어 정밀 가공한다.The aluminum substrate material prepared as above, and the aluminum to be used as the substrate is selected as a heat-deformable and aging material, and the size of the display panel for each inch is different, so it is cut by size and then cut into a mold by size. And the composition is synthesized as described above in NBR base and aged, and then heat-sealed under the above conditions after setting the heated rubber substrate. At this time, if the heat fusion is wrong, a gap is created between aluminum and rubber, so gap gap or vacuum adsorption does not occur during alignment adsorption or polymove before chamfering. Use caution as it can cause loss. After pressing the upper mold, the mold is slowly cooled and then taken out for precision processing.

이 때의 정밀가공 시 고무자체의 치핑이 문제가 되는데, 이는 가공 시 M.C rpm을 10,000~12,000으로 실행하면 해결할 수 있고, 가공공구로는 초경 및 다이아몬드 팁(tip)으로 마무리한다.In this case, the chipping of the rubber itself becomes a problem. This can be solved by executing the M.C rpm of 10,000 to 12,000 during machining, and finishing with carbide and diamond tips as a machining tool.

마지막으로 어큐러시 절차는 평면연마하고 공구는 G석용 중에서 #60으로 선정하여 rpm을 12,000으로 하여 실행한다.Finally, the acupressure procedure is to be polished in plane and the tool is selected with # 60 among G seats and the rpm is set to 12,000.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 스테이지 테이블을 다목적으로 디스플레이 패널을 안전하게 이송, 얼라인, 세정, 박리 등의 장비에 정착하여 사용할 수 있으며, 패널의 갭불량, 취성 및 치핑을 향상시킬 수 있다.
또한, 고무기지와 액상고무를 사용함으로써 패널얼라이언시 패널충격을 흡수할 수 있음은 물론, 가황제 등의 사용으로 고무의 탄성을 유지시키면서도 접착력을 향상시키고, 촉진제 등의 사용으로 인해 제조시 화학 반응시간을 단축시킬 수 있어서 용이하면서도 경제적으로 다목적 흡착스테이지 테이블을 제공할 수 있게 된다.As described above, the stage table according to the present invention can be used for fixing the display panel to equipment such as transporting, aligning, cleaning, and peeling safely for various purposes, and can improve gap gap, brittleness, and chipping of the panel.
In addition, by using rubber base and liquid rubber, the panel alliance can absorb the panel impact, and also improve the adhesive strength while maintaining the elasticity of rubber by using vulcanizing agents, etc. The reaction time can be shortened to provide a multipurpose adsorption stage table easily and economically.

상기에서는 본 발명을 일실시예를 통하여 설명하였지만 당업자들은 이후의 특허청구의 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정, 변경 시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다.Although the present invention has been described through one embodiment, it will be understood by those skilled in the art that the present invention may be variously modified and changed within the scope of the following claims.

Claims (7)

100%의 니트리얼 고무로 된 고무기지와; 4~5중량%의 액상 고무(C/R), 0.6~1중량%의 용매유기 합성제, 1.8~2.8중량%의 고무탈취제 및 1~1.2중량%의 가스착취제로 이루어지는 촉진제와; 5~7중량%의 아연금속산화물(ZnO), 2.5~2.8중량%의 노화방지제(S/TA), 8~10중량%의 가황제(S), 25~30중량%의 점성증가제, 6.6~8.6중량%의 가소제(DEG), 4~6중량%의 대전방지제(SN), 5~6중량%의 안정제, 8.5~9.5중량%의 산화방지제, 11~13중량%의 경화억제제 및 12~15중량%의 보강충전제로 이루어지는 합금베이스(Base)로 구성됨을 특징으로 하는 다목적 흡착 스테이지 테이블.Rubber base made of 100% natural rubber; An accelerator comprising 4 to 5% by weight of liquid rubber (C / R), 0.6 to 1% by weight of solvent organic synthetic agent, 1.8 to 2.8% by weight of rubber deodorant and 1 to 1.2% by weight of gas deodorant; 5-7 wt% zinc metal oxide (ZnO), 2.5-2.8 wt% antioxidant (S / TA), 8-10 wt% vulcanizing agent (S), 25-30 wt% viscous increasing agent, 6.6 ~ 8.6 wt% plasticizer (DEG), 4-6 wt% antistatic agent (SN), 5-6 wt% stabilizer, 8.5-9.5 wt% antioxidant, 11-13 wt% hardening inhibitor and 12- Multi-purpose adsorption stage table, characterized in that consisting of an alloy base consisting of 15% by weight of reinforcing filler. 제 1항에 있어서, 상기 유기용매 합성제는 시클로 헥실 벤조 티아졸(Cyclohexyl-benzothiazole)을, 고무탈취제로는 디벤조티아질디설파이드(Dibenzotiazyldisulfide)를, 상기 가스 착취제로는 메르캅토벤조티아졸(Mercaptobenzothiazole)을 사용함을 특징으로 하는 다목적 흡착 스테이지 테이블.The method of claim 1, wherein the organic solvent synthesizing agent is cyclohexyl benzothiazole (Cyclohexyl-benzothiazole), a rubber deodorant Dibenzotiazyl disulfide (Dibenzotiazyldisulfide), the gas scavenger Mercaptobenzothiazole (Mercaptobenzothiazole) Versatile adsorption stage table, characterized in that the use of (). 제 1항에 있어서, 상기 가황제(S)로는 술펜아마이드(Sulfennamide)를 사용하고, 점성증가제로는 규소산화물(ZEDSIL)을, 대전방지제(SN)로는 스티아라미드오프로필(Steraramidopopropyl)를, 안정제(SB)로는 스태빌라이저(stabilizer), 산화방지제(AD)로는 앤티옥시덴트를, 경화억제제(R)로는 리타르더(retarder)를, 보강충전 제로는 경탄소를 사용함을 특징으로 하는 다목적 흡착 스테이지 테이블.According to claim 1, Sulfenamide (Sulfennamide) is used as the vulcanizing agent (Sulfennamide), silicon oxide (ZEDSIL) as a viscosity increasing agent, steramide propyl (Steraramidopopropyl) as an antistatic agent (SN), stabilizer ( SB) is a multi-purpose adsorption stage table characterized by using a stabilizer (stabilizer), an antioxidant (AD) as an antioxidant, a retarder as a hardening inhibitor (R), and a light carbon as a reinforcing filler. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항의 다목적 흡착 스테이지 테이블의 제조방법에 있어서,In the manufacturing method of the multipurpose adsorption stage table of any one of Claims 1-3, 알루미늄을 사이즈 별로 절단하는 단계(S1);Cutting aluminum by size (S1); 상기 단계(S1)에서의 절단 알루미늄의 고무코팅면을 표면처리하는 단계(S2);Surface-treating the rubber coated surface of the cut aluminum in the step (S1) (S2); 단계(S2)에서의 표면처리면에 접착제를 도포하는 단계(S3);Applying an adhesive to the surface treatment surface at step S2 (S3); 합성고무를 제조하는 단계(S4);Preparing a synthetic rubber (S4); 사이즈별로 몰드에 상기 단계(S1)에서의 절단된 알루미늄을 안착시키는 단계(S5);Seating the cut aluminum in the step (S1) to the mold according to the size (S5); 합성고무를 사이즈 별로 재단하여 상기 단계(S5) 위의 절단 알루미늄 위에 놓고 상부금형으로 합성고무를 알루미늄판 위에 열압착 하는 단계(S6); 그리고Cutting the synthetic rubber by size and placing the synthetic rubber on the cut aluminum above the step (S5) and thermo-compressing the synthetic rubber on the aluminum plate (S6); And 냉각후 가공하는 단계(S7)로 구성됨을 특징으로 하는 다목적 흡착스테이지 테이블의 제조방법.Method of producing a multi-purpose adsorption stage table, characterized in that consisting of the step of cooling after processing (S7). 제 4항에 있어서, 단계(S2)에서의 표면처리는 샌딩 또는 그라인딩 처리후 약산으로 세척하는 것이며, 단계(S3)에서의 접착제 도포는 금속과 고무용 접착제를 사용하여 도포 후 20~30분간 건조 시키는 것임을 특징으로 하는 다목적 흡착스테이지 테이블의 제조방법.The method of claim 4, wherein the surface treatment in step (S2) is to wash with a weak acid after sanding or grinding treatment, the adhesive coating in step (S3) is dried for 20 to 30 minutes after the application using an adhesive for metal and rubber Method for producing a multi-purpose adsorption stage table characterized in that. 제 4항에 있어서, 단계(S4)에서의 합성고무제조는, 4~5중량%의 액상 고무(C/R), 0.6~1중량%의 용매유기 합성제, 1.8~2.8중량%의 고무탈취제 및 1~1.2중량%의 가스착취제로 이루어지는 촉진제와; 5~7중량%의 아연금속산화물(ZnO), 2.5~2.8중량%의 노화방지제(S/TA), 8~10중량%의 가황제(S), 25~30중량%의 점성증가제, 6.6~8.6중량%의 가소제(DEG), 4~6중량%의 대전방지제(SN), 5~6중량%의 안정제, 8.5~9.5중량%의 산화방지제, 11~13중량%의 경화억제제 및 12~15중량%의 보강충전제로 이루어지는 합금베이스(Base)로 구성되는 조성범위내의 것을 100% 니트리얼 고무기지에 첨가하여 혼합후 진공용탕에서 180℃~200℃로 5~6시간 합성한 후 18~20 시간정도 5℃~10℃에서 숙성시켜 기포를 제거하고 성분을 안정화시킴을 특징으로 하는 다목적 흡착스테이지 테이블의 제조방법.The method of claim 4, wherein the synthetic rubber production in step (S4) is, 4 to 5% by weight of liquid rubber (C / R), 0.6 to 1% by weight of solvent organic synthetic agent, 1.8 to 2.8% by weight of rubber deodorant And an accelerator comprising 1 to 1.2 wt% of a gas odorant; 5-7 wt% zinc metal oxide (ZnO), 2.5-2.8 wt% antioxidant (S / TA), 8-10 wt% vulcanizing agent (S), 25-30 wt% viscous increasing agent, 6.6 ~ 8.6 wt% plasticizer (DEG), 4-6 wt% antistatic agent (SN), 5-6 wt% stabilizer, 8.5-9.5 wt% antioxidant, 11-13 wt% hardening inhibitor and 12- Add to the 100% nitrile rubber base, which is composed of an alloy base consisting of 15% by weight of reinforcing filler, and then mix and mix in a vacuum molten metal at 180 ℃ ~ 200 ℃ for 5-6 hours, then 18 ~ 20 Method of producing a multi-purpose adsorption stage table, characterized in that by aging at about 5 ℃ ~ 10 ℃ about time to remove bubbles and stabilize the components. 제 4항에 있어서, 상기 단계(S6)에서의 열압착은 상기 단계(S4)에서 제조된 겔형태의 고무판 형재를 제품에 맞게 재단하여 알루미늄 위에 놓고 130℃~170℃의 온도에서 30t으로 30분~1시간 압착하며 또한 단계(S7)에서의 냉각은 금형내에서 5~6시간 서냉함을 특징으로 하는 다목적 흡착스테이지 테이블의 제조방법.The method of claim 4, wherein the thermocompression in the step (S6) is cut to fit the product in a rubber-shaped rubber sheet of the gel form prepared in the step (S4) and placed on aluminum for 30 minutes at a temperature of 130 ℃ ~ 170 ℃ 30t Method for producing a multi-purpose adsorption stage table, characterized in that the compression for 1 hour and the cooling in step (S7) is slow cooling for 5 to 6 hours in the mold.
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