KR100542774B1

KR100542774B1 - Piezo driver

Info

Publication number: KR100542774B1
Application number: KR1020030050561A
Authority: KR
Inventors: 한창수; 백석; 노명규
Original assignee: 한국기계연구원
Priority date: 2003-07-23
Filing date: 2003-07-23
Publication date: 2006-01-11
Also published as: KR20050011448A

Abstract

본 발명은 적층형 압전소자를 하우징에 내장시켜 압전소자의 변위에 로드가 연동토록 하는 압전 구동기에서,The present invention is a piezoelectric driver in which a rod is interlocked with a displacement of the piezoelectric element by embedding a stacked piezoelectric element in a housing.

적층형 압전소자를 구동 가능토록 수용하는 하우징 기능과 자계 발생을 겸하는 영구자석(40),Permanent magnet 40 which combines the housing function and magnetic field generation to accommodate the stacked piezoelectric element,

영구자석(40)의 상하에서 자로를 각각 이어주는 한쌍의 자속판(50,51), 및A pair of magnetic flux plates 50 and 51 connecting the magnetic paths at the top and bottom of the permanent magnet 40, and

하나의 자속판(50)과 적층형 압전소자(20)의 일단이 당접하여 압전효과 시 해당 자속판(50)을 구동시키도록 하나의 자속판(50)에 결합된 운동전달부(60)를 포함하여 구성한 압전구동기로,One magnetic flux plate 50 and one end of the stacked piezoelectric element 20 includes a motion transfer part 60 coupled to one magnetic flux plate 50 to drive the magnetic flux plate 50 when the piezoelectric effect is abutted. With a piezoelectric actuator constructed by

자성체와 압전소자는 구동력을 전달 가능토록 하는 운동전달부를 통하여 점접촉으로 전달하여 마찰이 없는 구동장치를 제공하고, 또한 운동전달부를 길이 고정이 가능한 나사를 이용하고 운동전달부의 헤드가 이동 가능한 노출공을 형성하므로 구동변위를 쉽게 조절 가능토록 하는 효과를 제공하며, 특히 미세한 거리를 이동하는 구동기의 경우에도 영구자석의 자력을 통하여 이동을 제한하므로 압전소자의 작용 시 간섭을 줄일 수 있고, 아울러 영구자석의 양단을 자속판으로 막아 자로가 폐루프를 이루도록 함으로써 자속의 외부 누출을 막을 수 있다.The magnetic body and the piezoelectric element are provided with a friction-free driving device by transferring the driving force to the point contact through the motion transmitting part to transmit the driving force, and using the screw which can fix the length of the motion transmitting part and the head of the motion transmitting part is movable. It provides the effect of making it possible to easily adjust the driving displacement, especially in the case of a driver moving a small distance, limiting the movement through the magnetic force of the permanent magnet, thereby reducing the interference during the action of the piezoelectric element, and also the permanent magnet By blocking both ends of the magnetic flux plate to form a closed loop, the external leakage of magnetic flux can be prevented.

Description

Piezo Driver {Piezo driver}

도 1 은 종래의 압전구동기의 일 예를 나타낸 단면도,1 is a cross-sectional view showing an example of a conventional piezoelectric actuator,

도 2 는 종래의 압전구동기의 다른 예를 나타낸 단면도,2 is a cross-sectional view showing another example of a conventional piezoelectric actuator,

도 3 은 본 발명의 원리를 나타낸 개략 단면도,3 is a schematic cross-sectional view illustrating the principles of the present invention;

도 4 는 상부측 자속판을 위로 올린 상태로 도시한 개략 사시도,4 is a schematic perspective view showing the upper magnetic flux plate in a raised state;

도 5 는 본 발명의 구체적인 예를 나타낸 일부절결 사시도,5 is a partially cutaway perspective view showing a specific example of the present invention;

도 6 은 본 발명의 구체적인 예를 나타낸 단면도 이다.6 is a cross-sectional view showing a specific example of the present invention.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10;관체형 하우징 12;접시스프링 10; tubular housing 12; contact sheath spring

14;노출공 20;적층형 압전소자 14; exposure hole 20; laminated piezoelectric element

30;운동전달부 31;헤드 30; exercise transmission part 31; head

32;운동로드 40;영구자석 32; exercise rod 40; permanent magnet

42;압전소자실 50,51;자속판 42; piezoelectric element chamber 50, 51; magnetic flux plate

53;운동로드 54;나사홈 53; exercise rod 54; screw groove

55;나사 60;운동전달부 55; screw 60; exercise transmission unit

61;헤드 61; head

본 발명은 압전 구동기에 관한 것으로, 영구자석에 압전소자를 수용하는 하우징 역할과 자로를 이어주는 자성체를 결합토록 하고, 자성체와 압전소자는 상호 운동전달부를 통하여 자성체가 변위 이동을 가능토록 하여 축간섭을 줄이고 변위 축소를 줄일 수 있도록 한 압전 구동기에 관한 것이다.The present invention relates to a piezoelectric driver, which combines a role of a housing accommodating a piezoelectric element in a permanent magnet and a magnetic body connecting the magnetic path, and the magnetic body and the piezoelectric element allow the magnetic body to be displaced through the mutual motion transfer unit to prevent the axial interference. It relates to a piezoelectric driver that can reduce and reduce the reduction of displacement.

일반적으로 압전구동기는 외부에서 전계를 가하면 그 크기가 변위되는 어떤 종류의 결정체들을 적층하여 전기에너지를 기계적인 에너지로 변화시키는 일종의 에너지 변환장치이다. 이러한 결정체를 소위 "압전재료" 또는 "압전세라믹 물질"이라고 하는데, 실용적인 압전재료로는 티탄산바륨 및 그와 같은 종류인 티탄지르콘산 납(PZT)등의 물질을 예시할 수 있다. 이러한 압전재료를 사용한 압전구동기는 압전소자의 양단에 전압을 인가하면 결정체가 찌그러지는 현상(리프먼 효과)을 이용하는 것으로, 국내특허등록 제 10-0221828호로 알려진 구조는 도 1 과 같은 압전구동기(70)를 예시할 수 있는바, 압전구동기(70)는 양단이 막힌 구동기 케이스(90)내에 슬라이더(100)를 중심으로 일측은 압전소자실(91)을 두어 적층형 압전소자(80)를 안치시키고, 다른 일측은 슬라이더실(101)을 이루어 안치된 코일스프링(108)의 힘 이상일 때 슬라이더(100)를 외부로 탄발토록 이루어진다.In general, a piezoelectric actuator is a kind of energy conversion device that converts electrical energy into mechanical energy by stacking some kinds of crystals whose size is displaced when an external electric field is applied. Such crystals are called "piezoelectric materials" or "piezoceramic materials", and practical piezoelectric materials include materials such as barium titanate and lead titan zirconate (PZT). The piezoelectric driver using the piezoelectric material utilizes a phenomenon in which crystals are distorted when the voltage is applied to both ends of the piezoelectric element (leafman effect). The structure known as Korean Patent No. 10-0221828 is the piezoelectric driver 70 as shown in FIG. For example, the piezoelectric actuator 70 has a piezoelectric element chamber 91 on one side with the piezoelectric element chamber 91 positioned at the center of the slider 100 in the driver case 90 in which both ends are blocked, and the piezoelectric element 80 is placed therein. One side of the slider chamber 101 is made so that the slider 100 is shot outward when it is equal to or greater than the force of the coil spring 108 settled.

상기 슬라이더(100)는 코일스프링(108)의 내경을 따라 연장하여 외부로 단부가 노출된 연결로드(106)를 지지토록 연결한다. 상기 적층형 압전소자(80)는 수 개의 박막(82)으로 이루어지는 압전소자 단위체 사이에 압전소자 기동용 내부전극(84)을 형성하고, 양단 위치의 박막(82)에는 보호층(83)을 형성한다. (94)는 연결로드(106)의 관통로, (98)은 리드선(86)의 관통로 이고, (107)은 연결로드(106)에 연결되는 가동부재를 고정시키는 나사공 이다.The slider 100 extends along the inner diameter of the coil spring 108 to connect the connection rod 106 whose ends are exposed to the outside. The stacked piezoelectric element 80 forms a piezoelectric element starting internal electrode 84 between piezoelectric element units composed of several thin films 82, and a protective layer 83 on the thin film 82 at both ends thereof. . Reference numeral 94 is a through passage of the connecting rod 106, 98 is a through passage of the lead wire 86, and 107 is a screw hole for fixing the movable member connected to the connecting rod 106.

한편 압전 구동기의 다른 예로는 도 2 와 같이 양단이 막힌 관체형 하우징(10)의 내부에 길이방향으로 판상의 단위 압전소자(21)가 적층된 적층형 압전소자(20)를 안치시키고, 적층형 압전소자(20)의 일단에는 관체형 하우징(10)의 내단에 안치된 접시스프링(12)으로 탄성력을 제공받는 헤드(31)와, 헤드(31)와 일체로 되고 노출공(14)으로 노출된 운동로드(32)로 이루어지는 운동로드부(30)를 설치한다. 이러한 방식은 헤드(31)에 충격을 완화시켜주는 접시스프링(12)을 설치하여 압전소자(20)의 파손을 막아주도록 하는 이점은 있으나 스프링을 설치함으로 구조가 복잡하고, 피에조 구동기의 변위가 제한되는 문제점이 있다.Meanwhile, as another example of the piezoelectric driver, a stacked piezoelectric element 20 in which plate-shaped unit piezoelectric elements 21 are stacked in a longitudinal direction inside a tubular housing 10 whose both ends are blocked, is stacked. One end of the movement 20 is integrated with the head 31, the head 31 is provided with an elastic force by the dish spring 12 placed in the inner end of the tubular housing 10, exposed to the exposure hole (14) The exercise rod part 30 which consists of the rod 32 is provided. This method has the advantage of preventing the damage of the piezoelectric element 20 by installing a plate spring 12 to alleviate the impact on the head 31, but the structure is complicated by installing a spring, the displacement of the piezo actuator is limited There is a problem.

본 발명은 이를 해결하고자 하는 것으로, 본 발명의 목적은 영구자석의 인력을 이용하여 압축력을 제공하도록 함으로써 구동변위가 크고 마찰이 없으며 간섭의 영향이 작도록 하는 압전구동기를 제공하려는 것이다.
The present invention is to solve this problem, an object of the present invention is to provide a piezoelectric actuator to provide a compressive force by using the attraction force of the permanent magnet so that the driving displacement is large, there is no friction and the influence of interference is small.

이를 위하여 본원발명은 압전구동기를 수용하는 하우징을 영구자석으로 구성 하고, 영구자석의 자로가 폐루프를 이루도록 하는 자속판 중의 하나에는 압전구동력으로 변위이동을 하도록 압전소자와 자속판을 당접시키는 운동전달부를 설치한다.To this end, the present invention constitutes a housing for accommodating a piezoelectric actuator as a permanent magnet, and one of the magnetic flux plates for which the magnetic path of the permanent magnet forms a closed loop is transferred to the piezoelectric element and the magnetic flux plate to be displaced by the piezoelectric driving force. Install the department.

즉, 본 발명은 적층형 압전소자를 하우징에 내장시켜 압전소자의 변위에 로드가 연동토록 하는 압전 구동기에서,That is, the present invention is a piezoelectric driver in which the rod is interlocked with the displacement of the piezoelectric element by embedding the stacked piezoelectric element in the housing,

적층형 압전소자를 구동 가능토록 수용하는 하우징 기능과 자계 발생을 겸하는 영구자석, 영구자석의 상하에서 자로를 각각 이어주는 한 쌍의 자속판, 및A housing function for accommodating the laminated piezoelectric element to be driven, a permanent magnet having a magnetic field generation, a pair of magnetic flux plates connecting the magnetic paths above and below the permanent magnet, and

하나의 자속판과 적층형 압전소자의 일단이 당접하여 압전효과 시 해당 자속판을 구동시키도록 하나의 자속판에 결합된 운동전달부를 포함하여 구성한 압전 구동기를 제공하려는 것이다.One end of the magnetic flux plate and the stacked piezoelectric element is to provide a piezoelectric driver comprising a motion transfer unit coupled to one magnetic flux plate to drive the magnetic flux plate when the piezoelectric effect.

상기, 영구자석은 극성이 수직으로 상이하게 대향 당접하며, 당접면의 길이방향 중앙은 압전소자를 수용하는 압전소자실을 이룬 것이 좋다.The permanent magnets are opposed to each other in a vertically opposite polarity, and a center of the contact surface in the longitudinal direction thereof forms a piezoelectric element chamber for accommodating a piezoelectric element.

상기 운동전달부가 설치된 하나의 자속판의 외측면에는 운동전달 기능의 운동로드가 일체로 돌출한 구성을 이룬다. The outer surface of the magnetic flux plate provided with the exercise transmission unit forms a configuration in which the exercise rod of the exercise transfer function integrally protrudes.

상기 운동전달부의 바람직한 예로는 하나의 자속판과 나사 결합하는 볼끝형 나사를 사용하는 것을 들 수 있다.Preferred examples of the motion transfer unit include the use of a ball-type screw screwed to one magnetic flux plate.

상기 하나의 자속판에는 볼끝형 나사와 나사 결합하는 나사홈을 이루고, 나사홈은 나사의 길이보다 길도록 형성하여 이동변위를 조정 가능토록 한다.The one magnetic flux plate forms a screw groove for screwing the ball-end screw, and the screw groove is formed to be longer than the length of the screw so that the displacement can be adjusted.

상기 하나의 자속판은 영구자석의 일 단에서 압전소자의 압전 구동력을 인가 받도록 이루어지고, 다른 하나의 자속판은 영구자석의 일단에서 압전소자의 압전작용을 지지하도록 고정 결합한다.The one magnetic flux plate is made to receive the piezoelectric driving force of the piezoelectric element at one end of the permanent magnet, the other magnetic flux plate is fixedly coupled to support the piezoelectric action of the piezoelectric element at one end of the permanent magnet.

이러한 본원 발명은 스프링등을 이용한 예압기구에 비하여 압전소자의 변위 이동을 지속하므로 구동변위가 크고, 스프링 등으로 인한 변위 축소의 우려가 없어 정밀한 미세구동장치에 적합하게 사용 가능하다.Since the present invention maintains the displacement movement of the piezoelectric element compared to the preloading mechanism using a spring or the like, the driving displacement is large, and there is no fear of the reduction of displacement due to the spring.

이하 본원 발명의 실시 예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 3 은 본원 발명의 개략 단면도이고, 3 is a schematic cross-sectional view of the present invention;

도 4 는 상부측 자속판을 상부로 올린 상태로 나타낸 본원 발명의 개략 사시도로, 4 is a schematic perspective view of the present invention showing the upper magnetic flux plate in an upward state;

적층형 압전소자(20)를 구동 가능토록 수용하는 하우징 기능과 자계 발생을 겸하는 영구자석(40),Permanent magnet 40 which combines the housing function and magnetic field generation to accommodate the stacked piezoelectric element 20,

하나의 자속판(50)과 적층형 압전소자(20)의 일단이 당접하여 압전효과 시 해당 자속판(50)을 구동시키도록 하나의 자속판(50)에 결합된 운동전달부(60)를 포함하여 구성한다.One magnetic flux plate 50 and one end of the stacked piezoelectric element 20 includes a motion transfer part 60 coupled to one magnetic flux plate 50 to drive the magnetic flux plate 50 when the piezoelectric effect is abutted. To configure.

상기 하나의 자속판(50)의 외측면에는 돌출된 운동로드(53)를 일체로 형성한다. 상기 영구자석(40)의 중앙공간부에는 압전소자(20)를 수용하는 압전소자실(42)을 형성한다.An outer surface of the magnetic flux plate 50 is integrally formed with a protruding movement rod 53. The piezoelectric element chamber 42 for accommodating the piezoelectric element 20 is formed in the central space portion of the permanent magnet 40.

도 5 는 본 발명의 구체적인 실시예를 나타낸 일부절결 사시도이고, 도 6 은 도 5 의 결합상태를 나타낸 단면도로, 중앙에 압전소자실(42)을 가지는 영구자석(40)과, 영구자석(40)의 상하단을 막으며 자로를 연결하는 자속판(50,51)과, 압전소자실(42)에 수용된 압전소자(20)와 하나의 자속판(상부 자속판)(50)사이에 안치되어 압전운동을 가능토록 하는 운동전달부(60)로 이루어진다. 운동전달부(60)의 일 예로는 볼끝 나사를 들 수 있고, 볼끝 나사가 나사 결합하는 하나의 자속판(50)에는 나사홈(54)을 형성한다. 나사홈(54)은 나사의 결합 시 노출 위치가 가변되도록 나사(운동전달부(60))의 길이보다 길도록 형성한다. 하부에 위치한 다른 하나의 자속판(51)은 영구자석(40)과 나사(55)로 결합시킨다. 상기 하나의 자속판(50)의 저면 중앙에는 운동전달부(60)를 이루는 볼끝 나사의 헤드(61)가 노출되도록 하는 노출공(56)을 형성한다.FIG. 5 is a partially cutaway perspective view illustrating a specific embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a coupled state of FIG. 5. The permanent magnet 40 having a piezoelectric element chamber 42 in the center and the permanent magnet 40 are shown in FIG. The piezoelectric element is placed between the magnetic flux plates 50 and 51 for blocking the upper and lower ends of the c) and the piezoelectric element 20 accommodated in the piezoelectric element chamber 42 and one magnetic flux plate (upper magnetic flux plate) 50. It consists of an exercise transmission unit 60 to enable exercise. An example of the motion transfer unit 60 may be a ball end screw, and a screw groove 54 is formed in one magnetic flux plate 50 to which the ball end screw is screwed. The screw groove 54 is formed to be longer than the length of the screw (movement transfer part 60) so that the exposure position is variable when the screw is coupled. Another magnetic flux plate 51 located in the lower portion is coupled to the permanent magnet 40 and the screw (55). An exposed hole 56 is formed at the center of the bottom surface of the magnetic flux plate 50 so that the head 61 of the ball end screw constituting the motion transfer part 60 is exposed.

이와 같이 구성한 본원 발명은 영구자석(40)의 하단에 하부 자속판(51)을 안치시켜 나사(55)로 상호 결합시켜 영구자석(40)의 하단을 막는다. 그리고 영구자석(40)의 중앙부에 형성한 압전소자실(42)에 적층형 압전소자(20)를 안치시킨다. 물론 압전소자(20)를 구동하는 전원의 연결은 필수적이나 다양한 형태로 가 능하고 이러한 기술 자체는 알려진 기술이기에, 도면에서는 단순히 압전소자(20)로 표기하고 구동을 위한 전원공급 전선의 표시 및 설명은 생략한다.In the present invention configured as described above, the lower magnetic flux plate 51 is placed on the lower end of the permanent magnet 40 so as to be mutually coupled with the screw 55 to block the lower end of the permanent magnet 40. Then, the stacked piezoelectric element 20 is placed in the piezoelectric element chamber 42 formed at the center of the permanent magnet 40. Of course, the connection of the power source for driving the piezoelectric element 20 is essential, but it is possible in a variety of forms, and this technique itself is a known technique, so in the drawings it is simply labeled as a piezoelectric element 20 and the indication and description of the power supply wire for driving Is omitted.

이어 상단이 운동로드(53)를 이루도록 돌출한 상부 자속판(50)의 중앙에 수직으로 형성한 나사홈(54)에는 운동전달부(60)를 이루는 볼끝형 나사의 헤드(61)가 아래로 오도록 나사결합 시킨다. 볼끝형 나사의 헤드(61)는 압전소자(20)의 상단과 당접하도록 나사결합으로 위치를 조정한다.Subsequently, the head 61 of the ball-type screw constituting the motion transfer part 60 is downward in the screw groove 54 formed vertically in the center of the upper magnetic flux plate 50 protruding to form the movement rod 53. Screw it in so that it comes. The head 61 of the ball end screw adjusts its position by screwing to abut on the upper end of the piezoelectric element 20.

이와 같은 상태에서 압전소자(20)에 전원을 인가하면 전원인가로 인한 변형력이 발생하여 도 6 과 같이 실선 상태에서 점선 상태로 이동하게 된다. 이는 운동로드(53)의 위치가 이동하는 것으로 이를 이용하여 작은 거리의 이동을 요하는 구동장치로 사용할 수 있다. When power is applied to the piezoelectric element 20 in such a state, a deformation force is generated due to the application of power, thereby moving from the solid line state to the dotted line state as shown in FIG. 6. This is to move the position of the movement rod 53 can be used as a drive device requiring a small distance movement by using this.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 도면에 의해 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and drawings, and various permutations, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those who have

이상과 같이 본원 발명은 압전소자를 중앙에 수용한 영구자석의 단부에 자성체를 당접시켜 판상으로 자로를 이루도록 하고, 자성체와 압전소자는 구동력을 전 달 가능토록 하는 운동전달부를 통하여 점접촉으로 전달하여 마찰이 없는 구동장치를 제공 가능케 한다.As described above, the present invention abuts the magnetic body at the end of the permanent magnet accommodating the piezoelectric element to form a magnetic path in the form of a plate, and the magnetic body and the piezoelectric element are transferred to the point contact through the motion transfer unit to transmit the driving force. It makes it possible to provide a frictionless drive.

또한 운동전달부를 길이 고정이 가능한 나사를 이용하고 운동전달부의 헤드가 이동 가능한 노출공을 형성하므로 구동변위를 쉽게 조절 가능토록 하는 효과를 제공한다.In addition, by using a screw that can be fixed in the length of the exercise transmission part and the head of the exercise transmission part to form a movable hole to provide an effect that can easily adjust the driving displacement.

특히 미세한 거리를 이동하는 구동기의 경우에도 영구자석의 자력을 통하여 이동을 제한하고 접접촉 상태로 압전소자와 운동전달부가 당접하므로 압전소자의 작용 시 변위 축소를 줄일 수 있어 정밀도를 높인다.
In particular, even in the case of a driver moving a small distance, the movement is limited by the magnetic force of the permanent magnet, and the piezoelectric element and the motion transmitting part contact with each other in contact state, thereby reducing the displacement reduction during the action of the piezoelectric element, thereby improving accuracy.

아울러 영구자석의 양단을 자속판으로 막아 자로가 폐루프를 이루도록 함으로써 자속의 외부 누출을 막을 수 있다.In addition, both ends of the permanent magnet can be blocked by a magnetic flux plate so that the magnetic path forms a closed loop, thereby preventing external leakage of the magnetic flux.

Claims

In a piezoelectric driver in which a stacked piezoelectric element is embedded in a housing to allow a rod to interlock with displacement of the piezoelectric element,

Permanent magnet 40 which combines the housing function and magnetic field generation to accommodate the stacked piezoelectric element,

A pair of magnetic flux plates 50 and 51 connecting the magnetic paths at the top and bottom of the permanent magnet 40, and

One magnetic flux plate 50 and one end of the stacked piezoelectric element 20 includes a motion transfer part 60 coupled to one magnetic flux plate 50 to drive the magnetic flux plate 50 when the piezoelectric effect is abutted. Piezoelectric actuator, characterized in that configured by.

The piezoelectric element according to claim 1, wherein the permanent magnets (40) are opposed to each other in a vertically opposite polarity, and a longitudinal center of the contact surface forms a piezoelectric element chamber (42) for accommodating the piezoelectric elements (20). Driver.

The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein the outer surface of the one magnetic flux plate (50) provided with the exercise transmission unit (60) is configured so that the exercise rod (53) having an exercise transmission function integrally protrudes.

The piezoelectric actuator according to claim 1, wherein the motion transmitting part (60) is a ball-type screw that is screwed with one magnetic flux plate (50).

The piezoelectric actuator of claim 4, wherein the magnetic flux plate (50) forms a screw groove (54) for screwing with a ball-end screw, and the screw groove (54) is formed to be longer than the length of the screw.

6. The piezoelectric actuator according to claim 5, wherein the screw groove portion (54) corresponding to the head of the ball end screw has an exposed hole (56) extending in diameter so that the head is exposed.

According to claim 1, one magnetic flux plate 50 is made to receive the piezoelectric driving force of the piezoelectric element 20 at one end of the permanent magnet 40, the other magnetic flux plate 51 is a permanent magnet (40) Piezoelectric actuator, characterized in that fixedly coupled at one end.